CN1840448A - 基板移放装置,基板移放方法,以及电光装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板移放装置，基板移放方法，以及电光装置的制造方法。其中，将沿着支持槽收置于基板收置壳体的玻璃基板移放于托盘中所含有的基板收置面的基板移放装置备有：基板收置壳体放置部；托盘放置部；保持被收置于基板收置壳体的玻璃基板而将其从基板收置壳体取出，并且转移到旋转凹槽的凹槽的基板转移机构；在保持位置上保持被放置于凹槽的玻璃基板，并且在放出位置上放出而将其配置于基板收置面的基板保持机构；以及将基板保持机构从保持位置向放出位置移送的移送机构。

Description

基板移放装置，基板移放方法， 以及电光装置的制造方法

技术领域

本发明涉及用来在基板收置壳体间移放基板的基板移放装置，基板移放方法，以及使用该基板移放方法的电光装置的制造方法。

背景技术

将多个液晶显示装置作入一对玻璃基板，然后从该玻璃基板切出单一的液晶显示装置(以下也称为“单件”)来制造液晶显示装置是一般的。这样的制造方法中所用的玻璃基板，各边具有几百毫米以上的长度。

另一方面，有时在大的玻璃基板上预先将对应于单件的对角2英寸以下左右的大小的对向玻璃基板粘贴多个，然后切出单一的液晶显示装置而制造液晶显示装置。该制造方法以避免对向玻璃基板的粘贴时的组合错位的风险，或高精度地控制玻璃基板间的间隙为目的而进行。该场合的液晶显示装置的制造方法，包括移送对应于单件的大小的对向玻璃基板的工序。作为这种工序的例子，可以举出逐张取出立着收置于基板收置壳体的对向玻璃基板，以并列状态移放于托架状的另一个基板收置壳体的工序等。

但是，能够运用于上述工序的、移放小的对向玻璃基板的装置尚未提出，在这种工序中用人的手来移放对向玻璃基板是现状。在人的手进行的移放中，存在着起因于基板的破损、移放位置的错位、基板的收置方向的错误等的成品率的降低，或作业人员的增加，作业者的熟练需要时间等问题。

发明内容

根据本发明的基板移放装置，是将内壁上有支持槽的第1基板收置壳体中沿着所述支持槽所收置的基板，移放于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面的装置，其特征在于，包括：放置所述第1基板收置壳体的第1基板收置壳体放置部；放置所述第2基板收置壳体的第2基板收置壳体放置部；保持被收置于所述第1基板收置壳体的所述基板并将其从该第1基板收置壳体取出，并且将该基板转移到基板放置机构的基板放置部的基板转移机构；在保持位置上保持被放置于所述基板放置部的所述基板，并且在放出位置上放出该基板而将其配置于所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的基板保持机构；以及从所述保持位置向所述放出位置移送所述基板保持机构的移送机构。

这种基板移放装置在基板转移机构将基板从第1基板收置壳体向基板放置部转移后，基板保持机构保持该基板，接着移送机构将该状态的基板保持机构移送到放出位置，最后基板保持机构将基板收置于第2基板收置壳体。这样一来通过上述构成所得到的效果之一是不经由人的手就可以将包括对角2英寸以下的玻璃基板的基板从第1基板收置壳体向第2基板收置壳体移放。

这里，所述基板放置机构可以具有使所述基板放置部移动到包括第1位置和第2位置的多个位置的移动机构，被放置于处在所述第1位置的所述基板放置部的所述基板，可以与被收置于所述第1基板收置壳体放置部上的所述第1基板收置壳体的所述基板大致平行。如果用该构成，则由基板转移机构从第1基板收置壳体取出的基板与处在第1位置的基板放置部大致平行，因为在基板的转移时没有必要调整基板的角度，故可以容易地进行基板的转移。此外，如果用上述构成，则基板在第1基板收置壳体内以从垂直面倾斜的状态被收置。借此，基板靠自重依靠于支持槽而姿势稳定，并且如果支持槽为等间隔就被等间隔地配置。因此，基板转移机构可以容易地保持该基板。

进而，也可以为：被放置于处在所述第2位置的所述基板放置部的所述基板，和所述第2基板收置壳体中所含有的所述基板收置面是大致水平的；所述基板保持机构在所述保持位置上保持被放置于处在所述第2位置的所述基板放置部的所述基板。如果用该构成，则所述基板保持机构可以平衡良好地保持基板，并且通过平行移动该基板可以将该基板收置于所述第2基板收置壳体中所含有的基板收置面。

这里，最好是所述移动机构包括以大致水平的轴为中心使包括所述基板放置部的部位旋转的旋转机构。通过使用旋转机构，所述移动机构可以容易地使所述基板放置部在所放置的基板从水平倾斜的所述第1位置、与所放置的基板成为大致水平的所述第2位置之间移动。

此外，所述基板保持机构也可以备有吸附保持所述基板的吸附机构。如果用该构成，则基板保持机构通过吸附基板的一个平面，可以以基板的端面自由的状态保持基板。这里所谓自由的状态是指不与任何异物接触的状态。如果基板的所有的端面处于自由的状态，则基板保持机构即使在第2基板收置壳体具有引导基板的端面的隔壁的场合，也可以容易地将该基板放出到第2基板收置壳体。

这里，所述基板保持机构也可以包括以大致垂直的轴为中心使所述吸附机构旋转的旋转单元。这种基板保持机构可以在由吸附机构保持基板的状态下以垂直的轴为中心使该基板旋转。借此，基板移放装置可以将基板移放成沿着基板收置面的隔壁的状态。

根据本发明的基板移放装置的特征在于包括检测被放置于所述基板放置部的所述基板的方向的第1检测机构。该构成的基板移放装置，在由第1检测机构检测到被放置于基板放置部的基板的方向从规定的状态在同一平面内旋转180°的场合，例如，基板保持机构通过使保持该基板的吸附机构旋转180°，可以将基板的方向修正成规定的状态而移放。此外，该基板移放装置，在由第1检测机构检测到被放置于基板放置部的基板为与规定的状态表里相反的场合，例如通过使装置停止，可以防止以表里相反的状态移放基板。

此外，本发明的基板移放装置的特征在于包括检测被放置于所述基板放置部的所述基板的破损的第2检测机构。该构成的基板移放装置，在由第2检测机构检测到基板破损的场合，例如通过使装置停止，可以防止移放破损的基板。

