DE10121501A1 - Drehbares Indexierungs-Spannfutter für eine Prüfstation - Google Patents
Drehbares Indexierungs-Spannfutter für eine PrüfstationInfo
- Publication number
- DE10121501A1 DE10121501A1 DE10121501A DE10121501A DE10121501A1 DE 10121501 A1 DE10121501 A1 DE 10121501A1 DE 10121501 A DE10121501 A DE 10121501A DE 10121501 A DE10121501 A DE 10121501A DE 10121501 A1 DE10121501 A1 DE 10121501A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- base
- fastener
- test station
- stop
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2831—Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67271—Sorting devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Pinball Game Machines (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Spannfutter für eine
Prüfstation, und im einzelnen ein drehbares Indexierungs-
Spannfutter zum Festspannen einer zu prüfenden Vorrichtung in
einer Prüfstation.
Integrierte Schaltungen (ICs) enthalten Mikroschaltkreise,
die chemisch auf Halbleitermaterial, d. i. Wafers, ausgeätzt
wurden. Herkömmlich werden mehrere ICs auf einem einzigen
Wafer ausgeätzt und dann werden die einzelnen Schaltungen
nach Durchführung einer Leistungs- und Funktionsprüfung in
einer Wafer-Prüfstation voneinander getrennt. Prüfstationen
werden auch dazu benutzt, die Leistung und Funktion eines IC
zu prüfen, nachdem der IC in eine zusammengesetzte Vor
richtung eingebaut wurde.
Im allgemeinen umfaßt eine Prüfstation eine Umweltkammer,
enthaltend ein Spannfutter zum Befestigen und Positionieren
der zu prüfenden Vorrichtung (DUT - Device under Test), eine
oder mehrere Sonden zum Verbinden der Testpunkte auf der DUT
mit den Instrumenten, und eine Optik, um den Operator beim
Auffinden und Testen der Testpunkte auf dem IC zu unter
stützen. Die Umweltkammer schützt die DUT und die empfind
lichen Sonden gegen elektrische und andere Umweltgefahren.
Das Spannfutter enthält den Mechanismus zum Befestigen und
Positionieren der DUT. Das Spannfutter kann auch Mittel zur
weiteren Steuerung der örtlichen Betriebsumgebung enthalten,
wie z. B. Wärm- und Kühlmöglichkeiten und zusätzliche
Isolierung gegen elektromagnetische Felder. Zur Prüfung einer
Vorrichtung untersucht der Operator der Prüfstation die
Vorrichtung unter einem Mikroskop und bringt mit Hilfe der
Positionierungsmechanismen für das Spannfutter und die Sonden
eine Sondenspitze in Kontakt mit einem Testpunkt auf der DUT.
Die Testpunkte auf den ICs sind in der Regel nach recht
winkligen Gitterkoordinaten angelegt und können mit Hilfe von
Mehrfachsonden auf einer Sondenkarte oder durch Einzelsonden
in einer Nord-Süd-Ost-West-Anordnung geprüft werden. Auf
gleiche Weise sind ICs in einer zusammengesetzten Vorrichtung
in der Regel entlang rechtwinkligen Koordinaten angeordnet.
Um das Zusammenfallen der Sondenspitze und des Testpunkts auf
der DUT zu ermöglichen, können sowohl die Sonde als auch das
Spannfutter so angeordnet werden, daß sie in verschiedenen
Richtungen bewegt werden können. In der Regel wird das Spann
futter auf eine bewegliche Bühne gesetzt, die eine horizon
tale (in x- und y-Achse) und vertikale (in z-Achse) Verschie
bung ermöglicht. Zusätzlich kann die Bühne auch eine Drehung
um die z-Achse, d. i. eine "Theta-Winkel"-Einstellung
zulassen, um die Parallelausrichtung der Sondenspitzen und
der Testpunkte auf dem IC zu ermöglichen. In der Regel
ermöglicht die Befestigung für die Sonde eine x-, y- und z-
Bewegung der Sondenspitzen mit Mikrometer-Präzision.
Im allgemeinen sind die Testpunkte auf dem IC in einer
rechtwinkligen Gitteranordnung eingerichtet, jedoch kann es
eine Testreihe erforderlich machen, daß eine Vielzahl von
Testpunkten getestet werden muß, die nicht entlang der
gleichen xy-Achse angeordnet sind. Auch wenn Testpunkte auf
einem IC im Hinblick auf ein wirksames Testen ausgelegt sind,
sind die Testpunkte für Vorrichtungen, die mehrere ICs
enthalten, wahrscheinlich nicht vorteilhaft angeordnet.
Daraus folgt, daß entweder die DUT gedreht werden muß oder
die Sondenkarte ausgebaut und gedreht werden muß, um die
Sondenspitzen zwischen den Tests wieder neu einzurichten.
Zusätzlich zu der Zeit und der Mühe, zu einer Neuausrichtung
der DUT oder der Sondenkarte aufgewendet werden muß, kann die
Neuausrichtung der Sonden eine zeitaufwendige Neukalibrierung
der angeschlossenen Instrumente erforderlich machen. Die
Zeit, die zur Neueinrichtung der Sonde und der Testpunkte
erforderlich ist, läßt sich verkürzen durch eine Einrichtung
zum Drehen des Spannfutters um die vertikale (z) Achse
(Theta-Drehung).
In Prüfstations-Spannfuttereinrichtungen ist in der Regel
eine Drehbewegung in der Form einer Theta-"Fein"-Einstellung
vorgesehen. Die Theta-Feineinstellung wird benutzt, um
sicherzustellen, daß eine Anordnung von DUTs nach der x- und
y-Achse der Prüfstation ausgerichtet ist, so daß die Sonde
ohne weitere Einstellung von Vorrichtung zu Vorrichtung
springen kann. Die Theta-Feineinstelldrehung beschränkt sich
in der Regel auf plus/minus siebeneinhalb Grad (± 7,5°) und
die Drehgeschwindigkeit ist verhältnismäßig gering, um die
Einrichtung der mikroskopischen Sondenspitzen und Testpunkte
zu ermöglichen. Aus diesem Grund ist der Theta-Feineinstell
mechanismus nicht geeignet oder praktisch, um die DUT zur
Neueinstellung der Testpunkte um größere Winkel, oft 90 Grad
oder mehr, für eine Testreihe zu drehen.
