CN104838189A

CN104838189A - 真空阀

Info

Publication number: CN104838189A
Application number: CN201380063792.0A
Authority: CN
Inventors: B.杜伊里; T.布勒查; A.纽梅尔; C.安格斯特
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 2012-12-05
Filing date: 2013-11-13
Publication date: 2015-08-12
Also published as: WO2014086458A1; US9581262B2; US20150345662A1; EP2740979A1; JP2016504540A; KR20150091315A

Abstract

一个真空阀包括封闭体（3）和阀壳（1），该阀壳具有阀孔（4）和内室（2），在内室里面设置封闭体（3），该封闭体在真空阀的封闭状态顶靠在包围阀孔（4）的阀座（6）上。所述阀壳（1）具有限制内室（2）的由薄板构成的外壳壁（19），该外壳壁为了构成阀孔（4）配有窗口空隙（20）。所述阀孔（4）由法兰环（21）包围，该法兰环可以通过螺栓连接与具有内室的真空单元（27）的连接法兰（28）连接，在真空单元上可以连接真空阀。所述法兰环（21）具有阀座（6），所述封闭体（3）在真空阀的关闭状态中顶靠在该阀座上。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一个真空阀，包括封闭体和阀壳，该阀壳具有阀孔和内室，在内室里面设置封闭体，该封闭体在真空阀的封闭状态顶靠在包围阀孔的阀座上，其中所述阀壳具有限制内室的由薄板构成的外壳壁，该外壳壁为了构成阀孔配有窗口空隙，并且其中所述阀孔由法兰环包围，该法兰环可以通过螺栓连接与具有内室的真空单元的连接法兰连接，在真空单元上可以连接真空阀。

背景技术

已知，在真空阀中由薄板构成外壳壁，由此节省材料。由WO 2011/088482 A1和US 7,011,294 B1给出上述形式的真空阀。真空阀具有由薄板制成的外壳半体，它们形成对置的第一和第二外壳壁，外壳壁分别配有窗口空隙，用于构成阀孔。阀壳的各侧壁由两个外壳半体的弯曲段形成，其中两个外壳半体在侧壁部位相互焊接。在对置的外壳壁外侧面上焊接包围窗口空隙的接管，在其上又焊接实心的法兰环。通过这个实心的配有通孔的法兰环可以使真空阀与另一真空单元、例如真空室或管的连接法兰螺栓连接。为了赋予阀壳必需的稳定性，需要其它措施，尤其必需设有在两个法兰环之间延伸的且使两个法兰环相互支承的支承部件，它们焊接在两个法兰环上。由此使真空阀的加工变得昂贵。

由DE 29 27 369 A1给出另一、总体上由薄板制成的阀门。

此外，已知具有实心阀壳的真空阀，在阀壳中在阀壳内部设有可更换的环形嵌入件。通过密封相对于阀壳密封的嵌入件具有阀座，封闭体在真空阀的封闭状态顶靠在阀座上。例如由JP 2012-72888 A给出这种真空阀。在这里封闭体在其打开位置与其关闭位置之间直线地移动，在真空阀的关闭状态封闭体占据关闭位置，其中设置在封闭体上的密封和设置在阀座上的密封面具有三维的轮廓。通过预先使用已知具有可更换阀座的其它这样的真空阀。在此阀座从阀壳的内室与具有阀孔的外壳壁旋紧，通过使连接螺栓穿过阀座的通孔旋入到外壳壁里面的盲孔式螺纹孔里面。由此挤压在阀座与外壳壁之间的密封。通过阀座取出性，即使真空阀的阀壳与其它真空单元保持连接，也可以在阀座例如由于侵蚀的工艺气体磨损时更换阀座。也可以使用具有不同表面的阀座，它们例如抵制不同的工艺气体，它们在不同的真空过程中使用。由US 8,272,825B2给出另一具有可更换阀座的真空阀（参见图4A，右侧）。具有阀座的嵌入件在这里穿过实心外壳壁中的窗口空隙一直延伸到阀壳的外侧面，并且在那里具有密封，用于屏蔽工艺气体与阀壳的法兰密封，法兰密封设置在实心外壳壁的槽里面。