进而，根据本发明的基板移放装置的特征在于包括：检测由所述基板保持机构所保持的所述基板的端面的位置的第3检测机构；检测所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的隔壁的位置的第4检测机构；以及根据由所述第3检测机构所检测的所述端面的位置和由所述第4检测机构所检测的所述隔壁的位置计算所述放出位置，将该放出位置的信息向所述移送机构传递的处理部。该构成的基板移放装置，通过根据由保持机构所保持的基板的端面的位置和第2基板收置壳体的隔壁的位置预先计算放出基板的位置，可以高精度地将基板收置于基板收置面。

根据本发明的基板移放装置，是将被收置于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面的基板移放到内壁上有支持槽的第1基板收置壳体的装置，其特征在于，包括：放置所述第2基板收置壳体的第2基板收置壳体放置部；放置所述第1基板收置壳体的第1基板收置壳体放置部；在保持位置上保持被放置于所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的所述基板，并且在放出位置上放出该基板而将其配置于基板放置机构的基板放置部的基板保持机构；将所述基板保持机构从所述保持位置向所述放出位置移送的移送机构；以及保持被放置于所述基板放置部的所述基板，并且将该基板转移到所述第1基板收置壳体的基板转移机构。该构成的效果之一在于在与上述方向相反的方向上移放基板，具体地说在于从第2基板收置壳体中所含有的基板收置面向第1基板收置壳体移放成为可能。

根据本发明的基板移放方法，是将内壁上有支持槽的第1基板收置壳体中沿着所述支持槽所收置的基板，移放于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面的方法，其特征在于，包括：基板转移机构保持被收置于第1基板收置壳体放置部上的所述第1基板收置壳体的所述基板并将其从该第1基板收置壳体取出，并且将该基板转移到基板放置机构的基板放置部的第1步骤；基板保持机构在保持位置上保持被放置于所述基板放置部的所述基板的第2步骤；移送机构从所述保持位置向放出位置移送所述基板保持机构的第3步骤；以及所述保持机构在所述放出位置上放出所述基板而将其配置于被放置在第2基板收置壳体放置部的所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的第4步骤。

通过上述方法所得到的效果之一在于可以将包括对角2英寸以下的玻璃基板的基板，不经由人的手而从第1基板收置壳体向第2基板收置壳体移放。

这里，所述基板放置方法也可以在所述第1步骤之前具有：所述基板放置机构中所含有的移动机构使所述基板放置部移动到第1位置的第5步骤，其中，被放置于处在所述第1位置的所述基板放置部的所述基板，与被收置于所述第1基板收置壳体放置部上的所述第1基板收置壳体的所述基板大致平行。如果用该方法，则由基板转移机构从第1基板收置壳体所取出的基板与处在第1位置的基板放置部大致平行，因为在基板的转移时没有必要调整基板的角度，故可以容易地进行基板的转移。此外，如果用上述方法，则基板在第1基板收置壳体内以从垂直面倾斜的状态被收置着。借此，基板靠自重依靠于支持槽而姿势稳定，并且如果支持槽为等间隔则被等间隔地配置。因此，基板转移机构可以容易地保持该基板。

进而，也可以在所述第1步骤之后具有：所述基板放置机构中所含有的移动机构使所述基板放置部移动到第2位置的第6步骤，并且所述第2步骤包括所述保持机构在所述保持位置上保持被放置于处在所述第2位置的所述基板放置部的所述基板的步骤，被放置于处在所述第2位置的所述基板放置部的所述基板，和所述第2基板收置壳体中所含有的所述基板收置面是大致水平的。如果用该方法，则所述基板保持机构可以平衡良好地保持基板，并且通过平行移动该基板可以将该基板收置于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面。

这里，优选地，所述第5步骤和所述第6步骤中，包括以大致水平的轴为中心使包括所述基板放置部的部位旋转的旋转机构的移动机构，使所述基板放置部移动。通过使用旋转机构，所述移动机构可以容易地使所述基板放置部在所放置的基板从水平倾斜的所述第1位置、与所放置的基板为大致水平的所述第2位置之间移动。

此外，所述第2步骤也可以包括所述基板保持机构吸附保持所述基板的步骤。如果用该方法，则基板保持机构通过吸附基板的一个平面而保持它，可以以基板的端面自由的状态保持基板。如果基板的所有的端面处于自由的状态，则基板保持机构即使在第2基板收置壳体具有引导基板的端面的隔壁的场合，也可以容易地将该基板放出到第2基板收置壳体。

根据本发明的基板移放方法的特征在于，在所述第1步骤之后，具有第1检测机构检测被放置于所述基板放置部的所述基板的方向的第7步骤。如果用该基板移放方法，则在由第1检测机构检测到被放置于基板放置部的基板的方向从规定的状态在同一平面内旋转180°的场合，例如基板保持机构通过使保持该基板的吸附机构旋转180°，可以将基板的方向修正成规定的状态而移放。此外，如果用该基板移放方法，则在由第1检测机构检测到被放置于基板放置部的基板为与规定的状态表里相反的场合，例如通过使装置停止，可以防止以表里相反的状态移放基板。

此外，本发明的基板移放方法的特征在于，在所述第1步骤之后，具有第2检测机构检测被放置于基板放置部的所述基板的破损的第8步骤。如果用该基板移放方法，则在由第2检测机构检测到基板破损的场合，例如通过使装置停止，可以防止移放破损的基板。

进而，根据本发明的基板移放方法的特征在于具有：在所述第2步骤之后，第3检测机构检测由所述基板保持机构所保持的所述基板的端面的位置的第9步骤；在所述第9步骤之后，第4检测机构检测所述第2基板收置壳体中所设置的用来引导所述基板的端面的隔壁的位置的第10步骤；以及在所述第10步骤之后，处理部根据由所述第3检测机构所检测的所述端面的位置和由所述第4检测机构所检测的所述隔壁的位置计算所述放出位置，将该放出位置的信息向所述移送机构传递的第11步骤。如果用该基板移放方法，则通过根据由保持机构所保持的基板的端面的位置、和第2基板收置壳体的隔壁的位置预先计算放出基板的位置，可以高精度地将基板收置于基板收置面。

根据本发明的基板移放方法，是将收置于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面的基板移放到内壁上有支持槽的第1基板收置壳体的方法，其特征在于，包括：基板保持机构在保持位置上保持被收置于第2基板收置壳体放置部上的所述第2基板收置壳体中所含有的所述基板收置面的基板的第1步骤；移送机构将所述基板保持机构从所述保持位置向放出位置移送的第2步骤；所述保持机构在所述放出位置上放出所述基板并将该基板放置于基板放置机构的基板放置部的第3步骤；以及基板转移机构保持被放置于所述基板放置部的所述基板，并且将该基板转移到被放置于第1基板收置壳体放置部的所述第1基板收置壳体的第4步骤。该方法的效果之一在于在与上述方向相反的方向上移放基板，具体地说在于从第2基板收置壳体中所含有的基板收置面向第1基板收置壳体移放成为可能。

