CN1115958A - 剥离膜方法及装置 - Google Patents

Abstract

一种剥离膜方法和装置，当振动器的振动棒从电路板的正面和背面拍出其上覆盖的叠层薄膜以便剥离该膜时，能吸收正面和背面叠层薄膜的覆盖位置中的振动，而且当它们彼此无用拍击时，能防止振动器振动棒的损坏。振动器位于电路板的正面和背面上覆盖有叠层薄膜的电路板的正面和背面上，而背面和正面承托辊于分别对着正面和背面振动器的振动棒的位置，背面和正面承托辊分别与正面和背面振动棒同步运动。

Description

剥离膜方法及装置

本发明涉及叠置在印刷电路板之类的载体上的剥离膜方法及装置。

电子设备中使用的印刷电路板包括绝缘底板和布线。布线是在绝缘底板的任何一面或两个面上用如铜的金属材料制成的，并具有给定的图形。这类印刷电路板是用以下的工艺制成的。

由光敏树脂(光刻胶)层和透光树脂膜(保护膜)构成的叠层件，是通过压辊在绝缘底板上设置的导电层上热压构成的。随后，再将布线图形膜放置在构成的叠层构件上，并使光刻胶层通过布线图形膜和透光树脂膜曝光，经过给定的时间周期。剥掉透光树脂膜之后，使已曝光的光刻胶层显影。由此形成刻蚀掩模图形。然后，刻蚀掉不需要的导电层部分。因而，形成了具有给定布线图形的印刷电路板。

通常，有许多方法和装置用于在印刷电路板制造工艺中自动剥离上述的保护膜。例如，日本专利(特许)公开平成6-3550中公开了一种薄膜剥离装置，它包括一个浮起装置，用该浮起装置的振动器的振动棒拍击叠层薄膜(由分别设置在印刷电路板上的刻胶光层和透光膜构成)的端部，由此，使透光膜从光刻胶层上浮起。

当两个叠层薄膜分别放在印刷电路板的正表面和背面时，按相同的方式，在印刷电路板的正面和背面分别设置两个振动棒，使其彼此相对。因此，振动棒的引出端通过叠层薄膜同时拍击印刷电路的正面和背面。印刷电路板从正面和背面受到相同的力。由此防止印刷电路板变形。

然而，如上所述，当两个叠层薄膜覆盖在印刷电路板的正面和背面时，覆盖位置可以彼此相对变化。这时，会在印刷电路板的推进方向上的叠层薄膜端部位置出现与其剥离位置有关的问题。为了吸收能预知的那么大的变化，期望用一个相当大的打击将振动棒的引出端从相互移动膜的端部位置上移开，用棒的引出端可靠地拍击叠层薄膜的端部。由此，使保护膜浮起。

这时，用传感器检测叠层薄膜的端部位置，以确定振动器的振动棒所加振动的起始点。然而，若起始点非常靠近印刷电路板的推进方向上的引出端、则振动棒的引出端可在偏离该电路板处拍击电路板。这会引起两个振动棒的引出端彼此无用的敲打而使振动棒自己损坏。

为一对振动棒，如上述常规剥离装置中一样，以彼此相对的方式，设置在薄膜电路板的下面和背面上时，那末，也会引起电路板变形。因此，必须按相当高的精度来设置上下两个振动棒的位置。

本发明克服上述常规剥离膜方法和装置中存在的缺陷。本发明的目的是提供一种膜的剥离方法和装置，以防止由于振动棒相互敲打而造成正面和背面振动棒的损坏，甚至在振动棒所加的振动范围大时，也能防止振动棒的损坏，也允许在设定阶段内使振动器的棒端位置之间可以移位。

为实现上述目的，按本发明，提供了一种剥离膜方法，其中两种叠层薄膜，分别由覆盖在印刷电路板的正面和背面的光刻胶层和透光膜构成，两个振动器，每个包括以这样方式分别设置在印刷电路板上、下面的振动棒，使得振动棒分别从印刷电路板的正面和背面围绕印刷电路板，并使振动棒的引出端以电路板位于其间而彼此相对地设置，振动棒的振动加到覆盖在电路板的正面和背面上的各个叠层薄膜的端部，由此，使透光膜的一部分从相应的光刻胶层浮起，并且，将透光膜从透光膜的浮起的部分剥落，该方法包括下列步骤：设定正面和背面振动棒引出端相对于电路板的位置，以使振动棒沿着电路板表面相互偏位。背面和正面的承托件分别放置在通过电路板和叠层薄膜的分别对着正面振动棒引出端和背面振动棒引出端的位置，背面和正面承托件沿着电路板和两个叠层薄膜分别与所述的相互面对的正面和背面振动棒引出端同步移动。