Roch, US-Patent Nr. 3,936,743, HIGH SPEED PRECISION CHUCK
ASSEMBLY, offenbart ein drehbares Spannfutter für eine Wafer-
Prüfstation. Das Spannfutter umfaßt eine Plattform mit einem
zur Drehung ausgelegten Schaftteil in einem Lager in einer
Gehäusebohrung. Das Spannfutter wird von Hand gedreht durch
Drehen eines Einstellknopfes und des daran befestigten
Schneckengetriebes. Das Schneckengetriebe greift in ein
geradverzahntes Stirnrad ein, das an der drehbaren Plattform
des Spannfutters befestigt ist. Zwar gestattet dieser
Mechanismus die Drehung der Oberfläche des Spannfutters, um
die Neuausrichtung der DUT zu ermöglichen, jedoch vergrößert
der Schneckenradantrieb die Masse des Spannfutters und erhöht
den Verschleiß des Positioniermechanismus der Bühne und er
schwert die genaue Positionierung durch die Bühne. Zusätzlich
hängt die Planheit von der Senkrechtstellung des tragenden
Schafts und der entsprechenden Bohrung in der Halterungs
konstruktion ab. Da das Positionieren ausgeführt wird,
während man die DUT unter dem Mikroskop betrachtet, kann es
sogar zu leichten Abweichungen der planaren Ausrichtung oder
der Planheit kommen, die dazu führen können, daß die Optik
routinemäßig beim Positionieren einer DUT zum Prüfen erneut
scharf eingestellt werden muß. Der Schneckenradmechanismus
vergrößert ferner die Höhe des Spannfutters, was bedingen
kann, daß die Bühne, die Optik und die Umweltkammer der
Prüfstation besonders konstruiert werden müssen, um das
rotierende Spannfutter aufzunehmen. Ferner sieht der
Schneckenradantrieb zwar eine kontinuierlich Drehung der DUT
für eine genaue Nacheinstellung vor, er sieht jedoch nicht
die schnelle und praktische Positionierung der DUT in eine
neue Stellung vor, die für einen produktiven Sondentest sehr
bedeutsam ist.
Boucher et al., US-Patent 5,676,360, MACHINE TOOL ROTARY
TABLE LOCKING APPARATUS, offenbart einen weiteren schnecken
getriebebetätigten Drehtisch. Dieser Tisch ist zur Anwendung
mit einer Substratzerteilungssäge ausgelegt. Die planare
Ausrichtung der Oberfläche des Tisches wird eingerichtet
durch die Orientierung der Welle, auf der sich der Tisch
dreht, relativ zur Oberfläche des Tisches. Daraus ergibt
sich, daß die Lager, die den Drehtisch tragen, weit beab
standet sind und die Höhe des Tischs vergrößern. Der Tisch
beinhaltet eine Bremse, um den Tisch in einer ausgewählten
Drehposition zu verriegeln. Der Druck eines Strömungsmittels
drückt einen kreisförmigen Kolben gegen ein vorspringendes
Band an der Peripherie des Drehtisches. Da der Kolben jede
Position relativ zur Basis des Tisches annehmen kann,
stabilisiert die Anwendung der Bremse nicht den Tisch oder
bewirkt seine planare Ausrichtung. Ferner ist ein massiverer
Tisch erforderlich, um eine Ablenkung aufgrund des Anlegens
der Bremskraft auf die Peripherie des Tisches zu verhindern.
Erwünscht ist daher ein kompaktes Drehspannfutter mit den
Merkmalen der Steifheit, geringen Masse und präzisen Plan
heit, das eine genaue Drehung der DUT über einen größeren
Winkel zum nacheinanderfolgenden Prüfen der IC-Testpunkte
zuläßt.
Die vorliegende Erfindung überwindet die obigen Nachteile des
Standes der Technik durch Vorsehen eines Spannfutters für
eine Prüfstation enthaltend eine an der Prüfstation
befestigte Basis; eine in der Basis drehbar montierte Welle;
und ein Vorrichtungsbefestigungsglied, befestigt an der
Drehwelle zur Drehung mit dieser, und mit einer planaren
Ausrichtung relativ zur Basis, im wesentlichen unabhängig von
der Ausrichtung der Welle gegenüber dem Vorrichtungsbefesti
gungsglied. Eine elastische Dichtung mit großem Durchmesser
zwischen der Basis und dem Vorrichtungsbefestigungsglied
trägt das Vorrichtungsbefestigungsglied, unabhängig von der
Ausrichtung der Welle und fördert die Steifheit und die
gleichbleibende Planheit. Ferner reduziert diese Art der
Halterung die Länge der Welle und folglich die Höhe und die
Masse des Drehspannfutters. Zusätzlich kann das Drehspann
futter einen lösbaren Drehanschlag umfassen, um eine
indexierte Drehung des Vorrichtungsbefestigungsglieds in eine
neue Position zu ermöglichen. In einer anderen Ausführungs
form enthält ein Spannfutter für eine Prüfstation eine an der
Prüfstation befestigte Basis und ein von der Basis einge
spanntes Vorrichtungsbefestigungsglied zwecks Drehung relativ
dazu.
Die obigen und noch weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile
der Erfindung werden leichter verständlich durch die folgende
detaillierte Beschreibung anhand der begleitenden Zeich
nungen.
Fig. 1 ist eine perspektivische Darstellung einer beispiel
haften Prüfstation mit Spannfutter,
Fig. 2 ist ein Querschnitt eines indexierenden drehbaren
Spannfutters,
Fig. 3 ist ein Querschnitt eines alternativen indexierenden
drehbaren Spannfutters einer alternativen Bauart,
Fig. 4 ist eine Teilansicht des Querschnitts eines alter
nativen indexierenden drehbaren Spannfutters, das zum Bremsen
durch ein unter Druck stehendes Strömungsmittel ausgelegt
ist.
Nehmen wir jetzt Bezug auf Fig. 1; in einer Prüfstation 10
ist eine zu prüfende Vorrichtung (DUT) auf einem Spannfutter
12 eingespannt, das auf einer beweglichen Bühne 14 gelagert
ist, die ihrerseits auf einer Stationsbasis 16 ruht. Sonden
(nicht dargestellt) werden von einer Auflageplatte 18 über
dem Spannfutter gehaltert. Die Sonden weisen eine Steuerung
zum Positionieren in den horizontalen (x und y) Achsen auf,
und die Auflageplatte 18 kann in vertikaler (z) Richtung
verschoben werden, um die Sonden in Kontakt mit den Test
punkten auf der integrierten Schaltung der DUT zu bringen. Um
die Einstellung auf den Ort und die Positionierung der Sonden
zu erleichtern, umfaßt die Prüfstation 10 ein Mikroskop
(nicht dargestellt), das auf einer Mikroskop-Halterung 20
montiert ist, die ihrerseits an einer Optikbrücke 22 be
festigt ist. Die Prüfstation kann ein Umweltgehäuse (nicht
dargestellt) enthalten, um die DUT und die Sonden vor Staub
und sonstigen Umweltgefahren zu schützen.
