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Patentes

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Número de publicaciónCA2035106 A1
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudCA 2035106
Fecha de publicación30 Jul 1991
Fecha de presentación28 Ene 1991
Fecha de prioridad29 Ene 1990
También publicado comoDE69129081D1, DE69129081T2, EP0440377A2, EP0440377A3, EP0440377B1, US5330628
Número de publicaciónCA 2035106, CA 2035106 A1, CA 2035106A1, CA-A1-2035106, CA2035106 A1, CA2035106A1
InventoresR. Ernest Demaray, Vance E. Hoffman, John C. Helmer, Young H. Park, Ronald R. Cochran
SolicitanteNovellus Systems Inc., R. Ernest Demaray, Vance E. Hoffman, John C. Helmer, Young H. Park, Ronald R. Cochran, Varian Associates, Inc.
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  Oficina de propiedad intelectual de Canadá, Espacenet
Collimated deposition apparatus and method
CA 2035106 A1
Descripción  disponible en inglés
Reclamaciones(18)  disponible en inglés
Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
US5889328 *3 Dic 199630 Mar 1999International Business Machines CorporationRefractory metal capped low resistivity metal conductor lines and vias
US5976975 *10 Jul 19982 Nov 1999International Business Machines CorporationRefractory metal capped low resistivity metal conductor lines and vias
US6147402 *10 Jul 199814 Nov 2000International Business Machines CorporationRefractory metal capped low resistivity metal conductor lines and vias
US632355410 Jul 199827 Nov 2001International Business Machines CorporationRefractory metal capped low resistivity metal conductor lines and vias formed using PVD and CVD
Clasificaciones
Clasificación internacionalH01J37/34, C23C14/04, C23C14/35
Clasificación cooperativaH01J37/3408, C23C14/046, H01J37/3455, H01J37/3494, H01J2237/3327, C23C14/35, H01J37/3447
Clasificación europeaH01J37/34U4, H01J37/34O14D, H01J37/34O12, H01J37/34M2A, C23C14/04D, C23C14/35
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
30 Dic 1997EEERExamination request
28 Ene 2000FZDEDead