CN100526812C

CN100526812C - 流量传感器

Info

Publication number: CN100526812C
Application number: CNB2007101274526A
Authority: CN
Inventors: 山下泰广; 大岛裕太
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2006-07-05
Filing date: 2007-07-05
Publication date: 2009-08-12
Anticipated expiration: 2027-07-05
Also published as: KR20080004406A; DE102007030439B4; DE102007030439A1; JP2008014789A; JP5066675B2; TWI336393B; CN101101227A; TW200806963A; US7549332B2; US20080006085A1

Abstract

一种流量传感器(10)用作流量计，用于测量测量目标流体的流率。流量传感器(10)包括：流动通道(12)，测量目标流体流过该流动通道(12)；传感器(16)，该传感器(16)布置成从顶壁(26)朝向流动通道(12)，该顶壁(26)确定流动通道(12)；节流表面(24a)，该节流表面(24a)对着布置着传感器(16)的顶壁(26)位置处；以及倾斜表面(24b)，该倾斜表面(24b)布置在节流表面(24a)的上游侧。倾斜表面(24b)布置成使得流动通道(12)朝着流动通道(12)的进口侧变宽。倾斜表面(24b)有一定角度以使得它的延伸线经过相对于传感器(16)的检测部分(16a)向上游侧偏离的位置。

Description

流量传感器

技术领域

本发明涉及一种用于测量流体流率的流量传感器。特别是，本发明涉及一种流量传感器的流动通道结构。

背景技术

已经提出了流量传感器(流量计)来测量流体(例如空气或氮气)的流率，它有用于允许流体通过的流动通道，且传感器安装成朝向该流动通道。

日本公开专利文献No.2005-315788公开了一种流量传感器，它包括流动通道，该流动通道通过用盖部件封闭具有开口上部的槽而形成。传感器安装成朝向流动通道，且两个网格(mesh)(网格部件)分别布置在流动通道的进口部分(上游侧)和出口部分(下游侧)。在流量传感器中，通过利用网格调节流过流动通道的流体的流率来提高测量精度。

不过，在如上述构成的流量传感器中，需要安装多个网格，以便保持由传感器测量的流率的测量精度。而且，由于撞在下游侧的网格(该下游侧的网格恰好布置在其它网格的后面)上，流体的流率将受到湍流的影响。因此，需要在网格和传感器之间有预定距离(长度)，从而能够使流体的湍流收敛。因此，这将易于使流动通道变长。因此，流量传感器结构的总体尺寸变大。而且，即使当灰尘、尘土等粘附在网格上时，也不能很容易地更换该网格。当更换网格时，需要再次进行调节，因为流量传感器的测量精度变动。

另一方面，日本公开专利文献No.2004-3887和日本公开专利文献No.2004-3883分别公开了其中不使用网格的流量传感器(与前述结构不同)，以便减小该结构的尺寸。在该流量传感器中，布置着传感器的流动通道部分构成为基本垂直于布置在上游的流动通道部分。而且，在确定了流动通道的壁的至少一部分(布置着传感器的位置处)上形成凸出至流动通道中的圆弧形表面。因此，可以在不提供任何网格的情况下调节流体流率。

如上述构成的流量传感器具有这样的结构，即外来物质例如灰尘、尘土等由流动通道的壁表面除去，该壁表面基本垂直构成，如上所述。不过，例如当流体的流率较大时，将很难除去外来物质。而且，当在流动通道的、布置着传感器的部分中形成圆弧形表面时以及当较大流率的流体突然流入时，流体通过圆弧形表面而向上升高，并冲到传感器上，从而产生冲击。因此，根据使用情况，恐怕可能损坏传感器。

