CN1221873C - 利用文件服务器的自动化系统及其控制方法 - Google Patents

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Abstract

根据本发明的自动化系统中，所有设备通过网络与文件服务器连接，使设备之间可以共享各设备的作业结果数据。一个设备(如，检测器)所完成的作业结果数据存储在文件服务器中，而其他设备(如，保修器)可以利用存储在文件服务器中的上述数据进行作业。

Description

利用文件服务器的自动化 系统及其控制方法
技术领域
本发明涉及自动化系统及其控制方法，特别是涉及有关制造半导体或薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor liquid crystal(display；以下称TFT-LCD)等时使用的自动化系统及其控制方法。
背景技术
过去用于制造TFT-LCD等工程时使用的自动化系统如图1所示，它包括：多个设备30a-30n；与多个设备一对一连接的多个设备服务器20a-20n；和，控制设备服务器的主机10。
多个设备30a-30n在多个设备服务器20a-20n的控制下，对作业对象的组合物(如，盒)40)内的作业对象(如，玻璃、晶片等)进行作业。然后，设备30a-30n把作业结果数据传送给相对应的设备服务器20a-20n。
下面参照图1，以TFT-LCD的作业过程为例，对过去使用的自动化系统进行说明。在图1中，假设第1设备30a为检测器，第2设备30b为补修器。
首先，检测器30a从自动运送装置(图中未示出)运来的盒40(作业对象组合物)中取出玻璃，对各玻璃进行检测。把检测结果数据存储在检测器内的硬盘中。检测完的盒40被自动运送装置运送到补修器30b。
补修器30b有必要根据检测器30a的检测结果对玻璃进行补修。所以，在使用以往的系统时，工作人员先用软盘50复制检测器内的检测结果数据，然后输入到补修器。这样，补修器根据检测器的检测结果数据对玻璃进行补修。
如上所述的现有系统中，存在如下缺点：第一，把检测器所进行的检测结果数据存储在检测器内的硬盘，工作人员必须亲自用软盘50复制该硬盘内的数据，再输入到补修器内；第二，因可能发生的软盘50错误而耽误不必要的时间。第三，因工作人员手动操作软盘50，所以，有可能输入别的作业物的检测结果数据，从而使补修器执行错误的命令。
为了解决上述问题，在现有技术中，采用了利用RS-232C电缆等串行通信线代替软盘来连接检测器和补修器，以将检测结果数据直接传送到补修器的方法。
但是，因RS-232C电缆是以一对一的传递方式使用的，所以数据只能在RS-232C电缆连接的检测器与补修理器之间传送。所以，在使用RS-232C电缆的现有技术中，要使其他多个设备也利用其中一个设备的作业结果数据是不可能的，所以只能是工作人员亲自移动软盘。另外，当利用RS-232C电缆的方式时，因其传送速度缓慢，所以在传送容量大的作业结果数据时需要相当长的时间。
本发明为了解决上述现有技术中的缺点，把每个设备通过网络与文件服务器相连接，使所有设备共享其中一个设备的作业结果数据，从而使每个设备可以自由地使用其他设备的作业结果数据。
发明内容
为了实现上述目的，本发明设置了与各设备相联网的文件服务器，把各设备所执行完的作业结果数据存储在文件服务器内，从而使后执行的设备可以自由地使用前一设备所执行完的作业结果数据。
根据本发明的第一方面的自动化系统包括：
对作业对象进行不同作业的多个设备；与多个设备联网的存储各设备作业结果数据的一个以上的文件服务器；与多个设备一对一连接的控制各设备的多个设备服务器；和，向相应各设备服务器提供各设备作业所需数据的主机。
在这里，每个设备可以通过文件服务器共享其他各设备的作业结果数据，所以，各设备可以自由地利用其他设备的作业结果数据而进行作业。
另外，上述自动化系统还可包含自动运送作业物到各设备的自动运送装置，该自动运送装置受从主机得到指令的自动运送装置控制器的控制。
另外，上述自动化系统还可包括与文件服务器相连系的接口(interface)，可使工作人员直接利用文件服务器内的作业结果数据。
根据本发明第二方面的微电子装置的自动化系统包括：
为了检查基片而设的包括检测器在内的多个设备；与多个设备联网，存储各设备对基片的作业结果数据，并使该数据让各设备共享的一个以上的文件服务器；与各设备一对一连接的控制各设备作业的多个设备服务器；和，与设备服务器联网，向各设备服务器提供各设备作业所需数据的主机。在这里，主机有自己的数据库，它以基片固有的编号为基础通过访问数据库而获得有关的数据。
另外，上述多个设备中还可包括以检测器的检测结果数据为基础，对基片进行补修工作的补修器。这时，检测器把对基片的检测结果数据存储到文件服务器内，而补修器从文件服务器中读取检测结果数据，并利用其进行补修工作，然后把补修结果数据存储到文件服务器内。
另外，在上述自动化系统中，还可以包括可以利用通过检测器存储到文件服务器中的检测结果数据，对基片的检测内容直接观察的肉眼观测装置，并且，可以让该肉眼观测装置自动移到不良曲线图，而使工作人员得以直接观测。
