DE10139924A1 - Method for producing light-scattering bodies like lens arrays/mirror devices uses a primary substrate area and conversion range as a matrix/form for a secondary substrate to be detached later from the primary substrate when solid. - Google Patents

Method for producing light-scattering bodies like lens arrays/mirror devices uses a primary substrate area and conversion range as a matrix/form for a secondary substrate to be detached later from the primary substrate when solid.

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DE10139924A1 DE2001139924 DE10139924A DE10139924A1 DE 10139924 A1 DE10139924 A1 DE 10139924A1 DE 2001139924 DE2001139924 DE 2001139924 DE 10139924 A DE10139924 A DE 10139924A DE 10139924 A1 DE10139924 A1 DE 10139924A1
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Hans-Juergen Butt
Karlheinz Graf
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Abstract

A primary substrate area with its primary conversion range with a complementary profile (50a') acts as a matrix/form for a secondary substrate (12). After solidifying, the secondary substrate area can be detached again from the surface of the primary substrate area and then act as a light-scattering body with its top (12a) and bottom (12b) sides and a complementary/secondary conversion range (50') formed in a corresponding target area (30').

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Lichtstreukörpern und insbesondere ein Verfahren zum Herstellen von Lichtstreukörpern mit oder in Form von Linsenelementen, Spiegelelementen oder dergleichen und/oder von Anordnungen davon. The invention relates to a method for producing Light scattering bodies and in particular a method for producing Light scattering bodies with or in the form of lens elements, Mirror elements or the like and / or arrangements thereof.

Linsen, oder allgemein Lichtstreukörper, im Mikrometerbereich, also unterhalb von einem Durchmesser von etwa 1 mm, finden vielfältige Anwendungen zum Beispiel in der Optoelektronik, und sie sind essentiell zur Miniaturisierung optischer Bauteile. Sogenannte Arrays von Mikrolinsen werden zum Beispiel in Laserdruckern, Kopiermaschinen, Geräten der Telekommunikation und auch für abbildende optische Verfahren und andere Applikationen verwendet und eingesetzt. Lenses, or generally light scattering bodies, in the micrometer range, that is, below a diameter of about 1 mm diverse applications, for example in optoelectronics, and they are essential for miniaturizing optical ones Components. So-called arrays of microlenses are, for example, in Laser printers, copiers, telecommunications equipment and also for imaging optical processes and others Applications used and used.

Bekannte Herstellungsverfahren für derartige Lichtstreukörper im Mikrometerbereich lassen sich in zwei Gruppen unterteilen. Die Verfahren der ersten Gruppe kennzeichnen sich dadurch, dass das jeweilige Material, aus dem der Lichtstreukörper gebildet werden soll, in portionierter Art und Weise auf einen Träger aufgebracht wird, um dort zum Beispiel auszuhärten und seine Form zu erhalten. Bei der anderen Klasse von Verfahren wird aus einem Bulkmaterial das jeweilige Lichtstreukörperelement durch geeignete mechanische, optische oder chemische Verfahren herausgetrennt und dabei, zum Beispiel thermisch, in Form gebracht. Known manufacturing methods for such light scattering bodies in the micrometer range can be divided into two groups. The procedures of the first group are characterized by that the particular material from which the light scattering body is to be formed in a portioned manner on one Carrier is applied, for example, to harden and to get its shape. The other class of procedures becomes the respective from a bulk material Light scattering element by suitable mechanical, optical or chemical Process separated and thereby, for example thermally, in Formed.

Nachteilig bei all diesen bekannten Verfahren ist der relativ große maschinelle und ggf. personelle Aufwand, welcher für die reproduzierbare Herstellung notwendig ist. The disadvantage of all these known methods is that they are relative great mechanical and possibly personnel expenditure, which for the reproducible production is necessary.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen von Lichtstreukörpern anzugeben, bei welchem auf besonders einfache und zuverlässige Art und Weise Lichtstreukörper mit definierten und reproduzierbaren Eigenschaften hergestellt werden können. The invention has for its object a method for Manufacture of light scattering bodies to indicate which one particularly simple and reliable way Light scattering body with defined and reproducible properties can be produced.

Gelöst wird diese Aufgabe bei einem Verfahren zum Herstellen von Lichtstreukörpern mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen von Lichtstreukörpern sind Gegenstand der abhängigen Unteransprüche. This task is solved in a manufacturing process of light diffusers with the characteristic features of the Claim 1. Advantageous further developments of are inventive method for producing light scattering bodies Subject of the dependent subclaims.

Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen von Lichtstreukörpern, insbesondere von Linsenelementen, Spiegelelementen oder dergleichen und/oder von Anordnungen davon sieht vor, dass zunächst ein Primärsubstratbereich aus einem Primärsubstratmaterial mit mindestens einem Oberflächenbereich sowie mindestens ein im Wesentlichen fluides Bearbeitungsmedium bereitgestellt werden. Es wird mindestens ein Tropfenelement des Bearbeitungsmediums erzeugt und auf bzw. in den Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs in im Wesentlichen lokaler Art und Weise in einem Zielbereich des Primärsubstratbereichs aufgebracht und/oder eingebracht. Durch chemisches und/oder physikalisches Wechselwirken und/oder Umsetzen des Primärsubstratbereichs im Zielbereich mit dem Material des Tropfenelements wird jeweils ein primärer umgewandelter Bereich oder primärer Umwandlungsbereich im jeweiligen Zielbereich mit geänderten geometrischen, strukturellen, chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften ausgebildet. Dadurch wird insbesondere erreicht, dass im primären Umwandlungsbereich jeweils geänderte optische Eigenschaften oder dergleichen, vorzugsweise in im Wesentlichen sichtbaren elektromagnetischen Strahlungsbereich, ausgebildet werden, die dann nutzbringend bei der Verwendung als Lichtstreukörper eingesetzt werden können. The inventive method for producing Light scattering bodies, in particular of lens elements, mirror elements or the like and / or arrangements thereof provides that initially a primary substrate area from a Primary substrate material with at least one surface area as well at least one essentially fluid processing medium to be provided. At least one drop element of the Machining medium generated and on or in the Surface area of the primary substrate area in essentially local Way in a target area of the primary substrate area applied and / or introduced. By chemical and / or physical interaction and / or implementation of the Primary substrate area in the target area with the material of the Drop element becomes a primary transformed area or primary conversion area in the respective target area changed geometric, structural, chemical and / or physical properties. This will in particular achieved that in the primary conversion area changed optical properties or the like, preferably in essentially visible electromagnetic Radiation area, are formed, which are then beneficial can be used as light diffusers.

Es ist somit ein Kerngedanke der vorliegenden Erfindung, abweichend vom Stand der Technik, bei welchem das Material für den auszubildenden Lichtstreukörper in portionierter Art und Weise auf einem Träger vorgesehen und dort bearbeitet werden muss, eine bestimmte Menge eines Bearbeitungsmediums in Form eines Tropfens oder Tropfenelements auf oder in einen mit diesem Bearbeitungsmedium zu bearbeitenden Primärsubstratbereich aufzubringen und/oder dort einzubringen. Die Ausbildung des eigentlichen Lichtstreukörpers geschieht dann durch chemisches und/oder physikalisches Wechselwirken und/oder Umsetzen des Materials des Primärsubstratbereichs mit dem Material des Bearbeitungsmediums in Form des Tropfenelements. Dadurch wird ein primärer Umwandlungsbereich in einem Zielbereich des Oberflächenbereichs des Primärsubstratbereichs geschaffen. Dieser primäre Umwandlungsbereich wird mit geänderten geometrischen, strukturellen, chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften ausgebildet, insbesondere mit geänderten optischen Eigenschaften. Diese ergeben sich insbesondere durch die Form des Tropfenelements und insbesondere durch die Form des Tropfenelements während des Aufbringens oder Einbringens des Tropfenelements auf bzw. in den Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs. It is thus a key concept of the present invention deviating from the prior art, in which the material for the light scattering body to be trained in a portioned manner and Way provided on a carrier and processed there must, a certain amount of a processing medium in the form of a drop or drop element on or in one with this processing medium to be processed primary substrate area apply and / or introduce there. Training the The actual light scattering body then happens through chemical and / or physical interaction and / or implementation of the Material of the primary substrate area with the material of the Machining medium in the form of the drop element. This will a primary conversion area in a target area of the Surface area of the primary substrate area created. This primary conversion area is changed with geometric, structural, chemical and / or physical Properties formed, especially with changed optical Characteristics. These result in particular from the shape of the Drop element and in particular by the shape of the Drop element during the application or introduction of the Drop element on or in the surface area of the Primary substrate region.

Besonders übersichtlich und einfach gestaltet sich das erfindungsgemäße Verfahren, wenn ein Primärsubstratbereich mit zumindest teilweise und/oder abschnittsweise im Wesentlichen planar ausgebildeten Oberflächenbereich verwendet wird. Hier bieten sich insbesondere in bevorzugter Weise planparallele Substrate, vorzugsweise in Plattenform an. This is particularly clear and simple Method according to the invention if a primary substrate area with at least partially and / or in sections essentially planar surface area is used. Here offer plane-parallel in particular in a preferred manner Substrates, preferably in plate form.

Der Primärsubstratbereich wird in vorteilhafter Weise im Wesentlichen festkörperartig gewählt, es sind aber auch andere Aggregatzustände oder Zwischenaggregatzustände denkbar, so lange die mechanischen Eigenschaften des Materials des Primärsubstratbereichs ausreichend sind, für die Dauer der Bearbeitung eine hinreichende mechanische Stabilität zu gewährleisten. The primary substrate area is advantageously in the Chosen essentially solid, but there are also others Physical states or intermediate aggregate states conceivable, see above long the mechanical properties of the material of the Primary substrate area are sufficient for the duration of the Machining sufficient mechanical stability guarantee.

Grundsätzlich ist die Festkörperform aber nicht zwingend, sondern es können auch mehr oder weniger zähe und/oder elastische Materialien verwendet werden, zum Beispiel in Form von Gelen, unterkühlten Flüssigkeiten, Gläsern oder dergleichen. In principle, the solid shape is not mandatory, but it can also be more or less tough and / or elastic Materials are used, for example in the form of gels, supercooled liquids, glasses or the like.

Das Bearbeitungsmedium und insbesondere das jeweilige Tropfenelement sind als im Wesentlichen fluid gekennzeichnet, wobei auch hier unterschiedliche Ausgestaltungen im Hinblick auf unterschiedliche Viskositäten denkbar sind, z. B. als Flüssigkeiten, Gele und/oder dergleichen. The processing medium and in particular the respective one Droplet elements are marked as essentially fluid, with different configurations with regard to different viscosities are conceivable, e.g. B. as Liquids, gels and / or the like.

Grundsätzlich kann zwar mit der erfindungsgemäßen Vorgehensweise ein einzelner Lichtstreukörper erzeugt werden, insbesondere in lokaler Art und Weise auf dem Primärsubstratbereich. Das Verfahren lässt sich jedoch in vorteilhafter Weise auch bei der Ausbildung einer Mehrzahl von Lichtstreukörpern oder Elementen davon verwenden. Dabei ist es vorgesehen, dass eine Mehrzahl oder Vielzahl von Tropfenelementen auf bzw. in den Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs aufgebracht und/oder eingebracht wird, welche - insbesondere im Hinblick auf ihre geometrischen, strukturellen, chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften - im Wesentlichen gleichartig und/oder gleichwirkend ausgebildet werden. Basically, with the invention Procedure to generate a single light scattering body, especially in a local manner on the primary substrate area. However, the method can also be advantageously used in the formation of a plurality of light scattering bodies or Use elements of it. It is envisaged that a A plurality or a plurality of drop elements on or in the Surface area of the primary substrate area applied and / or is introduced, which - especially with regard on their geometric, structural, chemical and / or physical properties - essentially the same and / or have the same effect.