发明内容

本发明的总体目的是避免对传感器的损坏，该传感器布置成朝向流动通道，且该传感器检测作为测量目标的流过流动通道的流体的流率。

本发明的主要目的是提供一种能够小型化的流量传感器。

根据本发明的一个方面，一种流量传感器包括主体，该主体包括至少由顶壁和底壁形成的流动通道，其中，测量目标流体流过该流动通道，且传感器沿形成流动通道的顶壁布置，以便朝向流动通道，其中，流动通道包括：与传感器相对的节流表面；以及第一倾斜表面，该第一倾斜表面在节流表面的上游侧连续形成，该第一倾斜表面布置成使得形成于顶壁和第一倾斜表面之间的流动通道朝着上游侧变宽，而且，第一倾斜表面具有一定角度以使得朝向下游侧的第一倾斜表面的延伸线经过相对于布置在传感器的检测表面上的检测部分向上游侧偏离的位置。

根据前述结构，布置在顶壁和节流表面之间的流动通道部分相对于布置在上游侧的流动通道部分进行节流。因此，可以调节流过流动通道的测量目标流体的流，从而提高传感器的测量精度。流入流动通道的测量目标流体沿第一倾斜表面流动，然后，流体在上游侧在偏离传感器的检测部分的位置处接近顶壁。然后，流体沿节流表面流向出口侧。因此，例如即使当测量目标流体突然以较大流率流动时，也避免了测量目标流体直接撞上传感器检测部分。因此可以避免传感器受损或破坏。

流量传感器还包括第二倾斜表面，该第二倾斜表面在节流表面的下游侧连续形成。第二倾斜表面布置成使得形成于顶壁和第二倾斜表面之间的流动通道朝着下游侧变宽，其中，第二倾斜表面具有一定角度以使得第二倾斜表面的延伸线经过相对于在传感器的检测表面上的检测部分朝着下游侧偏离的位置。因此，流量传感器的流动方向能够很容易地反转。因此，本发明的流量传感器的安装自由度大大提高。

由第一倾斜表面和在该第一倾斜表面上游侧连续延伸的底壁所形成的角度和/或由第二倾斜表面和在该第二倾斜表面下游侧连续延伸的底壁所形成的角度优选是不大于150°。这样，设置能够更可靠，从而使第一倾斜表面和第二倾斜表面各自的延伸线经过相对于传感器的检测部分更向外偏离的位置。因此，在测量目标流体沿第一倾斜表面和第二倾斜表面流动之后，可以有效避免测量目标流体直接撞上传感器的检测部分。因此能够避免例如传感器受损或破坏。

节流表面沿测量目标流体的流动方向的长度大于传感器沿流动方向的长度。因此，在节流表面部分可靠地受到流量调节的测量目标流体成功地沿传感器的检测表面流动，并因此能够提高测量精度。

网格部件可以布置在流动通道的进口侧和/或出口侧。这样，测量目标流体能够通过网格部件而更可靠地受到流量调节。因此，例如可以除去可能包含在测量目标流体中的尘土、灰尘等。

网格部件通过固定螺钉来安装，从而使测量目标流体能够流过网格部件。这样，通过安装和拆卸固定螺钉，能够很容易地更换网格部件。

而且，由于流量调节功能由节流表面和第一倾斜表面来实现，因此需要安装在例如流动通道的进口部分中的网格部件的数目能够减少。因此，流量传感器的结构将简化，从而能够使流量传感器进一步小型化。

通过下面的说明并结合附图，将更清楚本发明的上述和其它目的、特征和优点，附图中通过示例实例表示了本发明的优选实施例。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施例的流量传感器的透视图；