发明内容

本发明的目的是，提供上述形式的、有利且成本有利构成的真空阀。按照本发明这一点通过具有权利要求1特征的真空阀实现。

在按照本发明的真空阀中所述法兰环具有阀座，所述封闭体在真空阀的关闭状态中顶靠在阀座上。因此所述法兰环适合于双重功能。一方面，通过法兰环实现真空阀与真空单元连接法兰的螺栓连接，在真空单元上连接真空阀，另一方面，所述法兰环也构成真空阀的阀座。这能够实现有利地传递在封闭体的关闭状态中施加在阀座上的力或者至少其一部分力到真空单元上，在真空单元上连接真空阀。由此极大地减小对真空阀阀壳提出的刚性要求，这能够降低结构费用并由此节省成本。这个力传递有利地通过外壳壁实现，外壳壁夹紧在连接在窗口空隙上的、尤其环形的、在法兰环与连接法兰之间的部位。

为了构成在法兰环与真空单元的连接法兰之间的螺栓连接在本发明的可能的实施例中规定，所述法兰环配有螺纹孔。这些螺纹孔有利地以盲孔的形式构成，它们加入到法兰环的离开阀座的表面里面，即，背离阀壳的内表面。在构成具有螺纹孔的法兰环时，所述连接法兰可以有利地通过通孔构成，穿过通孔插进连接螺栓并且旋入到法兰环的螺纹孔里面，其中螺栓头支承在连接法兰上。在另一可能的实施例中为了构成在法兰环与真空单元的连接法兰之间的螺栓连接规定，所述法兰环具有用于插进连接螺栓的通孔。在这种情况下，连接螺栓有利地从阀壳内室穿过通孔插进法兰环，并且旋入到连接法兰中的螺纹孔里面。这些螺纹孔例如以盲孔的形式构成，它们从面对阀壳的连接法兰表面开始。

所述法兰环在装配状态在其与阀座对置的一侧上、即通过其离开阀座的表面支承在连接在外壳壁的窗口空隙上的、包围窗口空隙的外壳壁支承部位中的外壳壁上。在与真空单元的连接法兰连接的状态所述外壳壁、至少通过一部分支承部位、最好至少通过整个支承部位、尤其也通过超出支承部位的部位支承在连接法兰上。因此，至少通过一部分支承部位、最好通过整个支承部位所述外壳壁夹紧在法兰环与连接法兰之间，必要时通过设置在外壳壁与法兰环之间的密封环和/或通过设置在外壳壁与真空单元的连接法兰之间的密封环。通过这个夹紧也导致总体上加固阀壳。

如果所述真空阀不与真空单元连接，为了使法兰环不可遗失地固定在外壳壁上，所述法兰环最好通过固定螺栓与外壳壁连接。在此可以这样设计与真空单元通过连接螺栓的连接，使固定螺栓在真空密封地连接在真空单元上的真空阀状态没有功能。在此在真空阀连接在真空单元上的状态在法兰环与外壳壁之间的螺栓连接中产生间隙。

有利地这样实现在法兰环与外壳壁之间利用固定螺栓的螺栓连接，使固定螺栓穿过外壳壁中的通孔旋入到法兰环中的螺纹孔里面。在此连接螺栓头位于阀壳外部，即，在背离阀座的外壳壁一侧上。

在本发明的可能的实施例中规定，在法兰环与外壳壁之间设置密封环。取而代之或者附加地可以在外壳壁与连接法兰之间设置密封环。

为了构成在真空阀的法兰环与真空单元的连接法兰之间的密封可以在法兰环上设置环形密封，它例如设置在法兰环的槽里面或者硫化在法兰环上。这个密封为了共同作用配有位于连接法兰上的环形密封面。也可以选择，所述法兰环具有环形密封面，该密封面为了共同作用配有设置在连接法兰上的环形密封。上述密封措施也可以组合。

在本发明的有利实施例中，所述阀壳附加地对于目前所述的由薄板制成的第一外壳壁包括由薄板制成的第二外壳壁，该外壳壁为了构成阀壳的第二阀孔配有窗口空隙。在此附加地对于目前所述的第一法兰环设有第二法兰环，该法兰环包围第二阀孔并且该法兰环通过螺栓连接可以与另一真空单元的连接法兰连接，在该真空单元上连接真空阀。在此在这个实施例的可能的第一变体中，第二法兰环完全与第一法兰环类似地构成并且以相同的方式与其他部件（外壳壁、真空单元）连接或可以连接，此外第二法兰环没有用于封闭体的阀座地构成。在第二可能的变体中，第二法兰环也形成第二阀座，所述封闭体位于该阀座上，或者另一封闭体顶靠在该阀座上。

在按照本发明的真空阀中，所述封闭体和相应的阀座的几何形状可以以非常不同的方式构成。这同样适用于阀驱动装置。

例如，在按照本发明的真空阀中，所述封闭体在其在真空阀的打开状态中的打开位置与其在真空阀的关闭状态中的关闭位置之间的运动基本是L形的。例如由US 6,431,518 B1，WO 2010/065976 A1或WO 2010/034046 A1已知这种具有L运动的阀门，并且按照本发明的真空阀的阀驱动装置和封闭体形状例如可以如同在这些文献中所述地那样地构成。在此，所述L运动的各个运动部分可以由相同或不同的致动器唤起。

按照本发明的真空阀例如也可以这样构成，整个关闭运动在封闭体的打开位置与关闭位置之间总体上直线地实现。在这些真空阀中也没有扩涨封闭体，例如由US 4,809,950 A，US 6,685,163 B2，US 4,921,213 A或上述的US 7,011,294 B1已知这些真空阀。按照本发明的真空阀的阀驱动装置、封闭体的形状和阀座例如可以如同在这些文献中所述地那样地构成。例如由US 4,052,036 A或US 4,470,576 A已知按照滑阀形式的真空阀。按照本发明的阀驱动装置和封闭体形状例如可以如同在这些文献中所述地那样地构成。例如由US 7,011,294 B1和WO 2011/088482 A1给出具有楔形扩涨的封闭体的真空阀。按照本发明的真空阀的封闭体、阀座的形状和阀驱动装置例如可以如同在这些文献中所述地那样地构成。

也可以设想并实现按照本发明的真空阀的扩展结构，具有在其打开位置与其关闭位置之间围绕轴线可旋转的封闭体。具有封闭体的真空阀也称为往复阀，这些封闭体可以在打开位置与与阀座对置的、但是从阀座抬起的位置之间围绕轴线旋转，该轴线与阀座所在的平面成直角。按照本发明的真空阀的阀驱动装置和封闭体和阀座的形状也可以按照往复阀的形式构成。

本发明能够有利地使不同的法兰环在否则相同构成的阀壳里面使用。因此可以提供模块化系统，在该系统中所述阀壳以简单的方式可以通过使用相应的法兰环适配于不同的封闭体和/或阀驱动装置，也按照不同的密封原理，例如按照L阀或阀片的形式。

附图说明

下面借助于附图详细解释本发明的其它优点和细节。在附图中示出：

图1 按照本发明的真空阀实施例的视图；

图2 图1的剖面线AA的剖面图；

图3 图1的剖面线BB的剖面图（没有示出阀驱动装置）；

图4 图2的X放大细节；

图5 图3的Y放大细节；

图6和7 类似图2和图3的剖面图（没有示出阀驱动装置），在连接在真空室形式的真空单元上的真空阀状态；

图8和9 图6和7的V和W放大细节；

图10 真空阀的立体图，具有相互分开示出的真空阀部件；

图11和12 类似于图6和7的剖面图，其中真空阀连接在改型构成的、真空室形式的真空单元上；

图13和14 图11和12的T和U放大细节；

图15和16 类似于图6和7的按照本发明的真空阀第二实施例的剖面图；

图17和18 类似于图6和7的按照本发明的真空阀第三实施例的剖面图；

图19 类似于图9的按照本发明的真空阀第四实施例的示意图。

具体实施方式

在图1至14中示出按照本发明的真空阀的第一实施例。

真空阀具有阀壳1，它具有内室2，在其中设置在本实施例中板状的封闭体3。

在附图中所示的真空阀关闭状态中阀壳的阀孔4被封闭体3封闭，阀孔具有轴线5。为此封闭体3顶压在包围阀孔4的阀座6上。在所述的实施例中在封闭体6上设置弹性密封7，它顶靠在阀座6的密封面上。在改型的实施例中密封也可以设置在阀座6上，并且密封面设置在封闭体3上。

在真空阀的关闭状态封闭体3占据在附图中所示的关闭位置。

在真空阀的打开状态阀孔4被封闭体释放，其中封闭体占据其打开位置。封闭体3在真空阀的打开状态在阀孔4轴线5方向上看去最好不与阀孔4重叠。

封闭体3安置在阀杆8上。在所示实施例中在阀杆8上固定横支架9，它又固定在封闭体3上。通过横支架的扭转能够实现封闭体3围绕垂直于阀杆8的轴线的一定的倾翻，用于在真空阀的关闭状态以简单的方式达到至少很大程度上均匀地挤压密封。

