CN1939731A - 用于喷墨液滴定位的方法和系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了用于喷墨液滴定位的方法和装置。第一方法包括确定衬底上墨水滴的期望沉积位置；用喷墨打印系统将墨水滴沉积到衬底上；检测衬底上沉积的墨水滴的沉积位置；将沉积位置与期望位置进行比较；确定沉积位置与期望位置之间的差异，并通过调整喷墨打印系统的参数对沉积位置与期望位置之间的差异进行补偿。本发明还提供了许多其他的方面。

Description

用于喷墨液滴定位的方法和系统
相关申请的交叉引用
本申请涉及2005年9月29日提交的题为“METHODS ANDSYSTEMS FOR INKJET DROP POSITIONING”(律师号为No.9521-09(以前为9843))的美国专利申请No.11/238,636，因此该申请的全部内容为了各种目的而通过引用整体结合于此。
本申请涉及2005年9月29日提交的题为“METHODS ANDSYSTEMS FOR CALIBRATION OF INKJET DROP POSITIONING”(律师号为No.9521-08(以前为9807))的美国专利申请No.11/238,832，因此该申请的全部内容通过引用而整体结合于此。
本申请涉及2005年12月22日提交的题为“METHODS ANDAPPARATUS FOR ALIGNING PRINT HEADS”(律师号为No.9521-03)的美国专利申请No.11/019,930，因此该申请的全部内容通过引用而整体结合于此。
本申请涉及2005年9月29日提交的题为“METHODS ANDAPPARATUS FOR INKJET PRINTING COLOR FILTERS FOR DISPLAYPANELS”(律师号为No.10465/L)的美国临时专利申请No.60/721,741，因此该申请的全部内容通过引用而整体结合于此。
本申请涉及2005年5月4日提交的题为“DROPLETVISUALIZATION OF INKJETTING”的美国专利申请No.11/123,502，因此该申请的全部内容通过引用而整体结合于此。
本申请涉及2005年2月18日提交的题为“INKJET DATAGENERATOR”(律师号为No.9521-05)的美国专利申请No.11/061,148，因此该申请的全部内容通过引用而整体结合于此。
本申请涉及2005年2月18日提交的题为“METHODS ANDAPPARATUS FOR PRECISION CONTROL OF PRINT HEADASSEMBLIES”(律师号为No.9769)的美国专利申请No.11/061,120，因此该申请的全部内容通过引用而整体结合于此。
技术领域
本发明一般地涉及在形成平板显示器期间使用的喷墨打印系统，更具体地说，本发明涉及用于喷墨液滴定位的装置和方法。
背景技术
平板显示器产业已经在努力使用喷墨打印来制造显示装置，特别是用于平板显示器的彩色滤波器。由于在打印图样期间向其中沉积墨水的象素井(pixel well)可以特别小，所以发生打印错误的可能性很大。所以，经常需要对衬底进行检查以确保墨水得到了正确的沉积。因此，期望有有效的方法和装置，用于对喷墨打印的衬底进行检查并对打印参数进行调整。
发明内容
本发明在某些方面提供了一种喷墨液滴定位的方法。该方法包括：对衬底进行成像；根据所述被成像的衬底来检测喷墨打印系统的打印参数变化；根据所述被成像的衬底和检测到的打印参数变化，计算校正因子；根据所述校正因子，对所述喷墨打印系统的至少一个打印参数进行调整；以及在对所述至少一个打印参数进行调整之后，用所述喷墨打印系统将墨水滴沉积到期望沉积位置。
本发明在某些方面提供了另一种喷墨液滴定位的方法。该方法包括：检测衬底的变化；用喷墨打印系统将墨水滴沉积到所述衬底上；检测所述衬底上所述被沉积的墨水滴相对于期望沉积位置的实际沉积位置；根据所述实际沉积位置和所述检测到的所述衬底变化，计算校正因子；根据所述校正因子，对所述喷墨打印系统的至少一个打印参数进行调整；以及在对所述至少一个打印参数进行调整之后，将墨水滴沉积到沉积位置。
本发明在某些方面提供了一种用于喷墨液滴定位的系统。该系统包括：至少一个喷墨打印喷嘴，适于将墨水沉积到衬底上；第一成像系统，适于对所述衬底上由所述喷墨打印喷嘴沉积的所述墨水的位置进行检测；第二成像系统，适于对喷墨打印系统的打印参数变化进行检测；以及控制器，适于接收从所述第一成像系统和所述第二成像系统发送的信号，将所述衬底上沉积的所述墨水的位置与期望沉积位置进行比较，确定所述衬底上沉积的所述墨水的位置与所述期望沉积位置之间的差异，并通过对所述喷墨打印系统的至少一个打印参数进行调整来对沉积到所述衬底上的所述墨水的位置与所述期望沉积位置之间的差异进行补偿。
本发明在某些方面提供了一种用于喷墨打印的系统。该系统包括适于将墨水沉积到衬底上的至少一个喷墨打印头。该系统还包括控制器，控制器适于确定所述墨水在所述衬底上的期望沉积位置，对使用所述至少一个喷墨打印头在所述衬底上沉积所述墨水进行控制，检测所述被沉积的墨水在所述衬底上的沉积位置，将所述沉积位置与所述期望位置进行比较，确定所述沉积位置与所述期望位置之间的差异，并通过调整喷墨打印系统的参数对所述沉积位置与所述期望位置之间的差异进行补偿。
根据下列具体实施方式、权利要求和附图，可以更加清楚本发明的其他特征和方面。
附图说明
图1A是根据本发明某些方面的喷墨打印系统的正视图。
图1B是根据本发明某些方面的喷墨打印系统的侧视图。
图2是用于本发明某些方面的喷墨打印头的放大示意图。
图3是根据本发明某些方面的校准衬底的俯视图。
图4是图示了根据本发明某些实施例的喷墨液滴定位的第一示例性方法的流程图。
图5是图示了根据本发明某些实施例的喷墨液滴定位的第二示例性方法的流程图。
图6是图示了根据本发明某些实施例的喷墨液滴定位的第三示例性方法的流程图。
具体实施方式
本发明提供了用于在喷墨打印系统中的衬底上精确地定位墨水滴的系统和方法。根据本发明，可以在喷墨打印系统中提供检查系统，该系统能够对衬底上沉积的墨水的位置误差进行检测和/或校正。衬底上沉积的墨水的位置误差可能由下列因素引起：喷墨喷嘴失调、喷墨喷嘴故障和/或堵塞、墨水滴大小和/或沉积速度的变化、衬底中的缺陷(例如皱纹、翘曲、高地、谷底等)、喷墨打印系统中的机械缺陷等。本发明的检查系统可以包括成像和控制系统，所述成像和控制系统能够对测试打印操作期间沉积到衬底上的墨水滴的轨迹和/或实际降落位置进行测量，对实际降落位置与期望降落位置进行比较，并采用这些信息来确定预期位置误差。在某些实施例中，检查系统可以向喷墨打印系统的控制器提供信息，以使控制器能够通过改变某些特性而对这些位置误差进行补偿，所述特性例如墨水滴大小、墨水滴沉积速度、墨水滴沉积时机、喷墨喷嘴/打印头的位移和/或对准、喷墨打印载物台的运动和/或其他性能规格。
在同一实施例或其他实施例中可以包括校准步骤，其中本发明的喷墨打印系统可以将墨水沉积到衬底上，并且墨水滴的实际降落位置可以与期望降落位置进行比较以得到任何位置误差的图。然后可以用根据位置误差图得到的信息在打印操作期间进行实时校正，和/或对喷墨打印系统的参数进行调整以便在打印操作之前对位置误差进行补偿。
在一种具体实施例中，可以提供一种使墨水精确降落到衬底上的方法。这种示例性方法可以包括对用于一个或多个喷墨打印头的喷射脉冲的喷射时机进行控制。对喷射脉冲的喷射时机进行控制可以控制墨水滴的沉积位置，并可以单独地或者结合其他调整措施来对喷墨打印系统中的误差(例如喷嘴堵塞、喷嘴失调、墨水滴大小变化、墨水滴速度变化、墨水滴质量变化等)进行校正。对喷射脉冲的控制可以通过对产生喷射脉冲所用的时钟的定时进行改变来实现，所述时钟的定时可以使喷射脉冲的产生加速或者延迟。对喷射脉冲进行的调整可以造成喷墨打印头使墨水滴加速沉积或延迟沉积，这样可以使墨水沉积到衬底上的特定位置处。
图1A和图1B分别图示了本发明的喷墨打印系统一种实施例的正视图和侧视图，它们大体上由标号100表示。本发明一种示例性实施例中的喷墨打印系统100可以包括打印桥(print bridge)102。打印桥102可以位于载物台104上方和/或耦合到载物台104。载物台104可以支撑衬底106。
打印头108、110、112可以支撑在打印桥102上。打印桥还可以支撑成像系统114。一个或多个衬底成像系统116可以支撑在载物台104下方其他地方(例如连接到载物台104下方，和/或打印桥102或其他打印桥上)。测距仪118(下面会说明)也支撑在打印桥102上。
用于将光发送到目视装置122的光源120可以支撑在打印头108-112和/或相邻的载物台104下方。成像系统114、衬底成像系统116、测距仪118、光源120和/或目视装置122可以(例如逻辑上和/或以电的方式)耦合到一个或多个成像系统控制器124。与之类似，打印头108-112和/或打印桥102可以(例如逻辑上和/或以电的方式)耦合到系统控制器126。
在图1A和图1B的示例性实施例中，打印桥102可以以便于喷墨打印的方式支撑在载物台104上方。打印桥102和/或载物台104可以沿正负X和正负Y方向各自独立地运动，如图1A中X方向箭头和Y方向箭头以及图1B中的Y方向箭头所示。在同一实施例或其他实施例中，打印桥102和载物台104可以是可旋转的。打印桥102可以对任意数目的打印头108-112和/或传感器(例如成像系统114、测距仪118)进行支撑并使之移动。衬底106可以设在可动载物台104顶上，在某些实施例中也可以耦合到可动载物台104。
尽管图1A和图1B中打印桥102上示出了三个打印头108-112，但是应当明白，可以将任意数目的打印头安装到打印桥102上和/或与打印桥102结合使用(例如数目为1个、2个、4个、5个、6个、7个等的打印头)。打印头108-112各自都可以分配单一色彩的墨水，在某些实施例中，也可以是能够分配多种色彩的墨水。喷墨打印头108-112可以是在水平方向、垂直方向和/或旋转方向上可运动和/或可对准的，以便精确地安置喷墨液滴。打印桥102也可以是可运动和/或可转动的，以便为了精确的喷墨打印而对打印头108-112进行定位。在操作中，喷墨打印头108-112可以以液滴形式(例如参见图2和图3)分配墨水(例如从喷嘴)。
成像系统114和衬底成像系统116可以定向为朝向衬底106，并可以捕捉衬底116的静止图像和/或运动图像。前述接合于此的美国专利申请No.11/019,930中说明了用于喷墨打印系统中的示例性成像系统。与之类似，成像系统114和衬底成像系统116可以包括一个或多个高分辨率数字式线扫描相机、基于CCD的相机和/或其他适当的相机。也可以采用其他数目的成像系统。
在一种示例性实施例中，可以采用与打印头所用的位置和方式相类似的位置和方式将成像系统114耦合到打印桥102。即，成像系统114可以进行与打印头108-112类似的转动和运动，并可以在打印头108-112附近运动或可以与它们分开。成像系统114可以包括单一的相机，在某些实施例中也可以包括成簇布置的多个相机(例如2个、3个等)。成像系统114可以位于打印头108-112的任意侧，也可以以填隙方式布置。可以将成像系统114倾斜以对完整的打印行程进行捕捉(例如捕捉衬底106上墨水滴的图像)，也可以将其以任何方向倾斜来捕捉衬底106上不同位置的图像。
在某些实施例中，成像系统114可以对衬底106的图像和/或从打印头108-112释放的墨水滴的图像进行捕捉。成像系统114优选为能够对这样的图像进行捕捉，所述图像的质量足以辨别直径约2μm到约100μm的墨水滴。因此，成像系统114可以包括望远变焦镜头，并可以具有高分辨率(例如至少约1024×768象素)。成像系统114还可以装有自动的变焦和/或聚焦部件。
衬底成像系统116可以具有与成像系统114类似的性能规格和特性。因此，衬底成像系统116可以捕捉衬底106的静止图像和/或运动图像。尽管在图1B中图示为位于衬底106下方，但是可以理解，衬底成像系统116可以位于能够提供衬底106图像的任意位置处。衬底成像系统116可以检测(例如通过成像)衬底106的缺陷和/或衬底106表面上的碎片。在某些实施例中，衬底成像系统116可以位于打印桥102上、另一个打印桥(未示出)上、喷墨打印系统100中另外的位置处、或者喷墨打印系统100之外的位置处。
测距仪可以检测从喷墨打印头108-112到衬底106的距离(例如间隔)。测距仪118还可以确定衬底106的高度(例如厚度)。测距仪118可以是能够履行这些功能以及其他相关功能的任何适当传感器。前述结合于此的律师号为No.10465的文档中说明了喷墨打印系统中所用的示例性传感器。在此示例中，可以采用激光传感器。激光传感器可以以高采样率和高精度对衬底106和/或载物台104的厚度和/或高度进行测量。一种可以买到的激光传感器示例是日本大阪的Keyence Corp.制造的LC-series激光位移计。可以买到的另一种传感器示例是新加坡Omron Electronics PteLtd制造的Omron ZS-Series。在可替换实施例中，测距仪118可以是另外的传感器，例如超声距离传感器。
光源120可以将光束发送到目视装置122。在一种示例性实施例中，光源120可以发送纳秒脉冲激光以照明由喷墨打印头108-112连续产生的墨水滴。由于激光具有更快、更精确的开关控制和受限的方向性，所以可以被选为优选的光源。光源120快速精确的开关控制在这些应用中很重要，激光束受限的方向性使所分配的墨水的图像更加清晰。可能需要较高功率的脉冲激光器来确保在短照明脉冲期间获得足够的图像强度。在某些实施例中，激光的公路可以在约0.001mW与20mW之间。对于视场在约0.1mm与5mm之间的成像系统114要捕捉的以约8m/s速度行进的墨水滴，光源120需要以小于约200毫秒的时间间隔进行脉动。也可以使用其他的激光功率、脉冲宽度和/或占空比、和/或波长。
在一种示例性实施例中，可以在一个图像帧中拍摄墨水滴的两个图像。可以以受控的间隔对光源120进行激发，以使墨水滴尚未行进到视场之外。两个图像之间的距离可以用于测量墨水滴行进的距离。这些信息可以用于计算墨水滴的速度。
在一种实施例中，视觉装置122可以是电荷耦合器件(CCD)相机。由于从喷墨打印头108-112分配的墨水滴可能相当小(例如直径约2μm到约100μm)，所以可能需要望远变焦镜头。目视装置122可以优选地具有高分辨率(例如至少1024×768象素)以提高液滴检测的分辨率。目视装置122还可以装有自动的变焦和/或聚焦装置(未示出)。也可以使用其他的相机类型和/或分辨率。在某些实施例中，可以调整目视装置122的位置，包括高度和安装角，以与所分配墨水滴的轨迹对准。目视装置122的视场可以例如在约0.1mm到约5mm之间，目视装置122的景深可以例如在约0.05mm到约5mm之间，以便拍摄从喷墨打印头108-112分配的墨水滴的、大小可能是直径约2μm到约100μm的图像。也可以采用其他的视场和/或景深。前述结合的美国专利申请No.11/123,502中说明了用于本发明的喷墨打印系统中的示例性光源120和目视装置122。光源120和目视装置122可以用于测量墨水滴的大小、墨水滴的速度、和/或墨水滴的其他属性。
成像系统控制器124可以对从成像系统114、衬底成像系统116、测距仪118、光源120和/或目视装置122接收到的图像信息进行处理。成像系统控制器124还可以向这些同样的装置发送命令和控制信息。成像系统控制124可以是任何合适的计算机或计算机系统，包括但不限于大型计算机、微型计算机、网络计算机、个人计算机和/或任何适当的处理装置、处理部件或处理系统。同样，成像系统控制器124可以包括专用硬件电路或硬件与软件的任何适当组合。
与之类似，打印桥102、载物台104和/或喷墨打印头108-112可以耦合到系统控制器126。系统控制器126可以适用于对喷墨打印操作中打印桥102、载物台104和/或喷墨打印头108-112的运动进行控制。系统控制器126还可以控制用于喷墨打印头108-112的喷射脉冲信号。在至少一种实施例中，成像系统控制器124和系统控制器126可以包括单个的控制器或多个控制器。
图2图示了本发明所用喷墨打印头108的放大示意图。喷墨打印头108可以耦合有任意数目的喷嘴202-220用于喷射墨水。墨水滴可以从喷嘴202-220沉积到衬底106上。
图1A、图1B和图2的示例性打印头108可以耦合有任意数目的喷嘴202-220。在一种示例性实施例中，打印头108可以具有一行或多行喷嘴202-220，每行具有约128个喷嘴。为了简单起见，图2中示出了10个喷嘴202-220。在至少一种实施例中，喷嘴202-220是垂直对准的，以便将墨水滴(图2中由虚线表示)喷射到衬底106上的期望沉积位置222，期望沉积位置222可能与实际沉积位置224不同。
由于各种原因，喷嘴202-220中可能有一个或多个失调。例如，在清洁操作期间，喷嘴可能被其他元件推离适当位置，或者，喷嘴也可能由于制造缺陷而歪斜。与之类似，喷嘴202-220部分堵塞可能造成墨水滴的分配如同喷嘴202-220失调一样。图2将喷嘴212和218表示为失调。喷嘴212和218的失调可能造成墨水滴的位置不当。例如，来自喷嘴218的墨水滴可能试图将墨水滴喷射到期望沉积位置222，但该位置与实际沉积位置224不同。
在一种示例性实施例中，可能需要使墨水滴在所有方向上以+/-10微米或更小的精度水平沉积到期望沉积位置222。另外，最好可以对不同几何形状的小图样进行精确和有效的打印，因此就必须能够沉积不同大小的墨水滴。不同大小的墨水滴可能需要不同的墨水滴速度。以不同速度来沉积不同大小的墨水滴可能造成墨水滴的沉积不准确(例如沉积到不同于期望沉积位置222的实际沉积位置224)，与失调的喷嘴212和218类似。
图3图示了用于本发明的校准衬底300的俯视图。校准衬底300可以具有任意数目的校准点302-312。
校准衬底300可以是喷墨打印系统100在校准步骤中所用的衬底。在一种示例性实施例中，校准衬底300可以是这样的衬底，它没有缺陷或具有已知的缺陷，并标有校准点302-312。校准衬底300可以在校准处理中重复使用。在可替换实施例中，校准衬底可以是新衬底或用过的衬底，可以在校准打印步骤之后对该衬底进行分析以确定正确的墨水滴布置。
在一种示例性实施例中，校准点302-312可以是校准衬底300上指示期望沉积位置的标记。在一种可替换实施例中，校准点可以是校准衬底300表面上预先确定的象素井。在另一种实施例中，校准点302-312可以在进行测试打印之后确定。即，可以不预先确定它们，而是根据测试打印中使用了喷墨打印头的哪些喷嘴来确定。
校准点302-312可以以任何适当的图样来布置。在图3的示例性实施例中，校准点302-312可以以间距彼此相等的网格形式布置。在可替换实施例中，校准点302-312可以随机布置。在其他的实施例中，校准点302-312可以以小群(例如两个或更多校准点彼此距离很近)的形式布置。可以使用任意适当数目的校准点。
图4图示了根据本发明对喷墨液滴进行定位的第一示例性方法400。该示例性方法开始于步骤402。
在步骤404，确定墨水滴的期望沉积位置。期望沉积位置可以是校准衬底300上的校准点302-312。在此实施例中，校准点302-312可以是喷墨打印之前已知的。
在一种可替换实施例中，期望沉积位置可以是衬底106上的期望沉积位置222。期望沉积位置可以根据任何适当判据来确定，例如根据衬底106的象素井(未示出)。在此实施例中，可以对衬底106进行部分打印(例如打印到实际沉积位置224)。
在步骤406，可以在衬底上沉积一个或多个墨水滴。例如，一个或多个墨水滴可以通过喷墨打印头108(和/或打印头110-112)沉积到衬底106上。在一种可替换实施例中，一个或多个喷墨打印头108-112可以将一个或多个墨水滴沉积到校准衬底300上。
在步骤408，可以检测衬底上沉积的一个或多个墨水滴的沉积位置。在一种示例性实施例中，墨水滴在衬底106上的实际沉积位置224可以由成像系统114来检测。成像系统114可以捕捉衬底106的图像，包括期望沉积位置222和实际沉积位置224。另外或可替换地，成像系统114可以捕捉与期望沉积位置222和实际沉积位置224有关的位置信息(例如二维或三维空间中的位置)。在同一实施例或其他实施例中，衬底成像系统116可以捕捉衬底106的图像，包括期望沉积位置222和实际沉积位置224。成像系统114和/或衬底成像系统116收集的信息(例如捕捉的图像和/或位置信息)可以传递到成像系统控制器124和/或系统控制器126。
在另一种实施例中，可以从喷墨打印系统100拆下衬底106，也可以以其他方式对衬底106进行成像或诊察以检测一个或多个墨水滴的沉积位置。
在步骤410，可以将所沉积的墨水滴的沉积位置与期望位置进行比较。在一种示例性实施例中，成像系统控制器124和/或系统控制器126可以把由成像系统114和/或衬底成像系统116收集的位置信息和/或图像与已知的跟期望沉积位置222的有关位置信息结合使用，来对期望沉积位置222和实际沉积位置224进行比较。
在步骤412，可以确定沉积位置与期望位置之间的差异。在一种示例性实施例中，在步骤410之后，成像系统控制器124和/或系统控制器126可以采用算法来确定期望沉积位置222与实际沉积位置224之间的差异。
确定期望沉积位置222与实际沉积位置224之间差异的步骤可以包括获得一个或多个期望沉积位置222的图，覆盖一个或多个相应的实际沉积位置224的图，并将这些结果记录到文件中(例如打印到二维或三维图中，或创建这样的图)。在另一种实施例中，确定期望沉积位置222与实际沉积位置224之间差异的步骤可以包括创建或使用对照表，所述对照表是喷墨打印头108-112的喷射时机的校正因子或校正偏移(例如用于喷嘴202-220的脉冲宽度和/或幅值)。也可以采用确定期望沉积位置与实际沉积位置之间差异的其他方法。
在步骤414，可以通过调整喷墨打印系统的一个或多个参数，来对沉积位置与期望位置之间的差异进行补偿。在一种示例性实施例中，被调整的参数可以包括墨水滴质量、墨水滴的沉积速度、墨水滴的沉积时机、喷墨喷嘴/打印头的位移和/或对准、喷墨打印系统载物台的运动等。
例如，可以根据来自对照表的校正因子来调整参数，以改变所沉积的墨水滴的轨迹。在另一种实施例中，可以使用期望沉积位置222和实际沉积位置224来计算喷墨打印系统100中一个或多个参数的改变。
例如，采用实际沉积位置224的坐标，则可以使用下面的公式来计算新的行进时间、墨水滴初始速度或喷射角度：
x＝v0tcosθ
z = v 0 t sin θ - gt 2 2
其中：
X方向和Z方向示于图2；
v0是墨水滴的初始速度；
t为墨水滴的行进时间；
θ是墨水滴的轨迹相对于X轴的初始角度；
g为重力加速度。
根据实际降落位置224可以知道轨迹的X分量、由测距仪118确定Z分量、用光源120和目视装置122确定初始速度、以及用期望沉积位置222和实际沉积位置224计算出初始角度，则可以计算出行进时间。本领域技术人员可以注意到并认识到，这些只是简化的公式。具体地说，这些公式忽略了空气阻力，并将墨水滴按照二维平面(例如图2所示的X-Z平面)内运动的质点来处理。成像系统控制器124和/或系统控制器126可以采用这些公式或其他适当的公式来计算要改变的喷墨打印系统参数。
在同一实施例或其他实施例中，可以不经测量就使用已知的或估计的打印参数值。可以使用已知的和/或计算出的喷墨打印系统参数的任意组合来对同一参数或其他参数的调整进行计算。例如，对喷嘴202-220的脉冲宽度和/或幅值的调整可以不依赖于衬底106的厚度，或者与该厚度无关。
墨水滴的质量和速度可以是喷嘴202-220的喷射脉冲宽度和幅值的函数。前述结合于此的美国专利申请No.11/061,148和前述结合于此的美国专利申请No.11/061,120中说明了用于对打印头喷嘴的脉冲宽度和幅值进行调整的装置和方法的细节。根据从成像系统控制器124和/或系统控制器126接收的信息(例如来自对照表的校正因子)，可以对喷嘴202-220的喷射脉冲宽度和/或幅值进行调整，从而对打印系统所沉积的墨水滴的质量和/或速度进行调整。然后可以将调整过质量和/或速度的墨水滴沉积到衬底106上。
与之类似，可以根据来自成像系统控制器124(和/或系统控制器126)的信息来调整喷射脉冲的宽度和/或幅值以改变墨水滴沉积的时机。在一种示例性实施例中，如果喷嘴218如图2所示布置，衬底106沿+X方向行进，则可以将喷嘴218定时为较早喷射(根据从成像系统控制器124和/或系统控制器126接收的信息)，以使喷嘴218输出的墨水滴降落到期望沉积位置222处。
可以对喷墨打印头108-112和/或喷嘴202-220的角度或位置进行调整来补偿实际沉积位置224与腔沉积位置222之间的不一致。对喷墨打印头108-112和/或喷嘴202-220的角度或位置的调整可以用来调整墨水滴的喷射轨迹。在一种示例性实施例中，成像系统控制器124和/或系统控制器126可以向喷墨打印头108-112发送控制信号。控制信号可以指示运动量和/或旋转量，以使喷墨打印头108-112在期望沉积位置222处沉积墨水滴。在同一实施例或其他实施例中，可以为了相同目的而向喷嘴202-220发送控制信号。在另一种示例性实施例中，成像系统控制器124和/或系统控制器126可以向喷墨打印头108-112、打印桥102、载物台104或喷墨打印系统100的任何其他元件传递控制信号，指示运动速度和/或方向中的运动量和/或调整量的程度。
在操作中，如果没有检测到实际沉积位置224，则可以通过成像系统控制器124和/或系统控制器126产生警告状态。警告状态可以指示喷嘴202-220堵塞或其他类似的状态。警告状态可以使喷墨打印挂起(例如通过来自系统控制器126的信号)。在同一实施例或其他实施例中，警告状态可以造成将未检测到实际沉积位置224的指示传递到外部控制站(未示出)。
这种方法在步骤416结束。
转向图5，其中图示了根据本发明的喷墨打印中第二示例性方法500的流程图。这种示例性方法开始于步骤502。
在步骤504，对衬底106进行成像。在一种示例性实施例中，衬底成像系统116可以捕捉衬底106的图像和/或位置信息。衬底106的图像和/或位置信息可以转换为衬底的二维或三维图，或者也可以以其他方式处理(例如转换为高低点的图表以便对照表中使用)。对衬底106进行成像的步骤可以包括检测衬底106中的缺陷(例如皱纹、翘曲、高地、谷底等)。在一种可替换实施例中，衬底106可以在喷墨打印系统100外部进行成像，和/或可以具有已知的变化和/或缺陷，这些已知的变化和/或缺陷可以传递到成像系统控制器124和/或系统控制器126。
在步骤506，可以检测喷墨打印系统100中打印参数(例如喷嘴失调、墨水滴速度等)的变化。在一种示例性实施例中，对打印参数中变化的检测可以包括校准步骤。在校准步骤期间，可以如上所述进行测试打印。测试打印所得的结果可以用于确定和/或记录打印参数的变化。在一种可替换实施例中，可以用外部的系统和/或方法来检测打印参数的变化。
在步骤508，可以根据被成像的衬底106和任何检测到的打印参数变化来计算校正因子。成像系统控制器124和/或系统控制器126可以用步骤504中获得的衬底106的信息和步骤506中确定的打印参数变化来计算对打印参数的改变，这种改变是使墨水滴降落在期望沉积位置222(例如使用对照表、位置算法、构造校正图等)所需的。
校正因子可以对步骤506中未检测到变化的打印参数进行更改。例如，如果在步骤506中确定喷嘴218失调(如图2所示)，则校正因子可以包括用于增大从喷嘴218喷射墨水滴的速度的因子，以使墨水滴降落在期望沉积位置222。这种校正可以在对喷嘴218的调整之外进行，也可以取代所述调整。也可以使用任何其他适当的校正因子。可以计算并使用多个校正因子来调整墨水滴的降落位置。
在步骤510，可以根据步骤508中计算得到的校正因子来调整喷墨打印系统100的至少一个打印参数。对打印参数的调整已在上文中结合方法400的步骤414进行了讨论。
在步骤510中对至少一个打印参数进行调整之后，在步骤512可以用喷墨打印系统100将墨水滴沉积到期望沉积位置。在一种示例性实施例中，喷墨打印头108的失调喷嘴218可以将墨水滴沉积(例如喷射)到衬底106上。作为对打印参数调整(例如增大初始墨水滴速度)的结果，并根据步骤508中确定的校正因子，墨滴可以沉积到期望沉积位置222。
这种方法在步骤514结束。
图6图示了根据本发明的某些实施例，对喷墨液滴进行定位的一种示例性方法的流程图。这种方法开始于步骤602。
在步骤604，可以检测衬底的变化。用于检测衬底变化的方法和装置已经在上文中结合方法500的步骤504(对衬底进行成像)进行了讨论。
在步骤606，用喷墨打印系统100将墨水沉积到衬底上。在一种示例性实施例中，可以从喷墨打印头108的喷嘴218将墨水滴沉积到衬底106上。
在步骤608，可以检测所沉积的墨水滴相对于期望沉积位置的实际沉积位置。用于对期望沉积位置和实际沉积位置进行检测的示例性方法和装置已经在上文中结合步骤404(确定期望沉积位置)、步骤504(对衬底进行成像)和步骤408(检测实际沉积位置)进行了讨论。
在步骤610，可以根据实际沉积位置和期望沉积位置计算校正因子。用于计算校正因子的一种方法示例已经在上文中结合方法500的步骤508(计算校正因子)进行了说明。
在步骤612，根据步骤610中确定的校正因子来调整喷墨打印系统的至少一个打印参数。用于对打印参数进行调整的示例性方法已经在方法400的步骤414(调整打印参数)中进行了讨论。
在步骤612中对至少一个打印参数进行调整之后，在步骤614将墨水滴沉积到期望沉积位置。在一种示例性实施例中，喷墨打印头108的失调喷嘴218可以将墨水滴沉积(例如喷射)到衬底106上。作为对打印参数进行调整(例如增大初始墨水滴速度)的结果，并根据步骤610中确定的校正因子，墨水滴可以沉积到期望沉积位置222。
这种方法在步骤616结束。
前述说明公开了本发明的仅用于示例的实施例；本领域普通技术人员易于想到对上述公开的方法和装置的修改，它们落在本发明的范围之内。例如，尽管上述示例方法分别涉及在方法500和方法600的步骤512和步骤614中对墨水滴的初始速度进行调整，但是本领域普通技术人员可以明白，这些方法也可以应用于调整其他打印参数(例如墨水滴质量、喷墨打印头108-112的位置、载物台104的速度等)。而且，本发明还可以应用到间隔器成形(spacer formation)、偏光器涂覆及纳米级微粒电路成形。
因此，尽管已经结合其具体实施例公开了本发明，但是应当理解，其他实施例可以落在由权利要求限定的本发明的精神和范围之内。

Claims (20)

1.一种喷墨打印方法，包括：
对衬底进行成像；
检测喷墨打印系统的打印参数变化；
根据所述被成像的衬底和检测到的打印参数变化，计算校正因子；
根据所述校正因子，对所述喷墨打印系统的至少一个打印参数进行调整；以及
在对所述至少一个打印参数进行调整之后，用所述喷墨打印系统将墨水滴沉积到期望沉积位置。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述衬底进行成像包括构建所述衬底的多维图。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述衬底的成像发生在所述衬底进入所述喷墨打印系统之前。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述喷墨打印系统的至少一个参数进行调整包括对所述喷墨打印系统分配的墨水滴的速度进行调整。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述喷墨打印系统的至少一个参数进行调整包括对所述喷墨打印系统分配的墨水滴的质量进行调整。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述喷墨打印系统的至少一个参数进行调整包括对所述喷墨打印系统分配的墨水滴的轨迹进行调整。
7.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述喷墨打印系统的至少一个参数进行调整包括对所述墨水滴的喷射脉冲时机进行调整。
8.根据权利要求1所述的方法，其中，根据所述被成像的衬底和检测到的打印参数变化计算校正因子和对所述喷墨打印系统的至少一个打印参数进行调整包括不依赖于所述衬底的厚度而对喷墨打印头的时机进行调整。
9.一种喷墨打印方法，包括：
检测衬底的变化；
用喷墨打印系统将墨水滴沉积到所述衬底上；
检测所述衬底上所述被沉积的墨水滴相对于期望沉积位置的实际沉积位置；
根据所述实际沉积位置和所述检测到的所述衬底变化，计算校正因子；
根据所述校正因子，对所述喷墨打印系统的至少一个打印参数进行调整；以及
在对所述至少一个打印参数进行调整之后，将墨水滴沉积到沉积位置。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，检测所述衬底的变化包括构建所述衬底的多维图。
11.根据权利要求9所述的方法，其中，所述衬底的变化是在所述衬底进入所述喷墨打印系统之前检测的。
12.根据权利要求9所述的方法，其中，对所述喷墨打印系统的至少一个参数进行调整包括对所述喷墨打印系统分配的墨水滴的速度进行调整。
13.根据权利要求9所述的方法，其中，对所述喷墨打印系统的至少一个参数进行调整包括对所述喷墨打印系统分配的墨水滴的质量进行调整。
14.根据权利要求9所述的方法，其中，对所述喷墨打印系统的至少一个参数进行调整包括对所述喷墨打印系统分配的墨水滴的轨迹进行调整。
15.根据权利要求9所述的方法，其中，对所述喷墨打印系统的至少一个参数进行调整包括对所述喷墨打印系统分配的墨水滴的喷射脉冲时机进行调整。
16.根据权利要求9所述的方法，其中，根据所述被成像的衬底和检测到的打印参数变化计算校正因子和对所述喷墨打印系统的至少一个打印参数进行调整包括不依赖于所述衬底的厚度而对喷墨打印头的时机进行调整。
17.一种用于喷墨打印的系统，包括：
至少一个喷墨打印喷嘴，适于将墨水沉积到衬底上；
第一成像系统，适于对所述衬底上由所述喷墨打印喷嘴沉积的所述墨水的位置进行检测；
第二成像系统，适于对喷墨打印系统的打印参数变化进行检测；以及
控制器，适于接收从所述第一成像系统和所述第二成像系统发送的信号，将所述衬底上沉积的所述墨水的位置与期望沉积位置进行比较，确定所述衬底上沉积的所述墨水的位置与所述期望沉积位置之间的差异，并通过对所述喷墨打印系统的至少一个打印参数进行调整来对沉积到所述衬底上的所述墨水的位置与所述期望沉积位置之间的差异进行补偿。
18.根据权利要求17所述的系统，还包括适于对所述至少一个喷墨打印喷嘴进行控制的驱动器。
19.根据权利要求17所述的系统，其中，所述第一成像系统和所述第二成像系统是相同的成像系统。
20.一种用于喷墨打印的系统，包括：
至少一个喷墨打印头，适于将墨水沉积到衬底上；以及
控制器，适于确定所述墨水在所述衬底上的期望沉积位置，使用所述至少一个喷墨打印头对在所述衬底上沉积所述墨水进行控制，检测所述被沉积的墨水在所述衬底上的沉积位置，将所述沉积位置与所述期望位置进行比较，确定所述沉积位置与所述期望位置之间的差异，并通过调整喷墨打印系统的参数对所述沉积位置与所述期望位置之间的差异进行补偿。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102815092A (zh) * 2012-08-29 2012-12-12 常州依丽雅斯纺织品有限公司 高效数码印花机
CN105137630A (zh) * 2015-10-15 2015-12-09 京东方科技集团股份有限公司 一种封框胶涂布装置和封框胶涂布方法
CN105493487A (zh) * 2013-08-09 2016-04-13 宝洁公司 用于在纤维网印刷中减小图像失真的系统和方法
CN108568382A (zh) * 2017-03-07 2018-09-25 东京毅力科创株式会社 液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
CN108568383A (zh) * 2017-03-07 2018-09-25 东京毅力科创株式会社 液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
CN108646470A (zh) * 2018-05-04 2018-10-12 京东方科技集团股份有限公司 隔垫物制作方法及系统、显示面板和显示装置
CN109823050A (zh) * 2018-12-29 2019-05-31 华中科技大学 面向喷墨打印的液滴喷射多阶段定位误差补偿方法及设备
CN115103776A (zh) * 2020-02-18 2022-09-23 株式会社理光 测试装置

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI318685B (en) * 2005-07-28 2009-12-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for concurrent inkjet printing and defect inspection
US20070070109A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 White John M Methods and systems for calibration of inkjet drop positioning
US20070076040A1 (en) * 2005-09-29 2007-04-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet nozzle calibration
WO2008078386A1 (ja) * 2006-12-26 2008-07-03 Mastermind Co., Ltd. インクジェットプリンタを用いた衣類印刷方法および衣類印刷システム
US8057005B2 (en) * 2007-10-15 2011-11-15 Xerox Corporation Drop mass calibration method based on drop positional feedback
KR101339987B1 (ko) * 2007-12-24 2013-12-10 삼성전자주식회사 액적 질량편차 측정장치와 이의 액적 질량편차 측정방법과이를 이용하는 패턴형성 시스템 및 이를 이용하는 패턴형성시스템의 제어방법
KR20100131263A (ko) * 2009-06-05 2010-12-15 삼성전자주식회사 잉크젯 프린팅 방법
JP5675072B2 (ja) * 2009-08-20 2015-02-25 キヤノン株式会社 情報処理装置、情報処理方法及びプログラム
JP5393562B2 (ja) * 2010-03-29 2014-01-22 富士フイルム株式会社 インクジェット描画装置及びその設計方法並びに描画品質改善方法
NL2013237B1 (en) 2014-07-22 2016-08-16 Roth & Rau B V Inkjet printing system and method for processing wafers.
US10449051B2 (en) 2015-04-29 2019-10-22 Institute for Musculoskeletal Science and Education, Ltd. Implant with curved bone contacting elements
EP3760166A1 (en) 2015-04-29 2021-01-06 Institute For Musculoskeletal Science And Education, Ltd. Coiled implants and systems
NL2016137B1 (en) * 2016-01-21 2017-07-25 Meyer Burger (Netherlands) B V Inkjet printing system and method for processing substrates.
WO2018080468A1 (en) 2016-10-26 2018-05-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Decel correction in a printer
TWI626171B (zh) * 2016-11-21 2018-06-11 Inkjet alignment system and inkjet device with automatic alignment function
EP3573833B1 (en) 2017-01-27 2022-11-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Controlling printing fluid drop ejection
US20180229497A1 (en) * 2017-02-15 2018-08-16 Kateeva, Inc. Precision position alignment, calibration and measurement in printing and manufacturing systems
JP6876470B2 (ja) * 2017-03-07 2021-05-26 東京エレクトロン株式会社 ワーク加工装置、ワーク加工方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
US10512549B2 (en) 2017-03-13 2019-12-24 Institute for Musculoskeletal Science and Education, Ltd. Implant with structural members arranged around a ring
US10744001B2 (en) 2017-11-21 2020-08-18 Institute for Musculoskeletal Science and Education, Ltd. Implant with improved bone contact
US10940015B2 (en) 2017-11-21 2021-03-09 Institute for Musculoskeletal Science and Education, Ltd. Implant with improved flow characteristics
JP2019184495A (ja) * 2018-04-13 2019-10-24 東芝テック株式会社 液滴分注装置
US11135835B2 (en) * 2018-12-20 2021-10-05 Kateeva, Inc. Ejection control using substrate alignment features and print region alignment features
US11581547B2 (en) * 2019-05-29 2023-02-14 Uchicago Argonne, Llc Electrode ink deposition system for high-throughput polymer electrolyte fuel cell
KR102569247B1 (ko) * 2020-07-07 2023-08-21 세메스 주식회사 잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
CN113145798B (zh) * 2021-03-22 2023-02-10 北京机科国创轻量化科学研究院有限公司 一种可变角度移动打印的砂型3d打印成形装置
CN114683731B (zh) * 2022-03-03 2023-07-25 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 打印方法、打印系统以及打印设备
CN115817016B (zh) * 2023-01-30 2023-07-21 苏州希盟科技股份有限公司 一种喷墨打印状态检测装置及方法

Family Cites Families (136)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54133337A (en) 1978-04-07 1979-10-17 Ricoh Co Ltd Ink jet printer
US4521786A (en) * 1982-09-20 1985-06-04 Xerox Corporation Programmable driver/controller for ink jet printheads
JPS60162655A (ja) * 1984-02-03 1985-08-24 Nec Corp インクジエツトプリンタ
EP0341348B1 (en) * 1988-05-10 1993-07-21 Agfa-Gevaert N.V. Method for the production of a multicolour filter array
DE68922470T2 (de) 1988-11-26 1995-09-07 Toppan Printing Co Ltd Farbfilter für eine Vielfarben-Flüssigkristallanzeigetafel.
US5232781A (en) 1989-04-01 1993-08-03 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Method for manufacturing layer-built material with silicon dioxide film containing organic colorant and the layer-built material manufactured thereby
EP0391226B1 (en) * 1989-04-01 1994-07-13 Nippon Sheet Glass Co. Ltd. Method for manufacturing layer-built material with silicon dioxide film containing organic colorant and the layer-built material manufactured thereby
US5399450A (en) * 1989-04-28 1995-03-21 Seiko Epson Corporation Method of preparation of a color filter by electrolytic deposition of a polymer material on a previously deposited pigment
US5705302A (en) * 1989-04-28 1998-01-06 Seiko Epson Corporation Color filter for liquid crystal display device and method for producing the color filter
US5264952A (en) 1989-11-20 1993-11-23 Sharp Kabushiki Kaisha Two celled color liquid crystal display device
JP2700945B2 (ja) * 1990-08-30 1998-01-21 キヤノン株式会社 カラーフィルター付き基板
US5432538A (en) * 1992-11-12 1995-07-11 Xerox Corporation Valve for an ink jet printer maintenance system
US5340619A (en) 1993-10-18 1994-08-23 Brewer Science, Inc. Method of manufacturing a color filter array
US6686104B1 (en) * 1993-11-24 2004-02-03 Canon Kabushiki Kaisha Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel
JP3332515B2 (ja) * 1993-11-24 2002-10-07 キヤノン株式会社 カラーフィルタ、その製造方法及び液晶パネル
TW417034B (en) * 1993-11-24 2001-01-01 Canon Kk Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel
JP2952143B2 (ja) 1993-12-21 1999-09-20 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法
JP3463362B2 (ja) * 1993-12-28 2003-11-05 カシオ計算機株式会社 電界発光素子の製造方法および電界発光素子
DE69523351T2 (de) 1994-01-28 2002-05-02 Canon Kk Farbfilter, Verfahren zu seiner Herstellung, und Flüssigkristalltafel
JP3034438B2 (ja) * 1994-03-31 2000-04-17 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造装置
JP2839134B2 (ja) * 1994-05-20 1998-12-16 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法及びカラーフィルタの隣接する着色部間の混色の低減方法
US6106093A (en) 1994-06-17 2000-08-22 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording apparatus capable of recording in different resolutions, and ink jet recording method using such apparatus
JP3376169B2 (ja) * 1994-06-17 2003-02-10 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及びその方法により製造されたカラーフィルタ
KR100376156B1 (ko) * 1994-06-21 2003-11-01 도레이 가부시끼가이샤 액정표시소자용수지블랙매트릭스
JP3372671B2 (ja) 1994-09-14 2003-02-04 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置
JP3372724B2 (ja) 1994-09-21 2003-02-04 キヤノン株式会社 カラーフィルタおよびその製造方法、液晶パネルならびに情報処理装置
JPH08227011A (ja) * 1994-09-30 1996-09-03 Canon Inc カラーフィルタ、その製造方法、液晶パネル、及びこれを備えた情報処理装置
US5757387A (en) * 1994-12-12 1998-05-26 Pitney Bowes Inc. Print head cleaning and ink drying apparatus for mailing machine
US5648198A (en) * 1994-12-13 1997-07-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Resist hardening process having improved thermal stability
US5626994A (en) * 1994-12-15 1997-05-06 Fuji Photo Film Co., Ltd. Process for forming a black matrix of a color filter
JP3709565B2 (ja) * 1995-01-25 2005-10-26 三菱化学株式会社 カラーフィルター用重合組成物
JP3014291B2 (ja) * 1995-03-10 2000-02-28 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 液晶表示パネル、液晶表示装置及び液晶表示パネルの製造方法
JPH08311345A (ja) 1995-03-13 1996-11-26 Toshiba Corp 有機ポリシラン組成物、着色部材、着色部材の製造方法、及び液晶表示素子
US5984470A (en) 1995-04-20 1999-11-16 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus for producing color filter with alignment error detection
US5962581A (en) 1995-04-28 1999-10-05 Kabushiki Kaisha Toshiba Silicone polymer composition, method of forming a pattern and method of forming an insulating film
JP3059678B2 (ja) 1995-07-14 2000-07-04 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置
JP3234748B2 (ja) * 1995-07-14 2001-12-04 キヤノン株式会社 基板の選択的撥水処理方法、遮光部材形成基板及びこの遮光部材形成基板を用いたカラ−フィルタ−基板の製造方法