另外，上述微电子装置的自动化系统还可以包括：与文件服务器相连，可以使工作人员直接利用存储在文件服务器内的作业结果数据的接口部；和，受主机控制的能够把基片自动运送到各设备的自动运送装置。
根据本发明第三方面的工程控制方法包括：
辨认装载到第1设备的作业物的步骤：从控制器获得让第1设备开始作业的命令的步骤；从文件服务器内读取第1设备作业所需的其他设备的前一作业结果数据的步骤；利用前一设备作业结果数据在第1设备上进行作业的步骤；和，把在第1设备中完成的作业结果数据存储到文件服务器内的步骤。
在这里，文件服务器与包括第1设备在内的多个设备是联机的。
根据本发明第四方面的自动化系统控制方法包括：
把基片装载到第1设备的第1步骤；第1设备对基片进行作业，并把作业结果数据存储到文件服务器内的第2步骤；从第1设备卸去基片的第3步骤；搬运基片并装载到第2设备的第4步骤；第2设备作业前从文件服务器中读取第1设备的作业结果数据，并利用该数据进行作业，而后把在第2设备完成的作业结果数据存储到文件服务器内的第5步骤；和，从第2设备卸去基片的第6步骤。在这里，文件服务器与多个设备联网，使得各设备的作业结果数据实现了共享。
附图说明
参照附图对本发明的详细描述，本发明的上述目的、特征和优点将变得更加清楚，附图中：
图1是以往系统的示意图；
图2是根据本发明实施例的自动化系统的通信结构图；
图3是使用在本发明实施例的设备示意图；
图4是根据本发明第1实施例的自动化系统结构图；
图5是根据本发明第2实施例的自动化系统结构图；
图6是图5中文件服务器的详细结构图；
图7是根据本发明实施例的自动化系统控制方法的简单流程图；
图8a至图8c是根据本发明实施例的自动化系统控制方法的局部流程图；及
图9是根据本发明实施例的自动化系统控制方法的信息流程图。
具体实施方式
下面参照附图并根据本发明最佳实施例对自动化系统进行说明。为方便起见，下面以制作TFT-LCD为例对自动化系统进行说明。
如图2所示，主机100是通过TCP/IP与设备服务器200、文件服务器400及自动运送装置(AGV)控制器500联网，并通过预定的信息互相交换数据或下达控制指令。
自动运送装置控制器500得到主机100的指令后通过无线通信向自动运送装置600发出指令。自动运送装置600根据自动运送装置控制器500的指令向指定的设备300输送盒或从指定的设备300自动运走完成作业的盒到下一设备。在完成上述作业后，自动运送装置600通过无线通信方法向自动运送装置控制器500发送信息。这时，自动运送装置控制器500通过网络再向主机100传送相应的信息，从而使主机100能够有效地管理自动运送装置600。
设备300与设备服务器200以一对一的SECS(SemiconductorEquipment Communication Standard，半导体设备标准通信)通信方式连接，与文件服务器400通过TCP/IP方式相连接。设备300有多个待作业所(queue)310a-310n，每个待作业所310a-310n占用设备300的一个端口(port)。
当自动运送装置600把盒运到第1待作业所310a时，第1待作业所310a所使用的端口1发生事件(Event)(即，表示第1待作业所置有盒的事件)。这时，设备300得到发生事件的信息，并向设备服务器200传送要求对运到第一待作业所310a的盒进行作业的信息。用这种方法，设备300内的各端口在待作业所310a-310n中，如果有盒运来，则发出端口正在使用的事件，而盒被搬走时则发出端口没有盒的事件。
图3是表示图2中设备300的详细图。
如图3所示，设备300中有实际进行作业的工作台340和可以使工作人员通过直接观察而操作设备的控制面板360。工作台340上设有用于阅读盒
内玻璃(作业对象Mm)编号(以下称玻璃编号)的校验码阅读器(VCR)350。另外，在设备300的多个待作业所310a-310n中，设有能够与各自的自动运输装置进行无线通信的传感器320a-320n，还有，为了读出运送到待作业所310a-310n的盒的编号而设的条形码阅读器330a-330n。
放在待作业所的盒中的玻璃，以一个或者n个为单位的集合(称为一批量，lot)运到工作台进行处理。即，搬运机器人370从放在待作业所的盒中取出一个玻璃或一批量。把它搬运到工作台340上。然后，安装在工作台上的VCR 350就读出一个玻璃的编号(玻璃编号)或一批量的编号(一批量编号)，并把其数据显示在设备控制面板360上。
下面根据实施例对本发明的自动化系统结构图做说明。
图4是根据本发明的第一实施例的自动化系统结构图。
如图4所示，根据本发明的第1实施例的自动化系统包括：多个设备300a、300b、300c、300d；与多个设备一对一连接的多个设备服务器200a、200b、200c、200d；保存多个设备作业结果数据的文件服务器400；和，与多个设备服务器相连接的主机100。
