CN101073024A - 多层线栅偏振器 - Google Patents

多层线栅偏振器 Download PDF

Info

Publication number
CN101073024A
CN101073024A CNA2005800418401A CN200580041840A CN101073024A CN 101073024 A CN101073024 A CN 101073024A CN A2005800418401 A CNA2005800418401 A CN A2005800418401A CN 200580041840 A CN200580041840 A CN 200580041840A CN 101073024 A CN101073024 A CN 101073024A
Authority
CN
China
Prior art keywords
grid
wire
layer
array
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2005800418401A
Other languages
English (en)
Inventor
R·T·珀金斯
C·成－原
D·P·汉森
E·加德纳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Moxtek Inc
Original Assignee
Moxtek Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=36573849&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=CN101073024(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Moxtek Inc filed Critical Moxtek Inc
Publication of CN101073024A publication Critical patent/CN101073024A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements
    • G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
    • G02B5/3058—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles

Abstract

一种用于使光(12)偏振的多层线栅偏振器(10a)，包括设置在基底(14)之上的薄膜层的叠层(18)，包括其长度大于所述光的波长且其周期小于所述光的半波长的细长金属基元(26)的线栅阵列(22)。所述层中的一个可以包括其折射率大于所述基底的折射率的薄膜层(18a－c)。所述薄膜层中的一个可以包括非金属基元(38、46)的介电阵列。