根据本发明的电光装置的制造方法，是将内壁上有支持槽的第1基板收置壳体中沿着所述支持槽所收置的基板，移放于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面而制造电光装置的方法，其特征在于，包括：基板转移机构保持被收置于第1基板收置壳体放置部上的所述第1基板收置壳体的所述基板并将其从该第1基板收置壳体取出，并且将该基板转移到基板放置机构的基板放置部的第1步骤；基板保持机构在保持位置上保持被放置于所述基板放置部的所述基板的第2步骤；移送机构从所述保持位置向放出位置移送所述基板保持机构的第3步骤；以及所述保持机构在所述放出位置上放出所述基板而将其配置于被放置在第2基板收置壳体放置部的所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的第4步骤。该制造方法由于包括不经由人的手而能够移放的基板移放方法，所以可以成品率高地制造电光装置。

附图说明

图1是表示基板移放装置的示意图；

图2是表示第1基板收置壳体的示意透视图；

图3是具有处在第1位置的作为基板放置部的凹槽(ポケツト)的、作为基板放置机构的旋转凹槽的示意图；

图4是具有处在第2位置的作为基板放置部的凹槽的、作为基板放置机构的旋转凹槽的示意图；

图5是作为第2基板收置壳体的托架的示意透视图；

图6是表示基板移放装置的电气构成的方框图；

图7是表示本发明的实施例的基板移放方法的工序图；

图8是表示本发明的实施例的基板移放方法的示意图；

图9是表示本发明的实施例的基板移放方法的示意图；

图10是表示本发明的实施例的液晶显示装置的制造方法的工序图；

图11(a)和(b)是液晶显示装置的示意图；

图12是表示本发明的变形例的基板移放方法的示意图。

具体实施方式

(A.基板移放装置的构成)

图1是表示本实施例的基板移放装置1的构成的示意图。基板移放装置1备有基板转移机构10，作为“第1基板收置壳体放置部”的基板收置壳体放置部50，作为“基板放置机构”的旋转凹槽20，基板保持机构30，移送机构40，摄像机91、92、93、94，作为“第2基板收置壳体放置部”的托盘放置部60。基板移放装置1总体上是将放置于基板收置壳体放置部50的基板收置壳体51内的作为“基板”的玻璃基板5移放到放置于托盘放置部60的托盘61的装置。在以下，以水平面当中的从基板收置壳体51向托盘61的方向，也就是玻璃基板5被搬运的方向作为X轴，以在水平面上与X轴垂直的方向作为Y轴，以垂直向上方向作为Z轴。以下就上述构成要素用图1进行说明。

(A1.基板转移机构)

基板转移机构10由手部(机械手，ハンド)11，手部移动机构12，手部移动机构基部13组成，在手部移动机构基部13上，设有基板收置壳体51所放置的基板收置壳体放置部50。基板收置壳体放置部50具有将多个构成为能够放置基板收置壳体51的容器连接起来的形状。在基板收置壳体51中收置着作为基板移放装置1移放的对象的玻璃基板5。

图2是基板收置壳体51的示意透视图。基板收置壳体51是为了支持玻璃基板5而在内壁上具有等间隔地形成的支持槽52的塑料制的容器，可以在沿着支持槽52的方向上取齐地收置玻璃基板5。一个基板收置壳体51可以收置20张玻璃基板5。

这里玻璃基板5是构成液晶显示装置100(参照图11(b))的对向基板82(参照图11(a))的构件，在单侧的面(除了边缘部)上形成透明电极和与之重叠地涂布的取向膜。在玻璃基板5的外缘部附近的一点上，标记有方向判定用标志。此外，玻璃基板5具有对角1.3英寸的长方形的面，厚度为1.1mm。

手部移动机构基部13之中基板收置壳体放置部50所设置的面成为从水平面以一定的角度倾斜的斜面，同时基板收置壳体放置部50和基板收置壳体51也相对水平面具有该角度地设置。此时玻璃基板5在基板收置壳体51内以从垂直面倾斜的状态收置，通过自重依靠于支持槽52。借此玻璃基板5姿势稳定，并且因为所有的玻璃基板5以同一姿势依靠于支持槽52，故相互以等间隔的状态收置于基板收置壳体51。

基板转移机构10的上述构成要素相互如下地组装。在手部移动机构基部13上安装着手部移动机构12，在手部移动机构12上安装着手部11。这当中，手部移动机构12具有臂部121。手部移动机构12在手部移动机构基部13的前述斜面上升降的方向上具有可动范围，并且在垂直于该斜面的方向上也具有可动范围。也就是说，在X-Z平面内的方向上能够移动。手部11由构成为能够调整间隔的一对平行的握持指组成，在与该臂部121平行的方向即Y轴方向上具有可动范围地安装于手部移动机构12的臂部121。

手部11通过在能够握持玻璃基板5的位置上收窄握持指的间隔，可以握住玻璃基板5的端面而握持它。这里，由于玻璃基板5如上所述等间隔而稳定地收置于基板收置壳体51，所以手部11可以容易地握持玻璃基板5。由手部11握持玻璃基板5的基板转移机构10通过在前述可动范围内使手部移动机构12和手部11移动，可以使玻璃基板5移动到处在后述的第1位置的凹槽21附近。通过在该状态下扩宽手部11的握持指的间隔而放开玻璃基板5，基板转移机构10可以将玻璃基板5移动到凹槽21中。此时，玻璃基板5放置成使未形成透明电极和取向膜的面朝向凹槽21。因而，在玻璃基板5的放置时取向膜面不会被污染。

像以上这样，基板转移机构10可以取出收置于基板收置壳体51的玻璃基板5，并且将该玻璃基板5放置于凹槽21。

(A2.基板放置机构)

如图1中所示，作为“基板放置机构”的旋转凹槽20由作为“基板放置部”的凹槽21、凹槽基部22和移动机构23组成。凹槽21固定于凹槽基部22，凹槽基部22安装于移动机构23。

这里，用图3和图4，就旋转凹槽20的构成要素的配置和动作详细地进行说明。如图3中所示，凹槽基部22具有环状地配置用来设置凹槽21的8个面的近似于正八棱柱的形状，以前述8个面当中的一对面成为大致水平的方式安装于移动机构23。凹槽基部22由金属制成。在前述8个面当中的从水平朝向+45°方向的面之一上设置着凹槽21。凹槽21的该位置在以下称为“第1位置”。在位于第1位置的凹槽21上，基板转移机构10可以放置玻璃基板5。

