DE10142158A1 - Piezoelektrischer Resonator und elektronische Vorrichtung, die denselben enthält - Google Patents

Abstract

Ein kompakter piezoelektrischer Resonator, der zufriedenstellende Resonanzcharakteristika und einen geringen Resonanzwiderstand aufweist. Bei diesem piezoelektrischen Resonator ist eine Oberseitenelektrode auf einer der Hauptoberflächen eines piezoelektrischen Films angeordnet, und eine Unterseitenelektrode ist auf der anderen Hauptoberfläche des Films angeordnet. Die Oberseitenelektrode umfaßt eine erste Externsignalextraktionselektrode, eine erste führende Elektrode und drei erste Schwingelektroden. Die Unterseitenelektrode umfaßt eine zweite Externsignalextraktionselektrode, eine zweite führende Elektrode und drei zweite Schwingelektroden. Die drei ersten Schwingelektroden sind über den piezoelektrischen Film orthogonal zu den drei zweiten Schwingelektroden angeordnet. Schwingabschnitte sind an einer Stelle gebildet, an der die ersten Schwingelektroden orthogonal zu den zweiten Schwingelektroden angeordnet sind.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf piezoelektrische Resonatoren und elektronische Vorrichtungen, die dieselben enthalten. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf pie­ zoelektrische Resonatoren, die piezoelektrische Schichten, beispielsweise piezoelektrische Filme oder piezoelektrische Substrate, und Elektroden umfassen, die auf beiden Haupt­ oberflächen der piezoelektrischen Schichten angeordnet sind. Die piezoelektrischen Resonatoren, die in Dicken­ längsschwingungsmoden schwingen, werden bei elektronischen Vorrichtungen wie zum Beispiel Filtern verwendet. Zudem be­ zieht sich die Erfindung auf elektronische Vorrichtungen, die die piezoelektrischen Resonatoren enthalten, zum Bei­ spiel Filter.

Als Hintergrund zu der vorliegenden Erfindung sind in der geprüften japanischen Patentanmeldung Nr. 46-25579, in der ungeprüften japanischen Patentanmeldung Nr. 8-154032, in der ungeprüften japanischen Patentanmeldung Nr. 5-160666 und dergleichen herkömmliche piezoelektrische Resonatoren beschrieben.

Im einzelnen beschreibt die geprüfte japanische Patentan­ meldung Nr. 46-25579 einen piezoelektrischen Oszillator, der ein Mehrschichtsubstrat, eine erste und eine zweite Elektrode sowie einen piezoelektrischen Film umfaßt.

Die ungeprüfte japanische Patentanmeldung Nr. 8-154032 be­ schreibt einen piezoelektrischen Resonator, der ein piezo­ elektrisches Substrat, eine erste und eine zweite Elektro­ de, die auf einer Hauptoberfläche des piezoelektrischen Substrats angeordnet sind, und eine dritte Elektrode, die auf der anderen Hauptoberfläche des piezoelektrischen Sub­ strats angeordnet ist, umfaßt. Bei diesem piezoelektrischen Resonator sind zwei Schwingabschnitte gebildet, die an ei­ ner Stelle, wo die erste und die zweite Elektrode der drit­ ten Elektrode gegenüberliegen, in Reihe geschaltet sind.

Ferner beschreibt die ungeprüfte japanische Patentanmeldung Nr. 5-160666 einen piezoelektrischen Resonator, der ein piezoelektrisches Substrat und Elektroden umfaßt, die auf beiden Hauptoberflächen des piezoelektrischen Substrats ge­ bildet sind.

