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Patentes

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Número de publicaciónCN101103089 A
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudCN 200680002121
Número de PCTPCT/US2006/000892
Fecha de publicación9 Ene 2008
Fecha de presentación10 Ene 2006
Fecha de prioridad11 Ene 2005
También publicado comoCN101103089B, EP1856229A2, EP1856229A4, US7186653, US7553430, US20050211953, US20070023731, US20070043230, US20090224200, WO2006076392A2, WO2006076392A3
Número de publicación200680002121.3, CN 101103089 A, CN 101103089A, CN 200680002121, CN-A-101103089, CN101103089 A, CN101103089A, CN200680002121, CN200680002121.3, PCT/2006/892, PCT/US/2006/000892, PCT/US/2006/00892, PCT/US/6/000892, PCT/US/6/00892, PCT/US2006/000892, PCT/US2006/00892, PCT/US2006000892, PCT/US200600892, PCT/US6/000892, PCT/US6/00892, PCT/US6000892, PCT/US600892
InventoresS·V·巴布, 尤达雅·B·帕特里, 斯里哈瑞·妮玛拉, 沙拉斯·海格德, 洪荣基, 苏尼尔·钱德拉·扎
Solicitante克莱麦克斯工程材料有限公司
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  SIPO, Espacenet
用于化学机械抛光的抛光浆液和方法
CN 101103089 A
Descripción  disponible en chino
Reclamaciones(25)  disponible en chino
Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
CN101876067B30 Abr 200922 Ago 2012比亚迪股份有限公司一种粗化液及一种丙烯腈-丁二烯-苯乙烯三元共聚物表面电镀方法
CN102559056A *16 Dic 201011 Jul 2012安集微电子(上海)有限公司一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液
CN105585965A *3 Nov 201518 May 2016盟智科技股份有限公司研磨组成物
CN106244022A *29 Jul 201621 Dic 2016曹蕊用于氮化镓半导体晶片的研磨液及其制备方法
Clasificaciones
Clasificación internacionalC09G1/02, C23F3/06, H01L21/321, C09K3/14, C09K13/04, C09K13/06, H01L21/302, C09K13/00
Clasificación cooperativaC09K3/1409, C09K3/1463, C23F3/06, C23F3/04, H01L21/3212, C09G1/02
Clasificación europeaC09K3/14B, C23F3/04, H01L21/321P2, C09G1/02, C09K3/14D2, C23F3/06
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
9 Ene 2008C06Publication
5 Mar 2008C10Request of examination as to substance
25 Abr 2012C14Granted