CN1437048A - 制造液晶显示器的设备和方法,使用该设备的方法,用该方法生产的器件 - Google Patents

制造液晶显示器的设备和方法,使用该设备的方法,用该方法生产的器件 Download PDF

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Abstract

一种用来制造一液晶显示器的设备包括：一个整体真空处理室，具有一衬底入口；一装载部分，用于通过衬底入口装载第一和第二衬底，在第一和第二衬底中的一个上设置有一液晶材料；上工作台和下工作台，设置在真空处理室内，用于固定第一和第二衬底；一工作台移动系统，用于提供上工作台与下工作台之间的相对移动；和一真空产生系统，用于抽空真空处理室内部。

Description

制造液晶显示器的设备和方法，使用该设备的方法，用该方法 生产的器件
本发明要求享有2002年2月6日于韩国提出的韩国专利申请第P2002-6640号的利益，该申请在此引入以作参考。
发明领域
本发明涉及一种制造设备和方法，尤其涉及一种用来制造适于大型液晶显示的液晶显示器的设备和方法。
背景技术
通常，在信息通信领域方面的近期开发对各种类型显示器的需求有所增长。根据这种需求，已经开发出各种平板式显示器，如液晶显示器(LCD)、等离子体显示器(PDP)、场致发光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)，用以代替传统的阴极射线管(CRT)器件。尤其是，LCD装置因其分辨率高、重量轻、外型薄且功耗低而被广泛采用。另外，LCD装置也已经在移动装置如笔记本计算机的监视器中使用。此外，已经开发出用于计算机监视器和电视以接收和显示广播信号的LCD装置。
因此，在改善LCD装置画质上的努力与分辨率高、重量轻、外型薄和功耗低的好处形成对比。为了将LCD装置实现为一普通的图像显示器，例如必须达到例如画质优良、亮度好、面积大等图像品质。
在第一玻璃衬底(TFT阵列衬底)上，沿一个方向以固定间隔形成多条控制线，而沿与这多条控制线的方向相垂直的第二方向形成多条数据线，由此限定多个象素区。然后，在这些象素区上以一矩阵结构形成多个象素电极，并且在这些象素区上形成多个薄膜晶体管(TFT)。因此，通过沿控制线传输给每个象素电极的信号和沿数据线传输给每个象素电极的转接信号开关这多个薄膜晶体管。为了防止漏光，在除了第二玻璃衬底(滤色器衬底)上对应于第一玻璃衬底的象素区的区域以外的第二玻璃衬底上，形成黑色矩阵膜。
以下参照根据已有技术的制造设备描述采用一TFT衬底和一滤色器衬底制造一LCD装置的过程。
根据已有技术制造一LCD装置的过程包括以下步骤：在第一和第二衬底中的一个上形成一密封图案，以形成一注入口；在一真空处理室内将第一和第二衬底相互粘接在一起；在另一个真空室内通过该注入口注入液晶。在根据已有技术制造一LCD装置的另一个过程中，披露于日本专利申请第11-089612和11-172903号中的液晶滴落法包括以下步骤：将液晶材料滴落到第一衬底上；将第二衬底设置在第一衬底之上；移动第一和第二衬底，由此将第一和第二衬底相互粘接在一起。与液晶注入法相比，液晶滴落法的优点在于，由于液晶预先设置在第一衬底上，所以无需一些步骤，如形成液晶材料注入口、注入液晶材料和密封注入口。
图1和2示出一种采用根据已有技术的液晶滴落法的衬底粘接装置剖视图。图1中，衬底粘接装置包括框架10、上工作台21、下工作台22、密封剂分配器(图中未示)、液晶材料分配器30、包括上室单元31和下室单元32的处理室、室移动系统40和工作台移动系统50。室移动系统40包括一驱动电机，该电机受驱动以有选择地将下室单元32移动到执行粘接过程的位置，或者移动到密封剂流出或液晶材料滴落的位置。工作台移动系统50包括另一驱动电机，该电机受到驱动以有选择地沿与上工作台21和下工作台22垂直的一个垂直方向移动上工作台21。
用根据已有技术衬底粘接设备制造一LCD装置的过程如下。图1中，首先，将第二衬底52置于上工作台21上，将第一衬底51置于下工作台22上。然后，通过室移动系统40将具有下工作台22的下室单元32移动到用来分配密封剂和分配液晶材料的处理位置(S1)。在图2中，接着，通过室移动系统40将下室单元32移动到用来粘接衬底的处理位置(S2)。之后，通过室移动系统40将上室单元31和下室单元32组装在一起以形成一真空紧密封，通过真空产生系统(图中未示)降低室中的压力。一旦得到足够的压力，通过工作台移动系统50将上工作台21向下移动，以将第二衬底52紧固到第一衬底51上，对室连续增压，完成LCD装置的制造过程。
令人遗憾的是，根据已有技术的衬底粘接设备存在缺点。首先，根据已有技术的衬底粘接设备无法将密封剂和液晶材料分配到形成有薄膜晶体管和滤色器的衬底上。第二，这种粘接设备的整体尺寸无法允许进行其他处理，由此很难设计液晶显示器制造过程的一个方案。第三，由于用一下室单元执行多项处理过程，所以处理时间大大延长，由此降低了整体生产率。根据已有技术，将密封剂分配到第一衬底上的时间量、将液晶材料分配到第二衬底上的时间量和粘接第一与第二衬底的时间量导致后来执行和完成所有的制造过程时间量显著增大。第四，如果没有达到上室单元与下室单元之间的真空紧密连接，那么将在上室单元与下室单元之间产生气流，由此导致第一与第二衬底之间的粘接很少。因此，需要用来确保上室单元与下室单元之间真空紧密封的其他部件。最后，由于下室单元的水平移动，所以难以在粘接期间对准第一和第二衬底，由此延长了整个处理时间。
发明内容
因此，本发明涉及一种用来粘接液晶显示器的设备和方法，一种使用该设备的方法，和一种用该方法生产的显示器，它们基本上避免了因已有技术的限制和缺点所带来的一个或多个问题。
本发明的一个目的在于提供一种制造大型液晶显示器的设备和方法，其每一个工作台都具有一移动范围和的移动方向，用以对准衬底。
本发明的另一个目的在于提供一种用这种制造大型液晶显示器的设备和方法制造的液晶显示器。
本发明的其他特征和优点将在以下的说明书中描述，并且根据说明书的描述，它们一部分变得很明显，或者可以通过对本发明的实践学会。通过说明书及其权利要求书以及附图所特别指出的结构，本发明的这些目的和其他优点得以实现和得到。
为了实现根据本发明目的的这些和其他优点，如这里所具体和概括性描述的那样，一种用于制造一液晶显示器的设备包括：一个整体真空处理室，具有一衬底入口；装载部分，用于承载和固定通过衬底入口的第一和第二衬底，在第一和第二衬底中的一个上设置有一液晶材料；上工作台和下工作台，设置在真空处理室内，用于固定第一和第二衬底；一工作台移动系统，用于提供上工作台与下工作台之间的相对移动；和一真空产生系统，用于抽空真空处理室内部。
在另一个方面，一种制造液晶显示器的方法包括以下步骤：通过一整体真空处理室的衬底入口装载第一和第二衬底，第一和第二衬底中的一个上设有一密封材料；在上工作台与下工作台之间提供相对运动；抽空真空处理室的内部；以及将其间设有液晶材料的第一衬底和第二衬底粘接在一起。
在另一个方面，用包括如下步骤的一种方法制造的液晶显示器：通过一整体真空处理室的衬底入口装载第一和第二衬底，第一和第二衬底中的一个上设有一密封材料；在上工作台与下工作台之间提供相对运动；抽空真空处理室的内部；以及将其间设有液晶材料的第一衬底和第二衬底粘接在一起。
应理解的是，前面总的描述和下面详细的描述都是示例性和解释性的，意欲用它们提供对所要求保护的本发明的进一步解释。
附图简要说明
所包括用来提供对本发明进一步理解且包括在本说明书内构成本说明书一部分的附图，示出了本发明的各实施例，并且连同说明书一起用来解释本发明的原理。这些附图中：
图1示出根据已有技术在密封上室单元和下室单元之前的衬底粘接装置的剖视图；
图2示出根据已有技术在衬底粘接过程中的衬底粘接装置的剖视图；
图3示出根据本发明在装载过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；
图4示出根据本发明在真空过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；
图5示出根据本发明在衬底之间进行位置对准过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；
图6示出根据本发明在衬底粘接过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；
图7示出根据本发明在进一步粘接过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；
图8示出根据本发明在卸载过程中用于制造一液晶显示器的典型设备。
具体实施例
现在详细描述本发明的优选实施例，其实例示于附图中。
图3示出根据本发明在制造过程中用于制造一液晶显示器的典型设备。图3中，该设备可以包括真空处理室110、上工作台121、下工作台122、上工作台移动轴131、下工作台移动轴132、上工作台驱动电机133、下工作台驱动电机134、真空产生系统200和装载部分300。
真空处理室110可以通过空气出口112经空气出口阀112a接至真空产生系统200，空气出口阀112a用于降低真空处理室110内部的压力。真空处理室可以包括用于经通气管阀113a通过引入空气或气体以增大真空处理室110内部压力的通气管113。因此，真空处理室可以包括真空处理室入口111，以允许装载部分300装入和抽出第一衬底510和第二衬底520。
上工作台部分121和下工作台部分122可以分别设置在真空处理室110的上部和下部。上工作台121和下工作台122可以包括分别设置在上工作台121与下工作台122相对表面上的静电卡盘(ESC)121a和122a。因此，上静电卡盘121a将衬底520通过静电固定到上工作台121上，下静电卡盘122a将衬底510通过静电固定到下工作台122上。另外，上工作台121可以包括多个穿过上工作台121形成的真空孔121b，由此通过在多个真空孔121b内部形成真空而将衬底520固定到上工作台121上。上静电卡盘121a和下静电卡盘122a可以配备有至少一对具有不同极性的静电盘，用以施加具有不同极性的连续力(serial power)。另一方面，上静电卡盘121a和下静电卡盘122a可以配备有同时具有两个相同极性的静电盘。
多个真空孔121b可以形成于一中央部分和沿上静电卡盘121a的周边部分，也可以接至单独一个或多个管121c，用以传送接至上工作台121的真空泵123所产生的真空力。另一方面，即使上静电卡盘121a和多个真空孔121b可以形成为与上工作台121形状类似，也可以优选基于衬底520的几何形状或基于设有液晶区域的几何形状排列上静电卡盘121a和多个真空孔121b。
在真空处理室110的外部和内部，上工作台移动轴131驱动上工作台121，下工作台旋转轴132驱动下工作台122，上和下工作台驱动电机133和134分别驱动上和下工作台121和122。驱动系统135可以在对准第一衬底510与第二衬底520的对准过程中用来驱动下工作台122。
真空产生系统200可以传送一吸力以在真空处理室110内部产生真空状态，它可以包括用来产生一普通真空力的吸力泵。另外，真空产生系统200可以与真空处理室110的空气出口112互连。
装载部分300可以是与真空处理室110分开的机械装置，它可以设置在真空处理室110的外部。装载部分300可以接收第一衬底510和第二衬底520中其上至少设有液晶材料的一个。另外，第一衬底510可以包括液晶材料和密封剂这二者。此外，第一衬底510可以包括一TFT阵列衬底和一滤色器(C/F)衬底中的一个，第二衬底520可以包括该TFT阵列衬底和C/F衬底中的另一个。然后，装载部分300可以有选择地将第一衬底510和第二衬底520都装载到真空处理室110内。装载部分300可以包括第一臂310以承载其上至少设有液晶材料的第一衬底510，和包括第二臂320以承载第二衬底520。在装载第一衬底510和第二衬底520的过程中，第一臂310可以位于第二臂320之上。
还可以包括对准系统600以保证第一衬底510和第二衬底520的对准状态。对准系统600可以设置到至少真空处理室110的内部或外部。由于可以限制下工作台122的运动，所以可以精确和迅速地达到第一衬底510与第二衬底520之间的对准状态。
下文将描述采用根据本发明用于制造一液晶显示器的设备粘接第一衬底510和第二衬底520的过程。
图3中，装载部分300在第一臂310上接收第一衬底510和第二衬底520中其上至少设有液晶材料的一个，在第二臂320上接收第一衬底510和第二衬底520中的另一个。第二臂320将衬底520装载到上工作台121的下表面上，第一臂310将其上至少设有液晶材料的衬底510装载到下工作台122的上表面上。衬底520可以在其上至少设有液晶材料的衬底510之前装载到上工作台122的下表面上，以防颗粒落到衬底510上。在衬底510的装载过程中，颗粒可能落到其上设有液晶材料的衬底510上。
第二臂320承载上工作台下面的衬底520，然后使得真空泵123将一真空力传输给上工作台121上的多个真空孔121b。第一臂310承载下工作台122上面的衬底510，以将衬底520从第二臂320固定到上工作台121，并且使得一真空泵(图中未示)将一真空力传输给下工作台122上多个真空孔(图中未示)中的每一个，以将衬底510从第一臂310固定到下工作台122上。
在完成衬底510和520的装载之后，允许操作设置在真空处理室入口111处的保护门114，由此密封真空处理室入口111。
图4示出根据本发明在真空过程中制造一液晶显示器的典型设备。图4中，允许真空产生系统200工作，并且打开空气出口阀112a，由此抽空真空处理室110的内部。一旦真空处处理室110的内部成功地抽空到理想压力，就可以禁止真空产生系统200工作，并且可以关闭空气出口阀112a。因此，可以对上静电卡盘121a和下静电卡盘122a加力，由此通过静电力将衬底510和520固定到上工作台121和下工作台122上。
图5示出根据本发明在衬底之间的位置对准过程中用来制造一液晶显示器的典型设备。图5中，上工作台驱动电机133向下工作台122方向移动上工作台121，以将上工作台121置于与下工作台122相邻。然后，对准系统600保证第一衬底510和第二衬底520的对准状态，以使它们分别固定到上工作台121和下工作台122上。对准系统600将一控制信号传输给上工作台移动轴131和下工作台旋转轴132，由此对准第一衬底510和第二衬底520。
图6示出根据本发明在一衬底的粘接过程中用来制造一液晶显示器的典型设备。图6中，上工作台移动轴131响应于从对准系统600接收到的驱动信号受到驱动，并且执行第一粘接过程，以粘接衬底510和520。但是，第一粘接过程可以不必完全粘接衬底510和520。第一粘接过程松散地粘接衬底510和520，以便在真空处理室的压力增大到大气压时空气不会引入粘接的衬底之间。
图7示出根据本发明在进一步粘接过程中用于制造一液晶显示器的典型设备。图7中，允许通气管阀113a工作，由此使真空处理室110内部的压力达到大气压。因此，所粘接的衬底因所粘接衬底之间抽空的内部与真空处理室110的大气压之间的压差受到进一步压迫。
因此，执行更完全的粘接过程，如果完成了该粘接过程，操作真空处理室110的保护门114，以便打开保护门所关闭的入口111。
图8示出根据本发明在一卸载过程中用来制造一液晶显示器的典型设备。图8中，通过装载部分300的第二臂320执行对所粘接衬底的卸载。
对本领域的普通技术人员来说很明显的是，可以在不脱离本发明的实质或范围的情况下，在该制造液晶显示器的设备和方法中作各种修改和变换。这样，假定这些修改和变换落在所附权利要求书及其等同物的范围内，意欲使本发明覆盖这些修改和变换。

Claims (18)

1.一种用于制造一液晶显示器的设备，包括：
一个整体真空处理室，具有一衬底入口；
一装载部分，用于通过衬底入口装载第一和第二衬底，在第一和第二衬底中的一个上设置有一液晶材料；
上工作台和下工作台，设置在真空处理室内，用于固定第一和第二衬底；
一工作台移动系统，用于提供上工作台与下工作台之间的相对移动；和
一真空产生系统，用于抽空真空处理室内部。
2.根据权利要求1的设备，其中真空处理室包括一接至真空产生系统的空气出口和用于将空气和气体中的一种引入的通气管。
3.根据权利要求1的设备，其中至少一个静电卡盘和多个真空孔设置在用于固定第一和第二衬底的上工作台和下工作台相对的表面上。
4.根据权利要求3的设备，其中至少一个静电卡盘配备有至少一对静电盘。
5.根据权利要求3的设备，其中多个真空孔沿至少一个静电卡盘的外周边形成。
6.根据权利要求1的设备，其中工作台移动系统包括：一移动轴，连接在上工作台与设置在真空处理室外部上的驱动电机之间，用于移动上工作台；和一设置在下工作台上的旋转轴，用于绕一中心轴旋转下工作台。
7.根据权利要求1的设备，还包括一对准系统，设置在真空处理室的外部或内部，用于保证第一与第二衬底之间的对准状态。
8.根据权利要求1的设备，其中装载部分包括：第一臂，用于将第一衬底和第二衬底中其上设有液晶材料的一个装载到下工作台上；和第二臂，用于将第一衬底和第二衬底中的另一个装载到上工作台上。
9.根据权利要求1的设备，其中装载部分包括：第一臂，用于将其上设有液晶材料和密封剂的第一衬底装载到下工作台上；和第二臂，用于将第二衬底装载到上工作台上。
10.一种制造液晶显示器的方法，包括以下步骤：
通过一整体真空处理室的衬底入口装载第一和第二衬底，第一和第二衬底中的一个上设有一密封材料；
在上工作台与下工作台之间提供相对运动；
抽空真空处理室的内部；以及
将其间设有液晶材料的第一衬底和第二衬底粘接在一起。
11.根据权利要求10的方法，其中装载第一和第二衬底的步骤包括：
承载第二衬底并且将第二衬底固定到上工作台上；
承载具有一液晶材料的第一衬底；以及
将第一衬底固定到下工作台上。
12.根据权利要求10的方法，其中装载第一和第二衬底的步骤包括：允许操作至少一个静电卡盘，或为设置在上工作台与下工作台相对表面上的多个真空孔提供一真空力。
13.根据权利要求12的方法，其中允许操作至少一个静电卡盘包括启动至少一对静电盘。
14.根据权利要求12的方法，其中多个真空孔沿至少一个静电卡盘的外周边形成。
15.根据权利要求10的方法，其中提供相对运动的步骤包括：通过设置在真空处理室外部的驱动电机移动上工作台，并且旋转下工作台。
16.根据权利要求10的方法，还包括以下步骤：在粘接第一和第二衬底的步骤之前，通过一设置在真空处理室外部或内部的对准系统校验第一衬底与第二衬底之间的对准状态。
17.根据权利要求10的方法，其中装载第一和第二衬底的步骤包括：通过第二臂将第一和第二衬底中的一个装载到上工作台上，并且通过第一臂将第一和第二衬底中其上设有液晶材料的另一个装载到下工作台上。
18.根据权利要求10的方法，其中装载第一和第二衬底的步骤包括：通过第二臂将第二衬底装载到上工作台上，通过第一臂将其上设有液晶材料和密封剂的第一衬底装载到下工作台上。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100430790C (zh) * 2005-01-27 2008-11-05 芝浦机械电子装置股份有限公司 基板粘贴装置、基板粘贴判断方法及基板粘贴方法
CN100495143C (zh) * 2002-03-19 2009-06-03 富士通株式会社 用于制造接合基片的装置
CN101641272B (zh) * 2007-04-16 2011-11-16 株式会社爱发科 输送机和成膜装置及其维护方法

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3953767B2 (ja) * 2001-10-01 2007-08-08 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法及び製造装置
KR100469353B1 (ko) * 2002-02-06 2005-02-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자용 합착 장치
US6784970B2 (en) * 2002-02-27 2004-08-31 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Method of fabricating LCD
US7270587B2 (en) * 2002-03-05 2007-09-18 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method
US6885427B2 (en) * 2002-03-15 2005-04-26 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device having alignment system with one end provided inside vacuum chamber
US7244160B2 (en) * 2002-03-23 2007-07-17 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Liquid crystal display device bonding apparatus and method of using the same
KR20040012303A (ko) * 2002-08-02 2004-02-11 삼성전자주식회사 액정 표시 장치용 기판과 이를 포함하는 액정 표시 장치및 그 제조 방법
EP1722390A1 (en) * 2004-03-02 2006-11-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Production method and production device for image display unit
JP4190472B2 (ja) * 2004-07-28 2008-12-03 シャープ株式会社 液晶表示素子の製造方法及び製造装置
KR20060029530A (ko) * 2004-10-02 2006-04-06 삼성전자주식회사 인-시튜 열처리 장치 및 이에 채용되는 액정표시패널 냉각장치
KR101146525B1 (ko) * 2005-06-30 2012-05-25 엘지디스플레이 주식회사 기판 고정 지그 및 그 제조방법
US7925995B2 (en) * 2005-06-30 2011-04-12 Microsoft Corporation Integration of location logs, GPS signals, and spatial resources for identifying user activities, goals, and context
KR100898793B1 (ko) * 2005-12-29 2009-05-20 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자용 기판 합착 장치
KR101321238B1 (ko) * 2006-05-11 2013-10-25 엘지디스플레이 주식회사 봉지장치 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법
