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Die
Erfindung betrifft einen Plunger zum Zuführen und Wegbewegen eines elektronischen
Bauelements, insbesondere IC's,
zu bzw. von einer mit einer Testvorrichtung verbundenen Kontakteinrichtung, wobei
der Plunger an einer Plungerführungseinrichtung
längs verschiebbar
gehaltert ist und eine Halteeinrichtung zum Halten eines Bauelements
aufweist, gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1.
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Elektronische
Bauelemente, wie beispielsweise IC's (Halbleiterbauelemente mit integrierten Schaltungen),
werden üblicherweise
auf ihre Funktionsfähigkeit
hin überprüft, bevor
sie beispielsweise auf Leiterplatten montiert oder anderweitig verwendet
werden. Die zu testenden Bauelemente werden hierbei von einem üblicherweise
als "Handler" bezeichneten Handhabungsautomaten
mit Kontakteinrichtungen kontaktiert, die insbesondere als Kontaktsockeln
ausgebildet sind und mit einem Testkopf einer Testvorrichtung in
elektrischem Kontakt stehen. Nach Beendigung des Testvorgangs werden
die Bauelemente mittels des Handlers wie der von den Kontakteinrichtungen
entfernt und in Abhängigkeit
des Testergebnisses sortiert.
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Zum
Halten und Kontaktieren der Bauelemente weisen Handler üblicherweise
Plunger auf, d. h. längs
verschiebbare Halteeinheiten, welche die Bauelemente insbesondere
durch Aufbringen einer Saugkraft mittels Vakuum halten können. Die
Plunger werden nach dem Aufsetzen der Bauelemente innerhalb des
Handlers in eine Position gebracht, in der sie auf geradlinigem
Weg weiter zu Kontakteinrichtungen vorgeschoben werden können, bis
die Bauelemente mit den Kontakteinrichtungen in Kontakt gelangen.
Nach Durchführung
der Testvorgänge
werden die Bauelemente mittels der Plunger wieder vom Testkopf entfernt
und derart positioniert, dass sie über eine Entladestation aus
dem Handler entfernt und in Abhängigkeit
des Testergebnisses sortiert werden können.
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Um
die Tests unter bestimmten Temperaturbedingungen durchführen zu
können,
ist es weiterhin bekannt, die Bauelemente vor dem Testvorgang auf bestimmte
Temperaturen zu temperieren. Diese Temperaturen können beispielsweise
in einem Bereich von –60°C bis +200°C liegen.
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Die
Temperierung der Bauelemente erfolgt üblicherweise auf konvektive
und/oder konduktive Weise in einer wärmeisolierten Temperierkammer, die
innerhalb oder außerhalb
des Handlers angeordnet sein kann. Hierbei wird eine Vielzahl von
Bauelementen gleichzeitig innerhalb der Temperierkammer auf die
gewünschte
Temperatur gebracht, bevor sie auf die Plunger aufgesetzt und von
diesen zu den Kontakteinrichtungen vorgeschoben werden. Nachteilig
ist hierbei, dass in der Zeit zwischen der Erwärmung und der Kontaktie rung
der Bauelemente Wärmeverluste
auftreten, die dazu führen,
dass die Bauelemente zum Testzeitpunkt nicht mehr genau die Soll-Temperatur
haben. Auch kann es infolge des elektronischen Kontakts mit den
Kontakteinrichtungen während
des Tests zu Wärmeströmungen zum Bauelement
hin oder weg kommen. Weiterhin können
auch die einzelnen Bauelemente, die zusammen in der Temperierkammer
temperiert worden sind, unterschiedliche Temperaturen haben.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Plunger der eingangs
genannten Art zu schaffen, mit dem Tests von elektronischen Bauelementen
unter bestimmten Temperaturbedingungen auf möglichst genaue Art und Weise
durchgeführt
werden können.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen
Plunger mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen
der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
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Erfindungsgemäß weist
der Plunger eine Temperiereinrichtung zum Temperieren des an der Halteeinrichtung
gehaltenen Bauelements auf. Dadurch, dass die Temperiereinrichtung
direkt am Plunger angeordnet ist, kann das am Plunger gehaltene Bauelement
während
seiner Zustellung zur zugeordneten Kontakteinrichtung und sogar
