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Die
vorliegende Erfindung betrifft oberflächenstrukturierte polymere
Substrate, die geordnete Oberflächenstrukturen
im Nanometerbereich aufweisen, sowie ein Verfahren zur Herstellung
dieser Substrate mit Oberflächenstrukturierung
im Nanometerbereich.
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Periodisch
und aperiodisch mikrostrukturierte Oberflächen von einigen Mikrometern
bis einigen Nanometern werden für
eine Vielzahl von Anwendungen, insbesondere elektronische und optische
Bauelemente, sowie Sensoren und in der Mikrotechnologie verwendet.
Die Herstellung solcher mikrostrukturierter Oberflächen erfolgt
durch Anwendung bekannter lithographischer Techniken, die je nach
Art der gewünschten
Mikrostruktur geeignet ausgewählt werden.
So können
beispielsweise mit der Elektronenstrahl- und Ionenstrahllithographie
Strukturen im Nanometerbereich hergestellt werden, und entsprechende
Anlagen sind im Handel erhältlich.
Ferner erlaubt die Atomstrahllithographie durch die Kontrolle der
Wechselwirkungen der Atomstrahlen mit Lichtmasken, dass großflächige periodische
Linienmuster und verschiedene zweidimensionale periodische Strukturen
erzeugt werden.
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Da
diese Verfahren jedoch den Nachteil aufweisen, dass sie ökonomisch
nicht vertretbar sind und/oder keine periodischen Strukturen im
Nanometerbereich liefern und/oder nur durch physikalische Parameter
gesteuert werden können
und deshalb apparativ sehr aufwendig sind, wurde die sogenannte
mizellare Blockcopolymer-Nanolithographie entwickelt, mit der sich nanostrukturierte
Oberflächen
mit einer Periodizität
im unteren Nanometerbereich zwischen 10 und 170 nm herstellen lassen.
Das mizellare Blockcoplymer-Nanolithographie-Verfahren ist im Detail in den folgenden
Patenten und Patentanmeldungen beschrieben:
DE 199 52 018 ,
DE 197 47 813 ,
DE 297 47 815 und
DE 197 47 816 .
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Bei
der mizellaren Blockcopolymer-Nanolithographie spielen Templateffekte
eine wichtige Rolle. Darunter versteht man die Vorgabe von Hilfsstrukturen,
welche das Wachstum, die Struktur und die Anordnung des darauf aufbauenden
Systems kontrolliert. Solche Template sind beispielsweise Blockcopolymere
und Pfropfcopolymere, die in geeigneten Lösungsmitteln zu mizellaren
Kern-Schalesystemen assoziieren, sowie hochverzweigte dendritische
Moleküle
mit einer Kern-Schale-Struktur.
Diese Kern-Schale-Strukturen dienen zur Lokalisierung anorganischer
Vorstufen, aus denen nanometergroße, anorganische Teilchen mit
einer kontrollierten Größe, durch
die Polymerhülle
räumlich
voneinander getrennt, abgeschieden werden können. Vorteilhaft ist dabei
insbesondere, dass die Kern-Schale-Systeme oder Mizellen durch einfache
Abscheidungsvorgänge wie
Spin-Casting oder Dip-Coating als hochgeordnete Monofilme auf unterschiedliche
Substrate aufgebracht werden können.
Die organische Matrix wird anschließend durch einen Gas-Plasma-Prozess oder durch
Pyrolyse rückstandsfrei
entfernt, wodurch anorganische Nanopartikel in der Anordnung auf
dem Substrat fixiert werden, in der sie durch das organische Templat
positioniert wurden. Die Größe der anorganischen
Nanopartikel wird durch die Einwaage einer bestimmten anorganischen
Precursorverbindung und der laterale Abstand zwischen den Nanopartikeln
durch die Struktur, insbesondere durch das Molekulargewicht der
organischen Matrix bestimmt. Dadurch konnten Teilchengrößen von
Au-, Ag-, Pt-, Pd-, Ni-, Co-, Fe- und
Ti-Teilchen sowie deren Oxide und Legierungen zwischen 1 und 20
nm in geordneten Mustern auf Substraten abgeschieden werden, wobei
die Muster eine Periodizität
entsprechend dem sphärischen
Kern-Schale System zwischen 10 und 170 nm aufwiesen.
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Voraussetzung
für das
oben beschriebene mizellare Blockcopolymer-Nanolithographie-Verfahren
ist, dass die Substrate aus Materialien bzw. Materialmischungen
bestehen müssen,
die den Gas-Plasma- oder Pyrolyse-Prozess zur Entfernung der organischen
Matrix unbeschadet überstehen.