Description

多层线栅偏振器
技术领域
本发明一般涉及用于可见和近可见光谱的线栅偏振器。
背景技术
线栅偏振器(WGP)为设置在基底例如玻璃的表面上的平行线的阵列。通常，线栅偏振器是在基底上的线的单个、周期性的阵列。当线的周期大于光波长的约一半时，栅充当衍射光栅。当线的周期小于光波长的约一半时，栅充当偏振器。
虽然希望WGP透射一种偏振的所有光而反射所有其它偏振，但没有偏振器是完美的。实际的WGP将透射两种偏振的一些光，并将反射两种偏振的一些光。当光在透明材料例如玻璃薄片的表面上入射时，少量的光被反射。例如，在法向入射时，从玻璃的每个表面反射入射光的约4％。
已提出了在WGP之下或在线与基底之间设置膜，以使第一衍射级向较短波长移动，以便改善在部分可见光谱例如蓝光中的性能。参见美国专利No.6,122,103。该膜的折射率小于基底的折射率。还提出了蚀刻到基底或下面的层中以进一步减小线栅之下的有效折射率。参见美国专利No.6,122,103。还提出了将每条线形成为具有交替的金属与介电层的复合材料。参见美国专利No.US6,532,111。
发明内容
已经公认，开发具有改善的性能的线栅偏振器或者具有希望的偏振态例如p的增加的透射和另一偏振态例如s的减少的透射(或增加的反射)的线栅偏振器是有利的。另外，已经公认，线栅偏振器可以充当用于反射一种偏振态的金属和充当用于另一偏振态的有损耗的电介质的薄膜。因此，已经公认，可以将形状双折射(form birefringence)和有效折射率应用于线栅偏振器。另外，已经公认，可以将线栅偏振器视为薄膜层，并引入到光学叠层中。
简明并概括而言，本发明旨在用于偏振光的多层线栅偏振器。根据本发明的一个方面，所述偏振器包括设置在基底上并具有比所述基底的折射率大的折射率的至少一个薄膜层。线栅层设置在所述至少一个薄膜层之上。所述线栅层包括细长金属基元(element)的阵列，所述阵列具有比光的波长大的长度和比所述光的半波长小的周期。
根据本发明的另一方面，所述偏振器包括设置在基底之上的线栅层。所述线栅层包括细长金属基元的阵列，所述阵列具有比光的波长大的长度和比光的半波长小的周期。介电层设置在所述线栅层之上。所述介电层包括非金属基元的阵列。至少一个薄膜层设置在所述线栅层与所述介电层之间。
根据本发明的另一方面，所述偏振器包括设置在基底之上并跨过所述基底连续地延伸的薄膜层的叠层。所述薄膜层中的至少一个在结构和材料上是均匀的。所述薄膜层中的至少一个包括细长金属基元的线栅阵列，所述线栅阵列具有比光的波长大的长度并且比光的半波长小的周期。所述薄膜层中的至少一个包括非金属基元的介电阵列。
附图说明
通过结合附图进行的下列详细说明，本发明的附加的特征和优点将显而易见，这些附图通过实例共同示例了本发明的特征；其中：
图1和2为根据本发明的实施例的多层线栅偏振器的截面示意图(附图没有按比例绘制并且为清楚起见非常夸大地示出了特征)；
图3为根据本发明的示例性实施例的多层线栅偏振器的截面示意图(附图没有按比例绘制并且为清楚起见非常夸大地示出了特征)；
图4a为与其它偏振器相比图3的多层线栅偏振器的p偏振反射率与波长的关系的曲线图；
图4b为与其它偏振器相比图3的多层线栅偏振器的s偏振透射率与波长的关系的曲线图；
图4c为与其它偏振器相比图3的多层线栅偏振器的p偏振透射率与波长的关系的曲线图；
图5为根据本发明的示例性实施例的多层线栅偏振器的截面示意图(附图没有按比例绘制并且为清楚起见非常夸大地示出了特征)；
图6a为与另一偏振器相比图5的多层线栅偏振器的s偏振反射率与波长的关系的曲线图；
图6b为与另一偏振器相比图5的多层线栅偏振器的p偏振透射率与波长的关系的曲线图；
图7为根据本发明的示例性实施例的多层线栅偏振器的截面示意图(附图没有按比例绘制并且为清楚起见非常夸大地示出了特征)；
图8为根据本发明的示例性实施例的多层线栅偏振器的截面示意图(附图没有按比例绘制并且为清楚起见非常夸大地示出了特征)；
图9为与另一偏振器相比图7和8的多层线栅偏振器的p偏振反射率与波长的关系的曲线图；
图10a和b为根据本发明的示例性实施例的多层线栅偏振器的截面示意图(附图没有按比例绘制并且为清楚起见非常夸大地示出了特征)；
图11为与另一偏振器相比图10a和b的多层线栅偏振器的s偏振反射率与波长的关系的曲线图；
图12为根据本发明的示例性实施例的另一多层线栅偏振器的截面示意图(附图没有按比例绘制并且为清楚起见非常夸大地示出了特征)；
图13为与另一偏振器相比图12的多层线栅偏振器的s偏振透射率与波长的关系的曲线图；
图14为根据本发明的示例性实施例的线栅层的截面示意图，该线栅层在该线栅层的金属基元之间的间隔中的具有介电材料；以及
图15为根据本发明的示例性实施例的具有两个介电栅的介电栅层的截面图，该两个介电栅具有两种不同材料的基元。
现在将参考并在此使用特定的语言描述所示例的示例性实施例。然而应该理解，并不旨在由此限制本发明的范围。
具体实施方式
已经公认，对于光的一种偏振，线栅偏振器实质上充当反射光(或其一种偏振)的金属，而对于光的另一种偏振，线栅偏振器实质上充当透射光(或其另一种偏振)的有损耗的电介质的薄膜。因此，已经公认可以将两种构思即形状双折射和有效折射率应用于改善偏振器的性能。
典型地不将线栅偏振器考虑为形状双折射的实例。通常，双折射意味着材料对于不同的偏振具有不同的折射率。双折射在晶体材料例如石英和在拉伸的聚合物中非常普遍。形状双折射是指由材料的形状造成的双折射。
当材料具有材料特性例如密度的变化时，在变化的尺度小于光的波长的情况下，折射率与均匀体材料的折射率不同。存在有效折射率，其是均匀薄膜具有的对光造成相同影响的折射率。该效应的理论处理被称为有效介质理论。通过介电材料利用该现象，以使这些事物成为蛾眼抗反射涂层。
另外，典型地不将线栅偏振器考虑为薄膜。在光学中，典型地仅对于介电材料考虑形状双折射和有效折射率。然而，已经公认将线栅偏振器处理为具有有效折射率的等效双折射薄膜允许将其视为薄膜叠层中的基元，并使用具有特定性能目标的薄膜设计技术。
本发明利用薄膜结合金属线栅偏振器以改善偏振器的性能。通常，这可包括在线栅之下和其顶上的膜。这些膜中的任何一种是均匀的或者是介电栅。线栅可以为复合栅、或具有复合线。将线栅与材料不同的、由此折射率不同的多个层结合可以减少希望被透射的偏振的反射。例如，可以配置线栅以反射s偏振光并透射p偏振光。如上述讨论的，虽然希望透射所有的p偏振光而反射所有的s偏振光，但典型的线栅将透射两种偏振的一些并且反射两种偏振的一些。然而，已经发现，将线栅处理为双折射薄膜并将线栅与多个薄膜结合可以减少p偏振光的反射。
如图1和2中所示例的，将通常在10a和10b所示的多层线栅偏振器器件示出作为根据本发明的示例性实施，以使光12偏振或者使一种偏振态与正交偏振态基本上分离，并以较少反射和/或透射不需要的偏振的改善的方式这样做。相信这样的器件在可见光应用中，或者为用在约400-700nm(纳米)或者说0.4-0.7μm(微米)的范围的可见光上具有显著的效用。这样的可见光应用可包括投影显示设备例如投影仪。可以将这里描述的多层线栅偏振器器件用于各种不同的应用，例如偏振器、分束器、检偏器等。同样相信这里的器件在近可见光应用，例如紫外和/或红外应用，或者为用在约250-400nm或700-10,000nm的范围的可见光上具有效用。因此，这里宽泛地使用术语“光”来表示可见光、紫外光以及红外光，或者在250-10,000nm范围的电磁波。
偏振器10a和10b包括承载或支撑多个薄膜层18或薄膜层18的叠层的基底14，包括线栅或者线栅层22。基底14对于处理的光可以是透明的。例如，基底可以是玻璃(Bk7)。其它基底可以为石英或塑料。另外，基底14相对于剩余薄膜层可以具有充分的厚度ts。此外，基底可以具有折射率(或折光率)ns。例如，玻璃基底(Bk7)具有1.52的折射率(550nm处)。(应该理解，折射率随波长稍微变化。)
线栅或线栅层22包括细长金属基元26的线栅阵列。基元26具有比光的波长大的长度，并以比光的半波长小的周期P位于通常平行的排列中。因此，为用于可见光，基元26具有比可见光的波长大，或者大于700nm(0.7μm)的长度。然而，该长度可以更长。基元26可以具有比可见光的半波长小或者小于200nm(0.2μm)的中心至中心的间隔、间距或周期P。基元26还可具有处于间距或者周期的10至90％的范围的宽度w。对于可见光应用，基元26还可具有比光的波长小或者小于400nm(0.4μm)的厚度或高度。在一个方面，对于可见光应用，厚度可以小于0.2μm。
基元26或阵列通常与可见光相互作用，从而通常1)透射具有基本上均匀和恒定的线偏振态(例如p偏振)的透射束30，以及2)反射同样具有基本上均匀和恒定的线偏振态(例如s偏振)的反射束34。基元通常透射具有局部正交或垂直于基元取向的第一偏振态(p偏振)的光，并反射具有平行于基元取向的第二偏振态(s偏振)的光。应理解，线栅偏振器将以特定程度的效率分离光的偏振态，或者可以透射和/或反射两种偏振态的部分。还应理解，可以将基元的一部分配置为透射或反射不同的偏振态。
可以通过光刻在基底上或之上形成基元26或阵列。基元26可以导电，并可以由铝、银、金或铜形成。
多个薄膜层18可以包括在线栅层22之下和/或之上的层。因此，可以在基底14与线栅层22之间设置一个或多个层18a-c。另外，可以在线栅层22之上设置一个或多个层。层18可以由不同的材料或者与基底14不同的材料甚至相互不同的材料形成。因此，层18可以具有与基底14的折射率ns不同的折射率n。此外，已经发现，其折射率n1-3比基底14的折射率ns大的层18a-c中的至少一个减少了p偏振光的反射。因此，根据本发明的一个方面，偏振器10a或10b具有设置在基底14与线栅层22之间的至少一个薄膜层18a，并且薄膜层18a具有比基底14的折射率ns大的折射率n1。根据本发明的另一方面，偏振器10a或10b可以具有至少两个薄膜层18a和b，或者至少三个薄膜层18a-c。
薄膜层18a-c可以在整个基底14上连续地延展，并可以是一致或恒定的层，由18a和18c所示。可以由介电材料形成层18a-c。例如，这些层可以由：氧化铝；三氧化锑；硫化锑；氧化铍；氧化铋；三氟化铋；硫化镉；碲化镉；氟化钙；氧化铈；锥冰晶石；冰晶石；锗；二氧化铪；氟化镧；氧化镧；氯化铅；氟化铅；碲化铅；氟化锂；氟化镁；氧化镁；氟化钕；氧化钕；氧化镨；氧化钪；硅；氧化硅；三氧化二硅；二氧化硅；氟化钠；五氧化钽；碲；二氧化钛；氯化铊；氧化钇；硒化锌；硫化锌；以及二氧化锆形成。可以在基底上淀积膜层。在金属氧化物的情况下，其可以通过从氧化物蒸发剂材料(根据需要具有附加的氧回填物)开始淀积。然而，还可以通过蒸发母体金属，然后用背景中的O2氧化所淀积的材料来淀积材料。