noch während des
Testvorgangs temperiert werden, so dass Wärmeverluste während der
Zustellbewegung und während
des Testvorgangs entfallen oder zumindest minimiert werden können. Die
permanente Temperierung der Bauelemente ist damit während des
gesamten Vorgangs auf sehr genaue Weise möglich.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform weist
der Plun ger einen vorderen Abschnitt, einen hinteren Endabschnitt
und einen Zwischenabschnitt auf, wobei die Temperiereinrichtung
mindestens eine in den vorderen Abschnitt mündende Fluidzuführleitung
und der vordere Plungerabschnitt eine Fluidverteilkammer aufweist,
welche von der Fluidzuführleitung
mit temperiertem Fluid versorgt und über welche das temperierte
Fluid zum Bauelement weiter geleitet wird. Die Fluidverteilkammer
bewirkt hierbei auf besonders vorteilhafte Weise, dass das temperierte
Fluid nicht nur punktuell, sondern großflächig auf das Bauelement auftrifft
und dieses gleichmäßig erwärmt.
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Als
Fluid wird zweckmäßigerweise
gereinigte Luft verwendet, die in entsprechender Weise temperiert
wird. Alternativ ist es jedoch auch ohne weiteres möglich, andere
Gase zu verwenden, was insbesondere bei Tieftemperaturtests vorteilhaft
sein kann.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform umfasst
die Fluidzuführleitung
ein sich zwischen dem hinteren Endabschnitt und dem vorderen Plungerabschnitt
erstreckendes Heizrohr, in dem eine Heizeinrichtung zum Erwärmen des
Fluids vorgesehen ist. Die Heizeinrichtung kann dabei zweckmäßigerweise aus
einer elektrischen Widerstandsheizung in Form einer Heizspirale
bestehen, die sich zumindest über einen
größeren Teil
der Länge
des Zwischenabschnittes erstreckt. Hierdurch kann das durch das Heizrohr
hindurch strömende
Fluid auf sehr effektive und genau regelbare Weise temperiert werden.
Es sind jedoch jegliche andere Heizelemente, die sich von der Größe her implementieren
lassen, vorstellbar.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform umfasst
der vor dere Abschnitt des Plungers einen Basiskörper, der am Zwischenabschnitt
befestigt ist, und ein Kopfteil, das am Basiskörper festgelegt ist und eine
axiale Durchgangsöffnung
aufweist, durch die das temperierte Fluid zum Bauelement geleitet wird.
Die Halteeinrichtung zum Halten eines Bauelements umfasst zweckmäßigerweise
einen Saugkopf, der innerhalb der axialen Durchgangsöffnung des Kopfteils
angeordnet ist, so dass der Saugkopf von temperiertem Fluid umströmt wird.
Durch die Aufteilung des vorderen Abschnitts des Plungers in einen Basiskörper und
in ein Kopfteil ist eine relativ einfache Herstellung und Montage
des vorderen Plungerabschnitts möglich.
Dadurch, dass der Saugkopf von temperiertem Fluid umströmt wird,
ist eine gleichmäßige, großflächige Anströmung des
Bauelements mit temperiertem Fluid möglich.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform ist
das Kopfteil seitlich verschiebbar am Basiskörper festgelegt und wird mittels
Federelementen in eine zentrierte Stellung relativ zum Basiskörper gedrängt. Hierdurch
ist es auf besonders einfache Weise möglich, das Bauelement beim
Zuführen
zur Kontakteinrichtung mittels einer unmittelbar vor der Kontakteinrichtung
angeordneten Zentriereinrichtung relativ zur Kontakteinrichtung
zu zentrieren, ohne dass der gesamte Plunger seitlich ausgelenkt
werden muss. Vielmehr wird von der Zentriereinrichtung lediglich
das Kopfteil seitlich relativ zum Basiskörper verschoben, falls dies
erforderlich ist.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform ist
die Fluidverteilkammer im Kopfteil angeordnet. Alternativ hierzu
ist es jedoch auch denkbar, die Fluidverteilkammer im Basiskörper anzuordnen.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform ist
in einem vorderen Endbereich der axialen Durchgangsöffnung ein
aus einem gut wärmeleitfähigen Material
bestehender Wärmeleitkörper angeordnet, der
eine große,
vom temperierten Fluid angeströmte Oberfläche aufweist
und derart angeordnet ist, dass das vom Saugkopf festgesaugte Bauelement
in großflächigem Kontakt
mit dem Wärmeleitkörper ist.
