DE01980971T1 - Fein-verschiebungs-detektionseinrichtung durch schall oder dergleichen - Google Patents

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Abstract

Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung durch Schall oder dergleichen, bei welcher ein Licht aussendendes Element und ein Licht empfangendes Element auf einem Substrat angeordnet sind, Licht von dem Licht aussendenden Element auf eine bei einer dem Substrat zugewandten Position angeordneten Membran aufgestrahlt wird und von der Membran reflektiertes Licht durch das Licht empfangende Element empfangen wird, um eine feine Verschiebung der Membran durch Schall oder dergleichen als ein elektrisches Signal zu erfassen, dadurch gekennzeichnet, dass ein Licht konzentrierendes Element, welches Licht von dem Licht aussendenden Element konvergiert und dieses auf die Membran lenkt, und ebenfalls von der Membran reflektiertes Licht konvergiert und es zu dem Licht empfangenden Element lenkt, und ein Reflexionslichtstrom Teilerelement, welches das von dem Licht konzentrierenden Element konvergierte reflektierte Licht in eine Mehrzahl von Reflexionslichtströmen unterschiedlicher Richtungen aufteilt und mindestens einen der Mehrzahl von reflektierten Lichtströmen zu dem Licht empfangenden Element lenkt, auf einem Lichtweg zwischen...

Claims (9)

  1. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung durch Schall oder dergleichen, bei welcher ein Licht aussendendes Element und ein Licht empfangendes Element auf einem Substrat angeordnet sind, Licht von dem Licht aussendenden Element auf eine bei einer dem Substrat zugewandten Position angeordneten Membran aufgestrahlt wird und von der Membran reflektiertes Licht durch das Licht empfangende Element empfangen wird, um eine feine Verschiebung der Membran durch Schall oder dergleichen als ein elektrisches Signal zu erfassen, dadurch gekennzeichnet, dass ein Licht konzentrierendes Element, welches Licht von dem Licht aussendenden Element konvergiert und dieses auf die Membran lenkt, und ebenfalls von der Membran reflektiertes Licht konvergiert und es zu dem Licht empfangenden Element lenkt, und ein Reflexionslichtstrom Teilerelement, welches das von dem Licht konzentrierenden Element konvergierte reflektierte Licht in eine Mehrzahl von Reflexionslichtströmen unterschiedlicher Richtungen aufteilt und mindestens einen der Mehrzahl von reflektierten Lichtströmen zu dem Licht empfangenden Element lenkt, auf einem Lichtweg zwischen dem Substrat und der Membran vorgesehen sind.
  2. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine auf einem planaren Substrat angeordnete Mikrolinse oder Hologrammlinse als das Licht kondensierende Element verwendet wird.
  3. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein auf einem planaren Substrat ausgebildetes Hologramm als Reflexionslichtstrom Teilerelement verwendet wird.
  4. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht aussendende Element und das Licht empfangende Element auf demselben planaren Substrat angebracht und angeordnet sind.
  5. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht konzentrierende Element und das Reflexionslichtstrom-Teilerelement miteinander kombiniert sind.
  6. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung durch Schall oder dergleichen, bei welcher ein Licht aussendendes Element und ein Licht empfangendes Element auf einem Substrat angeordnet sind, Licht von dem Licht aussendenden Element auf eine bei einer dem Substrat zugewandten Position angeordneten Membran aufgestrahlt wird und von der Membran reflektiertes Licht durch das Licht empfangende Element empfangen wird, um eine feine Verschiebung der Membran durch Schall oder dergleichen als ein elektrisches Signal zu erfassen, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes Licht konzentrierendes Element, welches Licht von dem Licht aussendenden Element konvergiert und dieses auf die Membran lenkt, und ein zweites Licht konzentrierendes Element, welches von der Membran reflektiertes Licht konvergiert und es zu dem Licht empfangenden Element lenkt, auf einem Lichtweg zwischen dem Substrat und der Membran vorgesehen sind.
  7. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem planaren Substrat ausgebildete Hologramme als das erste Licht konzentrierende Element und das zweite Licht konzentrierende Element verwendet werden.
  8. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht aussendende Element und das Licht empfangende Element auf demselben planaren Substrat angebracht und angeordnet sind.
  9. Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Vertikalresonator-Oberflächenlichtemissionslaserelement als das Licht aussendende Element verwendet wird.
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