可以控制薄膜层18a-c的厚度t1-3和材料(或折射率n1-3)以减少p偏振光的反射，如下面更加详细的描述。
薄膜层18a-c的一个或多个层包括这样的介电栅，该介电栅包括非金属基元38的阵列。可以彼此基本上平行地取向阵列的非金属基元38和金属基元26。另外，阵列可以具有基本上相等的周期和/或宽度。在一个方面，对准介电栅的非金属基元38与金属基元26，或者非金属基元38与线栅层的金属基元26对准，如图1中所示。在另一方面，介电栅的非金属基元38与金属基元26是偏离的，或者非金属基元38相对于线栅层的金属基元26是偏离的，如图2中所示。
如上所述，多个薄膜层18可以包括设置在线栅层22之上的一个或多个其它薄膜层。其它薄膜层可以包括介电材料，并可以是连续的或恒定的。另外，其它薄膜层42可以包括这样的介电栅，该介电栅包括非金属基元46的阵列。阵列的非金属基元46和金属基元26可以被彼此基本上平行地取向，并可以具有基本上相等的周期。在一个方面，对准非金属基元46与金属基元26，或者在线栅层22的金属基元26上方或之上对准介电栅的非金属基元46，如图1中所示。在另一方面，非金属基元46与金属基元26是偏离的，或者介电栅的非金属基元46在线栅层22的金属基元26的上方是偏离的。
如上面所讨论的，可以改变薄膜层18的数量、厚度t以及材料(或折射率)以减少p偏振光的反射(增加p偏振光的透射)和/或减少s偏振光的透射(增加s偏振光的反射)。层18a和c中的一些在结构和材料上可以是均匀的，而其它层可以包括栅，例如线栅层22的金属基元26或介电栅的非金属基元38和46。下面讨论具体结构的实例。
参考图3，示出了多层线栅偏振器的实例10c。该偏振器包括在玻璃(BK7)基底14上并在基底与线栅或线栅层22之间的三个均匀薄膜层50a-c。基底14具有1.52的折射率ns。第一薄膜层50a为具有65nm的厚度t1的氧化镁(MgO)的均匀材料。这样，第一层50a具有比基底14的折射率ns大的1.74的折射率n1(对于550nm的波长)。第二薄膜层50b为具有130nm的厚度t2和2.0的折射率的ZrO2的均匀材料。这样，第二层50b同样具有比基底14的折射率ns大的折射率n2。第三薄膜层50c为具有70nm的厚度t3的氟化镁(MgF2)的均匀材料。这样，第三层50c具有1.38的折射率n3(对于550nm的波长)。
在第三层50c的顶上设置线栅层22或线栅。线栅包括由铝制成的基元。基元可以具有144nm的周期P、周期的39.5％或57nm的宽度w，以及155nm的厚度twg或高度。
参考图4a-c，比较图3的偏振器10c的性能和在线栅与基底之间不具有薄膜层的相似的偏振器，以及在线栅与基底之间具有30nm的氟化镁(MgF2)层(因此具有比基底低的折射率的薄膜层)的相似的偏振器的性能。光12以45度的入射角入射在偏振器10c上。在该情况下，主要透射p偏振30，并主要反射s偏振34。参考图4a，如曲线54所示，穿过偏振器10c的p偏振的透射率比其它两种偏振器大(或p偏振从该偏振器的反射率较小)。虽然可以看到具有较低折射率的薄层的偏振器表现得比普通偏振器出色，但具有三个薄膜层50a-c的薄膜层的偏振器10c表现得更加出色。参考图4b，如曲线56所示，偏振器10c的s偏振光的透射率(泄漏量)比其它两种偏振器中的任何一种都小(或者穿过偏振器的s偏振的透射率较小)。参考图4c，如曲线58所示，偏振器10c的p偏振的反射率普遍比其它的偏振器小(或者p偏振的透射率较大)。最终结果为存在更多的透射的p偏振以及在透射和反射中的提高的对比度，这意味着多层偏振器10c的透射和反射的偏振的纯度更高。
参考图5，示出了多层线栅偏振器的另一实例10d。偏振器10d包括设置在具有铝的基元的线栅层22或线栅的顶部正上的两个介电层或两个介电栅60a和60b。线栅或线栅层22设置在玻璃(BK7)基底14上。线栅的基元26的厚度或高度twg为160nm。第一介电栅60a设置在线栅上，并具有100nm的厚度，且由折射率n1为1.45的氧化硅(SiO2)形成。第二介电栅60b也具有100nm的厚度t2并由折射率n2为2.5的材料形成。栅的周期P为144nm。基元的宽度为周期P的45％或57nm。光12以45度入射。
参考图6a和b，比较图5的偏振器10d的性能与在顶上没有介电栅的相似的偏振器的性能。因为栅的周期P比可见光的波长小，所以它们实质上全都起薄膜的作用。在图6a中，可以看出，对于偏振器10d，反射的s偏振基本上更大，如曲线62所示。在图6b中，可以看出，对于偏振器10d，透射的p偏振也更大，如曲线64所示。
参考图7，示出了多层线栅偏振器的另一实例10e。偏振器10e包括在线栅或线栅层22与玻璃(BK7)基底14之间的三个均匀薄膜层70a-c。第一层70a设置在基底14上，具有33nm厚的厚度t1，并具有1.8的折射率n1。第二层70b为具有1.38的折射率n2和30nm的厚度t2的氟化镁(MgF2)材料。第三层70c具有20nm的厚度t3，并具有1.8的折射率n3。这样，第一和第三层70a和c具有比基底14的折射率ns大的折射率n1和n3。线栅或线栅层22包括具有144nm的周期P的铝的基元。基元高度twg为160nm，并且基元的宽度w为周期的45％或者57nm。光12为法向入射(0度)。
参考图8，示出了多层线栅偏振器的另一实例10f。偏振器10e包括三个薄膜层80a-c，与上面描述的图7中的那些薄膜层相似，只是第一层80a具有28nm的厚度t1；第二层80b具有25nm的厚度t2；第三层80c具有17nm的厚度t3。另外，偏振器10f包括在线栅层22上方的薄膜层84。薄膜层84包括介电栅，其中非金属基元设置在线栅的金属基元上。线栅或线栅层22与上面描述的图7的线栅相似。介电层84的基元具有100nm的厚度t4。介电层84的基元由二氧化硅(SiO2)形成。
参考图9，比较偏振器10e和f的性能与没有薄膜层的相似的线栅偏振器的性能。如曲线86和88所示，偏振器10e和f都反射较少的p偏振(透过较多的p偏振)。如曲线88所示，具有在线栅层之下的薄膜层和在线栅上方的介电栅的偏振器10f表现出显著的改善。
参考图10a和b，示出了多层线栅偏振器的实例10g和h。偏振器10g和h都包括在基底14上设置的线栅或线栅层22。线栅可以包括铝的基元，并且基底可以是玻璃(BK7)。线栅的周期P为144nm，并且基元具有150nm的厚度twg。基元的宽度w为周期的45％或65nm。另外，基元26限定了其间的间隔92，间隔92包括具有1.17的折射率n1的材料。第二均匀层96设置在基元26和间隔92或线栅层22的顶上，并具有100nm的厚度t2和1.17的折射率n2。第三薄膜层100设置在第二层96之上。第三层100具有二氧化硅(SiO2)的均匀层和60nm的厚度t3。这样，第三层100具有1.45的折射率n3。第四层104设置在第三层100上，并包括具有非金属基元的介电栅。介电栅的基元具有50nm的厚度t4。介电栅的基元由二氧化硅(SiO2)形成并具有2.0的折射率n4。介电层的基元的宽度w为周期的50％。如图10a所示，介电层的基元设置在线栅的基本上正上方。可选地，介电层的基元可以相对于线栅的基元偏离，或者偏移半个周期，以便它们基本上在线栅的基元之间的间隔的上方，如图10b所示。光12以45度入射。
参考图11，比较偏振器10g和h的性能与在玻璃基底上仅具有线栅的相似的偏振器的性能。偏振器10g和h具有提高的s偏振的反射率，如曲线108(其彼此相互重叠)所示。另外，似乎当有效介质理论的条件适用时将介电栅与线栅的对准是不相关的。这些实例还表明可以结合并使用均匀层和介电层以获得利益。另外，这些实例论证了有效介质理论的原理。
参考图12，示出了多层线栅偏振器的另一示例10i。偏振器10i与图3的偏振器10c相似，但是包括具有复合基元的线栅或线栅层112。复合基元可以包括金属与非金属层的交替层。在美国专利No.6,532,111中可发现这样的复合基元的实例，在这里引用该专利作为参考。例如，每个基元可以包括铝与氟化镁的交替层。
参考图13，比较偏振器10i的性能与具有复合基元但在基底与线栅层之间不具有薄膜层的相似的偏振器的性能。如曲线116所示，偏振器10i具有s偏振的较少的泄漏量或者透射率。
参考图14，线栅层22与上述的线栅层相似，但是在线栅层的金属基元之间的间隔中具有介电材料120。这样的线栅或线栅层可以替代上述的任何一种。
参考图15，示出了具有两种介电栅124和128的介电栅层，该两种介电栅具有两种不同材料的基元，该两种不同材料分别具有两个不同的折射率n1和n2。因此，介电层或栅具有不同材料的交替基元，或在另一种栅的间隔中设置的一种栅的基元。这样的介电栅或层可以替代上述的任何一种。
这里介绍的实例只是可以由本发明实现的许多可能中的一些。通常，对于特定的应用例如优化在光的给定带的入射角的给定范围内的透射率或反射率，可以结合均匀层与介电栅的结合。可以对透射或反射或者两者一起进行优化。可以对在偏振器上从空气侧或从基底侧或者从这两侧的入射进行优化。
在美国专利5,986,730；6,081,376；6,122,103；6,208,463；6,243,199；6,288,840；6,348,995；6,108,131；6,452,724；6,710,921；6,234,634；6,447,120以及6,666,556中示出了线栅偏振器、光学组件(optial train)和/或投影/显示系统的各种方面，这里引用它们作为参考。
尽管已经将线栅偏振器示例为朝向光源或者其中细长基元朝向光源，应该理解这仅用于示例的目的。本领域的技术人员将理解，可以将线栅偏振器取向为例如从液晶阵列朝向成像承载梁(imaging bearing beam)，用于避免使载像束(image bearing beam)穿过基底、从而避免与穿过介质例如基底的光相关联的重影或多次反射的简单目的。这样的配置可以产生背对着光源的线栅偏振器。
虽然上述实例是作为本发明的原理在一种或多种特定的应用中的示例，但对于本领域的普通技术人员而言，很显然，在不需创造性的劳动并且不偏离本发明的原理和构思的情况下，可以在实施的形式、用法和细节上进行许多修改。因此，本发明旨在仅受下面提出的权利要求的限制。

Claims (15)