通过利用阀驱动装置10调整阀杆8实现真空阀的打开和关闭。阀驱动装置10可以以不同的方式构成并且具有一个或多个致动器，它们例如气动或电地运行。

只在图2中作为示例简示出阀驱动装置10的可能结构。阀驱动装置包括活塞-缸单元形式的第一致动器11和活塞-缸单元形式的第二致动器12。这些致动器11,12的缸刚性地相互连接并且围绕垂直于阀杆8和阀孔4的轴线5的旋转轴13摆动，旋转轴只示意地标出。利用支承在驱动装置外壳15上的第二致动器12的活塞14，可以使相互连接的致动器11,12的缸克服复位簧16的力围绕旋转轴13摆动。安置在第一致动器11的活塞17上的活塞杆与阀杆连接或者形成阀杆8。例如，对于两个阀杆8可以设有以所示方式构成的致动器11,12，它们同步运行。阀杆例如也可以通过在旋转轴13的方向上延伸的轭与公共致动器11的活塞杆连接。

阀杆8分别通过波纹管18真空密封地与阀壳1连接。

如果真空阀要从所示的关闭状态打开，则首先第二致动器12的缸通气，由此使阀杆8被复位簧16围绕旋转轴13旋转，由此使封闭体3从阀座6上抬起，但是在此阀孔4在轴线5的方向上看去仍然被遮盖。接着利用第一致动器11轴向调整阀杆8，由此释放阀孔4。

为了关闭，首先利用致动器11使封闭体3在轴线5方向上看去遮盖阀孔4的、但是从阀座6抬起的位置调整。接着利用第二致动器12围绕旋转轴13调整阀杆8，由此使封闭体3顶压在阀座6上。

以这种方式关闭和打开的阀也可以称为L阀。代替直线移动与围绕旋转轴13的摆动相结合，也可以实现两个相互间直角延伸的直线运动形式的L运动，如同公知的那样。按照本发明的阀门也可以通过其它打开和关闭运动运行。

阀壳1具有在实施例中平面的、第一外壳壁19，具有窗口空隙20（参见图10）。阀孔4位于窗口空隙20部位，但是小于窗口空隙。第一外壳壁由薄板制成。薄板厚度为小于5mm，最好小于4mm，其中特别优选小于3mm。薄板厚度有利地大于1mm。尤其是钢板。

阀孔4由第一法兰环21的环孔形成，即，法兰环在阀孔的整个圆周上限制阀孔4。

在阀壳1的轴线5方向上看去，法兰环伸进到外壳壁19的窗口空隙20部位里面，而且在法兰环21的整个圆周上。

在外壳壁19的外侧面上的阀孔4轴线5方向上看去，法兰环21通过连接在其外圆周上的分段在其整个圆周上位于外壳壁19后面。因此，法兰环21向外以轴线5为基准的径向长度在法兰环21的整个圆周上大于窗口空隙20的相应长度。

换言之，法兰环在其背离封闭体3的、即与阀座6对置的一侧上支承在外壳壁19上，而且通过外壳壁19的一个窗口空隙20完全包围的外壳壁19支承部位上。法兰环21的环形支承部位与这个环形的外壳壁19支承部位共同作用。以阀孔4轴线5的径向为基准外壳壁19和法兰环21在其支承部位上重叠。

法兰环21在其面对外壳壁19的一侧上具有凹下，外壳壁19的支承部位位于其中。凹下连接在法兰环21的外圆周上。在本实施例中在轴线5方向上测量的凹下深度至少基本对应于外壳壁19薄板的厚度。凹下深度与外壳壁19板厚的偏差有利地小于外壳壁19薄板厚度的30%。

法兰环21实心地构成。法兰环以阀孔4轴线5方向为基准的厚度（=在其轴向表面之间的长度）在其整个空隙上大于5mm，最好大于1cm，其中特别优选大于1.5cm。

以阀孔4轴线5的方向为基准法兰环21的厚度大于外壳壁19厚度三倍、最好五倍。

以阀孔4轴线5的径向为基准的法兰环21的材料厚度（=在其径向表面之间的长度）在其整个圆周上大于1cm、最好大于2cm。

法兰环21具有以盲孔形式构成的螺纹孔22。螺纹孔从指向阀壳1外侧面的法兰环21表面开始（即，位于与阀座6对置的法兰环21一侧上）。在此螺纹孔22位于法兰环21部位，法兰环在阀孔4轴线5方向上看去位于窗口空隙20的部位。但是螺纹孔22也可以径向位于窗口空隙20外部，其中外壳壁19具有相应的孔，穿过这些孔达到螺纹孔22。