Als Substrate werden daher üblicherweise
Edelmetalle, oxidische Gläser,
mono- oder multikristalline Substrate, Halbleiter, Metalle mit oder
ohne passivierter Oberfläche,
Isolatoren oder allgemein Substrate mit hoher Resistenz gegen nachfolgende Ätzprozeduren eingesetzt.
Organische Substrate und eine Vielzahl anorganischer Substrate scheiden
jedoch augrund ihrer Unbeständigkeit
gegenüber
dem Gas-Plasma- oder Pyrolyse-Prozess für die Anwendung in dem Blockcopolymer-Nanolithographie-Verfahren
aus.
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Dies
ist insofern nachteilig, als insbesondere sowohl organische Polymersubstrate
als auch die für das
Blockcopolymer-Nanolithographie-Verfahren nicht einsetzbaren anorganischen
Substrate für
die Herstellung von beispielsweise Leiterbahnen bei der Chip-Herstellung,
bei der Kultivierung von Zellen, Bakterien und Viren sowie für den Einsatz
als Implantate eine große
praktische und wirtschaftliche Bedeutung haben.
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Beispielsweise
werden Arbeiten mit einer großen
Anzahl an Zellen und Zellkulturen aufgrund praktischer und ökonomischer
Gesichtspunkte mit Kulturschalen durchgeführt, die aus Plastik oder besonderen
Polymeren bestehen. Diese werden beispielsweise zur Vermehrung von
Zellen, zur Differenzierung von Zellen oder zur Generierung von
Gewebe im Allgemeinen eingesetzt. Die Nanostruktur konnte jedoch
bisher nicht auf polymere Oberflächen übertragen
werden und konnte somit bisher nicht zur Einstellung von adhäsionsvermittelter
Zellfunktion genutzt.
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Ferner
hat die Anwendung der bekannten Substrate aus Metallen, Gläsern, mono-
oder multikristallinen Substraten und Halbleitern den Nachteil, dass
sie eine hohe und nicht beliebig einstellbare Festigkeit aufweisen.
Es besteht jedoch die Nachfrage nach strukturierten Oberflächen, die
weich und flexibel sind und sich z.B. in Form einer Folie auf Gegenstände, wie
Implantat- oder Stent-Materialien, aufbringen lassen und diese Gegenstände so mit
einer strukturierten Oberfläche
versehen können.
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Daher
besteht die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Aufgabe
darin, ein Verfahren zur Nanostrukturierung einer polymeren Substratoberfläche sowie
die daraus resultierenden nanostrukturierten Polymersubstrate bereitzustellen.
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Diese
Aufgabe wird gelöst
durch ein Verfahren zur Herstellung eines polymeren oberflächenstrukturierten
Substrats, umfassend die Schritte:
- (a) Herstellen
eines ersten Substrats, das auf mindestens einer Oberfläche mit
anorganischen Nanoclustern nanostrukturiert ist,
- (b) Aufbringen eines härtbaren
Substratmaterials für
ein zweites Substrat, das vom ersten Substratmaterial verschieden
ist, auf die im Schritt (a) erhaltene nanostrukturierte Oberfläche des
ersten Substrats, wobei das härtbare
Substratmaterial ausgewählt
ist aus einem organischen vernetzbaren oder nichtvernetzbaren Polymer,
einem Harz, einem organischen polymerisierbaren und/oder vernetzbaren
Oligomer und einem organischen polymerisierbaren Polymerprecursor
oder Mischungen davon,
- (c) Härten
des Substratmaterials für
das zweite Substrat und
- (d) Abtrennen des ersten Substrats von dem in Schritt (c) erhaltenen
zweiten Substrat, einschließlich
der anorganischen Nanocluster, wodurch ein mit Nanoclustern nanostrukturiertes zweites
Substrat erhalten wird.
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Im
folgenden werden die einzelnen Schritte des Verfahrens zur Herstellung
eines polymeren oberflächenstrukturierten
Substrats der vorliegenden Erfindung näher erläutert.
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In
Schritt (a) wird eine mit anorganischen Nanoclustern nanostrukturierte
Oberfläche
hergestellt.
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Als
Verfahren zur Herstellung solcher nanostrukturierten Oberflächen können die
im Stand der Technik bekannten Lithographie-Verfahren angewendet
werden. Bevorzugt ist die Herstellung durch das mizellare Blockcopolymer-Nanolithographie-Verfahren,
wodurch nanostrukturierte Oberflächen
auf einfache und kostengünstige
Weise hergestellt werden können
(s.
DE 199 52 018 ,
DE 197 47 813 ,
DE 297 47 815 und
DE 197 47 816 ).
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Wenn
die nanostrukturierte Oberfläche durch
ein im Stand der Technik bekanntes Lithographie-Verfahren hergestellt
wird, besteht das verwendete erste Substrat aus einem Material,
das üblicherweise
in diesen Lithographie-Verfahren eingesetzt wird. Im Fall des mizellaren
Blockcopolymer-Nanolithographie-Verfahrens
sind als verwendbare Substratmaterialien insbesondere zu nennen:
Edelmetalle, oxidische Gläser,
mono- oder multikristalline
Substrate, Halbleiter, Metalle mit oder ohne passivierter Oberfläche, Isolatoren
oder allgemein Substrate mit hoher Resistenz gegen nachfolgende Ätzprozeduren.
Vorzugsweise handelt es sich hierbei um Pt, Au, GaAs, AlxGaAs, Si, SiO2,
Ge, SixNy, SixGaAs, InP, InPSi, GaInAsP, Glas, Graphit,
Diamant, Glimmer, SrTiO3 sowie deren dotierte
Modifikationen.
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Es
ist auch möglich,
dass das erste Substrat aus einem polymeren Material besteht. Ein
solches nanostrukturiertes polymeres Substrat ist erhältlich durch
das hier beschriebene Verfahren der vorliegenden Erfindung. Das
in dem Verfahren der vorliegenden Anmeldung in Schritt (d) erhältliche
Substrat kann somit selbst wiederum als ein erstes Substrat in Schritt
(a) eingesetzt werden. Als polymeres Material sind jegliche Polymere
verwendbar. Als besonders gut geeignete polymere Materialien können beispielhaft
genannt werden: Polystyrol, Epoxidharze, Polydimethylsiloxan (PDMS)
und Polyethylenglycoldiacrylate (PEG-DA). Besonders bevorzugt ist
ein erstes Substrat aus Polystyrol.
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Die
in Schritt (a) hergestellten anorganischen Nanocluster sind insbesondere
sauerstoffresistente Edelmetalle, wie Au, Pt, Pd oder Oxide, wie z.B.
halbleitende Oxide wie TiO2, oder magnetische Teilchen
wie z.B. bestimmte Modifikationen des Fe2O3. Ferner sind auch Cluster aus metallischen Mischsystemen,
wie Au/Fe2O3, AuCoO,
Au/Co3O4, Au/ZnO,
Au/TiO2, Au/ZrO2,
Au/Al2O3, Au/In2O3, Pd/Al2O3, Pd/ZrO2, Pt/Al2O3 und Pt/Graphit, denkbar. Bevorzugt sind
die anorganischen Nanocluster aus Au.
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Die
in Schritt (a) auf das erste Substrat aufgebrachten Cluster sind
hinsichtlich ihrer Form nicht beschränkt und können als Punkte, Linien, Flächen oder
andere beliebige Formen vorliegen. Die Cluster besitzen vorzugsweise
eine Größe von 1
nm bis 300 μm,
besonders bevorzugt 1 nm bis 150 μm
und noch bevorzugter 1 nm bis 20 μm.
Im Fall von punktförmigen
Clustern ist mit "Größe der Cluster" der Durchmesser
gemeint. Im Fall von Linien ist mit "Größe der Cluster" die Linienbreite
gemeint, wobei die Länge der
Linien beliebig ist. Im Fall von Cluster-Flächen ist die "Cluster-Größe" ein Maß für die Fläche des
Clusters.
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Die
erhaltenen Muster, die durch die Abscheidung der Cluster auf dem
ersten Substrat erzeugt werden, weisen bevorzugt eine Periodizität von 1
nm bis 300 μm
auf. Im Hinblick auf eine Zelladhäsion auf einem oberflächenstrukturierten
Substrat ist eine Periodizität
von 5 nm bis 100 μm
besonders bevorzugt.
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Noch
bevorzugter ist eine Periodizität
von 5 nm bis 100 nm und ganz besonders bevorzugt 5 nm bis 20 nm.
Eine Periodizität
von 5 bis 500 nm lässt sich
beispielsweise durch das mizellare Blockcopolymer-Nanolithographie-Verfahren
herstellen. Größere Periodizitäten lassen
sich z.B. durch bekannte photolithographische Verfahren erzeugen.
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In
dem Schritt (b) des Verfahrens zur Herstellung eines polymeren oberflächenstrukturierten
Substrats der vorliegenden Erfindung wird ein härtbares Material für ein zweites
Substrat auf die in Schritt (a) erhaltene strukturierte Oberfläche des
ersten Substrats aufgebracht. Das härtbare Material für das zweite
Substrat ist ausgewählt
aus einem organischen Polymer, einem Harz, einem organischen polymerisierbaren
oder vernetzbaren Oligomer, einem vernetzbaren Polymer und einem
organischen polymerisierbaren Polymerprecursor. Als spezielle Beispiele für das härtbare zweite
Substratmaterial können
Polystyrol, Epoxidharze, Polydimethylsiloxan (PDMS), Polyethylenglycoldiacrylate
(PEG-DA), z.B. PEG-DA 500,
PEG-DA 4000 und PEG-DA 8000, und Polyphosphazene unterschiedlichster
Molekulargewichte genannt werden.