1.一种用于使光偏振的线栅偏振器器件，包括：
a)基底；
b)至少两个薄膜层，设置在所述基底上，所述薄膜层具有彼此不同的折射率；
c)所述两个薄膜层中的至少一个的折射率大于所述基底的折射率；以及
d)线栅层，设置在所述至少两个薄膜层之上，所述线栅层包括其长度大于所述光的波长且其周期小于所述光的半波长的细长金属基元的阵列。
2.根据权利要求1的器件，其中所述薄膜层中的一个包括介电栅，所述介电栅包括非金属基元的阵列，所述阵列的所述非金属和金属基元被取向为彼此基本上平行，并且所述阵列具有基本上相等的周期。
3.根据权利要求1的器件，还包括设置在所述线栅层之上的至少一个薄膜层；所述至少一个其它的薄膜层包括介电栅，所述介电栅包括非金属基元的阵列，所述阵列的所述非金属和金属基元被取向为彼此基本上平行，并且所述阵列具有基本上相等的周期。
4.一种用于使光偏振的线栅偏振器器件，包括：
a)具有折射率的基底；
b)至少一个薄膜层，设置在所述基底上，所述薄膜层的折射率大于所述基底的折射率；以及
c)线栅层，设置在所述至少一个薄膜层之上，所述线栅层包括其长度大于所述光的波长且其周期小于所述光的半波长的细长金属基元的阵列。
5.根据权利要求4的器件，其中所述至少一个薄膜层包括介电栅，所述介电栅包括非金属基元的阵列，所述阵列的所述非金属和金属基元被取向为彼此基本上平行，并且所述阵列具有基本上相等的周期。
6.根据权利要求4的器件，还包括设置在所述线栅层之上的至少一个其它的薄膜层；所述至少一个其它的薄膜层包括介电栅，所述介电栅包括非金属基元的阵列，所述阵列的所述非金属和金属基元被取向为彼此基本上平行，并且所述阵列具有基本上相等的周期。
7.一种用于使光偏振的线栅偏振器器件，包括：
a)基底；
b)线栅层，设置在所述基底之上，所述线栅层包括其长度大于所述光的波长且其周期小于所述光的半波长的细长金属基元的阵列；
c)介电层，设置在所述线栅层之上，所述介电层包括非金属基元的阵列；以及
d)至少一个薄膜层，设置在所述线栅层与所述介电层之间。
8.根据权利要求7的器件，还包括设置在所述基底与所述线栅层之间的至少一个薄膜层；所述至少一个薄膜层包括具有彼此不同的折射率的多个薄膜层。
9.根据权利要求7的器件，还包括在所述基底与所述栅极层之间的其折射率大于所述基底的折射率的至少一个薄膜层。
10.根据权利要求7的器件，还包括在所述基底与所述线栅层之间的包括非金属基元的阵列的介电栅，所述阵列的所述非金属和金属基元被取向为彼此基本上平行，并且所述阵列具有基本上相等的周期。
11.一种用于使光偏振的线栅偏振器器件，包括：
a)基底；
b)薄膜层的叠层，设置在所述基底之上，并跨过所述基底连续地延伸；
c)所述薄膜层中的至少一个在结构和材料上是均匀的；
d)所述薄膜层中的至少一个包括其长度大于所述光的波长且其周期小于所述光的半波长的细长金属基元的线栅阵列；以及
e)所述薄膜层中的至少一个包括非金属基元的介电阵列。
12.根据权利要求11的器件，其中所述阵列的所述非金属和金属基元被取向为彼此基本上平行，并且所述阵列具有基本上相等的周期。
13.根据权利要求11的器件，还包括设置在所述基底与所述线栅阵列之间的至少一个薄膜层；所述至少一个薄膜层包括具有彼此不同的折射率的多个薄膜层。
14.根据权利要求11的器件，其中在所述基底与所述栅极层之间的所述薄膜层中的至少一个的折射率大于所述基底的折射率。
15.根据权利要求11的器件，其中所述阵列的所述非金属和金属基元被取向为彼此基本上平行，并且所述阵列具有基本上相等的周期。
CNA2005800418401A 2004-12-06 2005-12-05 多层线栅偏振器 Pending CN101073024A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/005,927 US7570424B2 (en) 2004-12-06 2004-12-06 Multilayer wire-grid polarizer
US11/005,927 2004-12-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101073024A true CN101073024A (zh) 2007-11-14

Family

ID=36573849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2005800418401A Pending CN101073024A (zh) 2004-12-06 2005-12-05 多层线栅偏振器

Country Status (8)

Country Link
US (4) US7570424B2 (zh)
EP (2) EP3570081A1 (zh)
JP (1) JP4843617B2 (zh)
KR (1) KR101234986B1 (zh)
CN (1) CN101073024A (zh)
AU (1) AU2005314134A1 (zh)
BR (1) BRPI0518402A2 (zh)
WO (1) WO2006063049A1 (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102323677A (zh) * 2011-09-29 2012-01-18 上海丽恒光微电子科技有限公司 偏振分光器件及其形成方法
CN102955190A (zh) * 2011-08-26 2013-03-06 优志旺电机株式会社 偏振元件单元、其透射率设定方法及光照射装置
TWI472813B (zh) * 2012-02-17 2015-02-11 Nat Univ Tsing Hua 反射式偏光片
CN104865629A (zh) * 2015-06-05 2015-08-26 京东方科技集团股份有限公司 一种反射型偏光片及液晶显示装置
CN105452916A (zh) * 2013-08-07 2016-03-30 莫克斯泰克公司 多层吸收线栅偏振器
WO2019006800A1 (zh) * 2017-07-07 2019-01-10 深圳市华星光电技术有限公司 纳米线栅偏光片的制作方法
US10353239B2 (en) 2017-07-07 2019-07-16 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Method of manufacturing nanowire grid polarizer
CN113205746A (zh) * 2020-10-01 2021-08-03 友达光电股份有限公司 具有混合式显示面板的显示装置和其形成方法

Families Citing this family (105)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4363029B2 (ja) * 2002-11-06 2009-11-11 ソニー株式会社 分割波長板フィルターの製造方法
US7294851B2 (en) 2004-11-03 2007-11-13 Infineon Technologies Ag Dense seed layer and method of formation
US7800823B2 (en) 2004-12-06 2010-09-21 Moxtek, Inc. Polarization device to polarize and further control light
US7570424B2 (en) 2004-12-06 2009-08-04 Moxtek, Inc. Multilayer wire-grid polarizer
US20080055719A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Perkins Raymond T Inorganic, Dielectric Grid Polarizer
US7961393B2 (en) * 2004-12-06 2011-06-14 Moxtek, Inc. Selectively absorptive wire-grid polarizer
JP2006163291A (ja) * 2004-12-10 2006-06-22 Canon Inc 光学素子及びその製造方法
CN101084537A (zh) * 2004-12-21 2007-12-05 皇家飞利浦电子股份有限公司 光源
JP4760135B2 (ja) * 2005-05-24 2011-08-31 ソニー株式会社 光学装置及び光学装置の製造方法
US7582857B2 (en) * 2006-04-18 2009-09-01 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Sensor and polarimetric filters for real-time extraction of polarimetric information at the focal plane
JP4762804B2 (ja) * 2006-06-28 2011-08-31 チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド 偏光分離素子およびその製造方法
US7639414B2 (en) * 2006-08-10 2009-12-29 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Polarizer and flat panel display apparatus including the same
JP5933910B2 (ja) * 2006-08-15 2016-06-15 ポラリゼーション ソリューションズ エルエルシー 偏光子薄膜及びこの製作方法
US8755113B2 (en) 2006-08-31 2014-06-17 Moxtek, Inc. Durable, inorganic, absorptive, ultra-violet, grid polarizer
JP4778873B2 (ja) * 2006-10-20 2011-09-21 株式会社 日立ディスプレイズ 液晶表示装置
KR101294004B1 (ko) * 2006-11-02 2013-08-07 삼성디스플레이 주식회사 편광판, 이를 갖는 표시패널 및 표시장치
JP4488033B2 (ja) * 2007-02-06 2010-06-23 ソニー株式会社 偏光素子及び液晶プロジェクター
US7789515B2 (en) 2007-05-17 2010-09-07 Moxtek, Inc. Projection device with a folded optical path and wire-grid polarizer
JP5010527B2 (ja) * 2007-06-04 2012-08-29 住友化学株式会社 導光板ユニット、面光源装置及び液晶表示装置
JP2009031392A (ja) * 2007-07-25 2009-02-12 Seiko Epson Corp ワイヤーグリッド型偏光素子、その製造方法、液晶装置および投射型表示装置
JP4412372B2 (ja) * 2007-09-12 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 偏光素子の製造方法
JP4412388B2 (ja) * 2007-10-31 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 光学素子、液晶装置及び電子機器
JP4979549B2 (ja) * 2007-11-20 2012-07-18 キヤノン株式会社 偏光分離素子及びそれを有する光学機器
WO2009125751A1 (ja) * 2008-04-08 2009-10-15 旭硝子株式会社 ワイヤグリッド型偏光子の製造方法
CN102084275B (zh) * 2008-07-10 2014-04-30 旭硝子株式会社 线栅型偏振器及其制造方法
JP5606052B2 (ja) * 2009-01-13 2014-10-15 キヤノン株式会社 光学素子
JP2010169722A (ja) * 2009-01-20 2010-08-05 Seiko Epson Corp 光学素子の製造方法及び光学素子
JP2010204626A (ja) * 2009-02-05 2010-09-16 Asahi Glass Co Ltd ワイヤグリッド型偏光子およびその製造方法
KR101610376B1 (ko) * 2009-04-10 2016-04-08 엘지이노텍 주식회사 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 액정 표시 장치 및 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
CN101943843B (zh) * 2009-05-22 2012-03-07 上海丽恒光微电子科技有限公司 集成微型显示投影及成像系统
US8248696B2 (en) 2009-06-25 2012-08-21 Moxtek, Inc. Nano fractal diffuser
US8411146B2 (en) * 2009-09-04 2013-04-02 Lockheed Martin Corporation Single camera color and infrared polarimetric imaging
WO2011122555A1 (ja) * 2010-03-30 2011-10-06 日本電気株式会社 光学素子、光源装置、および投射型表示装置
US8611007B2 (en) 2010-09-21 2013-12-17 Moxtek, Inc. Fine pitch wire grid polarizer
US8913321B2 (en) 2010-09-21 2014-12-16 Moxtek, Inc. Fine pitch grid polarizer
KR20120032776A (ko) * 2010-09-29 2012-04-06 엘지이노텍 주식회사 와이어 그리드 편광자 및 이를 포함하는 백라이트유닛
JP5760388B2 (ja) 2010-11-01 2015-08-12 セイコーエプソン株式会社 偏光素子とその製造方法、プロジェクター、液晶装置、電子機器
KR101994490B1 (ko) 2010-12-10 2019-06-28 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 눈부심 감소 창유리 물품
JP5682312B2 (ja) * 2011-01-05 2015-03-11 ソニー株式会社 固体撮像装置の製造方法
JP2012181420A (ja) * 2011-03-02 2012-09-20 Sony Chemical & Information Device Corp 偏光素子
JP5765984B2 (ja) * 2011-03-28 2015-08-19 キヤノン株式会社 偏光分離素子および画像投射装置
US8552439B2 (en) * 2011-04-07 2013-10-08 Himax Display, Inc. Light-emitting diode package
JP2012238632A (ja) * 2011-05-10 2012-12-06 Sony Corp 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、及び、電子機器
US8913320B2 (en) 2011-05-17 2014-12-16 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with bordered sections
US8873144B2 (en) 2011-05-17 2014-10-28 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with multiple functionality sections
JP5938241B2 (ja) * 2012-03-15 2016-06-22 日立マクセル株式会社 光学素子およびその製造方法
US8922890B2 (en) 2012-03-21 2014-12-30 Moxtek, Inc. Polarizer edge rib modification
KR101979233B1 (ko) * 2012-07-27 2019-05-17 삼성디스플레이 주식회사 와이어 그리드 편광 구조물, 와이어 그리드 편광 구조물의 제조 방법 및 와이어 그리드 편광 구조물을 포함하는 유기 발광 표시 장치
JP5972100B2 (ja) * 2012-08-13 2016-08-17 キヤノン株式会社 反射型回折素子
KR102038693B1 (ko) * 2013-04-15 2019-10-31 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20140137734A (ko) 2013-05-23 2014-12-03 삼성디스플레이 주식회사 반사형 편광판 제조방법 및 인셀 반사형 편광판 제조방법
KR102069179B1 (ko) * 2013-06-26 2020-02-12 삼성디스플레이 주식회사 편광 소자, 이를 포함하는 표시 패널 및 이의 제조 방법
US9348076B2 (en) 2013-10-24 2016-05-24 Moxtek, Inc. Polarizer with variable inter-wire distance
JP5983596B2 (ja) 2013-12-26 2016-08-31 ウシオ電機株式会社 紫外線偏光光照射方法及び光配向層付き基板の製造方法
US10268046B2 (en) 2014-05-28 2019-04-23 Moxtek, Inc. Cube polarizer
US9726897B2 (en) 2014-05-28 2017-08-08 Motex, Inc. Cube polarizer with minimal optical path length difference
IL232866B (en) 2014-05-29 2020-08-31 Elta Systems Ltd Polarization rotator
US9632224B2 (en) 2014-06-25 2017-04-25 Moxtek, Inc. Broadband, selectively-absorptive wire grid polarizer
WO2015199948A1 (en) * 2014-06-25 2015-12-30 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with dual absorptive regions
KR102344656B1 (ko) * 2014-07-11 2021-12-30 소니그룹주식회사 정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및 프로그램
KR102215134B1 (ko) 2014-07-28 2021-02-15 삼성디스플레이 주식회사 편광자 및 이를 포함하는 표시 패널
KR20160031612A (ko) * 2014-09-12 2016-03-23 삼성디스플레이 주식회사 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 표시 장치 및 이의 제조방법
US10088616B2 (en) 2014-09-19 2018-10-02 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Panel with reduced glare
EP3023820B1 (en) 2014-11-18 2023-12-27 Samsung Display Co., Ltd. Wire grid polarizing plate, display device including the same, and method of fabricating said display device
KR102332948B1 (ko) 2015-01-13 2021-12-01 삼성디스플레이 주식회사 편광 소자 및 이를 포함하는 표시장치
WO2016114847A1 (en) * 2015-01-16 2016-07-21 Moxtek, Inc. Broadband, selectively-absorptive wire grid polarizer
US10234613B2 (en) * 2015-02-06 2019-03-19 Moxtek, Inc. High contrast inverse polarizer
US10534120B2 (en) 2015-04-03 2020-01-14 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with protected wires
CN105118400B (zh) * 2015-09-29 2018-09-11 京东方科技集团股份有限公司 一种透明显示装置
US11231544B2 (en) 2015-11-06 2022-01-25 Magic Leap, Inc. Metasurfaces for redirecting light and methods for fabricating
US10175401B2 (en) 2015-11-12 2019-01-08 Moxtek, Inc. Dual-purpose, absorptive, reflective wire grid polarizer
CN105487160B (zh) * 2016-01-15 2018-12-18 京东方科技集团股份有限公司 金属线栅偏振器及其制作方法、显示装置
KR102567008B1 (ko) 2016-03-18 2023-08-14 삼성디스플레이 주식회사 금속선 편광자를 포함하는 표시 장치 및 그 제조 방법
US10330946B1 (en) 2016-05-04 2019-06-25 Moxtek, Inc. Symmetric cube polarizing beam splitter
NZ747834A (en) 2016-05-06 2023-06-30 Magic Leap Inc Metasurfaces with asymmetric gratings for redirecting light and methods for fabricating
CN105867025B (zh) * 2016-06-01 2019-02-01 武汉华星光电技术有限公司 背光模组
US10571614B2 (en) 2016-08-16 2020-02-25 Moxek, Inc. Wire grid polarizer heat sink having specified reflective layer, absorptive layer, and heat-dissipation layer
US10408983B2 (en) 2016-08-16 2019-09-10 Moxtek, Inc. Durable, high performance wire grid polarizer having permeable junction between top protection layer
US10444410B2 (en) 2016-08-16 2019-10-15 Moxtek, Inc. Overcoat wire grid polarizer having conformal coat layer with oxidation barrier and moisture barrier
KR102602238B1 (ko) 2016-08-29 2023-11-15 삼성디스플레이 주식회사 편광 소자, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 표시 장치
US10069211B2 (en) * 2016-09-16 2018-09-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Broadband circularly polarized patch antenna and method
JP6953662B2 (ja) * 2016-11-22 2021-10-27 モックステック・インコーポレーテッド ワイヤグリッド偏光子ヒートシンク
US10139538B2 (en) 2016-11-22 2018-11-27 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with high reflectivity on both sides
CA3051414A1 (en) 2017-01-27 2018-08-02 Magic Leap, Inc. Diffraction gratings formed by metasurfaces having differently oriented nanobeams
IL268115B2 (en) 2017-01-27 2024-01-01 Magic Leap Inc Anti-reflective coatings for cell surfaces
US10838220B2 (en) 2017-04-14 2020-11-17 Moxtek, Inc. Miniature, durable polarization devices
EP3639070A1 (en) * 2017-06-13 2020-04-22 3M Innovative Properties Company Light control films
JPWO2019009151A1 (ja) * 2017-07-03 2020-06-18 Ｓｃｉｖａｘ株式会社 光学部材およびこれを用いた光学系装置
JP6401837B1 (ja) * 2017-08-10 2018-10-10 デクセリアルズ株式会社 偏光板及び光学機器
US10690828B2 (en) * 2017-08-30 2020-06-23 Moxtek, Inc. Adhesive-free polarizer
US10649121B2 (en) * 2017-10-05 2020-05-12 Moxtek, Inc. Low Ts wire grid polarizer
CN107783220A (zh) * 2017-11-28 2018-03-09 浙江科技学院 多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法
KR102559836B1 (ko) * 2018-01-31 2023-07-27 삼성디스플레이 주식회사 편광자, 상기 편광자를 포함한 광학 장치, 상기 편광자를 포함한 디스플레이 장치 및 상기 편광자의 제조 방법
US10852464B2 (en) 2018-03-01 2020-12-01 Moxtek, Inc. High-contrast polarizer
US11079528B2 (en) * 2018-04-12 2021-08-03 Moxtek, Inc. Polarizer nanoimprint lithography
WO2020072060A1 (en) * 2018-10-03 2020-04-09 Moxtek, Inc. Durable, high performance wire grid polarizer
US20200124779A1 (en) * 2018-10-22 2020-04-23 Board Of Regents, The University Of Texas System Layered sheet polarizers and isolators
TWI713214B (zh) 2018-10-26 2020-12-11 友達光電股份有限公司 偏光基板及顯示面板
JP2020098259A (ja) * 2018-12-18 2020-06-25 セイコーエプソン株式会社 表示装置、および反射型偏光素子
KR102168744B1 (ko) * 2019-05-24 2020-10-22 한국과학기술원 와이어 그리드 편광자
PH12020050192A1 (en) 2019-07-17 2021-05-17 Moxtek Inc Reflective wire grid polarizer with transparent cap
JP7356291B2 (ja) 2019-08-23 2023-10-04 デクセリアルズ株式会社 偏光板及び光学機器
US11829026B2 (en) * 2019-09-26 2023-11-28 Boe Technology Group Co., Ltd. Display panel, driving method thereof and display device
US11624916B2 (en) 2020-03-26 2023-04-11 Innovega Inc. Apparatus and method for pixelated occlusion
WO2022010808A1 (en) * 2020-07-06 2022-01-13 Vision Ease, Lp Wire grid polarizer reflection control

Family Cites Families (410)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2224214A (en) 1937-12-28 1940-12-10 Polaroid Corp Light polarizing body
US2287598A (en) 1937-12-28 1942-06-23 Polaroid Corp Method of manufacturing lightpolarizing bodies
US2237567A (en) * 1939-05-04 1941-04-08 Polaroid Corp Light polarizer and process of manufacturing the same
CH230613A (de) 1939-11-08 1944-01-15 Ges Foerderung Forschung Technische Physik Eth Zuerich Anordnung zur Wiedergabe eines Fernsehbildes.
US2605352A (en) 1940-08-28 1952-07-29 Fischer Ernst Friedrich Deformable medium for controlling a light stream
US2403731A (en) 1943-04-01 1946-07-09 Eastman Kodak Co Beam splitter
US2748659A (en) 1951-02-26 1956-06-05 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Light source, searchlight or the like for polarized light
US2887566A (en) 1952-11-14 1959-05-19 Marks Polarized Corp Glare-eliminating optical system
USRE25169E (en) 1954-06-01 1962-05-15 Colored light system
US2815452A (en) 1954-11-12 1957-12-03 Baird Associates Inc Interferometer
US3046839A (en) 1959-01-12 1962-07-31 Polaroid Corp Processes for preparing light polarizing materials
US3084590A (en) * 1959-02-26 1963-04-09 Gen Electric Optical system
NL254460A (zh) 1960-08-02
US3235630A (en) * 1962-07-17 1966-02-15 Little Inc A Method of making an optical tool
US3293331A (en) 1962-11-13 1966-12-20 Little Inc A Method of forming replicas of contoured substrates
US3291871A (en) 1962-11-13 1966-12-13 Little Inc A Method of forming fine wire grids
US3479168A (en) 1964-03-09 1969-11-18 Polaroid Corp Method of making metallic polarizer by drawing fusion
US3291550A (en) 1965-04-16 1966-12-13 Polaroid Corp Metallic grid light-polarizing device
US3436143A (en) 1965-11-30 1969-04-01 Bell Telephone Labor Inc Grid type magic tee
US3566099A (en) 1968-09-16 1971-02-23 Polaroid Corp Light projection assembly
US3627431A (en) 1969-12-22 1971-12-14 John Victor Komarniski Densitometer
US3631288A (en) 1970-01-23 1971-12-28 Polaroid Corp Simplified polarized light projection assembly
US3653741A (en) 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
US3731986A (en) 1971-04-22 1973-05-08 Int Liquid Xtal Co Display devices utilizing liquid crystal light modulation
CH558023A (de) 1972-08-29 1975-01-15 Battelle Memorial Institute Polarisationsvorrichtung.
US3877789A (en) * 1972-11-08 1975-04-15 Marie G R P Mode transformer for light or millimeter electromagnetic waves
US4049944A (en) 1973-02-28 1977-09-20 Hughes Aircraft Company Process for fabricating small geometry semiconductive devices including integrated components
US3969545A (en) 1973-03-01 1976-07-13 Texas Instruments Incorporated Light polarizing material method and apparatus
US3857628A (en) 1973-08-29 1974-12-31 Hoffmann La Roche Selective polarizer arrangement for liquid crystal displays
US3857627A (en) 1973-08-29 1974-12-31 Hoffmann La Roche Polarizer arrangement for liquid crystal displays
US3912369A (en) 1974-07-02 1975-10-14 Gen Electric Single polarizer reflective liquid crystal display
US4025688A (en) 1974-08-01 1977-05-24 Polaroid Corporation Polarizer lamination
CH582894A5 (zh) 1975-03-17 1976-12-15 Bbc Brown Boveri & Cie
US4009933A (en) 1975-05-07 1977-03-01 Rca Corporation Polarization-selective laser mirror
US4104598A (en) 1975-06-09 1978-08-01 Hughes Aircraft Company Laser internal coupling modulation arrangement with wire grid polarizer serving as a reflector and coupler
DE2529112C3 (de) 1975-06-30 1978-03-23 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Ultraschall-Applikator für die zeilenweise Ultraschallabtastung von Körpern
JPS6034742B2 (ja) * 1976-02-20 1985-08-10 ミノルタ株式会社 光学的ロ−パスフイルタ−
US4073571A (en) 1976-05-05 1978-02-14 Hughes Aircraft Company Circularly polarized light source
US4181756A (en) 1977-10-05 1980-01-01 Fergason James L Process for increasing display brightness of liquid crystal displays by bleaching polarizers using screen-printing techniques
DE2818103A1 (de) 1978-04-25 1979-11-08 Siemens Ag Verfahren zur herstellung von aus einer vielzahl von auf einer glastraegerplatte angeordneten parallel zueinander ausgerichteten elektrisch leitenden streifen bestehenden polarisatoren
JPS6033246B2 (ja) 1978-07-26 1985-08-01 三立電機株式会社 多色表示用偏光板の製造方法
DE2915847C2 (de) 1978-09-29 1986-01-16 Nitto Electric Industrial Co., Ltd., Ibaraki, Osaka Elektrooptisch aktivierbare Anzeige
US4221464A (en) 1978-10-17 1980-09-09 Hughes Aircraft Company Hybrid Brewster's angle wire grid infrared polarizer
US4289381A (en) 1979-07-02 1981-09-15 Hughes Aircraft Company High selectivity thin film polarizer
US4308079A (en) 1980-06-16 1981-12-29 Martin Marietta Corporation Durability of adhesively bonded aluminum structures and method for inhibiting the conversion of aluminum oxide to aluminum hydroxide
US4514479A (en) 1980-07-01 1985-04-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method of making near infrared polarizers
EP0045104B1 (de) 1980-07-28 1985-04-10 BBC Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie. Homöotrop nematisches Display mit internem Reflektor
US4441791A (en) * 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
US4466704A (en) 1981-07-20 1984-08-21 Polaroid Corporation Patterned polarizer having differently dyed areas
US4532619A (en) 1982-01-22 1985-07-30 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for reducing semiconductor laser optical noise
US4512638A (en) 1982-08-31 1985-04-23 Westinghouse Electric Corp. Wire grid polarizer
US4515441A (en) 1982-10-13 1985-05-07 Westinghouse Electric Corp. Dielectric polarizer for high average and high peak power operation
DE3244885A1 (de) 1982-12-02 1984-06-07 Merck Patent Gmbh, 6100 Darmstadt Farbselektiver zirkularpolarisator und seine verwendung
US4515443A (en) 1982-12-29 1985-05-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Passive optical system for background suppression in starring imagers
US4560599A (en) 1984-02-13 1985-12-24 Marquette University Assembling multilayers of polymerizable surfactant on a surface of a solid material
FR2564605B1 (fr) 1984-05-18 1987-12-24 Commissariat Energie Atomique Cellule a cristal liquide susceptible de presenter une structure homeotrope, a birefringence compensee pour cette structure
SU1283685A1 (ru) 1985-02-20 1987-01-15 Предприятие П/Я А-1705 Решетка-пол ризатор
US4679910A (en) 1985-03-20 1987-07-14 Hughes Aircraft Company Dual liquid-crystal cell-based visible-to-infrared dynamic image converter
US4688897A (en) 1985-06-17 1987-08-25 Hughes Aircraft Company Liquid crystal device
US4712881A (en) 1985-06-21 1987-12-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Birefringent artificial dielectric structures
JPS626225A (ja) 1985-07-02 1987-01-13 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置
JPS6231822A (ja) 1985-08-02 1987-02-10 Hitachi Ltd 液晶表示素子
US4743093A (en) 1985-09-16 1988-05-10 Eastman Kodak Company Optical disc player lens
FR2588093B1 (fr) 1985-09-27 1987-11-20 Thomson Csf Polariseur par absorption differentielle, son procede de realisation et dispositif mettant en oeuvre ledit procede
JPS6275418A (ja) 1985-09-27 1987-04-07 Alps Electric Co Ltd 液晶素子
US4724436A (en) * 1986-09-22 1988-02-09 Environmental Research Institute Of Michigan Depolarizing radar corner reflector
US4743092A (en) 1986-11-26 1988-05-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Polarizing grids for far-infrared and method for making same
US4759611A (en) 1986-12-19 1988-07-26 Polaroid Corporation, Patent Department Liquid crystal display having silylated light polarizers
US4795233A (en) * 1987-03-09 1989-01-03 Honeywell Inc. Fiber optic polarizer
DE3707984A1 (de) 1987-03-12 1988-09-22 Max Planck Gesellschaft Polarisierender spiegel fuer optische strahlung
US4840757A (en) 1987-05-19 1989-06-20 S. D. Warren Company Replicating process for interference patterns
FR2623649B1 (fr) 1987-11-23 1992-05-15 Asulab Sa Cellule d'affichage a cristal liquide
US4865670A (en) 1988-02-05 1989-09-12 Mortimer Marks Method of making a high quality polarizer
FR2629924B1 (fr) 1988-04-08 1992-09-04 Comp Generale Electricite Polariseur a couches dielectriques
US4893905A (en) 1988-06-10 1990-01-16 Hughes Aircraft Company Optical light valve system for providing phase conjugated beam of controllable intensity
JPH0212105A (ja) 1988-06-29 1990-01-17 Nec Corp 複屈折回折格子型偏光子
JP2703930B2 (ja) 1988-06-29 1998-01-26 日本電気株式会社 複屈折回折格子型偏光子
JPH0215238A (ja) 1988-07-04 1990-01-18 Stanley Electric Co Ltd 異方性補償ホメオトロピック液晶表示装置
JPH0223304A (ja) 1988-07-12 1990-01-25 Toray Ind Inc 可視偏光フイルム
US4895769A (en) 1988-08-09 1990-01-23 Polaroid Corporation Method for preparing light polarizer
US4915463A (en) * 1988-10-18 1990-04-10 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Multilayer diffraction grating
US4939526A (en) 1988-12-22 1990-07-03 Hughes Aircraft Company Antenna system having azimuth rotating directive beam with selectable polarization
US4913529A (en) 1988-12-27 1990-04-03 North American Philips Corp. Illumination system for an LCD display system
US4870649A (en) 1988-12-28 1989-09-26 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Tranverse mode control in solid state lasers
US4946231A (en) 1989-05-19 1990-08-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Polarizer produced via photographic image of polarizing grid
US5599551A (en) * 1989-06-06 1997-02-04 Kelly; Patrick D. Genital lubricants containing zinc as an anti-viral agent
US5486949A (en) 1989-06-20 1996-01-23 The Dow Chemical Company Birefringent interference polarizer
US5279689A (en) 1989-06-30 1994-01-18 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for replicating holographic optical elements
EP0405582A3 (en) 1989-06-30 1992-07-08 E.I. Du Pont De Nemours And Company Method for making optically readable media containing embossed information
US5235443A (en) 1989-07-10 1993-08-10 Hoffmann-La Roche Inc. Polarizer device
DE59010516D1 (de) 1989-07-10 1996-10-31 Hoffmann La Roche Polarisator
EP0416157A1 (de) 1989-09-07 1991-03-13 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Polarisator
FR2653234A1 (fr) 1989-10-13 1991-04-19 Philips Electronique Lab Dispositif du type miroir dans le domaine des rayons x-uv.
JPH03132603A (ja) 1989-10-18 1991-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 偏光子
JP2924055B2 (ja) 1989-12-08 1999-07-26 セイコーエプソン株式会社 反射型液晶表示素子
US5267029A (en) 1989-12-28 1993-11-30 Katsumi Kurematsu Image projector
US5235449A (en) 1990-03-02 1993-08-10 Hitachi, Ltd. Polarizer with patterned diacetylene layer, method for producing the same, and liquid crystal display device including such polarizer
US5401587A (en) 1990-03-27 1995-03-28 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Anisotropic nanophase composite material and method of producing same
JPH03289692A (ja) 1990-04-06 1991-12-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 空間光変調素子及びこれを用いたホログラム画像情報記録装置
JP2681304B2 (ja) 1990-05-16 1997-11-26 日本ビクター株式会社 表示装置
KR920010809B1 (ko) * 1990-05-19 1992-12-17 주식회사 금성사 Lcd 프로젝터의 광학 시스템
US5083857A (en) * 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5115305A (en) 1990-07-05 1992-05-19 Baur Thomas G Electrically addressable liquid crystal projection system with high efficiency and light output
US5157526A (en) 1990-07-06 1992-10-20 Hitachi, Ltd. Unabsorbing type polarizer, method for manufacturing the same, polarized light source using the same, and apparatus for liquid crystal display using the same
JP2902456B2 (ja) 1990-08-09 1999-06-07 株式会社豊田中央研究所 無機偏光薄膜
US5113285A (en) 1990-09-28 1992-05-12 Honeywell Inc. Full color three-dimensional flat panel display
JPH07104450B2 (ja) * 1990-10-17 1995-11-13 スタンレー電気株式会社 二軸性光学素子とその製造方法
FR2669126B1 (fr) * 1990-11-09 1993-01-22 Thomson Csf Systeme de visualisation d'images fournies par un modulateur spatial avec transfert d'energie.
US5387953A (en) * 1990-12-27 1995-02-07 Canon Kabushiki Kaisha Polarization illumination device and projector having the same
US5092774A (en) * 1991-01-09 1992-03-03 National Semiconductor Corporation Mechanically compliant high frequency electrical connector
JP2698218B2 (ja) 1991-01-18 1998-01-19 シャープ株式会社 反射型液晶表示装置及びその製造方法
US5122887A (en) 1991-03-05 1992-06-16 Sayett Group, Inc. Color display utilizing twisted nematic LCDs and selective polarizers
DE69218830T2 (de) 1991-05-29 1997-07-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd Bildprojektions-System
EP0588937B1 (en) 1991-06-13 1996-08-28 Minnesota Mining And Manufacturing Company Retroreflecting polarizer
EP0518333B1 (en) 1991-06-14 2002-08-28 Hughes Aircraft Company Method for inducing tilted perpendicular alignment in liquid crystals
US5245471A (en) 1991-06-14 1993-09-14 Tdk Corporation Polarizers, polarizer-equipped optical elements, and method of manufacturing the same
EP0522620B1 (en) 1991-06-28 1997-09-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Display device
US5122907A (en) 1991-07-03 1992-06-16 Polatomic, Inc. Light polarizer and method of manufacture
JP2754964B2 (ja) 1991-08-13 1998-05-20 日本電気株式会社 多極コネクタの嵌合構造
US5196953A (en) * 1991-11-01 1993-03-23 Rockwell International Corporation Compensator for liquid crystal display, having two types of layers with different refractive indices alternating
EP0543061B1 (en) 1991-11-20 1998-07-15 Hamamatsu Photonics K.K. Light amplifying polarizer
JP2796005B2 (ja) 1992-02-10 1998-09-10 三菱電機株式会社 投影露光装置及び偏光子
US5383053A (en) 1992-04-07 1995-01-17 Hughes Aircraft Company Virtual image display having a high efficiency grid beamsplitter
US5422756A (en) 1992-05-18 1995-06-06 Minnesota Mining And Manufacturing Company Backlighting system using a retroreflecting polarizer
JP3414399B2 (ja) 1992-06-30 2003-06-09 シチズン時計株式会社 液晶表示ユニット及び液晶表示ユニットを用いた液晶プロジェクタ
WO1994009401A1 (en) 1992-10-20 1994-04-28 Hughes-Jvc Technology Corporation Liquid crystal light valve with minimized double reflection
US5480748A (en) * 1992-10-21 1996-01-02 International Business Machines Corporation Protection of aluminum metallization against chemical attack during photoresist development
JPH06138413A (ja) * 1992-10-29 1994-05-20 Canon Inc プレート型偏光分離装置及び該偏光分離装置を用いた偏光照明装置
JP3250853B2 (ja) 1992-11-09 2002-01-28 松下電器産業株式会社 液晶表示装置およびそれを用いた投写型表示装置
JP2698521B2 (ja) 1992-12-14 1998-01-19 キヤノン株式会社 反射屈折型光学系及び該光学系を備える投影露光装置
US5325218A (en) 1992-12-31 1994-06-28 Minnesota Mining And Manufacturing Company Cholesteric polarizer for liquid crystal display and overhead projector
US5333072A (en) 1992-12-31 1994-07-26 Minnesota Mining And Manufacturing Company Reflective liquid crystal display overhead projection system using a reflective linear polarizer and a fresnel lens
TW289095B (zh) 1993-01-11 1996-10-21
US5477359A (en) 1993-01-21 1995-12-19 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal projector having a vertical orientating polyimide film
US5522111A (en) * 1993-03-02 1996-06-04 Marshalltown Trowel Company Finishing trowel handle
US5594561A (en) 1993-03-31 1997-01-14 Palomar Technologies Corporation Flat panel display with elliptical diffuser and fiber optic plate
JP3168765B2 (ja) 1993-04-01 2001-05-21 松下電器産業株式会社 偏光装置および該偏光装置を用いた投写型表示装置
US5349192A (en) 1993-05-20 1994-09-20 Wisconsin Alumni Research Foundation Solid state detector for polarized x-rays
US5486935A (en) 1993-06-29 1996-01-23 Kaiser Aerospace And Electronics Corporation High efficiency chiral nematic liquid crystal rear polarizer for liquid crystal displays having a notch polarization bandwidth of 100 nm to 250 nm
US5391091A (en) * 1993-06-30 1995-02-21 American Nucleonics Corporation Connection system for blind mate electrical connector applications
AU6245994A (en) * 1993-07-27 1995-02-28 Physical Optics Corporation High-brightness directional viewing screen
CN1050672C (zh) 1993-09-10 2000-03-22 日本化药株式会社 偏光元件和起偏振片及其生产方法
JPH0784252A (ja) * 1993-09-16 1995-03-31 Sharp Corp 液晶表示装置
WO1995010067A1 (en) 1993-10-01 1995-04-13 Hughes Training, Inc. Active matrix liquid crystal subtractive color display with integral light confinement
US5576854A (en) 1993-11-12 1996-11-19 Hughes-Jvc Technology Corporation Liquid crystal light valve projector with improved contrast ratio and with 0.27 wavelength compensation for birefringence in the liquid crystal light valve
US5499126A (en) * 1993-12-02 1996-03-12 Ois Optical Imaging Systems, Inc. Liquid crystal display with patterned retardation films
US5517356A (en) 1993-12-15 1996-05-14 Corning Incorporated Glass polarizer for visible light
BE1007993A3 (nl) * 1993-12-17 1995-12-05 Philips Electronics Nv Belichtingsstelsel voor een kleurenbeeldprojectie-inrichting en circulaire polarisator geschikt voor toepassing in een dergelijk belichtingsstelsel en kleurenbeeldprojectie-inrichting bevattende een dergelijk belichtingsstelsel met circulaire polarisator.
US6096375A (en) 1993-12-21 2000-08-01 3M Innovative Properties Company Optical polarizer
US5882774A (en) 1993-12-21 1999-03-16 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical film
JP3501299B2 (ja) 1993-12-28 2004-03-02 日本ビクター株式会社 半導体装置
US5455589A (en) 1994-01-07 1995-10-03 Millitech Corporation Compact microwave and millimeter wave radar
GB2286058A (en) 1994-01-21 1995-08-02 Sharp Kk Switchable holographic apparatus
JP3278521B2 (ja) 1994-01-28 2002-04-30 松下電器産業株式会社 背面投写型画像表示装置
US5969861A (en) 1994-02-07 1999-10-19 Nikon Corporation Polarizing optical system
JP2765471B2 (ja) 1994-02-15 1998-06-18 日本電気株式会社 投写型液晶表示装置
US5638197A (en) 1994-04-04 1997-06-10 Rockwell International Corp. Inorganic thin film compensator for improved gray scale performance in twisted nematic liquid crystal displays and method of making
US5504603A (en) * 1994-04-04 1996-04-02 Rockwell International Corporation Optical compensator for improved gray scale performance in liquid crystal display
US5619352A (en) 1994-04-04 1997-04-08 Rockwell International Corporation LCD splay/twist compensator having varying tilt and /or azimuthal angles for improved gray scale performance
CN1152358A (zh) 1994-05-31 1997-06-18 菲利浦电子有限公司 具有散射显示板的显示装置
US5485499A (en) 1994-08-05 1996-01-16 Moxtek, Inc. High throughput reflectivity and resolution x-ray dispersive and reflective structures for the 100 eV to 5000 eV energy range and method of making the devices
US5513023A (en) 1994-10-03 1996-04-30 Hughes Aircraft Company Polarizing beamsplitter for reflective light valve displays having opposing readout beams onto two opposing surfaces of the polarizer
KR0147607B1 (ko) * 1994-11-25 1998-09-15 김광호 반사형 액정 투사장치의 광학계
US5917562A (en) 1994-12-16 1999-06-29 Sharp Kabushiki Kaisha Autostereoscopic display and spatial light modulator
JP2864464B2 (ja) 1994-12-22 1999-03-03 日本ビクター株式会社 反射型アクティブ・マトリクス・ディスプレイ・パネル及びその製造方法
JPH08184711A (ja) * 1994-12-29 1996-07-16 Sony Corp 偏光光学素子
EP0722253A3 (en) * 1995-01-10 1996-10-30 Ibm Arrangements for projection display devices using optical valves in reflection
US5510215A (en) * 1995-01-25 1996-04-23 Eastman Kodak Company Method for patterning multilayer dielectric color filter
US5652667A (en) 1995-02-03 1997-07-29 Victor Company Of Japan, Ltd. Liquid crystal display apparatus
EP0731456A2 (en) 1995-03-04 1996-09-11 Sony Corporation Optical pickup and optical recording medium reproducing apparatus
US6062694A (en) 1995-03-06 2000-05-16 Nikon Corporation Projection type display apparatus
US5808795A (en) 1995-03-06 1998-09-15 Nikon Corporation Projection type display apparatus
JP3005706B2 (ja) 1995-03-13 2000-02-07 極東開発工業株式会社 ダンプトラック用荷台の床組み
US5719695A (en) * 1995-03-31 1998-02-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with superstructure light shield
US5751388A (en) 1995-04-07 1998-05-12 Honeywell Inc. High efficiency polarized display
US5535047A (en) 1995-04-18 1996-07-09 Texas Instruments Incorporated Active yoke hidden hinge digital micromirror device
DE69625642T2 (de) 1995-05-23 2003-05-28 Kyocera Corp Methode zu Herstellung eines optischen Polarisators
US5686979A (en) 1995-06-26 1997-11-11 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical panel capable of switching between reflective and transmissive states
EP0753785B1 (de) 1995-07-11 2016-05-11 Rolic AG Übertragung von Polarisationsmustern auf polarisationsempfindliche Photoschichten
CN1145835C (zh) 1995-07-17 2004-04-14 精工爱普生株式会社 反射型彩色液晶装置及使用反射型彩色液晶装置的电子设备
US5978056A (en) 1995-10-15 1999-11-02 Victor Company Of Japan, Ltd Reflection-type display apparatus having antireflection films
JPH09146061A (ja) 1995-11-17 1997-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶プロジェクション装置
JPH09159988A (ja) * 1995-12-12 1997-06-20 Nikon Corp 投射型表示装置
US6181386B1 (en) * 1995-12-29 2001-01-30 Duke University Projecting images
CA2193790C (en) * 1995-12-29 2001-03-13 Duke University Projecting images
US5751466A (en) 1996-01-11 1998-05-12 University Of Alabama At Huntsville Photonic bandgap apparatus and method for delaying photonic signals
US5838403A (en) 1996-02-14 1998-11-17 Physical Optics Corporation Liquid crystal display system with internally reflecting waveguide for backlighting and non-Lambertian diffusing
JP3282986B2 (ja) 1996-02-28 2002-05-20 富士通株式会社 液晶表示装置
US5867316A (en) 1996-02-29 1999-02-02 Minnesota Mining And Manufacturing Company Multilayer film having a continuous and disperse phase
US5828489A (en) 1996-04-12 1998-10-27 Rockwell International Corporation Narrow wavelength polarizing beamsplitter
JP3767047B2 (ja) 1996-04-26 2006-04-19 セイコーエプソン株式会社 投写型表示装置
US5826959A (en) 1996-05-09 1998-10-27 Pioneer Electronic Corporation Projection image display apparatus
JP3738505B2 (ja) 1996-05-10 2006-01-25 株式会社ニコン 投射型表示装置
US5841494A (en) 1996-06-26 1998-11-24 Hall; Dennis R. Transflective LCD utilizing chiral liquid crystal filter/mirrors
US5982541A (en) 1996-08-12 1999-11-09 Nationsl Research Council Of Canada High efficiency projection displays having thin film polarizing beam-splitters
US5912762A (en) 1996-08-12 1999-06-15 Li; Li Thin film polarizing device
US6291797B1 (en) 1996-08-13 2001-09-18 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Laser machining method for glass substrate, diffraction type optical device fabricated by the machining method, and method of manufacturing optical device
JPH1073722A (ja) 1996-08-30 1998-03-17 Sony Corp 偏光光学素子及びその製造方法
JP3557317B2 (ja) 1996-09-02 2004-08-25 テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド プロジエクタ装置及び色分離合成装置
JP3452472B2 (ja) * 1996-09-12 2003-09-29 シャープ株式会社 パララックスバリヤおよびディスプレイ
US6096155A (en) * 1996-09-27 2000-08-01 Digital Optics Corporation Method of dicing wafer level integrated multiple optical elements
US5833360A (en) 1996-10-17 1998-11-10 Compaq Computer Corporation High efficiency lamp apparatus for producing a beam of polarized light
US6390626B2 (en) 1996-10-17 2002-05-21 Duke University Image projection system engine assembly
US5991075A (en) 1996-11-25 1999-11-23 Ricoh Company, Ltd. Light polarizer and method of producing the light polarizer
US5914818A (en) 1996-11-29 1999-06-22 Texas Instruments Incorporated Offset projection lens for use with reflective spatial light modulators
USRE38194E1 (en) 1996-12-18 2003-07-22 Seiko Epson Corporation Projection display device
JPH10186302A (ja) 1996-12-27 1998-07-14 Fujitsu Ltd 表示装置及び偏光光源装置
US6008951A (en) 1996-12-31 1999-12-28 Texas Instruments Incorporated Offset projection zoom lens with fixed rear group for reflective spatial light modulators
US6075235A (en) * 1997-01-02 2000-06-13 Chun; Cornell Seu Lun High-resolution polarization-sensitive imaging sensors
US5886754A (en) * 1997-01-17 1999-03-23 Industrial Technology Research Institute Liquid crystal display projector
US5890095A (en) * 1997-01-21 1999-03-30 Nichols Research Corporation System for receiving and enhancing electromagnetic radiation input signals
US6249378B1 (en) 1997-02-28 2001-06-19 Nikon Corporation Mirror and projection type display apparatus
ATE404902T1 (de) 1997-03-10 2008-08-15 Fujifilm Corp Optischer kompensationsfilm für flüssigkristallanzeigen
US5958345A (en) 1997-03-14 1999-09-28 Moxtek, Inc. Thin film sample support
US6010221A (en) * 1997-05-22 2000-01-04 Nikon Corporation Projection type display apparatus
US5844722A (en) 1997-06-05 1998-12-01 Hughes-Jvc Technology Corporation Internal aperture mask for embedded optics
US6055103A (en) 1997-06-28 2000-04-25 Sharp Kabushiki Kaisha Passive polarisation modulating optical element and method of making such an element
US6247816B1 (en) 1997-08-07 2001-06-19 International Business Machines Corporation Optical system for projection displays using spatial light modulators
US5973833A (en) 1997-08-29 1999-10-26 Lightware, Inc. High efficiency polarizing converter
US5930050A (en) 1997-10-21 1999-07-27 Texas Instruments Incorporated Anamorphic lens for providing wide-screen images generated by a spatial light modulator
US5907427A (en) 1997-10-24 1999-05-25 Time Domain Corporation Photonic band gap device and method using a periodicity defect region to increase photonic signal delay
US7023602B2 (en) 1999-05-17 2006-04-04 3M Innovative Properties Company Reflective LCD projection system using wide-angle Cartesian polarizing beam splitter and color separation and recombination prisms
US6486997B1 (en) 1997-10-28 2002-11-26 3M Innovative Properties Company Reflective LCD projection system using wide-angle Cartesian polarizing beam splitter
US6005918A (en) 1997-12-19 1999-12-21 Picker International, Inc. X-ray tube window heat shield
JP3372466B2 (ja) * 1997-12-22 2003-02-04 ティーディーケイ株式会社 偏光板の製造方法
US5899511A (en) 1997-12-30 1999-05-04 Dinatale; Regis C. Ball retrieval device mountable upon end of grip of golf club
US6016173A (en) * 1998-02-18 2000-01-18 Displaytech, Inc. Optics arrangement including a compensator cell and static wave plate for use in a continuously viewable, reflection mode, ferroelectric liquid crystal spatial light modulating system
US5900976A (en) 1998-02-20 1999-05-04 Displaytech, Inc. Display system including a polarizing beam splitter
US6654168B1 (en) 1998-03-31 2003-11-25 Corning Incorporated Inorganic visible light reflection polarizer
US6496287B1 (en) 1998-04-09 2002-12-17 Rolic Ag Optical identification element
US6208463B1 (en) 1998-05-14 2001-03-27 Moxtek Polarizer apparatus for producing a generally polarized beam of light
US6108131A (en) * 1998-05-14 2000-08-22 Moxtek Polarizer apparatus for producing a generally polarized beam of light
US5943171A (en) 1998-06-03 1999-08-24 International Business Machines Corporation Head mounted displays utilizing reflection light valves
EP1042705A1 (en) * 1998-07-02 2000-10-11 Koninklijke Philips Electronics N.V. Image projection system
US6081376A (en) * 1998-07-16 2000-06-27 Moxtek Reflective optical polarizer device with controlled light distribution and liquid crystal display incorporating the same
CA2341432C (en) 1998-08-21 2008-01-15 Olivier M. Parriaux Device for measuring translation, rotation or velocity via light beam interference
US6082861A (en) * 1998-09-16 2000-07-04 International Business Machines Corporation Optical system and method for high contrast projection display
US6331060B1 (en) * 1998-10-08 2001-12-18 Sony Corporation Projection-type display device and method of adjustment thereof
US6172813B1 (en) * 1998-10-23 2001-01-09 Duke University Projection lens and system including a reflecting linear polarizer
US6172816B1 (en) * 1998-10-23 2001-01-09 Duke University Optical component adjustment for mitigating tolerance sensitivities
US6185041B1 (en) * 1998-10-23 2001-02-06 Duke University Projection lens and system
JP2000147487A (ja) 1998-11-06 2000-05-26 Ricoh Co Ltd 液晶表示装置
US6215547B1 (en) 1998-11-19 2001-04-10 Eastman Kodak Company Reflective liquid crystal modulator based printing system
US5986730A (en) 1998-12-01 1999-11-16 Moxtek Dual mode reflective/transmissive liquid crystal display apparatus
US6490017B1 (en) 1999-01-28 2002-12-03 Duke University Separating white light into polarized, colored light
JP3743190B2 (ja) 1999-02-02 2006-02-08 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置取り付けユニット及びそれを利用した投写型表示装置
JP3603650B2 (ja) 1999-03-08 2004-12-22 セイコーエプソン株式会社 調整機構及びこれを用いた投写型表示装置
WO2000057215A1 (en) 1999-03-22 2000-09-28 Mems Optical, Inc. Diffractive selectively polarizing beam splitter and beam routing prisms produced thereby
JP2000284117A (ja) 1999-03-30 2000-10-13 Fuji Elelctrochem Co Ltd グリッド偏光子及びその製造方法
JP3371846B2 (ja) 1999-04-06 2003-01-27 日本電気株式会社 ホログラム素子
EP1045272A3 (en) 1999-04-12 2004-02-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Reflective color liquid crystal display device
US6010121A (en) * 1999-04-21 2000-01-04 Lee; Chi Ping Work piece clamping device of workbench
US6515785B1 (en) 1999-04-22 2003-02-04 3M Innovative Properties Company Optical devices using reflecting polarizing materials
US6288840B1 (en) 1999-06-22 2001-09-11 Moxtek Imbedded wire grid polarizer for the visible spectrum
US6122103A (en) 1999-06-22 2000-09-19 Moxtech Broadband wire grid polarizer for the visible spectrum
EP1065559B1 (en) * 1999-07-01 2008-04-23 Sanyo Electric Co., Ltd. Rear projection display device
US6447120B2 (en) * 1999-07-28 2002-09-10 Moxtex Image projection system with a polarizing beam splitter
US6666556B2 (en) 1999-07-28 2003-12-23 Moxtek, Inc Image projection system with a polarizing beam splitter
US6234634B1 (en) * 1999-07-28 2001-05-22 Moxtek Image projection system with a polarizing beam splitter
US6282025B1 (en) 1999-08-02 2001-08-28 New Focus, Inc. Optical polarization beam combiner/splitter
JP4427837B2 (ja) 1999-09-03 2010-03-10 住友化学株式会社 ワイヤーグリッド型偏光光学素子
US6243199B1 (en) 1999-09-07 2001-06-05 Moxtek Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region
US6398364B1 (en) 1999-10-06 2002-06-04 Optical Coating Laboratory, Inc. Off-axis image projection display system
US6310345B1 (en) 1999-10-12 2001-10-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Polarization-resolving infrared imager
US6781640B1 (en) 1999-11-15 2004-08-24 Sharp Laboratories Of America, Inc. Projection display having polarization compensator
US6375330B1 (en) 1999-12-30 2002-04-23 Gain Micro-Optics, Inc. Reflective liquid-crystal-on-silicon projection engine architecture
EP1257264B1 (en) 2000-02-14 2011-09-14 Merck Sharp & Dohme Corp. Estrogen receptor modulators
US6340230B1 (en) * 2000-03-10 2002-01-22 Optical Coating Laboratory, Inc. Method of using a retarder plate to improve contrast in a reflective imaging system
EP1143744B1 (en) 2000-03-17 2008-09-24 Hitachi, Ltd. Image display device
US6661475B1 (en) 2000-03-23 2003-12-09 Infocus Corporation Color video projection system employing reflective liquid crystal display device
US6624936B2 (en) 2000-05-11 2003-09-23 3M Innovative Properties Company Color-compensated information displays
US6411749B2 (en) 2000-05-11 2002-06-25 Micro-Optice, Inc. In-line fiber optic polarization combiner/divider
JP2001330728A (ja) 2000-05-22 2001-11-30 Jasco Corp ワイヤーグリット型偏光子及びその製造方法
JP2001343512A (ja) * 2000-05-31 2001-12-14 Canon Inc 回折光学素子及びそれを有する光学系
JP3642267B2 (ja) * 2000-07-05 2005-04-27 セイコーエプソン株式会社 照明光学系およびこれを備えたプロジェクタ
US6816290B2 (en) 2000-07-05 2004-11-09 Sony Corporation Image display element, and image display device
US6704469B1 (en) * 2000-09-12 2004-03-09 Finisar Corporation Polarization beam combiner/splitter
US6409525B1 (en) 2000-12-11 2002-06-25 Tyco Electronics Corporation Terminal position housing assembly
AU2002241632A1 (en) 2000-12-27 2002-07-08 Technion Research And Development Foundation Ltd. Space-variant subwavelength polarization grating and applications thereof
US6532111B2 (en) 2001-03-05 2003-03-11 Eastman Kodak Company Wire grid polarizer
GB0106050D0 (en) 2001-03-12 2001-05-02 Suisse Electronique Microtech Polarisers and mass-production method and apparatus for polarisers
US6585378B2 (en) * 2001-03-20 2003-07-01 Eastman Kodak Company Digital cinema projector
US7375887B2 (en) 2001-03-27 2008-05-20 Moxtek, Inc. Method and apparatus for correcting a visible light beam using a wire-grid polarizer
US20020167727A1 (en) 2001-03-27 2002-11-14 Hansen Douglas P. Patterned wire grid polarizer and method of use
KR20030088142A (ko) 2001-04-20 2003-11-17 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 광학용 프리즘 배치 방법 및 장치
CN1232866C (zh) * 2001-05-18 2005-12-21 3M创新有限公司 偏振装置
DE10124803A1 (de) 2001-05-22 2002-11-28 Zeiss Carl Polarisator und Mikrolithographie-Projektionsanlage mit Polarisator
US20020181824A1 (en) 2001-05-30 2002-12-05 Shangyuan Huang Compact polarization beam combiner/splitter
US6669343B2 (en) 2001-05-31 2003-12-30 Koninklijke Philips Electronics N.V. Image display system
US6511183B2 (en) * 2001-06-02 2003-01-28 Koninklijke Philips Electronics N.V. Digital image projector with oriented fixed-polarization-axis polarizing beamsplitter
US6609795B2 (en) 2001-06-11 2003-08-26 3M Innovative Properties Company Polarizing beam splitter
US6813077B2 (en) 2001-06-19 2004-11-02 Corning Incorporated Method for fabricating an integrated optical isolator and a novel wire grid structure
US6510200B1 (en) 2001-06-29 2003-01-21 Osmic, Inc. Multi-layer structure with variable bandpass for monochromatization and spectroscopy
GB0119176D0 (en) 2001-08-06 2001-09-26 Ocuity Ltd Optical switching apparatus
US6857747B2 (en) 2001-08-06 2005-02-22 Advanced Digital Optics, Inc. Color management system
US6893130B2 (en) 2001-08-06 2005-05-17 Advanced Digital Optics, Inc. Color management system having a field lens
US6899432B2 (en) 2001-08-06 2005-05-31 Advanced Digital Optics, Inc. Color management system having a transmissive panel and optical isolator
WO2003019247A1 (fr) 2001-08-24 2003-03-06 Asahi Glass Company, Limited Polariseur multicouches a diffraction et element a cristaux liquides
US6547396B1 (en) 2001-12-27 2003-04-15 Infocus Corporation Stereographic projection system
US6829090B2 (en) 2001-10-01 2004-12-07 Sony Corporation Prism, projection device and optical component
US6922287B2 (en) 2001-10-12 2005-07-26 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Light coupling element
US6714350B2 (en) * 2001-10-15 2004-03-30 Eastman Kodak Company Double sided wire grid polarizer
JP2003202523A (ja) * 2001-11-02 2003-07-18 Nec Viewtechnology Ltd 偏光ユニット、該偏光ユニットを用いた偏光照明装置及び該偏光照明装置を用いた投写型表示装置
US6739723B1 (en) 2001-12-07 2004-05-25 Delta Electronics, Inc. Polarization recapture system for liquid crystal-based data projectors
US20030117708A1 (en) * 2001-12-21 2003-06-26 Koninklijke Philips Electronics N.V. Sealed enclosure for a wire-grid polarizer and subassembly for a display system
US6947215B2 (en) 2001-12-27 2005-09-20 Canon Kabushiki Kaisha Optical element, optical functional device, polarization conversion device, image display apparatus, and image display system
US7061561B2 (en) 2002-01-07 2006-06-13 Moxtek, Inc. System for creating a patterned polarization compensator
US6909473B2 (en) 2002-01-07 2005-06-21 Eastman Kodak Company Display apparatus and method
US20050008839A1 (en) 2002-01-30 2005-01-13 Cramer Ronald Dean Method for hydrophilizing materials using hydrophilic polymeric materials with discrete charges
WO2003069381A2 (en) 2002-02-12 2003-08-21 Unaxis Balzers Limited Optical component comprising submicron hollow spaces
US6590695B1 (en) 2002-02-26 2003-07-08 Eastman Kodak Company Micro-mechanical polarization-based modulator
JP2005519326A (ja) 2002-02-28 2005-06-30 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 複合偏光ビームスプリッタ
KR20030079268A (ko) 2002-04-03 2003-10-10 삼성에스디아이 주식회사 프로젝션 디스플레이 시스템
US7050234B2 (en) 2002-05-01 2006-05-23 Adc Telecommunications, Inc. Lossless beam combination in a dual fiber collimator using a polarizing beamsplitter
US6785050B2 (en) * 2002-05-09 2004-08-31 Moxtek, Inc. Corrosion resistant wire-grid polarizer and method of fabrication
US6899440B2 (en) 2002-05-17 2005-05-31 Infocus Corporation Polarized light source system with mirror and polarization converter
TW523119U (en) 2002-05-24 2003-03-01 Coretronic Corp Structure of polarizer module
US6876784B2 (en) 2002-05-30 2005-04-05 Nanoopto Corporation Optical polarization beam combiner/splitter
JP2004062148A (ja) 2002-06-04 2004-02-26 Canon Inc 光学部品及びその製造方法
US7131737B2 (en) 2002-06-05 2006-11-07 Moxtek, Inc. Housing for mounting a beamsplitter and a spatial light modulator with an output optical path
US6805445B2 (en) 2002-06-05 2004-10-19 Eastman Kodak Company Projection display using a wire grid polarization beamsplitter with compensator