Dabei wird insbesondere die Mehrzahl oder Vielzahl von Tropfenelementen an vordefinierten Positionen und/oder mit vorgegebener zeitlicher Abfolge aufgebracht und/oder eingebracht. In particular, the plurality or plurality of Drop elements at predefined positions and / or with predefined time sequence applied and / or introduced.

Besonders einfach gestaltet sich das erfindungsgemäße Verfahren dann, wenn jeweils im Wesentlichen kugelförmige Tropfenelemente verwendet werden. Dies ist aber nicht zwingend, und es bieten sich gegebenenfalls andere geometrische Ausgestaltungsformen an. The inventive method is particularly simple Method if each is essentially spherical Drop elements can be used. But this is not mandatory and there may be other geometrical ones Design forms.

Ferner ist es von Vorteil, wenn Tropfenelemente mit jeweils einem Durchmesser d von unterhalb 1 mm verwendet werden, vorzugsweise im Bereich von etwa 1 µm bis etwa 100 µm. It is also advantageous if drop elements with each a diameter d of less than 1 mm can be used, preferably in the range from about 1 µm to about 100 µm.

Das Ausbilden der Tropfengeometrie, Tropfengröße, das Aufbringen, Einbringen und/oder das Wechselwirken des Primärsubstratbereichs mit dem jeweiligen Tropfenelement können gesteuert werden und/oder geregelt werden durch Beaufschlagen mit und/oder durch Variieren von einer Umgebungsatmosphäre, Temperaturverteilung, Druckverteilung, durch Beaufschlagen mit stationären oder statischen elektrischen und/oder magnetischen und/oder dynamischen elektromagnetischen Feldern, Schallfeldern und/oder mit Teilchenstrahlungsfeldern oder dergleichen. Diese Maßnahmen können alternativ oder in Kombination miteinander vorgesehen werden. Forming the drop geometry, drop size, that Application, introduction and / or interaction of the Primary substrate area with the respective drop element can be controlled be and / or be regulated by applying and / or by varying an ambient atmosphere, Temperature distribution, pressure distribution, by applying stationary or static electrical and / or magnetic and / or dynamic electromagnetic fields, Sound fields and / or with particle radiation fields or the like. These measures can alternatively or in combination be provided together.

Besonders vorteilhaft gestaltet sich das Ausbilden der Tropfengeometrie, Tropfengröße, und das Aufbringen, Einbringen und/oder Wechselwirken des jeweiligen Tropfenelements mit dem dem Primärsubstratbereich in gesteuerter und/oder geregelter Form durch Beaufschlagen mit und/oder durch Variieren von Trägheitskräften und/oder der Schwerkraft, insbesondere im Hinblick auf das Ausbilden von Mikrogravitation. Dazu ist es insbesondere vorgesehen, dass der Primärsubstratbereich und/oder das jeweilige Tropfenelement auf vorbestimmte und vordefinierte Art und Weise gemeinsam und/oder relativ zueinander bewegt werden, insbesondere vor, während und/oder nach dem Aufbringen und/oder Einbringen des Tropfenelements auf bzw. in den Primärsubstratbereich. Gerade im Hinblick auf das Ausbilden von Mikrogravitation können dann spezifische Materialeigenschaften oder Wechselwirkungsmechanismen des Bearbeitungsmediums mit dem Material des Primärsubstratbereichs eingesetzt und ausgenutzt werden. The formation of the is particularly advantageous Drop geometry, drop size, and the application, introduction and / or interaction of the respective drop element with the the primary substrate area in a controlled and / or regulated Shape by applying and / or by varying Inertia and / or gravity, especially in With regard to the formation of microgravity. It is for that in particular provided that the primary substrate area and / or the respective drop element to predetermined and predefined way together and / or relative are moved towards each other, especially before, during and / or after the application and / or introduction of the drop element or in the primary substrate area. Especially with regard to that Forming microgravity can then be specific Material properties or interaction mechanisms of the Machining medium with the material of the primary substrate area be used and exploited.

In Bezug auf das chemische und/oder physikalische Wechselwirken und/oder Umsetzen des Primärsubstratmaterials des Primärsubstratbereichs mit dem Bearbeitungsmedium des jeweiligen Tropfenelements werden diese Materialien aufeinander abgestimmt, ausgewählt und/oder verwendet. Regarding the chemical and / or physical Interact and / or implement the primary substrate material of the Primary substrate area with the processing medium of the respective These materials will drop on each other coordinated, selected and / or used.

Dabei kommen für das Primärsubstratmaterial alle diejenigen Materialien in Betracht, die durch das Bearbeitungsmedium entsprechend derart verändert werden, dass sich entsprechend Lichstreukörper bilden oder direktindirekt ausbilden lassen. All those come for the primary substrate material Materials considered by the processing medium be changed accordingly in such a way that accordingly Form light scattering bodies or have them formed directly and indirectly.

Insbesondere eigenen sich amorphe Festkörper, die durch Tropfen eines Lösungsmittels nach Aufbringen und Verdampfen des Lösungsmittels in rotationssymmetrische Lichtstreukörper geformt werden. Ein Beispiel für das Primärsubstratmaterial ist Polsstyrol, wobei dann Toluol als flüssiges Lösungsmittel verwendet werden kann. In particular, amorphous solids that are suitable for Drop of solvent after application and evaporation of the Solvent shaped into rotationally symmetrical light diffusers become. An example of the primary substrate material is Polstyrene, then toluene as a liquid solvent can be used.

Es bieten sich dazu verschiedene Wechselwirkungs- oder Umsetzungsmechanismen zwischen Bearbeitungsmedium und Primärsubstratmaterial an. There are various interaction or Implementation mechanisms between processing medium and Primary substrate material.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es vorgesehen, dass ein Bearbeitungsmedium gewählt und/oder verwendet wird, durch welches das Primärsubstratmaterial zumindest zum Teil lösbar ist. In a particularly preferred embodiment of the The method according to the invention provides that a Machining medium is selected and / or used, by which the Primary substrate material is at least partially detachable.

Dazu wird insbesondere ein Bearbeitungsmedium in Form eines flüchtigen und/oder insbesondere organischen Lösungsmittels vorgesehen. Beim Aufbringen eines Tropfenelements des Bearbeitungsmediums auf den Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs entsteht durch entsprechende chemische und/oder physikalische Wechselwirkung eine Lösung des Primärsubstratmaterials in dem aufgebrachten Lösungsmitteltropfen. Dies führt zu einer entsprechenden strukturellen Umwandlung im Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs. In particular, a processing medium in the form of a volatile and / or in particular organic solvent intended. When applying a drop element of Machining medium on the surface area of the Primary substrate area is created by appropriate chemical and / or physical interaction a solution of the Primary substrate material in the applied drop of solvent. this leads to a corresponding structural transformation in Surface area of the primary substrate area.

Es ist ggf. auch vorteilhaft, dass ein Bearbeitungsmedium gewählt und/oder verwendet wird, welches eine Lösung des Primärsubstratmaterials und/oder eines Sekundärsubstratmaterials darstellt oder eine solche Lösung enthält, vorzugsweise in im Wesentlichen gesättigter Form und/oder vorzugsweise auf der Basis eines flüchtigen und/oder organischen Lösungsmittels. It may also be advantageous for a processing medium is selected and / or used, which is a solution of the Primary substrate material and / or a secondary substrate material represents or contains such a solution, preferably in Substantially saturated form and / or preferably on the Base of a volatile and / or organic solvent.

Durch die zuletzt genannten Maßnahmen kann in Ergänzung zu der vorangehend genannten Maßnahme, nämlich der Verwendung eines reinen Lösungsmittels, zusätzlich Material in dem Primärsubstratbereich eingebracht werden. Dies geschieht entweder unter Verwendung wiederum des Primärsubstratmaterials und/oder unter Verwendung eines Sekundärsubstratmaterials, so dass dann im Wechselwirkungsbereich zwischen dem Tropfenelement und dem Oberflächenbereich zusätzlich Material eingebracht wird, gegebenenfalls Fremdmaterial oder in einer Mischform. The latter measures can complement the measure mentioned above, namely the use of a pure solvent, additional material in the Primary substrate area are introduced. This happens either under Use again of the primary substrate material and / or under Using a secondary substrate material, so that then in Interaction area between the drop element and the Surface area additional material is introduced, if necessary foreign material or in a mixed form.

Neben dem Verwenden von Lösungsmitteln oder Lösungen als Bearbeitungsmedium für die Tropfenelemente, bei welchen dann die an sich vorgesehenen Primärsubstratmaterialien oder Sekundärsubstratmaterialien chemisch nicht geändert werden, sondern höchstens miteinander gemischt werden, kann es auch von Vorteil sein, wenn ein Bearbeitungsmedium gewählt und/oder verwendet wird, welches mindestens einen Bestandteil aufweist, welcher mit mindestens einem weiteren Bestandteil des Bearbeitungsmediums und/oder mit mindestens einem Bestandteil des Primärsubstratmaterials chemisch umsetzbar ist. In addition to using solvents or solutions as Processing medium for the drop elements, in which case the intended primary substrate materials or Secondary substrate materials are not changed chemically, but at most mixed with each other, it can also from Be an advantage if a processing medium is selected and / or is used, which has at least one component, which with at least one other component of the Processing medium and / or with at least one component of the Primary substrate material is chemically implementable.

Hier kann es zum Beispiel vorgesehen sein, dass das Bearbeitungsmedium, gegebenenfalls in Lösung, eine Substanz enthält, welche - gegebenenfalls unter bestimmten Bedingungen - mit dem Material des Primärsubstratbereichs chemisch reagiert. Die jeweilige chemische Umsetzung oder chemische Reaktion ist dann gegebenenfalls durch und/oder nach Lösen, Mischen und/oder Katalysieren aktivierbar, wobei als aktivierende und/oder katalysierende Momente Strahlung, Erwärmung, Beschallung und/oder dergleichen vorgesehen werden können. Here it can be provided, for example, that the Processing medium, possibly in solution, contains a substance, which - if necessary under certain conditions - with the Material of the primary substrate area reacts chemically. The The respective chemical conversion or chemical reaction is then optionally by and / or after dissolving, mixing and / or Catalyze can be activated, with activating and / or catalyzing moments radiation, heating, sonication and / or the like can be provided.

Nach Aufbringen und/oder Eindringen des Tropfenelements auf bzw. in den Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs wird ggf. die chemische Umsetzung durchgeführt, insbesondere in gesteuerter und/oder geregelter Art und Weise, gegebenenfalls durch und/oder nach Lösen, Mischen und/oder Katalysieren. After application and / or penetration of the drop element or in the surface area of the primary substrate area if necessary, carried out the chemical conversion, especially in controlled and / or regulated manner, if necessary by and / or after dissolving, mixing and / or catalyzing.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es vorgesehen, dass nach dem Aufbringen und/oder Eindringen des jeweiligen Tropfenelements auf bzw. in den Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs das Bearbeitungsmediums (des Tropfenelements) oder Teile davon - gegebenenfalls nach Verstreichen einer vorbestimmten Inkubationszeit - verdunstet und/oder verdampft werden, insbesondere in gesteuerter und/oder geregelter Form, insbesondere unter Druckerniedrigung, Temperaturerhöhung und/oder dergleichen. In a preferred embodiment of the invention The method provides that after the application and / or penetration of the respective drop element on or in the surface area of the primary substrate area Processing medium (of the droplet element) or parts thereof - if necessary after a predetermined incubation period has elapsed - evaporated and / or evaporated, especially in controlled and / or regulated form, especially under Decrease in pressure, increase in temperature and / or the like.

In bevorzugter Weise ist es vorgesehen, dass durch und/oder nach Aufbringen und/oder Eindringen des jeweiligen Tropfenelements jeweils ein primärer Umwandlungsbereich mit einem in bezug auf den ursprünglichen Oberflächenbereich im wesentlichen konkaven Profil oder konvexen Profil gebildet wird. Die jeweilige Profiländerung wird dabei erzeugt entweder durch abgeschiedenes Material, chemisch umgesetztes Material und/oder durch Umverteilung von Material. It is preferably provided that through and / or after application and / or penetration of the respective Drop element each a primary conversion area with an in with respect to the original surface area essentially concave profile or convex profile is formed. The each profile change is generated either by deposited material, chemically converted material and / or by redistributing material.