JP3124722B2 (ja) * 1995-07-31 2001-01-15 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタの区画された領域間の混色の低減方法及びカラーフィルタの区画された領域へのインク付与位置の精度向上方法及びカラーフィルタの区画された領域の着色ムラ低減方法
JP3133949B2 (ja) 1995-08-25 2001-02-13 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置
US6023318A (en) * 1996-04-15 2000-02-08 Canon Kabushiki Kaisha Electrode plate, process for producing the plate, liquid crystal device including the plate and process for producing the device
US5847735A (en) 1996-04-26 1998-12-08 Pelikan Produktions Ag Ink cartridge for a printer
JPH1076660A (ja) 1996-07-12 1998-03-24 Canon Inc インクジェットプリント装置
JP3317637B2 (ja) 1996-07-30 2002-08-26 シャープ株式会社 液晶表示装置用基板およびその製造方法並びにそれを用いた液晶表示装置
JP3927654B2 (ja) 1996-08-07 2007-06-13 キヤノン株式会社 カラーフィルタおよび液晶表示装置の製造方法
JP3996979B2 (ja) * 1996-08-08 2007-10-24 キヤノン株式会社 カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター及び液晶表示装置
KR100256392B1 (ko) 1996-09-30 2000-05-15 겐지 아이다 칼라필터용 감광성 수지 착색 조성물 및 이로부터 형성된 칼라필터 및 그 제조방법
JP3949759B2 (ja) 1996-10-29 2007-07-25 東芝電子エンジニアリング株式会社 カラーフィルタ基板および液晶表示素子
CN1124501C (zh) * 1996-10-30 2003-10-15 精工爱普生株式会社 滤色片及其制造方法
US5916735A (en) * 1996-11-21 1999-06-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing fine pattern
US6162569A (en) 1996-11-21 2000-12-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing fine pattern, and color filter, shading pattern filter and color LCD element formed and printed board by using the same
JPH10268292A (ja) 1997-01-21 1998-10-09 Sharp Corp カラーフィルタ基板およびカラー液晶表示素子
GB9701680D0 (en) 1997-01-28 1997-03-19 Cambridge Display Tech Ltd Viscosity modification of precursor solutions
US6367903B1 (en) * 1997-02-06 2002-04-09 Hewlett-Packard Company Alignment of ink dots in an inkjet printer
TW442693B (en) 1997-02-24 2001-06-23 Seiko Epson Corp Color filter and its manufacturing method
US6367908B1 (en) * 1997-03-04 2002-04-09 Hewlett-Packard Company High-resolution inkjet printing using color drop placement on every pixel row during a single pass
JP3106110B2 (ja) 1997-03-17 2000-11-06 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び表示装置の製造方法
JPH10332923A (ja) 1997-05-30 1998-12-18 Sharp Corp カラーフィルター及び液晶表示装置
US5948577A (en) 1997-06-02 1999-09-07 Canon Kabushiki Kaisha Color filter substrate, liquid crystal display device using the same and method of manufacturing color filter substrate
US6010210A (en) * 1997-06-04 2000-01-04 Hewlett-Packard Company Ink container having a multiple function chassis
JPH112716A (ja) * 1997-06-13 1999-01-06 Canon Inc カラーフィルタ、これを用いた液晶素子及びこれらの製造方法、並びに該製造方法に用いられるインクジェット用インク
JP2002508802A (ja) * 1997-06-30 2002-03-19 チバ スペシャルティ ケミカルズ ホールディング インコーポレーテッド Ｃ．ｉ．ピグメントレッド２２２を含有する顔料分散体
JP3549176B2 (ja) * 1997-07-28 2004-08-04 株式会社東芝 液晶表示装置、およびカラーフィルタ基板の製造方法
GB9718516D0 (en) * 1997-09-01 1997-11-05 Cambridge Display Tech Ltd Methods of Increasing the Efficiency of Organic Electroluminescent Devices
JPH1184367A (ja) 1997-09-03 1999-03-26 Ricoh Co Ltd プラスチックカラーフィルターの製造方法および該製造方法により製造したカラーフィルター
JP4028043B2 (ja) 1997-10-03 2007-12-26 コニカミノルタホールディングス株式会社 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法
JP3554161B2 (ja) 1997-11-14 2004-08-18 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置およびインクジェット記録方法
GB9724682D0 (en) * 1997-11-21 1998-01-21 Cambridge Display Tech Ltd Electroluminescent device
US6208394B1 (en) * 1997-11-27 2001-03-27 Sharp Kabushiki Kaisha LCD device and method for fabricating the same having color filters and a resinous insulating black matrix on opposite sides of a counter electrode on the same substrate
US6154227A (en) 1997-12-08 2000-11-28 Hewlett-Packard Company Apparatus and method for printing compensation
JP4282783B2 (ja) * 1997-12-16 2009-06-24 Ｊｓｒ株式会社 カラーフィルタ用感放射線性組成物
US6087196A (en) * 1998-01-30 2000-07-11 The Trustees Of Princeton University Fabrication of organic semiconductor devices using ink jet printing
GB9803441D0 (en) 1998-02-18 1998-04-15 Cambridge Display Tech Ltd Electroluminescent devices
GB9803764D0 (en) * 1998-02-23 1998-04-15 Cambridge Display Tech Ltd Display devices
JPH11311786A (ja) 1998-02-27 1999-11-09 Sharp Corp 液晶表示装置およびその製造方法
US6082854A (en) 1998-03-16 2000-07-04 Hewlett-Packard Company Modular ink-jet hard copy apparatus and methodology
US6517175B2 (en) * 1998-05-12 2003-02-11 Seiko Epson Corporation Printer, method of monitoring residual quantity of ink, and recording medium
JPH11349872A (ja) * 1998-06-05 1999-12-21 Sharp Corp 改質インク粒子およびその製造方法、カラーフィルタおよびその製造方法、カラー表示装置、並びに、改質インク粒子の製造装置
US6356357B1 (en) * 1998-06-30 2002-03-12 Flashpoint Technology, Inc. Method and system for a multi-tasking printer capable of printing and processing image data
US6242139B1 (en) * 1998-07-24 2001-06-05 International Business Machines Corporation Color filter for TFT displays
EP0976570A1 (en) 1998-07-30 2000-02-02 Canon Kabushiki Kaisha Production apparatus and production process for color filter, and LCD device using said color filter
GB9818092D0 (en) * 1998-08-19 1998-10-14 Cambridge Display Tech Ltd Display devices
JP3919356B2 (ja) 1998-09-09 2007-05-23 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタの製造装置、および液晶素子の製造方法
JP2000263817A (ja) * 1998-10-30 2000-09-26 Canon Inc インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置
US6384529B2 (en) * 1998-11-18 2002-05-07 Eastman Kodak Company Full color active matrix organic electroluminescent display panel having an integrated shadow mask
JP2000171828A (ja) * 1998-12-01 2000-06-23 Hitachi Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
TW535025B (en) 1998-12-03 2003-06-01 Hitachi Ltd Liquid crystal display device
JP3529306B2 (ja) 1998-12-09 2004-05-24 大日本印刷株式会社 カラーフィルタおよびその製造方法
JP3267271B2 (ja) 1998-12-10 2002-03-18 日本電気株式会社 液晶表示装置およびその製造法
US6066357A (en) * 1998-12-21 2000-05-23 Eastman Kodak Company Methods of making a full-color organic light-emitting display
US6705694B1 (en) * 1999-02-19 2004-03-16 Hewlett-Packard Development Company, Lp. High performance printing system and protocol
US6565179B1 (en) * 1999-02-19 2003-05-20 Hewlett-Packard Company Method of detecting the end of life of a pen
JP4377984B2 (ja) * 1999-03-10 2009-12-02 キヤノン株式会社 カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いた液晶素子
US6196663B1 (en) * 1999-04-30 2001-03-06 Hewlett-Packard Company Method and apparatus for balancing colorant usage
KR100649407B1 (ko) 1999-06-16 2006-11-24 엘지.필립스 엘시디 주식회사 잉크젯 헤드의 노즐막힘 방지장치
NL1012812C2 (nl) * 1999-08-12 2001-02-13 Ocu Technologies B V Werkwijze voor het bedrukken van een substraat en een drukinrichting geschikt om deze werkwijze toe te passen.