图4中，主机100具有自己的数据库110，它根据盒的编号以及玻璃编号(或者一批量编号)，通过访问数据库110来执行必要的作业，然后，把作业结果通过预定的信息向各设备服务器200a、200b、200c、200d下达指令。另外，主机通过控制自动运送装置来实现盒在各设备300a、300b、300c、300d之间按规定的顺序自由移动。即，主机向自动运送装置控制器发出指令，要求自动运送装置移动到所指定的设备，如300a，自动运送装置控制器通过无线通信来使自动运送装置移到指定的设备300a。
各设备服务器200a、200b、200c、200d，在各设备300a、300b、300c、300d与主机100之间，通过对盒与盒内多个玻璃或者一批量的信息的连接来实现对各设备300a、300b、300c、300d的控制。
下面，假设第1设备300a为检测器，第二设备300b为补修器，通过补修器如何使用检测器的检测结果数据(第一作业结果数据)来说明本系统的工作过程。
首先，主机100通过控制自动运送装置600来将盒650运送到检测器300a。如果内装有多个玻璃的盒650被移到检测器300a，那么，因检测器300a与检测器服务器200a及主机100相连接，所以受其控制而进行作业。
当检测器300a对盒650内所有玻璃或者部分玻璃进行不良检查(比如短路或断线等)后，把检测结果数据传送到文件服务器400。这时，被传送到文件服务器100的数据是以未加工的数据(以下简称‘未加工数据’)的形式保存的。这种未加工数据可以包括各玻璃的不良坐标数据、不良图像数据或不良内容(如，短路，断线等)数据等。另外，检测器300a把在检测过程中发生的检测结果数据，经过加工后，通过一对一通信方式传送给检测器服务器200a。比如它可包括不良玻璃的个数等。
这时，从检测器300a传送到文件服务器400的未加工数据一般容量很大，所以本发明的第1实施例中文件服务器400与检测器300a之间是以TCP/IP方式连接的，从检测器300a传送到检测器服务器200a的已加工的数据因容量小，所以使用SECS通信方法连接。
当检测器300a检查完盒650内的玻璃时，主机100控制自动运送装置600把盒650运送到补修器300b，这时补修器300b从文件服务器400中读取上述盒(正确地说，应该是盒内的玻璃)的检测结果数据(未加工数据)，这时，补修器300b根据盒的编号从文件服务器400中读取检测器300a对盒650的检测结果数据。
补修器300b利用对盒的检测结果数据，对盒内的玻璃进行补修作业。与检测器300a相同，补修器300b也是通过补修器服务器200b及主机100相连接，从而控制作业的进行。
当补修器300b完成补修作业后，补修作业结果中容量大的未加工数据(如，补修完的坐标数据、补修内容等)保存在文件服务器中，而加工的数据(如，补修完的玻璃数等)传送给补修器服务器200b。
如上所述，根据本发明的第1实施例，在检测器300a中完成的检测结果(未加工数据)存储在文件服务器400内，补修器300b可利用该数据进行补修作业，所以说各设备之间实现了数据的共享。
但是，在第1实施例中，因检测器300a与补修器300b在作业结束后不是把加工的数据保存在文件服务器400内，而是直接传送给检测器服务器200a或补修器服务器200b，所以有可能发生以下问题。即，当检测器300a与补修器300b向检测器服务器200a或补修器服务器200b传送已加工数据时，一但发生通信误差，就没有办法恢复该数据。
本发明的第2实施例是基于解决上述问题而提出的。
如图5所示，根据本发明的第2实施例的自动化系统包括：多个设备800a、800b、800c、800d；与多个设备一对一连接的多个设备服务器700a、700b、700c、700d；存储多个设备作业结果数据的文件服务器900；和，与主机1000相连接的、为了与工作人员相联系用的用户接口(interface)部1100。
在图5中，在文件服务器900内存储的作业结果数据不仅有未加工数据而且还包含已加工数据。即，在本发明第2实施例中，多个设备800a、800b、800c、800d在完成各自的作业后，与第1实施例不同，它把已加工数据和未加工数据一起存储到文件服务器900内，向设备服务器700a、700b、700c、700d只传送已经向文件服务器900存储了的事件(EVENT)。然后，设备服务器700a、700b、700c、700d就可以直接从文件服务器900中读取上述已加工数据。
所以，从设备传送信息给设备服务器时，即便产生通信误差而没能把信息传送给设备服务器，也因为已加工数据已经存储在文件服务器内，所以，还可以用下面的方式传送已加工数据给文件服务器。即，如果设备在作业完成后没有传送事件(EVENT)，工作人员通过与主机连接促使其发生事件(EVENT)，也就是说，工作人员可在与主机连接的用户接口部1100中产生事件(EVENT)，然后，设备服务器就会从文件服务器中读取必要的已加工数据。
图6是图5的文件服务器的详细结构图。
如图6所示，各设备800a-800n是与各相应文件服务器内的一个磁盘910a-910n相连接的，另外，多个设备800a-800n共同与一个磁盘910n+1相连接。
各设备的作业结果数据与前面所述的相同，分为未进行加工的未加工数据和进行加工后以统计形式利用的已加工数据。
根据本发明的实施例，上述未加工数据因容量大，所以存储在各设备相对应的磁盘内，而上述已加工数据因容量不是很大，又考虑到管理的效率，所以存储在各设备共享的磁盘910n+1内。另外，对存储容量非常大的数据，如，补修器的未加工数据中的不良图像的数据，也可以配用另一磁盘存储。
为了寻找数据的方便，将使用在文件服务器中的磁盘用设备名称形成目录。比如，当第1设备700a使用文件服务器的第1磁盘910a时，在目录中是“/disk1/eqpid_1”，当第1设备700b使用文件服务器中的第n+1硬盘910n+1时，在目录中是“/diskn+1/eqpid_1”。
所以，第1设备的未加工数据存储在“/disk1/eqpid_1”内，而第1设备的已加工数据存储在/diskn+1/eqpid_1”内。
下面对根据本发明实施例的自动化系统的控制方法进行说明。
图7是根据本发明实施例的自动化系统控制方法的简单流程图，在图7中，为了说明上的便利，把图2至图5中的设备服务器和主机视为控制部。下面对检测及补修工作进行说明，在这里我们把第1设备视为检测器，把第2设备视为补修器。
首先，判断相应于检测器第1待作业所的第1端口是否可以使用S3，如果端口可以使用，那么检测器向控制部发出要求提供盒的信息S6。
收到要求提供盒的信息的控制部，首先检索自己的数据库，查出需要作业的玻璃所处的盒的编号，然后指令自动运送装置把检索到的盒装载到检测器S9。
然后，自动运送装置就会从储料库搬运盒到相应的检测器待作业所。这时，在安装在检测器第1待作业所的条形码阅读器阅读盒的编号后，向控制部报告盒已经装载完毕S12。在这里，向控制部报告的信息中包括盒的编号。
控制部根据盒的编号来判断检测器是否处于可作业状态，如果是处于可作业状态，就下达开始作业命令S15。这时，与开始作业命令同时下达作业所需的其他信息数据。
得到开始作业命令的检测器，如果没有正在进行的作业，那么就马上开始进行作业，如果正在进行其他作业，那么在作业完成后马上开始进行作业S18。检测器对盒内的各玻璃进行检测，把检测结果数据(未加工数据或者已加工数据)存储到文件服务器内。这时，检测器可以每检测完一个玻璃就把检测结果数据存储到文件服务器中，也可以检测完全部的玻璃后，一次性地存储到文件服务器。当检测结果数据全部存储到文件服务器后，检测器就向控制部报告已完成作业S21。
然后，控制部通过检测器读取存储在文件服务器内的未加工数据，并且为了统计数据或者图像数据而进行多种方式的处理。然后，控制部向自动运送装置下达卸去盒的命令S24。
得到卸去盒的命令的自动运送装置从检测器把已检测完的盒运走。当从检测器卸去盒的工作完成后，检测器就向控制部报告已完成卸去工作S30。
然后，控制部就在自己的数据库中记录盒在检测器中已完成作业的信息。在检测器中完成作业的盒须移送到下一作业工序的补修器进行补修工作，所以控制部就对自己的数据库进行访问，访问补修器内的多个端口信息，如果查到补修器内有空的可使用的端口(即，待作业所)，那么，控制器就会向自动运送装置下达把盒运送到补修器待作业所的命令。
然后，自动运送装置就会把盒装载到上述待作业所，而补修器如同检测器一样进行作业。这时，补修器在开始作业前从文件服务器中读取检测器对盒的未加工数据(如，不良坐标数据或不良内容等)，然后对盒内的不良玻璃进行补修作业。补修器在完成作业后，把未加工数据(如，补修完的坐标数据或补修内容等)或已加工数据存储到文件服务器内。
下面，对上述控制部，分别就其设备服务器与主机的作用及信息交换进行详细说明。
设备服务器具有对设备直接控制的程序，每当设备发生事件时，它是以事件激励(event-driven)方式驱动的。另外，设备服务器把设备传送来的包括盒的编号在内的信息，以与主机预定的特定方式传送给主机，而主机参照数据库把相应的盒的信息以预定的特定方式传送给设备服务器。然后，设备服务器根据该信息再向设备下达指令。因为设备服务器是与文件服务器相连的，所以在必要时，既可以从文件服务器中读取所需的数据，也可以把数据存储到文件服务器内。
设备服务器最重要的作用是，当从设备得到作业完成信息时，与文件服务器连接，读取作业结果数据并进行加工，然后传送给主机。当从主机得到特定的信息时，利用该信息对设备进行远距离控制。
主机的作用是，第一，维持和管理玻璃(包括一批量)和盒的状态，并对玻璃或一批量的作业过程进行时间安排；第二，管理自动运送装置的状态，使内有玻璃的盒能够从设备到设备、从设备到储料库、从临时保管处到设备、从储料库到储料库自由移动；第三，管理包括设备内多个端口在内的各种状态，和作业结果数据等整个工程过程，所以，主机内就需要有管理上述各机能的数据库。
图8a至图8e是根据本发明实施例的自动化系统控制方法的局部流程图。图9是根据本发明实施例的自动化系统控制方法的信息流程图。
下面还是用检测器和补修器的作业过程来说明。
检测器首先判断端口(待作业所)是否可以使用，S100，如果待作业所的盒已经卸去，待作业所处于可以作用的状态时，检测器向检测器服务器传送要求把盒装载到待作业所的盒装载要求信息(CST_Reg_toEQsrv)S110。
收到要求把盒装载到待作业所的盒装载要求信息(CST_Req_toEQsrv)S115的检测器服务器再向主机传送盒装载要求信息(CST_Req_toHost)S120。当主机收到盒装载要求信息(CST_Req_toHost)S125后，主机从自己的数据库进行检索，找出需检测器进行检测的玻璃。然后，主机呼出自动运送装置控制器，向其下达把盒运送到检测设备的指令(Load_cmd)S135。
然后，自动运送装置控制器就会使自动运送装置把盒从储料库中(或从其他设备)运送到检测器140。这时，自动运送装置与检测器通过无线通信联系S145、S150，把盒装卸到待作业所S155。
当盒被搬上待作业所时，通过待作业所内的自动传感器检测到，并自动固定S160，随后，条形码阅读器阅读盒的编号S165。这时检测器自动把盒装载完的事件(Load_End_Event)传送给检测器服务器S170。
当检测器服务器收到装载完的事件(Load_End_Event)时S175，检测器服务器向主机传送要求盒的数据的信息(CSTInfo_Rcq_toHost)，在主机的数据库中更新设备状态及端口信息S180。
实际上，这种设备状态及端口信息的更新过程既可以经检测器服务器直接通过网络执行，也可以是主机从设备服务器得到更新信息后自己实行。即，因为设备服务器与主机是通过网络连接的，所以，实际上主机上的数据库既可以通过主机也可以通过设备服务器得到更新。只是主机内的数据库的访问权利是只给主机还是只给设备服务器的问题，这在于程序设计人员的选择。
当主机收到要求盒的数据的信息(CSTInfo_Req_toHost)时，主机通过利用盒的编号对上述所需要的数据在数据库内进行检索S190。当检索完后，主机把相应的数据以盒的数据应答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)的形式向检测器服务器传送，S195。这个盒的数据应答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中包括诸如当前盒数据的、存储于盒内玻璃或一批量的数据；作业内容；作业程序；玻璃或一批量在盒内的位置；作业方法；数量等数据。
当检测器服务器收到盒的数据应答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)后S200，检测器判断是否处于可进行检测作业状态，即，检测器服务器从盒的数据应答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中得到有关盒的数据后，检查该盒是否是能够进行检测的正常的盒S205。如果盒的数据正常，那么从上述盒的数据应答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中获得有关玻璃(一批量)的数据，检查该数据是否正常S210。检测器服务器得到的盒的数据如上所述，有可能只是盒的数据，也有可能是盒内的玻璃或一批量的数据或作业内容数据，所以检测器服务器综合上述各数据对检测器状态进行判断。这时，如果检测结果是非正常，那么就会变成非常状态(abort status)S245，如果是正常，那么就向主机传送正常开始作业要求信息(TKIN_Req_toHost)S215。
当主机收到正常开始作业要求信息(TKIN_Req_toHost)S220后，反复进行对设备服务器进行的验证过程。
这种在主机与设备服务器进行反复验证是为了确保正确控制，必要时，设计人员可以只在主机或设备服务器中进行验证。
如果认为在主机中进行验证的结果认为是正常的，那么主机就会在数据库记录开始作业S225③，向检测器服务器传送正常作业开始应答信息(TKIN_Ans_toEQsrv)S230。
检测器服务器在收到正常作业开始应答信息(TKIN_Ans_toEQsrv)S235后，检测器服务器判断主机验证的结果是否正常S240，如果是非正常，则处理为非正常状态S245，如果是正常，则为了向检测器下达指令而对主机所下达的所有指令进行综合构成S250。然后，检测器服务器向检测器下达开始作业的指令(Start_Cmd_toEQ)S255。这种开始作业的指令(Start_Cmd_toEQ)中包含检测器应如何进行作业的详细信息。即，主机向检测器服务器传送的作业指令都包括在开始作业的指令(Start_Cmd_toEQ)中而传送到检测器。这种作业指令中包括过去作业结果数据在文件服务器中的位置信息、作业完成后应如何存储作业结果数据的信息、进行不同作业的各玻璃的信息以及在检测器中应进行作业的条件和参数设置等。
检测器在得到开始作业指令(Start_Cmd_toEQ)S260后，检查开始作业指令(Start_Cmd_toEQ)S260中是否含有作业所需的一切数据S265。这时，如果有遗漏的信息或者实际上检测器处于无法启动状态时，就使其处于非常状态S270。当检查结果是正常时，如果没有正在进行的作业，那么，立即开始进行作业S275，如果正处于作业状态，那么就等到作业完后，开始进行新作业。