在法兰环21的指向阀壳1的内室2的轴向表面上法兰环21构成阀座6。在本实施例中，法兰环为此具有密封面，在其上在真空阀的关闭状态顶靠密封7。但是也可以在法兰环上设置密封，例如在槽里面或者硫化，并且封闭体3可以具有与密封共同作用的密封面。

法兰环21通过固定螺栓23与外壳壁19连接。为此法兰环21在其与阀座6对置的一侧上具有螺纹孔24，它们以盲孔的形式构成并且与外壳壁19中的孔25对中。固定螺栓23穿过孔25旋入到螺纹孔24里面，其中螺栓头分别在包围各个孔25的部位顶靠在外壳壁19的外侧面上。

固定螺栓23的纵向长度平行于阀孔4轴线5。

在本实施例中在外壳壁19与法兰环21之间设置弹性密封环26，该密封环以轴线5为基准径向位于固定螺栓23外部。在此密封环26可以如图所示设置在法兰环的槽里面。例如也可以设有硫化在法兰环21或外壳壁19上的密封环。

在改型的实施例中也可以省去密封环26（还见下面）。

通过法兰环实现真空阀在真空单元27上的真空密封连接，其中阀壳1的内室2通过阀孔4与真空单元28的内室联通。真空单元21例如是真空室。例如也可以是管道。真空单元27为了与法兰环21连接具有连接法兰28。在图6至9所示的实施例中连接法兰28由具有开孔29的真空单元27侧壁形成。为此这个侧壁具有通孔30，用于插入连接螺栓31，连接螺栓旋入到法兰环21的螺纹孔22里面。各个连接螺栓32的螺栓头支承在连接法兰28的内室侧的表面上。

连接螺栓31的纵向长度平行于阀孔4轴线5。

在连接法兰28与法兰环21之间设置由弹性材料制成的环形密封32。密封32以轴线5为基准径向位于连接螺栓31内部并且使法兰环21相对于连接法兰28密封。例如，密封32设置在法兰环21的槽里面并且顶靠在连接法兰28的密封面上。密封32也可以设置在连接法兰28的槽里面或者硫化在法兰环21上或者连接法兰28上。在两个部件21,28上也可以设置密封，它们分别顶靠在其它部件的密封面上。

此外，在外壳壁19与连接法兰28之间设置弹性密封环33，该密封环在真空阀连接在真空单元27上的状态使外壳壁19相对于连接法兰28密封。密封环33以轴线5为基准径向位于连接螺栓31外部并且径向位于固定螺栓23外部。例如，密封环33设置在连接法兰28的槽里面。密封环也可以硫化在连接法兰或外壳壁19上。

在真空阀与真空单元27连接的状态外壳壁19相对于法兰环21通过密封环26密封。在此可以通过连接螺栓31施加法兰环21在外壳壁19上所需的顶压力。固定螺栓23仅仅在这种状况下导致没有足够地挤压密封环26。由图4和5看出，如果真空阀不通过法兰环21连接在真空单元27上，则在法兰环21与外壳壁19之间在围绕密封环26的部位存在缝隙34。由图8和9看出，这个缝隙34在连接在真空单元27上的状态通过连接螺栓31关闭。因此在各固定螺栓23头与外壳壁19之间存在相应的缝隙35。即，固定螺栓23在真空阀通过法兰环21和连接螺栓31连接在真空单元27上的状态失去功能。

另一方面，原则上也可以设想并能够，仅仅固定螺栓23足够地挤压密封环26并且闭合缝隙34。为此固定螺栓23必需足够结实地设计并且为此必需设有足够数量的固定螺栓23。

在真空阀连接在真空单元27上的状态，外壳壁19在法兰环21与连接法兰28之间通过螺栓连接夹紧在这两个部件之间。在此在以轴线5为基础的这些部件的径向重叠部位实现夹紧。如果连接法兰28以径向为基准至少在连接在外壳壁19的窗口空隙20上的外壳壁19支承部位上延伸，通过这个支承部位法兰环21支承在外壳壁19上，通过外壳壁19的这个支承部位实现夹紧。

在图11和12中所示的连接示例中真空阀通过法兰环21与真空单元27连接，它具有径向向外按照环带形式突出的连接法兰28。仍然穿过连接法兰28的通孔30并旋入到法兰环21的螺纹孔22里面的连接螺栓31在这里位于真空部位外部（而它们在图6至9中所示的连接示例中位于真空范围内部）。相应地在连接法兰28与外壳壁19之间无需密封并且可以省去在图6至9中所示的密封环33。在真空阀与真空单元27之间的连接其余部分与上述相同。

