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Patentes

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Número de publicaciónCN1414615 A
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudCN 01104515
Fecha de publicación30 Abr 2003
Fecha de presentación10 Feb 2001
Fecha de prioridad26 Jun 1992
También publicado comoCN1076864C, CN1087750A, CN1108225C, CN1128193A, CN1139105C, CN1214450C, CN1216404C, CN1284742A, CN1350322A, CN1414604A, CN1921069A, CN1921069B, US5858473, US5897799, US5968383, US6002101, US6440785, US6991975, US7985635, US20060194377
Número de publicación01104515.9, CN 01104515, CN 1414615 A, CN 1414615A, CN-A-1414615, CN01104515, CN01104515.9, CN1414615 A, CN1414615A
Inventores山崎舜平, 张宏勇, 石原浩朗
Solicitante株式会社半导体能源研究所
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  SIPO, Espacenet
半导体器件的制造方法
CN 1414615 A
Descripción  disponible en chino
Reclamaciones(20)  disponible en chino
Clasificaciones
Clasificación internacionalB23K26/00, H01S3/09, B23K101/40, H01L21/02, B23K26/067, G02F1/00, H01L21/324, H01L21/322, G02F1/35, H01L21/00, B23K26/06, G02B27/09, H01S5/024, H01S3/097, C23C14/58, C23C16/56, G02B13/00, H01S3/00, H01L21/20, H01L21/265, H01L21/26, H01L21/268
Clasificación cooperativaC23C14/58, H01L21/2022, G02B27/0966, C23C16/56, C23C14/5813, H01L21/2026, H01L21/84, G02B27/09, H01L21/26513, H01L21/268, H01L27/1285
Clasificación europeaH01L27/12T, G02B27/09S2L2, G02B27/09, C23C14/58B2, C23C14/58, C23C16/56, H01L21/268, H01L21/265A2, H01L21/20D2
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
30 Abr 2003C06Publication
16 Jul 2003C10Request of examination as to substance
10 Ago 2005C14Granted
21 Ago 2013C17Cessation of patent right