So ist es gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens vorgesehen, dass ein Tropfenelement eines das Primärsubstratmaterial lösenden Bearbeitungsmediums auf den Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs aufgebracht wird. Das Bearbeitungsmedium löst dann das Primärsubstratmaterial, wobei sich nach einer bestimmten Zeit und somit Ausbreitung des Tropfens auf und in Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs eine im Wesentlichen gesättigte Lösung des Primärsubstratmaterials im Bearbeitungsmedium als Lösungsmittel bildet. Durch entsprechendes Verdunsten und Ausdampfen des Bearbeitungsmediums findet im Bereich der Lösung entsprechend Konvektion statt, bei welcher auch das gelöste Primärsubstratmaterial umverteilt wird. This is the case according to a particularly preferred embodiment the inventive method provided that a Drop element of a solubilizing the primary substrate material Machining medium on the surface area of the Primary substrate area is applied. The processing medium then solves that Primary substrate material, after a certain time and thus spreading the drop on and in Surface area of the primary substrate area essentially one saturated solution of the primary substrate material in the processing medium forms as a solvent. By appropriate evaporation and Evaporation of the processing medium takes place in the area of Solution according to convection instead, in which also that dissolved primary substrate material is redistributed.

Die gebildeten konkaven und/oder konvexen Profile und deren Form können durch entsprechende Wahl der Prozessparameter beeinflusst werden. Es ist dabei vorgesehen, dass ein Profil des primären Umwandlungsbereichs im Wesentlichen in Form eines Abschnitts einer Kugel, eines Ellipsoids, eines Paraboloids, eines Hyperboloids und/oder dergleichen gebildet wird. The concave and / or convex profiles formed and their Form can by appropriate choice of process parameters to be influenced. It is provided that a profile of the primary conversion area essentially in the form of a Sections of a sphere, an ellipsoid, a paraboloid, a hyperboloid and / or the like is formed.

Auch bei der konkreten Verwendung als Lichtstreukörper bieten sich verschiedene Möglichkeiten an:
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es vorgesehen, dass der Primärsubstratbereich als Ganzes direkt als Lichtstreukörper verwendet wird, wobei dann der jeweilige primäre Umwandlungsbereich oder eine Mehrzahl primärer Umwandlungsbereiche als optische Einzelelemente, zum Beispiel als Linse oder als Spiegel oder dergleichen, dienen. There are also various options for concrete use as a light diffuser:
According to a preferred embodiment of the method according to the invention, it is provided that the primary substrate region as a whole is used directly as a light scattering body, in which case the respective primary conversion region or a plurality of primary conversion regions serve as individual optical elements, for example as a lens or as a mirror or the like.

Bei einer anderen bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es vorgesehen, dass aus dem Primärsubstratbereich ein Segment oder eine Mehrzahl von Segmenten herausgelöst und jeweils als Lichtstreukörper verwendet werden. Der jeweilige Primärsubstratbereich weist wieder eine Anordnung auf einer Mehrzahl primärer Umwandlungsbereiche als optische Einzelelemente auf. Jedes der Segmente weist ebenfalls einen primären Umwandlungsbereich oder eine Mehrzahl davon als optische Einzelelemente auf. In another preferred embodiment of the The method according to the invention provides that from the Primary substrate area one segment or a plurality of segments detached and used as a light diffuser. The respective primary substrate area again has one Arranged on a plurality of primary conversion areas as individual optical elements. Each of the segments also faces a primary conversion area or a plurality thereof as individual optical elements.

Neben der Verwendung des Primärsubstratbereichs in umgewandelter Form in direkter Art und Weise ist es auch möglich, den strukturierten Primärsubstratbereich entweder als Matrize, also als Formelement oder dergleichen, zu verwenden, wobei dann ein Sekundärsubstratbereich die entsprechende Matrizenform abgreift, oder aber in Kombination in einer gemeinsamen Anordnung aus Primärsubstratbereich und Sekundärsubstratbereich. In addition to using the primary substrate area in converted form in a direct way it is also possible to structured primary substrate area either as a matrix, So to use as a shaped element or the like, then a secondary substrate area the corresponding die shape taps, or in combination in a common Arrangement of primary substrate area and secondary substrate area.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird es daher vorgesehen, dass der Primärsubstratbereich zumindest auf seinem Oberflächenbereich mit einem Sekundärsubstratbereich abgedeckt wird. Dabei ist es insbesondere weiter vorgesehen, dass die primären Umwandlungsbereiche auf dem Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs eingebettet werden in das sekundäre Substratmaterial des Sekundärsubstratbereichs und zwar derart, dass im Sekundärsubstratbereich ein zum Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs komplementäres Profil ausgebildet wird. In a preferred embodiment of the invention It is therefore envisaged that the Primary substrate area with at least on its surface area Secondary substrate area is covered. It is in particular further provided that the primary conversion areas on the surface area of the primary substrate area be embedded in the secondary substrate material of the Secondary substrate area in such a way that in Secondary substrate area to the surface area of the primary substrate area complementary profile is formed.

Besonders vorteilhaft ist es dabei, wenn der Sekundärsubstratbereich mit einem im Wesentlichen planaren Oberflächenbereich ausgebildet wird, welcher dem Oberflächenbereich des Primärsubstratbereichs abgewandt ist. Dabei wird insbesondere eine Anordnung in Form einer planparallelen Platte oder dergleichen ausgebildet. It is particularly advantageous if the Secondary substrate area with a substantially planar surface area is formed, which corresponds to the surface area of the Primary substrate area is facing away. In particular, one Arrangement in the form of a plane-parallel plate or the like educated.

Auch hier ist es vorgesehen, dass die Anordnung aus Primärsubstratbereich mit der darauf vorgesehenem Sekundärsubstratbereich direkt als Lichtstreukörper verwendet wird, wobei die Anordnung aus Primärsubstratbereich und Sekundärsubstratbereich einen oder mehrere miteinander komplementär kooperierenden primären Umwandlungsbereiche mit sekundären Umwandlungsbereichen als optische Einzelelemente aufweisen. It is also envisaged here that the arrangement Primary substrate area with that provided Secondary substrate area is used directly as a light scattering body, the Arrangement from primary substrate area and Secondary substrate area one or more complementary to each other cooperating primary conversion areas with secondary Have conversion areas as individual optical elements.

Alternativ kann es auch vorgesehen sein, dass aus der Anordnung aus Primärsubstratbereich mit darauf vorgesehenem Sekundärsubstratbereich ein Segment und eine Mehrzahl davon herausgelöst und jeweils als Lichtstreukörper verwendet werden. Dazu weist die entsprechende Anordnung aus Primärsubstratbereich und Sekundärsubstratbereich wiederum eine Mehrzahl primärer und sekundärer Umwandlungsbereiche als optische Einzelelemente auf, wobei das nämliche auch für die jeweils herausgelösten Segmente gilt. Alternatively, it can also be provided that the Arrangement from primary substrate area with provided thereon Secondary substrate area a segment and a plurality thereof detached and used as a light diffuser. To shows the corresponding arrangement from the primary substrate area and secondary substrate area again a plurality of primary and secondary conversion areas as individual optical elements on, whereby the same also for the respective solved Segments applies.

Die Verwendung des Primärsubstratbereichs als Matrize erfolgt dadurch, dass nach dem Ausbilden des komplementären Profils auf dem Sekundärsubstratbereich dieser Sekundärsubstratbereich von der Anordnung aus Primärsubstratbereich und Sekundärsubstratbereich abgelöst wird. The primary substrate area is used as a matrix in that after the formation of the complementary profile on the secondary substrate area this secondary substrate area from the arrangement of the primary substrate area and Secondary substrate area is detached.

Dabei ist es von besonderem Vorteil, dass vor dem Aufbringen des Sekundärsubstratbereichs auf den Primärsubstratbereich eine Zwischenschicht zwischen dem Primärsubstratbereich und dem Sekundärsubstratbereich aufgebracht wird, um ein besseres Ablösen zu erreichen. It is particularly advantageous that before applying of the secondary substrate area to the primary substrate area an intermediate layer between the primary substrate region and the Secondary substrate area is applied to a better To achieve detachment.

Es ist vorgesehen, dass der abgelöste Sekundärsubstratbereich direkt als Lichtstreukörper verwendet wird, wobei dieser dann gemäß dem komplementären Profil einen sekundären Umwandlungsbereich oder eine Mehrzahl sekundärer Umwandlungsbereiche als optische Einzelelemente aufweist. It is contemplated that the detached secondary substrate area is used directly as a light diffuser, which then a secondary one according to the complementary profile Conversion area or a plurality of secondary conversion areas as has individual optical elements.

Es ist ferner vorgesehen, dass aus dem Sekundärsubstratbereich mit einer Anordnung aus einer Mehrzahl sekundärer Umwandlungsbereiche im komplementären Bereich als optische Einzelelemente ein Segment oder eine Mehrzahl von Segmenten jeweils mit einem sekundären Umwandlungsbereich oder einer Mehrzahl davon als Lichtstreukörper verwendet werden. It is further provided that from the secondary substrate area with an arrangement of a plurality of secondary Conversion areas in the complementary area as individual optical elements one segment or a plurality of segments each with one secondary conversion area or a plurality thereof as Light diffusers are used.

Es ist vorgesehen, dass der Primärsubstratbereich, der Sekundärsubstratbereich und/oder die Anordnung auf Primärsubstratbereich und Sekundärsubstratbereich oder Teile davon als Transmissionslichtstreukörper, insbesondere als Linsenanordnung oder dergleichen, verwendet werden. Alternativ dazu ist es vorgesehen, dass der Primärsubstratbereich, der Sekundärsubstratbereich und/oder die Anordnung aus Primärsubstratbereich und Sekundärsubstratbereich oder Teile davon als Reflexionslichtstreukörper, insbesondere als Spiegelanordnung oder dergleichen, verwendet werden. Dabei wird dann gegebenenfalls eine Reflexionsschicht aufgebracht, insbesondere im Bereich der jeweiligen primären oder sekundären Umwandlungsbereiche. It is contemplated that the primary substrate region, the Secondary substrate area and / or the arrangement Primary substrate area and secondary substrate area or parts thereof as Transmission light scattering body, especially as Lens arrangement or the like can be used. Alternatively, it is it provided that the primary substrate region, the Secondary substrate area and / or the arrangement Primary substrate area and secondary substrate area or parts thereof as Reflection light scattering body, in particular as a mirror arrangement or the like can be used. Then, if necessary applied a reflective layer, especially in the area the respective primary or secondary conversion areas.

Diese und weitere Aspekte der vorliegenden Erfindung werden anhand der nachfolgenden Erläuterungen weiter verdeutlicht:
Linsen mit Durchmessern unter 1 mm finden vielfältige Anwendungen in der Optoelektronik. Sie sind essentiell zur Miniaturisierung optischer Bauteile. Insbesondere arrays aus Mikrolinsen werden in Laserdruckern, Kopiermaschinen, der Telekommunikation, für abbildende optische Verfahren und andere Applikationen eingesetzt. These and other aspects of the present invention are further illustrated by the following explanations:
Lenses with diameters of less than 1 mm have a wide range of applications in optoelectronics. They are essential for the miniaturization of optical components. Arrays made of microlenses in particular are used in laser printers, copying machines, telecommunications, for imaging optical processes and other applications.