Hinsichtlich des in der geprüften japanischen Patentanmel­ dung Nr. 46-25579 beschriebenen piezoelektrischen Oszilla­ tors müssen, damit ein Resonanzwiderstand reduziert wird, die Abmessungen der Elektroden, die auf beiden Hauptober­ flächen des piezoelektrischen Films angeordnet sind, ausge­ dehnt werden, um den Bereich, in dem sich die Elektroden gegenüberliegen, zu vergrößern, so daß eine größere Kapazi­ tät erhalten werden kann. Andererseits bewirkt ein Ausdeh­ nen der Abmessungen der Elektroden auf den Hauptoberflächen des piezoelektrischen Films unnötige Schwingungen, was so­ mit zu der Verschlechterung der Resonanzcharakteristika führt.

Um also zu verhindern, daß sich die Resonanzcharakteristika verschlechtern, während der Resonanzwiderstand verringert und die unnötigen Schwingungen vernachlässigt werden, be­ steht ein mögliches Verfahren darin, eine Mehrzahl von pie­ zoelektrischen Resonatoren, die kleine Bereiche von sich gegenüberliegenden Elektroden aufweisen, parallel zu schal­ ten. Da sich jedoch in diesem Fall die gesamte Chipgröße erhöht, liegt insofern ein Problem vor, als eine Verdrah­ tung zum Verbinden von piezoelektrischen Resonatoren ver­ längert ist.

Zudem ist bei dem in der ungeprüften japanischen Patentan­ meldung Nr. 8-154032 beschriebenen piezoelektrischen Reso­ nator, wenn der Resonanzwiderstand jedes Schwingabschnitts durch das Symbol R dargestellt ist, der gesamte Resonanzwi­ derstand äquivalent zu 2R. Um den gesamten Resonanzwider­ stand zu reduzieren, ist es notwendig, den Resonanzwider­ stand jedes Schwingabschnitts zu reduzieren. Zu diesem Zweck muß der Bereich, in dem sich Elektroden gegenüberlie­ gen, vergrößert werden. Folglich sind unnötige Schwingungen nicht mehr vernachlässigbar, was zu der Verschlechterung der Resonanzcharakteristika führt.

Wenn ferner bei dem in der ungeprüften japanischen Patent­ anmeldung Nr. 5-160666 beschriebenen piezoelektrischen Re­ sonator Elektrodenstrukturen, die auf den Hauptoberflächen des piezoelektrischen Substrats angeordnet sind, voneinan­ der abweichen, variiert der Bereich, in dem sich Elektroden gegenüberliegen, und die Resonanzfrequenzen werden zueinan­ der unterschiedlich. Auch wenn n Stück der piezoelektri­ schen Resonatoren parallel geschaltet sind, verringert sich der Resonanzwiderstand nicht auf 1/n.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen piezo­ elektrischen Resonator, der in einem Dickenschwingungsmode JR schwingt, mit günstigen Eigenschaften sowie eine elektroni­ sche Vorrichtung, die den piezoelektrischen Resonator auf­ weist, zu schaffen.

Diese Aufgabe wird durch einen piezoelektrischen Resonator gemäß Anspruch 1 sowie eine elektronische Vorrichtung gemäß Anspruch 3 gelöst.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß sie einen kompakten piezoelektrischen Resonator schafft, der zufriedenstellende Resonanzcharakteristika und einen geringen Resonanzwiderstand aufweist.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß sie eine elektronische Vorrichtung schafft, die den piezoelek­ trischen Resonator enthält.

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein piezoelektrischer Resonator vorgesehen, der in einem Dickenschwingungsmode schwingt und folgende Merkmale um­ faßt: eine piezoelektrische Schicht; eine erste Elektrode, die auf einer Hauptoberfläche der piezoelektrischen Schicht angeordnet ist, wobei die erste Elektrode eine führende Elektrode und mindestens eine Schwingelektrode, die mit der führenden Elektrode verbunden ist, umfaßt; eine zweite Elektrode, die auf der anderen Hauptoberfläche der Schicht angeordnet ist, wobei die zweite Elektrode eine führende Elektrode und mindestens eine Schwingelektrode, die mit der führenden Elektrode verbunden ist, umfaßt; sowie eine Mehr­ zahl von Schwingabschnitten, bei denen die mindestens eine Schwingelektrode der ersten Elektrode mit der mindestens einen Schwingelektrode der zweiten Elektrode über die pie­ zoelektrische Schicht überlappt, wobei die Mehrzahl von Schwingabschnitten parallel geschaltet sind.