阀壳1附加地对于第一外壳壁19具有与第一外壳壁19对置的、在本实施例中平面的由薄板制成的第二外壳壁36。外壳壁36具有窗口空隙37，位于阀壳1的第二阀孔38部位。第二阀孔38由实心的第二法兰环39在其整个圆周上限制。第二法兰环39用于真空阀真空密封地连接在另一真空单元40上，其中阀壳1的内室2通过第二阀孔38与真空单元40的内室联通。

第二阀孔38的轴线41在所示实施例中与第一阀孔4的轴线5重合。在另一实施例中这些轴线也相互平行地取向，但是相互错开，或者也相互间成角度取向。

在所示实施例中第二阀孔38的形状和尺寸对应于第一阀孔4的形状和尺寸。也可以设想和实现在形状和/或尺寸上不同的结构。

在这个实施例中由这个第二法兰环39不构成用于封闭体3的阀座。不考虑这个差别，第二法兰环39、第二外壳壁36、其相互间通过固定螺栓23的连接和通过固定螺栓31与其它真空单元40的连接的结构一致地对应于上面结合第一外壳壁19、第一法兰环21和其相互间和与真空单元27的连接的描述。因此在这里省去重复。

在也可以称为阀壳1的前面外壳壁和后面外壳壁的第一与第二外壳壁19,36之间延伸阀壳1的侧壁42,43，它们在对置的侧面上限制内室2。这些侧壁42,43在所示实施例中同样由薄板构成。例如，形成外壳壁19,36的薄板可以具有弯曲的端部，它们分别形成各个侧壁42,43的一部分。弯曲的分段的相互接触的边缘相互焊接。

在相互连接的外壳壁19,36和侧壁42,43上焊接由薄板制成的上和下法兰部件44,45，阀壳1的实心底部部件46和实心的盖部件47与这些法兰部件螺栓连接。例如，为此法兰部件44,45具有螺栓套。在法兰部件44与底部部件46之间并且在法兰部件45与盖部件47之间为了密封阀壳1的内室2分别设置弹性密封环48,49。

通过盖部件47的开孔50,51密封地引出阀杆8，例如利用弹性密封环或利用波纹管。

如果前面引用过的，在真空阀与真空单元之间的连接是真空密封的，则应该这样理解这一点，在阀壳内室2里面可以至少在大于一个小时上保持至少小于10-3mBar的压力。在此对于与阀壳1内室2联通的真空单元内室安排相同的容积，阀壳1内室2具有该容积并且另一阀孔应该通过盲法兰无泄漏地封闭。

由图15和16给出按照本发明的真空阀的第二实施例。除了下面的差别以外，该真空阀对应于在图1至14中所示的真空阀。

在这里封闭体3从其在真空阀的打开状态中的打开位置直线地移动到其在真空阀的关闭状态中的关闭位置。为此，至少一阀杆8（在其上安置封闭体3）被阀驱动装置10直线地在其纵轴线方向上移动。阀驱动装置10例如可以由唯一的活塞-缸单元形成，其活塞杆与至少一阀杆8连接或者形成阀杆8。设置在封闭体3上的密封和设置在阀座6上的密封面在这里具有三维的形状。也可以在阀座6上设置密封并且在封闭体3上设置密封面。例如由上述的现有技术已知具有以这个形状构成的封闭体和/或阀座的真空阀。

与真空单元27,40的连接与利用按照本发明的真空阀的第一实施例描述相同地实现。

图17和18示出按照本发明的真空阀的第三实施例。除了在下面描述的差别以外，结构与利用第一实施例描述的相同。与第二实施例类似，直线地实现封闭体3在其打开位置与其关闭位置之间的调整，通过至少一阀杆8由阀驱动装置10在轴向上移动。封闭体3在这里具有在横截面中楔形的结构。

与第一外壳壁19共同作用的第一法兰环21限制第一阀孔4，并且与第二外壳壁36共同作用的第二法兰环39限制第二阀孔38。第一法兰环21具有第一阀座6，封闭体3在真空阀的关闭状态在其第一侧面上顶靠在该阀座上。第二法兰环39具有第二阀座52，封闭体3在真空阀的关闭状态在其与第一侧面对置的第二侧面上顶靠在该阀座上。在所示的实施例中第一和第二阀座6,52由各法兰环21,39的密封面形成，并且封闭体3在真空阀的关闭状态通过设置在其上的第一和第二弹性密封7,53顶靠在各密封面上。也能够实现相反的结构，其中封闭体3具有第一和第二密封面，各阀座6,52具有包围各阀孔4,38的弹性密封。