KR101213103B1 (ko) 2006-06-30 2013-01-09 엘지디스플레이 주식회사 합착 장치 및 이를 이용한 전계발광소자의 제조방법
KR100916298B1 (ko) * 2007-11-16 2009-09-10 주식회사 디엠에스 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치
US20090133801A1 (en) * 2007-11-23 2009-05-28 Seok Hee Shim Substrate attaching apparatus
KR100947082B1 (ko) * 2009-04-24 2010-03-10 한동희 패널부착장치
EP2530511B1 (en) * 2010-01-29 2015-11-25 Citizen Holdings Co., Ltd. Method for manufacturing electronic glasses and liquid-crystal lenses
KR101814366B1 (ko) * 2012-02-02 2018-01-03 주식회사 케이씨텍 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법
KR101876191B1 (ko) * 2012-02-10 2018-07-09 주식회사 케이씨텍 기판 처리 방법 및 그 장치
KR102571054B1 (ko) 2016-03-11 2023-08-30 주식회사 탑 엔지니어링 패널 합착 장치 및 방법

Family Cites Families (173)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US630306A (en) * 1898-03-23 1899-08-01 Charles Rausford Murray Equalizer.
US3978580A (en) 1973-06-28 1976-09-07 Hughes Aircraft Company Method of fabricating a liquid crystal display
JPS5811389B2 (ja) 1974-12-03 1983-03-02 インステイチユ−ト プロブレム マテリアロヴエデニア アカデミイ ナウク ウクラインスコイ エスエスア−ル ケンマザイノ メタライゼ−シヨン オヨビ コウロウツケ ヨウゴウキン
JPS5165656A (zh) 1974-12-04 1976-06-07 Shinshu Seiki Kk
US4094058A (en) 1976-07-23 1978-06-13 Omron Tateisi Electronics Co. Method of manufacture of liquid crystal displays
JPS5738414A (en) 1980-08-20 1982-03-03 Showa Denko Kk Spacer for display panel
JPS5788428A (en) 1980-11-20 1982-06-02 Ricoh Elemex Corp Manufacture of liquid crystal display body device
JPS5827126A (ja) 1981-08-11 1983-02-17 Nec Corp 液晶表示パネルの製造方法
JPS5957221A (ja) 1982-09-28 1984-04-02 Asahi Glass Co Ltd 表示素子の製造方法及び製造装置
JPS59195222A (ja) 1983-04-19 1984-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JPS60111221A (ja) 1983-11-19 1985-06-17 Nippon Denso Co Ltd 液晶充填方法および装置
JPS60164723A (ja) 1984-02-07 1985-08-27 Seiko Instr & Electronics Ltd 液晶表示装置
JPS60217343A (ja) 1984-04-13 1985-10-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JPS617822A (ja) 1984-06-22 1986-01-14 Canon Inc 液晶素子の製造方法
JPS6155625A (ja) 1984-08-24 1986-03-20 Nippon Denso Co Ltd 液晶素子製造方法
US4775225A (en) 1985-05-16 1988-10-04 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment
US4691995A (en) 1985-07-15 1987-09-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal filling device
JP2535142B2 (ja) 1985-07-15 1996-09-18 株式会社 半導体エネルギー研究所 液晶表示装置の作製方法
JPS6254228A (ja) 1985-07-15 1987-03-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置の作製方法
JP2616761B2 (ja) 1985-07-15 1997-06-04 株式会社 半導体エネルギー研究所 液晶表示装置の作製方法
JPS6289025A (ja) 1985-10-15 1987-04-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JPS6290622A (ja) 1985-10-17 1987-04-25 Seiko Epson Corp 液晶表示装置
US4653864A (en) 1986-02-26 1987-03-31 Ovonic Imaging Systems, Inc. Liquid crystal matrix display having improved spacers and method of making same
JPH0668589B2 (ja) 1986-03-06 1994-08-31 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子
US5379139A (en) 1986-08-20 1995-01-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device and method for manufacturing same with spacers formed by photolithography
US5963288A (en) 1987-08-20 1999-10-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device having sealant and spacers made from the same material
JPS63109413A (ja) 1986-10-27 1988-05-14 Fujitsu Ltd 液晶デイスプレイの製造方法
JPS63110425A (ja) 1986-10-29 1988-05-14 Toppan Printing Co Ltd 液晶封入用セル
JPS63128315A (ja) 1986-11-19 1988-05-31 Victor Co Of Japan Ltd 液晶表示素子
