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Patentes

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Número de publicaciónCN1142681 A
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudCN 96108014
Fecha de publicación12 Feb 1997
Fecha de presentación4 Abr 1996
Fecha de prioridad4 Abr 1995
También publicado comoCN1080459C, US5637527
Número de publicación96108014.0, CN 1142681 A, CN 1142681A, CN 96108014, CN-A-1142681, CN1142681 A, CN1142681A, CN96108014, CN96108014.0
Inventores白镕求
Solicitante现代电子产业株式会社
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  SIPO, Espacenet
形成半导体器件的电荷储存电极的方法
CN 1142681 A
Descripción  disponible en chino
Reclamaciones(18)  disponible en chino
Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
CN101452842B30 Nov 200720 Oct 2010中芯国际集成电路制造(上海)有限公司一种可减小器件漏电流的金属电极制造方法
Clasificaciones
Clasificación internacionalH01L21/822, H01L27/04, H01L21/8242, H01L27/108, H01L21/02
Clasificación cooperativaH01L28/60, H01L27/10852
Clasificación europeaH01L27/108M4B2, H01L28/60
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
22 Ene 1997C10Request of examination as to substance
12 Feb 1997C06Publication
6 Mar 2002C14Granted
3 Jun 2009C19Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee