CN1314704A - 电子部件用托盘 - Google Patents

电子部件用托盘 Download PDF

Info

Publication number
CN1314704A
CN1314704A CN01111606A CN01111606A CN1314704A CN 1314704 A CN1314704 A CN 1314704A CN 01111606 A CN01111606 A CN 01111606A CN 01111606 A CN01111606 A CN 01111606A CN 1314704 A CN1314704 A CN 1314704A
Authority
CN
China
Prior art keywords
chimeric
pallet
shape
electronic device
planar portions
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN01111606A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1227728C (zh
Inventor
国井久良
古贺浩二
羽鸟励吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Publication of CN1314704A publication Critical patent/CN1314704A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1227728C publication Critical patent/CN1227728C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67333Trays for chips
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D21/00Nestable, stackable or joinable containers; Containers of variable capacity
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2221/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
    • H01L2221/67Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L2221/683Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L2221/68304Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • H01L2221/68313Auxiliary support including a cavity for storing a finished device, e.g. IC package, or a partly finished device, e.g. die, during manufacturing or mounting
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S206/00Special receptacle or package
    • Y10S206/832Semiconductor wafer boat

Abstract

本发明第一结构的电子部件用托盘中,在角切除部的对角位置处,设有将相应台状平面部的角部切除而形成的嵌合用角切除部。本发明第二结构的电子部件用托盘中,在台阶状周缘部表面上切口部的上方形成有爪配合突起部。至于本发明第三结构的电子部件用托盘,当把2个这样的托盘的顶面相向重合,则一个托盘的预定坑周围形成的第一形状嵌合用突起便与另一托盘的预定坑周围形成的第二形状嵌合用突起相互嵌合。

Description

电子部件用托盘
本发明涉及电子部件用托盘,主要涉及用于在封装(外壳)底面具有球形端子的半导体装置等电子器件运送及检查时用的托盘。
图1是示明先有电子器件用托盘外观的斜视图。
图1中所示的第一、第二先有的电子部件用托盘7A、7B,之所以示明这样两个先有技术的电子器件用托盘,是为了便于说明后述的先有技术中各种问题,但由于此第一、第二先有的电子器件用托盘7A、7B的结构相同,故只说明第一先有的电子器件用托盘7A。
此先有的电子器件用托盘7A包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部7Aa;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部7Aa之上按矩阵形排列的许多坑7Ab;为使多个托盘顺次嵌合堆叠而在台状平面部7Aa的周缘形成的台阶状周缘部7Ac;用于支承台状平面部7Aa与台阶状周缘部7Ac而于台阶状周缘部7Ac底面上形成的侧壁状边缘端部7Ad;为与输送托盘的输送机构的输送用爪结合而将此侧壁状边缘端部7Ad的一部分切除所形成的切口部7Af;在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致,将台状平面部7Aa与台阶状周缘部7Ac两者的4个角部中之一加以切除而形成的角切除部7Ae。
这种先有的电子器件用托盘7A主要是用于在封装底面具有球形端子的半导体装置等电子器件的收纳、输送与进行检查的。为免损伤电子器件封装底面的球形端子,在各个坑7Ab的底面中央部开有用于使球形端子从托盘里侧露出的通孔,而由各个坑7Ab的底面周缘部支承电子器件外壳的底面周缘部。这种先有的电子器件用托盘7A是用塑料由注射模塑成形制造的。
图2是示明多个先有的电子器件用托盘顺次嵌合堆叠的状态的斜视图。
图2中由于未对多个托盘特加区别,托盘的各部分中,台状平面部7a、坑7b、台阶状周缘部7c、侧壁状边缘端部7d、切口部7f、角切除部7e都以共同的标号指明。
在将多个先有的电子器件用集中输送时,如图2所示,是将这个多托盘顺次嵌合成堆叠状态。
图1中,为了说明后述的先有技术中各种问题,是把第一、第二先有的电子器件用托盘7A、7B按相互反向示明,但在把多个托盘堆叠的正常情形下,则是如图2所示,为使各托盘的角切除部7e取同一位置而让各托盘的取向一致,顺次嵌合堆叠。
封装底面具有球形端子5a的电子器件5按照使球形端子5a位于托盘底面的取向收纳于各坑中。
图3是示明由输送机构输送先有的电子器件用托盘情形的斜视图。
在由输送机构输送先有的电子器件用托盘时,如图3A所示,是把输送机构的输送用爪3插合到托盘的侧壁状边缘端部7d中形成的切口部7f中输送。图3A是供说明后述的先有技术中种种问题时参考用。
图4是把图1中所示先有的电子器件用托盘外观的一部分放大后的斜视图。有关先有的电子器件用托盘的结构,则同于前面参考图1所述的。
图4中,托盘的各个部分,台状平面部7a、坑7b、台阶状周缘部7c、侧壁状边缘端部7d、切口部7f以及角切除部7e都以共同的标号指明。
图5是示明将收纳有电子器件的多个先有的电子器件用托盘顺次嵌合堆叠状态的剖面图。
参看图2,如前所述,在封装底面具有球形端子5a的电子器件5是按球形端5a取位于托盘底面侧的方向收纳于各个坑中。然后将各托盘按照正上方的托盘的侧壁状边缘端部7d装载于正下方的托盘的台阶状周缘部7c之上的形式,顺次嵌合堆叠。在集中多个先有的电子器件用托盘来输送时,则成为图5与图2所示的形式,将多个托盘顺次嵌合堆叠的状态进行输送。
图6是剖面图,示明从里侧检查先有的电子器件用托盘中所收纳的电子器件时,为将电子器件翻转而让2个先有的电子器件用托盘的台状平面部7a相对重合的状态。
在从里侧检查托盘中所收纳的电子器件时,需将电子器件翻转。翻转电子器件的方法虽可有种种设想,但在使托盘的上面保持向上而翻转电子器件时,则必须重新装置电子器件,以使电子器件外壳的项面朝下。但是这种方法除需用相当的时间进行电子器件的重新装置外,同时还常会发生因操作失误导致电子器件损伤的事故。
为此,作为翻转电子器件的另一种方法是如图6所示的,将空的托盘的顶面对向收纳有电子器件的托盘的顶面,在重合状态下将这两个托盘一齐翻转,由此使各坑7b中的电子器件从最初收纳的托盘中通过一次性翻转而转移到该空的托盘中。
但是上述先有的电子器件用托盘存在有以下种种问题。
首先,如图1所示,对于2个先有的电子器件用托盘即第一与第二先有的电子器件用托盘7A、7B,为使各托盘的方向一致而分别设有角切除部7Ae与7Be。
但当误使两个托盘反向,在角切除部7Ae与7Be取互异位置状态下嵌合堆叠时,由于这两个角切除部7Ae与7Be的存在,两托盘不能正好地嵌合,这就会成为使两托盘的侧壁状边缘端部7Ad与7Bd破损或在两托盘中发生不良弯曲的原因。
或如以上所述,为了从里侧检查托盘中所收纳的电子器件时需将电子器件翻转,则可采用如图6所示的,将两个托盘按顶面互相相对的重合状态把它们翻转而使电子器件翻转的方法。
但在上述方法中,由于使两托盘的顶面互相相对地重合,坑7b的深度便加倍,成了相当于两个电子器件高度以上的深度。因而在通过翻转2个托盘来翻转电子器件时,坑7b内的电子器件就会成为倾斜的状态。结果便使电子器件发生损伤或虽为合格品而由于不能正常地进行检查误判成次品的问题。
于是,为了避免在翻转电子器件而重新装置电子器件的方法或使2个托盘的顶面相互相对重合后而一齐翻转的方法中出现了上述问题,作为翻转电子器件的另外方法,则有如图2与图5所示,将多个托盘在一起按同一方向顺次嵌合,于堆叠状态下一并翻转的方法。在这种方法中,如图5所示,由于电子器件是在收纳于相当其1个高度的坑7b内的状态下翻转,翻转后不会成为倾斜状态,而且也不需耗用为进行重新装置电子器件方法所用的时间。
但在把所有的托盘翻转后从里侧来检查电子器件时,如图3B所示,必须在将托盘一个个地翻过来的状态下输送。
在将托盘于面向外的状态下输送时,如图3A所示,需要将输送机构的输送用爪3配合到侧壁状边缘端部7d中所设的切口部7f中才能可靠地输送。与此相反,如图3B所示,在将托盘于翻过来的状态下输送时,使输送用爪3配合到台阶状周缘部7c上的输送,由于在与输送用爪3正交的方向上不存在同爪3配合的部分,在托盘输送中就会有因横滑而落下的事故发生的问题。
本发明的目的在于提供这样的电子器件用托盘,它构造成,在将多个托盘嵌合堆叠时和将托盘于翻转状态下输送时,能够解决通过将2个托盘的顶面相互相对重合而将这2个托盘一齐翻转来使电子器件翻转中所出现的各种问题。
根据本发明第一结构的电子器件用托盘,其特征在于,它包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部之上按矩阵形排列的多个坑;为使多个托盘顺次嵌合堆叠而在台状平面部的周缘形成的台阶状周缘部;用于支承台状平面部与台阶状周缘部而于台阶状周缘部底面上形成的侧壁状边缘端部;为与输送托盘的输送机构的输送用爪结合而将此侧壁状边缘端部的一部分切除所形成的切口部;在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致,将此台状平面部、台阶状周缘部以及侧壁状边缘端部三者的4个角部中之一切除而形成的角切除部;以及为使多个托盘顺次嵌合堆叠时即使在水平方向中的托盘的取向相反也可让托盘嵌合,而将位于上述角切除部对角位置的前述台状平面部的角部切除所形成的嵌合用角切除部,根据这种结构,在将托盘嵌合堆叠时,即使在水平方向中的托盘取向相反也能让托盘嵌合,同时能防止托盘的侧壁状边缘端部的破损或发生托盘的不良弯曲。
根据本发明第二结构的电子器件用托盘,其特征在于,它包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部之上按矩阵形排列的多个坑;为使多个托盘顺次嵌合堆叠而在此台状平面部的周缘形成的台阶状周缘部,用于支承此台状平面部与台阶状周缘部而于此台阶状周缘部底面上形成的侧壁状边缘端部;为与输送托盘的输送机构的输送用爪结合而将此侧壁状边缘端部的一部分切除所形成的切口部;在将各个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致,将上述台状平面部以及台阶状周缘部两者的4个角部中之一加以切除而形成的角切除部;以及为使托盘于翻转状态下能从底侧结合输送机构的输送用爪而于上述台阶状周缘部表面上的前述缺口部上的位置中形成的爪配合突起部,根据这种结构,在将托盘于翻转状态下输送时,能在翻转托盘的状态下从底面侧将输送机构的输送用爪与上述台阶状周缘表面上切口部上位置中形成的爪配合突起部结合,而进行可靠的传送,同时能在翻转托盘的状态下预防托盘在输送中发生横滑落下事故。
根据本发明第三结构的电子部件用托盘,其特征在于,它包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部之上按矩阵形排列成的许多坑;用于支承台状平面部而于台阶状周缘部底面上形成的侧壁状边缘端部;为与输送托盘的输送机构的输送用爪结合而将此侧壁状边缘端部的一部分切除所形成的切口部;在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致,将此台状平面部的4个角部之一加以切除而形成的角切除部;在排列成矩阵状的上述多个坑中,沿行向与列向,每隔一个坑于坑的周围,对应于收纳的电子器件的尺寸而分别形成的第一形状嵌合用突起;在2个托盘的上述台状平面部相向重合时,为与上述第一形状嵌合用突起相互嵌合,而在周围成有第一形状嵌合用突起的上述坑之外的坑的周围,对应于收纳的电子器件而分别形成的第二形状嵌合用突起,根据这种结构,当把以重合形式嵌合的2个托盘一齐翻转,使各坑中的电子器件从最初收纳的托盘中一次性地翻转到空的托盘中而移动时,能够不使坑内的电子器件成为倾斜状态,结果可以防止电子器件的损伤发生与错误的次品判定。
上述第一形状嵌合用突起是在排列成矩阵形的这多个坑之中,沿行向与列向,在每隔一个坑的周围的4个角部中,对应于收纳的电子器件的尺寸而形成的嵌合用L型突起;上述第二形状嵌合用突起则可以是,在2个托盘以上述台状平面部相对重合时,为与上述嵌合用L型突起相互嵌合,沿着周围形成有上述嵌合用L型突起的坑以外的坑的周围4边各中央部,对应于收纳的电子器件的尺寸分别形成的嵌合用I型突起。
此外,上述的第一与第二形状嵌合用突起分别在其上面加工出锥形,以便这两个突起容易相互嵌合。
图1是示明先有的电子器件用托盘的外观的斜视图。
图2是示明多个先有的电子器件用托盘顺次嵌合堆叠的状态的斜视图。
图3是示明由输送机构输送先有的电子器件用托盘的情形的斜视图。
图4是图1所示先有的电子器件用托盘的外观一部分放大的斜视图。
图5是示明将收纳有电子器件的先有的电子器件用托盘多个顺次嵌合堆叠的状态的剖面图。
图6是示明将2个先有的电子器件用托盘的台状平面部7a相对重合的状态的剖面图。
图7是示明本发明第一实施形式的电子器件用托盘的外观的斜视图。
图8是示明将本发明第二实施形式的电子器件用托盘多个顺次嵌合堆叠的状态的斜视图。
图9是示明将本发明第二实施形式的电子器件用托盘翻转,于翻过来的状态下由输送机构输送时的斜视图。
图10是示明本发明第三实施形式的电子器件用托盘的外观的斜视图。
图11是示明将收纳有电子器件的先有的电子器件用托盘多个顺次嵌合堆叠的状态的斜视图。
图12是示明将2个本发明第三实施形式的电子器件用托盘的台状平面部4a相对重合的状态的剖面图。
下面参照附图说明本发明的电子器件用托盘的实施形式。
图7是示明本发明第一实施形式的电子器件用托盘外观的斜视图。
图7中示明了本发明第一实施形式的第一、第二电子部件用托盘1A、1B,之所以示明2个本发明第一实施形式的电子器件用托盘,是为了说明本发明第一实施形式的电子器件用托盘的特征,但由于此第一、第二电子器件用托盘1A、1B具有相同的结构,故只就第一电子器件用托盘1A说明其结构。
本发明的第一实施形式的第一电子器件用托盘1A包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部1Aa;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部1Aa之上按矩阵形排列的许多坑1Ab;为使多个托盘顺次嵌合堆叠而在台状平面部1Aa的周缘部上形成的台阶状周缘部1Ac;用于支承台状平面部1Aa与台阶状周缘部1Ac而于台阶状周缘部1Ac底面上形成的侧壁状边缘端部1Ad;为与输送托盘的输送机构的输送用爪相配合而于此侧壁状边缘端部1Ad中切除一部分所形成的切口部1Af;在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致,将此台状平面部1Ac、台阶状周缘部1Ac以及侧壁状边缘端部1Ad这三者的4个角部中之一切除而形成的角切除部1Ac;为使多个托盘顺次嵌合堆叠时,即使在水平方向中的托盘取向相反也可让托盘嵌合,而将位于上述角切除部1Ae对角位置的前述台状平面部1Aa的角部切除所形成的嵌合用角切除部1Ag。
本发明的第一实施形式的第一电子器件用托盘1A,主要是用于对封装底面上有球形端子的半导体装置等电子器件进行收纳、输送与检查的。为免损伤电子器件封装底面的球形端子,在各个坑1Ab的底面中央部开设有用于使球形端子从里面露出的通孔,而由各个坑1Ab的底面周缘部来支承电子器件封装底面周缘部。本发明的第一实施形式的第一电子器件用托盘1A是用塑料等材料由注射模塑成形制成。