Hierdurch kann der Wärmeübergang
vom temperierten Fluid zum Bauelement verbessert werden.
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Vorteilhafterweise
ist der Wärmeleitkörper federnd
innerhalb der Durchgangsöffnung
gehaltert, so dass die Lage des Wärmeleitkörpers an unterschiedliche Lagen
des Bauelements anpassbar ist. Auf diese Weise ist sichergestellt,
dass auch dann ein großflächiger und
inniger Kontakt zwischen Wärmeleitkörper und
Bauelement zustande kommt, wenn das Bauelement beim Ansaugen durch
den Saugkopf etwas schräg
auf die entsprechende Kontaktfläche
des Wärmeleitkörpers auftrifft.
Weiterhin liegen in diesem Fall die Anschlussbeinchen des Bauelements
gleichmäßig auf
Stützleisten
(Leadbacker) auf, die vom Kopfteil nach vorne abstehen und die Bauelementbeinchen
unterstützen.
Das Bauelement wird somit durch den federnd angeordneten Wärmeleitkörper auch
mechanisch geringer beansprucht.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform ist
im vorderen Endbereich der Fluidzuführleitung ein Temperatursensor
angeordnet, der Teil einer Regelvorrichtung zum Regeln der von der
Temperiereinrichtung erzeugten Temperatur ist. Dadurch, dass sich
der Temperatursensor sehr nahe am Bauelement befindet, kann sehr
genau diejenige Temperatur erfasst werden, die im Bereich des Bauelements herrscht.
Die Temperaturregelung kann daher auf sehr schnelle und genaue Weise
erfolgen. Umfasst die Temperiereinrichtung eine am oder im Plunger angeordnete
Heizeinrichtung zum Erwärmen
von Fluid, das in der Fluidzuführleitung
zum Bauelement geleitet wird, befindet sich der Temperatursensor
somit zweckmäßigerweise
zwischen dem Bauelement und der Heizeinrichtung, d. h., in Strömungsrichtung des
Fluids gesehen, hinter der Heizeinrichtung und kurz vor dem zu testenden
Bauelement. Mit Hilfe des Temperatursensors kann somit eine Regelschleife zur
Anpassung der im Bereich des Bauelements vorhandenen Ist-Temperatur
an die Soll-Temperatur verwirklicht werden.
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Die
Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es
zeigen:
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1:
eine perspektivische Darstellung eines erfindungsgemäßen Plungers,
wobei das Kopfteil seines vorderen Abschnitts getrennt vom Basiskörper dargestellt
ist,
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2:
einen mittigen Längsschnitt
durch den Plunger von 1, wobei sich der Plunger in
der zurückgezogenen
Ausgangsstellung befindet,
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3:
einen Längsschnitt
gemäß 2,
wobei sich der Plunger in der vorgeschobenen Kontaktierstellung
befindet,
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4:
eine Explosionsdarstellung des Kopfteils im Längsschnitt sowie des Saugkopfs
mit angrenzenden Teilen,
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5:
eine Explosionsdarstellung mit weiteren Einzelteilen des Plungers,
wobei die Teile von 4 im zusammengebauten Zustand
dargestellt sind,
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6:
einen Längsschnitt
durch die Teile von 5 im zusammengebauten Zustand,
wobei zusätzliche
Federelemente zur Zentrierung des Kopfteils dargestellt sind,
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7:
eine Draufsicht auf die Federelemente von 6,
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8:
eine Vorderansicht auf den Plunger,
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9:
einen Längsschnitt
eines Kopfteils des Plungers, in dem ein Wärmeleitkörper eingesetzt ist,
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10:
eine Draufsicht auf den Wärmeleitkörper von 9,
und
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11:
eine Draufsicht auf ein Bauelement.