作业开始后，检测器综合作业指令与玻璃编号或一批量编号，并与文件服务器连接S280，读取以盒的编号(实际上盒的编号、一批量的编号、玻璃编号是相链接的)存储的以前作业的结果数据，然后对盒内的玻璃进行作业S285④。如果检测器认为对盒内的玻璃作完了检测工作，那么检测器就对作业指令和玻璃或一批量的编号相组合后再与文件服务器连接，把各自的未加工数据(不良坐标数据，不良内容)或已加工数据(发生不良特征的玻璃的数等)存储到文件服务器中指定的位置S300。
当检测器结束对所有玻璃的作业后，向检测器服务器传送存储完成报告信息(Save_End_toEQsrv)S305。检测器服务器在得到上述信息后，检测器服务器与文件服务器连接S315，读取作业结果数据(主要是已加工数据)S320。在这里，作业结果数据包括玻璃编号、设备编号、工序编号、作业开始时间或作业完成时间，对玻璃的不良信息或工序数据等。利用这种作业结果数据，检测器服务器可以进行对特定玻璃的拒绝、或对盒内玻璃(一批量)位置的调整、或指示对特定玻璃的再作业，以及为分析数据而收集数据S325。
然后，检测器服务器向主机传送要求对这些数据进行加工的数据加工要求信息(Dcoll_req_toHost)S330。
当主机收到该信息S335后，对上述数据进行加工处理S340，然后向检测器服务器传送数据加工应答信息(Dcoll_Ans_toEQsrv)S345。
检测器服务器收到该信息S350后，判断该数据的加工处理是否正常S355。在这过程中，如果主机对数据的加工处理是非正常，那么检测器服务器就利用与主机相连的用户接口部来等待工作人员输入必要的数据S360。
当检测器完成所有作业时，检测器向检测器服务器传送作业完成报告信息(Work_End_toEQsrv)，该作业完成报告信息(Work_End_toEQsrv)有可能比前述存储完成报告信息(Save_End_toEQsrv)先传送S370。
检测器服务器在收到作业完成报告信息(Work_End_toEQsrv)S375后，向主机传送正常作业结束要求信息(TKOUT_Req_toHost)S380。
在主机收到该正常作业结束要求信息(TKOUT_Req_toHost)后，主机对自己的数据库进行作业完毕的处理S390，然后向检测器服务器传送正常作业结束应答信息(TKOUT_Ans_toEQsrv)S395。
检测器服务器在收到该正常作业结束应答信息(TKOUT_Ans toEQsrv)S400后，判断主机是否正确处理了作业完成S405，在这过程中，如果结果为非正常，那么就呼叫工作人员S415。
如果上述过程是正常，那么检测器服务器就判断是否已卸去S410。这样检查是否已卸去的原因是防止检测器作业完成后，在检测器服务器向主机传送的正常作业结束要求信息(TKOUT_Req_toHost)与检测器向检测器服务器传送的卸去要求信息(Unload_Req_toEQsrv)之间可能发生的互相颠倒。
如果还没有卸去，那么检测器服务器重新向主机传送卸去要求信息(Unload_Req_toHost)，主机接收该信息S425后，向自动运送装置发出运送指令S450，检测器向检测器服务器传送卸去要求信息(Unload_Req_toEQsrv)S430，解除对盒的固定S435。
检测器服务器收到该信息(Unload_Req_toEQsrv)S440后，就卸去S445。然后，检测器服务器执行自己的程序，然后向主机传送卸去要求信息(Unload_Req_toHost)。
得到该信息(Unload_Req_toHost)的主机把从检测器得到的完成作业的信息存储在自己的数据库中，然后向自动运送装置下达卸去(Unload_Cmd)的命令S450。
自动运送装置重新移动到检测器S445，与检测器的自动传感器通过无线通信联系S460、S465，把检测完的盒卸去S470。在检测器通过自动传感器得知盒已被卸去后，便向检测器服务器发出搬运完成事件信息(Unload_End_Event)S475。
检测器服务器收到该信息后，在主机内的数据库中记录端口的状况，即，更新装备状态S485。这个作业也可以通过检测器向主机传送更新要求信息使主机直接进行。
在主机内的数据库中，以相应的盒和玻璃等作业物的编号为准，记录有各自的连续作业程序，所以，上述盒在完成检测器的作业后根据数据库提供的程序在补修器中与前一工序一样进行作业。
在本发明实施例中所使用的文件服务器可在UNIX、WINDOWS或NT等环境中运行，但并不是局限于此。
另外，各设备与文件服务器之间的通信、文件服务器与设备服务器之间的通信和设备服务器与主机之间的通信是以网络连接的，为了实现网络的物理层(physical layer)，可以使用令牌网(token ring)、星形网(star)或ATM等方式，协议层(protocal layer)可以使用TCP/IP、IPX或netbeui方式，应用层(applicaltion layer)可以使用网络文件系统(network file system)、网件(netware)或WFWG(工作群窗，Window For Work Group)等。这里所涉及的所有驱动方式并不只局限在上述方式。
另外，工作人员可以直接通过文件服务器来确认作业结果数据(如，不良内容、不良图像信息等)。这样工作人员就可以在远离设备的地方(如，办公室)，既可以通过直接确认作业内容，并通过主机对指定设备下达指令，也可以根据上述作业结果数据形成多种统计数据。
以上以检测器和补修器为例对自动化系统进行了说明，但本发明并不局限在上述设备，在制造TFT-LCD时的其他设备(如，曝光设备，蚀刻设备，溅射设备等)理所当然也可以使用。
根据检测器存储在文件服务器中的检测结构数据(特别是未加工数据)，除补修器以外，还可以使用在如下肉眼检测装置。
如电子显微镜等的肉眼检测装置可以直接与文件服务器或主机连接，对检测结果数据，特别是对不良坐标数据等可以直接读出其数据。如果上述不良坐标数据输入到上述肉眼检测装置，那么检测装置就可自动移动到相应于上述坐标的玻璃处，据此，工作人员可以通过肉眼检测装置直接观察玻璃的不良内容。
另外，本发明的实施例是以生产TFT-LCD过程说明的，但是本发明并不局限在生产TFT-LCD时使用，在生产如半导体、等离子显示板、印刷电路板等的其他微电子设备中使用也是理所当然的，除此以外，只要是后一设备需要使用前一设备所执行的作业结果数据的一切领域(如，汽车、钢铁、石油、化工等)都可使用。
如上所述，不难看出本发明的优点，根据本发明，工程所需要的各设备全都能与文件服务器相连接，使得设备之间可以共享各设备的作业结果数据。所以，后一设备可以利用前一设备的作业结果数据进行作业，同时也可以利用各种统计数据。

Claims (38)

1.一种自动化系统，包括：
多个设备，用于对作业物进行相应作业；
一个以上的文件服务器，与所述多个设备通过网络相连接，用于存储各设备作业结果数据，并使其数据能够让各设备共享；
多个设备服务器，与所述多个设备相连接，用于控制各设备；和
主机，与所述设备服务器通过网络相连接，具有所述设备作业所需的数据，并向设备服务器提供各设备作业所需数据。
2.根据权利要求1的自动化系统，其特征在于，还包括用户接口部，与所述文件服务器相连接，可使用户直接利用文件服务器内的数据。
3.根据权利要求1的自动化系统，其特征在于，还包括自动运送装置，受所述主机控制，能够自动把作业物运送到各设备。
4.根据权利要求3的自动化系统，其特征在于，还包括自动运送装置控制器，与所述主机有线连接，用于从主机得到指令从而控制自动运送装置。
5.根据权利要求3的自动化系统，其特征在于，还包括设有固有编号的容器，因为自动运送装置在搬运作业对象物时装在一个容器内搬运，所以，为了便于识别容器而给容器设固有编号。
6.根据权利要求5的自动化系统，其特征在于所述设备包括：
工作台，用于进行作业；
多个待作业所，用于在开始进行作业前或完成作业后放置作业物；和机器人，用于把作业物从待作业所搬到工作台或从工作台搬到待作业所。
7.根据权利要求6的自动化系统，其特征在于，还包括通信装置，用于在工作台中阅读作业物编号的第1阅读器，用于在待作业所中阅读搬运容器编号的第2阅读器，和用于与所述自动运送装置联系。
8.根据权利要求7的自动化系统，其特征在于，所述设备还包括作业控制面板，用于使工作人员能够直接观察并控制设备。
9.根据权利要求8的自动化系统，其特征在于，所述作业物为晶片，所述搬运容器为盒。
10.根据权利要求8的自动化系统，其特征在于，所述作业物为玻璃，所述搬运容器为盒。
11.根据权利要求9或10的自动化系统，其特征在于，所述多个设备包括检测器和补修器。
12.一种微电子装置的自动化系统，包括：
包括检测器的多个设备，用于检测已形成图形(pattern)的基片；
一个以上的文件服务器，与所述多个设备通过网络相连接，用于存储所述各设备对基片进行的作业结果数据，并使其数据能够让各设备共享；
包括检测器服务器在内的多个设备服务器，与所述各设备相连接，用于控制各设备；和
主机，与所述设备服务器通过网络相连接，具有自己的数据库，并根据所述基片的固有编号，从数据库中找出与其相对应的设备作业时所需的数据，将其传送给设备服务器。
13.根据权利要求12的微电子装置的自动化系统，其特征在于，还包括用户接口部，与文件服务器相连接，工作人员可使用该用户接口部直接利用文件服务器内的作业结果数据。
14.根据权利要求12的微电子装置的自动化系统，其特征在于，还包括自动运送装置，受所述主机的控制，并能够把基片自动地运送到各设备。
15.根据权利要求14的微电子装置的自动化系统，其特征在于，还包括自动运送装置控制器，与所述主机有线连接，用于从主机得到指令从而控制自动运送装置。
16.根据权利要求14的微电子装置的自动化系统，其特征在于，所述多个设备中包括根据检测器的检测结果数据对基片进行补修作业的补修器。
17.根据权利要求16的微电子装置的自动化系统，其特征在于，所述检测器对基片完成检测作业后，把检测结果数据存储到文件服务器，所述补修器从文件服务器中读取检测结果数据，并根据其数据进行补修作业，完成补修作业后把其结果存储到文件服务器内。
18.根据权利要求17的微电子装置的自动化系统，其特征在于，所述检测器对基片完成检测后，把对检测结果数据未进行加工的未加工数据以检测结果数据的形式存储到文件服务器中，对检测结果数据进行加工后的已加工数据则传送给检测器服务器。
19.根据权利要求17的微电子装置的自动化系统，其特征在于，所述检测器对基片完成检测后，把对检测结果数据未进行加工的未加工数据和进行加工后的已加工数据以检测结果数据的形式存储到文件服务器中，并把所述检测结果数据已存储的事件传送给检测器服务器。
20.根据权利要求19的微电子装置的自动化系统，其特征在于，所述未加工数据是不良坐标数据或不良内容数据。
21.根据权利要求12的微电子装置的自动化系统，其特征在于，还包括肉眼观测装置，其利用检测器存储到文件服务器中的数据，让工作人员直接观察基片检测内容。
22.根据权利要求21的微电子装置的自动化系统，其特征在于，所述检测结果数据只包括不良坐标数据，所述肉眼观测装置可以自动移到不良坐标以便于工作人员进行观察。
23.根据权利要求12的微电子装置的自动化系统，其特征在于，所述多个设备与文件服务器、文件服务器与设备服务器、设备服务器与主机之间是分别通过TCP/IP方式连接的。
24.根据权利要求12的微电子装置的自动化系统，其特征在于，所述设备与设备服务器是通过SECS通信方式连接的。
25.根据权利要求12至24中任何一项所述的微电子装置的自动化系统，其特征在于所述基片是晶片。
26.根据权利要求12至24中任何一项所述的微电子装置的自动化系统，其特征在于所述基片是玻璃。
27.一种自动化系统程控制方法，包括：
辨认搬运到第1设备的作业物的步骤；
从控制部接收对作业物进行作业的指令的步骤；
从文件服务器中读取该第1设备作业所需的以前设备作业结果数据的步骤，该文件服务器与包括第1设备在内的多个设备联机，并存储有各设备作业结果数据；
利用以前设备的作业结果数据对作业物在第1设备进行作业的步骤；和把第1设备作业结果数据存储到文件服务器的步骤。
28.根据权利要求27的工程控制方法，其特征在于，所述以前设备是检测器，所述第1设备是补修器。
29.根据权利要求28的工程控制方法，其特征在于，所述作业物是晶片。
30.根据权利要求28的工程控制方法，其特征在于，所述作业物是玻璃。
31.一种自动化系统控制方法，其中该自动化系统包括对基片进行相应作业的多个设备、控制各设备的控制部、把基片自动运送到各个设备的自动运送装置，所述控制方法包括：
第1步骤，把基片装载到第1设备；
第2步骤，在第1设备对基片进行作业，并为了使各连网的设备共享该作业结果数据而把该第1设备的作业结果数据存储到文件服务器中；
第3步骤，从第1设备把基片卸去；
第4步骤，向第2设备搬运基片，并把基片装载到第2设备；
第5步骤，在第2设备中开始作业前从文件服务器读取第1设备的作业结果数据，开始作业时利用该第1设备的作业结果数据对基片进行作业，完成作业后把作业结果数据存储到文件服务器中；和，
第6步骤，从第2设备卸去基片。
32.根据权利要求31的自动化系统控制方法，其特征在于，所述第1步骤包括：
第1设备向控制部传送信息、要求运送基片的步骤；
控制部检索自己的数据库，找出第1设备应执行作业的基片，并命令自动运送装置把该基片装载到第1设备的步骤；和
当基片装载到第1设备后，第1设备阅读基片的固有编号，并向控制部报告基片已装载完毕的步骤。
33.根据权利要求32的自动化系统控制方法，其特征在于，所述第2步骤包括：
控制部根据基片的固有编号信息判断第1设备是否处于可作业状态，如果处于可作业状态，就向第1设备传送作业所需数据，同时下达开始作业指令的步骤；和
第1设备对基片进行作业，在把作业结果数据存储到文件服务器后，向控制部报告完成作业的步骤。
34.根据权利要求33的自动化系统控制方法，其特征在于，所述第3步骤包括：
控制部从文件服务器读取第1设备作业结果数据，加工该第1设备作业结果数据，并指令自动运送装置把基片卸去的步骤；
自动运送装置把完成作业的基片从第1设备卸去的步骤；和
卸去基片作业完成后，第1设备向控制部报告完成卸去基片作业的步骤。
35.根据权利要求34的自动化系统控制方法，其特征在于，所第4步骤包括：
控制部把存储在文件服务器内的第1设备作业结果数据的位置和第2设备执行作业后把作业结果数据存储到文件服务器内的位置传送给第2设备的步骤；和
第2设备从文件服务器中读取第1设备作业结果数据，并进行作业，作业完成后把作业结果数据存储到文件服务器中的步骤。
36.根据权利要求35的自动化系统控制方法，其特征在于，所述第1设备是检测器，第2设备是补修器。
37.根据权利要求36的自动化系统控制方法，其特征在于，所述基片是晶片。
38.根据权利要求36的自动化系统控制方法，其特征在于，所述基片是玻璃。
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