DE10101961A1 - Trägeridentifizierungssystem, Trägeridentifizierungsverfahren und Speichermedium - Google Patents

Trägeridentifizierungssystem, Trägeridentifizierungsverfahren und Speichermedium

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Yoshiaki Uchino
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Abstract

In einer horizontalen, automatischen Trägertyp-Handhabungseinrichtung ist es möglich, einen Träger (1) ohne Anhalten des Trägers (1) effizient zu identifizieren, wenn die Trägeridentifizierungsinformation gelesen wird, die in dem Träger (1) zum Übertragen einer Einrichtung angeordnet ist, und die Anzahl von Sensoren (5, 6) zum Lesen der Identifizierungsinformation zu reduzieren. Mehrere Taktlöcher (3) und mehrere Datenlöcher (4) sind in dem Träger (1) als Identifizierungsinformation vorgesehen. Der Träger (1) wird erkannt, wenn ein Taktloch-Erkennungssensor (5) und ein Datenloch-Erkennungssensor (6) die Taktlöcher (3) und die Datenlöcher (4) erkennen.

Description

Die Erfindung betrifft ein Trägeridentifizierungssystem zum Übertragen von Halbleiterein­ richtungen und dergleichen in einer automatischen Handhabungseinrichtung (Auto- Handhabungseinrichtung), ein Trägeridentifizierungsverfahren und ein Speichermedium.
In einem IC-Testsystem zum Messen elektrischer Eigenschaften von Halbleitereinrichtungen, beispielsweise ein IC (integrierte Schaltung) und dergleichen, wird eine Auto- Handhabungseinrichtung zum Übertragen von Einrichtungen, wie Meßobjekten genutzt.
Halbleitereinrichtungen als Objekte zum Testen werden auf einem Träger montiert und mit­ tels der Auto-Handhabungseinrichtung ausgewählt.
In einem solchen Fall werden mehrere Träger gleichzeitig innerhalb der Auto- Handhabungseinrichtung zirkuliert, um die Effizienz zu verbessern, wodurch ICs ausgewählt werden.
Weil die Form der Träger in Abhängigkeit von einem Typ der als Prüfobjekte dienenden Halbleitereinrichtungen variiert, muß eine Steuereinrichtung der Auto- Handhabungseinrichtung Typen der zu prüfenden Halbleitereinrichtungen identifizieren.
Darüber hinaus ist es beispielsweise notwendig, neun Trägereinheiten innerhalb der Auto- Handhabungseinrichtung zu zirkulieren. Den jeweiligen Trägern wird eine Seriennummer so zugeordnet, daß es möglich ist, zu jedem Zeitpunkt zu überwachen, wo der jeweilige. Träger innerhalb der Auto-Handhabungseinrichtung angeordnet ist.
Bei herkömmlichen Auto-Handhabungseinrichtungen wird den jeweiligen Trägern eine Strichcode-Trägeridentifizierung zugewiesen, um einen Typ einer Halbleitereinrichtung, die auf dem jeweiligen Träger montiert ist, und die Seriennummer des jeweiligen Trägers zu identifizieren. Ein Strichcodeleser liest den dem jeweiligen Träger zugeordneten Strichcode, identifiziert den Typ der auf dem jeweiligen Träger montierten Halbleitereinrichtung und die Seriennummer des jeweiligen Trägers auf der Basis des gelesenen Strichcodes.
Das beschriebene Verfahren ist von der Anmelderin der vorliegenden Anmeldung beispiels­ weise in der japanischen Patentanmeldung mit der Nummer H 10-377095 offenbart.
Darüber hinaus ist ein weiteres Verfahren zum Identifizieren eines Typs von Halbleiterein­ richtungen bekannt, bei dem zur Identifizierung mehrerer Löcher an einem Träger ausgebildet sind. Bei diesem Verfahren lesen mehrere Sensoren, die den jeweiligen Löchern entsprechend installiert sind, die in dem Träger vorgesehenen Löcher zur Identifizierung und identifizieren den Typ der in dem Träger montierten Halbleitereinrichtung in Abhängigkeit von einem Zu­ stand der Löcher.
Bei diesem Verfahren muß der Träger jedesmal angehalten werden, wenn das Lesen von Da­ ten zur Trägeridentifizierung notwendig ist. Darüber hinaus ist eine Stellung zum Anhalten des Trägers notwendig, die in voller Übereinstimmung mit der eines Lesesensors ist. In Verbindung mit dem zuletzt beschriebenen Verfahren, bei dem die Identifizierungslöcher in dem Träger ausgebildet sind, ist es notwendig, daß so viele Lesesensoren wie Identifizie­ rungslöcher installiert werden.
Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, die Notwendigkeit abzuschaffen, daß Träger für Über­ tragungseinrichtungen angehalten werden müssen, um die Daten für eine Trägeridentifizie­ rung zu lesen, und das Lesen der Daten für die Trägeridentifizierung mit weniger Sensoren zu ermöglichen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Trägeridentifizierungssystem gemäß eines ersten Aspekts der Erfindung gelöst. Das Trägeridentifizierungssystem nach dem ersten Aspekt der Erfindung umfaßt einen Träger (beispielsweise einen Träger 1 in Fig. 1) zum Montieren und zum Übertragen mehrerer zu testender Einrichtungen (im Folgenden als DUTs bezeichnet), auf denen eine Identifizierungsinformation angeordnet ist, Lesemittel (beispiels­ weise einen Takt- bzw. Indexloch-Erkennungssensor 5 und einen Datenloch- Erkennungssensor 6, vgl. Fig. 1) zum Lesen der Identifizierungsinformation des Trägers und Identifizierungsmittel (beispielsweise eine Einrichtungstyp-Identifizierungsschaltung 9 in Fig. 1) zum Identifizieren des Trägers auf der Basis der mittels der Lesemittel gelesenen Identifizierungsinformation, wobei der Träger mehrere Takt- bzw. Indexlöcher (beispielswei­ se Takt- bzw. Indexlöcher 3 in Fig. 1), die parallel mit einer Richtung der Trägerübertragung angeordnet sind, und mehrere Datenlöcher (beispielsweise Datenlöcher 4 in Fig. 1) aufweist, die parallel mit der Richtung der Trägerübertragung und entsprechend der Anordnungsstel­ lungen bzw. -positionen der mehreren Indexlöcher angeordnet sind. Darüber hinaus umfassen die Lesemittel Zeit- bzw. Takterkennungsmittel (beispielsweise einen Taktloch- Erkennungssensor 5 in Fig. 1), die zum Erkennen der mehreren Taktlöcher in Verbindung mit der Trägerübertragung den Anordnungsstellungen der mehreren Taktlöcher entsprechend angeordnet sind, und Datenerkennungsmittel (beispielsweise einen Datenloch- Erkennungssensor 6 in Fig. 6), die zum Erkennen der mehreren Datenlöcher in Verbindung mit dem Erkennen der mehreren Taktlöcher mittels der Takterkennungsmittel den Anord­ nungsstellungen der mehreren Datenlöcher entsprechend angeordnet sind.
Ein Trägeridentifizierungsverfahren gemäß eines dritten Aspekts der Erfindung umfaßt einen Übertragungsschritt zum Übertragen mehrerer DUTs mittels der Nutzung eines Trägers mit den mehreren hierauf montierten Einrichtungen, einen Leseschritt zum Lesen von Identifizie­ rungsinformation, die in dem Träger vorgesehen ist, und einen Identifizierungsschritt zum Identifizieren des Trägers auf der Basis der gelesenen Identifizierungsinformation, wobei der Leseschritt einen Schritt zum Erkennen mehrerer an dem Träger parallel mit einer Richtung der Trägerübertragung angeordneter Taktlöcher in Verbindung mit der Trägerübertragung und einen Datenerkennungsschritt zum Erkennen mehrerer an dem Träger parallel mit der Rich­ tung der Datenübertragung angeordneter Datenlöcher in Verbindung mit dem Takterken­ nungsschritt umfaßt.
Nach einem fünften Aspekt der Erfindung ist ein Speichermedium vorgesehen, welches in der Lage ist, ein mittels eines Computers ausführbares Programm zu speichern, welches einen Programmcode zum Lesen einer Identifizierungsanzeige umfaßt, die in einem Träger mit hierin montierten DUTs vorgesehen ist. Darüber hinaus umfaßt das mittels des Computers ausführbare Programm einen Programmcode zum Identifizieren des Trägers auf der Basis der gelesenen Identifizierungsanzeige. Das Speichermedium speichert weiterhin einen Pro­ grammcode zum Erkennen mehrerer Taktlöcher, die parallel mit einer Richtung der Träger­ übertragung angeordnet sind, und einen Programmcode zum Erkennen mehrerer Datenlöcher, die parallel zu der Richtung der Trägerübertragung angeordnet sind.
Gemäß des ersten, des dritten und des fünften Aspekts der Erfindung können mehrere Taktlö­ cher und Datenlöcher, die als Identifizierungsanzeige an dem Träger mit den hierauf mon­ tierten Einrichtungen angeordnet sind, nacheinander mittels des Taktloch-Erkennungssensors und des Datenloch-Erkennungssensors gelesen werden, während der Träger übertragen wird. Dieses führt dazu, daß die Notwendigkeit zum Anhalten des Trägers nicht mehr besteht, wenn die Identifizierungsanzeige gelesen wird.
Weil als Sensoren zum Lesen der Identifizierungsanzeige nur zwei Arten von Sensoren, d. h. der Taktloch-Erkennungssensor und der Datenloch-Erkennungssensor ausreichend sind, kann die Anzahl von Taktlöchern und Datenlöchern leicht erhöht oder vermindert werden, so daß sie der Anzahl zu identifizierender Trägerarten entsprechen.
Die Erfindung gemäß des zweiten Aspekts der Erfindung ist ein Trägeridentifizierungssystem in dem ersten Aspekt der Erfindung, wobei die Takterkennungsmittel mehrere der Taktlöcher mittels Übertragens oder Ausschaltens bzw. Blockierens von Licht erkennen, wobei die Date­ nerkennungsmittel mittels Übertragens oder Ausschaltens bzw. Blockierens von Licht erken­ nen, ob die mehreren Datenlöcher existieren oder nicht, und wobei die Identifizierungsmittel entsprechend einer Existenz oder Nicht-Existenz der mehreren Datenlöcher gemäß des Er­ kennens eine vorgegebene Codezeile erzeugen, wodurch der Träger auf der Basis der erzeug­ ten Codezeile identifiziert wird.
Die Erfindung gemäß des vierten Aspekts der Erfindung ist ein Trägeridentifizierungsverfah­ ren in dem dritten Aspekt der Erfindung, wobei der Takterkennungsschritt mittels Übertra­ gens oder Ausschaltens von Licht die mehreren Taktlöcher erkennt, wobei der Datenerken­ nungsschritt mittels Übertragens oder Ausschaltens von Licht erkennt, ob die mehreren Da­ tenlöcher existieren oder nicht, und wobei der Identifizierungsschritt entsprechend der Exi­ stenz oder Nicht-Existenz der mehreren Datenlöcher gemäß des Erkennens eine vorgegebene Codezeile erzeugt, wodurch der Träger auf der Basis der erzeugten Codezeile identifiziert wird.
Im Rahmen des fünften Aspekts der Erfindung betrifft der sechste Aspekt der Erfindung ein Speichermedium, auf welchem ein mittels eines Computers ausführbares Programm speicher­ bar ist, wobei weiterhin ein Programmcode zum Erkennen der mehreren Taktlöcher mittels Übertragens oder Ausschaltens von Licht, ein Programmcode zum Erkennen mittels Übertra­ gens oder Ausschaltens von Licht, ob die mehreren Datenlöcher existieren oder nicht, ein Programmcode zum Erzeugen einer vorgegebenen Codezeile entsprechend der Existenz oder Nicht-Existenz der mehreren Datenlöcher gemäß des Erkennens, und ein Programmcode zum Identifizieren eines Trägers auf der Basis der erzeugten Codezeile gespeichert sind.
Deshalb können gemäß des zweiten, des vierten und des sechsten Aspekts der Erfindung ein Zustand der jeweiligen Taktlöcher als auch der jeweiligen Datenlöcher als Identifizierungsin­ formation mittels zwei Zustandsarten erkannt werden, d. h. mittels des Übertragens und Aus­ schältens von Licht. Mit Hilfe des Ausgebens und des Extrahierens solcher Zustände gemäß erkannter digitaler Signale ist es möglich, Datenzeilen zu setzen, in denen "0" und "1" ange­ ordnet sind. Mittels der Nutzung der Datenzeilen als Identifizierungsinformation können die DUTs identifiziert werden.
Die Erfindung wir im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf eine Zeichnung näher erläutert. Hierbei zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung einer Ausführungsform eines erfindungsgemä­ ßen Trägeridentifizierungssystems;
Fig. 2 eine Darstellung, welche den Fluß von Signalen zeigt, die mit Hilfe der Sensoren erkannt werden; und
Fig. 3 eine vergrößerte Teildarstellung eines Trägers 1 und eine Darstellung, welche ein Beziehung zwischen dem Träger und den mit Hilfe der Sensoren ausgegebenen Signale zeigt.
Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen wird im Folgenden eine Ausführungsform der Erfin­ dung detailliert beschrieben. Zunächst wird der Aufbau beschrieben.
Fig. 1 ist eine perspektivische Darstellung, die eine Ausführungsform eines erfindungsge­ mäßen Trägeridentifizierungssystems zeigt, wobei ein Träger 1, ein Takt- bzw. Indexloch- Erkennungssensor 5, ein Datenloch-Erkennungssensor 6 und eine Datenlatchschaltung 8 dar­ gestellt sind.