Um die relative Positionierung der DUT und der Proben zu
ermöglichen, ist die Bühne 14 mit Einrichtungen zur Trans
lations- und beschränkten (Theta) Drehbewegung des Spann
futters versehen. In der in Fig. 1 gezeigten Prüfstation 10
wird die Translationsbewegung mit einem x-Motor 24 und einem
y-Motor 26 bewirkt, die Linearstellantriebe 28 und 30
antreiben, um die Bühne 14 zu verschieben. Ein ähnlicher
Mechanismus (nicht dargestellt) bewirkt die vertikale Ver
schiebung des Spannfutters 12. Die Drehung um die vertikale
Achse, d. i. die Theta-Feineinstellung, wird ausgeführt von
einem Theta-Motor 32 und einem daran befestigten linearen
Stellantrieb 34. Die Theta-Feineinstellung ist vorgesehen, um
den Parallelismus der Sondenspitzen und der Testpunkte zu
ermöglichen. Die Drehung beschränkt sich in der Regel auf
etwa 15 Grad (± 7,5°). Die Drehgeschwindigkeit ist relativ
langsam, um die Ausrichtung der mikroskopischen Sondenspitzen
und der Testpunkte zu ermöglichen. Ein oder mehrere lineare
Codierer 36 sehen eine Rückkopplung zu einer Steuerung für
die Bühnenpositionierungsmotoren vor.
Nehmen wir jetzt Bezug auf Fig. 2; das erfindungsgemäße
Spannfutter 12 enthält ein Vorrichtungsbefestigungsglied 50,
das an einer Welle 52 befestigt ist, die drehbar in einer
Buchse 54 sitzt, die ihrerseits in einer Bohrung der Basis 56
eingesetzt ist. Ein Haltering 57 hält die Welle 52 in der
Buchse 54. Die Basis 56 ist an einer Planarisierungsplatte 58
befestigt, die ihrerseits an der Bühne 14 der Prüfstation 10
befestigt ist, wie in Fig. 1 gezeigt wird. Die Basis 56 ist
auf der Planarisierungsplatte 58 durch eine Anordnung von
Befestigungsschrauben 60 und einer Vielzahl von federnden
Unterlegscheiben 62 befestigt, die jeweils von den Befesti
gungsschrauben 60 gehalten werden. Die federnden Unterleg
scheiben 62 liegen zwischen der Basis 56 und der Planari
sierungsplatte 58 und üben eine Kraft aus, die die Basis 56
und die Planarisierungsplatte auseinanderhält. Die Planarität
der oberen Fläche des Vorrichtungsbefestigungsglieds 50
relativ zur Struktur der Prüfstation 10 kann durch Lockern
bzw. Festziehen einer oder mehrerer der Basisbefestigungs
schrauben 60 eingestellt werden.
Ein Handgriff (nicht dargestellt) kann an das Vorrichtungs
befestigungsglied 50 angebaut werden, um das Vorrichtungs
befestigungsglied 50 bequem von Hand drehen zu können. Die
Basis 56 und das drehende Vorrichtungsbefestigungsglied 50
können mit entsprechenden Markierungen versehen werden, um
den Drehwinkel anzuzeigen. Die Drehung von Hand ergibt eine
schnelle und zuverlässige Drehung des Vorrichtungsbefesti
gungsglieds 50, aber die Drehung kann auch durch einen kraft
betriebenen Motor und einen geeigneten Triebstrang (nicht
dargestellt) bewirkt werden. Die Positionierung eines kraft
betriebenen Vorrichtungsbefestigungsglieds 50 kann durch eine
bekannte Motor-Steuerungs- und Drehpositions-Rückkopplungs
vorrichtung gesteuert werden.
In der Ausführungsform des Spannfutters 12 in Fig. 2 wird
eine zu prüfende Vorrichtung (DUT) 64 mit Klammern 68 auf
einer Aufspannvorrichtung 66 aufgespannt. Die Aufspannvor
richtung 66 ist ihrerseits am Vorrichtungsbefestigungsglied
50 mit einem Schwalbenschwanzkeil befestigt, der in eine
entsprechende Schwalbenschwanznut im Vorrichtungsbefesti
gungsglied 50 paßt.
Auch andere Verfahren zum Befestigen der DUT 64 können an
gewandt werden. Zum Beispiel werden Wafers oft durch Vakuum
mittel auf der Oberfläche eines Spannfutters gehalten.
Öffnungen (nicht dargestellt) in der oberen Fläche des Vor
richtungsbefestigungsglieds 50 können über eine drehende Ver
bindung (nicht dargestellt) und Durchgänge im Vorrichtungs
befestigungsglied 50 und in der Welle 52 mit einer Vakuum
quelle (nicht dargestellt) verbunden werden. Wenn die Vakuum
quelle mit den Durchgängen verbunden ist, hält der Luftdruck
die DUT auf der Oberfläche des Vorrichtungsbefestigungsglieds
50 fest.
Da die Testpunkte der ICs in der Regel entlang rechtwinkligen
Koordinaten angeordnet sind, ist im allgemeinen während der
Prüfung die Drehung um Zuwächse von jeweils 90 Grad d. i. im
Quadrat erforderlich. Die Erfinder waren daher der Auffas
sung, daß eine schnelle Drehung der DUT 64 zu einem genauen,
jedoch angenäherten Theta-Winkel, gefolgt von einer Theta-
Winkel-Feineinstellung zum Ausrichten der Sonden und der
Kontaktpunkte die Leistungsfähigkeit der Prüfstation wesent
lich verbessern würde. Das Spannfutter 12 der vorliegenden
Erfindung beinhaltet ein mechanisches Indexiergerät, um eine
genaue Drehung des Vorrichtungsbefestigungsglieds 50 in eine
neue Position zu beschleunigen. Ein lösbarer Drehanschlag ist
vorgesehen, um die Drehung des Vorrichtungsbefestigungsglieds
50 zu indexieren. Ein von Hand betätigter Indexierstift 70
greift gleitend in eine Bohrung in dem Vorrichtungsbefesti
gungsglied 50 ein und wird durch eine Feder 72 in einer
vorgeschobenen Position vorgespannt. In der vorgeschobenen
Position greift der Indexierstift 70 in eine einer Vielzahl
Bohrungen 74 oder andere Oberflächen auf der Basis 56 ein. Um
das Vorrichtungsbefestigungsglied 50 zu drehen wird der
Indexierstift 70 aus der Bohrung 74 in der Basis 58 zurück
gezogen und gibt das Vorrichtungsbefestigungsglied 50 zur
Drehung frei. Der Indexierstift 70 kann in der zurückge
zogenen Stellung durch eine zweite Bewegung des Stifts, z. B.
eine Vierteldrehung, festgehalten werden und ermöglicht die
Spannfutterdrehung ohne Indexieren. Während die rechtwinklige
Anordnung der Testpunkte auf den ICs in 90-Grad- d. i.