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Das
härtbare
Material für
das zweite Substrat wird vorzugsweise in Form einer Flüssigkeit
oder als Lösung
durch ein im Stand der Technik übliches
Beschichtungsverfahren gleichmäßig mit
der gewünschten
Dicke aufgetragen. Beispielsweise werden Polystyrol und Polyphosphazene
in Lösung
und PDMS und Epoxidharze in flüssigem
Zustand durch ein Spinschleuder-Verfahren auf das erste Trägermaterial
aufgetragen. PEG-Diacrylat wird vorzugsweise in Lösung unter
Schutzgas aufgetropft.
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In
Schritt (c) wird das härtbare
Material für das
zweite Substrat gehärtet.
Das Verfahren zum Härten
des zweiten Substratmaterials wird abhängig von der Natur des Substratmaterials
geeignet ausgewählt.
So werden beispielsweise Polystyrol und Polyphosphazene, die als
Lösungen
aufgebracht werden können,
durch langsames Evaporieren des Lösungsmittels gehärtet. PDMS
und Epoxidharze werden thermisch polymerisiert bzw. vernetzt und
dadurch ausgehärtet.
PEG-Diacrylate werden photochemisch polymerisiert und auf diese
Weise gehärtet.
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Nach
dem Härten
weist das zweite Substrat vorzugsweise eine Dicke von 1 nm bis einigen
cm auf, insbesondere bevorzugt ist eine Dicke von 10 nm bis 100
cm. Im Hinblick auf eine Anwendung des polymeren oberflächenstrukturierten
Substrats als Folie weist das zweite Substrat nach dem Schritt (c)
vorzugsweise eine Dicke von 10 nm bis 1 cm auf, besonders bevorzugt
100 nm bis 1 mm.
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Im
Schritt (d) des Verfahrens zur Herstellung eines polymeren oberflächenstrukturierten
Substrats wird das erste Substrat von dem in Schritt (c) gehärteten zweiten
Substrat, einschließlich
der Nanocluster, abgetrennt, wodurch ein mit anorganischen Nanoclustern
im Nanometerbereich strukturiertes zweites Substrat erhalten wird,
wobei die Nanocluster mit dem gleichen Muster auf das zweite Substrat übertragen
werden, das die Nanocluster auf dem ersten Substrat aufwiesen. Die
Abtrennung erfolgt in einem geeigneten Verfahren durch ein Abtrennmittel,
das abhängig
von der Natur des ersten Substratmaterials und unter Berücksichtigung
der Natur des zweiten Substratmaterials geeignet ausgewählt wird.
Zu beachten ist dabei, dass das eingesetzte Abtrennmittel so ausgewählt wird,
dass zwar das erste Substrat von dem Abtrennmittel angegriffen wird,
beispielsweise durch Lösen,
aber umgekehrt das zweite Substrat gegenüber diesem Abtrennmittel so
stabil und unempfindlich wie möglich
ist. So lässt
sich beispielsweise ein erstes Substrat, das aus Glas oder Siliziumdioxid
besteht, mit Flusssäure
(z.B. 25%ig) entfernen, wenn das zweite Substrat aus Polystyrol,
Epoxidharz, Polydimethylsiloxan (PDMS), Polyethylenglycoldiacrylat
(PEG-DA) oder Phosphazen besteht. Im Fall von Polystyrol als erstes
Substrat kann beispielsweise Toluol als geeignetes Abtrennmittel
eingesetzt werden, wenn das zweite Substrat aus PEG-DA oder PDMS
besteht.
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Die
Größe des in
Schritt (d) erhaltenen polymeren Substrats mit strukturierter Oberfläche ist
beliebig und kann je nach gewünschter
Anwendung zwischen 100 nm2 und mehreren
Metern betragen. Bevorzugt ist eine Größe von 1 mm2 bis
100 cm2.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform des
Verfahrens der vorliegenden Erfindung wird zwischen Schritt (a)
und Schritt (b) ein Schritt der Immobilisierung eines Anbindungsmoleküls durchgeführt, vorzugsweise
ausgewählt
aus Propenthiol, Mercaptopolyethylenglykolacrylat, Polyethylenglykoldithiol, Alkylthioglykolat
und Amino-1-alkylthiol. "Alkyl" bezeichnet einen
geraden oder verzweigten, gesättigten
oder ungesättigten
Kohlenwasserstoff mit 1 bis 24 Kohlenstoffatomen, bevorzugt 4 bis
18 Kohlenstoffatome, besonders bevorzugt 6 bis 12 Kohlenstoffatome.
Als besonders vorteilhaft haben sich Amino-1-undecanthiol und Allylmercaptoacetat
gezeigt. Das Anbindungsmolekül
sollte derart ausgewählt werden,
dass es sich spezifisch an die anorganischen Nanocluster anbinden
lässt und
sich chemisch oder elektrostatisch mit dem zweiten Substrat verbindet,
aber an dem ersten Substrat nicht haftet.
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Die
Immobilisierung der Anbindungsmoleküle erfolgt durch bekannte Verfahren.
Beispielsweise kann die Anbindung von Propenthiol an Goldcluster in
der Gasphase erfolgen, die anderen oben genannten Thiole werden
in Lösung
innerhalb einer Reaktionszeit von etwa 12 h an Goldcluster angebunden.
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Durch
die Anbindungsmoleküle
wird eine bessere Anbindung der anorganischen Nanocluster im bzw.
am zweiten Substrat erzielt.
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In
einer besonders vorteilhaften Ausführungsform können als
Anbindungsmoleküle
Zellen verwendet werden. In diesem Fall binden die Adhäsionsproteine
der Zelle abhängig
von der Nanostruktur auf dem ersten Substrat nur an bestimmte Nanocluster.
Dadurch kann erreicht werden, dass nach dem Abtrennen des ersten
Substrats nur solche Nanocluster auf dem zweiten Substrat zurückbleiben,
die an die Adhäsionsproteine
der Zelle gebunden sind. Auf diese Weise lassen sich wichtige Erkenntnisse über das
Adhäsionsverhalten
von Zellen auf nanostrukturierten Oberflächen erhalten.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
kann im Anschluss an den Schritt (d) eine Passivierung der die Nanocluster
umgebenden Bereiche durchgeführt
werden, um eine gezielte Wechselwirkung von z.B. Zellen oder anderen
Biomolekülen
mit den anorganischen Nanoclustern zu erzielen. Eine solche Passivierung
durch Polyethylenglykol ist beispielsweise in der US-Patentanmeldung 2003/0133963
A1 von J.A. Hubbell beschrieben. Eine weitere Möglichkeit zur Passivierung
besteht in der Erzeugung von Hydroxylgruppen auf den Oberflächen von
Polystyrol- oder PDMS-Substraten durch ein Sauerstoff-Plasma. Auf
diesen Hydroxylgruppen lassen sich dann durch Anbinden von (3-Triethoxysilyl-propyl)-carbamidsäure-(methoxypolyethylenglykol)-estern
eine molekulare PEG-Monoschicht mit stark proteinabweisenden Eigenschaften
herstellen. Außerdem
ist bekannt, dass sich Polystyrol-Oberflächen im Sauerstoff-Plasma mit
Bovin Serum Albumin (BSA) gegen Proteinwechselwirkungen und Zelladhäsion passivieren
lassen. Um die unspezifische Anbindung von BSA an den Bereich der
Struktur, der nicht passiviert werden soll, zu verhindern, muss
dieser Bereich zuerst mit einer anderen spezifisch anbindenden Substanz
geschützt
werden. So können Goldcluster
beispielsweise mit PEG-Thiolen geschützt werden, die nach einer
Plasma-Aktivierung der Oberfläche
angebunden werden. Die Bindung des Thiols zum Gold kann in Iod-Atmosphäre wieder zerstört werden.
Nach der unspezifischen Anbindung des BSA an das Polystyrol kann
das PEG dann abgewaschen werden (s. Promotionsarbeit Wolfgang Geyer,
Universität
Heidelberg, 04.05.2001).
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Nach
dem Schritt (d) der Abtrennung des ersten Substrats und ggf. nach
der oben beschriebenen Passivierung kann ein Schritt der Biofunktionalisierung
der anorganischen Nanocluster durchgeführt werden. "Biofunktionalisierung" bezeichnet einen Schritt,
in dem spezifische Moleküle
an die nanostrukturierten Cluster angebracht werden, um diese für bestimmte
biologische Anwendungen zu funktionalisieren. Hierunter können alle
Proteine, Proteinsequenzen und andere Moleküle, die von biologischem Interesse
sind, verstanden werden. Diese Moleküle lassen sich direkt oder über verschiedene
Anbindungsmoleküle
an die Nanocluster anheften. Ein cyclisches RGD-Peptid mit Thiolanker
lässt sich
z.B. an die Goldcluster nach dem Pasivierungsschritt anbinden. Die
Goldcluster lassen sich so für
die spezifische Anbindung von Integrinen, einem zellulären Adhäsionsprotein,
funktionalisieren. Ein anderes Beispiel ist die Anbindung von molekularen
Motoren wie Kinesin oder Myosin.
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Das
oben beschriebene Verfahren der vorliegenden Erfindung wird im folgenden
unter Bezugnahme auf 1 näher erläutert, wobei in 1 das Verfahren
zur Herstellung eines polymeren oberflächenstrukturierten Substrats
der vorliegenden Erfindung gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform schematisch
dargestellt ist.