JP2001074927A (ja) * 1999-09-07 2001-03-23 Fuji Xerox Co Ltd 着色膜の形成方法、駆動素子及び液晶表示装置
TW594135B (en) 2000-01-29 2004-06-21 Chi Mei Optorlrctronics Co Ltd Wide viewing-angle liquid crystal display and the manufacturing method thereof
GB0002958D0 (en) * 2000-02-09 2000-03-29 Cambridge Display Tech Ltd Optoelectronic devices
US6752483B1 (en) * 2000-02-11 2004-06-22 Hewlett-Packard Development, L.P. Method for detecting drops in printer device
JP4916636B2 (ja) * 2000-02-16 2012-04-18 シクパ ホルディング ソシエテ アノニム 視角に依存するカラー・シフトを有する顔料、該顔料を製造する方法、該顔料のセキュリティ用途での利用、該顔料を含むコーティング組成物および検出用デバイス
US6508533B2 (en) * 2000-03-28 2003-01-21 Canon Kabushiki Kaisha Ink-jet printing apparatus and recovery processing method of ejection port
GB0011749D0 (en) * 2000-05-17 2000-07-05 Cambridge Display Tech Ltd Light-eminating devices
JP2002072219A (ja) 2000-08-30 2002-03-12 Sharp Corp 液晶表示装置
JP4989012B2 (ja) * 2000-08-30 2012-08-01 ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド 共役ポリマー層を成膜するための組成物
WO2002026856A1 (en) * 2000-09-26 2002-04-04 Cambridge Display Technology Limited Twisted polymers, uses thereof and processes for the preparation of statistical copolymers
ATE416393T1 (de) * 2000-09-27 2008-12-15 Dainippon Ink & Chemicals Verfahren zur herstellung eines farbfilters
US6428135B1 (en) 2000-10-05 2002-08-06 Eastman Kodak Company Electrical waveform for satellite suppression
US6893103B2 (en) * 2000-10-17 2005-05-17 Seiko Epson Corporation Ink jet recording apparatus and manufacturing method for functional liquid applied substrate
CN100377380C (zh) * 2001-02-28 2008-03-26 剑桥显示技术有限公司 供沉积在基材上的材料配方和方法
US6897466B2 (en) * 2001-07-19 2005-05-24 Seiko Epson Corporation Instrument and method for measuring ejection velocity of liquid
US20030025446A1 (en) * 2001-07-31 2003-02-06 Hung-Yi Lin Manufacturing method and structure of OLED display panel
TW512242B (en) * 2001-08-08 2002-12-01 Ind Tech Res Inst Manufacturing process and apparatus for ink injecting method of color filter
US6569706B2 (en) * 2001-09-19 2003-05-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh Fabrication of organic light emitting diode using selective printing of conducting polymer layers
TW526340B (en) * 2001-12-25 2003-04-01 Ind Tech Res Inst Method for manufacturing color filters by micro fluid
JP3838964B2 (ja) * 2002-03-13 2006-10-25 株式会社リコー 機能性素子基板の製造装置
US8808457B2 (en) * 2002-04-15 2014-08-19 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for depositing a multilayer coating on discrete sheets
US6698866B2 (en) * 2002-04-29 2004-03-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection device using multiple grip pattern data
US6738113B2 (en) * 2002-06-10 2004-05-18 Allied Material Corp. Structure of organic light-emitting material TFT LCD and the method for making the same
CN100483785C (zh) * 2002-07-01 2009-04-29 精工爱普生株式会社 组合物、成膜方法及成膜装置、电光学装置及其制造方法
US7111755B2 (en) * 2002-07-08 2006-09-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge method and apparatus and display device panel manufacturing method and apparatus
US6692983B1 (en) * 2002-08-01 2004-02-17 Chih-Chiang Chen Method of forming a color filter on a substrate having pixel driving elements
US7098060B2 (en) * 2002-09-06 2006-08-29 E.I. Du Pont De Nemours And Company Methods for producing full-color organic electroluminescent devices
TWI307440B (zh) * 2002-10-21 2009-03-11 Hannstar Display Corp
TW555652B (en) * 2002-10-25 2003-10-01 Ritdisplay Corp Ink jet printing device and method
US6982179B2 (en) * 2002-11-15 2006-01-03 University Display Corporation Structure and method of fabricating organic devices
JP4273819B2 (ja) * 2003-04-14 2009-06-03 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置、及びその制御方法
JP4099584B2 (ja) * 2003-08-14 2008-06-11 ソニー株式会社 液体吐出装置及び液体吐出調整方法
US7399048B2 (en) * 2003-09-10 2008-07-15 Fujifilm Corporation Inkjet recording apparatus and method for detecting discharge defects
US7073883B2 (en) * 2003-10-16 2006-07-11 Eastman Kodak Company Method of aligning inkjet nozzle banks for an inkjet printer
US7377609B2 (en) * 2004-05-27 2008-05-27 Silverbrook Research Pty Ltd Printer controller for at least partially compensating for erroneous rotational displacement
US20060071957A1 (en) * 2004-10-05 2006-04-06 Applied Materials, Inc. Droplet visualization of inkjetting
US20060092218A1 (en) * 2004-11-04 2006-05-04 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet printing
US7556334B2 (en) * 2004-11-04 2009-07-07 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for aligning print heads
TWI318685B (en) * 2005-07-28 2009-12-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for concurrent inkjet printing and defect inspection
US20070070109A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 White John M Methods and systems for calibration of inkjet drop positioning
US20070076040A1 (en) * 2005-09-29 2007-04-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet nozzle calibration

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102815092A (zh) * 2012-08-29 2012-12-12 常州依丽雅斯纺织品有限公司 高效数码印花机
CN105493487A (zh) * 2013-08-09 2016-04-13 宝洁公司 用于在纤维网印刷中减小图像失真的系统和方法
CN105137630A (zh) * 2015-10-15 2015-12-09 京东方科技集团股份有限公司 一种封框胶涂布装置和封框胶涂布方法
CN108568383B (zh) * 2017-03-07 2021-12-24 东京毅力科创株式会社 液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
CN108568383A (zh) * 2017-03-07 2018-09-25 东京毅力科创株式会社 液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
TWI750339B (zh) * 2017-03-07 2021-12-21 日商東京威力科創股份有限公司 液滴吐出裝置、液滴吐出方法及電腦記憶媒體
CN108568382A (zh) * 2017-03-07 2018-09-25 东京毅力科创株式会社 液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
US11571706B2 (en) 2017-03-07 2023-02-07 Tokyo Electron Limited Droplet ejecting apparatus having carriage marks, droplet ejecting method, and computer storage medium
US11633969B2 (en) 2017-03-07 2023-04-25 Tokyo Electron Limited Droplet ejecting apparatus and droplet ejecting method in which relative positions of workpiece table and droplet ejecting head are corrected
CN108646470A (zh) * 2018-05-04 2018-10-12 京东方科技集团股份有限公司 隔垫物制作方法及系统、显示面板和显示装置
CN109823050A (zh) * 2018-12-29 2019-05-31 华中科技大学 面向喷墨打印的液滴喷射多阶段定位误差补偿方法及设备
CN109823050B (zh) * 2018-12-29 2019-12-24 华中科技大学 面向喷墨打印的液滴喷射多阶段定位误差补偿方法及设备
CN115103776A (zh) * 2020-02-18 2022-09-23 株式会社理光 测试装置
CN115103776B (zh) * 2020-02-18 2024-04-05 株式会社理光 测试装置

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Publication number Publication date
KR20070036727A (ko) 2007-04-03
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