JPS63311233A (ja) 1987-06-12 1988-12-20 Toyota Motor Corp 液晶セル
JPH01216317A (ja) * 1988-02-24 1989-08-30 Nec Corp 液晶表示パネルの製造法
DE3825066A1 (de) 1988-07-23 1990-01-25 Roehm Gmbh Verfahren zur herstellung von duennen, anisotropen schichten auf oberflaechenstrukturierten traegern
US4964078A (en) 1989-05-16 1990-10-16 Motorola, Inc. Combined multiple memories
JPH0536425A (ja) 1991-02-12 1993-02-12 Tokyo Electric Power Co Inc:The 固体電解質型燃料電池用合金セパレータ及びその製造 方法
DE69226998T2 (de) 1991-07-19 1999-04-15 Sharp Kk Optisches Modulationselement und Vorrichtungen mit einem solchen Element
JP3068264B2 (ja) 1991-07-31 2000-07-24 三菱重工業株式会社 固体電解質燃料電池
JPH0559546A (ja) 1991-09-03 1993-03-09 Nec Ibaraki Ltd スパツタデポジシヨン装置
JPH05107533A (ja) 1991-10-16 1993-04-30 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法及びその貼り合せ装置
JPH0536426U (ja) * 1991-10-16 1993-05-18 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置
JPH05127179A (ja) 1991-11-01 1993-05-25 Ricoh Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP2609386B2 (ja) 1991-12-06 1997-05-14 株式会社日立製作所 基板組立装置
JP3159504B2 (ja) 1992-02-20 2001-04-23 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
JPH05265011A (ja) 1992-03-19 1993-10-15 Seiko Instr Inc 液晶表示素子の製造方法
JPH05281562A (ja) 1992-04-01 1993-10-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造方法
JP2939384B2 (ja) 1992-04-01 1999-08-25 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
US5507323A (en) 1993-10-12 1996-04-16 Fujitsu Limited Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell
JP2604090B2 (ja) 1992-06-30 1997-04-23 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置
JPH0634983A (ja) * 1992-07-17 1994-02-10 Sharp Corp 貼合わせ装置
JPH0651256A (ja) 1992-07-30 1994-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶吐出装置
JPH0664229A (ja) 1992-08-24 1994-03-08 Toshiba Corp 光プリンタヘッド
JP3084975B2 (ja) 1992-11-06 2000-09-04 松下電器産業株式会社 液晶表示用セルの製造装置
JPH06160871A (ja) 1992-11-26 1994-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JPH06194637A (ja) 1992-12-24 1994-07-15 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法
JPH06235925A (ja) 1993-02-10 1994-08-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH06265915A (ja) 1993-03-12 1994-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶充填用吐出装置
JP3210126B2 (ja) 1993-03-15 2001-09-17 株式会社東芝 液晶表示装置の製造方法
JP3170773B2 (ja) 1993-04-28 2001-05-28 株式会社日立製作所 基板組立装置
US5539545A (en) 1993-05-18 1996-07-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of making LCD in which resin columns are cured and the liquid crystal is reoriented
JP2957385B2 (ja) 1993-06-14 1999-10-04 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子の製造方法
JP3260511B2 (ja) 1993-09-13 2002-02-25 株式会社日立製作所 シール剤描画方法
CA2108237C (en) 1993-10-12 1999-09-07 Taizo Abe Method and dispenser for filling liquid crystal into lcd cell
JPH07128674A (ja) 1993-11-05 1995-05-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH07181507A (ja) 1993-12-21 1995-07-21 Canon Inc 液晶表示装置及び該液晶表示装置を備えた情報伝達装置
JPH07263529A (ja) * 1994-03-18 1995-10-13 Hitachi Ltd 静電吸着装置
JP2809588B2 (ja) 1994-04-06 1998-10-08 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP2880642B2 (ja) 1994-04-11 1999-04-12 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP3023282B2 (ja) 1994-09-02 2000-03-21 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置における定盤構造
US5854664A (en) 1994-09-26 1998-12-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Liquid crystal display panel and method and device for manufacturing the same
JP3189591B2 (ja) 1994-09-27 2001-07-16 松下電器産業株式会社 液晶素子の製造方法
JPH08101395A (ja) 1994-09-30 1996-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH08106101A (ja) 1994-10-06 1996-04-23 Fujitsu Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP2665319B2 (ja) 1994-10-13 1997-10-22 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の加熱装置
JP3053535B2 (ja) 1994-11-09 2000-06-19 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の加圧加熱装置
JPH08171094A (ja) 1994-12-19 1996-07-02 Nippon Soken Inc 液晶表示器への液晶注入方法及び注入装置
JP3122708B2 (ja) 1994-12-26 2001-01-09 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP3545076B2 (ja) 1995-01-11 2004-07-21 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示装置及びその製造方法
JP3216869B2 (ja) 1995-02-17 2001-10-09 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
US6001203A (en) 1995-03-01 1999-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Production process of liquid crystal display panel, seal material for liquid crystal cell and liquid crystal display
JP3534474B2 (ja) 1995-03-06 2004-06-07 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示パネルのシール方法
JPH095762A (ja) 1995-06-20 1997-01-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JPH091026A (ja) 1995-06-23 1997-01-07 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JP3978241B2 (ja) 1995-07-10 2007-09-19 シャープ株式会社 液晶表示パネル及びその製造方法
JPH0961829A (ja) 1995-08-21 1997-03-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH0973075A (ja) 1995-09-05 1997-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子の製造装置
JP3161296B2 (ja) 1995-09-05 2001-04-25 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
JPH0980447A (ja) 1995-09-08 1997-03-28 Toshiba Electron Eng Corp 液晶表示素子
JP3358935B2 (ja) 1995-10-02 2002-12-24 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
JP3658604B2 (ja) 1995-10-27 2005-06-08 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶パネルの製造方法
US6236445B1 (en) 1996-02-22 2001-05-22 Hughes Electronics Corporation Method for making topographic projections
JPH09230357A (ja) 1996-02-22 1997-09-05 Canon Inc 液晶パネルの製造方法及びこれに用いる液晶セル
JP3790295B2 (ja) 1996-04-17 2006-06-28 シャープ株式会社 液晶表示パネルの製造方法
JP3234496B2 (ja) 1996-05-21 2001-12-04 松下電器産業株式会社 液晶表示装置の製造方法
KR100208475B1 (ko) 1996-09-12 1999-07-15 박원훈 자기장 처리에 의한 액정배향막의 제조방법
EP0829748A3 (en) 1996-09-13 1999-12-15 Sony Corporation Reflective guest-host liquid-crystal display device
JPH10153785A (ja) 1996-09-26 1998-06-09 Toshiba Corp 液晶表示装置
KR100207506B1 (ko) 1996-10-05 1999-07-15 윤종용 액정 표시 소자의 제조방법
JPH10123537A (ja) 1996-10-15 1998-05-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子とその製造方法
JP3088960B2 (ja) 1996-10-22 2000-09-18 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
JP3472422B2 (ja) 1996-11-07 2003-12-02 シャープ株式会社 液晶装置の製造方法
JPH10142616A (ja) 1996-11-14 1998-05-29 Ayumi Kogyo Kk 液晶注入方法および液体用ディスペンサー
JPH10177178A (ja) 1996-12-17 1998-06-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP3874871B2 (ja) 1997-02-10 2007-01-31 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
US5861832A (en) * 1997-03-27 1999-01-19 Lucent Technologies Inc. Analog-to-digital converter having amplifier and comparator stages
JPH10274768A (ja) 1997-03-31 1998-10-13 Denso Corp 液晶セルおよびその製造方法
JPH10329069A (ja) * 1997-03-31 1998-12-15 Daihen Corp 搬送システムの制御方法