图2是表示图1中所示的流量传感器的分解透视图；

图3是表示图1中所示的流量传感器沿流体流动方向的纵剖图；

图4是沿图3中的线IV-IV的剖视图；

图5是沿图3中的线V-V的剖视图；

图6是表示布置在图3的流量传感器的传感器元件附近的这些元件的放大剖视图；

图7是表示在既没有网格也没有凸起的结构中的流率测量结果的曲线图；

图8是表示在提供有一个网格但没有提供凸起的结构中的流率测量结果的曲线图；以及

图9是表示在提供有一个网格和凸起的结构中的流率测量结果的曲线图。

具体实施方式

下面将参考附图通过优选实施例来详细介绍本发明的流量传感器。

流量传感器10包括流量计，用于测量由例如空气或氮气组成的测量目标流体的流率(质量流率)。下面将参考测量空气(该空气作为测量目标流体)流率的实例来介绍本发明。

前述流量传感器10包括：主体14，该主体14包括形成于其中的流动通道(测量腔室)12，用于允许空气流过；以及传感器16，该传感器16布置成朝向流动通道12，并因此测量流过该流动通道12的空气流率。传感器16成一体地安装在传感器基片18的底表面(后表面)上。具有用于测量空气流率的检测部分16a的检测表面16b朝向流动通道12(见图3和6)。这样的传感器16例如包括MEMS热型流量传感器芯片，该流量传感器芯片具有基本正方形形状，它的一个侧边(图3中所示的长度L1)为大约1.4mm。

如图3和4中所示，流动通道12沿主体14的纵向方向形成于进口20和出口22之间，该进口20和出口22布置在稍微低于两端之间的中心的位置处。当沿与空气流动方向垂直的方向看时，流动通道12有圆形截面(见图5)。当在剖视图中看时，梯形凸起24形成于沿空气流动方向的基本中心部分(见图3)。传感器孔26a布置在顶壁(顶板壁)26上的基本中心部分处，该顶壁26布置在流动通道12上，这样，传感器16朝向流动通道12。凸起24布置在流动通道12的下面并在与顶壁26相对的底壁28的基本中心部分处。

凸起24有节流表面24a，该节流表面24a布置成与传感器16相对，且该节流表面24a有与梯形的上侧边相对应的平表面。而且，凸起24有倾斜表面(第一倾斜表面)24b和倾斜表面(第二倾斜表面)24c，该倾斜表面24b和24c连续地布置在节流表面24a的上游侧(在进口20侧)和下游侧(在出口22侧)，这样，流动通道12朝外(朝着上游侧和下游侧)变宽。在倾斜表面24b的上游侧连续的底壁28a与进口20连通。在倾斜表面24c的下游侧连续的底壁28b与出口22连通。

节流表面24a沿空气流动方向延伸的长度L2例如为大约5mm。它的基本中心部分近似布置在与传感器16的中心相同的位置处。在该结构中，与传感器16的上游侧端部相比，节流表面24a的上游侧端部将位于更靠近上游侧。为了在节流表面24a的部分处充分实现流量调节功能，节流表面24a的长度L2应大于传感器16的长度L1。不过，当通过从长度L2减去长度L1而获得的值变得过大时，测量精度降低，因为压力损失过度增加。另一方面，当该值太小时，传感器16可能受损或破坏，且测量精度将由于空气撞上传感器16和由于不充分的流量调节功能而降低。因此，对于传感器16的长度L1和节流表面24a的长度L2之间的关系，长度L2应优选是长度L1的2至5倍。更优选是，长度L2是长度L1的3至4倍。

底壁28a、28b和顶壁26之间的高度h1(即流动通道12的直径)例如在各倾斜表面24b、24c朝着外部连续延伸的部分处为大约2.6mm。节流表面24a和顶壁26之间的高度h2例如为大约1mm。当高度h2过大时，在凸起24处的流量调节功能降低。另一方面，当高度h2过小时，压力损失增大，且流量调节功能将易于降低。因此，对于高度h1和h2之间的关系，优选是高度h1设置为高度h2的大约1.5至4倍。

形成于底壁28a、28b和各倾斜表面24b、24c之间的角度θ(见图3)例如设置成不超过150°。当如上述设置角度θ时，提供了这样的结构，其中，从各倾斜表面24b、24c伸出的延伸线经过布置在外侧(即在进口20侧或出口22侧)的一个位置，该位置偏离在凸起24处的传感器16的检测部分16a。换句话说，各倾斜表面24b、24c有这样的角度以使得它的延伸线在相对于传感器16的检测部分16a向外偏离的位置处与顶壁26相交。因此，从进口20流入的空气沿倾斜表面24b流动(即向上运动)，然后空气在传感器16的检测部分16a的上游侧接近顶壁26。然后，空气沿节流表面24a沿朝着出口22的方向流动。

如上述在其中形成有流动通道12的主体14包括由前壁30、后壁32、一对侧壁34、34和外部底壁36构成的盒，进口20形成于该前壁30中，出口22形成于该后壁32中，该对侧壁34、34布置在前壁30和后壁32之间，且外部底壁36布置在该盒的底部。槽38由前壁30、后壁32和侧壁34、34的相应内侧表面以及由流动通道12的顶壁26的上表面形成于主体14的上部部分中(见图2)。沿宽度方向穿透的两个孔14a、14b形成于主体14的下部中。孔14a、14b用作安装孔，它们用于固定流量传感器10。主体14由高分子量的材料而形成，例如PPS(聚苯硫醚)。

两个槽20a、20b和22a、22b分别沿进口20和出口22的内周表面而周向布置(见图3)。插入螺母40、42布置在进口20和出口22处，其中，插入螺母40、42有沿周向布置的凸起40c、40d和42c、42d，这些凸起的形状适合插入和装配至槽20a、20b和22a、22b中。螺纹部分40a、42a沿插入螺母40和42的内周表面形成，如上所述。未示出的接头部件例如安装在螺纹部分40a、42a上，这样，流量传感器例如能够与预定的管路结构连接。

直径大于流动通道12的内径(h1)的凹槽41、43布置在流动通道12的上游侧和下游侧的端部。网格(网格部件)44、45在进口20和出口22的外侧通过插入螺母40、42而布置在凹槽41、43中。网格44、45通过固定螺钉46、48来固定，该固定螺钉46、48螺纹拧入螺纹部分40a、42a中。例如，网格44还可以只安装在进口20侧，而没有在出口22侧安装网格45。

网格44、45有圆形形状，且直径大于流动通道12的内径(h1)。而且，网格44、45包括金属丝网，该金属丝网由包括不锈钢等的金属制造。前述网格44、45执行流量调节功能，以便调节流过流量传感器10的空气，还有除尘功能，用于从空气中除去灰尘、尘土等。

固定螺钉46、48中有孔46a、48a，该孔46a、48a有与流动通道12近似相同的直径，以便允许空气流向网格44、45，且该固定螺钉用于通过与螺纹部分40a、42a接合来固定网格44、45。参考图2和3，切口46b、48b布置在固定螺钉46、48中，该切口形成接合槽，用于与未示出的工具接合，以便执行固定螺钉46、48的螺纹连接。

如上所述，传感器16布置在传感器基片18的下表面上(在顶壁26侧)。通过将传感器基片18布置在顶壁26的上表面上并在槽38中，传感器16定位成从传感器孔26a朝向流动通道12，其中，传感器孔26a由传感器基片18封闭。

传感器16的高度大约与顶壁26的高度相同。因此，传感器16的检测表面16b布置在大约与顶壁26的下表面(流动通道12的侧表面)相同的位置处。环形凹槽26b形成于顶壁26的上表面上并环绕传感器孔26a。未示出的液体密封剂施加在外周部分上，以便防止空气从传感器孔26a泄漏，这样，传感器基片18布置成与顶壁26的上表面紧密接触。这时，凹口26b用作防止向外流动部分(堰)，以便防止液体密封剂流出传感器孔26a进入流动通道12和粘附在传感器16上。前述液体密封剂可以通过升高它的温度而固化。包括弹性材料等的垫圈(密封材料)也可以用于代替液体密封剂，以避免空气从传感器孔26a泄漏。

图6是表示布置在传感器16附近的这些元件的放大剖视图。传感器16有检测表面16b，该检测表面16b朝向流动通道12。检测表面16b从上游侧顺序包括形成检测部分16a的上游侧温度测量元件50、热量产生元件(加热器)52、下游侧温度测量元件54以及周围温度测量元件56。上游侧温度测量元件和其它部件通过例如布置在传感器16中的桥接电路而相互连接。

热量产生元件52、上游侧温度测量元件50和下游侧温度测量元件54之间的距离彼此相等。另一方面，周围温度测量元件56布置在稍微与下游侧温度测量元件54分离的位置处，这样，周围温度测量元件56并不受到从热量产生元件52施加的热量的影响。在周围温度测量元件56和下游侧温度测量元件54之间的距离充分大于在热量产生元件52和上游侧温度测量元件50之间的距离。如上述构成的传感器16包括MEMS热型流量传感器芯片，用于根据位于热量产生元件52前面和后面的元件之间的温度差(通过上游侧温度测量元件50和下游侧温度测量元件54来测量)与在内部和外部流动的空气的空气温度(周围环境温度)(通过周围温度测量元件56来测量)之间的关系来计算流动速度和流率。

另一方面，连接器58和其它用于执行各种功能的未示出元件布置在传感器基片18的上表面上(即在与传感器16相对的一侧)(见图2和3)。

如上述构成的传感器基片18通过布置在它上面的衬垫60而固定，这样，传感器基片18布置在顶壁26的上表面上的槽38中。衬垫60包括框架，该框架能够装入槽38中。衬垫60包括：框架60a；四个爪部件62a至62d，这四个爪部件从框架60a向下凸出，并压靠在传感器基片18上；接合爪66，该接合爪66用于固定后面所述的盖64；以及四个孔68，这四个孔形成于框架60a中。螺栓70分别插入孔68中。螺栓70分别螺纹拧入四个螺纹部分72中，这四个螺纹部分72布置在主体14的槽38中。因此，衬垫60固定在主体14上，这样，传感器基片18通过衬垫60插入。换句话说，传感器基片18固定在主体14上。

输出基片74布置在槽38中并在衬垫60上面。输出基片74通过盖子64和卡销76而固定在衬垫60上。输出基片74用作向传感器16供电和向外输出电压的基片。

输出基片74包括连接器78，该连接器78布置在下表面上，以便与连接器58接合，如上所述。用于执行各种其它功能的未示出元件可布置在输出基片74的上表面上。电源电缆80安装在输出基片74的下游侧的一个端表面上。输出基片74通过连接器78并经连接器58而与传感器基片18电连接。因此，输出基片74用于从未示出的电源向传感器16供电，而且来自传感器16的输出信号(电压)由此传送给外部装置。

盖子64用作封闭槽38的上部的盖。盖子64包括接合部分64a，该接合部分64a布置在上游侧端部，接合爪66穿过该接合部分，以便进行接合。盖子64还包括孔64b，该孔64b布置在下游侧端部，卡销76的爪76a插入该孔64b中。爪76a穿过孔64b插入，并与框架60a接合。

通过接合部分64a和接合爪66之间的接合和通过卡销76和框架60a之间的接合，盖子64固定在衬垫60上方，这样，输出基片74布置在衬垫60的框架60a上。这时，电源电缆80由布置在主体14的后壁32的上部上的下侧半圆形部分82、布置在框架60a的下游侧的端表面上的下侧半圆形部分84以及布置在盖64的下游侧的端表面上的上侧半圆形部分86包围。这样，电源电缆80固定就位，因此输出基片74可靠固定在衬垫60上。

盖子64的上表面定位成稍微低于周边边缘部分。铭牌板88粘附在上表面上，其中，铭牌板88例如指示流量传感器10的型号和空气流动方向。

流量传感器10的各个部分装配成一体，如上所述，这样，传感器基片18、输出基片74和其它部件装入和固定在主体14的槽38中，然后这些部件由盖子64封闭。

下面将介绍基本如上述构成的流量传感器10的功能和效果。

通过将未示出的连接部件安装在进口20和出口22的插入螺母40、42上，流量传感器10与流动通道的中间部分连接，作为测量目标流体的空气在该流动通道中流动。而且，电源电缆80与未示出的电源连接，并与外部装置连接，因此可以测量空气流率。

如图3所示，空气沿箭头方向从进口20流入，并通过网格44进行流量调节和除尘，然后空气流入流动通道12中。流入流动通道12中的空气的一部分沿顶壁26经过流动通道12的上部，空气在经过布置于节流表面24a和顶壁26之间的空间后从出口22流出。另一方面，另一部分空气流入流动通道12中，并沿底壁28a经过流动通道12的下部，由此，空气沿倾斜表面24b向上运动，并经过形成于节流表面24a和顶壁26之间的空间，且空气从出口22向外流出。节流表面24a和顶壁26之间的空间与进口20相比充分节流(变窄)。因此，空气在传感器16的检测表面16b一侧经过，同时空气充分受到流动调节。因此，传感器16测量空气流率，由此，与流率大小成比例的电压通过电源电缆80而输出至外部装置。

为了如上述测量流率，根据本发明实施例，梯形凸起24形成于流量传感器10的流动通道12中，其中，流量传感器10的流动通道12有包括节流表面24a和倾斜表面24b的梯形结构。因此，除了由网格44执行的流量调节功能，还在倾斜表面24b处使空气流稳定。因此，能够抑制空气在流动通道12的各壁表面上的不利脱离现象。因此，对于较宽范围的流率(从低流率至高流率的范围内)，都能够稳定地测量流率。

由于流动通道12的梯形结构，即使当布置和连接在流量传感器10前面和后面的管的形状例如从8mm直径变成4mm直径时，也能够以足够精度来测量流量。由于前述梯形结构，在布置和连接于流量传感器10前面和后面的管路部分中并不需要用于使流动稳定的直线部分。因此，流量传感器10能够以更大自由度来安装。

由于由梯形结构执行的流量调节功能，网格44、45的数目能够成功地减少至例如只有一个网格。因此，可以减小产品尺寸和制造成本。而且，能够提高生产效率。

在日本公开专利文献No.2004-3887所述的常规技术中，空气流通过流动通道的圆弧形表面来调节。因此，当具有较大流率的空气突然流入流动通道时，空气由于圆弧形表面而向上升高，并撞在传感器上。因此，恐怕传感器受损或破坏。相反，在本发明实施例的流量传感器10中，由于前述梯形结构，沿倾斜表面24b流动的空气流向偏离检测部分16a的上游侧，而不会直接撞向传感器16的检测部分16a，其中，空气只是经过检测表面16b部分。因此，例如即使当具有较大流率的空气突然流入流动通道中时，也能够避免传感器16的检测部分16a受损或破坏。

在流量传感器10中，网格44、45能够通过固定螺钉46、48而很容易地安装和拆卸。因此，例如当灰尘等粘附在网格44上时，用户能够很容易地更换网格44。

在如日本公开专利文献No.2005-315788所述的、使用网格部件的常规技术结构中，当更换网格部件时将易于使得测量精度变动。因此当网格部件变化时需要进行调节操作。不过，在本发明的流量传感器10中，流量调节功能通过梯形结构来实现，其中，网格44、45的数目将减至最少。因此，由于更换网格44、45而引起的测量精度变动将非常小。换句话说，空气流能够通过凸起24的梯形结构来调节。因此，当更换网格44、45时，只对流动通道12的整个流量调节功能产生很小的影响。因此，能够很容易地代替或更换网格44、45。

下面将参考图7至9介绍实验结果，该实验结果显示了凸起24的梯形结构对传感器16的检测精度的影响。图7至9是表示在具有恒定流率的空气连续流过传感器16的状态下由传感器16产生的输出电压值(流速值)的曲线图。时间(秒)在水平轴上表示，而电压(mV)在垂直轴上表示。这样，当如上所述具有恒定流量的空气流过上述传感器16时预计获得的、传感器16的理论输出电压设置为A(mV)，如图7至9所示。

图7表示了通过没有设置网格44、45和凸起24的结构而获得的结果。图8表示了通过设置有网格44、45之一但没有设置凸起24的结构而获得的结果。图9表示了通过设置有网格44、45之一以及凸起24的结构而获得的结果，即通过本发明实施例的流量传感器10获得的结果。

如图7和8所示，当没有设置凸起24且没有网格44、45或只有一个网格44、45时，传感器16的输出电压不能稳定，产生较大噪音。可以认为如上所述，该噪音是因为空气不能充分地受到流量调节而产生。

另一方面，如图9中所示，当设置有凸起24及网格44、45之一时，即在本发明实施例的流量传感器10中，噪音非常小，且流率能够稳定和非常精确地进行测量。由结果清楚可知，通过设置有凸起24以及流动通道12的梯形结构，可以进行稳定和非常精确地测量。