封闭体3的第一和第二侧面和第一和第二阀座6,52倾斜于阀孔4,38的轴线5,41，其中它们相对于垂直于轴线5,41的平面在相反方向上倾斜。

如果封闭体3利用阀驱动装置10已经移动到其关闭位置，则可以规定，也可以没有在真空单元27,40之间出现的压力差地挤压密封7,53。但是也可以规定，弹性密封7,53只略微顶靠在密封面上，只有在出现压力差时才挤压密封。

例如由上述的现有技术已知这种结构。

按照这个实施例的真空阀和其与真空单元27,40的连接的其余部分与结合真空阀第一实施例的描述一致。

图19示出按照本发明的真空阀的第四实施例局部。在此它是上述第一实施例的改型。

该改型在于，为了建立与真空单元27的螺栓连接，法兰环21具有通孔54。真空单元37的连接法兰28具有螺纹孔55，真空阀通过其阀孔连接在真空单元上。这些螺纹孔以盲孔形式构成并且从面对法兰环21的连接法兰28的顶面开始。从阀壳1的内室2开始连接螺栓31穿过通孔54旋入到连接法兰28的螺纹孔55里面。在此，连接螺栓31的螺栓头支承在指向内室2的法兰环21表面上。

在法兰环21与连接法兰28之间又存在至少一密封32。这个密封可以设置在连接法兰28上或法兰环21上，并且这个密封使两个部件在通过连接螺栓31连接的状态相互密封。

至少一密封32径向位于连接螺栓31内部。

如同在上述实施例中一样，法兰环21通过固定螺栓23与外壳壁19连接，这在图19中只示意地表示。但是在这个实施例中可以省去在外壳壁19与法兰环21之间的密封环。

在真空阀的与真空单元27连接的状态，连接法兰28相对于外壳壁19通过至少一密封环33密封。这个密封环径向位于固定螺栓23外部。密封环33可以设置在连接法兰28上或外壳壁19上。

因此连接螺栓31在这个实施例中位于附属于阀壳1内室的真空部位。

该真空阀的其余部分可以与在图1至12中所示的相同地构成。

第二外壳壁36与第二法兰环39的部位和与第二真空单元40的连接也可以对应于图19的视图构成。在这些部件的这种结构中真空阀在第一外壳壁和第一法兰环21部位和与第一真空单元27的连接也可以以在图1至14中所示的方式构成。

其它所述实施例也可以以与图19中所示类似的方式改型。

在图19中所示的实施例中，也可以省去密封环33，并且取而代之可以设有位于法兰环21与连接法兰28之间的密封环，它径向位于连接螺栓31外部，并且设有设置在法兰环21与外壳壁19之间的密封环，它径向位于固定螺栓23外部。

在图19中所示的实施例也可以如下改型，与在图1至14中类似地存在向外环带形突出的连接法兰28。

也可以设想和实现所示实施例的其它改型，而不离开本发明的范围。例如，本发明也可以在真空阀中使用，它们具有在关闭时相互扩涨的封闭体。例如，如果连接螺栓也穿过外壳壁中的通孔，则可以通过改型地布置密封实现在法兰环、外壳壁（法兰环与它共同作用）、与连接法兰（法兰环与它连接）之间的密封。

因为固定螺栓23在法兰环21,39连接在连接法兰28上的状态中失去功能，由此原则上也可以省去固定螺栓。因此在装配时必需首先手动地使法兰环相应地定位。

附图标记清单

1　阀壳

2　内室

3　封闭体

4　阀孔

5　轴线

6　阀座

7　密封

8　阀杆

9　横支架

10　阀驱动装置

11　第一致动器

12　第二致动器

13　旋转轴线

14　活塞

15　驱动器外壳

16　复位簧

17　活塞

18　波纹管

19　外壳壁

20　窗口空隙

21　法兰环

22　螺纹孔

23　固定螺栓

24　螺纹孔

25　孔

26　密封环

27　真空单元

28　连接法兰

29　孔

30　通孔

31　连接螺栓

32　密封

33　密封

34　缝隙

35　缝隙

36　外壳壁

37　窗口空隙

38　阀孔

39　法兰环

40　真空单元

41　轴线

42　侧壁

43　侧壁

44　法兰部件

45　法兰部件

46　底部部件

47　盖部件

48　密封环

49　密封环

50　开孔

51　开孔

52　阀座

53　密封

54　通孔

55　螺纹孔

Claims

1. 一种真空阀，包括封闭体（3）和阀壳（1），该阀壳具有阀孔（4）和内室（2），在内室里面设置封闭体（3），该封闭体在真空阀的封闭状态顶靠在包围阀孔（4）的阀座（6）上，其中所述阀壳（1）具有限制内室（2）的由薄板构成的外壳壁（19），该外壳壁为了构成阀孔（4）配有窗口空隙（20），并且其中所述阀孔（4）由法兰环（21）包围，该法兰环可以通过螺栓连接与具有内室的真空单元（27）的连接法兰（28）连接，在真空单元上可以连接真空阀，其特征在于，所述法兰环（21）具有阀座（6），所述封闭体（3）在真空阀的关闭状态中顶靠在阀座上。