Viertelkreiszuwächsen vorgenommen wird, ist das Indexieren
auch in anderen Winkelzuwächsen möglich durch Vorsehen von
Stiftaufnahmebohrungen 74 an anderen oder zusätzlichen
Stellen in der Basis 56. Der lösbare Drehanschlag könnte
andere Formen annehmen, einschließlich eines Drehanschlag
glieds, das beweglich an einem Element befestigt ist und in
das andere Element des Spannfutters 12 eingreift. Als alter
native Merkmale sind auch möglich ein hochfahrender Arm oder
ein federvorgespannter Stößel oder eine einrückbare Kugel
arretierung des Vorrichtungsbefestigungsglieds 50, der Welle
52 oder der Basis 56.
Das drehbare Spannfutter 12 der vorliegenden Erfindung umfaßt
auch ein drehbares Brems- und Stabilisierungssystem. Das
System ermöglicht das Verriegeln des Vorrichtungsbefesti
gungsglieds 50 in einer unendlichen Anzahl von Drehposi
tionen. Zusätzlich erhöht das System die Stabilität und die
Planheit der DUT 64 beim Prüfen. Das fördert die Leistungs
fähigkeit der Prüfstation durch Vermindern der erforderlichen
Feineinstellungen durch das Mikroskop. Eine O-Ring-Vakuum
dichtung 76 mit großem Durchmesser ist in einer O-Ring-Nut in
der unteren Fläche des Vorrichtungsbefestigungsglieds 50
eingelegt. Der elastische O-Ring 76 berührt die obere Fläche
der Basis 56 und bringt eine Trennkraft zwischen dem Vor
richtungsbefestigungsglied 50 und der Basis 52 auf. Während
der Drehung wird das Vorrichtungsbefestigungsglied 50 über
einen wesentlichen Teil seines Durchmessers durch den großen
O-Ring 76 getragen und erzeugt eine stabile Befestigung für
die DUT 64. Ferner ist die Ausrichtung des Vorrichtungs
befestigungsglieds 50 nicht abhängig von der Ausrichtung der
Haltewelle 52. Weit auseinanderliegende Lager und ein lange
Welle sind nicht erforderlich, was die Höhe des Spannfutters
12 reduziert.
Zusätzliche O-Ring-Vakuumdichtungen 78 und 80 sind in O-Ring-
Nuten in der Welle 52 zwischen der Welle 52 und der Buchse 54
zwecks Abdichtung eingesetzt. Die O-Ring-Vakuumdichtungen 76,
78 und 80 bilden eine abgedichtete Kammer 82 zwischen dem
Vorrichtungsbefestigungsglied 50 und der Basis 56. Eine
Durchführung 84 in der Basis 56 verbindet die abgedichtete
Kammer 82 mit einer Vakuumquelle (nicht dargestellt). Wenn
ein Steuerventil (nicht dargestellt) betätigt wird, wird Luft
aus der abgedichteten Kammer 82 abgesaugt und der Luftdruck,
der auf das Vorrichtungsbefestigungsglied 50 einwirkt, drückt
das Vorrichtungsbefestigungsglied 50 in Berührung mit der
Basis 56. Mit anderen Worten, das Vorrichtungsbefestigungs
glied 50, die Basis 56, und die Dichtungen 78, 80 und 76
bilden ein Stellglied, das auf Veränderungen im Strömungs
mitteldruck anspricht. Reibung zwischen dem Vorrichtungs
befestigungsglied 50, der O-Ringdichtung 76 und der Basis 56
verzögert die Drehung des Vorrichtungsbefestigungsglieds 50
und blockiert es in seiner Stellung. Der elastische O-Ring 76
wird zusammengedrückt, wenn das Vorrichtungsbefestigungsglied
50 und die Basis 56 zusammengedrückt werden und das Vorrich
tungsbefestigungsglied 50 wird über einen wesentlichen Teil
seines Oberflächenbereichs gehalten, wenn die Bremse angelegt
wird. Die planare Ausrichtung der oberen Fläche der Basis 56
wird mit den Schrauben 60 eingestellt, die die Basis auf der
Planierungsplatte 58 haltern. Die planare Ausrichtung d. i.
Planheit der oberen Fläche des Vorrichtungsbefestigungsglieds
50 wird festgelegt durch die Parallelität der oberen und
unteren Fläche des Vorrichtungsbefestigungsglieds 50 und
hängt nicht von der Ausrichtung der Welle 52 relativ zum
Vorrichtungsbefestigungsglied 50 ab. Daraus ergibt sich, daß
die Abweichung in der planaren Ausrichtung der Befestigung
für die zu prüfende Vorrichtung minimiert wird durch die
Fähigkeit zur Steuerung der Parallelität der oberen und der
unteren Fläche des Vorrichtungsbefestigungsglieds 50, und
eine verhältnismäßig kurze Welle 52 kann benutzt werden zum
Einsetzen des Vorrichtungsbefestigungsglieds 50 unter
Minimieren der Höhe des Drehspannfutters und Minimieren der
Abweichung der planaren Ausrichtung des Vorrichtungsbefesti
gungsglieds 50, und damit vermeidet die DUT eine häufige
Neuscharfeinstellung der Optik, wenn die DUT gedreht oder
verschoben wird. Die Minimierung der Höhe des drehenden
Spannfutters ermöglicht den Einbau des Spannfutters 12 in
einer Prüfstation, die für ein nichtdrehendes Spannfutter
konstruiert ist.
Nehmen wir jetzt Bezug auf Fig. 3; in einem alternativen
Aufbau wird das Vorrichtungsbefestigungsglied 92 des
Spannfutters 90 direkt von der Oberfläche der Basis 94
getragen. Eine O-Ringdichtung 96, die in einer O-Ringnut in
einer Vergrößerung der Basis 94 gehalten wird, lagert drehbar
das Vorrichtungsbefestigungsglied 92. Während der Drehung
wird das Vorrichtungsbefestigungsglied 92 von der Basis 94
über den Durchmesser des Vorrichtungsbefestigungsglieds 92
getragen, das eine steife Halterung und stabile planare Aus
richtung vorsieht. Ein zweiter O-Ring 98 dichtet einen ring
förmigen Raum zwischen einer oberen Fläche des Vorrichtungs
befestigungsglieds 92 und der Vergrößerung der Basis 94 ab.