Man unterscheidet diffraktive (diffractive microlenses) und refraktive (refractive microlenses) Mikrolinsen. Diffraktive Mikrolinsen sind miniaturisierte Fresnelsche Beugungslinsen mit Durchmessern von typischerweise 50-500 µm. Sie werden für eine vorgegebene Wellenlänge konstruiert. Ihre Beugungseffizienz ist jedoch bis etwa 10% limitiert. Damit scheiden sie für viele Anwendungen aus. A distinction is made between diffractive (microlenses) and refractive microlenses. diffractive Microlenses are miniaturized Fresnel diffraction lenses with diameters of typically 50-500 µm. you will be designed for a given wavelength. Your However, diffraction efficiency is limited to around 10%. With that they divorce for many applications.

Refraktive Mikrolinsen erreichen eine höhere Beugungseffizienz und sie sind unabhängig von der Wellenlänge. Dafür ist ihre Produktion aufwändig und involviert mehrere lithografische Schritte. Es sind verschiedene Herstellungsprozesse bekannt:

  • - Mit einem Tintenstrahl-Drucker werden flüssige, polymerisierbare Substanzen auf ein Substrat gesprüht (ink-jet method). Dabei handelt es sich um Substanzen, welche einen hohen Kontaktwinkel mit dem Substrat bilden und welche später durch UV-Bestrahlung vernetzt werden kann. Alternativ kann die jeweilige Substanz auch direkt mit einer Kapillare aufgebracht werden (dispensing method).
  • - Bei der fotolithografischen Herstellung wird Fotolack auf einem Substrat und einer Zwischenschicht mit Hilfe einer Maske in Kreise oder Quadrate strukturiert. Nach Belichten bleiben nur die Kreise oder Quadrate auf der Zwischenschicht stehen. Danach wird das Substrat erwärmt, so dass der Fotolack schmilzt. Die Zwischenschicht ist so beschaffen, dass der heiße, flüssige Fotolack einen hohen Kontaktwinkel mit dem Substrat bildet. Durch die Oberflächenspannung bilden sich beim Erwärmen abgerundete Strukturen.
  • - Alternativ werden Mikrolinsen erzeugt, indem das Linsenmaterial aus einer rotierenden Quelle durch ein fixiertes Gitter verdampft wird.
  • - Lithografisch, z. B. durch Stempeln, werden auf einem hydrophoben Substrat runde hydrophile Bereiche erzeugt. Das Substrat wird anschließend kurz in eine Lösung einer polymerisierbaren Substanz getaucht. Nach dem Rausziehen bleiben auf den hydrophilen Bereichen Tropfen zurück. Diese werden z. B. durch UV-Bestrahlung polymerisiert.
  • - Mikrolinsen können auch in GaAs mit Hilfe eines Nassätzprozesses ausgebildet werden.
  • - Es ist auch eine direkte Abtragung mit Hilfe eines Lasers in Halbleitern bekannt.
Refractive microlenses achieve higher diffraction efficiency and they are independent of the wavelength. For this, their production is complex and involves several lithographic steps. Various manufacturing processes are known:
  • - Liquid, polymerizable substances are sprayed onto a substrate using an inkjet printer (ink-jet method). These are substances which form a high contact angle with the substrate and which can later be crosslinked by UV radiation. Alternatively, the respective substance can also be applied directly with a capillary (dispensing method).
  • - In photolithographic production, photoresist is structured on a substrate and an intermediate layer using a mask in circles or squares. After exposure, only the circles or squares remain on the intermediate layer. The substrate is then heated so that the photoresist melts. The intermediate layer is designed so that the hot, liquid photoresist forms a high contact angle with the substrate. The surface tension creates rounded structures when heated.
  • - Alternatively, microlenses are produced by evaporating the lens material from a rotating source through a fixed grid.
  • - Lithographically, e.g. B. by stamping, round hydrophilic areas are generated on a hydrophobic substrate. The substrate is then briefly immersed in a solution of a polymerizable substance. After pulling out, drops remain on the hydrophilic areas. These are e.g. B. polymerized by UV radiation.
  • - Microlenses can also be formed in GaAs using a wet etching process.
  • - Direct ablation using a laser in semiconductors is also known.

Alle diese bekannten Verfahren sind mit beträchtlichem technischen Aufwand und hohen Kosten verbunden. Das vorgeschlagene erfindungsgemäße Verfahren ist dagegen einfach, mit geringem technischen Aufwand verbunden, und alle involvierten Materialien sind potenziell preisgünstig. All of these known methods are considerable technical effort and high costs. The proposed In contrast, the method according to the invention is simple, with little technical effort, and all involved Materials are potentially inexpensive.

Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird ein Tropfen einer Flüssigkeit, also ein Tropfenelement eines Bearbeitungsmediums, auf eine ebene Festkörperoberfläche, dem Substrat A oder dem Primärsubstratbereich, gegeben. In the method according to the invention, a drop of a Liquid, i.e. a drop element of a processing medium, on a flat solid surface, the substrate A or the Primary substrate area.

Dazu können gängige Sprühverfahren verwendet werden, z. B. Elektrosprühen, Druckzerstäuber, Tintenstrahldrucker, oder Rotationszerstäuber. Die Flüssigkeit kann das Substrat lösen. Zum Beispiel wird Toluol auf eine Polystyrolscheibe gegeben, oder Alkohol auf Polyvinylalkohol. Die Flüssigkeit soll dann so beschaffen sein, dass sie bei der gewählten Temperatur und den Umgebungsbedingungen flüchtig ist und verdampft. Nach dem Verdampfen bleiben auf dem Substrat charakteristische Krater zurück. Diese Krater haben näherungsweise Kugelabschnittsform. Sie dienen z. B. als Form für ein polymerisierbares Material B, dem Sekundärsubstratbereich. Dieses Material wird auf das Substrat A gegeben, polymerisiert und vom Substrat A getrennt. Diese Trennung kann z. B. durch mechanisches Abspalten, durch vollständiges Lösen des Substrats A mit Lösungsmittel oder durch thermische Entfernung des Substrats A erfolgen. Im verfestigten Material B befinden sich die Mikrolinsen, insbesondere als sekundäre Umwandlungsbereiche. Common spraying methods can be used for this, e.g. B. Electrospray, atomizers, inkjet printers, or Rotary atomizer. The liquid can dissolve the substrate. For example, toluene is put on a polystyrene disc, or alcohol on polyvinyl alcohol. The liquid should then be designed to operate at the selected temperature and the environment is volatile and evaporates. After this Evaporation remains characteristic craters on the substrate back. These craters are approximately spherical in shape. They serve z. B. as a mold for a polymerizable material B, the secondary substrate area. This material is on the Given substrate A, polymerized and separated from substrate A. This separation can e.g. B. by mechanical cleavage complete dissolution of substrate A with solvent or by thermal removal of the substrate A. in the solidified material B are the microlenses, especially as secondary transformation areas.

Der Prozess der Kraterbildung lässt sich ähnlich verstehen wie die Bildung von Kaffeeflecken: Nach dem Auftreffen auf ein Substrat breitet sich der Tropfen aus und bildet eine flache Flüssigkeitlinse. Ein Teil der Flüssigkeit dringt ins Substrat und bildet eine konzentrierte Lösung des Substratmaterials. Gleichzeitig beginnt Flüssigkeit zu verdampfen. Es kommt jedoch nicht zu einer Verkleinerung der Peripherie, nämlich der Drei-Phasen-Kontaktlinie, sondern die Kontaktlinie ist fixiert. Geht man davon aus, dass die Verdampfungsrate über die gesamte Oberfläche in etwa konstant ist, dann muss ständig Flüssigkeit vom Inneren des Tropfens bzw. der Flüssigkeitsbereich zur Peripherie transportiert werden. Dabei wird gelöstes Substratmaterial mitgezogen und schließlich am Rand deponiert. The process of crater formation can be understood in a similar way to the formation of coffee stains: after hitting a The droplet spreads substrate and forms a flat Liquid lens. Part of the liquid penetrates the substrate and forms a concentrated solution of the substrate material. At the same time, liquid begins to evaporate. It is coming but not to reduce the periphery, namely the Three-phase contact line, but the contact line is fixed. If one assumes that the evaporation rate over the entire surface is approximately constant, then must constantly Liquid from the inside of the drop or Liquid area to be transported to the periphery. This will solve Drawn substrate material and finally deposited at the edge.

Die Größe der Krater wird durch die Tropfengröße und die Tropfenform bestimmt. Voraussetzung für die Bildung kugelförmiger Krater ist die Verwendung kleiner Tropfen. Krater, deren Durchmesser deutlich über einigen 100 µm liegt, weichen von der Kugelform ab. The size of the crater is determined by the drop size and the Drop shape determined. Prerequisite for the formation of spherical Crater is the use of small drops. Craters whose Diameter is well over a few 100 µm, deviate from the spherical shape.

Es sind spezielle Ausführungen denkbar:
Das Material B muss nicht unbedingt vom Substrat A gelöst werden, wenn Material B einen anderen, insbesondere höheren Brechungsindex hat als Substrat A. Dann kann die Sandwichstruktur als Linse verwendet werden. Ober- und Unterseite wären planar. Special versions are conceivable:
Material B does not necessarily have to be detached from substrate A if material B has a different, in particular higher, refractive index than substrate A. Then the sandwich structure can be used as a lens. The top and bottom would be planar.

Dem noch flüssigen Material B kann eine grenzflächenaktive Substanz zugesetzt werden, um die Ausbreitung in der Form A und/oder möglicherweise die Trennung zu erleichtern. The still liquid material B can be a surface-active Substance can be added to the spread in Form A and / or possibly facilitate the separation.

Eine weitere Möglichkeit ist, zwischen Substrat A und Material 8 eine dünne Zwischenschicht aufzubringen, um die Trennung zu erleichtern. Another possibility is to apply a thin intermediate layer between substrate A and material 8 in order to facilitate the separation.

Die Krater können direkt mit einem Metall beschichtet werden, z. B. in einer Bedampfungsanlage. Dann wirken sie wie Hohlspiegel. The craters can be coated directly with a metal, z. B. in an evaporation plant. Then they look like Concave mirror.

Als weitere Methode zum Aufbringen des Bearbeitungsmediums in Form einer Mehrzahl von Tropfenelementen bietet sich die Verwendung eines Gitters an, durch dessen, insbesondere gleichartige Maschen das Bearbeitungsmedium gepresst wird, sodass sich eine Anordnung oder ein Array von Tropfen ausbildet und somit in Folge eine entsprechende Anordnung oder eine Array von Lichtstreukörpern. As another method of applying the processing medium in The shape of a plurality of droplet elements offers itself Use of a grid by which, in particular similar meshes the processing medium is pressed so that forms an array or array of drops and thus in succession a corresponding arrangement or an array of Light scattering bodies.

Auch kann das Bearbeitungsmedium mittels einer dicht an die Oberfläche des Primärsubstratbereichs herangebrachten Kapillare aufgebracht werden. Dann bildet sich z. B. kein freier Tropfen aus, sondern es wird eine entsprechende Menge, in Form eines Tropfenelements, abgeschnürt. The processing medium can also be arranged close to the Surface of the primary substrate area Capillary are applied. Then z. B. no free Drops out, but there will be an appropriate amount, in shape a drop element, pinched off.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer schematischen Zeichnung auf der Grundlage bevorzugter Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens näher erläutert. The invention is described below on the basis of a schematic Drawing based on preferred embodiments of the The method according to the invention explained in more detail.

Fig. 1 bis 5F zeigen in schematischer und seitlicher Querschnittsansicht Zwischenstufe, welche bei verschiedenen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens der Lichtstreukörper erreicht werden. Fig. 1 to 5F show schematically and in lateral cross sectional view of intermediate stage, which are achieved in various embodiments of the manufacturing method, the light scattering body.

Die Fig. 1 bis 3 zeigen in schematischer und geschnittener Seitenansicht Zwischenzustände zu drei grundlegenden Verfahrensschritten, welche bevorzugterweise bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Herstellen von Lichtstreukörpern durchgeführt werden. Figs. 1 to 3 show in schematic and sectional side view of the intermediate states to three basic steps, which are preferably performed in the inventive method for manufacturing the light scattering bodies.