凹槽21是能够放置玻璃基板5的金属制的零件，具有用来规定玻璃基板5的端面的位置的隔壁211a、211b、211c，和吸附孔212。再者，凹槽21的表面也可以为了不划伤玻璃基板5而用氟化乙烯树脂等涂层。吸附孔212内相对外部气体成为负压，吸引吸附孔附近的外部气体或物体。隔壁211a相对隔壁211b、211c相对高些。通过该构成，从上述手部11放到处在第1位置的凹槽21的玻璃基板5由隔壁211a暂时支持，同时靠自重和吸附孔212产生的负压吸靠、放置于凹槽21。放置于凹槽21的玻璃基板5由吸附孔212的吸引力和隔壁211a、211b、211c固定于凹槽21。

再者，放置于处在第1位置的凹槽21的状态的玻璃基板5与上述收置于基板收置壳体51的状态的玻璃基板5和握持于手部11的状态的玻璃基板5是大致平行的。换句话说，握持于手部11并搬运到凹槽21附近的玻璃基板5几乎不改变角度地放置于凹槽21。通过该构成，上述基板转移机构10可以容易地将玻璃基板5放置于凹槽21。

移动机构23可以由设置于内部的未画出的旋转机构，以平行于图3中所示的Y轴的旋转轴24为中心使凹槽基部22旋转。移动机构23使凹槽基部22旋转到成为凹槽21垂直朝上的状态示于图4。在以下将凹槽21的该位置称为“第2位置”。后述的基板保持机构30可以保持放置于处在第2位置的凹槽21的玻璃基板5。由于移动机构23可以按任意的旋转量将凹槽基部22旋转到任何方向，所以也可以使凹槽21从第2状态返回到第1状态。

再者，虽然在本实施例中仅在凹槽基部22的8个面当中的一处设置凹槽21，但是也可以同时在其他面上设置凹槽21。例如，如果各面上分别设置能够收置大小不同的玻璃基板的凹槽，则仅靠适当旋转凹槽基部22，就可以适应这些大小的基板的移放。

此外，如图1中所示，旋转凹槽20的总体构成为在X轴方向上能够移动。更详细地说，旋转凹槽20，可以在手部11能够将玻璃基板5放置于位于第1位置的凹槽21的位置(图1中双点划线所描绘的位置)，与后述的吸附头31能够从处在第2位置的凹槽21保持玻璃基板5的位置(图1中实线所描绘的位置)之间移动。在以下，将前者称为“第3位置”，将后者称为“第4位置”。该旋转凹槽20的移动由移动机构23内的未画出的驱动装置来实现。

如果从玻璃基板5的移送的观点将上述内容换种说法，则在凹槽21处在第1位置，而且旋转凹槽20总体处在第3位置的场合，手部11可以将玻璃基板5放置于凹槽21。此外，在凹槽21处在第2位置，而且旋转凹槽20总体处在第4位置的场合，吸附头31可以从凹槽21保持玻璃基板5。

像以上这样，作为基板放置机构的旋转凹槽20可以在凹槽21中放置玻璃基板5，并且可以使该状态的玻璃基板5在规定的位置之间移动。

(A3.基板保持机构和移送机构)

如图1中所示，基板保持机构30在Z轴方向的下端具有作为“吸附机构”的吸附头31，同样在上端部安装于移送机构40。此外，在基板保持机构30上，固定着垂直向下的摄像机94。

吸附头31具有能够由负压吸附物体的四方环状的吸附部。该四方环状的吸附部始终与X-Y平面保持平行，其形状对应于玻璃基板5的外缘部。由此，吸附头31通过以与玻璃基板5正对的状态进行吸附，可以仅与玻璃基板5的外缘部接触而保持它。由于在玻璃基板5的外缘部上没有配置取向膜，所以吸附头31可以不污染取向膜地保持玻璃基板5。再者，基板保持机构30可以以Z轴为中心使吸附头31旋转。在以下将该旋转角度取为θ。

移送机构40可以移送包括吸附头31的基板保持机构30。详细地说，可以使基板保持机构30在Z轴方向上上下移动，以及在X-Y平面内平行移动。

通过包括吸附头31的基板保持机构30和移送机构40的上述动作，基板保持机构30可以保持放置于处在第2位置的凹槽21的玻璃基板5，并且将其放出(卸下)以收置于托盘61的基板收置面62。

这里，托盘61是以水平状态放置于托盘放置部60上的金属制的基板收置壳体，图5中示出其示意透视图。托盘61具有通过削去金属板而形成的托盘隔壁63。托盘隔壁63按照玻璃基板5的大小来形成，在由该托盘隔壁63所划分的基板收置面62上，可以收置合计20张玻璃基板5。

再者，因为托盘61，与前述处在第2位置的凹槽21全都能够以水平的状态放置玻璃基板5，故基板保持机构30一旦保持玻璃基板5后可以不调整该玻璃基板5的仰角而将其收置于基板收置面62。

在以下，将基板保持机构30保持被放置于凹槽21的玻璃基板5时的基板保持机构30的位置称为“保持位置”，将基板保持机构30将玻璃基板5放出到基板收置面62时的基板保持机构30的位置称为“放出位置”。借此，移送机构40将基板保持机构30在保持位置与放出位置之间移送。

放出位置是如果基板保持机构30放出玻璃基板5，则该玻璃基板5被收置于基板收置面62的位置。因而，在放出位置上基板保持机构30保持的玻璃基板5的端面，与对应于该玻璃基板5将要被收置的基板收置面62的托盘隔壁63的端面，有必要高精度地取齐。移送机构40通过后述的摄像机93、94的功能，可以将基板保持机构30移动到满足这种条件的放出位置。移动到放出位置的基板保持机构30通过放出玻璃基板5，可以将玻璃基板5收置于基板收置面62。

由于基板保持机构30的吸附头31吸附保持玻璃基板5的一个平面，所以玻璃基板5的所有的端面不接触任何异物。因此，即使托盘61具有托盘隔壁63，基板保持机构30也不接触于托盘隔壁63，可以容易地将玻璃基板5放出到基板收置面62。

(A4.检测机构)

如图1中所示，在基板移放装置1中，在基板保持机构30的可动范围的一点上，配置着对着该基板保持机构30的方向，也就是垂直向上的摄像机93。此外，如上所述，在基板保持机构30上，固定着垂直向下的摄像机94。摄像机93经由基板端面判定部97连接于处理部71(参照图6)。此外，摄像机94经由托盘隔壁端面判定部98连接于该处理部71(参照图6)。