振动棒引出端加到叠层薄膜上的振动运动的起始点可以分别设定为电路板正面和背面上的叠层薄膜的端部、并与相邻的电路板的端缘隔开，正面和背面振动棒引出端以及背面和正面承托件可以从加到叠层薄膜上的振动运动的起始点移开一个给定的距离。而且，背面和正面的承托件可以是在振动棒移动方向与叠层薄膜接触的可滚动的辊子。

此外，为实现上述目的，按本发明，提供了一种剥离膜装置，它包括膜浮起装置，两个叠层薄膜，每个由光刻胶层和透光层组成，分别覆盖在电路板的正面和背面之后，包括振动棒的两个振动器按这样的方式分别放置在电路板的上边和下边，它们分别从电路板的正面和背面围绕电路板，并且，振动棒的引出端以电路板位于其间而彼此相对地设置。使振动棒的振动运动加在分别覆盖在印刷电路板正面和背面上的叠层薄膜的端部、由此，使透光膜的一部分从它们各自的光刻胶层上浮起，用于剥离透光膜的浮起部分的膜剥离膜装置，其中，设定正面和背面振动棒引出端相对于电路板的位置，以使它们沿电路板表面彼此偏位，而且，膜剥离装置中还包括分别设置在通过电路板和叠层薄膜对着正面和背面振动棒引出端的位置上的背面和正面的承托用件，该承托件与电路板和叠层薄膜接触并沿着它们与相对的正面和背面振动棒的引出端同步移动。

按照本发明，用背面和正面振动器的支承件分别支承背面和正面的承托件。可以用硬橡胶构成背面和正面的承托件，该承托件也可以是辊子。

膜浮起装置可以是包括棒运动装置的结构，棒运动装置在电路板的推进方向相对移动正面和背面的振动棒引出端。此外，膜浮起装置可以包括膜引出端传感器和控制装置。膜引出端传感器分别检测电路板推进方向的正面和背面叠层薄膜的引出端。检测装置根据膜引出端传感器的输出信号检测在推进方向上与电路板引出端隔开的原有的叠层薄膜的引出端，并将棒移动装置控制在被检测的引出端的正面和背面的棒引出端位置，并将它们从电路板推进方向中的位置移开给定距离。

每个叠层薄膜传感器包括一对导电接点，它们在电路板的宽度方向上相互隔开，并能与电路板表面和分别覆盖在电路板上的叠层薄膜接触。当该对导电接点分别与设置在电路板表面上的导电层接触时，叠层薄膜传感器掠过叠层薄膜上，当导电接点断开时，输出薄膜检测信号。

按本发明的方法，当用振动棒的引出端拍击叠层薄膜时，背面和正面的承托件用作接收件。由于背面和正面的承托件分别位于通过叠层薄膜和电路板与正面和背面振动棒引出端相对的位置，甚至当正面和背面振动棒的引出端位放置成在沿电路板表面彼此偏位，并用偏位的引出端在不同位置拍击电路板的正面和背面，电路板也不会变形。当设定正面和背面振动棒引出端的位置时，允许它们的位置之间有一些差别。而且，由于正面和背面振动棒引出端不是彼此相对，甚至当振动棒引出端从电路板上滑脱时，它们也不会彼此无用地拍击而造成相互损坏。

甚至电路板上的正面和背面的叠层薄膜端部的位置相互之间有很大差别时，仍能可靠地剥离该膜。

若承托件是在棒移动方向上能滚动接触的辊，承托件不会在运动中磨损该膜。而且，当承托件与相应的棒引出端直接接触并相对于该棒引出端滚动时，承托件不会为棒引出端拍击的同样位置，因而，损坏很小。

按本发明的装置，即使正面和背面棒引出端的位置相互偏位，电路板也不会变形。因此，可以允许正面和背面棒引出端的位置偏移。而且，即使棒在脱离电路板的位置振动，正面和背面棒引出端将不会彼此无用地相互拍打而造成彼此损坏。

若正面和背面棒同步运动，那么背面和正面承托件与它们一起运动，因此，背面和正面承托件总是分别位于与相应的正面和背面棒引出端相对的位置。

若用硬橡胶构成承托件，它们能缓冲相对的棒引出端冲击。而且，由于它们与电路板和叠层薄膜表面接触，与它们各自对着的棒引出端之间的某些位置差异是可以允许的。

若正面和背面承托件是辊子，当棒运动时，它们不会磨损膜表面。而且，当无用地拍击时，棒引出端不会重复地拍打同一位置。因此，承托件受的损坏很小。

用棒移动装置可以使与它们相对的棒引出端和承托辊规定在覆盖在电路板上的叠层薄膜的任何位置上。甚至当正面和背面叠层薄膜之间的覆盖位置不同时，也能使棒引出端可靠地运行，而使薄膜浮起。