Wenn durch eine Durchführung 100 an den abgedichteten ring
förmigen Raum ein Vakuum gelegt wird, wird das Vorrichtungs
befestigungsglied 92 nach oben zur Vergrößerung der Basis 94
gezogen, unter Zusammendrücken des O-Rings 98. Als Ergebnis
wird eine Bremskraft über einen ringförmigen Bereich von in
etwa dem Durchmesser der oberen Fläche des Vorrichtungs
befestigungsglieds 92 angelegt und die Planheit des Vorrich
tungsbefestigungsglieds wird bestimmt durch die Ebenheit der
Oberfläche. Die ungefähre Indexierung der Drehung des Vor
richtungsbefestigungsglieds wird vorgesehen durch eine
einrückbare Kugelarretierung, die eine Feder 102 aufweist,
die eine Kugel 104 in Berührung mit einer Vertiefung in der
unteren Fläche des Vorrichtungsbefestigungsglieds 92 auf
weist. Zusätzlich wird ein Haltestift 106 mit einer konischen
Spitze in einer Bohrung im Vorrichtungsbefestigungsglied 92
gleitend angeordnet. Der Fixierstift 106 wird in einer
zurückgezogenen Position gehalten durch eine Feder 108, die
von einem Sprengring 110 gehalten wird. Der Fixierstift 106
wird von einem O-Ring 112 abgedichtet. Wenn an die Kammer,
die vom Vorrichtungsbefestigungsglied 92 und der Basis 94
gebildet wird, ein Vakuum gelegt wird, wird der Fixierstift
106 in Berührung mit einer konisch ausgebildeten Vertiefung
114 in Vorrichtungsbefestigungsglied 92 gezogen und bewirkt
eine endgültige Dreheinstellung des Vorrichtungsbefestigungs
glieds 92.
Vakuum ist eine geeignete Energiequelle zum Betätigen des
Brems- und Stabilisierungssystems weil Vakuum oft zum Fest
spannen der Wafers und anderer DUTs auf dem Spannfutter
benutzt wird. Jedoch kann ein gesteigerter Strömungsmittel
druck benutzt werden, um den Brems- und Stabilisierungs
mechanismus zu betätigen. Wie in Fig. 4 gezeigt wird, kann
die O-Ringdichtung mit großem Durchmesser 120 in einem
Dichtring 122 eingelegt werden, der an der Peripherie der
Basis 56 befestigt ist. Ein zweiter O-Ring 124 kann benutzt
werden zum Dichten zwischen dem Dichtring 122 und der Basis
56. Die Dichtungen 91 und 90 in Zusammenarbeit mit Dichtungen
auf der Welle (nicht dargestellt) bilden eine abgedichtete
Strömungsmittelkammer 126 zwischen der Vorrichtungsbefesti
gungsplatte 50 und der Basis 56. Wenn unter Druck stehendes
Strömungsmittel in die Kammer 126 geleitet wird, wird die
ober Fläche der Vorrichtungsbefestigungsplatte 50 nach oben
gegen die Dichtung 120 und den Dichtring 122 gedrückt. Mit
dieser Anordnung wird die Planheit der oberen Fläche des
Vorrichtungsbefestigungsglieds 50 bestimmt durch die Ebenheit
dieser Oberfläche.
Alle oben zitierten Referenzen werden durch Querverweis hier
mit aufgenommen.
Die in der obigen Beschreibung verwendeten Darstellungen und
Ausdrücke wurden nur beschreibend und nicht einschränkend
verwendet, ferner ist nicht beabsichtigt, äquivalente Be
zeichnungen der gezeigten und beschriebenen Merkmale ganz
oder teilweise auszuschließen, es wird anerkannt, daß der
Umfang der Erfindung nur durch die nachstehenden Ansprüche
definiert und eingeschränkt wird.
Claims (21)
1. Ein Spannfutter für eine Prüfstation enthaltend:
- a) Eine an der Prüfstation befestigte Basis;
- b) eine in der Basis drehbar montierte Welle; und
- c) ein Vorrichtungsbefestigungsglied, befestigt an der Dreh welle zur Drehung mit dieser, und mit einer planaren Ausrich tung relativ zur Basis, im wesentlichen unabhängig von der Ausrichtung der Welle gegenüber dem Vorrichtungsbefestigungs glied.
2. Das Gerät gemäß Anspruch 1, ferner enthaltend einen
lösbaren, die Drehung beschränkenden Anschlag des Vorrich
tungsbefestigungsglieds.
3. Das Gerät gemäß Anspruch 2, in dem der lösbare Anschlag
ein Anschlagsglied enthält, das auf einem der Vorrichtungs
befestigungsglieder und der Basis beweglich befestigt ist und
zum selektiven Eingriff mit einer Oberfläche des anderen der
Vorrichtungsbefestigungsglieder und der Basis angeordnet ist.
4. Das Gerät gemäß Anspruch 2, in dem der lösbare Anschlag
so angeordnet ist, daß er die Drehung des Vorrichtungs
befestigungsglieds auf Viertelkreiszuwächse beschränkt.
5. Das Gerät gemäß Anspruch 1, ferner enthaltend:
- a) Eine Dichtung, die zusammen mit der Basis und dem Vor richtungsbefestigungsglied eine Strömungsmittelkammer definiert; und
- b) eine Strömungsmitteldrucksteuerung zum Verändern eines Strömungsmitteldrucks in der Strömungsmittelkammer, der die Berührung zwischen dem Vorrichtungsbefestigungsglied und der Basis erzwingt.
6. Das Gerät gemäß Anspruch 1, das ferner ein elastisches
Glied umfaßt, das eine planare Ausrichtung des Vorrichtungs
befestigungsglieds relativ zur Basis definiert.
7. Ein Spannfutter für eine Prüfstation enthaltend:
- a) Eine an der Prüfstation befestigte Basis;
- b) ein Vorrichtungsbefestigungsglied, das drehbar auf der Basis befestigt ist; und
- c) einen Drehanschlag, der lösbar die Drehung des Vorrich tungsbefestigungsglieds relativ zur Basis beschränkt.
8. Das Gerät gemäß Anspruch 7, in dem der Drehanschlag ein
Anschlagglied enthält, das beweglich auf einem Vorrichtungs
befestigungsglied und der Basis montiert ist und zum wahl
weisen Eingriff in eine Oberfläche des anderen Vorrichtungs
befestigungsglieds und der Basis angeordnet ist.
9. Das Gerät gemäß Anspruch 7, in dem der Drehanschlag
umfaßt:
- a) Eine Steuerung zum Verändern eines Strömungsmitteldrucks; und
- b) einen Stellantrieb, der die Berührung des Vorrichtungs befestigungsglieds und der Basis als Reaktion auf die Ver änderung des Strömungsmitteldrucks erzwingt.
10. Das Gerät gemäß Anspruch 9, in dem der Stellantrieb
umfaßt:
- a) Eine Oberfläche des Vorrichtungsbefestigungsglieds;
- b) eine Oberfläche der Basis; und
- c) eine Dichtung, die eine Strömungsmittelkammer zwischen dem Vorrichtungsbefestigungsglied und der Basis definiert.
11. Ein drehbares Spannfutter für eine Prüfstation, ent
haltend:
- a) eine Basis, die an der Prüfstation befestigt ist;
- b) ein Vorrichtungsbefestigungsglied, das drehbar an der Basis befestigt ist; und
- c) ein elastisches Glied in Berührung mit der Basis und dem Vorrichtungsbefestigungsglied.
12. Das Gerät gemäß Anspruch 11, das ferner einen Dreh
anschlag umfaßt, der an einem, der Basis und dem Vorrich
tungsbefestigungsglied, beweglich befestigt ist und in das
jeweils andere, die Basis und das Vorrichtungsbefestigungs
glied, lösbar eingreift.
13. Das Gerät gemäß Anspruch 12, in dem der drehbare An
schlag so angeordnet ist, daß er die Drehung des Vorrich
tungsbefestigungsglieds auf Viertelkreiszuwächse beschränkt.
14. Ein drehbares Spannfutter für eine Prüfstation, ent
haltend:
- a) Eine an der Prüfstation befestigte Basis;
- b) ein Vorrichtungsbefestigungsglied, das drehbar auf der Basis befestigt ist;
- c) ein elastisches Dichtglied, das in Berührung mit der Basis und dem Vorrichtungsbefestigungsglied steht und eine Kammer mit einem Querschnitt von etwa einem wesentlichen Teil eines Ausmaßes der Oberfläche des Vorrichtungsbefestigungs glieds abdichtet;
- d) eine Strömungsmitteldrucksteuerung zum Verändern eines Strömungsmitteldrucks in der Strömungsmittelkammer, der die Berührung zwischen der Basis und dem Vorrichtungsbefesti gungsglied erzwingt; und
- e) einen lösbaren Drehanschlag, um die relative Drehung der Basis zum Vorrichtungsbefestigungsglied zu begrenzen.
15. Das Gerät gemäß Anspruch 14, in dem der Drehanschlag so
angeordnet ist, daß er die Drehung des Vorrichtungsbefesti
gungsglieds auf Viertelkreiszuwächse beschränkt.
16. Ein Spannfutter für eine Prüfstation enthaltend:
- a) Eine an der Prüfstation befestigte Basis; und
- b) ein Vorrichtungsbefestigungsglied, das von der Basis zur Drehung relativ dazu gezwungen wird.
17. Das Gerät gemäß Anspruch 16, das ferner einen lösbaren
Drehbegrenzungsanschlag des Vorrichtungsbefestigungsglieds
umfaßt.
18. Das Gerät gemäß Anspruch 17, in dem der lösbare Anschlag
ein Anschlagsglied enthält, das auf einem, dem Vorrichtungs
befestigungsglied und der Basis, beweglich befestigt ist und
zum selektiven Eingriff mit dem jeweils anderen, dem Vor
richtungsbefestigungsglied und der Basis, angeordnet ist.
19. Das Gerät gemäß Anspruch 17, in dem der lösbare Anschlag
so angeordnet ist, daß er die Drehung des Vorrichtungs
befestigungsglieds auf Viertelkreiszuwächse beschränkt.
20. Das Gerät gemäß Anspruch 1, ferner enthaltend:
- a) Eine Dichtung, die zusammen mit der Basis und dem Vor richtungsbefestigungsglied eine Strömungsmittelkammer definiert; und
- b) eine Strömungsmitteldrucksteuerung, zum Verändern eines Strömungsmitteldrucks in der Strömungsmittelkammer, der die Berührung zwischen dem Vorrichtungsbefestigungsglied und der Basis erzwingt.
21. Das Gerät gemäß Anspruch 16 das ferner ein elastisches
Glied umfaßt, das eine planare Ausrichtung des Vorrichtungs
befestigungsglieds relativ zur Basis definiert.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/564,591 US6483336B1 (en) | 2000-05-03 | 2000-05-03 | Indexing rotatable chuck for a probe station |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10121501A1 true DE10121501A1 (de) | 2002-03-14 |
Family
ID=24255101
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10121501A Withdrawn DE10121501A1 (de) | 2000-05-03 | 2001-05-03 | Drehbares Indexierungs-Spannfutter für eine Prüfstation |
DE20107526U Expired - Lifetime DE20107526U1 (de) | 2000-05-03 | 2001-05-03 | Drehbares Indexierungs-Spannfutter für eine Prüfstation |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE20107526U Expired - Lifetime DE20107526U1 (de) | 2000-05-03 | 2001-05-03 | Drehbares Indexierungs-Spannfutter für eine Prüfstation |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US6483336B1 (de) |
JP (1) | JP2002033374A (de) |
KR (1) | KR20010100974A (de) |
DE (2) | DE10121501A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1457298A1 (de) * | 2003-03-14 | 2004-09-15 | Bizerba GmbH & Co. KG | Ablegevorrichtung mit einem Drehteller für eine Aufschnittschneidemaschine |
DE102007005208A1 (de) * | 2007-01-29 | 2008-07-31 | Suss Microtec Test Systems Gmbh | Verfahren zum Prüfen elektronischer Bauelemente und Prüfvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
DE102007054698B4 (de) * | 2006-11-17 | 2017-02-16 | Cascade Microtech, Inc. | Prüfstation und Verfahren zur Prüfung von Testsubstraten unter Verwendung der Prüfstation |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6445202B1 (en) | 1999-06-30 | 2002-09-03 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current |
US6483336B1 (en) * | 2000-05-03 | 2002-11-19 | Cascade Microtech, Inc. | Indexing rotatable chuck for a probe station |
US6965226B2 (en) | 2000-09-05 | 2005-11-15 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
US6914423B2 (en) | 2000-09-05 | 2005-07-05 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
JP3891798B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2007-03-14 | 松下電器産業株式会社 | プローブ装置 |
JP3972195B2 (ja) * | 2002-09-13 | 2007-09-05 | 株式会社安川電機 | 真空用モータ |
US7492172B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
US7250626B2 (en) | 2003-10-22 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe testing structure |
US7187188B2 (en) | 2003-12-24 | 2007-03-06 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck with integrated wafer support |
US7200509B2 (en) * | 2004-05-18 | 2007-04-03 | Circuit Check | Vacuum chamber with two-stage longitudinal translation for circuit board testing |
US7786442B2 (en) * | 2004-06-18 | 2010-08-31 | General Electric Company | Method and apparatus for ion source positioning and adjustment |
JP4526890B2 (ja) * | 2004-07-08 | 2010-08-18 | シグマ光機株式会社 | 回転ステージ |
KR100698377B1 (ko) * | 2004-08-14 | 2007-03-28 | 아이원스 주식회사 | 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치 |
US7258348B2 (en) * | 2004-12-16 | 2007-08-21 | General Electric Company | Machining fixture for centering and holding workpiece |
US7656172B2 (en) | 2005-01-31 | 2010-02-02 | Cascade Microtech, Inc. | System for testing semiconductors |
US7535247B2 (en) | 2005-01-31 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Interface for testing semiconductors |
US20060249000A1 (en) * | 2005-05-03 | 2006-11-09 | Meredith Daryl S | Miter assembly for miter saws |
JP2007042911A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ |
US7511510B2 (en) * | 2005-11-30 | 2009-03-31 | International Business Machines Corporation | Nanoscale fault isolation and measurement system |
US7282930B2 (en) * | 2005-12-21 | 2007-10-16 | Suss Microtec Test Systems Gmbh | Device for testing thin elements |
MY158281A (en) * | 2007-02-23 | 2016-09-30 | Intest Corp | Test head manipulator |
DE102007043845A1 (de) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Carl Zeiss Surgical Gmbh | Vorrichtung zur Drehwinkelbegrenzung eines drehbar gelagerten Objekts sowie optische Beobachtungseinrichtung |
EP2159580B1 (de) * | 2008-08-26 | 2015-10-07 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Sondenspitze |
US8319503B2 (en) | 2008-11-24 | 2012-11-27 | Cascade Microtech, Inc. | Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test |
US7797852B2 (en) * | 2008-12-09 | 2010-09-21 | David Davila | Support devices and kits for piston rings |
US9007084B2 (en) | 2010-06-15 | 2015-04-14 | International Business Machines Corporation | Support structure for installation of a component assembly housed in a rotating, translating carriage chassis |
JP5889581B2 (ja) | 2010-09-13 | 2016-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
JP5675239B2 (ja) * | 2010-09-15 | 2015-02-25 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 |
US8988087B2 (en) | 2011-01-24 | 2015-03-24 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Touchscreen testing |
US9965094B2 (en) | 2011-01-24 | 2018-05-08 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Contact geometry tests |
US9785281B2 (en) | 2011-11-09 | 2017-10-10 | Microsoft Technology Licensing, Llc. | Acoustic touch sensitive testing |
US9317147B2 (en) * | 2012-10-24 | 2016-04-19 | Microsoft Technology Licensing, Llc. | Input testing tool |
US20140184003A1 (en) * | 2012-12-31 | 2014-07-03 | Cascade Microtech, Inc. | Systems and methods for rotational alignment of a device under test |
CN103465197B (zh) * | 2013-09-22 | 2015-06-17 | 吴江市博众精工科技有限公司 | 一种自动夹紧测试模组 |
US10087999B2 (en) * | 2015-08-19 | 2018-10-02 | GM Global Technology Operations LLC | Tooling pivot |
CN106054050B (zh) * | 2016-06-08 | 2019-07-12 | 昂纳信息技术(深圳)有限公司 | 半导体器件的测试装置 |
CN106239360B (zh) * | 2016-10-11 | 2018-10-19 | 天津方准因特雷准科技有限公司 | 一种铸造件毛边打磨机用自动上料装卡装置 |
KR102518220B1 (ko) * | 2016-11-09 | 2023-04-04 | 티이엘 매뉴팩처링 앤드 엔지니어링 오브 아메리카, 인크. | 공정 챔버에서 마이크로전자 기판을 처리하기 위한 자기적으로 부상되고 회전되는 척 |
TWI765936B (zh) | 2016-11-29 | 2022-06-01 | 美商東京威力科創Fsi股份有限公司 | 用以對處理腔室中之微電子基板進行處理的平移與旋轉夾頭 |
JP7177069B2 (ja) | 2017-01-27 | 2022-11-22 | ティーイーエル マニュファクチュアリング アンド エンジニアリング オブ アメリカ,インコーポレイテッド | 基板をプロセスチャンバ内で回転及び並進するためのシステム及び方法 |
US10345136B2 (en) | 2017-07-14 | 2019-07-09 | International Business Machines Corporation | Adjustable load transmitter |
US10527649B2 (en) | 2017-07-14 | 2020-01-07 | International Business Machines Corporation | Probe card alignment |
CN111937128A (zh) | 2018-02-19 | 2020-11-13 | 东京毅力科创美国制造与工程公司 | 具有可控射束大小的处理喷雾的微电子处理系统 |
CN108481086B (zh) * | 2018-03-26 | 2023-11-03 | 宁波迈途机械科技有限公司 | 一种分度卡盘 |
CN108896223B (zh) * | 2018-05-02 | 2020-11-10 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种应力测试装夹装置 |
US11545387B2 (en) | 2018-07-13 | 2023-01-03 | Tel Manufacturing And Engineering Of America, Inc. | Magnetic integrated lift pin system for a chemical processing chamber |
CN109807774B (zh) * | 2019-03-08 | 2023-08-25 | 聊城大学 | 一种旋转定向仪 |
CN110542795B (zh) * | 2019-09-17 | 2024-02-13 | 资阳中车电气科技有限公司 | 轨道交通车车钩连接器接触电阻检测辅助工装及使用方法 |
CN112643580B (zh) * | 2020-12-22 | 2023-05-23 | 诸暨市金戋机械有限公司 | 一种三球销加工用多角度定位夹具 |
CN113035380B (zh) * | 2021-02-25 | 2024-01-26 | 安徽理工大学 | 一种用于磁约束核聚变装置的弹出式偏滤器探针系统 |
CN113009320B (zh) * | 2021-03-01 | 2024-03-29 | 深圳市容微精密电子有限公司 | 一种可用于高频测试的光学芯片检测座 |
CN113945735A (zh) * | 2021-10-20 | 2022-01-18 | 江苏振华新云电子有限公司 | 一种片式钽电解电容器加工试验室的测试夹具装置及方法 |
CN114083456A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-25 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 无钉化大功率微波射频器件测试夹具 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3936743A (en) * | 1974-03-05 | 1976-02-03 | Electroglas, Inc. | High speed precision chuck assembly |
US5479108A (en) * | 1992-11-25 | 1995-12-26 | David Cheng | Method and apparatus for handling wafers |
US5676360A (en) * | 1995-07-11 | 1997-10-14 | Boucher; John N. | Machine tool rotary table locking apparatus |
US5685232A (en) * | 1993-10-19 | 1997-11-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning stage device exposure apparatus and device manufacturing method utilizing the same |
US5982166A (en) * | 1997-01-27 | 1999-11-09 | Motorola, Inc. | Method for measuring a characteristic of a semiconductor wafer using cylindrical control |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2389668A (en) | 1943-03-04 | 1945-11-27 | Barnes Drill Co | Indexing mechanism for machine tables |
US3829076A (en) | 1972-06-08 | 1974-08-13 | H Sofy | Dial index machine |
US4038894A (en) | 1975-07-18 | 1977-08-02 | Springfield Tool And Die, Inc. | Piercing apparatus |
US4049252A (en) | 1976-02-04 | 1977-09-20 | Bell Theodore F | Index table |
US4008900A (en) | 1976-03-15 | 1977-02-22 | John Freedom | Indexing chuck |
US4284033A (en) | 1979-10-31 | 1981-08-18 | Rca Corporation | Means to orbit and rotate target wafers supported on planet member |
JPS59226167A (ja) | 1983-06-04 | 1984-12-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板表面処理装置 |
US4755746A (en) | 1985-04-24 | 1988-07-05 | Prometrix Corporation | Apparatus and methods for semiconductor wafer testing |
US4673839A (en) * | 1986-09-08 | 1987-06-16 | Tektronix, Inc. | Piezoelectric pressure sensing apparatus for integrated circuit testing stations |
US4904933A (en) * | 1986-09-08 | 1990-02-27 | Tektronix, Inc. | Integrated circuit probe station |
JP2554669Y2 (ja) | 1987-11-10 | 1997-11-17 | 博 寺町 | 回転位置決め装置 |
US4963364A (en) | 1989-04-10 | 1990-10-16 | Fox Sidney W | Microencapsulated antitumor agent |
US5321352A (en) | 1991-08-01 | 1994-06-14 | Tokyo Electron Yamanashi Limited | Probe apparatus and method of alignment for the same |
JP3346838B2 (ja) | 1993-06-29 | 2002-11-18 | 有限会社創造庵 | 回転運動機構 |
JP3395264B2 (ja) | 1993-07-26 | 2003-04-07 | 東京応化工業株式会社 | 回転カップ式塗布装置 |
US5669316A (en) | 1993-12-10 | 1997-09-23 | Sony Corporation | Turntable for rotating a wafer carrier |
US5611946A (en) * | 1994-02-18 | 1997-03-18 | New Wave Research | Multi-wavelength laser system, probe station and laser cutter system using the same |
US5883522A (en) | 1996-11-07 | 1999-03-16 | National Semiconductor Corporation | Apparatus and method for retaining a semiconductor wafer during testing |
US5959461A (en) * | 1997-07-14 | 1999-09-28 | Wentworth Laboratories, Inc. | Probe station adapter for backside emission inspection |
US6483336B1 (en) * | 2000-05-03 | 2002-11-19 | Cascade Microtech, Inc. | Indexing rotatable chuck for a probe station |
-
2000
- 2000-05-03 US US09/564,591 patent/US6483336B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-05-03 DE DE10121501A patent/DE10121501A1/de not_active Withdrawn
- 2001-05-03 DE DE20107526U patent/DE20107526U1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-03 KR KR1020010024067A patent/KR20010100974A/ko not_active Application Discontinuation
- 2001-05-07 JP JP2001136081A patent/JP2002033374A/ja active Pending
-
2002
- 2002-06-24 US US10/179,796 patent/US6771090B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-05-28 US US10/856,279 patent/US6885197B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-01-25 US US11/043,475 patent/US20050127927A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3936743A (en) * | 1974-03-05 | 1976-02-03 | Electroglas, Inc. | High speed precision chuck assembly |
US5479108A (en) * | 1992-11-25 | 1995-12-26 | David Cheng | Method and apparatus for handling wafers |
US5685232A (en) * | 1993-10-19 | 1997-11-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning stage device exposure apparatus and device manufacturing method utilizing the same |
US5676360A (en) * | 1995-07-11 | 1997-10-14 | Boucher; John N. | Machine tool rotary table locking apparatus |
US5982166A (en) * | 1997-01-27 | 1999-11-09 | Motorola, Inc. | Method for measuring a characteristic of a semiconductor wafer using cylindrical control |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1457298A1 (de) * | 2003-03-14 | 2004-09-15 | Bizerba GmbH & Co. KG | Ablegevorrichtung mit einem Drehteller für eine Aufschnittschneidemaschine |
DE102007054698B4 (de) * | 2006-11-17 | 2017-02-16 | Cascade Microtech, Inc. | Prüfstation und Verfahren zur Prüfung von Testsubstraten unter Verwendung der Prüfstation |
DE102007005208A1 (de) * | 2007-01-29 | 2008-07-31 | Suss Microtec Test Systems Gmbh | Verfahren zum Prüfen elektronischer Bauelemente und Prüfvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010100974A (ko) | 2001-11-14 |
JP2002033374A (ja) | 2002-01-31 |
US20050127927A1 (en) | 2005-06-16 |
US6885197B2 (en) | 2005-04-26 |
DE20107526U1 (de) | 2001-08-30 |
US20040217530A1 (en) | 2004-11-04 |
US6483336B1 (en) | 2002-11-19 |
US6771090B2 (en) | 2004-08-03 |
US20020153877A1 (en) | 2002-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10121501A1 (de) | Drehbares Indexierungs-Spannfutter für eine Prüfstation | |
DE10392404T5 (de) | Messkopfausrichtungsvorrichtung | |
DE3926949C2 (de) | Bühnenmechanismus für ein Wafer-Belichtungsgerät | |
DE3706327C2 (de) | Bewegliche Verbundtischanordnung für die fotolithografische Herstellung | |
DE60025618T2 (de) | Kassette zum einbrennen und testen eines wafers | |
DE2627408A1 (de) | Pruefvorrichtung fuer halbleiterscheiben | |
EP1997582B1 (de) | Verfahren zum Eichen eines Aufspanntisches | |
WO2006089742A2 (de) | Antriebseinheit für ein bewegbares funktionselement | |
EP0496088B1 (de) | Verfahren zum Messen von Werkstücken | |
DE1911908C3 (de) | Einrichtung zum meßbaren Verschieben eines Objektes | |
EP1390792A2 (de) | Positioniereinrichtung | |
DE102004030881B4 (de) | Verfahren und Prober zur Kontaktierung einer Kontakfläche mit einer Kontaktspitze | |
DE19853092B4 (de) | Übernahme- und Haltesystem für ein Substrat | |
DE4138731C2 (de) | Belichtungsvorrichtung | |
DE102004013707B9 (de) | Vorrichtung zum Testen von Substraten | |
DE2747439A1 (de) | Vorrichtung zum ueberdecken von masken und substratscheiben | |
DE202005002728U1 (de) | Positionierungseinrichtung für den Chuck eines Probers | |
DE202022106067U1 (de) | Positioniertisch zum Positionieren eines Objekts | |
EP0630715B1 (de) | Bearbeitungsvorrichtung zum Bearbeiten eines Endes eines Rohres | |
EP1881332A2 (de) | Positioniereinheit für optische und/oder elektrische Prüfsysteme | |
AT501001B1 (de) | Plattenförmiges justierelement zur parallelen ausrichtung einer halbleiterscheibe gegenüber einer projektions-belichtungsmaske | |
DE2034635A1 (de) | Meß und Zentriervorrichtung zur Bestimmung von Lage und Maßabweichungen | |
EP0378143A3 (de) | Magnetische Spannvorrichtung zur Positionierung eines Geräts | |
DE10137664A1 (de) | Halbleiterprüfvorrichtung | |
DD286316A5 (de) | Schnellpositionierbarer koordinatentisch |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |