CN1625722A - 用于自动化制造环境的代理人反应式调度 - Google Patents

用于自动化制造环境的代理人反应式调度 Download PDF

Info

Publication number
CN1625722A
CN1625722A CNA028288769A CN02828876A CN1625722A CN 1625722 A CN1625722 A CN 1625722A CN A028288769 A CNA028288769 A CN A028288769A CN 02828876 A CN02828876 A CN 02828876A CN 1625722 A CN1625722 A CN 1625722A
Authority
CN
China
Prior art keywords
agreement
batch
scheduling
event
time
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA028288769A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100351723C (zh
Inventor
G·马塔
S·C·内特尔斯
L·D·巴尔托
Y·利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advanced Micro Devices Inc
Original Assignee
Advanced Micro Devices Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=29399213&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=CN1625722(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Advanced Micro Devices Inc filed Critical Advanced Micro Devices Inc
Publication of CN1625722A publication Critical patent/CN1625722A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100351723C publication Critical patent/CN100351723C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • G06Q10/063—Operations research, analysis or management
    • G06Q10/0631—Resource planning, allocation, distributing or scheduling for enterprises or organisations
    • G06Q10/06312—Adjustment or analysis of established resource schedule, e.g. resource or task levelling, or dynamic rescheduling
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/80—Management or planning

Abstract

本发明披露了一种用于自动化制造环境中调度的方法和装置。该方法包括侦测工艺流程(100)中的预设事件的发生；将发生的事件通知软件调度代理人(305，310，315，320)；以及响应所测得的预设事件，通过软件调度代理人(305，310，315，320)以反应式的方式调度一个动作。该装置是自动化的制造环境，其包括一个工艺流程(100)和一个计算系统。该计算系统进一步包括置于其中的多个软件调度代理人(305，310，315，320)，该软件调度代理人(305，310，315，320)能够在工艺流程(100)的活动中响应多个预设事件并以反应式的方式进行约定调度。

