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Patentes

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Número de publicaciónCN1575325 A
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudCN 02821254
Número de PCTPCT/US2002/031945
Fecha de publicación2 Feb 2005
Fecha de presentación24 Sep 2002
Fecha de prioridad24 Oct 2001
También publicado comoCN100425666C, DE60232356D1, EP1448736A1, EP1448736B1, US6705926, US7001253, US20030077985, US20040180612, WO2003035782A1
Número de publicación02821254.1, CN 02821254, CN 1575325 A, CN 1575325A, CN-A-1575325, CN02821254, CN02821254.1, CN1575325 A, CN1575325A, PCT/2002/31945, PCT/US/2/031945, PCT/US/2/31945, PCT/US/2002/031945, PCT/US/2002/31945, PCT/US2/031945, PCT/US2/31945, PCT/US2002/031945, PCT/US2002/31945, PCT/US2002031945, PCT/US200231945, PCT/US2031945, PCT/US231945
Inventores赵瑞杰, 史蒂文·K·格鲁宾, 艾萨克·K·彻里安
Solicitante卡伯特微电子公司
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  SIPO, Espacenet
含硼抛光系统及方法
CN 1575325 A
Descripción  disponible en chino
Reclamaciones(44)  disponible en chino
Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
CN105209556A *15 Mar 201330 Dic 2015英派尔科技开发有限公司含硼化合物和其用途
Clasificaciones
Clasificación internacionalB24B37/24, H01L21/304, C09G1/02, H01L21/321, C09K3/14
Clasificación cooperativaY10T156/1051, B24B37/245, B24B37/24, C09K3/1463, C09G1/02, H01L21/3212
Clasificación europeaB24B37/24, B24B37/24F, H01L21/321P2, C09K3/14D2, C09G1/02
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
2 Feb 2005C06Publication
6 Abr 2005C10Request of examination as to substance
15 Oct 2008C14Granted