In Fig. 1 ist ein Primärsubstratbereich 10 in Form einer planparallelen Platte, zum Beispiel aus Polystyrol oder dergleichen, mit einer Oberseite oder einem Oberflächenbereich 10a und mit einer Unterseite 10b bereitgestellt. Der Primärsubstratbereich 10 in Form einer planparallelen Platte hat eine Plattenstärke D. Des Weiteren ist ein Tropfenelement oder Tropfen 20 mit einem Durchmesser d vorgesehen, welcher in Pfeilrichtung auf den Oberflächenbereich 10a zubewegt wird. Das Tropfenelement 20 kann einem Vorrat an Bearbeitungsmedium, zum Beispiel Toluol oder dergleichen entnommen und durch eine geeignete Zerstäubungsmethode bereitgestellt sein. In Fig. 1, a primary substrate region 10 is provided in the form of a plane-parallel plate, for example made of polystyrene or the like, with a top or a surface region 10 a and with a bottom 10 b. The primary substrate region 10 in the form of a plane-parallel plate has a plate thickness D. Furthermore, a drop element or drop 20 with a diameter d is provided, which is moved towards the surface area 10 a in the direction of the arrow. The droplet element 20 can be taken from a supply of processing medium, for example toluene or the like, and can be provided by a suitable atomization method.

In Fig. 2 ist derjenige Zwischenzustand gezeigt, bei welchem das Tropfenelement 20 auf den Oberflächenbereich 20a des Primärsubstratbereichs 10 aufgebracht ist. Aufgrund der Oberflächenwechselwirkung hat das Tropfenelement 20 seine ursprüngliche, im Wesentlichen kugelförmige Gestalt aufgegeben und bildet auf dem Oberflächenbereich 10a eine Flüssigkeitslinse 20' mit einer lateralen Ausdehnung A, wodurch auf dem Oberflächenbereich 10a ein entsprechender Zielbereich 30 definiert wird. Die Mehrzahl von Pfeilen deutet nunmehr die Wechselwirkung des Bearbeitungsmediums der Fluidlinse oder Flüssigkeitslinse 20' mit dem Primärsubstratmaterial des Primärsubstratbereichs 10 an. Dies kann zum Beispiel ein einfaches chemisches Lösen und Eindringen des fluiden Materials der Flüssigkeitslinse 20 in das Material des Primärsubstratbereichs 10 sein. In FIG. 2, the one intermediate state is shown in which the drop element 20 is applied a the primary substrate portion 10 to the surface region 20. Due to the surface interaction dripping element has given up 20 to its original, substantially spherical in shape and forms on the surface portion 10 a is a liquid lens 20 'with a lateral dimension A, whereby a a corresponding target area 30 defined on the surface portion 10th The plurality of arrows now indicate the interaction of the processing medium of the fluid lens or liquid lens 20 ′ with the primary substrate material of the primary substrate region 10 . For example, this can be a simple chemical dissolution and penetration of the fluid material of the liquid lens 20 into the material of the primary substrate region 10 .

In Fig. 3 ist dargestellt, wie durch Wechselwirkung des Bearbeitungsmediums des Tropfenelements 20 bzw. der Flüssigkeitslinse 20' mit dem Material des Primärsubstratbereichs 10 ein primärer Umwandlungsbereich 40 im Zielbereich 30 im Bereich der Oberseite 10a des Primärsubstratbereichs 10 entsteht. In diesem primären Umwandlungsbereich 40 findet dann die chemische und/oder physikalische Wechselwirkung und/oder Umsetzung des Bearbeitungsmediums mit dem Material des Primärsubstratbereichs 10 statt. In Fig. 3 shows how a primary conversion section 40 in the target area 30 a of the primary substrate region 10 is formed by interaction of the working medium of the drop element 20 and the liquid lens 20 'with the material of the primary substrate region 10 in the region of the top side 10. The chemical and / or physical interaction and / or conversion of the processing medium with the material of the primary substrate region 10 then takes place in this primary conversion region 40 .

Die Anordnung der Fig. 3 ist Ausgangspunkt für alle weiteren Erläuterungen. The arrangement of FIG. 3 is the starting point for all further explanations.

Die Sequenz der Fig. 4A bis 4D beschreibt Zwischenzustände bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen von Lichtstreukörpern, bei welcher ein Lösungsmittel als Bearbeitungsmedium und somit als Material für das Tropfenelement 20 bzw. für die Flüssigkeitslinse 20' verwendet wird. Dieses Lösungsmittel wird im Folgenden als im Wesentlichen leicht flüchtig vorausgesetzt. Es kann sich zum Beispiel um Toluol oder dergleichen handeln, wobei dann das Primärsubstratmaterial des Primärsubstratbereichs 10 zum Beispiel Polystyrol oder dergleichen ist. The sequence of FIGS. 4A to 4D describes intermediate states in an embodiment of the method according to the invention for producing light scattering bodies, in which a solvent is used as the processing medium and thus as the material for the drop element 20 or for the liquid lens 20 '. This solvent is assumed to be essentially volatile below. For example, it can be toluene or the like, in which case the primary substrate material of the primary substrate region 10 is, for example, polystyrene or the like.

Ausgehend von der Anordnung der Fig. 3 ist in der Fig. 4A durch aufwärtsgerichtete Pfeile der Verdunstungs- oder Verdampfungsprozess des Lösungsmittelanteils im primären Umwandlungsbereich oder Wechselwirkungsbereich 40 im Zielbereich 30 im Bereich der Oberseite 10a des Primärsubstratbereichs 10 dargestellt. Gleichzeitig behält die Flüssigkeitslinse 20' ihre laterale Erstreckung A im Wesentlichen bei. Das heißt, dass die Dreiphasenkontaktlinie T, an welcher Lösungsmitteldampf der Umgebungsatmosphäre, die flüssige Phase der Flüssigkeitslinse 20' und die Festkörperphase des Primärsubstratbereichs 10 aufeinandertreffen, unverändert bleibt. Durch das Abdampfen oder Verdunsten fluiden Materials auf der Flüssigkeitslinse 20' und dem gleichzeitigen Beibehalten der maximalen lateralen Ausdehnung A der Flüssigkeitslinse 20' folgt, dass ständig ein Flüssigkeitsstrom in lateraler Richtung nach außen auf die Dreiphasenkontaktlinie T innerhalb der Flüssigkeitslinse 20' erfolgen muss. Starting from the arrangement of FIG. 3, the evaporation or evaporation process of the solvent portion in the primary conversion region or interaction region 40 in the target region 30 in the region of the upper side 10 a of the primary substrate region 10 is shown in FIG. 4A by upward-pointing arrows. At the same time, the liquid lens 20 'essentially maintains its lateral extension A. This means that the three-phase contact line T, at which solvent vapor from the ambient atmosphere, the liquid phase of the liquid lens 20 ′ and the solid phase of the primary substrate region 10 meet, remains unchanged. As a result of the evaporation or evaporation of fluid material on the liquid lens 20 'and the simultaneous maintenance of the maximum lateral extent A of the liquid lens 20 ', it follows that a liquid flow in the lateral direction to the outside must always take place on the three-phase contact line T inside the liquid lens 20 '.

Aufgrund der endlichen Löslichkeit des Materials des Primärsubstratbereichs 10 in dem zugrundeliegenden Lösungsmittel der Flüssigkeitslinse 20' entsteht ab einem bestimmten Zeitpunkt, also ab einem bestimmten Grad der Verdunstung des Lösungsmittels aus der Flüssigkeitslinse 20' im primären Umwandlungsbereich oder Wechselwirkungsbereich 40 eine gesättigte Lösung des Materials des Primärsubstratbereichs 10 im Lösungsmittel der Flüssigkeitslinse 20'. Beim Fortschreiten des Verdunstungsvorgangs muss dann folglich in der Flüssigkeitslinse 20' gelöstes Primärsubstratmaterial aus der Lösung an der Grenzfläche 40a zwischen der Flüssigkeitslinse 20' und dem Primärsubstratbereich 10 in fester Form abgeschieden werden. Due to the finite solubility of the material of the primary substrate region 10 in the underlying solvent of the liquid lens 20 ', a saturated solution of the material of the primary substrate region arises from a certain point in time, that is to say from a certain degree of evaporation of the solvent from the liquid lens 20 ' in the primary conversion region or interaction region 40 10 in the solvent of the liquid lens 20 '. As the evaporation process proceeds, consequently primary substrate material dissolved in the liquid lens 20 'must then be deposited in solid form from the solution at the interface 40a between the liquid lens 20 ' and the primary substrate region 10 .

Aufgrund der Fließbewegung des Fluids in der Flüssigkeitslinse 20' in lateraler Richtung auf die Dreiphasenkontaktlinie T zu findet ein entsprechender Materialtransport des gelösten Primärsubstratmaterials zum Rand der Flüssigkeitslinse 20' hin statt, so dass in diesem Bereich bevorzugt gelöstes Primärsubstratmaterial in die Festkörperphase des Primärsubstratbereichs 10 übergeht. Due to the flowing movement of the fluid in the liquid lens 20 ′ in a lateral direction towards the three-phase contact line T, a corresponding material transport of the dissolved primary substrate material to the edge of the liquid lens 20 ′ takes place, so that in this area, preferably dissolved primary substrate material passes into the solid phase of the primary substrate area 10 .

Entsprechend entsteht nach dem vollständigen Verdunsten oder Verdampfen des Lösungsmittels auf dem primären Umwandlungsbereich oder Wechselwirkungsbereich 40 die in Fig. 4B gezeigte Struktur. Dargestellt ist dort ein primärer Umwandlungsbereich 50 mit einer zentralen Ausnehmung 52 und erhabenen Randbereichen R, welche in etwa im Bereich der vormals bestehenden Dreiphasenkontaktlinie T aus Fig. 4A positioniert sind. Die zentrale Ausnehmung 52 ist in ihrem zentralen Bereich unterhalb des Niveaus des Oberflächenbereichs 10a vertieft, während die Randbereiche R über das Niveau des Oberflächenbereichs 10a erhaben sind. Accordingly, after complete evaporation or evaporation of the solvent on the primary conversion region or interaction region 40, the structure shown in FIG. 4B arises. A primary conversion region 50 is shown there with a central recess 52 and raised edge regions R, which are positioned approximately in the region of the previously existing three-phase contact line T from FIG. 4A. The central recess 52 is deepened in its central area below the level of the surface area 10 a, while the edge areas R are raised above the level of the surface area 10 a.

Wie bereits erwähnt wurde, ergibt sich dieser Effekt aufgrund der lateralen Strömungsbewegung innerhalb der Flüssigkeitslinse 20' auf die Drei-Phasen-Kontaktlinie T aus Fig. 4A. Die Kontur oder das Profil 50a des primären Umwandlungsbereichs 50 ist hier konkav gestaltet. As already mentioned, this effect results from the lateral flow movement within the liquid lens 20 'on the three-phase contact line T from FIG. 4A. The contour or profile 50 a of the primary conversion region 50 is designed concave here.

Die in Fig. 4B gezeigte Anordnung kann bereits als ein optisches Element, nämlich als Lichtstreukörper verwendet werden. Zum einen ist dies in Form eines Linsenelements, hier in Form einer plan-konkaven Linse, oder in Form eines Spiegelelements, dann nämlich in Form eines konkaven Hohlspiegels möglich. Je nachdem, ob das zugrundeliegende Primärsubstratmaterial im gewünschten Wellenlängenbereich transmittierend oder reflektierend ist, muss bei Verwendung als Spiegelelement gegebenenfalls auf dem Profil 50a der Ausnehmung 52 des primären Umwandlungsbereichs 50 noch eine Reflexionsschicht aufgebracht werden, zum Beispiel durch Bedampfen mit Metall oder dergleichen. The arrangement shown in FIG. 4B can already be used as an optical element, namely as a light scattering body. On the one hand, this is possible in the form of a lens element, here in the form of a plano-concave lens, or in the form of a mirror element, namely in the form of a concave concave mirror. Depending on whether the underlying primary substrate material is transmissive or reflective in the desired wavelength range, a reflective layer may have to be applied to the profile 50 a of the recess 52 of the primary conversion region 50 when used as a mirror element, for example by vapor deposition with metal or the like.

In Abhängigkeit von der Verdunstungsgeschwindigkeit, der Viskosität, der Löslichkeit und/oder ander chemischer und/oder physikalischer Parameter oder Eigenschaften des Primärsubstratbereichs und/oder des Bearbeitungsmediums können sich auch andere Formen im Primärsubstratbereich ausbilden. Depending on the rate of evaporation, the Viscosity, solubility and / or other chemical and / or physical parameters or properties of the Primary substrate area and / or the processing medium can also form other shapes in the primary substrate area.

In Fig. 4C ist gezeigt, dass die Anordnung aus Fig. 4B, also der Primärsubstratbereich mit einem primären Umwandlungsbereich 50 mit konkavem Profil 50a, auch mit einem Sekundärsubstratbereich 12 abgedeckt werden kann, so dass der primäre Umwandlungsbereich 50 mit seinem konkaven Profil 50a im Wesentlichen vollständig eingebettet wird. Bei dieser Einbettung entsteht somit ein zum primären Umwandlungsbereich 50 des Primärsubstratbereichs 10 komplementärer sekundärer Umwandlungsbereich 50' des Sekundärsubstratbereichs 12, welcher entsprechend konvex ausgebildet ist und somit ein konvexes Profil 50a' aufweist. In Fig. 4C, it is shown that the arrangement of FIG. 4B, ie, the primary substrate region with a primary conversion portion 50 with a concave profile 50 a, can also be covered with a secondary substrate region 12, so that the primary conversion region 50 with its concave profile 50 a is essentially fully embedded. With this embedding, a secondary conversion area 50 ′ of the secondary substrate area 12 , which is complementary to the primary conversion area 50 of the primary substrate area 10 , is formed, which is correspondingly convex and thus has a convex profile 50 a ′.

Falls das Primärsubstratmaterial und das Sekundärsubstratmaterial unterschiedliche optische Eigenschaften haben, insbesondere unterschiedliche Brechungsindizes besitzen, kann die in Fig. 4C dargestellte Struktur als eine Art Sandwichlinse als optisches Element verwendet werden, wobei diese Anordnung nach außen hin die Form einer planparallelen Platte aufweist und wobei die entsprechende Strahlungsrefraktion im Übergang zwischen den Profilen 50a und 50a', also an der Grenzfläche zwischen Primärsubstratbereich 10 und Sekundärsubstratbereich 12 erfolgt. If the primary substrate material and the secondary substrate material have different optical properties, in particular have different refractive indices, the structure shown in FIG. 4C can be used as a type of sandwich lens as an optical element, this arrangement having the shape of a plane-parallel plate on the outside and the corresponding one Radiation refraction takes place in the transition between the profiles 50 a and 50 a ', that is to say at the interface between the primary substrate region 10 and the secondary substrate region 12 .

Alternativ dient der Primärsubstratbereich 10 mit seinem primären Umwandlungsbereich 50 mit konkavem Profil 50a ausschließlich als Matrize oder Form für das aufgebrachte Sekundärsubstrat 12. Nach entsprechender Erstarrung des Sekundärsubstratbereichs 12 kann dieser von der Oberfläche 10a des Primärsubstratbereichs 10 wieder abgelöst werden und dann, wie das in Fig. 4D gezeigt ist, mit seiner Oberseite 12a und seiner Unterseite 12b und dem im entsprechenden Zielbereich 30' ausgebildeten komplementären oder sekundären Umwandlungsbereich 50' selbst als Lichtstreukörper dienen, wiederum entweder als Linsenelement oder als Spiegelelement, gegebenenfalls nach Aufbringen einer Reflexionsschicht. As an alternative, the primary substrate region 10 with its primary conversion region 50 with a concave profile 50 a serves exclusively as a die or form for the applied secondary substrate 12 . After corresponding solidification of the secondary substrate region 12 , it can be detached again from the surface 10 a of the primary substrate region 10 and then, as shown in FIG. 4D, with its top 12 a and its bottom 12 b and the complementary formed in the corresponding target region 30 ' or secondary conversion region 50 'itself serve as a light scattering body, again either as a lens element or as a mirror element, if appropriate after application of a reflection layer.

Die Fig. 5A bis 5F zeigen verschiedene Endstufen anderer Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen von Lichtstreukörpern. FIGS. 5A to 5F show various amplifiers from other embodiments of the method according to the invention for the manufacture of light-scattering bodies.

Bei der in Fig. 5A gezeigten Anordnung wurde anstelle eines Lösungsmittels als Bearbeitungsmedium ein Medium verwendet, welches zwar das Primärsubstratmaterial anlöst, welches aber auch in Lösung einen Bestandteil enthält, welcher mit dem Primärsubstratmaterial des Primärsubstratbereichs 10 chemisch reagiert. In the arrangement shown in FIG. 5A, a medium was used instead of a solvent as the processing medium, which although it dissolves the primary substrate material, but which also contains a component in solution which chemically reacts with the primary substrate material of the primary substrate region 10 .

Durch die erfolgte chemische Umsetzung im primären Wechselwirkungsbereich 40 im Zielbereich 30 des Primärsubstratbereichs 10 ist, wie das in Fig. 5A dargestellt ist, ein primärer Umwandlungsbereich 41 entstanden, welcher sich materiell vom Primärsubstratmaterial des Primärsubstratbereichs 10unterscheidet, was durch die unterschiedlichen Spuren angedeutet ist. Es entsteht somit ein primärer Umwandlungsbereich 41 mit einem Oberflächenbereich 41a, wieder mit der Ausdehnung A, welcher über das Niveau des Oberflächenbereichs 10a des Primärsubstratbereichs 10 in konvexer Weise erhaben ist. Die in Fig. 5A gezeigte Anordnung kann somit als plan-konvexe Linse bzw. als konvexer Spiegel verwendet werden. As a result of the chemical conversion that has taken place in the primary interaction region 40 in the target region 30 of the primary substrate region 10 , as shown in FIG. 5A, a primary conversion region 41 has arisen which differs materially from the primary substrate material of the primary substrate region 10 , which is indicated by the different traces. A primary conversion region 41 thus arises with a surface region 41 a, again with the extent A, which is raised in a convex manner above the level of the surface region 10 a of the primary substrate region 10 . The arrangement shown in FIG. 5A can thus be used as a plane-convex lens or as a convex mirror.

Ausgehend von der Anordnung aus Fig. 5A ist es auch denkbar, dass durch einen bestimmten Prozess der primäre Umwandlungsbereich 41 aus dem Verband mit dem Primärsubstratbereich 10 abgelöst oder herausgelöst wird, so dass die in Fig. 5B gezeigte Anordnung entsteht, welche einen primären Umwandlungsbereich 42 mit einem entsprechenden konkaven Profil 42a aufweist. Die Anordnung der Fig. 5B könnte als plan-konkave Linse bzw. als konkaver Spiegel dienen. Based on the arrangement from FIG. 5A, it is also conceivable for the primary conversion region 41 to be detached or detached from the association with the primary substrate region 10 by a specific process, so that the arrangement shown in FIG. 5B is formed, which is a primary conversion region 42 having a corresponding concave profile 42 a. The arrangement of FIG. 5B could serve as a plane-concave lens or as a concave mirror.

Ergänzend dazu kann daran gedacht werden, das aus der Anordnung der Fig. 5A herausgelöste Element 41 des primären Umwandlungsbereichs 41 selbst als optisches Element, zum Beispiel als bikonvexe Linse einzusetzen. In addition to this, it can be considered to use the element 41 of the primary conversion region 41 , which element has been removed from the arrangement in FIG .

Andererseits ist es denkbar, in analoger Weise zur Anordnung der Fig. 4C und ausgehend von der Anordnung der Fig. 5A, einen Sekundärsubstratbereich 12 auf den Oberflächenbereich 10a und 41a der Anordnung der Fig. 5A derart aufzubringen, dass der primäre Umwandlungsbereich 41 der Anordnung der Fig. 5A im Wesentlichen vollständig eingebettet wird, wobei sich die in Fig. 5D gezeigte Anordnung einer planparallelen Platte ausbildet, mit einem entsprechenden sekundären Umwandlungsbereich 41' mit entsprechendem komplementärem Profil 41a'. Hierbei treffen dann zwei oder drei unterschiedliche Materialien aufeinander, je nachdem, ob sich die Materialien des Primärsubstratbereichs 10, des Sekundärsubstratbereichs 12 und des primären Umwandlungsbereichs 41 paarweise voneinander unterscheiden oder nicht. On the other hand, it is conceivable, in a manner analogous to the arrangement of FIG. 4C and starting from the arrangement of FIG. 5A, to apply a secondary substrate region 12 to the surface regions 10 a and 41 a of the arrangement of FIG. 5A in such a way that the primary conversion region 41 arrangement of FIG. 5A is substantially completely embedded, whereby in Fig. 5D arrangement shown forms a plane-parallel plate with a corresponding secondary transition region 41 'with the corresponding complementary profile 41 a'. In this case, two or three different materials then meet, depending on whether the materials of the primary substrate region 10 , of the secondary substrate region 12 and of the primary conversion region 41 differ from one another or not.

In analoger Weise erhält man die in Fig. 5E gezeigte Struktur, wenn man, ausgehend von der in Fig. 5B gezeigten Anordnung, wiederum ein Sekundärsubstratbereich 12 derart aufgebracht wird, dass die in Fig. 5B gezeigte Ausnehmung 42a des primären Umwandlungsbereichs 42 im Primärsubstratbereich 10 im Wesentlichen vollständig gefüllt und eingebettet wird. The structure shown in FIG. 5E is obtained in an analogous manner if, starting from the arrangement shown in FIG. 5B, a secondary substrate region 12 is again applied in such a way that the recess 42 a of the primary conversion region 42 shown in FIG. 5B in the primary substrate region 10 is essentially completely filled and embedded.

Die Anordnungen der Fig. 5D und 5E können dann als Linsenelemente verwendet werden, wobei sie nach außen hin wiederum als planparallele Platten oder planparallele Elemente wirken. The arrangements of FIGS. 5D and 5E can then be used as lens elements, in turn acting on the outside as plane-parallel plates or plane-parallel elements.