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Aus
den 1 bis 3 ist ein Plunger 1 ersichtlich,
der längsverschiebbar
an einer Plungerführungseinrichtung 2 geführt ist.
Die Plungerführungseinrichtung 2 kann
in einer nicht dargestellte Weise beispielsweise an einem Umlaufwagen
oder an einer Schwenkeinrichtung befestigt sein, mit dem bzw. der der
Plunger 1 zusammen mit einem auf dem Plunger 1 aufgesetzten,
zu testenden elektronischen Bauelement 3 in eine Position
gebracht werden können,
in wel cher der Plunger 1 geradlinig (in den 2 und 3 nach
links) in eine Kontaktposition vorgeschoben werden kann, in der
die Anschlussbeinchen 4 (eins) des Bauelements 3 (s. 11)
auf entsprechende, nicht dargestellte Anschlusskontakte einer Kontakteinrichtung
(Kontaktsockel) aufgesetzt sind. Bei dem Plunger 1 handelt
es sich somit um eine Halteeinrichtung zum Halten eines Bauelements 3,
die kolbenartig zwischen einer zurückgezogenen, in 2 dargestellten
Stellung und einer vorderen, in 3 dargestellten
Stellung hin- und herbewegt werden kann. Die Vorwärtsbewegung
erfolgt dabei mittels einer nicht dargestellten Vorschubeinrichtung, welche
auf eine hintere Stirnfläche 5 eines
hinteren Endabschnitts 6 des Plungers 1 drückt. Das
Zurückführen des
Plungers 1 in seine Ausgangslage erfolgt über eine
später
noch näher
beschriebene Rückholfeder 7,
die mit ihrem hinteren Ende an der Plungerführungseinrichtung 2 befestigt
ist.
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Der
Plunger 1 besteht aus einem vorderen Abschnitt 8,
einem Zwischenabschnitt 9 und dem hinteren Endabschnitt 6.
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Der
vordere Abschnitt 8 weist an seinem vorderen Ende ein Kopfteil 10 sowie
daran axial anschließend
einen Basiskörper 11 auf.
Das Kopfteil 10 besteht aus einem quaderförmigen Kopfteilabschnitt 12,
von dem aus ein im Durchmesser verringerter vorderer Kopfteilendabschnitt 13 in
axialer Richtung vorsteht. Im Inneren weist das Kopfteil 10 eine
zentrale, axiale Durchgangsöffnung 14 auf.
In diese Durchgangsöffnung 14 kann
von hinten her, d. h. in 4 von rechts, ein Saugkopf 15 einer
pneumatischen Halteeinrichtung eingeführt werden, mit der das Bauelement 3 festgesaugt
werden kann.
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Die
Durchgangsöffnung 14 weist
im Bereich des vorderen Kopfteilendabschnitts 13 einen
Durchmesser auf, der größer ist
als derjenige des Körpers 16 des
Bauelements 3, so dass der Körper 16 mit radialem
Abstand zu Beinchenstützstegen 17,
welche das vordere Ende des Kopfteilendabschnitts 13 bilden,
im Bereich der Durchgangsöffnung 14 plaziert werden
kann. Die Anschlussbeinchen 4 des Bauelements 3 liegen
dabei auf den Beinchenstützstegen 17 auf
und gewährleisten
dadurch eine definierte Position des Bauelements 3 relativ
zum Kopfteil 10 des Plungers 1. Die Anordnung
und Dimensionierung der Beinchenstützstege 17 hängt von
der Art der zu testenden Bauelemente 3 ab. Im vorliegenden
Ausführungsbeispiel
sind vier ebene Beinchenstützstege 17 vorgesehen,
welche, wie insbesondere aus 8 ersichtlich,
rechtwinklig zueinander angeordnet sind und die Durchgangsöffnung 14 von
allen vier Seiten her einrahmen.