Auf der Oberfläche des Trägers 1 sind mehrere Hohlräume zur Montage von Halbleiterein­ richtungen als Prüfobjekte ausgebildet, deren Anzahl 64 beträgt und die in Zeilen und Spalten (16 Zeilen × 4 Spalten) angeordnet sind. Der Träger 1 weist weiterhin Takt- bzw. Indexlöcher 3 und Datenlöcher 4 auf, deren Anzahl der Anzahl der Zeilen entsprechend gebildet sind, die in einer Übertragungsrichtung des Trägers 1 als Durchgangslöcher angeordnet sind und auf der Seite der entgegengesetzten kurzen Seiten der jeweiligen Hohlräume 2 derart definiert sind, daß sie jeweiligen Stellungen der Hohlräume 2 entsprechen, die in der Richtung der Spalte 1 des Trägers aneinandergereiht sind.
Der Taktloch-Erkennungssensor 5 und der Datenloch-Erkennungssensor 6 sind aus einer lichtemittierenden Einrichtung in Kombination mit einem optischen Empfänger gebildet und an entgegengesetzten Flächen auf der Seite der unteren Seite und auf der Seite der oberen Seite eines Montage-Einbauteils, welches im wesentlichen eine U-Form aufweist, und in ei­ nem Abstand installiert, der identisch zu dem ist, welcher zwischen den jeweiligen Taktlö­ chern 3 und den jeweiligen Datenlöchern 4 ausgebildet ist. Der Taktloch-Erkennungssensor 5 und der Datenloch-Erkennungssensor 6 erkennen darüber hinaus einen Zustand eines Lichts, das entweder durch die Taktlöcher 3 bzw. die Datenlöcher 4 des zu übertragenden Trägers übertragen oder blockiert wird.
Darüber hinaus geben der Taktloch-Erkennungssensor 5 und der Datenloch- Erkennungssensor 6 ein Taktsignal und ein Datensignal zum Ausdrücken bzw. Anzeigen ei­ ner Erkennungsbedingung der Taktlöcher 3 bzw. der Datenlöcher 4 aus, die an die Daten­ latchschaltung 8 gesendet werden.
Fig. 3(A) ist eine teilweise vergrößerte Draufsicht des Trägers 1. Fig. 3(B) ist eine Teil­ darstellung der Taktlöcher 3 und der Datenlöcher 4, die in dem Träger 1 als Durchgangslöcher ausgebildet sind. Fig. 3(C) zeigt das Taktsignal und das Datensignal, wie diese mittels des Taktloch-Erkennungssensors 5 bzw. mittels des Datenloch-Erkennungssensors 6 ausgegeben werden.
Die Datenlöcher 4 sind so ausgebildet, daß sie den Taktlöchern 3 entsprechen. Gemäß Fig. 3(A) sind beide Löcher so konfiguriert, daß eine gerade Linie, die die Mitte 41 des jeweiligen Datenlochs 4 und eine Kante 31 des jeweiligen Taktlochs 3 verbindet, senkrecht auf der Übertragungsrichtung des Trägers 1 steht.
Gemäß Fig. 3(B) wird darüber hinaus Licht durch einen Bereich (als weiße Fläche gezeigt) übertragen, in welchem die jeweiligen Taktlöcher 3 gebildet sind. Licht wird von allen ande­ ren Bereichen (als schwarze Flächen gezeigt) blockiert bzw. ausgeschaltet.
Der Taktloch-Erkennungssensor 5 und der Datenloch-Erkennungssensor 6 erkennen einen Zustand des Lichts, welches durch die Taktlöcher 3 bzw. die Datenlöcher 4 des übertragenen Trägers übertragen, oder blockiert wird. Dieses bedeutet, daß der Taktloch-Erkennungssensor 5 und der Datenloch-Erkennungssensor 6 das Taktsignal bzw. das Datensignal als digitale Datensignale ausgeben.
Gemäß den Figuren verändern sich das Taktsignal und das Datensignal an einer Kante des jeweiligen Taktlochs 3 bzw. an einer Kante des jeweiligen Datenlochs 4, d. h. an der Grenzflä­ che zwischen dem als schwarze Fläche und dem als weiße Fläche dargestellten Bereich, wo­ bei auf einen niedrigen Pegel übergegangen wird, wenn das Licht blockiert wird, und Wobei auf einen hohen Pegel übergegangen wird, wenn das Licht hierdurch übertragen wird.
Aufgrund des Erkennens der Kante 21 der jeweiligen Taktlöcher 3 durch den Taktloch- Erkennungssensor 5, d. h. aufgrund des Erkennens, daß ein Zustand des Lichts relativ zu dem jeweiligen Taktloch 3 sich von einem Übertragungszustand in einen Ausschaltzustand (d. h., eine Veränderung von einem hohen zu einem niedrigen Pegel) geändert hat, wird das Taktsi­ gnal mittels der Datenlatchschaltung 8 gewonnen.
Jedesmal, wenn die jeweiligen Taktlöcher 3 eine Stellung des Taktloch-Erkennungssensors 5 passieren, wird das Taktsignal mittels der Datenlatchschaltung 8 gewonnen und nachfolgend das Datensignal gewonnen, welches von dem Datenloch-Erkennungssensor 6 ausgegeben wird. Es ist möglich, Datenzeilen mit einer Länge von 16 Bits hinsichtlich der Anzahl iden­ tisch zu der Anzahl der Taktlöcher 3 für jeden Träger zu setzen, wobei ein Bit zum Ausdruck bringt, ob die jeweiligen Datenlöcher 4 existieren oder nicht. Typen von Einrichtungen, wie Prüfobjekte werden mittels der Datenzeilen ausgedrückt.
Um mittels des Erkennens, ob jedes von 16 Datenlöchern 4 existiert oder nicht, die Datenzei­ len mit einer Länge von 16 Bit, in denen "1" und "0" angeordnet sind, zu veranlassen, dem Typ des jeweiligen DUTs zu entsprechen, welches in dem Träger 1 montiert ist, sind die je­ weiligen Datenlöcher 4 in Positionen ausgebildet, die "1" innerhalb der jeweiligen Datenzeile mit 16 Bits entsprechen. Hierdurch wird der Typ der DUTs ausgedrückt. Die jeweiligen Da­ tenlöcher 4 sind in anderen Positionen nicht ausgebildet, die "0" entsprechen. Wie im Fall der Taktlöcher 3 sind alle 16 Stück hiervon gebildet und werden als Führungsfunktion zum Lie­ fern eines Takts zum Gewinnen des Datensignals genutzt.
Dementsprechend können 65536 (= 216) Typen von DUTs mittels der Nutzung der Datenlö­ cher 4 identifiziert werden.
Gemäß Fig. 2 werden das Taktsignal und das Datensignal von dem Taktloch- Erkennungssensor 5 bzw. dem Datenloch-Erkennungssensor 6 auf die Datenlatchschaltung 8 gegeben. Zu einem Zeitpunkt, zu dem das eingegebene Taktsignal sich von einem hohen Pe­ gel auf einen niedrigen Pegel verändert, gewinnt die Datenlatchschaltung 8 das Datensignal, speichert das Datensignal mit der Länge von 16 Bits und gibt dieses auf eine Einrichtungstyp- Identifizierungsschaltung 9.
Die Einrichtungstyp-Identifizierungsschaltung 9 verweist auf der Basis des Datensignals mit eine Länge von 16 Bits, welches von der Datenlatchschaltung 8 eingegeben wurde, auf eine Korrespondenztabelle 91, die in einem Speichermedium 90 gespeichert ist, identifiziert den Typ des DUTs, der in dem Träger 1 montiert ist, und gibt den identifizierten Typ an eine IC- Prüf-Steuereinrichtung 10 aus.
Die Korrespondenztabelle 91 speichert mehrere Datenzeilen mit einer Länge von 16 Bits, derart, daß diese den jeweiligen Typen der DUTs entsprechen, und ist in dem Speichermedi­ um 90 der Einrichtungstyp-Identifizierungsschaltung 9 gespeichert.
Die IC-Prüf-Steuereinrichtung 10 überprüft, ob die Typen der DUTs, wie sie von der Ein­ richtungstyp-Identifizierungsschaltung 9 eingegeben wurden, in Übereinstimmung mit den Typen der Einrichtungen sind, die gegenwärtig als Prüfobjekte unterwegs sind. Im Fall der Nichtübereinstimmung wird ein Schritt zum Steuern ausgeführt, beispielsweise ein Anhalten der gegenwärtig ablaufenden Prüfung.
Nachfolgend wird der Betrieb beschrieben.
Gemäß Fig. 1 wird der Träger 1 mit einer Halbleitereinrichtung übertragen, die als Objekt zum IC-Prüfen in den mehreren Hohlräumen 2 hiervon montiert ist und gelangt zwischen dem oberen Seitenabschnitt und dem unteren Seitenabschnitt des Montagebauteils 7 hindurch, an welchem der Taktloch-Erkennungssensor 5 und der Datenloch-Erkennungssensor 6 montiert sind.
Aufgrund des Empfangs von Licht, welches mittels der lichtemittierenden Einrichtung ausge­ geben wurde, durch den optischen Empfänger erkennt der Taktloch-Erkennungssensor 5 einen Zustand von Licht in Beziehung zu den jeweiligen Taktlöchern 3. Wenn der Träger 1 den Taktloch-Erkennungssensor 5 passiert, wird Licht ausgeschaltet, welches von der lichtemittie­ renden Einrichtung abgegeben wird. Wenn die jeweiligen Taktlöcher 3 jedoch den Taktloch- Erkennungssensor 5 passieren, wird Licht nicht mittels des jeweiligen Taktlochs 3 ausge­ schaltet, sondern hierdurch übertragen. Der Taktloch-Erkennungssensor 5 gibt an die Daten­ latchschaltung 8 einen Lichtzustand gemäß Fig. 3(C) ab.
Ähnlich zu dem Fall des Taktloch-Erkennungssensors 5 erkennt der Datenloch- Erkennungssensor 6 einen Zustand des jeweiligen Datenlochs 4 durch Abschalten oder Über­ tragen des Lichts, welches mit der lichtemittierenden Einrichtung abgegeben wird. Danach wird ein Zustand des erkannten Lichts als das Datensignal gemäß Fig. 3(C) an die Daten­ latchschaltung 8 ausgegeben.
Aufgrund des Empfangens des Taktsignals und des Datensignals gemäß Fig. 3(C) von dem Taktloch-Erkennungssensor bzw. dem Datenloch-Erkennungssensor 6 gewinnt die Daten­ latchschaltung 8 das eingegebene Datensignal gemäß einer Änderung eines Zustands des ein­ gegebenen Taktsignals.
Zu einem Zeitpunkt, zu dem der Taktloch-Erkennungssensor 5 eine Veränderung eines Zu­ stands von Licht von der Übertragung zum Abschalten erkennt, wird das Datensignal gewon­ nen. Dieses bedeutet, daß ein Zustand der Mitte 41 des jeweiligen Datenlochs 4 gewonnen wird (vgl. Fig. 3(A)), wenn der Taktloch-Erkennungssensor 5 die Kante 31 des jeweiligen Taktlochs 3 passiert.
Jedesmal, wenn die jeweiligen Taktlöcher 3 die Position des Taktloch-Erkennungssensors 5 des Montagebauteils 7 passieren, welches der Übertragung des Trägers 1 folgt, gewinnt die Datenlatchschaltung 8 die Datensignale nacheinander, entsprechend der Zustände der jeweili­ gen Datenlöcher 4, die die Position des Datenloch-Erkennungssensors 6 passieren.
Nach dem Zwischenspeichern der gewonnenen 16 Bit-Datensignale, die der Übertragung des Trägers 1 folgen, gibt die Datenlatchschaltung 8 die Datenzeilen mit einer Länge von 16 Bit an die Einrichtungstyp-Identifizierungsschaltung 9 aus.
Auf der Basis einer Anordnung von "0" und "1" gemäß des Setzens in den jeweiligen Daten­ signalen mit einer Länge von 16 Bits, wie sie von der Datenlatchschaltung 8 eingegeben wur­ den, verweist die Einrichtungstyp-Identifizierungsschaltung 9 auf die Korrespondenztabelle 91, die in dem Speichermedium 90 gespeichert ist, wodurch der Typ des jeweiligen DUTs identifiziert werden, der in dem Träger 1 montiert ist.
Nach dem Identifizieren des Typs der jeweiligen Einrichtungen gibt die Einrichtungstyp- Identifizierungsschaltung 9 die identifizierten Typen an die IC-Test-Steuereinrichtung 10 aus und löscht die eingegebenen Datensignale.
Danach führt die IC-Prüf-Steuereinrichtung 10 eine Steueroperation aus, während die Typen der Einrichtungen auf der Basis des von der Einrichtungstyp-Identifizierungsschaltung 9 zu jedem Zeitpunkt, zu dem der Träger 1 übertragen wird, eingegebenen Typen identifiziert wer­ den.
Gemäß der vorhergehenden Beschreibung sind mehrere Taktlöcher 3 und Datenlöcher 4 vor­ gesehen, um Identifizierungsinformation zum Identifizieren von Einrichtungen zu erhalten, die in dem Träger 1 zur Montage der Einrichtungen montiert sind, die Prüfobjekte sind. Mit­ tels des Erkennens des Zustands der Taktlöcher 3 als auch der Datenlöcher 4 mit Hilfe der Tätigkeit von optischen Sensoren kann die Identifizierungsinformation gelesen werden, wäh­ rend der Träger übertragen wird.
Dementsprechend besteht keine Notwendigkeit, den Träger zu stoppen, wenn die Identifizie­ rungsinformation gelesen wird. Auf diese Weise kann ein Verzögerung des Betriebs der au­ tomatischen Handhabungseinrichtung vermieden werden.
Weil der Taktloch-Erkennungssensor und der Datenloch-Erkennungssensor zum Lesen der Identifizierungsdaten aus der lichtemittierenden Einrichtung und dem optischen Empfänger gebildet werden können, können zusätzliche Sensoren, Taktlöcher als auch Datenlöcher, die einer Vergrößerung der Anzahl der zu identifizierenden Typen entsprechen, leicht implemen­ tiert werden.
Gemäß des ersten, des dritten und des fünften Aspekts der Erfindung können die mehreren Taktlöcher und die mehreren Datenlöcher, welche als Identifizierungsanzeige in dem Träger mit den hierin montierten Einrichtungen angeordnet sind, mittels des Taktloch- Erkennungssensors bzw. des Datenloch-Erkennungssensors nacheinander gelesen werden, während der Träger übertragen wird. Im Ergebnis ist es möglich, die Notwendigkeit zu elimi­ nieren, daß der Träger jedesmal angehalten werden muß, wenn die Identifizierungsanzeige gelesen wird.
Darüber hinaus sind als Sensoren zum Lesen der Identifizierungsanzeige zwei Arten von Sen­ soren ausreichend, nämlich der Taktloch-Erkennungssensor und der Datenloch- Erkennungssensor. Des weiteren kann die Anzahl von Taktlöchern und Datenlöchern leicht erhöht oder vermindert werden, um der Anzahl der Typen der zu identifizierenden Träger zu entsprechen.
Zusätzlich zu dem Effekt nach dem ersten, dem dritten und dem fünften Aspekt der Erfindung kann gemäß des zweiten, des vierten und des sechsten Aspekts der Erfindung ein Zustand der jeweiligen Taktlöcher als auch der jeweiligen Datenlöcher als die Identifizierungsinformation in Form von zwei Zuständen erkannt werden, d. h. als Übertragung und Abschalten von Licht. Mittels des Ausgebens und des Gewinnens solcher erfaßten Zustände in Form digitaler Si­ gnale ist es möglich, die Datenzeilen zu setzen, in denen "1" und "0" angeordnet sind. Bei­ spielsweise können die DUTs mittels der Nutzung der Datenzeilen als Identifizierungsinfor­ mation identifiziert werden.

Claims (6)

1. Trägeridentifizierungssystem mit:
  • - einem Träger (1) mit hierauf angeordneter Identifizierungsinformation zum Montieren und Übertragen mehrerer zu prüfender Einrichtungen;
  • - Lesemitteln zum Lesen der Identifizierungsinformation des Trägers (1); und
  • - Identifizierungsmitteln zum Identifizieren des Trägers (1) auf der Basis der mittels der Lesemittel gelesenen Identifizierungsinformation;
  • - wobei der Träger (1) mehrere Taktlöcher (3), die parallel mit einer Richtung der Trä­ gerübertragung angeordnet sind, und mehrere Datenlöcher (4) aufweist, die parallel mit der Richtung der Trägerübertragung und der Anordnung von Stellungen der meh­ reren Taktlöcher (3) entsprechend angeordnet sind; wobei die Lesemittel zum Erken­ nen der mehreren Taktlöcher (3) in Verbindung mit der Trägerübertragung Takterken­ nungsmittel aufweisen, die entsprechend der Anordnung der Stellungen der mehreren Taktlöcher angeordnet sind; und wobei Datenerkennungsmittel zum Erkennen der mehreren Datenlöcher (4) in Verbindung mit dem Erkennen der mehreren Taktlöcher (3) mittels der Takterkennungsmittel der Anordnung der Stellungen der mehreren Da­ tenlöcher (4) entsprechend angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Takterkennungsmittel die mehreren Taktlö­ cher (3) mittels Übertragens oder Abblockens von Licht erkennen, wobei die Datener­ kennungsmittel mittels Übertragens oder Abblockens von Licht erkennen, ob die meh­ reren Datenlöcher (4) existieren oder nicht, und wobei die Identifizierungsmittel eine vorgegebene Codezeile in Abhängigkeit davon erzeugen, ob die mehreren Datenlöcher (4) gemäß des Erkennens existieren oder nicht, wodurch der Träger (1) auf der Basis der erzeugten Codezeile identifiziert wird.
3. Trägeridentifizierungsverfahren, das Verfahren die folgenden Schritte aufweisend:
  • - einen Übertragungsschritt zum Übertragen mehrerer zu prüfender Einrichtun­ gen mittels der Nutzung eines Trägers (1) mit mehreren hierauf montierten Einrichtungen;
  • - einen Leseschritt zum Lesen von Identifizierungsinformation, die auf dem Trä­ ger (1) angeordnet ist; und
  • - einen Identifizierungsschritt zum Identifizieren des Trägers (1) auf der Basis der gelesenen Identifizierungsinformation, der Leseschritt die weiteren Schritte umfassend: einen Takterkennungsschritt zum Erkennen mehrerer Taktlöcher (3) in Verbindung mit der Trägerübertragung, wobei die Taktlöcher (3) auf dem Träger (1) parallel mit einer Richtung der Trägerübertragung angeordnet sind, und einen Datenerkennungsschritt zum Erkennen mehrerer Datenlöcher (4) in Verbindung mit dem Takterkennungsschritt, wobei die mehreren Daten­ löcher (4) auf dem Träger (1) parallel mit der Richtung der Trägerübertragung angeordnet sind.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei der Takterkennungsschritt die mehreren Taktlöcher (3) mittels Übertragens oder Abblockens von Licht erfaßt, wobei der Datenerken­ nungsschritt mittels Übertragens oder Abblockens von Licht erkennt, ob die mehreren Datenlöcher (4) existieren oder nicht, und wobei der Identifizierungsschritt eine vor­ gegebene Codezeile gemäß der Existenz oder Nichtexistenz der mehreren Datenlöcher (4) gemäß des Erkennens erzeugt, wodurch der Träger (1) auf der Basis der erzeugten Codezeile identifiziert wird.
5. Speichermedium (90) zum Speichern eines mit Hilfe eines Computers ausführbaren Programms, das Speichermedium (90) aufweisend:
  • - einen Programmcode zum Lesen einer Identifizierungsanzeige, die in einem Träger (1) angeordnet ist, in welchem zu prüfende Einrichtungen montiert sind; und
  • - einen Programmcode zum Identifizieren des Trägers (1) auf der Basis der gele­ senen Identifizierungsanzeige;
  • - einen Programmcode zum Erkennen mehrerer Taktlöcher (3), die parallel mit einer Richtung einer Trägerübertragung angeordnet sind; und
  • - einen Programmcode zum Erkennen mehrerer Datenlöcher (4), die parallel mit der Richtung der Trägerübertragung angeordnet sind.
6. Speichermedium (90) nach Anspruch 5, das Speichermedium (90) weiterhin aufwei­ send:
  • - einen Programmcode zum Erkennen der mehreren Taktlöcher (3) mittels Übertragens oder Abblockens von Licht; einen Programmcode zum Erkennen mittels Übertragens oder Abblockens von Licht, ob die mehreren Datenlöcher (4) existieren oder nicht;
  • - einen Programmcode zum Erzeugen einer vorgegebenen Codezeile gemäß der Existenz oder Nichtexistenz der mehreren Datenlöcher (4) gemäß des Erken­ nens; und
  • - einen Programmcode zum Identifizieren eines Trägers (1) auf der Basis der er­ zeugten Codezeile.
DE10101961A 2000-01-28 2001-01-17 Trägeridentifizierungssystem, Trägeridentifizierungsverfahren und Speichermedium Withdrawn DE10101961A1 (de)

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7308162B2 (en) * 2002-09-06 2007-12-11 Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. Intrinsic Fabry-Perot optical fiber sensors and their multiplexing
US7863890B2 (en) * 2008-08-19 2011-01-04 Kia Silverbrook Apparatus for testing integrated circuitry
US7804292B2 (en) * 2008-08-19 2010-09-28 Silverbrook Research Pty Ltd Method for testing integrated circuits mounted on a carrier
US7786723B2 (en) * 2008-08-19 2010-08-31 Silverbrook Research Pty Ltd Test stage for a carrier having printhead integrated circuitry thereon
JP5522477B2 (ja) * 2010-12-17 2014-06-18 株式会社ダイフク 搬送設備
JP6732240B2 (ja) 2017-11-10 2020-07-29 シャープ株式会社 X線測定装置
JP7281250B2 (ja) * 2018-05-11 2023-05-25 株式会社アドバンテスト 試験用キャリア
IT201800006169A1 (it) * 2018-06-08 2019-12-08 Apparato e procedimento per il campionamento dello spazio di testa dotato di uno o più sensori

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4380070A (en) * 1979-11-20 1983-04-12 Lockheed Corporation Automatic circuit identifier
US5289113A (en) * 1989-08-01 1994-02-22 Analog Devices, Inc. PROM for integrated circuit identification and testing
JP3659981B2 (ja) * 1992-07-09 2005-06-15 アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド ダイ特定情報に特徴付けられるダイ上の集積回路を含む装置
US5742526A (en) * 1996-01-03 1998-04-21 Micron Technology, Inc. Apparatus and method for identifying an integrated device

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