本发明的第一实施形式的第一、第二电子器件用托盘1A、1B中,由于将位于角切除部1Ae、1Be的对角处的台状平面部1Aa、1Ba的角部切除而形成有嵌合用角切除部1Ag、1Bg,在将两个托盘经嵌合而堆叠时,即使在水平方向中托盘的取向相反,也能嵌合这两个托盘,同时能预防两托盘的侧壁状边缘端部1Ad与1Bd的破损和两托盘发生不良的弯曲。
图8是示明将本发明的多个第二实施形式的电子器件用托盘顺次嵌合堆叠的状态的斜视图。
本发明第二实施形式的电子器件用托盘,包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部2a;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部2a上按矩阵形排列的许多坑2b;为使多个托盘顺次嵌合堆叠而在台状平面部2a的周缘部上形成的台阶状周缘部2c;用于支承台状平面部2a与台阶状周缘部2c而于台阶状周缘部2c底面上形成的侧壁状边缘端部2d;为与输送托盘的输送机构的输送用爪3相配合而于侧边状边缘端部2d中切除一部分所形成的切口部2C在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致将台状平面部2a与台阶状周缘部2c两者的4个角部中之一切除而形成的角切除部2e;为在翻转托盘的状态下能从底面侧与输送机构的输送用爪3相配合而在台阶状周缘部2c表面上各切口部2f上的位置处形成的爪配合突起部2f。
爪配合突起部2f的形状只需是能同输送机构的输送用爪3相配合的形状都可以。但在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,此爪配合突起部2f的形状应取使正下方的托盘的爪配合突起部2f能收纳到正上方的托盘中切口部2f内的形状。
本发明第二实施形式的电子器件用托盘与本发明第一实施形式的电子器件用托盘相同,也主要是用于对在封装底面上有圆形端子的半导体装置等电子器件进行收纳、输送与检查的。为免损伤电子器件封装底面的球形端子,在各个坑2b的底面中央部开设有用来让球形端子从托盘里面露出的通孔,而由各个坑2b的底面周缘部支承电子器件封装底面周缘部。本发明第二实施形式的电子器件用托盘也是由塑料等材料通过注射模塑成形制造的。
在本发明的第二实施形式的电子器件用托盘中,由于在台阶状周缘部2c表面上各切口部2f上形成有爪配合突起部2f,而作为将收纳于托盘中的电子器件检查用时使电子器件翻转的方法则采用了,将多个托盘在按同一顺序顺次嵌合堆叠的状态下一齐翻转的方法,且如以后所述,也能解决先有技术中存在的问题。
图9是示明由输送机构输送本发明第二实施形式的在经翻转而处于翻过来状态下时的电子器件用托盘的情形的斜视图。
作为使收纳于托盘中的电子器件进行检查而将电子器件翻转的方法,在采用将多个托盘全部按相同方向顺次嵌合堆叠的状态下一齐翻转的方法时,当所有的托盘已翻转后而从里侧进行电子器件的检查时,如前所述,必须将托盘一个个地于翻转过来的状态下输送。但在将本发明第二实施形式的电子器件用托盘于翻转状态下输送时,则能在翻转托盘的状态下,从底侧将输送机构的输送用爪3配合到在台阶状周缘部2c表面上各切口部2f上方形成的爪配合突起部2f中,进行可靠地输送。因而可以预防在托盘于翻转状态下输送时发生因横滑而落下的事故。
再如以前所述,对于将多个托盘全部按同向顺次嵌合堆叠的状态下一齐翻转的方法,由于电子器件是在收纳于相当于1个电子器件高度的坑7b内的状态下进行翻转,就不会在翻转后变为倾斜状态,也不需要花费采用重新装置电子器件方法中所耗费的时间。
图10是示明本发明第三实施形式的电子器件用托盘外观的斜视图。
根据本发明第三结构的电子部件用托盘,它包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部4a;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部4a之上按矩阵形排列成的许多坑4b;用于支承台状平面部4a而于台阶状周缘部底面上形成的侧壁状边缘端部4d;为与输送托盘的输送机构的输送用爪结合而将此侧壁状边缘端部4d的一部分切除所形成的切口部4f;在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘取向一致,将此台状平面部4a的4个角部之一加以切除而形成的角切除部4e;在排列成矩阵状的上述多个坑4b中,沿行向与列向,每隔一个坑于坑4b的周围的4个角部中,对应于收纳的电子器件的尺寸而分别形成的嵌合用L型突起4j;在2个托盘的上述台状平面部4a相向重合时,为与上述嵌合用L型突起4j相互嵌合,而沿此嵌合用L型突起4j周围形成的坑以外的坑4b周围4边的各中央部,对应于收纳的电子器件的尺寸而分别形成的嵌合用I型突起4i。
本发明第三实施形式的电子器件用托盘也主要是用于收纳、输送和检查在封装底面有球形端子的半导体装置等电子器件的。为免损伤电子器件封装底面的球形端子,设有相应的坑4b。各个坑4b的底面应不与电子器件封装底面的球形端子接触,这或是使底面形成于充分的深度下,或也可使底面不存在而成为通孔。各坑4b周围的台状平面4a的表面支承着电子器件封装底面周缘部,同时由嵌合用L型突起4j或嵌合用I型突起4i阻止电子器件沿水平方向移动,本发明的第三实施形式的电子器件用托盘也是用塑料等材料经注射模塑成形制造的。
图11是示明已收纳有电子器件的本发明第三实施形式的电子器件用托盘顺次嵌合堆叠的状态的剖面图。
封装底面有球形端子5a的电子器件5按球形端子5a位于托盘底面的方向收纳于各个坑中。然后对各个托盘使正上方托盘的侧壁状边缘端部4d装载于正下方托盘的台状平面部4a的周缘部上而顺次嵌合堆叠。在将多个本发明第三实施形式的电子器件用托盘集中输送时,是将多个托盘顺次嵌合堆叠的状态下进行输送。
图2是剖面图,示明为从里侧检查收纳于本发明第三实施形式的电子器件用托盘中的电子器件而将电子器件翻转,使2个本发明的第三实施形式的电子器件用托盘的台状平面部4a相向重合的状态。
本发明的第三实施形式的电子器件用托盘最显著的特征是设有上述的嵌合用L型突起4j与嵌合用I型突起4i。这样,当采用本发明的第三实施形式的电子器件用托盘而将空托盘的顶面对向收纳有电子器件的托盘顶面重合上时,由于一方的托盘中嵌合用L型突起4j与另一方的托盘中嵌合用I型突起4i相互嵌合,坑4b的深度也基本上是相当于1个电子器件的高度。于是,通过将重叠嵌合的2个托盘一齐翻转,在将各坑中的电子器件从最初收纳的托盘一次性翻转而移动到空的托盘中时,坑内的电子器件就不会成为倾斜状态,结果可以防止电子器件发生损伤与防止作出错误的次品判定。
嵌合用L型突起4j与I型突起4i的形状并不限于L型与I型,只要是能使一方的突起与另一方的突起嵌合的形状都可以,但是应形成为能阻止收纳于坑4b内的电子器件移动的形状。此外,当将两种突起的顶面加工成锥形则易使这两种突起相互嵌合。