Bei diesem piezoelektrischen Resonator ist ein Abstand zwi­ schen benachbarten Schwingabschnitten vorzugsweise gleich oder größer als die Hälfte einer Wellenlänge, bei der die benachbarten Schwingabschnitte schwingen.

Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung ist eine elektro­ nische Vorrichtung vorgesehen, die den piezoelektrischen Resonator enthält.

Bei dem piezoelektrischen Resonator der Erfindung können bei jedem Schwingabschnitt die Abmessungen der Schwingelek­ troden der ersten und der zweiten Elektrode klein genug ausgeführt sein, um den Einfluß von unnötigen Schwingungen zu verhindern. Somit sind die Resonanzcharakteristika nicht verschlechtert.

Bei diesem piezoelektrischen Resonator verändert sich fer­ ner der Bereich, in dem sich die Schwingelektroden gegen­ überliegen, auch dann nicht, wenn die erste Elektrode von der zweiten Elektrode abweicht. Somit verändern sich der Resonanzwiderstand jedes Schwingabschnitts und die Reso­ nanzfrequenz nicht.

Bei diesem piezoelektrischen Resonator ist die Mehrzahl von Schwingabschnitten ferner durch Überlappen der Schwingelek­ troden der ersten Elektrode mit den Schwingelektroden der zweiten Elektrode über die piezoelektrische Schicht gebil­ det. Somit kann die Mehrzahl von Schwingabschnitten in dem kleinen Bereich angeordnet sein.

Da bei diesem piezoelektrischen Resonator die Mehrzahl von Schwingabschnitten elektrisch parallel zueinander geschal­ tet ist, ist ferner der Resonanzwiderstand kleiner als der Resonanzwiderstand jedes Schwingabschnitts.

Wenn bei diesem piezoelektrischen Resonator ferner der Ab­ stand zwischen den benachbarten Schwingabschnitten gleich oder größer als die Hälfte der Wellenlänge ist, bei der die benachbarten Schwingabschnitte schwingen, werden Schwingun­ gen, die in lateralen Richtungen austreten, adäquat ge­ dämpft. Folglich beeinträchtigen sich die Schwingungen der benachbarten Schwingabschnitte nicht gegenseitig, und somit sind die Resonanzcharakteristika nicht verschlechtert.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht eines piezoelektrischen Resona­ tors gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine Schnittansicht der Linie II-II der Fig. 1;

Fig. 3 eine Schnittansicht der Linie III-III der Fig. 1;

Fig. 4 eine Unteransicht des in Fig. 1 gezeigten pie­ zoelektrischen Resonators;

Fig. 5 eine Draufsicht eines piezoelektrischen Resona­ tors gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 6 eine Unteransicht des in Fig. 5 gezeigten pie­ zoelektrischen Resonators;

Fig. 7 eine Draufsicht eines piezoelektrischen Resona­ tors gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 8 eine Unteransicht des in Fig. 7 gezeigten pie­ zoelektrischen Resonators;

Fig. 9 eine Draufsicht eines piezoelektrischen Resona­ tors gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung; und

Fig. 10 eine Unteransicht des in Fig. 9 gezeigten pie­ zoelektrischen Resonators.