用膜引出端传感器检测正面和背面叠层薄膜的引出端位置。用与电路板的引出端隔开的一个引出端作为基准，确定正面和背面棒引出端的位置。在控制装置的控制下，使正面和背面引出端在给定范围内运动，同时，它们拍击正面和背面的叠层薄膜，由此，可靠地浮起膜。

当给叠层薄膜传感器中设置的一对导电接点移动在叠层薄膜上时，可检测叠层薄膜的引出端。

图1是按本发明的剥离膜装置的实施例的主要部分放大侧视图；

图2是本发明的上述实施例的剥离膜装置的后视图；

图3是相应于图2所示III-III线部分的侧视图；

图4是在传感器周围的上述剥离膜装置的部分侧视图；

图5是上述实施例中用的薄膜引出端传感器的放大透视图；和

图6A至6E是展示上述薄膜引出端传感器的操作的总剖视图。

现在，将参考附图，对本发明的膜剥离方法和装置的实施例如下说明。

按图1所示的本实施例，提供一种剥离膜装置10，其中，有两个叠层薄膜12A，12B，每个叠层膜由光刻胶层11A和透光树脂膜11B构成，分别覆盖在电路板14的正面和背面，以沿着通路14A推进。一对正面和背面振动器16A和16B，分别包括正面和背面棒18A和18B，分别位于电路板14的上面和下面，设置的方式是使它们分别从电路板14的正面和背面围绕电路板。正面和背面棒18A和18B的引出端以电路板14位于它们之间的彼此相对地设置。剥离装置10包括膜浮起装置20，它将正面和背面棒18A，18B的振动运动加到正面和背面迭层薄膜12A，12B的端部，由此，使透光树脂11B的一部分从光刻胶层11A浮起，剥离膜装置22用于剥离透光树脂膜11B的已浮起部分。而且，按本剥离膜装置10，正面和背面棒18A，18B的引出端相对于电路板14的位置设置在电路板14的宽度方向上，沿电路板14的表面彼此偏离，并垂直于电路板14的推进方向。

背面承托辊24B和正面承托辊24A分别位于通过电路板14和两上叠层薄膜12A，12B与正面和背面棒18A和18B相对的位置。这些辊子与彼此相对的正面和背面辊18A和18B同步地，与电路板14和叠层薄膜12A滚动接触并沿着它们运动。用正面振动器16A的支撑件26A支撑正面承托辊24A，用背面振动器16B的支撑件26B支撑背面备用辊24B。用硬橡胶环构成每个正面和背面承托辊24A，24B，硬橡胶环可转动地支撑在垂直于电路板14的推进方向的方向上伸出的转轴上。

以相同方式分别位于图1中上、下的两个膜剥离装置22与正面和背面振动器16A、16B对应，并分别包括空气喷咀22A、22B，每个喷咀有平的和扇形的引出端部分。空气喷咀22A、22B分别固定至支撑件26A、26B上，并按空气喷咀的轴分别外切正面和背面备用辊24A和24B的弧的方式定位于电路板14的通路14A的各边上。通气管25A、25B用于分别给空气喷咀22A、22B提供气压。

用支撑件26A和26B通过支撑架28A和28B分别支撑正面和背面承托辊24A和24B。支撑架28A、28B分别包括与棒18A、18B的轴平行延伸的细长孔29。支撑架28A、28B用设置在棒支撑件26A、26B中的螺栓27嵌入细长孔29中。由此可在棒轴方向任意调节支撑架28A、28B的位置。

棒支撑件26A，26B均被支撑成通过垂直延伸的直导轨30A、30B能在垂直方向上任意调节。直导轨30A、30B分别安装成其固定侧件31分别固定在横梁32A、32B上，并且，其垂直的可移动件33分别可滑动地支撑在固定侧件31上，分别用弹簧34A、34B向上顶住它们。

横梁32A、32B分别水平安装在通路14A的上面和下面，并与电路板14的引出端平行。横梁32A、32B的两端在其长度方向上从装置的右侧壁和左侧壁35伸出，因此，如图2和3所示。横梁32A、32B在其伸出端分别连接到上面和下面的齿条36A和36B上端和下端。