In analoger Weise zu dem Prozessieren der Anordnung der Fig. 4C zur Anordnung der Fig. 4D kann nun der Sekundärsubstratbereich 60 der Anordnung der Fig. 5E vom Primärsubstratbereich 10 abgelöst werden, um, wie das in Fig. 5F gezeigt ist, seinerseits als Lichtstreukörper zu fungieren, nämlich in Form einer plankonvexen Linse mit dem entsprechenden sekundären Umwandlungsbereich 42', bzw. als entsprechender konvexer Spiegel. Bezugszeichenliste 10 Primärsubstratbereich
10a Oberseite, Oberflächenbereich
10b Unterseite
12 Sekundärsubstratbereich
12b Oberseite
12a Unterseite
20 Tropfenelement
20' Fluidlinse, Flüssigkeitslinse
30 Zielbereich
40 primärer Umwandlungsbereich, primärer Wechselwirkungsbereich
41 primärer Umwandlungsbereich
41' sekundärer Umwandlungsbereich
41a Profil
41a' komplementäres Profil
42 primärer Umwandlungsbereich
42' sekundärer Umwandlungsbereich
42a Profil
42a' komplementäres Profil
50' sekundärer Umwandlungsbereich
50a Profil
50a' komplementäres Profil
A laterale Ausdehnung
D Durchmesser
d Durchmesser
R Randbereich
T Dreiphasenkontaktlinie
In an analogous manner to the processing of the arrangement of FIG. 4C to the arrangement of FIG. 4D, the secondary substrate region 60 of the arrangement of FIG. 5E can now be detached from the primary substrate region 10 in order, in turn, as shown in FIG. 5F, to act as a light diffuser act, namely in the form of a plano-convex lens with the corresponding secondary conversion region 42 ', or as a corresponding convex mirror. LIST OF REFERENCE SIGNS 10 primary substrate area
10 a top, surface area
10 b bottom
12 secondary substrate area
12 b top
12 a bottom
20 drop element
20 'fluid lens, liquid lens
30 target area
40 primary transformation area, primary interaction area
41 primary conversion area
41 'secondary conversion area
41 a profile
41 a 'complementary profile
42 primary conversion area
42 'secondary conversion area
42 a profile
42 a 'complementary profile
50 'secondary conversion range
50 a profile
50 a 'complementary profile
A lateral extent
D diameter
d diameter
R edge area
T three-phase contact line

Claims (29)

1. Verfahren zum Herstellen von Lichtstreukörpern, insbesondere von Linsenelementen, von Spiegelelementen und/oder dergleichen, mit den Schritten: - Bereitstellen eines Primärsubstratbereichs (10) eines Primärsubstratmaterials mit mindestens einem Oberflächenbereich (10a), - Bereitstellen mindestens eines im Wesentlichen fluiden Bearbeitungsmediums, - Aufbringen und/oder Einbringen mindestens eines Tropfenelements (20) oder dergleichen des Bearbeitungsmediums auf bzw. in den Oberflächenbereich (10a) des Primärsubstratbereichs (10) in im Wesentlichen lokaler Art und Weise in einem Zielbereich (30) des Primärsubstratbereichs (10), - chemisches und/oder physikalisches Wechselwirken und/oder Umsetzen des Primärsubstratbereichs (10) im Zielbereich (30) mit dem Material des jeweiligen Tropfenelements (20) und - dadurch Ausbilden jeweils eines primären umgewandelten Bereichs oder primären Umwandlungsbereichs (41, 42, 50) im jeweiligen Zielbereich (30) mit geänderten geometrischen, strukturellen, chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften und dadurch insbesondere mit geänderten optischen Eigenschaften oder dergleichen, vorzugsweise in im Wesentlichen sichtbaren elektromagnetischen Strahlungsbereich. 1. A method for producing light scattering bodies, in particular lens elements, mirror elements and / or the like, with the steps: - Providing a primary substrate area ( 10 ) of a primary substrate material with at least one surface area ( 10 a), Provision of at least one essentially fluid processing medium, - Applying and / or introducing at least one drop element ( 20 ) or the like of the processing medium onto or into the surface area ( 10 a) of the primary substrate area ( 10 ) in a substantially local manner in a target area ( 30 ) of the primary substrate area ( 10 ), - Chemical and / or physical interaction and / or implementation of the primary substrate area ( 10 ) in the target area ( 30 ) with the material of the respective drop element ( 20 ) and - thereby forming in each case a primary converted area or primary conversion area ( 41 , 42 , 50 ) in the respective target area ( 30 ) with changed geometric, structural, chemical and / or physical properties and thereby in particular with changed optical properties or the like, preferably essentially visible electromagnetic radiation range. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Primärsubstratbereich (10) mit zumindest teilweise und/oder abschnittsweise im Wesentlichen planar ausgebildetem Oberflächenbereich (10a) verwendet wird, insbesondere in Form eines planparallelen Substrats, vorzugsweise eines Plattenbereichs oder dergleichen. 2. The method according to claim 1, characterized in that a primary substrate area ( 10 ) is used with at least partially and / or in sections essentially planar surface area ( 10 a), in particular in the form of a plane-parallel substrate, preferably a plate area or the like. 3. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Primärsubstratbereich (10) ein Festkörpersubstrat oder dergleichen verwendet wird. 3. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that a solid substrate or the like is used as the primary substrate region ( 10 ). 4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl oder Vielzahl von Tropfenelementen (20) aufgebracht und/oder eingebracht wird, welche - insbesondere im Hinblick auf ihre geometrischen, strukturellen, chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften - im Wesentlichen gleichartig und/oder gleichwirkend ausgebildet werden. 4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that a plurality or a plurality of drop elements ( 20 ) is applied and / or introduced, which - in particular with regard to their geometric, structural, chemical and / or physical properties - essentially the same and / or have the same effect. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Mehrzahl oder Vielzahl von Tropfenelementen (20) an vordefinierten Positionen und/oder mit vorgegebener zeitlicher Abfolge aufgebracht und/oder eingebracht werden. 5. The method according to claim 4, characterized in that the plurality or plurality of drop elements ( 20 ) are applied and / or introduced at predefined positions and / or with a predetermined time sequence. 6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils im Wesentlichen kugelförmige Tropfenelemente (20) verwendet werden. 6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that substantially spherical drop elements ( 20 ) are used in each case. 7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Tropfenelemente (20) mit jeweils einem Durchmesser (d) unterhalb von 1 mm verwendet werden, vorzugsweise im Bereich von etwa 10 µm bis etwa 100 µm. 7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that drop elements ( 20 ) each having a diameter (d) below 1 mm are used, preferably in the range from about 10 µm to about 100 µm. 8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausbilden der Tropfengeometrie, Tropfengröße, das Aufbringen, Einbringen und/oder Wechselwirken des jeweiligen Tropfenelements (20) gesteuert und/oder geregelt werden, durch Beaufschlagen mit und/oder Variieren von einer Umgebungsatmosphäre, Temperaturverteilung, Druckverteilung, durch Beaufschlagen mit statischen und/oder dynamischen elektromagnetischen Feldern, Schallfeldern und/oder Teilchenstrahlungsfeldern. 8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the formation of the drop geometry, drop size, the application, introduction and / or interaction of the respective drop element ( 20 ) are controlled and / or regulated by applying and / or varying one Ambient atmosphere, temperature distribution, pressure distribution, by exposure to static and / or dynamic electromagnetic fields, sound fields and / or particle radiation fields. 9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass das Ausbilden der Tropfengeometrie, Tropfengröße, das Aufbringen, Einbringen und/oder das Wechselwirken des jeweiligen Tropfenelements (20) gesteuert und/oder geregelt werden durch Beaufschlagen mit und/oder Variieren von Trägheitskräften und/oder der Schwerkraft, insbesondere im Hinblick auf das Ausbilden von Mikrogravitation oder dergleichen, und
dass insbesondere dazu der Primärsubstratbereich (10) und/oder das jeweilige Tropfenelement (20) auf vorbestimmte und definierte Art und Weise gemeinsam und/oder relativ zueinander bewegt werden, insbesondere vor, während und/oder nach dem Aufbringen und/oder Einbringen des Tropfenelements (20) auf bzw. in den Primärsubstratbereich (10). 9. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that
that the formation of the drop geometry, drop size, the application, introduction and / or the interaction of the respective drop element ( 20 ) are controlled and / or regulated by applying and / or varying inertial forces and / or gravity, in particular with regard to the formation of microgravity or the like, and
that in particular the primary substrate area ( 10 ) and / or the respective drop element ( 20 ) are moved together and / or relative to one another in a predetermined and defined manner, in particular before, during and / or after the application and / or introduction of the drop element ( 20 ) on or in the primary substrate area ( 10 ). 10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Primärsubstratmaterial des Primärsubstratbereichs (10) und das Bearbeitungsmedium des jeweiligen Tropfenelements (20) in Bezug auf das chemische und/oder physikalische Wechselwirken und/oder Umsetzen aufeinander abgestimmt, ausgewählt und/oder verwendet werden. 10. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the primary substrate material of the primary substrate area ( 10 ) and the processing medium of the respective drop element ( 20 ) in relation to the chemical and / or physical interaction and / or implementation coordinated, selected and / or be used. 11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bearbeitungsmedium gewählt und/oder verwendet wird, durch welches das Primärsubstratmaterial lösbar ist, insbesondere in Form eines flüchtigen und/oder organischen Lösungsmittels. 11. The method according to any one of the preceding claims, characterized, that a processing medium is selected and / or used, through which the primary substrate material is detachable, especially in the form of a volatile and / or organic Solvent. 12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bearbeitungsmedium gewählt und/oder verwendet wird, welches eine Lösung des Primärsubstratmaterials und/oder eines Sekundärsubstratmaterials darstellt oder enthält, vorzugsweise in im Wesentlichen gesättigter Form und/oder vorzugsweise auf der Basis des flüchtigen und/oder organischen Lösungsmittels. 12. The method according to any one of the preceding claims, characterized, that a processing medium is selected and / or used, which is a solution of the primary substrate material and / or one Represents or contains secondary substrate material, preferably in a substantially saturated form and / or preferably the basis of the volatile and / or organic solvent. 13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bearbeitungsmedium gewählt und/oder verwendet wird, welches mindestens einen Bestandteil aufweist, welcher mit mindestens einem weiteren Bestandteil des Bearbeitungsmediums und/oder mindestens einem Bestandteil des Primärsubstratmaterials chemisch und/oder physikalisch umsetzbar ist, insbesondere gegebenenfalls nach Lösen, Mischen und/oder Katalysieren, vorzugsweise unter Verwendung von Strahlung, Wärme, Beschallung und/oder dergleichen. 13. The method according to any one of the preceding claims, characterized, that a processing medium is selected and / or used, which has at least one component which with at least one other component of the processing medium and / or at least one component of the Primary substrate material can be converted chemically and / or physically, especially if appropriate after dissolving, mixing and / or catalyzing, preferably using radiation, heat, Public address and / or the like. 14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Aufbringen und/oder Einbringen des Tropfenelements (20) die jeweilige physikalische und/oder chemische Umsetzung initiiert und/oder durchgeführt wird, insbesondere in gesteuerter und/oder geregelter Art und Weise, gegebenenfalls nach Lösen, Mischen und/oder Katalysieren, vorzugsweise unter Verwendung von Strahlung, Wärme, Beschallung und/oder dergleichen. 14. The method according to claim 13, characterized in that after the application and / or introduction of the drop element ( 20 ), the respective physical and / or chemical conversion is initiated and / or carried out, in particular in a controlled and / or regulated manner, if appropriate after dissolving, mixing and / or catalyzing, preferably using radiation, heat, sonication and / or the like. 15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Aufbringen und/oder Einbringen des jeweiligen Tropfenelements (20) auf bzw. in den Oberflächenbereich (10a) des Primärsubstratbereichs (10) das Bearbeitungsmedium des Tropfenelements (20) oder Teile davon - gegebenenfalls nach Verstreichen einer vorbestimmten Inkubationszeitspanne - verdunstet und/oder verdampft werden, insbesondere in gesteuerter und/oder geregelter Form, insbesondere unter Druckerniedrigung und/oder Temperaturerhöhung. 15. The method according to any one of claims 11 to 14, characterized in that after the application and / or introduction of the respective drop element ( 20 ) on or in the surface area ( 10 a) of the primary substrate area ( 10 ), the processing medium of the drop element ( 20 ) or parts thereof - if necessary after a predetermined incubation period has elapsed - are evaporated and / or evaporated, in particular in a controlled and / or regulated form, in particular while reducing the pressure and / or increasing the temperature. 16. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass durch das und/oder nach dem Aufbringen und/oder Einbringen des jeweiligen Tropfenelements (20) ein primärer Umwandlungsbereich (50) mit einem in Bezug auf den ursprünglichen Oberflächenbereich (10a) im Wesentlichen konkaven Profil (50a) oder konvexen Profil (40a) ausgebildet wird. 16. The method according to any one of claims 11 to 15, characterized in that by and / or after the application and / or introduction of the respective drop element ( 20 ), a primary conversion area ( 50 ) with a with respect to the original surface area ( 10 a ) essentially concave profile ( 50 a) or convex profile ( 40 a) is formed. 17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass ein Profil (40a, 50a) des primären Umwandlungsbereichs (41, 42, 50) im Wesentlichen in Form eines Abschnitts einer Kugel, eines Ellipsoids, eines Paraboloids, eines Hyperboloids und/oder dergleichen gebildet wird. 17. The method according to claim 16, characterized in that a profile ( 40 a, 50 a) of the primary conversion region ( 41 , 42 , 50 ) substantially in the form of a section of a sphere, an ellipsoid, a paraboloid, a hyperboloid and / or the like is formed. 18. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Primärsubstratbereich (10) mit dem primären Umwandlungsbereich (41, 42, 50) oder der Mehrzahl primärer Umwandlungsbereiche (41, 42, 50) als optische Einzelelemente direkt als Lichtstreukörper verwendet wird. 18. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the primary substrate region ( 10 ) with the primary conversion region ( 41 , 42 , 50 ) or the plurality of primary conversion regions ( 41 , 42 , 50 ) as individual optical elements is used directly as a light scattering body. 19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass aus dem Primärsubstratbereich (10) mit einer Anordnung aus einer Mehrzahl primärer Umwandlungsbereiche (41, 42, 50) als optische Einzelelemente ein Segment oder eine Mehrzahl davon jeweils mit einem primären Umwandlungsbereich (41, 42, 50) oder einer Mehrzahl davon als Lichtstreukörper verwendet werden. 19. The method according to any one of claims 1 to 17, characterized in that from the primary substrate area ( 10 ) with an arrangement of a plurality of primary conversion areas ( 41 , 42 , 50 ) as individual optical elements, a segment or a plurality thereof each with a primary conversion area ( 41 , 42 , 50 ) or a plurality thereof can be used as light scattering bodies. 20. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet,
dass der Primärsubstratbereich (10) zumindest auf seinem Oberflächenbereich (10a) mit einem Sekundärsubstratbereich (12) eines Sekundärsubstratmaterials abgedeckt wird,
dass dabei insbesonder die primären Umwandlungsbereiche (41, 42, 50) eingebettet werden in das Sekundärsubstratmaterial des Sekundärsubstratbereichs (12) und
dass dabei insbesondere ein zum Oberflächenbereich (10a) des Primärsubstratbereichs (10) im Wesentlichen komplementärer Oberflächenbereich (12a) des Sekundärsubstratbereichs (12) ausgebildet wird, wobei weiter insbesondere zu den jeweilgen Profilen (41a, 42a, 50a) der jeweiligen primären Umwandlungsbereiche (41, 42, 50) komplementäre Profile (41a', 42a' 50a') entsprechender komplementärer oder sekundärer Umwandlungsbereiche (41', 42', 50') ausgebildet werden. 20. The method according to any one of claims 1 to 17, characterized in
that the primary substrate area ( 10 ) is covered at least on its surface area ( 10 a) with a secondary substrate area ( 12 ) of a secondary substrate material,
that the primary conversion regions ( 41 , 42 , 50 ) in particular are embedded in the secondary substrate material of the secondary substrate region ( 12 ) and
that in particular a surface area ( 12 a) of the secondary substrate area ( 12 ) which is essentially complementary to the surface area ( 10 a) of the primary substrate area ( 10 ) is formed, furthermore in particular to the respective profiles ( 41 a, 42 a, 50 a) of the respective area primary conversion areas ( 41 , 42 , 50 ) complementary profiles (41a ', 42a' 50a ') corresponding complementary or secondary conversion areas ( 41 ', 42 ', 50 ') are formed. 21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet,
dass der Sekundärsubstratbereich (12) mit einem im Wesentlichen planaren Oberflächenbereich (12b) ausgebildet wird, welcher dem Oberflächenbereich (10a) des Primärsubstratbereichs (10) abgewandt gegenübersteht, und
dass dadurch insbesondere eine Anordnung nach Art einer planparallelen Platte ausgebildet wird. 21. The method according to claim 20, characterized in
that the secondary substrate region ( 12 ) is formed with an essentially planar surface region ( 12 b), which faces away from the surface region ( 10 a) of the primary substrate region ( 10 ), and
that in particular an arrangement in the manner of a plane-parallel plate is thereby formed. 22. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung aus Primärsubstratbereich (10) mit darauf vorgesehenem Sekundärsubstratbereich (12) jeweils mit dem primären Umwandlungsbereich (41, 42, 50) oder der Mehrzahl primärer Umwandlungsbereiche (41, 42, 50) als optische Einzelelemente direkt als Lichtstreukörper verwendet wird. 22. The method according to any one of claims 20 or 21, characterized in that the arrangement of the primary substrate area ( 10 ) with the secondary substrate area ( 12 ) provided thereon each having the primary conversion area ( 41 , 42 , 50 ) or the plurality of primary conversion areas ( 41 , 42 , 50 ) is used as individual optical elements directly as light scattering bodies. 23. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass aus der Anordnung aus Primärsubstratbereich (10) mit darauf vorgesehenem Sekundärsubstratbereich (12) mit einer Anordnung einer Mehrzahl primärer Umwandlungsbereiche (41, 42, 50) als optische Einzelelemente ein Segment oder eine Mehrzahl davon mit einem primären Umwandlungsbereich (41, 42, 50) oder einer Mehrzahl davon als Lichtstreukörper verwendet werden. 23. The method according to any one of claims 20 or 21, characterized in that a segment or from the arrangement of primary substrate area ( 10 ) with secondary substrate area ( 12 ) provided thereon with an arrangement of a plurality of primary conversion areas ( 41 , 42 , 50 ) as individual optical elements a plurality of them with a primary conversion region ( 41 , 42 , 50 ) or a plurality thereof are used as light scattering bodies. 24. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Ausbilden des komplementären Profils (12a) des Sekundärsubstratbereichs (12) dieser von der Anordnung aus Primärsubstratbereich (10) und Sekundärsubstratbereich (12) abgelöst wird. 24. The method according to any one of claims 20 or 21, characterized in that after the formation of the complementary profile ( 12 a) of the secondary substrate region ( 12 ) this is detached from the arrangement of the primary substrate region ( 10 ) and secondary substrate region ( 12 ). 25. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufbringen des Sekundärsubstratbereichs (12) auf dem Primärsubstratbereich (10) eine Zwischenschicht ausgebildet wird zwischen dem Primärsubstratbereich (10) und dem Sekundärsubstratbereich (12), insbesondere um eine bessere Ablösbarkeit des Sekundärsubstratbereichs (12) vom Primärsubstratbereich (10) zu erreichen. 25. The method according to any one of claims 20 to 24, characterized in that before the application of the secondary substrate region ( 12 ) on the primary substrate region ( 10 ) an intermediate layer is formed between the primary substrate region ( 10 ) and the secondary substrate region ( 12 ), in particular by a better one To achieve detachability of the secondary substrate area ( 12 ) from the primary substrate area ( 10 ). 26. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 oder 25, dadurch gekennzeichnet, dass der abgelöste Sekundärsubstratbereich (12) mit dem sekundären Umwandlungsbereich (41', 42', 50') oder der Mehrzahl sekundärer Umwandlungsbereiche (41', 42', 50') als optische Einzelelemente direkt als Lichtstreukörper verwendet wird. 26. The method according to any one of claims 24 or 25, characterized in that the detached secondary substrate area ( 12 ) with the secondary conversion area ( 41 ', 42 ', 50 ') or the plurality of secondary conversion areas ( 41 ', 42 ', 50 ') as individual optical elements is used directly as a light scattering body. 27. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 oder 25, dadurch gekennzeichnet, dass aus dem Sekundärsubstratbereich (12) mit einer Anordnung aus einer Mehrzahl sekundärer Umwandlungsbereiche (41', 42', 50') als optische Einzelelemente ein Segment oder eine Mehrzahl davon jeweils mit einem sekundären Umwandlungsbereich (41', 42', 50') oder einer Mehrzahl davon als Lichtstreukörper verwendet werden. 27. The method according to any one of claims 24 or 25, characterized in that from the secondary substrate area ( 12 ) with an arrangement of a plurality of secondary conversion areas ( 41 ', 42 ', 50 ') as individual optical elements, a segment or a plurality thereof each a secondary conversion region ( 41 ', 42 ', 50 ') or a plurality thereof are used as light scattering bodies. 28. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Primärsubstratbereich (10), der Sekundärsubstratbereich (12) und/oder die Anordnung aus Primärsubstratbereich (10) und Sekundärsubstratbereich (12) oder Teile davon als Transmissionslichtstreukörper, insbesondere als Linsenanordnung oder dergleichen, verwendet werden. 28. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the primary substrate area ( 10 ), the secondary substrate area ( 12 ) and / or the arrangement of the primary substrate area ( 10 ) and the secondary substrate area ( 12 ) or parts thereof as a transmission light scattering body, in particular as a lens arrangement or the like , be used. 29. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass der Primärsubstratbereich (10), der Sekundärsubstratbereich (12) und/oder die Anordnung aus Primärsubstratbereich (10) und Sekundärsubstratbereich (12) oder Teile davon als Reflexionslichtstreukörper, insbesondere als Spiegelanordnung oder dergleichen verwendet werden, wobei gegebenenfalls eine Reflexionsschicht aufgebracht wird, insbesondere im Bereich der jeweiligen primären Umwandlungsbereiche (41, 42, 50) oder sekundären Umwandlungsbereiche (41', 42', 50'). 29. The method according to any one of claims 1 to 27, characterized in that the primary substrate area ( 10 ), the secondary substrate area ( 12 ) and / or the arrangement of the primary substrate area ( 10 ) and secondary substrate area ( 12 ) or parts thereof as reflected light scattering bodies, in particular as a mirror arrangement or the like can be used, where appropriate a reflection layer is applied, in particular in the region of the respective primary conversion regions ( 41 , 42 , 50 ) or secondary conversion regions ( 41 ', 42 ', 50 ').
DE2001139924 2001-08-14 2001-08-14 Method for producing light-scattering bodies like lens arrays/mirror devices uses a primary substrate area and conversion range as a matrix/form for a secondary substrate to be detached later from the primary substrate when solid. Withdrawn DE10139924A1 (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018106707A1 (en) * 2018-03-21 2019-09-26 Als Automated Lab Solutions Gmbh Method of making and using a substrate having a functionalized surface