JP3773326B2 (ja) 1997-04-07 2006-05-10 アユミ工業株式会社 液晶の注入方法およびそれに用いるディスペンサー
JPH10333157A (ja) 1997-06-03 1998-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JPH10333159A (ja) 1997-06-03 1998-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置
JPH1114953A (ja) 1997-06-20 1999-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多数丁付け液晶表示パネルの製造方法および多数丁付け液晶表示パネル
JP3874895B2 (ja) 1997-07-23 2007-01-31 シャープ株式会社 液晶表示パネルの製造方法
JPH1164811A (ja) 1997-08-21 1999-03-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法およびその装置
JP4028043B2 (ja) 1997-10-03 2007-12-26 コニカミノルタホールディングス株式会社 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法
US5875922A (en) 1997-10-10 1999-03-02 Nordson Corporation Apparatus for dispensing an adhesive
JPH11133438A (ja) 1997-10-24 1999-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子とその製造法
JPH11142864A (ja) 1997-11-07 1999-05-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JPH11264991A (ja) 1998-01-13 1999-09-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH11248930A (ja) 1998-03-06 1999-09-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラーフィルター基板、そのカラーフィルター基板の製造方法及びそのカラーフィルター基板を用いた液晶表示素子
JPH11281988A (ja) * 1998-03-27 1999-10-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
US6055035A (en) 1998-05-11 2000-04-25 International Business Machines Corporation Method and apparatus for filling liquid crystal display (LCD) panels
JPH11326922A (ja) 1998-05-14 1999-11-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
US6337730B1 (en) 1998-06-02 2002-01-08 Denso Corporation Non-uniformly-rigid barrier wall spacers used to correct problems caused by thermal contraction of smectic liquid crystal material
JP2000137235A (ja) 1998-11-02 2000-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶基板の貼り合わせ方法
KR20000035302A (ko) 1998-11-09 2000-06-26 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 액정 표시 소자의 제조 방법 및 제조 장치, 및 액정 표시소자
JP3828670B2 (ja) 1998-11-16 2006-10-04 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
US6219126B1 (en) 1998-11-20 2001-04-17 International Business Machines Corporation Panel assembly for liquid crystal displays having a barrier fillet and an adhesive fillet in the periphery
JP2000193988A (ja) 1998-12-25 2000-07-14 Fujitsu Ltd 液晶表示パネルの製造方法と製造装置
JP2000223548A (ja) * 1999-01-28 2000-08-11 Toshiba Corp 表示装置の製造装置
JP3568862B2 (ja) 1999-02-08 2004-09-22 大日本印刷株式会社 カラー液晶表示装置
JP2000241824A (ja) 1999-02-18 2000-09-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP2000310784A (ja) 1999-02-22 2000-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネル、カラーフィルター及びそれらの製造方法
JP3410983B2 (ja) * 1999-03-30 2003-05-26 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立方法およびその装置
JP3535044B2 (ja) * 1999-06-18 2004-06-07 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立て装置とその方法、及び液晶パネルの製造方法
JP2000292799A (ja) 1999-04-09 2000-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子とその製造方法
JP2000310759A (ja) * 1999-04-28 2000-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子製造装置および方法
JP2001222017A (ja) 1999-05-24 2001-08-17 Fujitsu Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2000338501A (ja) 1999-05-26 2000-12-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP3580767B2 (ja) 1999-10-05 2004-10-27 松下電器産業株式会社 液晶表示パネルならびにその製造方法および駆動方法
JP2001117105A (ja) 1999-10-18 2001-04-27 Toshiba Corp 液晶表示装置の製造方法