Claims (6)

1.一种电子器件用托盘,其特征在于包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部之上按矩阵形排列的多个坑;为使多个托盘顺次嵌合堆叠而在台状平面部的周缘形成的台阶状周缘部;用于支承台状平面部与台阶状周缘部而于台阶状周缘部底面上形成的侧壁状边缘端部;为与输送托盘的输送机构的输送用爪结合而将此侧壁状边缘端部的一部分切除所形成的切口部;在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致,将此台状平面部、台阶状周缘部以及侧壁状边缘端部三者的4个角部之一切除而形成的角切除部;以及为使多个托盘顺次嵌合堆叠时即使在水平方向中的托盘的取向相反也可让托盘嵌合,而将位于上述角切除部对角位置的前述台状平面部的角部切除所形成的嵌合用角切除部。
2.一种电子器件用托盘,其特征在于包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部之上按矩阵形排列的多个坑;为使多个托盘顺次嵌合堆叠而在此台状平面部的周缘形成的台阶状周缘部;用于支承此台状平面部与台阶状周缘部而于此台阶状周缘部底面上形成的侧壁状边缘端部;为与输送托盘的输送机构的输送用爪配合而将此侧壁状边缘端部的一部分切除所形成的切口部;在将各个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致,将上述台状平面部以及台阶状周缘部两者的4个角部中之一加以切除而形成的角切除部;以及为使托盘在翻转状态下能从底面侧配合输送机构的输送用爪而于上述台阶状周缘部表面上的前述缺口部上的位置中形成的爪配合突起部。
3.一种电子器件用托盘,其特征在于包括:构成托盘主要部分的约略呈矩形的台状平面部;与收纳的电子器件尺寸相对应而形成的凹部在此台状平面部之上按矩阵形排列成的多个坑;用于支承台状平面部而于台阶状周缘部底面上形成的侧壁状边缘端部;为与输送托盘的输送机构的输送用爪结合而将此侧壁状边缘端部的一部分切除所形成的切口部;在将多个托盘顺次嵌合堆叠时,为使各托盘的取向一致,将此台状平面部的4个角部之一加以切除而形成的角切除部;在排列成矩阵状的上述多个坑中,沿行向与列向,每隔一个坑于坑的周围,对应于收纳的电子器件的尺寸而分别形成的第一形状嵌合用突起;在2个托盘的上述台状平面部相向重合时,为与上述第一形状嵌合用突起相互嵌合,而在周围形成有第一形状嵌合用突起的上述坑之外的坑的周围,对应于收纳的电子器件尺寸而分别形成的第二形状嵌合用突起。
4.根据权利要求3所述的电子器件用托盘,其特征在于,上述第一形状的嵌合用突起和第二形状的嵌合用突起其顶面分别加工成锥形。
5.根据权利要求3所述的电子器件用托盘,其特征在于,上述第一形状嵌合用突起是在排列成矩阵状的所述多个坑中,沿行向与列向,每隔一个坑于上述坑的周围的4个角部中,对应于收纳的电子器件的尺寸而分别形成的嵌合用L型突起;而上述第二形状嵌合用突起是在2个托盘的上述台状平面部相向重合时,为与前述嵌合用L型突起相互嵌合而沿周围形成有上述嵌合用L型突起的坑以外的坑周围4边各中央部,对应于收纳的电子器件的尺寸而分别形成的嵌合用I型突起。
6.根据权利要求5所述的电子器件用托盘,其特征在于,前述第一形状的嵌合用突起与第二形状的嵌合用突起其顶面分别加工成锥形。
CNB011116064A 2000-03-16 2001-03-16 电子部件用托盘 Expired - Fee Related CN1227728C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000074238A JP2001261089A (ja) 2000-03-16 2000-03-16 電子部品用トレイ
JP074238/2000 2000-03-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1314704A true CN1314704A (zh) 2001-09-26
CN1227728C CN1227728C (zh) 2005-11-16