2. 如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述法兰环（21）为了与真空单元（27）的连接法兰（28）连接具有用于旋入连接螺栓（31）的螺纹孔（22）或用于插入连接螺栓（31）的通孔（54）。

3. 如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述法兰环（21）在其与阀座（6）对置的一侧上在外壳壁（19）上支承在连接在外壳壁（19）的窗口空隙（20）上的、包围窗口空隙（20）的外壳壁（19）支承部位上。

4. 如权利要求1至3中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述法兰环（21）通过固定螺栓（23）与外壳壁（19）连接。

5. 如权利要求4所述的真空阀，其特征在于，所述固定螺栓（23）穿过外壳壁（19）中的孔（25）并且旋入到法兰环（21）的螺纹孔（24）里面。

6. 如权利要求1至5中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述外壳壁（19）的薄板具有小于5mm的厚度。

7. 如权利要求1至6中任一项所述的真空阀，其特征在于，基于阀孔（4）轴线（5）方向所述法兰环（21）的厚度为大于外壳壁（19）厚度的三倍。

8. 如权利要求1至7中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述法兰环（21）在其面对外壳壁（19）的一侧上具有凹下，所述外壳壁（19）通过连接在窗口空隙（20）上的部位位于所述凹下里面。

9. 如权利要求1至8中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述阀壳（1）附加地对于形成第一外壳壁（19）的上述外壳壁（19）具有由薄板制成的第二外壳壁（36），第二外壳壁为了构成阀壳的另一阀孔（38）配有窗口空隙（20），其中附加地对于形成第一法兰环（21）的上述法兰环（21）设有第二法兰环（39），第二法兰环包围另一阀孔（38）并且第二法兰环通过螺栓连接与另一真空单元（40）的连接法兰（28）连接，在另一真空单元上可以连接真空阀。

10. 如权利要求9所述的真空阀，其特征在于，所述第二法兰环（39）为了与另一真空单元（40）的连接法兰（28）连接具有用于旋入连接螺栓（31）的螺纹孔（22）或用于插入连接螺栓（31）的通孔（54）。

11. 如权利要求9或10所述的真空阀，其特征在于，所述第一和第二外壳壁（19,36）设置在阀壳（1）的对置侧面上。

12. 如权利要求1至11中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述第一和第二外壳壁（19,36）通过由薄板组成的第一和第二侧壁（42,43）连接，并且通过阀壳（1）的盖部件（47）和底部件（46）相互连接，其中所述盖部件（47）和底部件（46）至少局部具有大于5mm的材料厚度。

13. 一种真空设备，包括具有内室的真空单元（27）和连接在真空单元（27）上的真空阀，该真空阀具有封闭体（3）和阀壳（1），阀壳具有阀孔（4），真空阀包围内室（2），在内室里面设置封闭体（3），该封闭体在真空阀的关闭状态顶靠在包围阀孔（4）的阀座（6）上，其中所述阀壳（1）具有由薄板制成的限制内室（2）的外壳壁（19），该外壳壁为了构成阀孔（4）配有窗口空隙（20），其中所述阀孔（4）被法兰环（21）包围，该法兰环通过螺栓连接与真空单元（27）的连接法兰（28）连接，其特征在于，所述法兰环（21）具有阀座（6），所述阀体（3）在真空阀的关闭状态顶靠在该阀座上。

14. 如权利要求13所述的真空设备，其特征在于，所述外壳壁（19）夹紧在真空阀的法兰环（21）与真空单元（27）的连接法兰（28）之间。

15. 如权利要求13或14所述的真空设备，其特征在于，为了连接真空阀与真空单元（27）所述法兰环（21）具有螺纹孔（22），在螺纹孔中旋入穿过连接法兰（28）的通孔（30）的连接螺栓（31），或者所述连接法兰（28）具有螺纹孔（55），在其中旋入穿过法兰环（21）的通孔（54）的连接螺栓（31）。