Fig. 1 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel eines piezo­ elektrischen Resonators gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. Fig. 2 ist eine Schnittansicht der Linie II-II der Fig. 1, und Fig. 3 ist eine Schnittansicht der Linie III-III der Fig. 1. Fig. 4 ist eine Unteransicht der Fig. 1. Der in Fig. 1 bis 4 gezeigte piezoelektrische Resonator 10 ist ein piezoelektrischer Dünnfilmresonator, der eine Basis 1, einen Trägerfilm 3, einen piezoelektrischen Film 12 als piezoelektrische Schicht, eine Oberseitenelektrode 14a als erste Elektrode sowie eine Unterseitenelektrode 14b als zweite Elektrode umfaßt. Die Basis 1 umfaßt ein anorgani­ sches Material, beispielsweise Si. Der Trägerfilm 3 ist auf der Basis 1 durch ein Dielektrikum, wie beispielsweise SiO₂, gebildet. Beispielsweise an einem Mittelabschnitt der Basis 1 kann beispielsweise ein rechtwinkliger Schwingraum 2 gebildet sein. Dieser Schwingraum 2 ist durch Ätzen einer hinteren Oberfläche der Basis 1 gebildet. Die Unterseiten­ elektrode 14b ist auf dem Trägerfilm 3 gebildet. Der piezo­ elektrische Film 12 ist durch einen piezoelektrischen Film, beispielsweise ZnO, AlN oder dergleichen, auf der Untersei­ tenelektrode 14b zu einer rechtwinkligen Form gebildet. Die Oberseitenelektrode 14a ist auf dem piezoelektrischen Film 12 gebildet.

Die Oberseitenelektrode 14a umfaßt eine Externsignalextrak­ tionselektrode 16a, eine führende Elektrode 18a sowie drei Schwingelektroden 20a. Die Externsignalextraktionselektrode 16a ist in einer rechtwinkligen Form in der Zwischenpositi­ on eines Endabschnitts auf der ersten Hauptoberfläche des piezoelektrischen Films 12 angeordnet. Die führende Elek­ trode 18a ist in einer bandartigen Form gebildet, die sich von der Externsignalextraktionselektrode 16a zu der Mitte der ersten Hauptoberfläche des piezoelektrischen Films 12 erstreckt. In diesem Fall ist die Breite der führenden Elektrode 18a gleich der Breite der Externsignalextrakti­ onselektrode 16a. Die drei Schwingelektroden 20a sind so angeordnet, daß sie sich von der führenden Elektrode 18a zu der Mitte der ersten Hauptoberfläche des piezoelektrischen Films 12 erstrecken. In diesem Fall sind die drei Schwing­ elektroden 20a bezüglich der führenden Elektrode 18a bei einem bestimmten Abstand zwischen denselben in einem Winkel von 90 Grad gebogen. Ferner sind die drei Schwingelektroden 20a in dieser Situation eng genug gebildet, um den Einfluß von unnötigen Schwingungen zu verhindern.

Die Unterseitenelektrode 14b umfaßt eine Externsignalex­ traktionselektrode 16b, eine führende Elektrode 18b sowie drei Schwingelektroden 20b. Die Externsignalextraktions­ elektrode 16b ist in einer rechtwinkligen Form in der Mitte eines Endabschnitts der zweiten Hauptoberfläche gebildet, welcher dem Endabschnitt der ersten Hauptoberfläche, an dem die Elektrode 16a angeordnet ist, gegenüberliegt. Die füh­ rende Elektrode 18b ist in einer bandartigen Form gebildet, die sich von der Externsignalextraktionselektrode 16b zu der Mitte der zweiten Hauptoberfläche des piezoelektrischen Films 12 erstreckt. In diesem Fall ist die führende Elek­ trode 18b in derselben Breite wie die Breite der Externsi­ gnalextraktionselektrode 16b gebildet. Die drei Schwing­ elektroden 20b sind so angeordnet, daß sie sich von der führenden Elektrode 18b zu der Mitte der zweiten Hauptober­ fläche des piezoelektrischen Films 12 erstrecken. In dieser Situation sind die drei Schwingelektroden 20b parallel zu der führenden Elektrode 18b in einem gewissen Abstand zwi­ schen denselben parallel angeordnet. Zudem sind die Breiten der drei Schwingelektroden 20b eng genug ausgeführt, um den Einfluß von unnötigen Schwingungen zu verhindern.