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Wie
in 1 gezeigt, werden zunächst in einem Schritt (a) anorganische
Nanocluster 2 auf eine Oberfläche eines ersten Substrats 1 nanostrukturiert aufgebracht.
Anschließend
werden Anbindungsmoleküle 6 auf
dieser Nanostruktur immobilisiert. In dem nachfolgenden Schritt
(b) wird dann ein härtbares Substratmaterial 3 für ein zweites
Substrat auf die nanostrukturierte Oberfläche des ersten Substrats 1 aufgebracht.
Anschließend
wir im Schritt (c) das härtbare
Substratmaterial 3 für
ein zweites Substrat gehärtet,
wodurch das zweite Substrat 4 erhalten wird. In dem Schritt
(d) wird das erste Substrat 1 dann von dem zweiten Substrat 4 und
den Nanoclustern 2, einschließlich der Anbindungsmoleküle 6,
abgetrennt, wodurch ein mit Nanoclustern nanostrukturiertes zweites
Substrat 5 erhalten wird.
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Gemäß einer
alternativen Ausführungsform wird
die obige Aufgabe der Erfindung auch gelöst durch ein Verfahren zur
Herstellung eines polymeren oberflächenstrukturierten Substrats,
umfassend die Schritte:
- (a') Aufnehmen eines Polymers in einem
geeigneten Lösungsmittel
unter Bildung eines gelösten Kern-Schale-Polymersystems,
- (b') Beladen
von mindestens einem Teil der Kerne des Kern-Schale-Polymersystem mit einer oder mehreren,
gleichen oder unterschiedlichen Metallverbindungen, die Nanocluster
bilden,
- (c') Aufbringen
des in Schritt (b')
erhaltenen Kern-Schale-Polymersystems
als Film derart auf mindestens eine Seite eines Substrats, dass
das Kern-Schale-Polymersystem in einer regelmäßigen Struktur im Film angeordnet
ist, und
- (d') Teilweises
Entfernen des in Schritt (c')
auf dem Substrat aufgebrachten Polymers des Kern-Schale-Polymersystems, wodurch
die Nanocluster nicht mehr vollständig von dem Polymer umgeben
sind, und
- (e') Abtrennen
des Substrats von dem in Schritt (d') erhaltenen Film, wodurch ein mit Nanoclustern
nanostrukturierter polymerer Film erhalten wird.
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Die
Schritte (a') bis
(c') entsprechen
der Vergehensweise, die üblicherweise
in dem mizellaren Blockcopolymer-Nanolithographie-Verfahren
angewendet werden. Details zur Durchführung dieser Schritte finden
sich in den Druckschriften
DE
199 52 018 ,
DE 197
47 813 ,
DE 297 47 815 bzw.
DE 197 47 816 .
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Unter
dem Ausdruck "Kern-Schale-Polymersystem" sind beispielsweise
makromolekulare Amphiphile zu verstehen, welche in wässriger
oder organischer Lösung
assoziieren und wohldefinierte kugelförmige bzw. stäbchenförmige Mizellen,
Lamellen, Vesikel oder komplexe Aggregate bilden können. Erfindungsgemäß sind damit
auch solche, allgemein als Wirt/Gast-Systeme bezeichnete Systeme
eingeschlossen, in denen ein von dem eingesetzten Polymer (Wirtsverbindung)
erzeugter Molekülhohlraum bzw.
Molekülinnenraum,
d. h. der Polymerkern, mit einer Gastverbindung, d.h. der verwendeten
Metallverbindung, beladen bzw. komplexiert werden kann.
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Das
erfindungsgemäß eingesetzte
Polymer, welches das Kern-Schale-Polymersystem
aufbaut, ist vorzugsweise aus Blockcopolymeren, Pfropfcopolymeren,
Mikroarmsternpolymeren, Sternpolymeren mit unterschiedlichen Armen,
dentritischen Polymeren, Mikrogelteilchen, Sternblockpolymeren,
Blocksternpolymeren und Kern-Schale-Latexpolymeren ausgewählt.
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Mehr
bevorzugt ist das Polymer Polystyrol-b-polyethylenoxid, Polystyrol-poly(2-vinylpyridin), Polystyrol-poly(4-vinylpyridin) oder
ein Gemisch davon. Der Polystyrolblock darin kann aber auch durch andere
nicht-polare Polymere, wie beispielsweise Polyisopren, Polybutadien,
Polymethylmethacrylat oder andere Polymethacrylate ersetzt werden.