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Im
Bereich des quaderförmigen
Kopfteilabschnitts 12 erweitert sich der Durchmesser der Durchgangsöffnung 14 nach
hinten und bildet eine kegelförmige
Fluidverteilkammer 18.
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Im
hinteren Endbereich des Kopfteils 10 ist eine Vertiefung 19 eingebracht,
die mit der Umfangswand der Fluidverteilkammer 18 eine
umlaufende Schulter 20 bildet. Die Fluidverteilkammer 18 ist
derart dimensioniert, dass in ihr ein Saugschlauchverbinder 21 aufgenommen
werden kann, wobei ein Flanschteil 22 des Saugschlauchverbinders 21 innerhalb
der Vertiefung 19 liegt und an der Schulter 20 anliegt.
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Der
Saugschlauchverbinder 21 weist an seinem vorderen Ende
einen mittigen, axial vorstehenden Rohrstutzen 23 auf,
auf den ein Schlauchabschnitt 24 des Saugkopfs 15 aufgesteckt
werden kann. Ein in den 2 und 3 dargestellter
hinterer Rohrstutzen 25 des Saugschlauchverbinders 21 dient
zum Aufstecken eines hinteren Schlauchbalgs 26. Die Rohrstutzen 23, 25 umgeben
eine axial durchgehende Saugbohrung 27, die eine fluiddichte Verbindung
zwischen dem Saugkopf 15 und dem hinteren Schlauchbalg 26 schafft.
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Im
Flanschteil 22 des Saugschlauchverbinders 21 ist
weiterhin eine Axialbohrung 28 vorgesehen (2, 3),
durch die, wie nachstehend noch näher erläutert wird, temperiertes Fluid
in die Fluidverteilkammer 18 eingeleitet werden kann.
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Der
Basiskörper 11 besteht,
wie insbesondere aus den 1 und 5 ersichtlich,
aus einem quaderförmigen
Basisabschnitt 29 und vier Federbefestigungselementen 30.
Die Federbefestigungselemente 30 sind jeweils in den Eckbereichen
des Basisabschnitts 29 angeformt, haben eine L-förmigen Querschnitt
und erstrecken sich vom Basisabschnitt 29 nach hinten über diesen
hinaus. An den Federbefestigungselementen 30 können Federelemente 31, die
in den 1 und 6–8 dargestellt
sind, mittels Schrauben 32 festgeschraubt werden.
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Jedes
der vier Federelemente 31 weist zwei rechtwinklig zueinander
angeordnete und miteinander verbundene Federzungen 33, 34 auf,
die in Axialrichtung nach vorne über
den Basiskörper 11 vorstehen,
wie insbesondere aus 1 ersichtlich ist. Wird das
Kopfteil 10 auf den Basiskörper 11 aufgesetzt, liegen
die Federzungen 33, 34 seitlich am quaderförmigen Kopfteilabschnitt 12 an
und zentrieren dadurch das Kopfteil 10 in seitlicher Richtung
relativ zum Basiskörper 11.
Durch die Federwirkung der Federelemente 31 kann das Kopfteil 10 auf
einfache Weise seitlich relativ zum Basiskörper 11 verschoben werden,
wenn das Kopfteil 10 an einer nicht dargestellten Zentriereinrichtung
vorbeigeführt
wird, welche sich in unmittelbarer Nähe des Kontaktsockels befinden
kann. Hierdurch wird verhindert, dass der gesamte Plunger 1 bei
einem derartigen Zentriervorgang seitlich bewegt werden muss und
dadurch unter Umständen
verspannt wird.
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Der
Basiskörper 11 weist
eine mittige Axialbohrung 35 (1, 5)
größeren Durchmessers auf,
die zur Aufnahme des Schlauchbalgs 26 dient. Das hintere
Ende des Schlauchbalgs 26 liegt dabei dicht an einer Wand 36 an,
welche die Axialbohrung 35 nach hinten begrenzt. Über einen
Rohrstutzen 37, der die Wand 36 durchdringt und
der zum Aufstecken eines Saugschlauchs 38 dient, ist das
Innere des Schlauchbalgs 26 mit dem Saugschlauch 38 verbunden.