JP2001117109A (ja) 1999-10-21 2001-04-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP3583326B2 (ja) 1999-11-01 2004-11-04 協立化学産業株式会社 Ｌｃｄパネルの滴下工法用シール剤
JP2001133799A (ja) 1999-11-05 2001-05-18 Fujitsu Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP3574865B2 (ja) 1999-11-08 2004-10-06 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立方法とその装置
JP2001142074A (ja) 1999-11-10 2001-05-25 Hitachi Ltd 液晶表示装置
JP2001147437A (ja) 1999-11-19 2001-05-29 Nec Corp 液晶表示パネル及びその製造方法
JP2001154211A (ja) 1999-11-30 2001-06-08 Hitachi Ltd 液晶パネルおよびその製造方法
JP2001166310A (ja) 1999-12-08 2001-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP3641709B2 (ja) 1999-12-09 2005-04-27 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立方法とその装置
JP4132528B2 (ja) 2000-01-14 2008-08-13 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
JP2001209052A (ja) 2000-01-24 2001-08-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2001215459A (ja) 2000-02-02 2001-08-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子製造装置
JP2001235758A (ja) 2000-02-23 2001-08-31 Fujitsu Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JP2001242471A (ja) * 2000-02-29 2001-09-07 Ran Technical Service Kk 液晶パネルの基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置
JP2001255542A (ja) 2000-03-14 2001-09-21 Sharp Corp 基板貼り合わせ方法及び基板貼り合わせ装置、並びに、液晶表示素子の製造方法及び製造装置
JP2001264782A (ja) 2000-03-16 2001-09-26 Ayumi Kogyo Kk フラットパネル基板間への粘液状材料の充填方法
JP2001272640A (ja) 2000-03-27 2001-10-05 Fujitsu Ltd 液晶滴下装置及び液晶滴下方法
JP2001281675A (ja) 2000-03-29 2001-10-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP3678974B2 (ja) 2000-03-29 2005-08-03 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示装置の製造方法
JP3707990B2 (ja) 2000-03-30 2005-10-19 株式会社 日立インダストリイズ 基板組立装置
JP3492284B2 (ja) 2000-04-19 2004-02-03 株式会社 日立インダストリイズ 基板貼合装置
JP2001330840A (ja) 2000-05-18 2001-11-30 Toshiba Corp 液晶表示素子の製造方法
JP2001330837A (ja) 2000-05-19 2001-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 気密構造体とその製造方法およびそれを用いた液晶表示装置とその製造方法
JP2001356354A (ja) 2000-06-13 2001-12-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP4689797B2 (ja) * 2000-07-19 2011-05-25 Ｎｅｃ液晶テクノロジー株式会社 液晶表示装置の製造装置及びその製造方法
JP2002107740A (ja) 2000-09-28 2002-04-10 Sharp Corp 液晶表示パネルの製造方法及び製造装置
JP2002122872A (ja) 2000-10-12 2002-04-26 Hitachi Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JP4841031B2 (ja) 2000-10-13 2011-12-21 スタンレー電気株式会社 液晶装置の製造方法
JP4330785B2 (ja) 2000-10-31 2009-09-16 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の製造装置
JP3281362B2 (ja) 2000-12-11 2002-05-13 富士通株式会社 液晶表示パネルの製造方法
JP2002202512A (ja) 2000-12-28 2002-07-19 Toshiba Corp 液晶表示装置及びその製造方法
JP2002202514A (ja) 2000-12-28 2002-07-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルおよびその製造方法およびその製造装置
JP2002214626A (ja) 2001-01-17 2002-07-31 Toshiba Corp 液晶表示装置の製造方法及びシール材
JP3411023B2 (ja) 2001-04-24 2003-05-26 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立装置
KR100469353B1 (ko) * 2002-02-06 2005-02-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자용 합착 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100495143C (zh) * 2002-03-19 2009-06-03 富士通株式会社 用于制造接合基片的装置
CN100430790C (zh) * 2005-01-27 2008-11-05 芝浦机械电子装置股份有限公司 基板粘贴装置、基板粘贴判断方法及基板粘贴方法
CN101641272B (zh) * 2007-04-16 2011-11-16 株式会社爱发科 输送机和成膜装置及其维护方法

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Publication number Publication date
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