摄像机93、94是备有利用CCD(电荷耦合器件)的摄像元件的摄像机。摄像机93对基板保持机构30保持的玻璃基板5的端面摄影，将摄影的图像的数据发送到基板端面判定部97。基板端面判定部97根据接收的该数据，检测玻璃基板5的端面的位置和角度，将该信息发送到处理部71。另一方面，摄像机94对基板保持机构30保持的玻璃基板5将要被收置的基板收置面62的托盘隔壁63的端面摄影，将摄影的图像的数据发送到托盘隔壁端面判定部98。托盘隔壁端面判定部98根据接收的该数据，检测托盘隔壁63的端面的位置和角度，将该信息发送到处理部71。

这里，摄像机93和基板端面判定部97对应于本发明中的“第3检测机构”，摄像机94和托盘隔壁端面判定部98对应于本发明中的“第4检测机构”。

分别从基板端面判定部97和隔壁端面判定部98接收玻璃基板5的端面和托盘隔壁63的端面的位置和角度的信息的处理部71，根据这些数据计算基板保持机构30的适当的放出位置。然后，为了使基板保持机构30和吸附头31移动到该放出位置而将必要的信息发送到移送机构40和基板保持机构30。所谓该必要的信息，是基板保持机构30的X、Y、Z方向的移动量，和吸附头31的旋转角度θ，前者发送到移送机构40，后者发送到基板保持机构30。移送机构40基于接收的信息使基板保持机构30移动。此外，基板保持机构30基于接收的信息使吸附头31旋转。这样一来，包括吸附头31的基板保持机构30移动到能够将玻璃基板5正确地放出到基板收置面62的放出位置。

在基板移放装置1中，还配置着摄像机91、92。摄像机91、92分别在旋转凹槽20的可动范围的任一位置，对着处在第2位置的凹槽21地，即垂直向下地配置。摄像机91经由方向判定部95连接于处理部71(参照图6)。此外，摄像机92经由破损判定部96连接于处理部71(参照图6)。

摄像机91与摄像机93、94同样是备有利用CCD的摄像元件的摄像机。摄像机91对放置于凹槽21的玻璃基板5的方向判定用标志摄影，将拍摄的图像的数据发送到方向判定部95。方向判定部95根据接收的数据检测、判定玻璃基板5的方向。具体地说，如果方向判定用标志处在规定的位置则玻璃基板5的方向是正常的，如果方向判定用标志处在规定的位置的相反侧，即相对玻璃基板5的中心点对称的位置，则玻璃基板5的方向错位180°，在方向判定用标志的位置不属于上述任何一种的场合，判定为玻璃基板5进行了包括表里相反的放置的、除了上述以外的异常的放置。然后方向判定部95将该玻璃基板5的方向的信息发送到处理部71。处理部71在方向正常的场合不进行特别的动作。此外，在方向错位180°的场合，基板保持机构30在保持该玻璃基板时，对移送机构40发送用于使基板保持机构30在θ方向上旋转180°的信号，在方向为表里相反的场合停止基板移放装置1总体。再者，摄像机91和方向判定部95对应于本发明中的“第1检测机构”。

摄像机92与摄像机93、94同样是备有利用CCD的摄像元件的摄像机。摄像机94对放置于凹槽21的玻璃基板5的端面摄影，将拍摄的图像的数据发送到破损判定部96。破损判定部96根据接收的数据检测、判定玻璃基板5中的破损的有无。具体地，在所拍摄的端面的图像上存在由于破裂、破碎等的破损而导致的对比度的变化时，判定为玻璃基板5发生了破损。然后破损判定部96将该玻璃基板5的破损的有无的信息发送到处理部71。处理部71在玻璃基板5没有破损的场合不进行特别的动作。此外，在有破损的场合停止基板移放装置1总体。再者，摄像机92和破损判定部96对应于本发明中的“第2检测机构”。

通过摄像机91、92的这种功能，基板移放装置1可以沿以规定的方向仅将没有破损的玻璃基板5移放到托盘61的基板收置面62。

具有以上所述的构成的基板移放装置1可以不经由人的手而将玻璃基板5从基板收置壳体51移放到托盘61的基板收置面62。

(B.基板移放方法)

接下来，用图6就基板移放装置1的电气构成进行说明，然后基于这些用图7至图9就本实施例中的基板移放方法进行说明。

图6是表示基板移放装置1的电气构成的方框图。如此图中所示，处理部71与手部移动机构12，手部移动机构基部13，移动机构23，方向判定部95，破损判定部96，基板端面判定部97，托盘隔壁端面判定部98，基板保持机构30，移送机构40，配方(レシピ)存储部72，以及输入部73连接。处理部71从上述构成要素接收各种信息和信号并且对其进行处理，此外将各种信息和信号发送到前述构成要素。基板移放装置1是通过由处理部71适时发送用来驱动基板转移机构10，旋转凹槽20，基板保持机构30，移送机构40等的信号，依次驱动这些构成要素而进行基板的移放的装置。

配方存储部72经由处理部71接收、储存从输入部73所输入的配方信息。这里，配方信息包括玻璃基板5的尺寸，收置于基板收置壳体51的玻璃基板5的张数，支持槽52的间距，方向判定用标志的位置，托盘61的基板收置面62的配置(行/列数)。

接下来，就本实施例的基板移放方法用图7至图9进行说明。如图7的工序图所示，本实施例的基板移放方法可以分成工序S1至工序S17。在图7中，各工序按照成为对象的构成要素在列方向上分开配置，箭头表示工序的进行方向。图8和图9是本实施例的基板移放方法的示意图。

在工序S1中，旋转凹槽20移动到第3位置，并且凹槽21移动到第1位置。通过移动机构23接收从处理部71所发送的该移动用的信号，移动机构23基于该移动信号使旋转凹槽20总体平行移动，并且以旋转轴24为中心使凹槽基部22旋转，来实施这些移动。

接着在工序S2中，基板转移机构10的手部11握持收置于基板收置壳体51的玻璃基板5。该工序，更详细地说，包括手部11移动到能够握持玻璃基板5的位置的步骤，和手部11的握持指握住玻璃基板5的端面而握持它的步骤。

上述手部11的移动和握持指进行的玻璃基板5的握持，通过以下这种动作的组合来进行。处理部71将该移动和握持用的信号发送到手部移动机构基部13和手部移动机构12。手部移动机构基部13基于该信号使手部移动机构12移动。手部移动机构12基于该信号移动手部11和手部11的握持指。手部11通过这些动作的组合而移动，并握持玻璃基板5。再者，处理部71发送的信号由处理部71根据储存于配方存储部72的玻璃基板5的尺寸，收置于基板收置壳体51的玻璃基板5的张数，基板收置壳体51的支持槽52的间距的信息生成。

