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Patentes

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Número de publicaciónCN1128193 A
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudCN 95108719
Fecha de publicación7 Ago 1996
Fecha de presentación26 Jul 1995
Fecha de prioridad26 Jun 1992
También publicado comoCN1076864C, CN1087750A, CN1108225C, CN1139105C, CN1214450C, CN1216404C, CN1284742A, CN1350322A, CN1414604A, CN1414615A, CN1921069A, CN1921069B, US5858473, US5897799, US5968383, US6002101, US6440785, US6991975, US7985635, US20060194377
Número de publicación95108719.3, CN 1128193 A, CN 1128193A, CN 95108719, CN-A-1128193, CN1128193 A, CN1128193A, CN95108719, CN95108719.3
Inventores山崎舜平, 张宏勇, 石原浩朗
Solicitante株式会社半导体能源研究所
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  SIPO, Espacenet
光学系统
CN 1128193 A
Descripción  disponible en chino
Reclamaciones(81)  disponible en chino
Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
CN103464891A *4 Jun 201325 Dic 2013三菱综合材料株式会社激光加工装置及激光加工方法
CN103464891B *4 Jun 201322 Jun 2016三菱综合材料株式会社激光加工装置及激光加工方法
Clasificaciones
Clasificación internacionalB23K26/067, B23K101/40, H01S3/09, G02F1/35, B23K26/06, H01L21/322, G02F1/00, B23K26/00, H01L21/00, H01L21/02, H01L21/324, G02B27/09, H01S5/024, H01S3/097, C23C14/58, C23C16/56, G02B13/00, H01S3/00, H01L21/20, H01L21/265, H01L21/26, H01L21/268
Clasificación cooperativaC23C16/56, G02B27/09, H01L21/2026, C23C14/5813, H01L21/268, H01L21/2022, C23C14/58, G02B27/0966, H01L21/84, H01L27/1285, H01L21/26513
Clasificación europeaH01L27/12T, G02B27/09S2L2, G02B27/09, C23C14/58B2, C23C14/58, C23C16/56, H01L21/268, H01L21/265A2, H01L21/20D2
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
17 Jul 1996C10Request of examination as to substance
7 Ago 1996C06Publication
14 May 2003C14Granted
21 Ago 2013C17Cessation of patent right