Description

用于自动化制造环境的代理人反应式调度
技术领域
美国政府已缴付本发明的权利金，并且在有限条件下有权要求专利所有权人必须根据美国商业部国家标准技术研究所(NIST)授权号码70NANB7H3041的合理条件授权第三者。
本发明涉及自动化制造环境，特别是涉及自动化制造环境中的调度(scheduling)。
背景技术
因应科技日趋成长的需要以及普遍为世界所接受的先进电子装置而对大规模、复杂的集成电路产生史无前例的需求。在极度竞争的半导体工业中，其产品必须尽可能在最有效率的设计、制造和销售方法下进行。随着电子工业的快速发展，其制造技术的改善也必须同步成长。为了符合上述的要求而孕育出许多有关材料和工艺设备的先进科技，以及明显增加集成电路设计的数量。上述的进步还必须同时有效应用计算机的资源以及其它高精密度的设备，其不仅有助于产品的设计和制造而且也有助于制造过程中的调度、控制和自动化。
首先观察从现代半导体装置所制造的集成电路或微形芯片，其含有许多构造或特性，且一般仅具有数微米的尺寸。其制造过程通常涉及许多经过一系列制造工具所处理的晶圆(wafer)。制造过程中通过半导体晶圆上材料层的添加、移除，和/或处理而产生集成电路。其制造大致上包括下列四种基本步骤：
·以各种不同的材料在晶圆上沉积或添加薄层以制造半导体组件；
·添加的薄层的图案化或特定部分的移除；
·经添加层的开口在晶圆特定部分进行掺杂(doping)或置入特定量的掺杂物(dopants)；以及
·材料的热处理或加热及冷却而使处理后晶圆产生所需要的效果。
虽然仅四种基本的操作，但根据特定的制造过程可组合成数百种不同的方法。例如，请看Peter Van Zant的微芯片的半导体工艺操作指南(Microchip Fabrication：A Practical Guide to SemiconductorProcessing)(麦格罗希尔出版公司，1997年第三版)(国际标准书号0-07-067250-4)。各种制造工具可执行上述四种基本操作中的一种或多种。根据整体的工艺进行该四种基本的操作而最后产生半导体装置的成品。
然而，控制制造该集成电路的半导体工厂是一项相当严峻的挑战。半导体工厂(fab)的制造程序相当复杂，半导体工厂同时可制造40,000片以上的晶圆，以及制造100种或以上不同类型的零件。通过半导体制造工厂(或fab)的每一片晶圆可能需通过300次以上的加工步骤，而其中许多步骤可能在同一台机器内进行。一间大型工厂可能有500台计算机控制的机器进行该晶圆的加工。半导体制造工厂的加工路线、调度和材料追踪，即使在计算机化控制系统的帮助之下，仍然是一项极为艰巨和复杂的工作。
有效管理例如制造半导体芯片的设备需要对其制造过程进行各种的监控。例如，现存原材料的追踪、制造进程的状态以及每个工艺步骤的机器和工具的状态和可用性。一项最重要的决定是在一特定时间内选择哪个批次(lot)在哪台机器中进行加工。此外，大部分用于制造过程中的机器需要例行预防维护(PM)和设备鉴定(Qual)程序，以及其它定期的诊断和修复工作。上述工作必须在不妨碍正常工艺的情况下进行。
自动化″制造执行系统″(MES)为达成上述工作的一种方法。自动化MES可让用户在最低限制下综观制造环境内的机器和工具的状态或″实体″并进行操作。此外，制造执行系统(MES)通过制造过程可迅速处理或追踪各批次(lot)或制造进程(work-in-process)，而得以用最有效率的方法管理其资源。在制造执行系统(MES)之下，用户可输入有关制造进程和实体状态的请求数据。例如，当用户在一特定工艺上进行预防维护(PM)时，操作者可将预防维护(PM)所需性能登录在制造执行系统(MES)内而更新储存在制造执行系统(MES)数据库内有关该实体的状态的资料。或者，如果准备对该实体进行修理或维护时，操作者可将其数据输入至制造执行系统(MES)数据库内，而可在其后被登录为备用之前避免继续使用该实体。
虽然MES系统已足够追踪各批次和机器，但仍存有许多缺点，其最明显者为被动、缺乏预先的调度方式，以及无法支持高度自动化工厂的作业。目前的MES系统大部分依赖制造人员监控工厂状态以及在特定时间激活其作业活动。例如，一批次必须在晶圆厂工程师(WFT)发布适当的MES指令之后才能开始进行加工。并且，在加工之前，晶圆厂工程师(WFT)必须及早规划以在机器可供使用时对该机器内的现存产品发布MES指令而从自动化材料处理系统(AMHS)中取得该批次。如果WFT取得该批次的速度不够迅速，或未在最早的适当时间激活其工艺时，则该机器会发生闲置的现象而影响生产效率。
一般自动化MES具有上述的缺点，故特别强调WFT对制造过程中的作业效率的重要性。WFT执行许多关键性的功能。举例而言，WFT在其注意力及时间允许之下启动调度、输送和加工作业。他们必须做出调度决定，例如继续进行该未完成群组产品的工作、或等待其它批次作业、或执行预防维护(PM)或设备鉴定程序而非上述的批次加工。WFT为执行无附加价值的MES事务，以及运用被动性的一般工厂控制系统。在本文中，″被动(passive)″一词意指必须通过WFT激活的控制操作系统，而不是自行开始或自行激活的控制操作系统。
然而，通过WFT的操作方式也无可避免地存在一些缺点。一位优秀WFT和一位不合格WFT之间所得到的操作结果有极大的差异。一位WFT通常同时监控多种工具和多个批次的工艺，故无法将注意力集中于个别的批次或工具。此外，由于现代化制造工艺流程的产量和复杂性使WFT无法预见或防止由上游作业引起的下游作业的瓶颈或短缺。WFT的换班、休息空档及休假日而产生的无效率或机器的闲置均会对制造工艺流程造成负面影响。自动化MES越倚赖WFT，WFT在工艺中所可能造成的缺点也越多。
目前晶圆厂的控制系统均属于被动性，并且无法进行高度的自动化作业。该系统极度倚赖WFT及其它员工进行工厂状态的监控、应付各种产生的变化、迅速决定物流的决策，以及定时激活和协调工厂的各种控制活动。这些WFT扮演缺乏主动元素的工厂控制系统的代理人(agent)的角色。其结果为，这种高度竞争的半导体工业极度倚赖这些代理人的可用性、生产力、技术水平以及其一致性。WFT必须监控及操作工厂内位于各种工艺中的许多工具。他们被迫必须在工具、工艺、材料处理系统以及各种工厂控制系统之间扮演多任务的角色。当工厂产能提高以及引入更复杂的工艺时，若不同时提高人员或系统的能力将无法符合其所增加的复杂性和产量的要求。WFT对上游和下游作业、工具状态、制造进程以及资源可用性的能见度是有限的。
然而，关键性物流决策经常仅根据此部分由工厂控制系统提供的有限及过期信息。WFT将大量时间花费于系统的互动、监控工厂事件和状态的改变，以及其它无附加价值的功能，例如，制造执行系统(MES)的登录。当工程师在换班而暂时无法进行监控和协调时将会中断工厂的作业。尽管工程师竭尽其所能、充分利用可用的工机具，仍会对其他关键的工厂评量方法造成冲击，其包括循环时间、库存量、工厂产量及其混合。由于在工艺区间(intrabay)的材料处理需要将12寸晶圆输送至新的300毫米的晶圆厂中，因此增加了额外的复杂性。在传统的工厂控制系统之下无法提供这种层次的详细调度及执行控制。
本发明的目的在于解决或至少降低上述一种或全部的问题。
发明内容
本发明的各个方面和实施例为提供自动化制造环境的调度的方法和装置。在一实施例中，一种方法包括侦测工艺流程中的预设事件的发生(occurrence)；通知该发生事件的软件调度代理人；以及从软件调度代理人对所侦测预设事件的响应中进行调度活动。其它具体例包括执行上述方法的程序化计算系统，以及以上述方法的执行命令编码的计算机可读取程序储存介质。又另一实施例中，本发明包括自动化制造环境，其包括一种工艺流程和一种计算系统。该计算系统进一步包括多个常驻性软件调度代理人，该软件调度代理人在工艺流程中可对其所反应的多个预设事件发出调度活动的命令。
附图说明
本发明可通过参考下列的说明并配合附图而获得了解，其类似组件有相同的参考编号，其图标为：
图1为根据本发明一特定实施例的部分工艺流程设计和作业的示意图；
图2为分别选自图1中计算机装置的硬件和软件架构的部分方框示意图；
图3为执行图1的特定装置的示意图，即，半导体制造设备的一部分工艺流程，以及资源消耗的指定调度的方法；
图4为已登记约定的计划表的示意图；
图5为已登记约定的三种有关计划表的示意性说明；
图6A及图6B为改变已登记的约定以利用尽早开始时间的示意性说明；以及
图7A及图7B为改变已登记的约定以调节先前无法预期的过长时间已登记约定的两种状况示意性说明。
本发明可允许有各种不同的改良和变化，其特定实施例显示于图标的范例中，并在本文中详细说明。然而，应了解本发明并非仅局限于此处所举出的特定实施例，相反的，其所有的改良、相等物及替代方案均属于附录的本发明权利要求范围的精神和范畴内。
具体实施方式
本发明的说明实施例详述如下。为清楚起见，说明中并未包括实际作业中的全部特性。在任何实际实施例的作业过程中应该清楚，为了达到用户特定的目标必须做出许多执行上的特殊决定，例如，必须符合系统上相关及商业上相关的限制，而形成各种相互不同的执行作业程序。此外，应了解在进行该作业的努力过程中即使复杂而且费时，也只是受益于本揭示的本领域技术人员的例行工作。
图1为根据本发明一特定实施例的部分工艺流程100而设计和作业的示意图。工艺流程100为制造半导体组件。然而，本发明可应用于其它类型的工艺中。因此，上述工艺流程100中所述批次130的晶圆135一般称之为″工件(work pieces)″。全部具体例中所需的工艺工具(process tools)115和任何工艺操作并不必然和制造半导体组件有关。然而，为了使本发明更清楚和易于了解之便，本文的实施例中仍保留半导体制造术语作为本发明的说明。
工艺流程100的说明部分包括两个平台105，每个平台105包括一个和工艺工具115相通信的计算机装置110。平台105间以通信联机(communications link)120相互连接。在说明实施例中，计算机装置110和通信联机120包含一个较大的计算机系统部分，例如，一个网络125。图1中的工艺工具115为最后被制成集成电路装置的晶圆135的工艺批次130。工艺流程100还包括为清楚之便未显示于图中的制造执行系统(MES)和自动化材料处理系统(AMHS)的部分，以及其它整合控制系统。AMHS负责″处理″工艺批次130和平台105以及工艺流程100中其它位置间的输送工作。
如上所述，计算机装置110通过通信联机120的连接可为较大计算机系统125的一部分。上述作业的示例性计算机系统可包括局域网(LANs)、广域网(WANs)、系统局域网(SANs)、企业网络或甚至互联网。该计算机系统125为利用联网的客户机/服务器(client/server)架构，但其它实施例中也可利用点对点式(peer-to-peer)架构。因此，在某些实施例中，计算机装置110可直接相互连接。通信联机120例如可为无线、同轴电缆、光纤电缆或双绞线。该计算机系统125和通信联机120将执行特定的工作以及任何本领域技术人员所要求的任务。该计算机系统125可利用任何本领域所熟知的适当通信协议，例如，传输控制协议/网际协议(TCP/IP)。
图2为计算机装置110的硬件和软件架构的部分方框示意图。未显示硬件和软件架构的某些方面(例如，个人卡(individual cards)、基本输入/输出系统、输入/输出驱动器等)。为清楚之故省略上述方面，而可使本发明更为突显。然而，正如受益于本揭示的本领域技术人员所了解，计算机装置110的软件和硬件架构将包括许多该类型的例行工作。
在说明实施例中，计算机装置110为一种应用基于UNIX操作系统200的工作站，但本发明并不受此限制。该计算机装置110可在任何类型的电子计算装置中实现，例如，笔记本电脑、台式计算机、迷你计算机、大型主机计算机、或超级计算机。在其它实施例中，该计算机装置110甚至可为嵌入工艺工具115的处理器或控制器。本发明并非仅局限于基于UNIX的操作系统。也可能应用其它不同的操作系统(例如，以WindowsTM、LinuxTM、或DOS为基础)。本发明并非仅局限于该计算机装置110中作为特定用途的特性。
该计算机装置110还包括一个通过总线系统215连接储存器210的处理器205。一般储存器210包括至少一个硬盘(未显示)及随机存取内存(RAM)(亦未显示)。在某些实施例中，该计算机装置110还可包括可移除式储存器，例如，光盘230、软盘驱动器235或其它类型，例如，磁带(未显示)或ZIP盘(未显示)。该计算机装置110包括一台显示器240、键盘245及鼠标250，其和相关的用户接口软件255包含一个用户接口260。说明实施例中的用户接口260为一种图形用户接口(GUI)，但其并非是本发明的实际操作中所必须。
在说明实施例中，各计算机装置110包括储存在储存器210内的软件代理人(software agent)265。注意除了计算机装置110外该软件代理人265可置于工艺流程100中的任何位置。本发明的重点(situs)并不着重软件代理人265的放置位置。同时还应注意，软件代理人265的位置并不重要，因为有些计算机装置110可能具有多个软件代理人265，而有些计算机装置110则无任何软件代理人265。因此，计算机装置110和工艺工具115之间并不需要有一对一的对应关系。至少有一计算机装置110具有一种分别属于诸如WORKSTREAMTM以及自动化材料处理系统(AMHS)的自动化MES的软件组件270、280。如同软件代理人265，该软件组件270、280可置于工艺流程100中的任何位置。