Der zweite bzw. polare Block in einem solchen Zweiblockcopolymer
kann ein solcher sein, der eine möglichst starke Wechselwirkung
mit der eingesetzten Metallverbindung eingeht. Beispiele hiefür sind Polyacrylsäure, Polymethacrylsäure, aminosubstituierte
Polystyrole, Polyacrylate bzw. Polymethacrylate, aminosubstituierte
Polydiene, Polyethylenimine, verseifte Polyoxazoline oder hydriertes
Polyacrylnitril. Der erste Block kann auch aus einem polaren Polymer
aufgebaut sein, jedoch mit der Maßgabe, dass dann die Metallverbindung
derart gewählt
ist, dass diese hauptsächlich,
d.h. selektiv, mit dem zweiten polaren Block wechselwirkt.
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Typischerweise
werden die vorgenannten Polymersysteme in einem selektiven Lösungsmittel, wie
z. B. Toluol, in einer Menge von etwa 103 bis
100 mg/ml, vorzugsweise etwa 5 mg/ml, gelöst. Nach etwa 12 Stunden wird
in Schritt (b')
des erfindungsgemäßen Verfahrens
die Lösung
mit einer oder mehreren Metallverbindungen versetzt und für 24 Stunden stark
gerührt,
um mindestens einen Teil der durch das Kern-Schale-Polymersystem gebildeten
Polymerkerne mit der/den Metallverbindung(en) zu beladen.
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Die
Metallverbindungen sind dieselben wie die für die oben beschriebenen Metallcluster.
Bevorzugt ist auch in dieser alternativen Ausführungsform Au bzw. eine Au-Verbindung.
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In
Schritt (c') des
erfindungsgemäßen Verfahrens
wird das Aufbringen des Films in Mono- oder Multischichten auf mindestens
eine Seite eines Substrats vorzugsweise durch Tauch-, Gieß-, Spinschleuderverfahren
oder durch Adsorption aus verdünnter
Lösung
durchgeführt.
Mehr bevorzugt wird das Aufbringen in Mono- oder Multischichten
durch Tauchverfahren in verdünnter
Lösung
durchgeführt. In
einer bevorzugten Ausführungsform
wird bzw. werden vor Schritt (c')
die im Polymerkern enthaltende(n) Metallverbindung(en) durch chemische
Behandlung und/oder durch energiereiche Strahlung, beispielsweise
UV-Licht, Röntgenstrahlung
oder Elektronenbeschuss, in Lösung
oder im Film in das Metall oder ein Metalloxid überführt.
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Als
verwendbare Substratmaterialien für das Substrat im Fall des
mizellaren Blockcopolymer-Nanolithographie-Verfahrens sind insbesondere
zu nennen: Edelmetalle, oxidische Gläser, mono- oder multikristalline
Substrate, Halbleiter, Metalle mit oder ohne passivierter Oberfläche, Isolatoren
oder allgemein Substrate mit hoher Resistenz gegen nachfolgende Ätzprozeduren.
Vorzugsweise handelt es sich hierbei um Pt, Au, GaAs, AlxGaAs, Si,
SiO2, Ge, SixNy, SixGaAs, InP, InPSi, GaInAsP,
Glas, Graphit, Diamant, Glimmer, SrTiO3 sowie deren dotierte Modifikationen.
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Die
in Schritt (c')
erhaltenen Filme, d.h. makroskopisch deckende Filme, werden beispielsweise durch
definiertes Ziehen eines Substrats aus der Lösung mit Geschwindigkeiten
zwischen beispielsweise 0,001 mm/min und 2 m/min erzielt. Die mit
der Metallverbindung beladenen Polymerkerne werden dabei unter Ausbildung
einer regelmäßigen Struktur
im Film im wesentlichen intakt abgeschieden.
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In
Schritt (d') des
erfindungsgemäßen Verfahrens
wird der Film zusammen mit dem vom Film mindestens teilweise bedeckten
Substrat einem reaktiven Ionenätzverfahren,
einem Ionensputterverfahren oder einem nasschemischen Verfahren
oder einer Kombination davon unterworfen. Die auf der Substratoberfläche abgeschiedenen
Strukturen dienen dabei als Maske, die durch Ätztechniken in das entsprechende
Substrat übertragen
werden, wobei nur ein Teil des auf dem Substrat aufgebrachten Films
rückstandsfrei
an der gewünschten
Stelle bzw. dem gewünschten
Bereich entfernt wird, und worin die durch das Kern-Schale-Polymersystem
erzeugte, regelmäßige Struktur
aufgrund und in Abhängigkeit von
der Art der Beladung der Polymerkerne sowie der Dauer des reaktiven
Ionenätzverfahrens und/oder
des Ionensputterverfahrens und/oder des nasschemischen Verfahrens
in eine Reliefstruktur des Substrats überführt wird. Vorzugsweise wird
ein Ionenätzen
mit Argon, Ozon, Sauerstoff und deren Mischungen durchgeführt, mehr
bevorzugt ist ein Argon-Ionen-Sputtern. Der Ausdruck "teilweises Entfernen" bedeutet, dass die
Nanocluster nach dem teilweisen Entfernen des Polymers nicht mehr
vollständig
von dem Polymer umgeben sind. Bevorzugt bleiben 20 bis 80 % der
Oberfläche
der anorganischen Cluster mit dem Polymer umgeben. Bevorzugter ist ein
Bereich von 30 bis 70 % der Oberfläche der Cluster nach dem teilweisen Entfernen
des aufgebrachten Films mit Polymer bedeckt, noch bevorzugter 40 bis
60 %, und am meisten bevorzugt 50 %.
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Die
Dicke des in Schritt (c')
aufgebrachten Films ist bevorzugt 1 nm bis einige cm, insbesondere 10
nm bis 100 cm, besonders bevorzugt 10 nm bis 1 cm, noch bevorzugter
100 nm bis 1 mm.
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Der
Schritt (e') des
Abtrennens des Substrats von dem in Schritt (d') erhaltenen Films erfolgt auf die gleiche
Weise wie für
Schritt (d) gemäß Anspruch
1 beschrieben.
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Die
aus den oben beschriebenen Verfahren gemäß der vorliegenden Anmeldung
erhältlichen
polymeren Substrate mit nanostrukturierten Oberflächen können insbesondere
auf Implantat- und Stentmaterialien aufgebracht und als Kultursubstrate
für Zellen,
Bakterien und Viren, als Nährböden für Differenzierungsexperimente
von Stammzellen und Nährböden für Gewebe
verwendet werden. Außerdem können sie
auch für
elektronische Bauteile eingesetzt und zur Benetzung/Entnetzung und
gegen Verschmutzung von Gegenständen
verwendet werden.
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Ein
besonderer Vorteil der vorliegenden Erfindung ist weiterhin, dass über die
Geometrie und Beschaffenheit der Oberfläche, auf der eine Zelle adhärieren kann,
die Bindungsrezeptoren und die Proteine in der Zelle auf eine Weise
angeordnet und positioniert werden können, dass die Funktion der
Zelle, z.B. Aktivität
von biochemischen Signalwegen, Genexpression und die Synthese von
bestimmten zellulären
Proteinen, darüber
gezielt gesteuert werden können.
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Im
folgenden wird die vorliegende Erfindung durch Beispiele näher erläutert.
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Beispiel 1
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Übertragung von Goldstrukturen
von einer Glasoberfläche
auf Polystyrol
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Ein
Exsikkator mit dem Glassubstrat mit der zu übertragenden Goldstruktur wird
evakuiert und mit einem Schlenkkolben verbunden, in welchem sich
einige μl
Propenthiol befinden. Das so verdampfte Propenthiol wirkt für 12 Stunden
auf die Substratoberfläche
ein.
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Nach
Belüften
und Spülen
des Substrats im Stickstoffgegenstrom wird eine Polystyrol/Toluol-Lösung (25
mg/ml) durch einen 0,2 μm
Spritzenfilter auf die Substratoberfläche aufgetropft (ca. 5μl/cm2).
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Nach
6 Stunden Trockenzeit bei Raumtemperatur wird das Polystyrol für 1 Stunde
bei 60 °C
im Ofen ausgehärtet.
Das Substrat wird mit der Polystyrol bedeckten Seite nach oben in
eine 12%ige Flusssäure-Lösung gelegt.
Nach einigen Sekunden schwimmt der Polystyrolfilm auf, wird mit
MQ-Wasser gespült
und mit Stickstoff trockengeblasen.
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Beispiel 2
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Übertragung
von Goldstrukturen von einer Glasoberfläche auf Polyethylenglykol
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Das
Glassubstrat mit den zu übertragenden Goldstrukturen
wird für
12 Stunden in eine 5%ige Lösung
aus PEG-dithiol in DMF gelegt.
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Nach
Spülen
in MQ-Wasser wird im Stickstoffgegenstrom eine Lösung aus 300 mg PEG-Diacrylat
(PEG-DA), 0,15 mg Photoinitiator (Irgacure 2959) und 300ml Wasser
aufgetragen (ca. 5μl/cm2).
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Unter
Stickstoff wird für
45 min mit einer UV Lampe (275nm) bestrahlt.
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Das
Substrat wird mit der Glasseite nach oben in einer Weise mit 12%iger
Flussäurelösung betropft,
dass keine Flusssäure über den
Rand des Glases hinweg mit dem PEG-Hydrogel in Kontakt kommt. Nach
einigen Stunden löst
sich das Glas von dem Hydrogelfilm.
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Das
Hydrogel wird mehrfach in MQ-Wasser gewaschen und im Wasser aufbewahrt.