在手部进行玻璃基板5的握持的场合，进行工序S3。在该工序中，如图8(a)中所示，基板转移机构10的手部11将玻璃基板5放置于旋转凹槽20的凹槽21。该工序，更详细地说，包括手部11移动到能够将玻璃基板5放置于凹槽21的位置的步骤，和手部11的握持指松开玻璃基板5而将它放置于凹槽21的步骤。

上述手部11的移动和玻璃基板5的松开，通过以下这种动作的组合来进行。处理部71将该移动和握持用的信号发送到手部移动机构基部13和手部移动机构12。手部移动机构基部13基于该信号移动手部移动机构12。手部移动机构12基于该信号移动手部11和手部11的握持指。手部11通过这些动作的组合移动，并松开玻璃基板5。

上述的工序S2和S3对应于本发明中的“第1步骤”。

接着，在工序S4中，旋转凹槽20的凹槽21移动到第2位置，并且旋转凹槽20移动到凹槽21与摄像机91相互对着的位置(参照图8(b))。通过移动机构23接收从处理部71所发送的该移动用的信号，移动机构23基于该信号使旋转凹槽20总体平行移动，并且以旋转轴24为中心使凹槽基部22旋转，来实施旋转凹槽20和凹槽21的移动。

在旋转凹槽20的移动结束的场合，在工序S5中，进行放置于凹槽21的玻璃基板5的方向检测。该检测通过摄像机91，方向判定部95和处理部71的协同动作来进行。由于该判定时的动作已经详细描述，所以为了避免重复这里不再说明。

在工序S5中，在判定为玻璃基板5被正确地放置，或者被旋转180°地放置的场合，在工序S6中，旋转凹槽20移动到凹槽21与摄像机92相互对着的位置(参照图8(c))。通过移动机构23接收从处理部71所发送的该移动用的信号，移动机构23基于该信号使旋转凹槽20总体平行移动，来实施旋转凹槽20的移动。

在旋转凹槽20的移动结束的场合，在工序S7中，进行放置于凹槽21的玻璃基板5的破损检测。该检测通过摄像机92，破损判定部96和处理部71的协同动作来进行。由于该判定时的动作已经详细描述，所以为了避免重复这里不再说明。

再者，在工序S5中判定为玻璃基板5表里相反地被放置的场合，或者在工序S6中判定为玻璃基板5破损的场合，进行工序S17。在该工序中，处理部71停止基板移放装置。然后，作业者进行去除玻璃基板5等的处置，再次从工序S1开始基板的移放。

在工序S7中判定为玻璃基板5没有破损的场合，在工序S8中，旋转凹槽20移动到第4位置。通过移动机构23接收从处理部71所发送的该移动用的信号，移动机构23基于该信号使旋转凹槽20总体平行移动，来实施旋转凹槽20的移动。

在旋转凹槽20的移动结束的场合，进行工序S9。在该工序中，如图9(a)中所示，基板保持机构30移动到保持位置，并且基板保持机构30的吸附头31保持放置于凹槽21的玻璃基板5。该工序对应于本发明中的“第2步骤”。

通过移送机构40接收从处理部71所发送的该移动用的信号，移送机构40基于该信号带着基板保持机构30一起移动，来实施基板保持机构30向保持位置的移动。此外，通过基板保持机构30接收从处理部71所发送的该吸附用的信号，基板保持机构30基于该信号进行吸附头31的吸附动作，来实施吸附头31引起的玻璃基板5的吸附。再者，在吸附头31吸附玻璃基板5时，不进行凹槽21的吸附孔212对玻璃基板5的吸附。

这里，在该玻璃基板5在工序S5被判定成从正常的方向旋转180°的场合，进行工序S10。在工序S10中，基板保持机构30将吸附头31在θ方向上旋转180°。通过基板保持机构30接收从处理部71所发送的该旋转用的信号，基板保持机构基于该信号旋转吸附头31，来实施该旋转。经过该工序后的玻璃基板5的方向被修正成正常的状态。

在工序S10结束的场合，或者，在工序S9中基板保持机构30以正常的方向保持玻璃基板5的场合，进行工序S11。在工序S11中，基板保持机构30移动到玻璃基板5与摄像机93相互对着的位置(参照图9(b))。通过移送机构40接收从处理部71所发送的该移动用的信号，移送机构40基于该信号带着基板保持机构30移动，来实施基板保持机构30的移动。

接着在工序S12中，进行玻璃基板5的端面的检测。该工序通过摄像机93，基板端面判定部97和处理部71的协同动作来进行。由于该检测时的动作已经详细描述，所以为了避免重复这里不再说明。

接下来，在工序S13中，基板保持机构30移动到摄像机94与托盘61的基板收置面62对着的位置。如上所述，由于摄像机94固定于基板保持机构30，所以随着基板保持机构30的移动而移动。

在像这样摄像机94与基板收置面62对着的状态下，在工序S14中进行托盘隔壁63的端面的检测。该工序通过摄像机94，托盘隔壁端面判定部98和处理部71的协同动作来进行。由于该检测时的动作已经详细描述，所以为了避免重复这里不再说明。

在托盘隔壁63的端面的检测结束的场合，进行工序S15。在该工序中，基板保持机构30移动到放出位置(参照图9(c))。该工序对应于本发明中的“第3步骤”。

该工序中的基板保持机构30的移动如下进行。处理部71在工序S12、S14中分别从基板端面判定部97和托盘隔壁端面判定部98接收玻璃基板5的端面和托盘隔壁63的端面的位置和角度的信息。处理部71根据这些数据为了使基板保持机构30保持的玻璃基板5移动到正确的位置而将必要的信息发送到移送机构40和基板保持机构30。所谓该必要的信息是基板保持机构30的X、Y、Z方向的移动量，和吸附头31的旋转角度θ，前者发送到移送机构40，后者发送到基板保持机构30。接着，移送机构40基于接收的信息使基板保持机构30移动。此外，基板保持机构30基于接收的信息使吸附头31旋转。这样一来，包括吸附头31的基板保持机构30移动到正确的放出位置。

接着在工序S16中，基板保持机构30的吸附头31放出玻璃基板5，将该玻璃基板5收置于托盘61的基板收置面62。该工序对应于本发明中的“第4步骤”。

处理部71对基板保持机构30发送用于放出玻璃基板5的信号而进行该工序。接收该信号的基板保持机构30通过停止吸附头31的吸附动作而放出玻璃基板5。所放出的玻璃基板5以图5中所示的状态被收置于托盘61的基板收置面62。