现在参考图1和图2，软件代理人265分别代表某些″制造区域实体″(manufacturing domain entity)，例如，一个批次130、一种资源、一项预防维护(PM)和一项设备鉴定(Qual)。工艺工具115可为一种制造晶圆135某些部分的制造工具，即，晶圆135的分层、图样化、掺杂或热处理。该工艺工具115或可为用于测定工艺流程100各部分性能的方法上的工具。综合而言，软件代理人265通过其制造工艺负责晶圆135的批次130的有效调度和控制。为有助于该目的的达成，软件代理人265分别以MES和AMHS的软件组件270、280为接口，并且整合其它现有工厂控制系统(未显示)。适当的软件代理人265还可通过由软件所执行的设备接口(EI)(未显示)以作为工艺工具115和其它设备的接口。如同受益于本揭示的本领域技术人员所了解，执行特定接口和整合的方法根据MES、AMHS、以及其它工厂控制系统的组成和构造而定。
本发明所关注者是，软件代理人265为根据其各自的制造区域实体而以反应的方式进行调度、激活、以及执行作业。综合而言，该软件代理人265在进行其它工艺时以特定合格的工艺工具115预先为各批次130的一种或多种作业包括输送及所需的资源进行调度，如下述的进一步讨论。这包括做出最适当的决定，例如，不等待一即将到来的批次130即进行另一尚未完成的群组的作业，以及找机会安排预防维护(″PM″)程序或设备鉴定(″Qual″)以符合规定。软件代理人265进行例如该批次的输送及加工、制造执行系统(MES)事务的处理、监视加工及输送的调度和激活作业，以及对未调度活动或偏离已调度的活动做出反应。此外，在说明实施例中，为了协调工艺流程100的性能，软件代理人265可配置成一种允许用户影响其行为的方式。
在此说明实施例中，软件代理人265以其呈现的制造区域实体进行分类。根据其作业方式有许多不同类型的调度代理人265。图3的说明实施例中其主要调度代理人265包括下列的类型：
·代表晶圆135的批次130进行调度作业的批次调度代理人(LSA)305；
·代表工艺工具115进行调度作业的机器调度代理人(MSA)310；
·代表预防维护及设备鉴定(未显示)的进行调度作业的PM调度代理人(PMSA)315；以及
·代表按照资源(未显示)进行调度作业的资源调度代理人(RSA)。
然而，除上述之外还可增加或以其它代理人替代之。说明实施例中的各种调度代理人265的角色和功能将在下述做更详细的说明。
这些作业中某些为根据本发明的反应式调度，即，对例如工艺流程100的发生事件做出反应。在一特定具体例中，其包括：
·在一例如工艺流程100的工艺流程中侦测一预设事件的发生；
·将该发生事件通知订阅(subscribing)软件调度代理人，例如，LSA305、MSA310、PMSA315或RSA320；以及
·对预设事件的侦测结果做出一种反应式的活动调度。
该预设事件及反应式活动调度将以特定的方式执行。多种示例性的事件及反应式调度活动将在下述中详细地说明。
此类反应式调度涉及是否得知工艺流程100内所发生的事件。在这一方面，软件代理人265对其他未显示的软件组件做出的反应称之为″发布者(publishers)″(或称之为″通知者(notifiers)″)以及″订阅者(subscribers)″。代理人产生订阅一种或多种通知者的听者(listeners)。当工厂内发生改变时，通知者将″发布″事件至其订阅的听者。听者轮流呼叫其订阅软件代理人265。例如，当产生机器调度代理人(MSA)时，该代理人将产生观察特定机器事件的机器听者。MSA负责接收任何发生在一特定机器内的变化。例如，如果该机器发生变化时，发布者会将该事件发布至其全部的听者。然后该机器听者将有关的事件通知其订阅MSA。该订阅MSA将对其做出适当的反应。
更具体地说，当产生软件代理人265时，其将产生听者并通过为事件发布者增加听者以订阅该发布事件。听者以适当的方法使软件代理人265能对工艺流程100中的事件做出反应。下述表1列举应用于说明实施例中的相关软件代理人265、其所产生的听者，以及其功能的说明。通过听者和通知者的利用发布者和预约者的方式为本领域所熟知的技术，并且可应用任何其它适当的技术。
               表1  软件代理人和其相关听者
软件代理人 相关听者 预约的理由
RSA(例如，资源装载代理人) 设备事件听者 听取来自设备接口的事件。该事件可包括开始装载、开始充填、完成装载、完成充填等。
机器听者 听取发生于机器的MES事件。例如，听取进行作业的机器及是否运作正常。
工艺操作听者 听取工艺操作内的变化，因其可能影响机器的处理能力。
工艺听者 听取工艺内的变化，因其可能影响机器的处
理能力。
警报听者 听取设定于调度活动开始或结束时的警报信号。
调度公布听者 听取未开始的调度命令所“发布”的时间间隔。
约定状态改变听者 听取其它可能影响该计划表的任何调度计划表上的相关命令。
LSA 警报听者 听取设定于调度活动开始或结束时的警报信号。
批次听者 听取发生于批次上的MES事件，例如，产品的改变、优先级的改变、晶圆数以及其它等。
AMHS听者 听取以LSA为代表的批次位置内的变化。
约定状态改变听者 听取其它可能影响该计划表的任何调度计划表上的相关命令。
MSA 警报听者 听取设定于调度活动开始或结束时的警报信号。
工艺操作听者 听取工艺操作内的变化，因其可能影响机器的处理能力。
机器听者 听取发生于机器的MES事件。例如，听取进行作业的机器。
约定状态改变听者 听取其它可能影响该计划表的任何调度计划表上的相关命令。
反应室听者 听取发生于反应室内的MES事件，例如，停机时间、PM或品质测试。
工艺听者 听取工艺内的变化，因其可能影响机器的处理能力。
设备事件听者 听取来自设备接口的事件。该事件可包括载体到达机器入口、工艺开始、工艺将结束、载体离开等。
PM调度代 反应室听 听取发生于反应室内的MES事件，例如，停
理人(PMSA) 者 机时间、PM或品质测试。
机器听者 听取发生于机器的MES事件。例如，听取机器何时不可用。
品质测试信息听者 听取任何新的或已删除的品质测试信息。
PM信息听者 听取任何新的或已删除的PM信息。
约定状态改变听者 追踪任何可能影响其计划表的约定的变化。
表1可明显看出，其中所列举的软件代理人265可听取可能影响其计划表的约定变化。例如，配合表1研究图5(在下面做更详细的讨论)。图5说明各种代理人的计划表内(TOOL1的MSA、LOT1的LSA、一种PMSA、一种RSA)所含的不同命令(SETUP1、LOT1、MOVE1、TOOL1、PM、QUAL等)。图5还说明该计划表之间相对应的约定。例如，MSA计划表含一种工艺命令LOT1，其对应LSA计划表上的工艺命令TOOL1。这两种命令事实上指两种不同实体(即，分别为MSA和LSA)针对两种不同实体(即，区段LOT1及工艺工具TOOL1)的相同事件(即，TOOL1上的LOT1工艺)。
现在参考图3和图5，当产生对应约定(例如，LOT1、TOOL1)时，这次约定本身含有一群听者，例如图3中的听者256、358。当改变约定而想通知其它软件代理人265时，听者会被加入该约定中。在此情况之下，MSA计划表370上的批次工艺约定LOT1含有一种当改变工艺约定LOT1时可通过通知者354而通知LSA305的听者356。另一方面，批次约定TOOL1含有一种当其改变时可通过通知者352通知MSA310的听者358。如果MSA310改变其工艺约定LOT1时，这次约定的改变将通知LSA305并且其将因此而修改命令TOOL1。因此，听者能使软件代理人265和相关的约定同步。同时，软件代理人265在适当状况下可对该预定事件的调度做出反应，然后在其它软件代理人265所建立的改变下随时更新其计划表。
当软件代理人265对约定的改变做出反应时，其将小心处理该相关的约定。在某些情况中，两种软件代理人265不宜同时处理其各自相关的约定。因此，单独一种软件代理人265负责处理其各自的相关约定，然后其将促使相关命令的软件代理人265处理其各自的相关约定。例如在图5中，LSA305含有一种其后跟随着批次工艺约定TOOL1的移动约定MOVE1。如果已到达移动约定MOVE1的结束时间但约定仍未结束时，则警报听者会通知LSA305。(″警报″为一种听取事件的类型，其将在下面进一步讨论)。LSA305然后通过可设定时间长短的方式延长移动约定MOVE1的时间，并同时移动批次工艺约定TOOL1以适应延长时间的移动约定MOVE1。
在此同时，MSA310的警报听者将发出批次工艺约定TOOL1的开始已到达的通知。当批次LOT1若已到达工艺工具115时由于LSA305可做出最佳的测定，故LSA305在延长移动约定之后可移动批次工艺约定TOOL1的开始时间。MSA310将等待其约定状态改变听者(appointmentstate change listener)的批次工艺约定移动的通知，并寻找其相对的批次工艺约定，而因此使其移动。在此情况之下，MSA310将忽略其本身开始时间的警报。虽然未显示在图中，批次130、工艺工具115、资源，以及预防维护(PM)和设备鉴定(Qual)全部均有其相对的″工艺″代理人，其虽然也未显示在图中，但是在发生需要处理的特定事件时将会接到调度代理人的通知。
为了促进其预应式(proactive)和反应式(reactive)的职责，软件代理人265维持其调度″约定″的计划表，例如示意性说明于图4中的计划表。图4示意性说明一种含有关于约定信息的计划表，例如，针对许多批次130的工艺工具115。″约定″为工艺工具115在一特定时间内所执行的工艺操作，其介于约定开始时间(TS)和约定结束时间(TE)之间。在说明实施例中，该约定被登录于″约定窗口(commitmentwindows)″(CW)，或由最早工艺开始时间(EST)及最晚输送时间(LDTP)所定义的时间窗口(time windows)内。预约批次130到达工艺工具115的时间不晚于EST，而工艺工具115完成该工艺的时间不晚于LDT。然而应注意，本发明的实际上并不必须使用约定窗口。
在图4中，工艺工具115已分别登录批次Lot1至Lot4的命令APP1至APP4。因此，下列为Lot1至Lot4的计划表化信息：
Lot1：APP1[t10，t12]，CW1[t8，t14]
Lot2：APP2[t13，t15]，CW2[t9，t16]
Lot3：APP3[t5，t7]，CW3[t2，t11]
Lot4：APP4[t3，t4]，CW4[t1，t6]
在此说明实施例中应注意，有多个约定窗口为相互重叠，但其约定则未相互重叠。只要不和其它约定重叠，约定可在其约定窗口范围内移动，或可被延长、缩短、取消和重新调度，其将在下面详细讨论。然而，在某些实施例中，部分命令可能有重叠的情况。
因此，回顾图3，通过例如调度代理人305、310的各个调度代理人所维护的约定，例如工艺约定375，以预应的方式登录于例如计划表385、370的计划表上。然而应注意，并非全部的约定都是工艺约定。当工艺约定375被登录时，LSA305进行移动约定的调度而将批次130移动至最新登录的工艺约定375的位置。例如，再次参考图1，假设已调度的工艺约定375为使第一工艺工具115上处理的批次130从端口140出来并到达第二工艺工具115的端口145。则负责调度批次130的各个LSA305移动在起点和终点的位置之间，例如，第一工艺工具115的端口140和第二工艺工具115的端口145之间。
图5示意性地说明维持三种不同类型实体的三种相关计划表—批次130、工艺工具115以及预防维护(PM)——其上登录有不同类型的约定。在图5的说明中，当与图4的说明相比较时，其已知计划表的全部约定均合并在单一的时间轴(timeline)。为便于结尾以及避免说明上不必要的混乱，故省略各别约定的约定窗口。图5的说明特别针对：
·工艺工具TOOL1通过MSA维持的工艺工具TOOL1的计划表，其包括设定(例如，SETUP1、SETUP2)；批次工艺约定(例如，LOT1、LOT2、LOT3)；预防维护(例如，PM)和设备鉴定(例如，QUAL)的约定的登录；
·批次LOT1通过LSA维持的批次LOT1的计划表，其登录有移动约定(例如，MOVE1、MOVE2、MOVE3、MOVE4、MOVE5)和批次工艺约定(例如，TOOL1、TOOL2)；以及
·通过PMSA维持的预防维护(PM)的计划表，其登录有预防维护(例如，PM)和设备鉴定(例如，QUAL)约定。
另外还可登录其它不同类型的约定。例如，如果工艺工具TOOL1停止工作，即不再进行加工处理时，可登录″停机约定(downtimeappointment)″在其计划表上以表示其进入等待修理的时间。图5的计划表中的各个约定代表一种事件，其软件代理人265根据其代表的制造领域实体首先主动进行调度。
一次约定，例如图3中的工艺约定375，在任何特定时间均以多种″状态″之一的类型存在，或具有一种特定的″状态″。在说明实施例中该状态可为：
·暂时性——该约定已产生，但仍未登录(其将在下面进一步讨论)；
·未就绪——已登录该暂时性约定，但仍未准备执行；
·就绪——和该命令有关的批次130已到达其登录的工艺工具115；
·活动中——已到达约定的开始时间且所有的参与者均已就绪；
·活动中的预防维护/设备鉴定—已到达PM约定的后续设备鉴定部分的开始时间；
·处理中——已开始调度活动，即，工艺工具115已确认其开始的约定，或已开始预防维护或改备检定；
·预防维护/设备鉴定处理中——已开始PM随后的设备鉴定部分；
·接近完成——根据预设的参数(例如，剩余工艺时间、晶圆计数)该命令已接近完成；
·完成——已完成处理；
·取消——在进入工艺状态之前从计划表中移除该登录的约定；以及