即使不设置凸起24，还可以通过增加网格44、45的数目来充分调节空气流。不过这时，产生使得流量传感器的纵向方向长度增大的缺点。当使用多个网格44、45时，产品的再现性取决于安装位置、定位精度和使用的网格44、45数目。因此，引起装配性能(生产效率)和质量变差的问题。不过，在本发明的流量传感器10中，由于凸起24的梯形结构，装配性能(生产效率)和质量能够提高，同时保持较小尺寸。

在上述实施例中，空气从进口20流入流动通道12。不过，除了倾斜表面24b，流量传感器10还包括倾斜表面24c。因此，流量传感器10也能够安装成使得空气能够从出口22流入流动通道12中。因此，安装流量传感器10时的自由度很高。

前述实施例已经通过利用空气作为测量目标流体的实例进行了介绍。不过，不用说，本发明也能够测量不同于空气的流体的流率，包括例如氮气和各种其它气体。

在上述实施例中，流动通道12的截面形状为圆形。不过，本发明并不局限于该圆形形状。例如，截面形状也可以为矩形形状。

本发明并不局限于上述实施例。当然，在不脱离本发明的精神或实质特征的情况下，本发明也可以采用和采取各种其它形式。

Claims

1.一种流量传感器，包括：

主体(14)，该主体包括至少由顶壁(26)和底壁(28)形成的流动通道(12)，其中，测量目标气体流过所述流动通道(12)；以及

热型流量传感器(16)，该热型流量传感器(16)沿形成所述流动通道(12)的所述顶壁(26)布置，以便朝向所述流动通道(12)；

其中，所述流动通道(12)包括：与所述热型流量传感器(16)相对的节流表面(24a)；以及第一倾斜表面(24b)，该第一倾斜表面(24b)在所述节流表面(24a)的上游侧连续形成，所述第一倾斜表面(24b)布置成使得形成于所述顶壁(26)和所述第一倾斜表面(24b)之间的所述流动通道(12)朝着所述上游侧变宽；以及

所述第一倾斜表面(24b)具有一定角度，以使得朝向下游侧的所述第一倾斜表面(24b)的延伸线经过与布置在所述热型流量传感器(16)的检测表面(16b)上的检测部分(16a)相比向所述上游侧偏离的位置。

2.根据权利要求1所述的流量传感器，还包括：

第二倾斜表面(24c)，该第二倾斜表面(24c)在所述节流表面(24a)的所述下游侧连续形成，所述第二倾斜表面(24c)布置成使得形成于所述顶壁(26)和所述第二倾斜表面(24c)之间的所述流动通道(12)朝着所述下游侧变宽，其中，所述第二倾斜表面(24c)具有一定角度以使得所述第二倾斜表面(24c)的延伸线经过与布置在所述热型流量传感器(16)的所述检测表面(16b)上的所述检测部分(16a)相比朝着所述下游侧偏离的位置。

3.根据权利要求1所述的流量传感器，其中：由所述第一倾斜表面(24b)和在所述第一倾斜表面(24b)的所述上游侧连续延伸的所述底壁(28a)所形成的角度不大于150°。

4.根据权利要求2所述的流量传感器，其中：由第一倾斜表面(24b)和在所述第一倾斜表面(24b)的所述上游侧连续延伸的所述底壁(28a)所形成的角度和/或由所述第二倾斜表面(24c)和在所述第二倾斜表面(24c)的所述下游侧连续延伸的所述底壁(28b)所形成的角度不大于150°。

5.根据权利要求1所述的流量传感器，其中：所述节流表面(24a)沿所述测量目标气体的流动方向的长度(L2)大于所述热型流量传感器(16)沿所述流动方向的长度(L1)。

6.根据权利要求1所述的流量传感器，其中：网格部件(44、45)布置在所述流动通道(12)的进口侧和/或出口侧。

7.根据权利要求6所述的流量传感器，其中：网格部件(44、45)通过固定螺钉(46、48)来安装，从而使所述测量目标气体能够流过所述网格部件(44、45)。