Die drei Elektroden 20a der Oberseitenelektrode 14a sind orthogonal zu den drei Elektroden 20b der Unterseitenelek­ trode 14b über die piezoelektrische Schicht 12 angeordnet. Neun Teile, die durch orthogonales Anordnen der drei Elek­ troden 20a zu den drei Elektroden 20b gebildet sind, stel­ len neun Schwingabschnitte 22 dar. In dieser Situation sind die drei Elektroden 20a mit der führenden Elektrode 18a verbunden, und die drei Elektroden 20b sind mit der führen­ den Elektrode 18b verbunden. Folglich sind die Schwingab­ schnitte 22 parallel geschaltet.

Hinsichtlich jedes der Schwingabschnitte 22 sind bei dem in Fig. 1 bis 4 gezeigten piezoelektrischen Resonator 10 die Abmessungen der Schwingelektroden 20a der Oberseitenelek­ trode 14a und die Abmessungen der Schwingelektroden 20b der Unterseitenelektrode 14b kleiner eingestellt als Abmessun­ gen, die den Einfluß von unnötigen Schwingungen bewirken. Folglich kann die Verschlechterung der Resonanzcharakteri­ stika verhindert werden.

Zudem verändern sich bei diesem piezoelektrischen Resonator 10 die Bereiche, in denen die Schwingelektroden 20a den Schwingelektroden 20b gegenüberliegen, nicht, auch wenn die Oberseitenelektrode 14a von der Unterseitenelektrode 14b abweicht. Somit verändern sich die Resonanzwiderstände und die Resonanzfrequenzen der Schwingabschnitte 22 nicht und bleiben einander gleich.

Ferner überlappen bei dem piezoelektrischen Resonator 10 die drei Schwingelektroden 20a mit den drei Schwingelektro­ den 20b über den piezoelektrischen Film 12, um die neun Schwingabschnitte 22 zu bilden. Dementsprechend können in einem kleinen Bereich viele Schwingabschnitte 22 angeordnet sein.

Zudem sind bei dem piezoelektrischen Resonator 10 die neun Schwingabschnitte 22, die die gleichen Resonanzfrequenzen aufweisen, elektrisch parallel geschaltet. Somit kann der Resonanzwiderstand insgesamt, ohne daß unnötige Schwingun­ gen verursacht werden, auf 1/9 des Resonanzwiderstands je­ des Schwingabschnitts 22 reduziert werden.

Wie oben gezeigt ist, sind bei dem in jeder der Fig. 1 bis 4 gezeigten piezoelektrischen Resonator 10, ohne daß ein Einfluß unnötiger Schwingungen verursacht wird, die neun Schwingabschnitte 22, die die gleichen Resonanzfrequenzen aufweisen, in einer gitterartigen Form angeordnet und elek­ trisch parallel geschaltet. Folglich kann der Resonanzwi­ derstand insgesamt, ohne daß unnötige Schwingungen verur­ sacht werden, auf 1/9 des Resonanzwiderstandes jedes Schwingabschnitts 22 in dem kleinen Bereich eingestellt werden.

Bei dem piezoelektrischen Resonator 10 ist ein Abstand zwi­ schen benachbarten Schwingabschnitten 22 gleich oder größer als die Hälfte einer Wellenlänge, bei der jeder Schwingab­ schnitt 22 schwingt. Bei dieser Anordnung werden Schwingun­ gen, die in lateralen Richtungen austreten, ausreichend ge­ dämpft. Da sich die Schwingungen der benachbarten Schwing­ abschnitte 22 nicht gegenseitig beeinträchtigen, sind somit die Resonanzcharakteristika nicht verschlechtert.

Fig. 3 zeigt eine Draufsicht eines piezoelektrischen Reso­ nators gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfin­ dung. Fig. 6 zeigt eine Unteransicht des piezoelektrischen Resonators. Bei einem in jeder der Fig. 5 und 6 gezeigten piezoelektrischen Resonator 10 sind die Breiten der führen­ den Elektroden 18a und 18b im Vergleich zu dem in jeder der Fig. 1 und 2 gezeigten piezoelektrischen Resonator 10 ge­ ringer. Zudem sind die Schwingelektroden 20a und 20b in be­ zug auf die führenden Elektroden 18a und 18b bei einem Win­ kel von ca. 45 Grad gebogen und derart in zwei Reihen beab­ standet, daß die Schwingelektroden 20a über den piezoelek­ trischen Film 12 orthogonal zu den Schwingelektroden 20b sind.

Bei dem in jeder der Fig. 5 und 6 gezeigten piezoelektri­ schen Resonator 10 sind die Schwingelektroden 20a und 20b im Vergleich zu dem in jeder der Fig. 1 und 2 gezeigten piezoelektrischen Resonator 10 bei einem Winkel von weniger als 90 Grad bezüglich der führenden Elektroden 18a und 18b gebogen. Somit kann ein weiterer Vorteil erhalten werden, der darin besteht, daß eine unnötige Reflexion externer Si­ gnale bei hohen Frequenzen verhindert werden kann. Bei die­ ser Erfindung kann der Winkel zum Biegen der Schwingelek­ troden bezüglich der führenden Elektroden willkürlich ver­ ändert werden.

Fig. 7 zeigt eine Draufsicht eines piezoelektrischen Reso­ nators gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfin­ dung. Fig. 8 zeigt eine Unteransicht des piezoelektrischen Resonators. Bei einem in jeder der Fig. 7 und 8 gezeigten piezoelektrischen Resonator 10 sind im Gegensatz zu dem in jeder der Fig. 1 bis 6 gezeigten piezoelektrischen Resona­ tor 10 Paare von gewellten Schwingelektroden 20a einer Oberseitenelektrode 14a sowie von gewellten Schwingelektro­ den 20b einer Unterseitenelektrode 14b auf eine Weise ge­ bildet, so daß die wiederholt gekrümmten Elektroden 20a und 20b einander über einen piezoelektrischen Film 12 überlap­ pen.

Bei dem in jeder der Fig. 7 und 8 gezeigten piezoelektri­ schen Resonator 10 können die Externsignalextraktionselek­ troden 16a und 16b im Gegensatz zu dem in jeder der Fig. 1 bis 6 gezeigten piezoelektrischen Resonator 10 mit den Schwingelektroden 20a und 20b verbunden sein, da die Schwingelektroden 20a und 20b bezüglich der führenden Elek­ troden 18a und 18b nicht gebogen sind. Somit wird im Gegen­ satz zu dem in jeder der Fig. 1 und 4 gezeigten piezoelek­ trischen Resonator 10 ein weiterer Vorteil erhalten, der darin besteht, daß eine unnötige Reflexion externer Signale bei hohen Frequenzen verhindert werden kann. Auch wenn die Schwingelektroden andere Konfigurationen aufweisen als ge­ wellte Konfigurationen, können dieselben Vorteile erhalten werden.

Fig. 9 zeigt eine Draufsicht eines piezoelektrischen Reso­ nators gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfin­ dung. Fig. 10 zeigt eine Unteransicht des piezoelektrischen Resonators. Bei einem in jeder der Fig. 9 und 10 gezeigten piezoelektrischen Resonator 10 sind im Gegensatz zu dem in jeder der Fig. 1 bis 8 gezeigten piezoelektrischen Resona­ tor 10 als Schwingelektroden 20a einer Oberseitenelektrode 14a drei Stück von Elektroden, die drei in Reihe geschalte­ te kleine Elektroden aufweisen, parallel beabstandet. Als Alternative zu den Schwingelektroden 20b einer Unterseiten­ elektrode 14b ist eine breite Elektrode angeordnet. In die­ ser Situation sind die Schwingelektroden 20a so angeordnet, daß sie mit Teilen der Schwingelektrode 20b über einen pie­ zoelektrischen Film 12 überlappen.

Bei dem in jeder der Fig. 9 und 10 gezeigten piezoelektri­ schen Resonator 10 werden bei dem Bilden der Elektroden im Gegensatz zu dem in jeder der Fig. 1 bis 8 gezeigten piezo­ elektrischen Resonator 10 keine Rückstände in der Untersei­ tenelektrode 14b erzeugt, und es tritt kein Staub in die Elektrode 14b ein. Somit kann ein weiterer Vorteil erhalten werden, der darin besteht, daß die Produktfehlerrate auf­ grund von Rückständen und Staub reduziert werden kann.

Bei diesem piezoelektrischen Resonator 10 können die Ober­ seitenelektrode 14a und die Unterseitenelektrode 14b in ih­ rer Position vertauscht sein.

Zudem wird bei jedem der obigen piezoelektrischen Resonato­ ren 10 der piezoelektrische Film als eine piezoelektrische Schicht verwendet. Jedoch kann als die piezoelektrische Schicht der Erfindung ein piezoelektrisches Substrat ver­ wendet werden.

Ferner können bei jedem der oben beschriebenen piezoelek­ trischen Resonatoren 10, obwohl die Schwingabschnitte 20 rechtwinklig oder im wesentlichen rechtwinklig sind, die Schwingabschnitte, die bei der vorliegenden Erfindung ver­ wendet werden, in einer beliebigen Form, beispielsweise ei­ ner runden Form, ausgebildet sein.

Ferner kann diese Erfindung nicht nur auf einen piezoelek­ trischen Resonator angewandt werden, sondern die Erfindung kann auch auf eine elektronische Vorrichtung, die einen piezoelektrischen Resonator umfaßt, angewandt werden, bei­ spielsweise ein Filter.

Wie oben beschrieben ist, kann die Erfindung einen kompak­ ten piezoelektrischen Resonator schaffen, der zufrieden­ stellende Resonanzcharakteristika und einen geringen Reso­ nanzwiderstand aufweist.

Zudem kann die Erfindung eine elektronische Vorrichtung schaffen, die den obigen piezoelektrischen Resonator ent­ hält, beispielsweise ein Filter.

Claims (3)

1. Piezoelektrischer Resonator (10), der in einem Dicken­ schwingungsmode schwingt und folgende Merkmale auf­ weist:
eine piezoelektrische Schicht (12);
eine erste Elektrode (14a), die auf einer Hauptober­ fläche der piezoelektrischen Schicht angeordnet ist, wobei die erste Elektrode eine führende Elektrode (18a) und mindestens eine Schwingelektrode (20a), die mit der führenden Elektrode verbunden ist, umfaßt;
eine zweite Elektrode (14b), die auf der anderen Hauptoberfläche der Schicht angeordnet ist, wobei die zweite Elektrode eine führende Elektrode (18b) und mindestens eine Schwingelektrode (20b), die mit der führenden Elektrode verbunden ist, umfaßt; und
eine Mehrzahl von Schwingabschnitten (22), an denen die mindestens eine Schwingelektrode (20a) der ersten Elektrode (14a) miß der mindestens einen Schwingelek­ trode (20b) der zweiten Elektrode (14b) über die pie­ zoelektrische Schicht (12) überlappt, wobei die Mehr­ zahl von Schwingabschnitten parallel geschaltet ist.

2. Piezoelektrischer Resonator (10) gemäß Anspruch 1, bei dem ein Abstand zwischen benachbarten Schwingabschnit­ ten (22) gleich oder größer als die Hälfte einer Wel­ lenlänge ist, bei der die benachbarten Schwingab­ schnitte schwingen.

3. Elektronische Vorrichtung, die den piezoelektrischen Resonator (10) gemäß Anspruch 1 oder 2 aufweist.