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2163925A1 (en) * 1970-12-31 1972-07-20 Polaroid Corp., Cambridge, Mass. (V.St.A.) Gently granulated optical surface and process for their production
DE3820444A1 (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Glaverbel DECORATION MIRROR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
US5235463A (en) * 1990-12-04 1993-08-10 Thomson-Csf Method for the making of microlenses for optical applications
US5707684A (en) * 1994-02-28 1998-01-13 Microfab Technologies, Inc. Method for producing micro-optical components
WO1999056158A1 (en) * 1998-04-24 1999-11-04 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical components with self-adhering diffuser
WO2001050159A1 (en) * 1999-12-30 2001-07-12 Commissariat A L'energie Atomique Method for forming a concave microrelief in a substrate and use of said method for producing optical components
US6294217B1 (en) * 1995-12-19 2001-09-25 William M. Risen, Jr. Methods and compositions for producing microlenses and optical filters

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2163925A1 (en) * 1970-12-31 1972-07-20 Polaroid Corp., Cambridge, Mass. (V.St.A.) Gently granulated optical surface and process for their production
DE3820444A1 (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Glaverbel DECORATION MIRROR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
US5235463A (en) * 1990-12-04 1993-08-10 Thomson-Csf Method for the making of microlenses for optical applications
US5707684A (en) * 1994-02-28 1998-01-13 Microfab Technologies, Inc. Method for producing micro-optical components
US6294217B1 (en) * 1995-12-19 2001-09-25 William M. Risen, Jr. Methods and compositions for producing microlenses and optical filters
WO1999056158A1 (en) * 1998-04-24 1999-11-04 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical components with self-adhering diffuser
WO2001050159A1 (en) * 1999-12-30 2001-07-12 Commissariat A L'energie Atomique Method for forming a concave microrelief in a substrate and use of said method for producing optical components

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018106707A1 (en) * 2018-03-21 2019-09-26 Als Automated Lab Solutions Gmbh Method of making and using a substrate having a functionalized surface

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