通过以上的工序，一张玻璃基板5被从基板收置壳体51移放到托盘61的基板收置面62。这一系列的工序花费的时间为大约7秒。按储存于配方存储部72的、收置于基板收置壳体51的玻璃基板5的张数的量重复这些工序，同样基于托盘61的基板收置面62的配置(行/列数)的信息将玻璃基板5收置于托盘61。

这样一来，不经由人的手可以将收置于基板收置壳体51的全部玻璃基板5成品率高地移放于托盘61。根据发明人的调查可以确认，在用人的手移放玻璃基板5时，起因于破损、收置方向不对等的不合格使成品率为大约75％，但是通过用本实施例的基板移放装置1降低了这些不合格，成品率提高到大约96％。

(C.电光装置的制造方法)

接下来，就作为包括上述基板移放方法的“电光装置的制造方法”的液晶显示装置的制造方法，参照图10进行说明。图10是表示本实施例的液晶显示装置的制造顺序的工序图。在图10中，工序P11至P14是制造多个元件基板81一体地形成的复合元件基板用的工序，工序P21和工序P23是制造对向基板82用的工序。工序P31至P35是使复合元件基板和对向基板82组合以制成液晶面板80乃至液晶显示装置100的工序。工序P11至P14，与工序P21和工序P23分别独立地进行。

工序P11是在成为复合元件基板的基础的圆盘状的石英玻璃基板的表面上，叠层形成包括TFT元件、金属配线、透明电极的构成要素的工序。在一张石英玻璃基板上，形成对应于多个液晶显示装置的这些构成要素。该工序例如通过光刻(蚀)法来进行。

工序P12是重叠于在工序P11中所形成的构成要素，通过柔性印刷法形成由聚酰亚胺构成的取向膜的工序。

工序P13是用布摩擦在工序P12所形成的取向膜的，称为摩擦的工序。经过摩擦工序的取向膜具有使与之接触的液晶沿着摩擦的方向取向的功能。

工序P14是在工序P13中进行了摩擦的面上，通过丝网印刷法形成密封剂的工序。密封剂除了成为后述的液晶注入用的注入口的部分外在粘贴对向基板82的区域的外缘部上形成。经过以上工序P11至P14，制成复合元件基板。

工序P21是用基板移放装置1将收置于基板收置壳体51的状态的玻璃基板5移放排列于托盘61的基板收置面62的工序。该工序包括上述工序S1至工序S17。由于关于这些工序已经详细描述了，所以为了避免重复这里不再说明。再者，在玻璃基板5的单侧表面上，如上所述形成透明电极和取向膜，玻璃基板5使该取向膜所形成的面朝上地被移放于托盘61。

工序P23是用布摩擦在工序P21中排列于托盘61上的玻璃基板5的表面的取向膜的，称为摩擦的工序。由于玻璃基板5取向膜朝上地在托盘61上排列于同一平面上，所以可以对托盘61上的所有的玻璃基板5一次性地进行摩擦。经过摩擦工序的取向膜具有使与之接触的液晶沿着摩擦的方向取向的功能。经过以上的工序P21和P23，制成对向基板82。

工序P31是在复合元件基板上经由密封剂粘贴对向基板82，形成粘贴基板的工序。粘贴是在复合元件基板、对向基板82之间以进行了对准(对位)的状态进行接触、压固，然后干燥密封剂而进行的。

工序P32是将液晶注入由复合元件基板、对向基板82和密封剂所围成的区域的工序。该工序在真空下将液晶滴下到上述注入口，通过毛细管现象将液晶引入前述区域而进行。

工序P33是在将复合元件基板与对向基板82之间的基板间隔调整成适当状态的状态下封装注入口的工序。封装是在将紫外线固化型树脂涂布于注入口后照射紫外线、使该树脂固化而进行的。

工序P34是将液晶注入和封装结束了的粘贴基板切断成对应于一个个的液晶显示装置的形状而制造单体液晶面板80(参照图11(a))的工序。切断在复合元件基板的表面上形成划痕，在该划痕的位置上切断复合元件基板而进行的。液晶面板80包括切断复合元件基板而得到的对应于单件的大小的元件基板81，和对向基板82。

工序P35是在工序P34中所得到的液晶面板80上，安装与外部电气上连接用的FPC(柔性印制电路)84(参照图11(a))，防止异物附着于液晶面板80的表面的防尘玻璃83(参照图11(a))，液晶面板80的保护或散热用的罩85(参照图11(b))的工序。经过以上的工序，制造液晶显示装置100。

根据以上说明的这种液晶显示装置100的制造方法，则由于可以不经由人的手而将玻璃基板5从基板收置壳体51移放到托盘61，所以可以以高的成品率制造液晶显示装置100。而且，可由更少的操作员来制造液晶显示装置100。

虽然以上就本发明的实施例进行了说明，但是对上述实施例，在不脱离本发明的精神的范围内可以加以种种的变形。作为变形例，可以考虑例如以下所述方案。

(变形例1)

虽然上述实施例将玻璃基板5从基板收置壳体51向托盘61移放，但是根据本实施例，从托盘61向基板收置壳体51的移放，即与上述相反方向的移放也是可能的。在以下，用图12说明将玻璃基板5从托盘61向基板收置壳体51移放的方法。

在本变形例中，首先如图12(a)中所示，基板保持机构30移动到上述放出位置，保持收置于托盘61的基板收置面62的玻璃基板5。更详细地说，基板保持机构30中所含有的吸附头31通过吸附玻璃基板5而保持它。接着，保持玻璃基板5的基板保持机构30移动到上述保持位置的同时，旋转凹槽20移动到第4位置。此时，凹槽21移动到第2位置。然后，如图12(b)中所示，基板保持机构30的吸附头31放出玻璃基板5而放置于凹槽21。接着，放置了玻璃基板5的凹槽21移动到第1位置的同时，旋转凹槽20移动到第3位置。在该状态下，如图12(c)中所示，基板转移机构10的手部11握持玻璃基板5。该握持是利用凹槽21的隔壁211c的间隙由握持指握持玻璃基板5的端面而进行。握持了玻璃基板5的手部11沿着基板收置壳体51的支持槽52将该玻璃基板5插入基板收置壳体51内，然后通过松开玻璃基板5而将其收置于基板收置壳体51。根据以上这种工序，则用基板移放装置1可以将玻璃基板5从托盘61向基板收置壳体51移放。

虽然本变形例的玻璃基板5的移放方向与上述实施例相反，但是由于基板移放装置1的各构成要素的动作与该实施例是相同的，所以省略关于它们的详细的说明。

(变形例2)

虽然上述实施例中的移放玻璃基板5，但是移放的对象不限于此，只要是具有基板的形状者就能够移放。例如，也可以移放石英基板、硅基板等。此外，只要是基板移放装置1能够通过上述移送方法进行移送，移送的基板的大小未特别限定。

(变形例3)

虽然在上述实施例中，手部11具有握持指，构成为能够握持玻璃基板5，但是手部只要是能够“保持”玻璃基板5的机构则都可以为任意机构。例如，也可以将像吸附头那样吸附保持玻璃基板5的机构用作手部。

(变形例4)

虽然在上述实施例中，凹槽21构成为能够在从水平倾斜的第1位置，与水平的第2位置之间移动，但是也可以是代替它而固定于第2位置的构成。在该场合，基板收置壳体51最好是将玻璃基板5收置成水平状态，基板转移机构10最好是保持该水平状态的玻璃基板5，将它平行移动而放置于凹槽21。作为这样的基板转移机构10的例子，可以举出备有从上部吸附并保持水平的玻璃基板5的吸附机构的基板转移机构。

(变形例5)

虽然上述实施例是用一对玻璃基板制造透过型的液晶显示装置100，但是根据本发明的基板移放方法，也可以应用于其他，以用具有反射膜的硅基板的LCOS(单硅片液晶)为首，种种的电光装置的制造。

Claims (13)

1.一种基板移放装置，该装置用于将内壁上有支持槽的第1基板收置壳体中沿着所述支持槽所收置的基板，移放于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面，其特征在于，包括：

放置所述第1基板收置壳体的第1基板收置壳体放置部；

放置所述第2基板收置壳体的第2基板收置壳体放置部；

基板转移机构，其用于保持被收置于所述第1基板收置壳体的所述基板并将其从该第1基板收置壳体取出，并且将该基板转移到基板放置机构的基板放置部；

基板保持机构，其在保持位置上保持被放置于所述基板放置部的所述基板，并且在放出位置上放出该基板而将其配置于所述第2基板收置壳体的所述基板收置面；以及

从所述保持位置向所述放出位置移送所述基板保持机构的移送机构。

2.根据权利要求1所述的基板移放装置，其特征在于，

所述基板放置机构具有使所述基板放置部移动到包括第1位置和第2位置的多个位置的移动机构，

被放置于处在所述第1位置的所述基板放置部的所述基板，以及被收置于所述第1基板收置壳体放置部上的所述第1基板收置壳体的所述基板大致平行。

3.根据权利要求2所述的基板移放装置，其特征在于，

被放置于处在所述第2位置的所述基板放置部的所述基板，和所述第2基板收置壳体中所含有的所述基板收置面是大致水平的；

所述基板保持机构在所述保持位置上保持被放置于处在所述第2位置的所述基板放置部的所述基板。

4.根据权利要求2或3所述的基板移放装置，其特征在于，

所述移动机构包括以大致水平的轴为中心使包括所述基板放置部的部位旋转的旋转机构。

5.根据权利要求1所述的基板移放装置，其特征在于，

所述基板保持机构备有吸附保持所述基板的吸附机构。

6.根据权利要求5所述的基板移放装置，其特征在于，

所述基板保持机构包括以大致垂直的轴为中心使所述吸附机构旋转的旋转单元。

7.根据权利要求1所述的基板移放装置，其特征在于，包括：

检测被放置于所述基板放置部的所述基板的方向的第1检测机构。

8.根据权利要求1所述的基板移放装置，其特征在于，包括：

检测被放置于所述基板放置部的所述基板的破损的第2检测机构。

9.根据权利要求1所述的基板移放装置，其特征在于，包括：

检测由所述基板保持机构所保持的所述基板的端面的位置的第3检测机构；

检测所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的隔壁的位置的第4检测机构；以及

根据由所述第3检测机构所检测的所述端面的位置和由所述第4检测机构所检测的所述隔壁的位置计算所述放出位置，将该放出位置的信息向所述移送机构传递的处理部。

10.一种基板移放装置，该装置用于将被收置于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面的基板移放到内壁上有支持槽的第1基板收置壳体，其特征在于，包括：

放置所述第2基板收置壳体的第2基板收置壳体放置部；

放置所述第1基板收置壳体的第1基板收置壳体放置部；

在保持位置上保持被放置于所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的所述基板，并且在放出位置上放出该基板而将其配置于基板放置机构的基板放置部的基板保持机构；

将所述基板保持机构从所述保持位置向所述放出位置移送的移送机构；以及

保持被放置于所述基板放置部的所述基板，并且将该基板转移到所述第1基板收置壳体的基板转移机构。

11.一种基板移放方法，该方法用于将内壁上有支持槽的第1基板收置壳体中沿着所述支持槽所收置的基板，移放于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面，其特征在于，包括：

基板转移机构保持被收置于第1基板收置壳体放置部上的所述第1基板收置壳体的所述基板并将其从该第1基板收置壳体取出，并且将该基板转移到基板放置机构的基板放置部的第1步骤；

基板保持机构在保持位置上保持被放置于所述基板放置部的所述基板的第2步骤；

移送机构从所述保持位置向放出位置移送所述基板保持机构的第3步骤；以及

所述保持机构在所述放出位置上放出所述基板而将其配置于被放置在第2基板收置壳体放置部的所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的第4步骤。

12.一种基板移放方法，该方法用于将收置于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面的基板移放到内壁上有支持槽的第1基板收置壳体，其特征在于，包括：

基板保持机构在保持位置上保持被收置于第2基板收置壳体放置部上的所述第2基板收置壳体中所含有的所述基板收置面的基板的第1步骤；

移送机构将所述基板保持机构从所述保持位置向放出位置移送的第2步骤；

所述保持机构在所述放出位置上放出所述基板并将该基板放置于基板放置机构的基板放置部的第3步骤；以及

基板转移机构保持被放置于所述基板放置部的所述基板，并且将该基板转移到被放置于第1基板收置壳体放置部的所述第1基板收置壳体的第4步骤。

13.一种电光装置的制造方法，该方法用于将内壁上有支持槽的第1基板收置壳体中沿着所述支持槽所收置的基板，移放于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面而制造电光装置，其特征在于，包括：

基板转移机构保持被收置于第1基板收置壳体放置部上的所述第1基板收置壳体的所述基板并将其从该第1基板收置壳体取出，并且将该基板转移到基板放置机构的基板放置部的第1步骤；

基板保持机构在保持位置上保持被放置于所述基板放置部的所述基板的第2步骤；

移送机构从所述保持位置向放出位置移送所述基板保持机构的第3步骤；以及

所述保持机构在所述放出位置上放出所述基板而将其配置于被放置在第2基板收置壳体放置部的所述第2基板收置壳体的所述基板收置面的第4步骤。

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