US6823093B2 (en) 2002-06-11 2004-11-23 Jds Uniphase Corporation Tunable micro-optic architecture for combining light beam outputs of dual capillary polarization-maintaining optical fibers
JP4310080B2 (ja) 2002-06-17 2009-08-05 キヤノン株式会社 回折光学素子およびこれを備えた光学系、光学装置
US20040047039A1 (en) * 2002-06-17 2004-03-11 Jian Wang Wide angle optical device and method for making same
US7386205B2 (en) * 2002-06-17 2008-06-10 Jian Wang Optical device and method for making same
AU2003267964A1 (en) * 2002-06-18 2003-12-31 Nanoopto Corporation Optical components exhibiting enhanced functionality and method of making same
JP2004045672A (ja) * 2002-07-11 2004-02-12 Canon Inc 偏光分離素子およびそれを用いた光学系
AU2003257961A1 (en) 2002-08-01 2004-02-23 Nanoopto Corporation Precision phase retardation devices and method of making same
CN1682132A (zh) * 2002-08-21 2005-10-12 纳诺普托公司 用于提供光束偏振的方法和系统
KR100988705B1 (ko) * 2002-08-29 2010-10-18 소니 주식회사 광헤드 및 광기록 매체 구동 장치
US7324180B2 (en) 2002-09-06 2008-01-29 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Laminated retardation optical element, process of producing the same, and liquid crystal display
US6751003B2 (en) * 2002-09-12 2004-06-15 Eastman Kodak Company Apparatus and method for selectively exposing photosensitive materials using a reflective light modulator
US6920272B2 (en) 2002-10-09 2005-07-19 Nanoopto Corporation Monolithic tunable lasers and reflectors
US7013064B2 (en) * 2002-10-09 2006-03-14 Nanoopto Corporation Freespace tunable optoelectronic device and method
US6665119B1 (en) * 2002-10-15 2003-12-16 Eastman Kodak Company Wire grid polarizer
JP4376507B2 (ja) 2002-11-01 2009-12-02 リコー光学株式会社 偏光光学素子
JP4363029B2 (ja) * 2002-11-06 2009-11-11 ソニー株式会社 分割波長板フィルターの製造方法
US6811274B2 (en) 2002-12-04 2004-11-02 General Electric Company Polarization sensitive optical substrate
JP3599052B2 (ja) 2002-12-13 2004-12-08 ソニー株式会社 画像表示装置
US7113335B2 (en) * 2002-12-30 2006-09-26 Sales Tasso R Grid polarizer with suppressed reflectivity
US7113336B2 (en) 2002-12-30 2006-09-26 Ian Crosby Microlens including wire-grid polarizer and methods of manufacture
EP1597616A4 (en) * 2003-02-10 2008-04-09 Nanoopto Corp UNIVERSAL BROADBAND POLARIZER, DEVICES COMPRISING THE POLARIZER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE POLARIZER
US6943941B2 (en) 2003-02-27 2005-09-13 Asml Netherlands B.V. Stationary and dynamic radial transverse electric polarizer for high numerical aperture systems
US20040174596A1 (en) * 2003-03-05 2004-09-09 Ricoh Optical Industries Co., Ltd. Polarization optical device and manufacturing method therefor
EP1602947A4 (en) 2003-03-13 2007-03-28 Asahi Glass Co Ltd Diffraction element and optical device
US20060192960A1 (en) 2003-03-24 2006-08-31 Rencs Erik V Polarization detection
JP2004309903A (ja) 2003-04-09 2004-11-04 Ricoh Opt Ind Co Ltd 無機偏光素子および偏光光学素子および液晶素子
US7159987B2 (en) * 2003-04-21 2007-01-09 Seiko Epson Corporation Display device, lighting device and projector
US6846089B2 (en) * 2003-05-16 2005-01-25 3M Innovative Properties Company Method for stacking surface structured optical films
US20040227994A1 (en) 2003-05-16 2004-11-18 Jiaying Ma Polarizing beam splitter and projection systems using the polarizing beam splitter
WO2004106982A2 (en) 2003-05-22 2004-12-09 Optical Research Associates Optical combiner designs and head mounted displays
US20040258355A1 (en) 2003-06-17 2004-12-23 Jian Wang Micro-structure induced birefringent waveguiding devices and methods of making same
DE10327963A1 (de) 2003-06-19 2005-01-05 Carl Zeiss Jena Gmbh Polarisationsstrahlteiler
US6769779B1 (en) 2003-07-22 2004-08-03 Eastman Kodak Company Housing for mounting modulation and polarization components in alignment with an optical path
US6821135B1 (en) 2003-08-06 2004-11-23 Tyco Electronics Corporation Alignment plate for aligning connector terminals
EP1660240A2 (en) 2003-08-19 2006-05-31 Nanoopto Corporation Sub-micron-scale patterning method and system
JP4386413B2 (ja) * 2003-08-25 2009-12-16 株式会社エンプラス ワイヤーグリッド偏光子の製造方法
JP4593894B2 (ja) 2003-09-01 2010-12-08 キヤノン株式会社 光学式エンコーダ
DE10341596B4 (de) * 2003-09-05 2009-01-29 Carl Zeiss Polarisationsstrahlteiler
JP4475501B2 (ja) 2003-10-09 2010-06-09 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 分光素子、回折格子、複合回折格子、カラー表示装置、および分波器
JP2005121906A (ja) 2003-10-16 2005-05-12 Fuji Photo Film Co Ltd 反射型光変調アレイ素子及び露光装置
TWI223103B (en) * 2003-10-23 2004-11-01 Ind Tech Res Inst Wire grid polarizer with double metal layers
JP2005172844A (ja) 2003-12-05 2005-06-30 Enplas Corp ワイヤグリッド偏光子
KR20050057767A (ko) 2003-12-11 2005-06-16 엘지전자 주식회사 해상도 향상 장치 및 방법 그리고 이를 이용한디스플레이장치
US7203001B2 (en) * 2003-12-19 2007-04-10 Nanoopto Corporation Optical retarders and related devices and systems
TWI230834B (en) 2003-12-31 2005-04-11 Ind Tech Res Inst High-transmissivity polarizing module constituted with sub-wavelength structure
JP4527986B2 (ja) 2004-01-07 2010-08-18 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ワイヤグリッド型偏光子
KR20070015369A (ko) 2004-01-16 2007-02-02 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 광학 시스템
US7234816B2 (en) 2004-02-03 2007-06-26 3M Innovative Properties Company Polarizing beam splitter assembly adhesive
US7142375B2 (en) 2004-02-12 2006-11-28 Nanoopto Corporation Films for optical use and methods of making such films
JP2005242080A (ja) 2004-02-27 2005-09-08 Victor Co Of Japan Ltd ワイヤグリッドポラライザ
CN100337143C (zh) 2004-03-03 2007-09-12 株式会社日立制作所 光学单元以及使用该光学单元的投影型图像显示装置
JP4451268B2 (ja) 2004-03-04 2010-04-14 株式会社リコー 光学素子及びその製造方法と、これを用いた光学製品、光ピックアップ及び光情報処理装置
US7256938B2 (en) 2004-03-17 2007-08-14 General Atomics Method for making large scale multilayer dielectric diffraction gratings on thick substrates using reactive ion etching
US7025464B2 (en) 2004-03-30 2006-04-11 Goldeneye, Inc. Projection display systems utilizing light emitting diodes and light recycling
US7670758B2 (en) 2004-04-15 2010-03-02 Api Nanofabrication And Research Corporation Optical films and methods of making the same
US20050275944A1 (en) 2004-06-11 2005-12-15 Wang Jian J Optical films and methods of making the same
US7155073B2 (en) 2004-05-07 2006-12-26 Canon Kabushiki Kaisha Polarization element and optical device using polarization element
US20060001969A1 (en) * 2004-07-02 2006-01-05 Nanoopto Corporation Gratings, related optical devices and systems, and methods of making such gratings
JP4442760B2 (ja) 2004-08-06 2010-03-31 旭化成イーマテリアルズ株式会社 無機物の選択的パターン形成方法及びグリッド型偏光素子
DE102004041222A1 (de) 2004-08-26 2006-03-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Photonische Kristallstruktur
US7414784B2 (en) 2004-09-23 2008-08-19 Rohm And Haas Denmark Finance A/S Low fill factor wire grid polarizer and method of use
US7466484B2 (en) 2004-09-23 2008-12-16 Rohm And Haas Denmark Finance A/S Wire grid polarizers and optical elements containing them
KR100623026B1 (ko) 2004-10-06 2006-09-19 엘지전자 주식회사 선 격자 편광자 및 그 제조방법
JP2006126338A (ja) * 2004-10-27 2006-05-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd 偏光子およびその製造方法
JP2006133402A (ja) 2004-11-04 2006-05-25 Canon Inc 偏光分離素子及びそれを有する光学系
JP2006133403A (ja) 2004-11-04 2006-05-25 Canon Inc 偏光分離素子
US7351346B2 (en) 2004-11-30 2008-04-01 Agoura Technologies, Inc. Non-photolithographic method for forming a wire grid polarizer for optical and infrared wavelengths
EP1838899A2 (en) 2004-11-30 2007-10-03 Agoura Technologies Inc. Applications and fabrication techniques for large scale wire grid polarizers
US7630133B2 (en) 2004-12-06 2009-12-08 Moxtek, Inc. Inorganic, dielectric, grid polarizer and non-zero order diffraction grating
US7570424B2 (en) * 2004-12-06 2009-08-04 Moxtek, Inc. Multilayer wire-grid polarizer
US7800823B2 (en) 2004-12-06 2010-09-21 Moxtek, Inc. Polarization device to polarize and further control light
US7619816B2 (en) 2004-12-15 2009-11-17 Api Nanofabrication And Research Corp. Structures for polarization and beam control
JP2006201540A (ja) 2005-01-21 2006-08-03 Asahi Kasei Corp ワイヤグリッド偏光板及びその製造方法
JP4652110B2 (ja) 2005-04-21 2011-03-16 株式会社日立製作所 投射型映像表示装置
US8237876B2 (en) 2005-05-25 2012-08-07 Kim Leong Tan Tilted C-plate retarder compensator and display systems incorporating the same
US20070022349A1 (en) * 2005-07-07 2007-01-25 Agilent Technologies, Inc. Test apparatus with tester channel availability identification
JP4275692B2 (ja) 2005-10-17 2009-06-10 旭化成株式会社 ワイヤグリッド偏光板及びそれを用いた液晶表示装置
US20070183035A1 (en) 2005-10-31 2007-08-09 Koji Asakawa Short-wavelength polarizing elements and the manufacture and use thereof
US7475991B2 (en) 2005-12-22 2009-01-13 3M Innovative Properties Company Polarizing beamsplitter assembly
US20070217008A1 (en) 2006-03-17 2007-09-20 Wang Jian J Polarizer films and methods of making the same
JP2007257750A (ja) 2006-03-24 2007-10-04 Hitachi Media Electoronics Co Ltd 光ピックアップおよび光ディスク装置
JP3126910U (ja) 2006-04-04 2006-11-16 シンク精機株式会社 版面潰版装置
US20070242352A1 (en) 2006-04-13 2007-10-18 Macmaster Steven William Wire-grid polarizers, methods of fabrication thereof and their use in transmissive displays
EP2035889A2 (en) 2006-08-01 2009-03-18 Colorlink, Inc. Compensation schemes for lcos projection systems using form birefringent polarization beam splitters
US20080316599A1 (en) 2007-06-22 2008-12-25 Bin Wang Reflection-Repressed Wire-Grid Polarizer
US7755718B2 (en) * 2007-08-10 2010-07-13 Seiko Epson Corporation Optical element, liquid crystal device, and display
JP4412388B2 (ja) 2007-10-31 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 光学素子、液晶装置及び電子機器
JPWO2009123290A1 (ja) 2008-04-03 2011-07-28 旭硝子株式会社 ワイヤグリッド型偏光子およびその製造方法
CN102084275B (zh) 2008-07-10 2014-04-30 旭硝子株式会社 线栅型偏振器及其制造方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102955190A (zh) * 2011-08-26 2013-03-06 优志旺电机株式会社 偏振元件单元、其透射率设定方法及光照射装置
CN102323677A (zh) * 2011-09-29 2012-01-18 上海丽恒光微电子科技有限公司 偏振分光器件及其形成方法
CN102323677B (zh) * 2011-09-29 2013-06-19 上海丽恒光微电子科技有限公司 偏振分光器件及其形成方法
TWI472813B (zh) * 2012-02-17 2015-02-11 Nat Univ Tsing Hua 反射式偏光片
CN105452916A (zh) * 2013-08-07 2016-03-30 莫克斯泰克公司 多层吸收线栅偏振器
CN104865629A (zh) * 2015-06-05 2015-08-26 京东方科技集团股份有限公司 一种反射型偏光片及液晶显示装置
WO2019006800A1 (zh) * 2017-07-07 2019-01-10 深圳市华星光电技术有限公司 纳米线栅偏光片的制作方法
US10353239B2 (en) 2017-07-07 2019-07-16 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Method of manufacturing nanowire grid polarizer
CN113205746A (zh) * 2020-10-01 2021-08-03 友达光电股份有限公司 具有混合式显示面板的显示装置和其形成方法
CN113205746B (zh) * 2020-10-01 2022-09-20 友达光电股份有限公司 具有混合式显示面板的显示装置和其形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20090168171A1 (en) 2009-07-02
KR101234986B1 (ko) 2013-02-20
EP1820051A4 (en) 2010-01-20
JP4843617B2 (ja) 2011-12-21
US7570424B2 (en) 2009-08-04
AU2005314134A1 (en) 2006-06-15
WO2006063049A1 (en) 2006-06-15
US20060119937A1 (en) 2006-06-08
US20120008205A1 (en) 2012-01-12
US20100328770A1 (en) 2010-12-30
BRPI0518402A2 (pt) 2008-11-18
EP3570081A1 (en) 2019-11-20
EP1820051B1 (en) 2019-07-03
KR20070092233A (ko) 2007-09-12
US8027087B2 (en) 2011-09-27
US7813039B2 (en) 2010-10-12
EP1820051A1 (en) 2007-08-22
JP2008523422A (ja) 2008-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101073024A (zh) 多层线栅偏振器
CN101688938B (zh) 选择性吸收的线栅偏振器
CN110036319A (zh) 两侧均具有高反射率的线栅偏振器
CN103033870A (zh) 耐用的无机吸收式紫外栅偏振器
JP4338066B2 (ja) 無機可視光反射偏光子
CA2292808C (en) Thin film polarizing device having metal-dielectric films
JP3812527B2 (ja) 偏光ビームスプリッタ
EP2698655B1 (en) Optical multilayered film bandpass filter
JP2008286882A (ja) 偏光子
JP5833320B2 (ja) 偏光照明装置及び投影型映像表示機器
JP2016080847A (ja) 光学素子および光学機器
EP0845111A1 (en) Thin film polarizing device
JP2008191587A (ja) 偏光子
JP2006235543A (ja) 反射偏光子およびその製造方法、反射偏光子の製造装置ならびに液晶表示装置
US20140070251A1 (en) Reflective phase retarder and semiconductor light-emitting device including such reflecting phase retarder
JP2003066231A (ja) 偏光ビームスプリッタ
CN113215534A (zh) 光学元件及其制造方法
Peng et al. Design of MacNeille Polarizing Beam Splitter

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
REG Reference to a national code

Ref country code: HK

Ref legal event code: DE

Ref document number: 1111769

Country of ref document: HK

C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Open date: 20071114

REG Reference to a national code

Ref country code: HK

Ref legal event code: WD

Ref document number: 1111769

Country of ref document: HK