CN1160861A - 可变形反射镜器件及其加工方法 - Google Patents

Abstract

提供了一种可变形反射镜器件及加工方法，它减少了带有地址扫描电路的衬底的损坏并增加了移动反射镜的光反射效率。在加工方法中，第一和第二移动反射镜，及第一和第二柱体是加工在一个衬底上。地址扫描电路(SRAM)是单独加工在另一个衬底上。最后，两个衬底结合在一起。第二柱体是在第二移动反射镜被形成后用溅射法垂直形成的。

Description

可变形反射镜器件及其加工方法

本发明涉及一个可变形反射镜器件(DMD)及其加工方法，更具体地是涉及一个DMD和它的一个能够增加光反射效率，减少控制电路板损坏的制造方法。

一个通过静电力转动，用于反射光束的DMD通常应用于高清晰度电视的屏幕。如图1所示，这样的一个DMD是由许多通过绞链3相互连接起来，围绕柱体2转动的反射镜1构成。然而，由于这样的DMD使用了许多柱体2，这就降低了光反射率。

一个在美国专利5,083,857中公开的加工DMD的方法将参考图2A到2D进行描述。

如图2A所示，一个静态随机存取存储器(SRAM)502和一个氧化保护膜501被依次形成在一个含有地址扫描电路的衬底503的表面上。然后，第一间隔层701被形成在氧化保护膜501上以便有一个预定图案702。

此后，如图2B所示，通过溅射在具有预定图案702的第一间隔层701的表面上形成绞链401。具有绞链支承柱406的电极704被形成在绞链401的表面。

如图2C所示，第二间隔层705被形成在电极704上以便有一个预定的图案。然后，带有反射镜支承柱201的反射镜200被形成在第二间隔层705上。最后，第一和第二间隔层701和705被清除。如图2D所示。

这样，反射镜200通常就有了一个通过溅射形成的反射面。

可是，用上述工艺加工的DMD表现出了下述缺点，首先，既然SRAM502、氧化保护膜501、第一间隔层701、绞链401、绞链支承柱406、反射镜200、和反射镜支承柱201是被依次淀积在衬底503的表面上，那么在加工绞链401和反射镜200时可能出现的失败将损坏SRAM502。

再者，由于反射镜支承柱201和反射镜200是通过溅射集成在一起而使反射镜200有一个凸出部分，这样就降低了光反射效率。

本发明将克服上述缺陷。本发明的目的是提供一个可变形反射镜器件及其能增加光反射效率，减少控制电路板的损坏的加工方法。

为了达到上述目的，提供了一个可变形反射镜器件，它包括一个带有地址扫描电路的衬底、许多形成在衬底表面上的电极、可旋转的形成在上述电极上的第一移动反射镜、在电极和第一移动反射镜之间的用于支承第一移动反射镜的第一柱体、形成在第一移动反射镜的表面上的第二柱体、和由第二柱体以可旋转方式支承的第二移动反射镜，其中第二柱体是垂直形成在第一移动反射镜和第二移动反射镜之间。

依据本发明的一个方面，第一和第二移动反射镜是用铝形成的。

为了达到本发明的上述目的，还提供了一个加工可变形反射镜器件的方法，这个器件包括，一个带有地址扫描电路的衬底、许多形成在衬底表面上的电极、可旋转的形成在上述电极上的第一移动反射镜、电极和第一移动反射镜之间用于支承第一移动反射镜的第一柱体、形成在第一移动反射镜的表面上的第二柱体、和由第二柱体以可旋转方式支承的第二移动反射镜；这个方法包括的步骤有：

在一个衬底上形成第二移动反射镜以便有一个预定的图案；

在第二移动反射镜上形成第二柱体；

在第二柱体上形成第一移动反射镜；

在第一移动反射镜上形成第一柱体；

在第一柱体上形成电极；和

把第一和第二移动反射镜，第一和第二柱体及电极与衬底结合在一起。

本发明的上述目的和优点通过参考附图描述一个优选的实施例会变得更清楚。在附图中：

图1是一种传统的DMD的方案图；

图2A到2D表示加工传统的DMD的工艺步骤；

图3A到3N表示依据本发明加工DMD的工艺步骤；

图4是依据本发明的DMD的示意图；

图4表示依据本发明的一个DMD。如图4，一个热氧化膜20和一个预定图案的电极30被形成在带有地址扫描电路(未画出)的衬底10的表面上。第一柱体40形成在电极30上。第一移动反射镜50是由第一柱体40以可旋转方式支承的。第二柱体60是形成在第一移动反射镜50上，和第二移动反射镜70是以可旋转支承方式形成在第二柱体60上。

依据本发明的特性，第二柱体60是垂直形成在第一移动反射镜50和第二移动反射镜70之间。第二柱体60可以通过溅射形成在第二移动反射镜70的下表面。因此，与先有技术不同，没有凹面部分形成在第二柱体60和第二移动反射镜70的边界上。这里，第一和第二移动反射镜50和70是用铝形成的。

在如上述所构成的DMD中，当一个预定的电位通过衬底20的地址扫描电路加到第一柱体40上时，第一移动反射镜50就依据电位差转动。于是，支承在第一移动反射镜50上的第二柱体60和第二移动反射镜70也转动。

这里，因为没有在第二柱体60和第二移动反射镜70的边界上产生凹面部分，第二移动反射镜70的光反射效率与先有技术相比增加了。

此后，将描述依据本发明的加工DMD的方法。

如图3A所示，第二移动反射镜70以一个预定的形状形成在硅或玻璃衬底100上。这里，第二移动反射镜70是通过蒸发或溅射用铝形成的。如图3B和3C所示，一个光刻胶层71被形成在衬底100和第二移动反射镜上使之形成有一个预定的图案。如图3D所示，第二柱体60的形成在第一光刻胶层71的图案中。这里，第二柱体60是通过溅射从第二移动反射镜上延伸出来的。

如图3E和3F所示，第二光刻胶层61被形成在第二柱体60和第一光刻胶层71上，并使之形成一个预定的图案。如图3G所示，第一移动反射镜50被形成在第二光刻胶层61的图案中。这里，第一移动反射镜50是通过蒸发或溅射用铝形成的。第二柱体60是垂直形成在第一移动反射镜50和第二移动反射镜70之间。

此后，如图3H和3I所示，第三光刻胶层51被形成在第一移动反射镜50和第二光刻胶层61之上，并使之有一个预定的图案。如图3J所示，第一柱体40被形成在第三光刻胶层51的图案中。

这里，第一和第二柱体40和60是用导电金属形成的。

然后，如图3K所示。第四光刻胶层41被形成在第一柱体40和第三光刻胶层51之上，并使之有一个预定的图案。如图3L所示，电极30被形成在第四光刻胶层41的图案中。

如图3M和3N所示，在上述步骤中形成的第一和第二移动反射镜50和70，第一和第二柱体40和60，及电极30被结合到带有地址扫描电路并且上面已形成有电极11和热氧化膜20的衬底10上。

最后，光刻胶层被除掉，衬底100被剥离，就得到了一个如图4所示的完整的DMD。

上述的依据本发明的加工DMD的方法具有下述优点：

首先，由第一和第二移动反射镜50和70、第一和第二柱体40和60、和电极30的制造中的可能的失败引起的衬底10的损坏可以防止，因为衬底10的加工独立于第一和第二移动反射镜50和70、第一和第二柱体40和60、及电极30。

第二，因为没有凹面部分形成在第二柱体60和第二移动反射镜70的边界上，与传统工艺相比，光反射效率增加了。

Claims (8)

1、一个可变形反射镜器件，包括一个带有地址扫描电路的衬底、多个形成在所说的衬底表面上的电极、可旋转的形成在所说的电极上方的第一移动反射镜、在所说的电极和第一移动反射镜之间用于支承第一移动反射镜的第一柱体、形成在第一移动反射镜的表面上的第二柱体、和由第二柱体以可旋转方式支承的第二移动反射镜，其特征在于，所说的第二柱体是垂直形成在第一移动反射镜和第二移动反射镜之间。

2、权利要求1所述的可变形反射镜器件，其特征在于所说的第一和第二移动反射镜是用铝形成的。

3、权利要求1所述的可变形反射镜器件，其特征在于所说的第一和第二柱体是由导电金属制成的。

4、一个加工由带有地址扫描电路的衬底、多个形成在所说的衬底的表面上的电极、可旋转的形成在所说的电极上方的第一移动反射镜、在所说的电极与第一移动反射镜之间用于支承所说的第一移动反射镜的第一柱体、形成在第一移动反射镜的表面上的第二柱体、和由第二柱体以可旋转方式支承的第二移动反射镜构成的可变形反射镜器件的方法包括的步骤有：

在一个衬底上形成所说的第二移动反射镜，使它有一个预定的图案；

在所说的第二移动反射镜上形成所说的第二柱体；

在第二柱体上形成所说的第一移动反射镜；

在第一移动反射镜上形成所说的第一柱体；

在第一柱体上形成所说的电极；和

把所说的第一和第二移动反射镜、第一和第二柱体、及电极的组合与所说的衬底结合在一起。

5、权利要求4所述的加工可变形反射镜器件的方法，其特征在于所说的第一和第二移动反射镜是用溅射铝形成的。

6、权利要求4所述的加工可变形反射镜器件的方法，其特征在于所说的第一和第二移动反射镜是用蒸铝形成的。

7、权利要求4所述的加工可变形反射镜器件的方法，其特征在于所说的第一和第二柱体是由导电金属制成的。

8、权利要求4所述的加工可变形反射镜器件的方法，其特征在于所说的第二柱体是用溅射法从第二移动反射镜垂直延伸形成的。

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