上面的和下面的齿条36A和36B分别与齿轮38啮合，齿轮38与通过线路14A处于同一水平位置，这样，它们能在与通路14A垂直的方向上并且同步地接近或离开通路14A。更具体地说，气动缸40连接到上面的齿条36A，并用储气筒40通过上面的横梁32A驱动上面的齿条36A，下面的齿条36B通过齿轮38与上面的齿条36A同时被驱动。上面的齿条36A，下面的齿条36B，齿轮38和气动缸40分别位于上面的和下面的横梁32A、32B的两端，并安装成能与其左、右部分同步地垂直移动横梁32A、32B，并同时保持其水平状态。

此外，每个横梁32A、32B均设置一对左、右的正面振动器16A，一对左右的背面振动器16B，一对左右的正面承托辊24A，一对左右的背面承托辊24B。每个振动器上安装两个空气喷咀22A，和两个空气喷咀22B。因此，按本实施例的结构，一个承托辊和两个空气喷咀可以随一个振动器一起运动。

图2和3中，数字40A和40B分别指示垂直延伸的导杆，它们可滑动地延伸通过横梁32A、32B，以对它们定向。用可动的滑块42支撑的导杆40A和40B别穿过固定块41A和41B可动滑块43支撑更上面和下面的齿条36A、36B，齿轮38，导杆40A、40B。该滑块42也被支撑成使得其可沿设置在侧壁35外边上的导轨46A和设置在侧壁35的部分中的导轨46B平行于通路14A移动。而且，在上面的导轨46A中，按与可动滑块42相同的能平行于通路14A移动的方式，设置第二个可动滑块48。

第二个可动滑块48的下端与馈送电路板14的输送滚轮50运行连接的小齿轮50A啮合，并接到由小齿轮50A驱动的水平延伸齿条52，由此，第二个可动滑块48与输送滚轮50输送的电路板14同步推进。第二可动滑块48中，设置有一个气动缸54，气动缸54包括与可动滑块42连接的杆54A。气动缸54允许可动滑块42沿着通过线路14A在给定范围内相对第二个可动滑块48移动。用图3中所示控制装置56控制气动缸54来控制可动滑块42与第二可动滑块48之间的相对位置。安装在侧壁44的边上的第二储气筒58的杆58A连接到第二可动滑块48。因此，用第二气动缸58可使第二可动滑块48沿通路14A与齿条52一起往复移动。因此，用第二气动缸58通过齿条52和小齿轮50A48同步地驱动电路板14与第二可动滑块。

有关剥离膜工作完成，输送出电路板之后，第二气动缸58使齿条52和第二可动滑块48回到它们等待下一个电路板的等待位置。在该操作中，给小齿轮50A中装配一单向轴承(未画出)，以防止输送滚轮50反向。

上面的和下面的第二横梁60A、60B由与其构成一个整体的可动滑块42支撑。第二横梁60A和60B位于与上面和下面的横梁32A、32B平行并与它们相等距离的位置，它们固定在通路14方向上。如图2和4所示，用可动滑块42通过气动缸61A、61B分别支撑薄膜引出端传感器62A、62B和电路板引出端传感器64。这些传感器与剥离膜传感器66A、66B一起设置在上述各对左右和前后杆18A、18B之间。它们按薄膜引出端传感器62A、62B，电路板引出端传感器64，剥离膜传感器66A、66B的顺序安装在通路14A的方向上。

如图5所示，薄膜引出端传感器62A、62B每个包括一对导电接点68A、68B，导电接点68A，68B在电路板的宽度方向上彼此隔开。在分别覆盖在电路板14的正面和背面的导电层引出端与导电接点接时便可使之导电。意即，当使导电接点68A、68B上升到相应的叠层薄膜的引出端部分时，停止导电，然后，薄膜引出端传感器62A、62B分别将引出端检测信号输出给控制装置56。

电路板引出端传感器64是光传感器，当电路板引出端屏蔽了传感器64之间的光时，该传感器检测电路板14的引出端，将检测信号输出到控制装置56。剥离膜传感器66A，66B是光传感器，它检测由膜浮起装置20和剥离膜装置22剥离的膜。当薄膜引出端传感器62A、62B处于检测中时，气动缸61A、61B使它们接近通路14A。它们检测过薄膜引出端之后，立即反向，并用气动缸61A、61B使其回到与通路14A隔开的原始位置。

下面，将说明按本发明的上述装置的操作。

首先，以第二可动滑块48用第二气动缸58定位并固定在其等待位置作为标准，用气动缸54将可动滑块42移动并定位在通路方向上，如图4所示。而且，用气动缸将薄膜引出端传感器62A，62B在通过方向上以图6(A)所示状态推出到图6(B)所示状态，借此，准备检测电路板14的导电层。在该状态下，用输送辊沿着通路14A在传感器、薄膜浮起装置20和剥离膜装置22的方向上输送其正面和背面上覆盖有叠层薄膜12A、12B的电路板14。

当电路板14的引出端，如图6(C)所示，进入上面的和下面的导电接点之间时，打开它们，然后到达图4中65所指示的电路板引出端检测线，这过程用电路板引出端传感器64检测。响应该检测，上面和下面的薄膜引出端传感器62A、62B的导电接点68A、68B与电路板14的导电层(铜箔)69接触，进入导电状态。随后，叠层薄膜12A、12B与薄膜引出端传感器62A、62B中的一个或两个的导电接点68A、68B接触，由此截断导电接点68A、68B的导电。当控制装置56决定，薄膜引出端传感器62A、62B检测覆盖在电路板14的正面和背面的两个叠层薄膜12A、12B的引出端时，用气动缸筒58吸引第二个可动滑块48，由此，用小齿轮50A通过齿条52同步地推进电路板14与第二个可动滑块48。随后，用气动缸40通过齿条36A、36B驱动上、下横梁32A、32B，由此确定正面和背面振动器16A、16B，正面和背面振动棒18A、18B，正面和背面承托辊24A、24B，和空气喷咀22A、22B的垂直位置。而其设定位置，应使振动棒的引出端与薄膜表面上的薄膜引出端的内部接触。

就在电路板14推进和上、下薄膜引出端传感器62A、62B断开时，空气压力输入第二气动缸58、气动缸40和振动器16A、16B，并在短时间后便将空气压力同样加给气动缸54。与此同时，从空气喷咀22A、22B喷出空气压力。在该操作中，除去将薄膜引出端传感器62A、62B压靠在电路板14上的气动缸61A、61B中的空气。因此，这些传感器62A、62B处于离开电路板14的位置。

当可动滑块42和第二可动滑块开始水平运动时，开始引起振动器16A、16B作振动运动，正面的和背面的振动棒18A、18B与电路板14接触。随后，驱动可动滑块42，使与第二可动滑块48之间的距离缩小。

在上述操作中，气动缸54拉动可动滑块42一个设定的距离。因而，正面和背面的振动棒18A、18B的引出端与叠层薄膜12A、12B和电路板14同步运动、并且只在按预先设定的距离上拍击叠层薄膜12A、12B，正面和背面的振动棒18A、18B的引出端在电路板14的引出端方向运动。若在这些运动中正面的和背面的振动棒的冲击设定的那样大，那么，在叠层薄膜12A、12B和电路板14的引出端之间的距离的差异可被吸收。这就有可能使该棒可靠地拍击叠层薄膜的引出端。

当正面的和背面的振动棒18A、18B拍击叠层薄膜12A、12B的引出端时，随后，叠层薄膜12A、12B的透光树脂膜11B从光刻胶层11A上浮起。若从喷咀22A、22B向浮起部分喷出空气压力。随后，已浮起的部分剥离。剥离后，用膜传输装置(未画出)从剥离的部分开始顺序地从电路板14除去透光树脂薄膜11B，并排出通过线路的外部。

在该操作中，尽管在电路板14的宽度方向上正面和背面振动棒18A、18B偏位、承托辊24B、24A分别安装在通过电路板14的正面和背面振动棒18A、18B的相对边上。因而，即使振动棒从其正面和背面同时拍击电路板14，也不会使电路板14变形。

而且，当储气筒54通过可动滑块42使正面和背面振动棒18A、18B相对电路板14运动时，即使振动棒18A、18B通过电路板14的引出端、也不可能使正面和背面振动棒18A、18彼此拍击，从而可防止振动棒因无用时拍击造成的损坏。

而且，由于对着正面和背面振动棒18A、18B放置的背面和正面承托辊24B、24A是分别用硬橡胶制成的。它们可与电路板14和叠层薄膜12A，12B表面接触，因此，即使承托辊的位置稍稍偏离所对着的振动棒。在振动棒拍击时，电路板也能被可靠地夹住。

剥掉透光膜11B之后，电路板通过第二可动滑块48的位置，随后，从装置中退出。气动缸58使可动滑块42，第二可动滑块48、和齿条52随后分别回到各自的等待位置。重复该过程，以剥离更多的膜。

如上所述，在上述实施例中，承托辊24A、24B是用硬橡胶制成的。然而，并不限于此。承托辊也可以用软橡胶，金属，橡胶板件之类的材料造成，只要这些材料能承受振动棒18A、18B的引出端加到电路板14的冲击即可。

而且，在上述实施例中，用振动器支撑件26A、26B支撑承托辊24A、24B。然而，本发明并不限于此。承托辊可以单独被支撑，只要它们能与所面对的振动棒引出端同同步地运动即可。

图1-3示出的详细结构，仅表示实现膜的浮起，膜的剥离，和振动棒运动的典型情况，但它并不构成一种限制形式。应理解为，能完成膜的浮起，膜的剥离或振动棒运动的构件的任何组合将在本发明的组合中均可合格地工作，从最广义上说，申请人倾向于，本发明限制于能使膜浮起，剥离膜或使振动棒运动的专门结构。

尽管结合具体实施例详细说明了本发明，该说明并不意味着其构成受到某种限制，对本领域的普通技术人员而言，所公开的实施例的各种改型，以及本发明的其它实施例，在参照本发明的说明书后，将变得显然。因此，设想所附权利要求所覆盖任何这样的改型或实施例均落入本发明的合法范围内。

Claims (35)

1.一种剥离膜方法，其中，有两个叠层薄膜，每个叠层薄膜由光刻胶层和透光膜组成，分别涂覆在电路板的正面和背面，两个振动器，每个振动器包括振动棒，分别位于电路板的上面和下面，放置的方式是，振动棒分别从电路板的正面和背面围绕电路板，而且，振动棒的引出端相面对地放置在位于振动棒之间的电路板的位置，振动棒的振动运动加到覆盖在电路板正面和背面上的各个叠层薄膜的端部，由此，使透光膜的一部分从相联的光刻胶层浮起，从透光膜的浮起部分开始剥掉膜，所述方法包括工艺步骤：

设定所述正面和背面振动棒引出端相对于所述电路板的位置，以使它们沿所述电路板表面相互偏移，

将背面和正面的承托件设置在这样的位置上，以便使所述正面振动棒的引出端和所述背面振动棒的引出端通过所述电路板和所述叠层薄膜与背面和正面承托件相对；和

使所述背面和正面承托件分别沿所述电路板和两个叠层薄膜与所对着的正面和背面振动棒的引出端同步运动。

2.按权利要求1的膜剥离方法，

其特征在于，所述振动棒引出端加给所述叠层薄膜的所述振动运动的起始点设定为与相邻电路板的末端隔开一段距离的所述电路板所述正面和背面上的所述叠层薄膜的端部；和

其中，所述正面和背面振动棒引出端以及所述背面和正面承托件从所述起始点移动给定的距离的同时，所述振动运动加到所述叠层薄膜上。

3.按权利要求1或2的膜剥离方法，

其特征在于，所述背面和正面承托件是在所述振动棒的移动方向内与所述叠层薄膜可滚动接触的辊子。

4.一种剥离两个叠层薄膜的剥离膜装置，每个叠层膜由光刻胶层和透光膜组成，分别覆盖在电路板的正面和背面，包括：

两个振动器，每个振动器包括分别位于电路板上面和下面的振动棒，设置的方式是，振动棒分别从电路板的正面和背面围绕电路板；

其特征在于，所述正面和背面振动棒引出端以电路板位于其间而彼此相对地设置，并设定它们沿着所述电路板表面彼此偏离开；

在通过所述电路板和所述叠层薄膜对着所述正面和背面振动棒引出端的位置上分别设置背面和正面承托件，并能与所述电路板和所述叠层薄膜接触并沿所述电路板和所述叠层薄膜与所述的相对的正面和背面振动棒引出端同步接触运动；

一种膜浮起装置，将振动棒的振动运动加到分别覆盖在电路板正面和背面上的叠层薄膜的端部，以此，使透光膜的一部分从相应的光刻胶层上浮起；和

一种剥离膜装置，用于剥离透光膜的浮起部分中的膜。

5.按权利要求4的剥离膜装置，其特征在于，用所述背面和正面振动器的支撑件分别支撑所述背面和正面承托件。

6.按权利要求5的剥离膜装置，其特征在于，所述正面和背面承托件分别用硬橡胶制成。

7.按权利要求6的剥离膜装置，其特征在于，所述背面和正面承托件分别是辊子。

8.按权利要求7的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括振动棒运动装置，用于使所述正面和背面振动棒引出端在所述电路板的推进方向上相对运动。

9.按权利要求8的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括：

膜引出端传感器，分别用于检测在所述电路板推进方向上的所述正面和背面叠层薄膜的引出端；和

一个控制装置，用于在推进方向上，按从所述膜引出端传感器来的输出信号检测从所述电路板引出端延伸出的叠层薄膜的引出端，并用于控制所述振动棒运动装置以将所述正面和背面振动棒引出端放置在所述检测的引出端的位置上，并将它们在所述电路板推进方向上从所述位置移动给定的距离。

10.按权利要求9的剥离膜装置，其特征在于，每个所述叠层薄膜传感器包括一对导电接点，该导电接点位于所述电路板上，在所述电路板的宽度方向上相互隔开，并与所述电路板表面和分别覆盖在所述电路板上的所述叠层薄膜接触，且，当所述的一对导电接点与分别设置在所述电路板的所述表面上的导电层接触时，所述叠层薄膜传感器掠过所述叠层薄膜上，而，当导电断开时，输出薄膜检测信号。

11.按权利要求6的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括振动棒运动装置，用于使所述正面和背面振动棒引出端在所述电路板的推进方向上相对运动。

12.按权利要求11的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括：

膜引出端传感器，分别用于检测在所述电路板的推进方向上所述正面和背面叠层薄膜的引出端；和

一个控制装置，用于在推进方向上，按从所述膜引出端传感器来的输出信号检测从所述电路板的引出端延伸出的叠层薄膜的引出端，并用于控制所述振动棒运动装置以将正面和背面振动棒引出端的位置在所述检测的引出端的位置上，并将它们在所述电路板推进方向上从所述位置移动给定的距离。

13.按权利要求12的剥离膜装置，其特征在于，每个所述叠层薄膜传感器包括一对导电接点，位于所述电路板上，在所述电路板的宽度方向上相互隔开，并与所述电路板表面和分别覆盖在所述电路板上的所述叠层薄膜接触，且当所述一对导电接点与分别设置在所述电路板的所述表面上的导电层接触时，所述叠层薄膜传感器掠过所述叠层薄膜上，而当导电断开时，输出薄膜检测信号。

14.按权利要求5的剥离膜装置，其特征在于，所述背面和正面承托件分别是辊子。

15.按权利要求14的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括振动棒移动装置，用于使正面和背面振动棒引出端在所述电路板推进方向上相对运动。

16.按权利要求15的剥离膜装置，其中所述膜浮起装置包括：

膜引出端传感器，分别用于检测在所述电路板推进方向上所述正面和背面叠层薄膜的引出端；和

一个控制装置，用于在推进方向上，按从所述膜引出端传感器来的输出信号检测从所述电路板的引出端延伸出的叠层薄膜的引出端，并用于控制所述振动棒运动装置所述正面和背面振动棒引出端放置在所述检测的引出端的位置上，并，将它们在所述电路板推进方向上从所述位置移动给定的距离。

17.按权利要求16的剥离膜装置，其特征在于，每个所述叠层薄膜传感器包括一对导电接点，该导电接点位于所述电路板，在所述电路板的宽度方向上相互隔开，并与所述电路板表面和分别覆盖在所述电路板上的叠层薄膜接触，且当所述的一对导电接点与分别设置在所述电路板的所述表面上的导电层接触时，其中所述叠层薄膜传感器掠过所述叠层薄膜上，而，当导电断开时，输出薄膜检测信号。

18.按权利要求5的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮动装置包括振动棒运动装置，用于使所述正面和背面振动棒引出端在所述电路板的推进方向上，相对运动。

19.按权利要求18的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮动装置包括：

膜引出端传感器，分别用于检测在所述电路板的推进方向上所述正面和背面叠层薄膜的引出端；和

一个控制装置，用于在推进方向上，按从所述膜引出端传感器来的输出信号检测从所述电路板的引出端延伸出的叠层薄膜的引出端，并用于控制所述振动棒装置以所述正面和背面振动棒引出端放置，在所述检测引出端放置上，并将它们在所述电路板的推进方向上从所述位置移动给定的距离。

20.按权利要求19的剥离膜装置，其特征在于，每个所述叠层薄膜传感器包括一对导电接点，该导电接点位于所述电路板上在所述电路板的宽度方向上相互隔开，并与所述电路板和分别覆盖在所述电路板上的所述叠层薄膜接触且当所述一对导电接点与分别设置在所述电路板的所述表面上的导电层接触时，其中所述叠层薄膜传感器掠过所述叠层薄膜上，而当导电断开时，输出薄膜检测信号。

21.按权利要求4的剥离膜装置，其特征在于，所述背面和正面承托分别用硬橡胶制成。

22.按权利要求21的剥离膜装置，其特征在于，所述背面和正面承托件分别是辊子。

23.按权利要求22的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括振动棒运动装置，用于使所述正面和背面振动棒引出端在所述电路板的推进方向上相对运动。

24.按权利要求23的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括：

膜引出端传感器，分别用于检测在所述电路板的推进方向中所述正面和背面迭层薄膜的引出端；和

一个控制装置，用于在推进方向上，按从所述膜引出端传感器来的输出信号检测从所述电路板的引出端延伸出的叠层薄膜的引出端，并用于控制所述振动棒运动装置以将所述正面和背面振动棒引出端放置在所述检测的引出端的位置上，并将它们在所述电路板的推进方向上从所述位置移动给定的距离。

25.按权利要求24的剥离膜装置，其特征在于，每个所述叠层薄膜传感器包括一对导电接点，该导电接点位于所述电路板上，在所述电路板的宽度方向上相互隔开，并与所述电路板的表面和分别覆盖在所述电路板上的所述叠层薄膜接触，且当所述的一对导电接点与分别设置在所述电路板的所述表面上的导电层接触时，其中所述叠层薄膜传感器掠过所述叠层薄膜上，而当导电断开时，输出薄膜检测信号。

26.按权利要求21的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括振动棒运动装置，用于使所述正面和背面振动棒引出端在所述电路板的推进方向上相对运动。

27.按权利要求26的剥离膜装置，其中所述膜浮起装置包括：

膜引出端传感器，分别用于检测在所述电路板的推进方向上的所述正面和背面叠层薄膜的引出端，和

一个控制装置，用于在推进方向上，按从所述膜引出端传感器来的输出信号检测从所述电路板的引出端延伸出的迭层薄膜的引出端、并用于控制所述振动棒运动装置以将所述正面和背面振动棒引出端放置在所述检测的引出端的位置上，并用于将它们在所述电路板推进方向上从所述位置移动给定的距离。

28.按权利要求27的剥离膜装置，其特征在于，每个所述叠层薄膜传感器、包括一对导电接点、该导电接点位于所述电路板上，在所述电路板的宽度方向上相互隔开，并与所述电路板表面和分别覆盖在所述电路板上的所述叠层薄膜接触，且当所述的一对导电接点与分别设置在所述电路板的所述表面上的导电层接触时，其中所述叠层薄膜传感器掠过所述迭层薄膜上，而当导电断开时，输出薄膜检测信号。

29.按权利要求4的剥离膜装置，其特征在于，所述背面和正面承托件分别是辊子。

30.按权利要求29的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括振动棒运动装置，用于使所述正面和背面振动棒引出端在所述电路板推进方向上相对运动。

31.按权利要求30的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括：

膜引出端传感器，分别用于检测在所述电路板的推进方向上的所述正面和背面叠层薄膜的引出端；和

一个控制装置，用于在推进方向上，按从所述膜引出端传感器的来输出信号检测从所述电路板的引出端延伸出的叠层薄膜的引出端，并用于控制所述振动棒运动装置以将所述正面和背面振动棒引出端放置在所述检测的引出端的位置上，并将它们在所述电路板的推进方向上从所述位置移动给定的距离。

32.按权利要求31的剥离膜装置，其特征在于，每个所述叠层薄膜传感器包括一对导电接点，该导电接点位于电路板上，在电路板的宽度方向隔开，并与所述电路板表面和分别覆盖在所述电路板上的所述叠层薄膜接触，且当所述的一对导电接点与分别设置在所述电路板的所述表面上的导电层接触时，所述叠层薄膜传感器掠过所述叠层薄膜上，且当导电断开时，输出薄膜检测信号。

33.按权利要求4的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括振动棒运动装置，用于使所述正面和背面振动棒引出端所述电路板的推进方向上相对运动。

34.按权利要求33的剥离膜装置，其特征在于，所述膜浮起装置包括：

膜引出端传感器，分别用于检测在所述电路板的推进方向上的所述正面和背面叠层薄膜的引出端；和

一个控制装置，用于在推进方向上，按从所述膜引出端传感器来的输出信号检测从所述电路板的引出端延伸出的叠层薄膜的引出端，并用于控制所述振动棒运动装置以将的所述正面和背面振动棒引出端放置在所述检测的引出端的位置上，并将它们在所述电路板推进方向上从所述位置移动给定的距离。

35.按权利要求34的剥离膜装置，其特征在于，每个所述迭层薄膜传感器包括一对导电接点，该导电接点位于所述电路板上，在所述电路板的宽度方向上相互隔开，并能与所述电路板表面和分别覆盖在所述电路板上的所述叠层薄膜接触，且当所述一对导电接点与分别设置在所述电路板的所述表面上的导电层接触时，所述叠层薄膜传感器掠过所述叠层薄膜上，而当导电断开时，输出薄膜检测信号。

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