·放弃——在工艺状态的处理过程中中止该命令。
暂时性约定在其登录而进入未就绪状态之前仍保持暂时的状态。在批次130到达工艺工具115之前该约定仍为未就绪。然后该约定保持就绪状态直至到达命令的开始时间为止。然后该约定变为有效状态(即，开始执行命令)，直至工艺工具115已确认其已开始进行处理为止。一旦该约定进行处理时，其状态一直持续至接近完成为止，然后完成全部的工作。如果该约定在进入工艺状态之前从计划表中移除，其将从该系统中″取消″和移除。一旦进入工艺状态，如果停止其处理将″放弃″该约定。完成约定或放弃约定在从系统中被移除之前仍将继续其原来的状态。
然而，根据本发明的软件代理人265还可对其源自于工艺流程100中的各个制造区域实体的事件进行反应式调度。影响命令改变的软件代理人265的反应式调度特色为最先的预应式调度。然而，其并非本发明的实际上所必须的。例如，在一特定实施例中，软件代理人265反应机器失效的调度活动可导致机器停止作业，并且需要一段修理该机器的停机时间。由于通常无法事先预测何时发生机器失效，故此类事件通常不是任何的预应性调度约定。
更特别的是，软件代理人265通常对发生在工艺流程100中的不同事件产生反应。这些事件已事先经过确认，即，为已″预定″，故可清楚定义反应该事件的适当活动。该适当的行动决定于许多的因素，其不仅和制造领域的类型有关，也和事件的类型有关。在说明实施例中，其预定事件被归类为下列三种类型之一：约定状态改变、工厂状态改变或属于一种警报事件。
当例如调度代理人305、310的软件代理人265改变一项例如工艺约定375的约定时通常会发生状态的改变。软件代理人265可改变约定状态、延长或缩短约定、取消约定、转移约定、或执行计划表的其它操作或计划表上的约定。当一次约定被改变时，软件代理人265会做出适当的反应。例如，当工艺约定375延迟时MSA310可延长其计划表370上工艺约定375的调度期间。LSA305通过延长其计划表385上相对的工艺约定375反应该改变以保持两种计划表370、385的工艺约定375的同步。改变约定状态可包括，例如，取消约定、延长约定、缩短约定、放弃约定、改变约定状态、转移约定，以及进入更新窗口(window updates)。
当例如工艺流程100的工厂状态改变时通常发生工厂状态的改变。工厂状态改变的事件可源自MES270(见图2)、AMHS280(见图2)，或源自工艺工具115的设备接口(EI，未显示)。工厂状态改变可包括改变批次到期日、被暂时搁置的批次、改变工艺或一批次的工艺操作、改变批次的位置、一到达机器端口的载体等。对每一项工厂状态的改变而言均视为一项″预定事件″，因此软件代理人265随之做出反应。示例性的工厂状态改变可包括停机时间的发生(downtime occurrence)、一部正待命的机器、正进行PM/Qual侦测、反应室退出(chamber goingdown)、离开机器的批次、一项完成的移动，以及一件完工的晶圆。
在此特定实施例中，当一特定警报终了时则发生警报事件。当收到一种警报事件时代理人即产生反应——例如，当批次约定已到达结束时间时。如果机器代理人未收到约定已结束的通知时，则机器代理人将根据约定总期限的可调整比例延长该约定。约定一经延长，机器代理人将根据该新而可预测终了时间的约定传送一个新的警报。一次约定事件可为，例如，发出一种约定开始的警报或发出一种约定结束的警报。
应注意，有些事件并未事先规划或可预期。例如，除非在已调度PM或Qual期间内，否则没有可靠方法可确切知道一机器或反应室何时可开始作业。这些事件中有些是可预期的。例如，由于移动是经过调度的，因此若一区段130已到达工艺工具115的端口145时必可得知。因此，一些实施例选择对该类事件的调度不反应，而以假设其符合调度的主动调度取代之，并且仅在不符合调度时才进行调度反应。应注意，其它实施例可能对此处说明之外的事件进行调度反应，或取代之。
直到发生任何特定事件才执行的调度反应需根据该事件的性质以及，在某种程度上，根据特定的作业而定。一般而言，典型的调度反应包括在调度和登录之前改变约定，例如，图3中的工艺约定375。登录的工艺约定以及PM/Qual约定可被转移、延长、放弃、缩短、取消，以及重新调度。批次工艺约定被修改时，可根据需要修改移动和设定约定。在此说明实施例中，这些约定的修改由LSA305或MSA310负责执行。
例如，可转移登录的工艺约定，其可能导致登录的移动约定被取消、放弃或重新调度。约定可视为″一串珠子″。已存在的约定当需要调整调度的变化时，可在其各自的约定窗口内前后移动时间(即，图4和图5中的″右″或″左″)。在此说明实施例中，为了简化其逻辑，任何方向均不允许约定被转移超过其紧邻的约定。
考虑当一批次130的批次工艺约定较预期为早完成的情况。这可提供MSA310一种称之为″提早开始″的反应式调度的机会。由于图3中的MSA310为闲置，故MSA310将尝试使下一个约定提前至较早的时间并且立即激活。当批次130提前完成工艺约定时，MSA310则提前下一个调度约定的时间而获得尽早开始的益处。LSA305对提早完成工艺约定的事件则有不同的反应。
这种情况显示在图6A中，其中目前时间tc位于约定窗口CW1内紧邻约定APP1旁。然后紧邻的约定APP1向左转移，或提早时间，故可立刻开始其工艺。如果下一个登录约定无法转移至目前的开始时间，MSA310将寻找任何其它可使约定窗口开始于当前时间或提早的登录约定。如果其中登录约定之一在不使任何其它登录约定导致取消之下可被移动至即刻开始的时间位置，则该登录约定则将以″跳过(jumpover)″的方式移动，并且其它登录约定亦将依所要求的方式移动。这种情况显示在图6B中，其中目前时间tc的提供者(provider)为处于闲置状态，其下一个登录约定APP1为位于约定窗口CW1之外，但第三个登录约定APP3则落于约定窗口CW3之内。因此，第三个命令APP3为执行一种″跳过″作业，其跳过约定为APP1和APP2，且约定APP1向右转移至紧接约定APP3的较晚激活时间位置。
上述二种情况中，受影响批次130的LSA305收到约定已改变的通知。其开始时间和结束时间的差异对调度活动也做适当的改变。例如，如果登录约定往左转移时，较早激活时间意指其批次130必须比目前提供的移动调度较早到达。反之，较晚激活时间意指其批次130必须较晚移动。上述任何一种情况，改变后的移动可适当地完成批次130的正确到达时间。
还必须考虑目前约定比预期时间长或必须立刻进行一项约定的软件代理人265的调度反应。当LSA305和MSA310登录约定时同时设定一种约定程序结束时可获得通知的″结束警报(end-time alarm)″(未显示)。当该工作完成时，调度代理人305、310可接获通知而结束该警报。因此，如果发出警报，则调度代理人305、310即知道该约定仍未在该调度时间内完成，此即表示需要延长该约定。
图7A和图7B说明两种此类的情况。其已合并各约定的时间轴，并且和图5的计划表相同已省略其约定窗口。在图7A中，移动约定MOVE3有比预期长的时间，因此MOVE4、MOVE5和APP2约定被往后移动以适应该较长的时间。在图7B中，约定APP3需要比预期长的时间，因此APP4和APP5的时间被往后移动。应注意在图7A和图7B中所说明的两种改变情况，其约定窗口必须有足够容纳该改变约定的宽度。否则，某些约定将因此被取消。
从上述范例可了解，调度反应将根据情况而改变。一般而言，在此说明的实施例中，
针对一项预定事件可能发生下列的调度活动：
·放弃一项正在进行中的调度约定；
·在其开始之前取消一项调度约定；
·安排一项新的约定；
·开始一项调度约定；
·延长一项调度约定的时间；
·缩短一项调度约定的时间；
·转移一项调度约定至较早或较晚的时间；
·改变约定窗口；
·改变约定属性(例如，传送开始时间，保留传送时间等)；
·设定一项警报；
·取消一项警报；以及
·改变一项约定的状态。
″预定事件″唤起一项约定状态改变的调度反应可包括：
·取消一次约定；
·延长一次约定；
·缩短一的约定；
·放弃一次约定；
·改变一次约定状态；
·转移一次约定；
·未预期载体的到达；
·更新输送时间；
·更新装载时间；
·更新卸载时间；
·一批次加入一群组；
·一批次离开一群组；
·从一群组取消一批次；以及
·更新约定窗口。
对工厂状态的改变而言，该预定事件可能为例如：
·侦测停机时间；
·机器何时可供使用；
·进行PM/Qual的侦测；
·反应室退出或跟进(coming up)；
·改变机器容量；
·改变机器类型；
·增加一种工艺；
·增加一种工艺操作；
·改变批次工艺；
·置批次于暂停状态；
·批次离开暂停状态；
·改变批次优先级；
·改变批次到期日；
·改变批次晶圆数目；
·改变批次工艺操作；以及
·一批次离开或到达机器。
以及对一项警报事件而言，该预定事件可为：
·在约定开始时发出警报；以及
·在约定结束时发出警报。
应注意，上述的内容仅为说明的目的，且并未涵盖全部可能的实施例。即使相同预定事件在不同实施例中也可能以特殊方式执行，故其有各种不同的变化。其特色为，根据该事件唤起的调度反应，将利用结合或选择的条件进行其活动。表2至5分别列举本发明一特定作业的机器、批次、PM和资源调度代理人的预定事件、其类型以及其调度反应活动。
表2、表3和表5为一种或多种装载/卸载作业和约定，以及充填/排出作业和约定。此揭示具有本领域技术人员所了解的优点，一些执行批次群组工艺操作的工艺工具115其多数个工艺批次130是在同一群组内进行处理。该工艺工具115有些是利用装载、充填、排出和卸载的步骤。例如，一工艺工具115可能从工具I/O端口(未显示)至工具内部储存处(也未显示)先装载所有群组的参与者，即，工艺批次130。通常此类工艺工具115具有多个I/O端口，并且装载/卸载作业也在该群组内进行。在所有群组的参与者被装载之后，工艺工具115执行改变群组作业而在工艺确实开始之前从内部储存处移动该批参与者进入例如炉管内(未显示)。在工艺工具115完成该批工艺操作之后，将该批参与者排出，例如，从炉管返回内部储存处。最后当批次130准备移动至I/O端口时，则进行一系列群组卸载作业。
表2也适用于被″锁定(locked)″的约定。为避免非预期的约定转移，本说明实施例应用一种约定锁定机制。一般而言，当一工艺批次130开始从来源位置至工艺工具115的最后移动时，其不接受一项通过取消或转移约定至右侧的跃过在其前的新约定，或时间延后。为避免发生上述情况，当工艺批次130开始其最后移动时，MSA将″锁定″该批次工艺约定。虽然如此，该锁定的约定有时确实需被转移。例如，假设两次约定被登录在特定工艺工具115的计划表上，并且第一项正在执行的约定为处于第二次工艺约定130已开始最后移动至工艺工具115的过程中时。由于第二次约定为处于其″最后″移动至工艺工具115的阶段，故因此被锁定。如果第一次约定作业时间长而必须延长时，则必须先转移第二次约定，方可延长第一次约定的时间。因此，被锁定的第二次约定即使一般不期望其发生，也必须被转移。然而，一般而言，为避免约定被转移或取消，故在某种情况下其可被″锁定″。
                 表2  MSA的调度反应活动
事件 事件类型 调度反应活动
侦测停机时间 工厂状态改变(MES) 停机事件表示机器目前无法用于工艺或在处理过程中发生错误。若MSA侦测发现机器目前无法用于工艺，则MSA将放弃和缩短任何正进行处理的批次工艺命令。然后在放弃批次工艺命令之后，或卸载约定之后，其将登
录一项停机约定。若因处理过程错误而发生停机事件，则MSA在工艺或卸载约定的批次工艺约定之后将登录一项停机约定。可能时，和停机约定重叠的登录工艺约定被转移至稍后的时间，或被取消。
侦测可用机器 工厂状态改变(MES) 完成任何PM、Qual活动或停机约定。如有可能，转移及激活机器计划表上的下一项约定。
侦测PM/Qual 工厂状态改变(MES) 在任何约定活动之后登录PM/Qual约定。和PM/Qual约定重叠的任何登录约定被转移至PM/Qual约定之后。取消任何无法转移的重叠登录约定。
反应室退出侦测 工厂状态改变(MES) 取消机器或反应室全部仍未激活的未就绪约定。
反应室跟进侦测 工厂状态改变(MES) 根据新的处理速率使任何约定缩短至预期的完成时间，可能时，往右转移、或时间延后。
在调度开始时批次并非位于端口 警报状态改变 若批次“保留”机器端口，MSA将等待至LSA延长其移动约定。移动约定的延长将使LSA向右转移批次约定。MSA则对该批次约定的转移做出适当反应。若批次未保留端口，则取消该约定。
批次到达机器端口 工厂状态改变(EI) 若批次到达正确位置，若其不是群组约定的参与者，则MSA将启用该约定。若该约定为群组约定参与者，则MSA将使该约定就绪。若为闲置机器而约定为启用状态，则MSA将开始处理该约定。(注意：当全部参与者已到达机器时，一群组约定参与者将被启用。)若批次到达正确机器但错误端口，则MSA将检查其它批次是否保留该端口。若其它批次保留该端口，则MSA将为该批次指定下一个可用端口。若到达批次的约定为启用中，则
MSA将开始处理该约定。若批次到达错误的机器，则MSA将检查其它批次是否保留该端口。若其它批次保留该端口，则MSA将为该批次指定下一个可用端口。然后机器将为刚到达的批次登录一项约定。任何重叠的约定将被转移至一延后的时间。若该重叠约定无法被转移至延后的时间，则该约定将被取消。
批次工艺约定延迟 警报状态改变 若批次工艺约定延迟时，则延长时间并且转移任何重叠登录约定至右侧，或时间延后。若任何重叠登录约定无法转移至右侧并且该约定未被锁定时，则将其取消。若约定被锁定并且无法转移至右侧时，则将延长该约定的约定窗口至可发生转移为止。
批次工艺提早完成 工厂状态改变(EI) 若批次工艺约定较预期提早完成，则缩短并完成该约定，以及可能时，将下一项约定的时间提早。若下一项约定无法转移至目前时间，则其将激活该约定。
侦测接近完成批次工艺 工厂状态改变(EI) MSA计算批次的工艺时间。若其将提早结束，则该约定被缩短至新的结束时间，并且后续任何的约定均被向左转移，或时间提早。若约定将较晚完成，则将该约定延长至新的结束时间，并且任何重叠约定被转移至较晚时间或将其取消。
取消批次约定 约定状态改变 若处理中或接近完成，则放弃该约定，或若仍未就绪，则取消该约定。约定经取消之后，转移下一次约定至较早时间，尽可能减少约定之间的空隙。
批次离开机器端口 工厂状态改变(EI) 若批次在离开时仍继续进行处理时，则放弃其约定并且提前转移结束时间。尽可能提前
下一次约定的时间。
约定向右转移 约定状态改变 将约定转移至右侧。若无法转移至右侧，除非其被锁定，否则将其取消。若为锁定时，取消任何阻挡向右转移的约定。
表3适用于″供料作业(feeder operations)″。在局部自动化晶圆厂内，软件代理人265仅调度及控制一部分的工艺操作。因此，晶圆厂内仅有次工艺工具115是在软件代理人265的控制之下，且晶圆厂并非完全在该系统的控制之下。这些通过软件代理人265控制的工艺操作称为″控制工艺操作″。在各控制工艺操作即将开始之前，控制工艺操作的处理时间的可调整比例可产生一系列的″供料″作业。供料约定被用于测定已事先调度的约定的最早开始时间。更特别的是，供料约定被用于当LSA已事先调度，而供料作业仍未到达实际的工艺工具115的调度时间。供料约定是用于代表供料作业时间以相等于各自供料作业的循环时间所进行的工艺活动。
表3也可称为″最大移动(maxMove)″约定。对一供料作业而言，在批次130开始处理最后供料作业之前仍无法测知执行最后供料作业的特定工艺工具115。一次″最大移动″约定代表从最后供料工艺工具115至控制工艺工具115的输送活动。在一实施例中，最大移动约定的时间为来自最后供料工艺工具平台105和控制工艺工具平台105之间的最差输送时间实例。当激活最后供料约定时，可得知实际工艺工具115所执行的最后供料作业，因此，最大移动约定将被移动约定或一系列移动约定所取代。
表3更进一步可称为″索价请求(bid request)″。在说明实施例中，工艺流程100应用一套协议进行约定的调度，其以″索价请求″作为开始。LSA305发布一项″索价请求″的信息至可作业的MSA310。MSA310传递一次或多次约定至LSA305。LSA305可从许多这类的索价中选择其一，其结果一般为一次或多数次的″约定″，该约定是有关于执行LSA305的作业以搜寻晶圆135的批次130。然而应注意，其它协议可能应用于没有″索价请求″的地方。因此，索价请求为一种执行上的特殊情况，并非所有实施例中均有之。
                 表3  LSA的反应式调度活动
事件 事件类型 反应式调度活动
发出移动约定的约定结束时间警报 警报事件 警报指示已到达移动约定的调度结束时间。LSA决定是否延长移动约定。若移动为源自机器端口，则延长移动约定可清除端口。否则，移动约定延长一定比例的原始调度时间(即，25％)至达到最大延长比例为止(即，175％)。当达到最大延长比例时，放弃该约定。若已延长移动约定，将后续登录约定的时间延后。然后，设定该延长移动约定的新结束时间警报。
发出供料约定的约定结束时间警报 警报事件 警报指示已到达供料约定的调度结束时间。LSA以可调整比例延长该约定。任何后续供料约定(若有时)将缩短至此供料约定延长的数量(供料时间无法缩短到少于作业的工艺时间)。不得已时，最后供料约定后的约定将转移至较晚时间。
移动约定到达约定开始时间 警报事件 警报指示已发生特定移动约定的调度开始时间。若其未启用则LSA将启用该约定，并且将开始AMHS的移动。若为一批次约定前的最后移动约定，则LSA将要求MSA保留端口并锁定该约定。其还将适当地更新总输送时间及剩余输送时间。然后LSA将产生一项约定结束时间警报。
供料约定到达约定开始时间 警报事件 警报指示已发生特定供料约定的调度开始时间。若其未启用则LSA将启用该约定。然后LSA将产生一项约定结束时间警报。
取消批次约定 约定状态改变 LSA取消批次约定及任何与批次约定有关的未启用移动。其也将取消全部与批次约定有
关的装载和卸载约定，以及需要时适当取消任何警报。然后LSA再安排该被取消约定。
延长批次约定 约定状态改变 当批次约定作业过长时MSA激活此项改变。LSA对改变的反应为在批次工艺约定延长后向右转移全部约定，或时间延后。然后其将批次约定延长到特定的时间。
放弃批次约定 约定状态改变 当批次工艺受阻时MSA激活此项改变。LSA将约定状态改变成放弃、暂停该批次，以及在取消全部约定之后安排移动约定到排序器或储存处。
放弃卸载约定 约定状态改变 LSA将卸载约定状态改变成放弃。
放弃装载约定 约定状态改变 LSA将装载约定状态改变成放弃。
处理批次约定 约定状态改变 当已开始批次工艺时MSA激活此项改变。LSA将约定改变成处理状态，通知批次工艺代理人开始处理该约定。
处理装载约定 约定状态改变 LSA将约定改变成处理状态，并通知批次工艺代理人。
处理卸载约定 约定状态改变 LSA将约定改变成处理状态，并通知批次工艺代理人。
批次约定完成 约定状态改变 当批次已完成工艺时MSA激活此项改变，并在适当时机缩短此约定。LSA将通知工艺代理人、将状态改变为完成、确保已控制移动约定已调度，否则，其将产生一次新约定。激活下一次约定。
装载约定完成 约定状态改变 LSA将通知工艺代理人，并将状态改变为完成。激活下一次约定。
卸载约定完成 约定状态改变 LSA将通知工艺代理人，并将状态改变为完成。激活下一次约定。
移动约定完成 约定状态改变 LSA将使约定完成，在适当时机可能缩短约定。其也将取消结束时间警报，以适当地更新输送开始时间，以及激活下一次约定。
批次约定接近完成 约定状态改变 当其收到批次工艺已接近完成的设备事件状态时，MSA即激活此项改变。LSA将约定状态改变成接近完成。然后其将安排该次控制移动约定，并在适当时机唤起下一个工艺操作的调度。
向左转移批次约定 约定状态改变 LSA将尝试向左移动批次约定，或时间提早。若无法向左转移，系统将取消全部未启用的移动、装载及卸载约定，然后取消该批次约定。
向左转移装载约定 约定状态改变 LSA将尝试向左移动装载约定。若无法向左转移，系统将取消全部未启用的移动约定、取消卸载/装载约定、取消批次约定。
向左转移卸载约定 约定状态改变 LSA将尝试向左移动卸载约定。若无法向左转移，系统将取消全部未启用的移动约定、取消卸载/装载约定，以及取消批次约定。
向右转移批次约定 约定状态改变 LSA将检查第一次约定是否为移动约定。若为移动约定并且未启用或在机器或机器端口上，其将转移移动约定使其到达批次约定或装载约定的起点(若为启用移动约定，其将终点延长至批次约定或装载约定的起点)。然后其将任何先前约定向右转移。若系统无法向右转移约定，其将取消全部未启用的移动约定、任何装载/卸载约定，以及批次约定。
向右转移装载约定 约定状态改变 LSA将检查先前约定是否为移动约定。若为移动约定并且未启用或在机器或机器端口上，其将转移移动约定使其到达批次约定或装载约定的起点(若为启用移动约定，其将终
点延长至装载约定的起点)。然后其将任何先前约定向右转移。若系统无法向右转移约定，其将取消全部未启用的移动约定、任何装载/卸载约定，以及批次约定。
向右转移卸载约定 约定状态改变 LSA将向右转移约定。若系统无法向右转移约定，其将取消该批次约定，其将取消和批次约定有关的全部移动、装载及卸载约定。
缩短批次 批次约定状态改变 LSA将批次约定缩短至特定时间，并且提早转移后续移动约定的时间。
缩短装载约定 约定状态改变 LSA将装载约定缩短至特定时间。
缩短卸载约定 约定状态改变 LSA将卸载约定缩短至特定时间。
完成未调度移动 工厂状态改变(AMHS) 若批次目前位置是在机器端口，则系统将取消除批次约定之外的全部约定。批次约定仅在属于不同机器的约定情况下才被取消。若该约定属于不同机器，LSA将取消全部约定并等待MSA唤起跨越调度。否则，系统将决定该批次回到下一个工艺约定终点的所需时间。若批次仍可到达其工艺开始时间，则系统将重新安排适当的移动约定。若批次无法到达开始时间，其将取消全部移动、装载、卸载及批次约定，并且将激活调度。
更新批次约定的约定窗口 约定状态改变 LSA将适当地更新批次约定的约定窗口。约定窗口代表批次一已知约定的最早开始时间及最晚输送时间。若较晚处理一约定并且新结束时间超过该约定的最晚输送时间，则更新其约定窗口。
更新装载约定的装 约定状态改变 LSA将在装载约定上适当地更新装载开始时间以及剩余装载时间。
载时间
完成错误移动 约定状态改变 若批次目前位置是在机器端口，则系统将取消除批次约定之外的全部约定。批次约定仅在属于不同机器的约定情况下才被取消。若该约定属于不同机器，LSA将取消全部约定并等待MSA唤起跨越调度。否则，系统将决定该批次回到下一个工艺约定终点的所需时间。若批次仍可到达其原始工艺开始时间，则系统将重安排适当的移动约定。若批次无法到达开始时间，其将取消全部移动、装载、卸载及批次约定，并且将激活调度。
批次到期日改变 工厂状态改变(MES) 若批次具有激活的工艺约定，则在目前约定或跟随卸载约定(若存在时)之后取消该约定。若约定处于“接近完成”状态以及下一个工艺操作不是控制作业，或工艺中无下一个作业，则在目前批次工艺约定之后安排一项移动约定。否则，尝试下一个工艺操作的调度。若批次具有激活的移动约定，并且该移动为至一机器端口目标，则跟随装载约定(若存在时)及跟随批次工艺约定之后取消该约定。否则，在移动约定及重安排目前工艺操作之后取消全部的约定。若批次已激活供料约定，则在供料约定及重新安排下一个工艺操作之后取消全部约定。若批次已激活装载约定，则在跟随批次约定或装载约定(若存在时)之后取消该约定。若批次已激活卸载约定，则在目前时间之后取消该约定。若下一个作业不是控制作业，或已无任何作业，则在卸载约定之后安排一移动约定。再安排下一个工艺操作。若无激活的约定，则取消全部未来的约定，并且再
安排目前的工艺操作。
批次暂停 工厂状态改变(MES) 若批次正进行处理，则在已移动约定之后取消该约定。若批次正移动至控制机器端口，则一旦该批次到达机器端口立刻在移动及安排移动至最近储存处之后取消全部约定。若正处理卸载约定，则在安排已移动之后取消全部约定。若正处理供料约定，则缩短及放弃该约定，然后在供料约定之后取消全部的约定。若正处理装载约定，则除卸载约定之外取消全部的约定。然后其将安排已移动约定。若批次具有激活的工艺约定，并且其在处理或接近完成，则允许其继续完成。若下一项约定为卸载约定，则取消全部后续约定并在卸载后安排移动。若下一项约定为移动约定，则取消其和后续的约定并安排另外的移动。若无后续约定，则在工艺约定后安排移动。若已激活批次约定但仍未处理或完成，则将其缩短和放弃。若下一项约定为卸载约定，则取消后续的约定并安排一移动约定。若下一项约定为移动约定，则将其取消并安排另外的移动约定。若无下一项约定，则安排一项移动约定。若批次在供料约定内，则将其缩短和放弃，并且取消全部后续的约定。若批次在装载约定内并且在处理状态，则取消其后批次工艺约定。左移其跟随的卸载约定，并且取消全部后续的约定。在卸载约定之后安排一移动约定(两者对RSA激活的约定改变反应在稍后将提早转移)。若仍未处理装载约定，则取消其约定和后续约定，并安
排一移动约定。若批次在卸载约定内，则取消全部后续的约定并且在卸载约定之后安排一项移动约定。若批次在移动约定内并且已开始移动，则取消全部后续约定。若为移动至一机器端口，则安排后续输送批次离开机器端口的移动。若批次在仍未开始的移动约定上，则放弃移动约定并且取消全部后续约定。
工艺改变 工厂状态改变(MES) 若批次具有激活的工艺约定，则在目前约定或随后的卸载约定(若存在时)之后取消约定。若约定在”接近完成”状态，并且下一个工艺操作不是控制作业或无下一个作业在工艺内，则在目前批次工艺约定后安排一项移动约定。若约定接近完成，并且下一个作业为一控制作业，则尝试安排下一个工艺操作。若批次具有已激活的移动约定，并且为移动至机器端口目标，则在随后的装载和卸载约定(若存在时)及随后批次工艺约定之后取消约定。否则，在移动约定之后取消全部约定，并且重新安排目前工艺操作。若批次具有激活的供料约定，则在供料约定之后取消全部约定，并且重新安排下一个工艺操作以及任何前述的供料约定。若批次具有激活的装载约定，则在随后卸载约定之后取消约定。若批次具有激活的卸载约定，则在目前时间之后取消约定。若下一个作业不是控制作业或不再有任何作业，则在卸载约定之后安排一项移动约定。重新安排下一个工艺操作。若无激活的约定，则取消全部未来的约定，并且再安排目前的工艺操作。
工艺操作改变 工厂状态改变(MES) LSA将移除全部未启用约定。然后LSA将检查该新工艺操作是否为控制或供料工艺操作。若为供料工艺操作，则其代理人将安排下一个工艺操作。若为控制工艺操作并且代理人无此工艺操作的约定，则其将安排此工艺操作。若批次具有激活的工艺约定，则在目前约定或随后的卸载约定(若存在时)之后取消约定。若约定在“接近完成”状态，并且下一个工艺操作不是控制作业或无下一个作业在工艺内，则在目前批次工艺约定之后安排一项移动约定。若约定接近完成，并且下一个作业为一控制作业，则尝试安排下一个工艺操作。若批次具有已激活的移动约定，并且为移动至机器端口目标，则在随后的装载和卸载约定(若存在时)及随后批次工艺约定之后取消约定。否则，在移动约定之后取消全部约定，并且重新安排目前工艺操作。若批次具有激活的供料约定，则在供料约定之后取消全部约定，并且重新安排下一个工艺操作以及任何前述的供料约定。若批次具有激活的装载约定，则在随后卸载约定之后取消约定。若批次具有激活的卸载约定，则在目前时间之后取消约定。若下一个作业不是控制作业或不再有任何作业，则在卸载约定之后安排一项移动约定。重新安排下一个工艺操作。若无激活的约定，则取消全部未来的约定，并且再安排目前的工艺操作。
减少晶圆数目 工厂状态改变(MES) 若减少批次的晶圆数目，则MSA在其计划表上缩短仍未开始的批次约定。MSA将尝试将
约定缩短至适当量。MSA取消任何无法缩短的未开始批次约定。LSA接着对MSA产生的约定改变根据其改变的情况做出反应。
增加晶圆数目 工厂状态改变(MES) 若增加批次的晶圆数目，则MSA在其计划表上延长仍未开始的批次约定。MSA将尝试将约定延长至适当量。MSA取消任何无法延长的未开始批次约定。LSA接着对MSA产生的约定改变根据其改变的情况做出反应。
批次终止 工厂状态改变(MES) 系统将取消该批次的全部约定。
批次移入 工厂状态改变(MES) 若批次移动至一区段(segment)的非初次供料作业的供料作业，则LSA将调整约定的结束时间至该作业的目前时间加上工艺时间。然后其将设定一项结束时间警报。若供料作业为最后供料，则LSA将以适当移动约定取代其最大移动约定，并且更新剩余的输送时间。
批次移出 工厂状态改变 若改变批次的作业为一种供料作业，则LSA将完全缩短供料约定及取消后续供料及最大移动约定，并且安排下一个作业及任何前述的供料约定。若改变批次的作业为一种控制作业，则不采取任何行动(下一个作业将已调度于接近完成)。若改变批次的作业为一种正常(不是控制或供料)作业，则LSA将安排该批次改变的作业。
实验请求表(ERF)状态改变 工厂状态改变(MES) ERF含有如何处理一特定批次的特别指示。ERF可附加或从一批次移除，并且当其发生时将通知LSA。LSA将通知各批次工艺约定的MSA，并对约定状态改变做出后续反应(若批次无法和任何未来可能参与的整批约定相比
较时)。
跨越批次约定 工厂状态改变 产生一项索价请求(bid request)及一项约定改变听者，并返回至MSA。(此为对一个置于机器端口上的未调度批次的反应。)
机器通知一段时间间隔 约定状态改变 LSA将决定是否能改善在新的时间间隔的作业的工艺约定。若可改善，则LSA取消该约定并且通知一项委托约定信息以尝试为该已通知时间间隔再安排约定。
               表4  PM调度代理人的反应式调度活动
事件 事件类型 反应式调度活动
取消PM/Qual约定 约定状态改变 取消PM约定并且再调度。
延长PM/Qual约定 约定状态改变 当PM约定时间过长时MSA激活此项改变。PMSA将通过转移全部约定至已延长的PM工艺约定右侧以反应此项改变。取消并重新安排无法被转移的约定。然后其将延长PM约定至特定的时间。
放弃PM/Qual约定 约定状态改变 当PM工艺受阻时MSA激活此项改变。MSA将约定状态改变成放弃。PMSA将重新安排约定。
处理PM/Qual约定 约定状态改变 当MSA得知PM已开始时MSA激活此项改变。MSA将约定改变至处理状态。
完成PM/Qual约定 约定状态改变 当PM已完成处理时MSA激活此项改变，并且适当时可缩短该约定。PMSA将通知工艺代理人、改变至完成状态，并且以目前机器上晶圆数或目前时间更新最后发生的PM。
使PM约定激活PM/Qual 约定状态改变 当到达跟随Qual开始时间时MSA激活此项改变。PMSA将约定改变至“启用”状态。
使PM约定处理PM/Qual 约定状态改变 当其接收的工厂状态改变指出PM约定的Qual部分已开始时，MSA激活此项改变。PMSA将约定改变至处理PM/Qual状态。
向左转移PM/Qual约定 约定状态改变 PMSA尝试将PM约定移动至左侧。若其无法向左侧转移，则系统将取消该约定并将其重新安排。
向右转移PM/Qual约定 约定状态改变PMSA 尝试将PM约定移动至右侧。若其无法向右侧转移，则系统将取消该约定并将其重新安排。
缩短PM/Qual约定 约定状态改变 PMSA将PM约定缩短至特定的时间。
更新PM/Qual约定的约定窗口 约定状态改变 更新PM约定的约定窗口。该约定窗口代表一已知约定的PM最早开始时间以及最晚输送时间。
跨越PM/Qual约定 约定状态改变 若存在时，取消计划表内的PM约定。然后其将产生一项索价请求及约定改变听者，并将其送返MSA。此为对已开始的未调度PM做出的反应。
侦测MES机器事件 工厂状态改变 PMSA将在依赖此事件的任何PM或Qual内适当地更新该事件的发生数目。然后其将进行因事件发生所引发的目前未调度在其计划表上的PM或Qual。
在机器上完成批次工艺 工厂状态改变 PMSA将重新评估根据材料处理计数而调度的全部PM或Qual的约定窗口。若其为无效约定窗口，而若PM或Qual调度在新窗口内则PMSA将更新约定窗口，或其将取消现存的约定并且在新窗口内重新调度。其也将根据材料处理数目调度已到达引发点以及事先仍未调度的任何PM或Qual。
发出警报 警报事件 PMSA将安排已到达其引发点以及事先仍未调度的任何以时间为基础的PM或Qual。
             表5  资源调度代理人的反应式调度活动
事件 事件类型 反应式调度活动
约定开始时间装载(卸载)约定发出警报 警报事件 此警报表示已到达特定装载(卸载)约定的调度开始时间。若其未激活，则资源约定调度者将激活该约定。需要时，其也将产生一项约定结束时间警报。资源约定调度者将通知工艺代理人开始处理该约定。
约定开始时间排出约定发出警报 警报事件 此警报表示已到达特定排出约定的调度开始时间。若其未激活，则资源约定调度者将激活该约定。需要时，其也将产生一项约定结束时间警报。资源约定调度者将通知工艺代理人开始处理该约定。
约定结束时间装载(卸载)约定发出警报 警报事件 此警报表示已到达特定装载(卸载)约定的调度结束时间。资源约定调度者将以原始调度时间比例(例如，25％)延长该约定直至已达最大延长比例为止(例如，175％)。约定延长之前，后续登录约定可被转移至较晚的时间。然后为延长的装载(卸载)约定设定新的结束时间警报。
约定结束时间充填约定发出警报 警报事件 此警报表示已到达特定排出约定的调度结束时间。资源约定调度者将以原始调度时间比例(即，25％)延长该约定直至已达最大延长比例为止(即，175％)。约定延长之前，后续登录约定可被转移至较晚的时间。然后为延长的排出约定设定新的结束时间警报。
机器成批约定改变 约定状态改变 当相关机器成批约定已到达开始时间时，MSA激活此项改变。RSA将改变目前排出约定的
成启用状态 相关约定成启用状态，并且为激活的排出约定设定一项新的结束时间警报。
机器成批约定改变成处理状态 约定状态改变 当机器成批约定已确实开始时，MSA激活此项改变。排出约定仍将保持启用状态。
机器成批约定改变成完成状态 约定状态改变 当相关机器成批约定的工艺已确实完成时，MSA激活此项改变。RSA将改变相关排出约定的约定状态至完成状态。
批次装载(卸载)约定转移至较晚时间 约定状态改变 当批次装载约定被转移至较晚时间时，LSA激活此项改变。RSA将重新安排其相关装载约定，并且需要时转移其计划表上的其它约定。若该约定具有开始时间警报，则进行警报的更新。
机器成批约定向右转移至较晚时间 约定状态改变 当机器成批约定转移至较晚时间时，MSA从批次调度计划表上激活此项改变或相关的改变。RSA将相关的充填和排出命令转移至较晚的时间。也可能转移计划表上的其它约定。
缩短机器成批约定 约定状态改变 当缩短机器成批约定时，MSA激活此项改变。若未启用排出约定时，RSA将相关排出约定转移至较早的时间，否则其将缩短该排出约定。可能需更新排出约定的开始时间警报或结束时间警报。
延长机器成批约定 约定状态改变 当延长机器成批约定时，MSA激活此项改变。若未启用排出约定时，RSA将相关排出约定转移至较晚的时间，否则其将延长该排出约定。可能需更新排出约定的开始时间警报或结束时间警报。
开始装载 工厂状态 设备接口(EI)通知RSA已开始装载。RSA根
改变(EI) 据装载的批次为预期或非预期而做出反应。若全部批次均为预期，但装载顺序不同于计划表上的约定，则RSA将重新安排其装载约定以及其参与者。
载体到达 工厂状态改变 EI通知RSA一载体已到达。若其携带预期的批次，则RSA将改变相关资源装载批次约定状态至就绪状态。
装载更新 工厂状态改变 在接获EI通知之后，若相关装载约定不是成批工作中的第一项，则RSA将先缩短先前的装载约定，并且将随后的装载约定移至较早的开始时间，先前装载约定的状态将被改变至完成状态。先前装载约定的结束时间警报将被取消。PMSA将下一项装载约定改变至启用状态。
装载完成 工厂状态改变 在接获EI通知已完成装载之后，RSA将缩短相关的装载约定、取消结束时间警报以及将最后装载约定的约定状态改变成完成状态。
开始改变 EI事件 在接获EI通知已开始充填之后，RSA将充填约定状态改变成处理状态。
完成改变 EI事件 在接获EI通知已完成一项改变之后，RSA将缩短充填约定、取消结束时间警报以及将充填约定状态改变成完成状态。若有一些随后的卸载约定，其将卸载约定移至较早的开始时间，并且开始该卸载约定。
开始排出 EI事件 在接获EI通知已开始排出时，RSA将该排出约定状态改变成处理状态。
开始卸载 EI事件 在接获EI通知已开始卸载时，RSA将第一项卸载约定状态改变成处理状态。
卸载更新 EI事件 在接获EI通知时，则更新一项卸载约定。若相关卸载约定不是卸载开始事件中的最后一
项约定，则RSA将缩短相关的卸载约定、取消其结束时间警报，并且将其状态改变成完成状态。然后RSA将下一项卸载约定移至较早的时间，并且开始处理下一项卸载约定。若相关卸载约定为卸载开始事件中的最后一项约定，则RSA将等待卸载完成事件。
卸载完成 EI事件 在接获EI通知已完成卸载时，则RSA将缩短该卸载约定、取消其结束时间警报，并且将约定状态改变成完成状态。
开始未预期卸载 EI事件 在接获EI通知已开始一项未预期卸载时(即，下一项约定不是一项卸载约定或输送顺序和调度不同)，则RSA将改变该已调度的卸载约定，并且启用第一次约定。可转移重叠的约定至较晚的时间，或将其取消。
开始未预期装载 EI事件 在接获EI通知已开始一项未预期装载时(即，下一次约定不是一项装载约定或输送顺序和调度不同)，若窗体中有一批次不是下一项充填约定的参与者之一时，则RSA将批次窗体及成批ID传递至MSA以求得到适当的响应。若全部批次在下一项充填约定内，但输送顺序和调度约定不同，则RSA将重新安排装载约定。
应注意，当登录约定被转移、取消、缩短、延长及重新调度时，其可通过工艺流程以及特别是计划表而产生改变。通过单一软件代理人设置该项改变，但一项改变的约定可被登录在多个计划表上。此改变其后必须和其它软件代理人相联系，故可分别更新其计划表。工艺流程中其它类型的事件也是如此。
在此说明实施例中，本发明为利用面向对象程序设计(OOP)的技术，但本发明也可能运用非面向对象的技术。软件代理人265如对象般执行，并且是智能的，以及具有状态察觉的能力，此外还能独立激活以达成特定目标的行为。其行为极为单纯，并且可通过脚本和属性进行部分设定。该行为的设计是为了达到选定的目标，例如，达到一指定批次到期日、达到一预定的品质、最大化机器的利用效率，以及机会性(opportunistic)预防维护的调度。帮助类(helper class)对象是其软件代理人265在工艺流程100中能委派各种责任或提供有用服务的各种对象。上述的发布者和听者也属于一种帮助类对象。
因此，此处某些部分的详细说明是以涉及计算器系统或计算装置的内存内数据位上，以符号表示操作的方式来呈现其软件的执行过程。这些说明及描述是本领域的技术人员可最有效传递其工作材料至其它的本领域的技术人员的方法。其工艺和操作需要对物理量的物理操作。虽非必要，然而这些物理量通常为可用于储存、输送、结合、比较及其它操作方式的电性、磁性或光学信号的形式。其已证明在一般的应用上该信号可利用位、值、元素、符号、字母、术语、数目，或类似方法加以表示。
然而，必须牢记，上述全部及类似名词和适当的物理量有关，并且仅作为其定量时便于标示的方法。除非特别说明或已非常明确，本发明全部揭示的说明均指一电子装置的动作及工艺，其所操作及转变的数据代表某些电子装置内存入其它储存器，或者传输或显示的装置内的物理(电、磁或光学)量。描述此类名词的范例可为不具局限性的″处理″、″估计″、″计算″、″决定″、″显示″等词。
应注意本发明软件的执行方面一般是编码在某种形式的程序储存介质或在某类型的传输介质上实现。此程序储存介质可为磁性(例如，软盘驱动器或硬盘驱动器)或光学(例如，只读光盘存储器，或″CD ROM″)储存介质，并可为只读或随机存取。相同地，传输介质可为双绞线、同轴电缆、光纤、或本领域所熟知的其它合适的传输介质。本发明非仅限于上述所说明的方面。
在此为上述的详细说明做一结论。上述所揭示的特定实施例仅供说明的用途，因为对于获益于此处所揭露的内容的本领域技术人员而言本发明可具有不同的改良和操作方法。应注意，上述讨论中未述及的其它方法也可运用在其它的实施例中。此外，除了下述权利要求范围之外，本发明并非仅局限于所述的细部构造和设计的范围内。因此可清楚地了解，上述所揭示的特定实施例可加以改变或改良，而所有此类变化均视为属于本发明的范围和精神内。因此，下述所说明的权利要求范围涵盖了本发明所寻求的专利权保护范围。

Claims (19)

1.一种用于自动化制造环境内的调度方法，包括：
侦测工艺流程(100)中的预设事件的发生；
将发生的事件通知软件调度代理人(305，310，315，320)；以及
响应所测得的预设事件，通过软件调度代理人(305，310，315，320)以反应式的方式调度一个动作。
2.根据权利要求1所述的方法，其中侦测预设事件的发生包括侦测未事先规划的事件或未预期的事件。
3.根据权利要求1所述的方法，其中侦测预设事件的发生包括侦测约定状态的改变、工厂状态的改变以及警报事件其中之一的发生。
4.根据权利要求1所述的方法，其中侦测预定事件包括侦测约定的取消、约定的延长、约定的缩短、约定的放弃、成为启用的约定、约定接近完成、约定的完成、约定的转移、约定的跨越以及约定窗口的更新、侦测发生停机时间、机器变为可用、PM/Qual被侦测、反应室退出、一反应室变为可用、机器容量改变、机器类型改变、一种工艺的增加、一种工艺操作的增加、一批次到达机器、批次工艺改变、批次置于暂停状态、批次离开暂停状态、批次优先级改变、批次到期日改变、批次晶圆数目改变、批次工艺操作改变、一批次离开机器、一种在约定开始时发出的警报以及一种在约定结束时发出的警报的上述至少一个。
5.根据权利要求1所述的方法，其中将发生的事件通知软件调度代理人(305，310，315，320)包括：
传送发生事件的指示至发布者(352)；
从发布者(352)发布该发生事件至订阅的听者(358)；以及
从订阅的听者(358)呼叫其软件调度代理人(305，310，315，320)。
6.根据权利要求1所述的方法，其中反应式调度活动包括放弃一项正在进行中的调度约定、在其开始之前取消一项调度约定、安排一项新的约定、开始一项调度约定、延长一项调度约定的时间、缩短一项调度约定的时间、转移一项调度约定、增加新的工艺容量、删除旧的工艺容量、设定一项警报、取消一项警报，以及改变一项约定的状态的上述至少一个。
7.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括预先调度一种和预设事件有关的命令。
8.一种在自动化制造环境中调度的装置，此装置包括：
侦测工艺流程(100)中预设事件发生的装置：
将发生的事件通知软件调度代理人(305，310，315，320)的装置；以及
响应所测得的预设事件，通过软件调度代理人(305，310，315，320)以反应式的方式调度一个动作的装置。
9.根据权利要求8所述的装置，其中侦测预设事件发生的装置包括侦测未事先规划的事件或未预期的事件的装置。
10.根据权利要求8所述的装置，其中侦测预设事件发生的装置包括侦测约定状态的改变、工厂状态的改变以及警报事件的装置。
11.根据权利要求8所述的装置，其中侦测预设事件发生的手段包括用于侦测约定的取消、约定的延长、约定的缩短、约定的放弃、成为启用的约定、约定接近完成、约定的完成、约定的转移、约定的跨越以及约定窗口的更新、侦测发生停机时间、机器变为可用、PM/Qual被侦测、反应室退出、一反应室变为可用、机器容量改变、机器类型改变、一种工艺的增加、一种工艺操作的增加、一批次到达机器、批次工艺改变、批次置于暂停状态、批次离开暂停状态、批次优先级改变、批次到期日改变、批次晶圆数目改变、批次工艺操作改变、一批次离开机器、在约定开始时发出的警报以及一种在约定结束时发出的警报的上述至少一个的装置。
12.根据权利要求8所述的装置，其中将发生的事件通知软件调度代理人(305，310，315，320)的装置包括：
传送发生事件的指示至发布者(352)的装置；
从发布者(352)发布该发生事件至订阅听者(358)的装置；以及
从订阅听者(358)呼叫其软件调度代理人(305，310，315，320)的装置。
13.根据权利要求8所述的装置，其中反应式调度行动的装置包括用于放弃一项正在进行中的调度约定、在其开始之前取消一项调度约定、安排一项新的约定、开始一项调度约定、延长一项调度约定的时间、缩短一项调度约定的时间、转移一项调度约定、增加新的工艺容量、删除旧的工艺容量、设定一项警报、取消一项警报，以及改变一项约定的状态的上述至少一个的装置。
14.根据权利要求8所述的装置，其进一步包括预先调度一种和预设事件有关的约定的装置。
15.一种自动化制造环境，其包括：
一种工艺流程(100)；以及
一种计算系统，其包括置于其中的多个软件调度代理人(305，310，315，320)，该软件调度代理人(305，310，315，320)能够在工艺流程(100)的活动中响应多个预设事件并以反应式的方式进行约定调度。
16.根据权利要求15所述的自动化制造环境，其进一步包括多个能在工艺流程(100)中侦测一种预设事件发生的发布者(352)及订阅者(358)，并且能将发生的事件通知其中一个软件调度代理人(265)。
17.根据权利要求15所述的自动化制造环境，其进一步包括一种制造执行系统(270)以及一种自动化材料处理系统(280)中的至少一个。
18.根据权利要求15所述的自动化制造环境，其中该计算系统是一种局域网、广域网、系统局域网、内联网或互联网的一部分中的至少一个。
19.根据权利要求15所述的自动化制造环境，其中该工艺流程(100)包括一间半导体制造工厂的一部分。
CNB028288769A 2002-04-30 2002-12-20 用于自动化制造环境的代理人反应式调度 Expired - Lifetime CN100351723C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/135,145 2002-04-30
US10/135,145 US6907305B2 (en) 2002-04-30 2002-04-30 Agent reactive scheduling in an automated manufacturing environment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1625722A true CN1625722A (zh) 2005-06-08
CN100351723C CN100351723C (zh) 2007-11-28

Family

ID=29399213

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB028288769A Expired - Lifetime CN100351723C (zh) 2002-04-30 2002-12-20 用于自动化制造环境的代理人反应式调度

Country Status (8)

Country Link
US (2) US6907305B2 (zh)
EP (1) EP1499933A1 (zh)
JP (1) JP2005524165A (zh)
KR (1) KR100950796B1 (zh)
CN (1) CN100351723C (zh)
AU (1) AU2002364053A1 (zh)
TW (1) TWI284792B (zh)
WO (1) WO2003093912A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102800560A (zh) * 2011-05-26 2012-11-28 联景光电股份有限公司 自动监控制程的方法
TWI575343B (zh) * 2015-12-23 2017-03-21 迅得機械股份有限公司 製程監控方法
CN114615313A (zh) * 2022-03-08 2022-06-10 树根互联股份有限公司 一种数据传输方法、装置、计算机设备和可读存储介质

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7027954B2 (en) * 2001-12-21 2006-04-11 Honeywell International Inc. Method and apparatus for retrieving activity data related to an activity
US7225193B2 (en) * 2001-12-21 2007-05-29 Honeywell International Inc. Method and apparatus for retrieving event data related to an activity
US20030225474A1 (en) * 2002-05-31 2003-12-04 Gustavo Mata Specialization of active software agents in an automated manufacturing environment
JP4247083B2 (ja) * 2003-09-26 2009-04-02 株式会社東芝 半導体製造ラインの稼働率評価システムと設計システム
TWI236044B (en) * 2004-05-12 2005-07-11 Powerchip Semiconductor Corp System and method for real-time dispatching batch in manufacturing process
US7426555B2 (en) * 2004-06-02 2008-09-16 International Business Machines Corporation Method, system, and storage medium for providing continuous communication between process equipment and an automated material handling system
US20080275582A1 (en) * 2004-11-19 2008-11-06 Nettles Steven C Scheduling AMHS pickup and delivery ahead of schedule
EP1677234A1 (en) * 2004-12-29 2006-07-05 Sap Ag Compact scheduling
EP1866855A1 (en) * 2005-03-04 2007-12-19 Quadrat Method for processing a linked list of time segments
US20060271223A1 (en) * 2005-05-27 2006-11-30 International Business Machines Corporation Method and system for integrating equipment integration software, equipment events, mes and rules databases
US7305276B2 (en) * 2005-10-31 2007-12-04 International Business Machines Corporation Method, system, and computer program product for controlling the flow of material in a manufacturing facility using an extended zone of control
US8595041B2 (en) * 2006-02-07 2013-11-26 Sap Ag Task responsibility system
US8719080B2 (en) 2006-05-20 2014-05-06 Clear Channel Management Services, Inc. System and method for scheduling advertisements
DE102006025407A1 (de) * 2006-05-31 2007-12-06 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Verfahren und System zum dynamischen Ändern der Transportsequenz in einer Cluster-Anlage
US7515982B2 (en) * 2006-06-30 2009-04-07 Intel Corporation Combining automated and manual information in a centralized system for semiconductor process control
US20080125900A1 (en) * 2006-09-15 2008-05-29 Maxim Carmen A Method and apparatus for scheduling material transport in a semiconductor manufacturing facility
US8712567B2 (en) * 2006-12-22 2014-04-29 Aviat U.S., Inc. Manufactured product configuration
US8041444B2 (en) * 2006-12-22 2011-10-18 Harris Stratex Networks Operating Corporation Intelligent production station and production method
US8175732B2 (en) * 2006-12-22 2012-05-08 Harris Stratex Networks Operating Corporation Manufacturing system and method
DE102007025339A1 (de) * 2007-05-31 2008-12-04 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Verfahren und System zum Entfernen leerer Trägerbehälter von Prozessanlagen durch Steuern einer Zuordnung zwischen Steuerungsaufgaben und Trägerbehälter
US20090093903A1 (en) * 2007-10-04 2009-04-09 International Business Machines Corporation Methods, systems, and computer program products for automating process and equipment qualifications in a manufacturing environment
US7657614B2 (en) * 2007-12-19 2010-02-02 Motorola, Inc. Multiple participant, time-shifted dialogue management
US9922295B2 (en) * 2008-01-17 2018-03-20 International Business Machines Corporation Method for evolving shared to-do lists into business processes
US8244391B2 (en) * 2008-05-28 2012-08-14 International Business Machines Corporation Method for minimizing productivity loss while using a manufacturing scheduler
US20100094739A1 (en) * 2008-10-14 2010-04-15 Peter Ellis System and method for providing transaction-based profit solutions
US20100268135A1 (en) * 2008-11-09 2010-10-21 Scott Summit Modular custom braces, casts and devices and methods for designing and fabricating
US8156050B2 (en) * 2009-05-26 2012-04-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Project management system and method
US20140067108A1 (en) * 2012-08-31 2014-03-06 The Boeing Company Systems and methods for dynamic control of task assignments in a fabrication process
US10115078B2 (en) 2013-03-11 2018-10-30 Sony Corporation Service scheduling system
US10152760B2 (en) * 2016-04-24 2018-12-11 Christoph Adam Kohlhepp Methods for an autonomous robotic manufacturing network
JP6444943B2 (ja) * 2016-05-30 2018-12-26 ファナック株式会社 保守作業を実施する製造セルを制御する製造管理装置
KR101931342B1 (ko) * 2016-12-22 2018-12-20 쿠팡 주식회사 상품 분류 장치, 방법, 및 컴퓨터 프로그램
US10417595B2 (en) 2017-05-05 2019-09-17 DeHart Consulting, LLC Time-based, demand-pull production
WO2020013910A1 (en) 2018-07-12 2020-01-16 Applied Materials, Inc Constraint programming using block-based workflows
KR102511706B1 (ko) * 2018-09-28 2023-03-20 가부시키가이샤 파토라이토 통지 시스템
US11437254B2 (en) * 2020-06-24 2022-09-06 Applied Materials, Inc. Sequencer time leaping execution

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4796194A (en) 1986-08-20 1989-01-03 Atherton Robert W Real world modeling and control process
JPS6471652A (en) * 1987-09-09 1989-03-16 Fanuc Ltd Automatic work scheduling method based on expert system
US5093794A (en) 1989-08-22 1992-03-03 United Technologies Corporation Job scheduling system
JP2753142B2 (ja) 1990-11-27 1998-05-18 株式会社東芝 半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置
JPH04223849A (ja) * 1990-12-21 1992-08-13 Yamatake Honeywell Co Ltd 多品種少量生産システム
US5369570A (en) 1991-11-14 1994-11-29 Parad; Harvey A. Method and system for continuous integrated resource management
JPH05225196A (ja) * 1992-02-14 1993-09-03 Hitachi Ltd 部門間協調スケジューリング方法およびシステムおよび知識ベースデバッグ方法
JPH05250377A (ja) 1992-03-04 1993-09-28 Fujitsu Ltd スケジューリング方式
US5586021A (en) 1992-03-24 1996-12-17 Texas Instruments Incorporated Method and system for production planning
JPH05282320A (ja) * 1992-03-31 1993-10-29 Nippon Steel Corp 作業スケジューリング方法
JPH05282321A (ja) * 1992-03-31 1993-10-29 Nippon Steel Corp 鉄鋼業におけるスケジューリング方法
JPH05307551A (ja) * 1992-04-30 1993-11-19 Nippon Steel Corp 鉄鋼業におけるスケジューリング方法
JPH0661699A (ja) * 1992-08-07 1994-03-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 生産計画変更方法
JPH076939A (ja) * 1992-12-02 1995-01-10 Hitachi Ltd 生産管理システム
US6128542A (en) 1993-03-29 2000-10-03 Cmsi Acquisition Corporation Method and apparatus for generating a sequence of steps for use by a factory
US5446671A (en) * 1993-10-22 1995-08-29 Micron Semiconductor, Inc. Look-ahead method for maintaining optimum queued quantities of in-process parts at a manufacturing bottleneck
US5467268A (en) * 1994-02-25 1995-11-14 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method for resource assignment and scheduling
US5444632A (en) * 1994-04-28 1995-08-22 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for controlling and scheduling processing machines
US5787000A (en) 1994-05-27 1998-07-28 Lilly Software Associates, Inc. Method and apparatus for scheduling work orders in a manufacturing process
US5548535A (en) 1994-11-08 1996-08-20 Advanced Micro Devices, Inc. Monitor utility for use in manufacturing environment
US5696689A (en) * 1994-11-25 1997-12-09 Nippondenso Co., Ltd. Dispatch and conveyer control system for a production control system of a semiconductor substrate
US5835688A (en) * 1995-06-07 1998-11-10 Xerox Corporation Generic method for automatically generating finite-state machines for schedudling from print engine capabilities
US5890134A (en) 1996-02-16 1999-03-30 Mcdonnell Douglas Corporation Scheduling optimizer
JPH09225783A (ja) * 1996-02-21 1997-09-02 Kobe Steel Ltd Ａｇｖ運行計画システム
US5953229A (en) 1996-09-24 1999-09-14 Environmental Research Institute Of Michigan Density-based emergent scheduling system
US5980078A (en) * 1997-02-14 1999-11-09 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Process control system including automatic sensing and automatic configuration of devices
JPH1170444A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Sumitomo Metal Ind Ltd 製造工程の管理方法
US6148239A (en) 1997-12-12 2000-11-14 Advanced Micro Devices, Inc. Process control system using feed forward control threads based on material groups
US6263255B1 (en) 1998-05-18 2001-07-17 Advanced Micro Devices, Inc. Advanced process control for semiconductor manufacturing
US6400999B1 (en) 1998-07-06 2002-06-04 Yokogawa Electric Corporation Production system and manufacturing equipment selecting method on production system
US6091998A (en) * 1998-09-30 2000-07-18 Rockwell Technologies, Llc Self organizing industrial control system using bidding process
US6374144B1 (en) 1998-12-22 2002-04-16 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Method and apparatus for controlling a system using hierarchical state machines
US6356797B1 (en) 1999-01-04 2002-03-12 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method for automatic scheduling of production plan
US6202062B1 (en) 1999-02-26 2001-03-13 Ac Properties B.V. System, method and article of manufacture for creating a filtered information summary based on multiple profiles of each single user
US6434443B1 (en) * 1999-05-17 2002-08-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Method for performing dynamic re-scheduling of fabrication plant
NL1015480C2 (nl) * 1999-06-22 2002-08-22 Hyundai Electronics Ind Halfgeleider fabriekautomatiseringssysteem en werkwijze voor de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette.
JP2001028327A (ja) * 1999-07-14 2001-01-30 Canon Inc デバイス製造装置
US7069101B1 (en) * 1999-07-29 2006-06-27 Applied Materials, Inc. Computer integrated manufacturing techniques
JP4574777B2 (ja) * 2000-01-21 2010-11-04 勇治 仲 バッチプラントの制御方法、バッチプラントの制御プログラムを記憶した記録媒体、及びバッチプラントの制御装置
US6584369B2 (en) 2000-02-02 2003-06-24 Texas Instruments Incorporated Method and system for dispatching semiconductor lots to manufacturing equipment for fabrication
JP2001236112A (ja) * 2000-02-24 2001-08-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 工程フロー管理方法
JP2002041124A (ja) * 2000-07-24 2002-02-08 Toshiba Corp 生産管理システムおよび生産管理情報利用システム
JP4243421B2 (ja) * 2000-09-13 2009-03-25 新日本製鐵株式会社 鉄鋼製品の製造管理方法、製造スケジューリング装置及び記憶媒体

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102800560A (zh) * 2011-05-26 2012-11-28 联景光电股份有限公司 自动监控制程的方法
TWI575343B (zh) * 2015-12-23 2017-03-21 迅得機械股份有限公司 製程監控方法
CN114615313A (zh) * 2022-03-08 2022-06-10 树根互联股份有限公司 一种数据传输方法、装置、计算机设备和可读存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
US6907305B2 (en) 2005-06-14
WO2003093912A1 (en) 2003-11-13
KR100950796B1 (ko) 2010-04-02
JP2005524165A (ja) 2005-08-11
US6968248B1 (en) 2005-11-22
TW200307861A (en) 2003-12-16
KR20040102199A (ko) 2004-12-03
EP1499933A1 (en) 2005-01-26
CN100351723C (zh) 2007-11-28
US20040243266A1 (en) 2004-12-02
US20050256598A1 (en) 2005-11-17
AU2002364053A1 (en) 2003-11-17
TWI284792B (en) 2007-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100351723C (zh) 用于自动化制造环境的代理人反应式调度
KR101391419B1 (ko) Ａｍｈｓ 픽업의 스케쥴링 및 스케쥴 이전의 전달
JP4722479B2 (ja) 自動製造環境におけるアクティブソフトウェアエージェントの特殊化
US7337032B1 (en) Scheduling ahead for various processes
US6959225B1 (en) Graphical user interface for allocating multi-function resources in semiconductor wafer fabrication and method of operation
Liao et al. Daily scheduling for R&D semiconductor fabrication
US7254457B1 (en) Manufacturing process control methods and systems
US7463939B1 (en) Scheduling tools with queue time constraints
Potoradi et al. Using simulation-based scheduling to maximize demand fulfillment in a semiconductor assembly facility
TW201030643A (en) Calendaring system
US7120511B1 (en) Method and system for scheduling maintenance procedures based upon workload distribution
US7725497B2 (en) System and method for standardized process monitoring in a complex manufacturing environment
Yurtsever et al. Heuristic based scheduling system for diffusion in semiconductor manufacturing
WO2006125771A1 (en) Method and system for integrating equipment integration software, equipment events, mes and rules databases
US20050203655A1 (en) Scheduling system and method for avoiding low equipment utilization
Aydt et al. Symbiotic simulation for optimisation of tool operations in semiconductor manufacturing
US20090171493A1 (en) System and method for performance based production scheduling and dispatching
JP2005208891A (ja) 制御装置及び処理システム
US20080201003A1 (en) Method and system for reticle scheduling
Chik et al. Manufacturing WIP management systems with automated dispatching decision: Silterra case study
Sieberg et al. A scheduling and resource optimising MES for the semiconductor and MEMS industry
Krishna et al. A progressive strategy to achieving automated lot processing
Li et al. A breakthrough in optimizing throughput and manufacturing efficiency via factory-wide dynamic WIP dispatching in 300mm semiconductor manufacturing
Wu et al. An automatic monitor management system for effective 300 mm fab operations
Michaud et al. Paths to assembly automation: Different data for different objectives

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20071128