Family

ID=18592325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB011116064A Expired - Fee Related CN1227728C (zh) 2000-03-16 2001-03-16 电子部件用托盘

Country Status (5)

Country Link
US (2) US20010023839A1 (zh)
JP (1) JP2001261089A (zh)
KR (1) KR100414840B1 (zh)
CN (1) CN1227728C (zh)
TW (1) TWI221309B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005036588A2 (en) * 2003-10-08 2005-04-21 Peak Plastic And Metal Products (Int'l), Ltd. Tray with flat bottom reference surface
CN100351996C (zh) * 2003-04-16 2007-11-28 伊利诺斯器械工程公司 用于存放电气元件的托盘
CN100575081C (zh) * 2007-06-12 2009-12-30 台湾暹劲股份有限公司 电子元件定位于料盘内的定位装置
CN102009773A (zh) * 2010-11-01 2011-04-13 张家港市环宇制药设备有限公司 塑料瓶灭菌车托盘的塑料瓶定位装置
CN102040018A (zh) * 2010-08-27 2011-05-04 昆山裕达塑胶包装有限公司 设置有倒角台阶的塑胶托盘
CN104752284A (zh) * 2015-03-06 2015-07-01 太仓天宇电子有限公司 一种二极管可叠加料盘
CN110246790A (zh) * 2018-03-07 2019-09-17 美国莱迪思半导体公司 芯片托盘及其制造方法

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004049334A1 (en) * 2002-11-25 2004-06-10 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. An exchange method and mechanism for a component of the magnetic head and the suspension or the head gimbal assembly of the hard disk driver during manufacture
JP4299721B2 (ja) * 2003-12-09 2009-07-22 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置の搬送方法および半導体装置の製造方法
DE102004007333B4 (de) * 2004-02-14 2009-08-13 Mirae Corp., Chunan Tablettüberführungsvorrichtung zum Überführung eines Transporttabletts, auf dem elektronische Bauelemente montiert sind
US20060070894A1 (en) * 2004-08-19 2006-04-06 Bradley Scott C Invertible and adjustable tray
JP2006303246A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Miraial Kk 枚葉収納容器
JP4789566B2 (ja) * 2005-09-30 2011-10-12 ミライアル株式会社 薄板保持容器及び薄板保持容器用処理装置
JP4903429B2 (ja) * 2005-12-05 2012-03-28 ミライアル株式会社 載置トレイ及び薄板保持容器
JP2007182237A (ja) * 2006-01-05 2007-07-19 Yamaha Corp 収納容器
KR101044715B1 (ko) * 2006-01-19 2011-06-29 주식회사 만도 디스크 브레이크
US20080232761A1 (en) * 2006-09-20 2008-09-25 Raveen Kumaran Methods of making optical waveguide structures by way of molecular beam epitaxy
KR100839493B1 (ko) * 2007-02-06 2008-06-19 삼성테크윈 주식회사 칩 트레이
JP4360431B2 (ja) * 2007-08-20 2009-11-11 セイコーエプソン株式会社 半導体チップ収容トレイ
JP5113507B2 (ja) * 2007-12-25 2013-01-09 新光電気工業株式会社 放熱板収納トレー
JP4828574B2 (ja) * 2008-05-26 2011-11-30 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の搬送方法
US9048272B2 (en) * 2008-09-25 2015-06-02 Illinois Tool Works Inc. Devices and method for handling microelectronics assemblies
JP4941527B2 (ja) * 2009-09-09 2012-05-30 セイコーエプソン株式会社 半導体チップ収容トレイ
US8541886B2 (en) * 2010-03-09 2013-09-24 Stats Chippac Ltd. Integrated circuit packaging system with via and method of manufacture thereof
US20120273389A1 (en) * 2011-04-27 2012-11-01 Freescale Semiconductor, Inc. Semiconductor tray carrier
JP6123329B2 (ja) * 2013-02-12 2017-05-10 大日本印刷株式会社 基板保持部材
US20150188025A1 (en) * 2013-12-30 2015-07-02 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Container for electronic component and electronic component
CN103950612B (zh) * 2014-05-15 2016-08-31 国网上海市电力公司 一种兼容两种尺寸终端的工件托盘
US10147448B2 (en) 2014-07-08 2018-12-04 Seagate Technology Llc High flow packaging for slider cleaning
KR200482709Y1 (ko) 2014-11-13 2017-03-03 정대호 동물용 보호 커버
JP6313250B2 (ja) 2015-03-11 2018-04-18 東芝メモリ株式会社 半導体製造装置
WO2017011564A1 (en) 2015-07-13 2017-01-19 Entegris, Inc. Substrate container with enhanced containment
KR20170100353A (ko) * 2016-02-25 2017-09-04 (주)코스탯아이앤씨 반도체 수납 트레이 및 반도체 수납 트레이용 커버
JP6697902B2 (ja) * 2016-02-26 2020-05-27 株式会社三井ハイテック トレイ及び熱処理方法
EP3823809B1 (en) 2018-07-16 2023-05-03 Bosch Car Multimedia Portugal, S.A. Protective stackable tray for electrostatic discharge sensitive devices using shape memory polymers and a method of manufacturing the tray
JP7183731B2 (ja) * 2018-11-27 2022-12-06 日本電気硝子株式会社 トレイ、ワーク梱包体、及びワークの梱包方法

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4425997A (en) * 1982-09-30 1984-01-17 Grant Robert F Article display and holder apparatus
USD292743S (en) * 1984-11-15 1987-11-17 Patrick Plastics Inc. Circuit board carrier
US5110001A (en) * 1991-03-04 1992-05-05 Micron Technology, Inc. Handle for wafer carrier
US5310076A (en) * 1992-10-19 1994-05-10 Arrow Electronics, Inc. Snap-on lid for computer chip tray
US5400904C1 (en) 1993-10-15 2001-01-16 Murphy R H Co Inc Tray for ball terminal integrated circuits
US5418692A (en) * 1994-08-22 1995-05-23 Shinon Denkisangyo Kabushiki-Kaisha Tray for semiconductor devices
JP2688664B2 (ja) * 1994-09-07 1997-12-10 シノン電気産業株式会社 半導体デバイス用トレー
US5634559A (en) * 1995-07-27 1997-06-03 Plastofilm Industries, Inc. Package tray having reversible nesting and enclosing fastening feature
US5794783A (en) * 1996-12-31 1998-08-18 Intel Corporation Die-level burn-in and test flipping tray
JPH11105874A (ja) * 1997-09-30 1999-04-20 Ibiden Co Ltd トレー及び積層トレーの組合せ
US5848703A (en) * 1997-10-20 1998-12-15 R. H. Murphy Co., Inc. Tray for integrated circuits
JP3967010B2 (ja) * 1997-11-14 2007-08-29 シャープ株式会社 包装トレイ
US6202883B1 (en) * 1998-02-06 2001-03-20 Mitsubishi Engineering-Plastics Corp. Tray for semiconductor integrated circuit devices
US6227372B1 (en) * 1998-04-30 2001-05-08 Peak International, Inc. Component carrier tray for high-temperature applications
US5957293A (en) * 1998-05-04 1999-09-28 Advanced Micro Devices, Inc. Tray to ship ceramic substrates and ceramic BGA packages
JP4179680B2 (ja) * 1998-10-12 2008-11-12 富士通コンポーネント株式会社 電子部品用キャリア、電子部品梱包体及び電子部品運搬方法
US6079565A (en) * 1998-12-28 2000-06-27 Flouroware, Inc. Clipless tray
JP3771084B2 (ja) * 1999-04-30 2006-04-26 Necエレクトロニクス株式会社 半導体集積回路装置用トレイ
SG92640A1 (en) * 1999-06-07 2002-11-19 E Pak Resources S Pte Ltd Stud and rider for use on matrix trays
US6116427A (en) * 2000-01-31 2000-09-12 Silicon Integrated Systems Corp. Tray for ball grid array devices
US6230896B1 (en) * 2000-05-31 2001-05-15 Advanced Micro Devices, Inc. Universal shipping tray
US6384361B1 (en) * 2000-06-27 2002-05-07 Advanced Micro Devices, Inc. Error free trays for bin sorting
MY130407A (en) * 2000-12-01 2007-06-29 Texchem Pack M Sdn Bhd Tray for storing semiconductor chips
KR20040019064A (ko) * 2001-07-15 2004-03-04 엔테그리스, 아이엔씨. 반도체용 트레이
US6914771B2 (en) * 2002-05-29 2005-07-05 Hirokazu Ono Tray for electronic components
US6907993B2 (en) * 2002-06-28 2005-06-21 Hon Hai Precision Ind. Co., Ltd Connector package with supporting walls
US6868970B2 (en) * 2003-04-16 2005-03-22 Illinois Tool Works Inc. Stackable tray for integrated circuits with corner support elements and lateral support elements forming matrix tray capture system

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100351996C (zh) * 2003-04-16 2007-11-28 伊利诺斯器械工程公司 用于存放电气元件的托盘
WO2005036588A2 (en) * 2003-10-08 2005-04-21 Peak Plastic And Metal Products (Int'l), Ltd. Tray with flat bottom reference surface
WO2005036588A3 (en) * 2003-10-08 2005-06-16 Peak Plastic & Metal Prod Tray with flat bottom reference surface
CN100575081C (zh) * 2007-06-12 2009-12-30 台湾暹劲股份有限公司 电子元件定位于料盘内的定位装置
CN102040018A (zh) * 2010-08-27 2011-05-04 昆山裕达塑胶包装有限公司 设置有倒角台阶的塑胶托盘
CN102009773A (zh) * 2010-11-01 2011-04-13 张家港市环宇制药设备有限公司 塑料瓶灭菌车托盘的塑料瓶定位装置
CN104752284A (zh) * 2015-03-06 2015-07-01 太仓天宇电子有限公司 一种二极管可叠加料盘
CN110246790A (zh) * 2018-03-07 2019-09-17 美国莱迪思半导体公司 芯片托盘及其制造方法
CN110246790B (zh) * 2018-03-07 2023-11-24 美国莱迪思半导体公司 芯片托盘及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001261089A (ja) 2001-09-26
TWI221309B (en) 2004-09-21
CN1227728C (zh) 2005-11-16
US20010023839A1 (en) 2001-09-27
KR20010091924A (ko) 2001-10-23
US20030209466A1 (en) 2003-11-13
KR100414840B1 (ko) 2004-01-13
US7059476B2 (en) 2006-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1227728C (zh) 电子部件用托盘
CN1116203C (zh) 带有自定位匣的集成电路托盘
CN1038491C (zh) 集成电路元件托盘
EP1766664B1 (en) Stackable tray for integrated circuit chips
CN1884011A (zh) 全自动扭锁
CN1943010A (zh) 用于集成电路芯片的可堆叠托盘
CN106144468A (zh) 容器输送装置及容器输送设备
US20110132789A1 (en) Tray for storing and transporting workpieces
CN101965633A (zh) 用于运输太阳能电池晶片的晶片盒
KR101580901B1 (ko) 전자 소자 적재용 트레이
JP3856542B2 (ja) キャリアテープ
CN201647461U (zh) 交替堆栈式托盘
JP2001278238A (ja) 電子部品収納用トレイ
CN217146860U (zh) 一种翻边瓦包装盒
CN1063647A (zh) 固定单体装载物的装置
CN217995129U (zh) 一种稳定型托盘及承载装置
JP3247662B2 (ja) キャリアテープ
CN219970310U (zh) 一种翻转吸塑盘
JP3645094B2 (ja) エンボスキャリアテープ
CN217576098U (zh) 一种可有效防止划伤的包装盒
CN2509097Y (zh) 栈板
JP3939126B2 (ja) 折り畳み容器
CN218414530U (zh) 芯片承载托盘及托盘组件
CN210527123U (zh) 一种仓储堆垛用托盘及与其配合的箱体结构
CN212196192U (zh) 一种陶瓷工件的检验包装装置

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20051116

Termination date: 20130316