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Wie
aus den 1 bis 3 ersichtlich,
erstreckt sich der Saugschlauch 38 vom Basiskörper 11 bis
zum hinteren Endabschnitt 6 und ist über einen im hinteren Endabschnitt 6 vorgesehenen
Saugkanal 38 und eine nicht dargestellte, flexible Saugleitung
mit einer nicht dargestellten Unterdruckerzeugungseinrichtung verbunden,
die stationär
beispielsweise innerhalb eines Handlers, d. h. eines Handhabungsautomaten
für elektronische
Bauelemente, angeordnet sein kann.
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Aufgrund
der beschriebenen Anordnung steht somit das Innere des Saugkopfs 15 mit
der Unterdruckerzeugungseinrichtung in Fluidverbindung, so dass
durch Erzeugen eines entsprechenden Unterdrucks das Bauelement 3 an
der Vorders eite des Saugkopfs 10 festgesaugt und fest am
Plunger 1 gehalten werden kann.
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Der
Plunger 1 verfügt über eine
eigene Temperiereinrichtung, um das am Saugkopf 15 gehaltene Bauelement 3 mittels
temperiertem Fluid auf eine bestimmte Temperatur zu bringen. Die
Temperiereinrichtung wird anhand eines Ausführungsbeispiels beschrieben,
bei dem das Fluid und damit das Bauelement 3 erwärmt werden.
Es ist jedoch ebenfalls denkbar, am Plunger 1 eine Temperiereinrichtung
zum Abkühlen
des Bauelements 3 zu verwenden.
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Die
Temperiereinrichtung weist eine Fluidzufuhrleitung 40 auf,
die über
einen Fluidkanal 41, der sich im hinteren Endabschnitt 6 befindet,
und eine nicht dargestellte flexible Fluidleitung mit einer Fluidversorgungseinrichtung
verbunden ist. Mittels dieser Fluidversorgungseinrichtung wird Fluid,
beispielsweise gereinigte Luft, die Umgebungstemperatur haben oder
bereits vortemperiert sein kann, mit einem bestimmten Druck in die
Fluidzufuhrleitung 40 eingeführt, wie mit dem Pfeil 42 veranschaulicht.
Bei der Fluidzufuhrleitung 40 handelt es sich um ein Rohr, das
sich vom hinteren Endabschnitt 6 des Plungers 1 bis
zum vorderen Abschnitt 8 erstreckt und parallel zum Saugschlauch 38 angeordnet
ist. Innerhalb der Fluidzuführleitung 40 befindet
sich eine Heizeinrichtung 43, die im gezeigten Ausführungsbeispiel
in der Form einer Heizspirale ausgebildet ist, die sich über den überwiegenden
Teil der Länge
der Fluidzuführleitung 40 erstreckt.
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Die
Fluidzuführleitung 40 ist
an ihrem vorderen Ende an einer axial fluchtenden Anschlussbuchse 44 befestigt,
die den quaderförmigen
Basisabschnitt 29 des Basiskörpers 11 in axialer
Richtung durchdringt und in diesem festgelegt ist. Das vordere Ende
der Anschlussbuchse 44 liegt dabei dicht am Saugschlauchverbinder 21 an,
dessen Axialbohrung 28 mit dem Kanal 45 der Anschlussbuchse 44 fluchtet.
Da weiterhin die Axialbohrung 28 des Saugschlauchverbinders 21 in
die Fluidverteilkammer 18 des Kopfteils 10 mündet, kann
das über
die Fluidzuführleitung 40 herangeführte Fluid,
nachdem es mittels der Heizeinrichtung 43 auf die vorbestimmte
Solltemperatur erwärmt
worden ist, in der Fluidverteilkammer 18 gleichmäßig um den
gesamten Saugkopf 15 herum geführt und im Ringraum 46 zwischen Saugkopf 15 und
dem Kopfteilendabschnitt 13 zum Bauelement 3 geleitet
werden. Das Bauelement 3 wird somit im Bereich um den Saugkopf 15 herum
mit temperierten Fluid angeströmt
und entsprechend temperiert.
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Aus
den 1 bis 3 ist weiterhin ein Temperatursensor 51 ersichtlich,
der im vorderen Endbereich der Fluidzuführleitung 40 kurz
vor der Fluidverteilkammer 18 angeordnet ist. Der Temperatursensor 51 ist
Teil einer Regelvorrichtung, mit der die Leistung der Heizeinrichtung 43 in
Abhängigkeit der
vom Temperatursensor 51 gemessenen Ist-Temperatur geregelt werden kann. In
den 2 und 3 sind elektrische Leitungen 52 dargestellt,
mit denen der Temperatursensor 51 an die Regelvorrichtung
angeschlossen ist. Diese Leitungen 52 sind in einem Bereich
zwischen dem Temperatursensor 51 und der Heizeinrichtung 43 aus
dem Heizrohr nach außen
geführt,
um ihre Beanspruchung und Beeinflussung durch die von der Heizeinrichtung 43 erzeugte
Temperatur zu reduzieren.
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Im
Rahmen der Erfindung sind eine Vielzahl alternativer Temperiereinrichtungen
denkbar. Beispielsweise ist es mög lich,
das Fluid nicht erst im Bereich des Plungers 1 zu temperieren,
sondern ein bereits entsprechend temperiertes Fluid über den
Plunger 1 zum Bauelement 3 zu leiten. Die anhand
der Figuren dargestellte Temperiereinrichtung bietet jedoch den
Vorteil, dass das Fluid in naher Nachbarschaft zum Bauelement 3 temperiert
wird, so dass die Leistung der Temperiereinrichtung und damit die
Fluidtemperatur in kürzester
Zeit nachgeregelt werden kann, falls mittels (nicht dargestellter)
Sensoren festgestellt wird, dass die Ist-Temperatur von der Soll-Temperatur
abweicht.
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Die
Führung
des Plungers 1 an der Plungerführungseinrichtung 2 erfolgt
mittels zweier paralleler Führungsstangen 47,
die lediglich aus 1 ersichtlich sind. Die Führungsstangen 47 sind
mit ihrem vorderen Ende am Basiskörper 11 und mit ihrem
hinteren Ende am hinteren Endabschnitt 6 des Plungers 1 befestigt.
Die Führungsstangen 47 sind
in entsprechenden Führungsbuchsen,
die in der Plungerführungseinrichtung 2 vorgesehen
sind, längsverschiebbar
geführt.
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Wie
bereits ausgeführt,
erfolgt das Zurückbewegen
des Plungers 1 aus der in 3 gezeigten vorgeschobenen
Kontaktposition in die in 2 gezeigte
zurückgezogene
Ausgangsstellung mittels der Rückholfeder 7.
Die Rückholfeder 7 ist
mit ihrem hinteren Ende an der Plungerführungseinrichtung 2 und mit
ihrem vorderen Ende am Basiskörper 11 befestigt.
Es handelt sich bei der Rückholfeder 7 um
eine Zugfeder, die beim Überführen des
Plungers 1 von der Ausgangsstellung in die in 3 gezeigte
vorgeschobene Kontaktstellung gedehnt wird.
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Zur
Verbesserung der Wärmeübertragung vom
temperierten Fluid auf das Bauelement 3 kann ein Wärmeleitkörper 48 vorgesehen
sein, der in den 9 und 10 dargestellt
ist. Der Wärmeleitkörper 48 besteht
aus einem scheibenförmigen
Körper mit
einer Vielzahl von Vorsprüngen
bzw. Lamellen, die nach hinten, d. h. gegen die Fluidströmungsrichtung,
gerichtet sind. Weiterhin besteht der Wärmeleitkörper 48 aus einem
gut wärmeleitenden
Material. Auf seiner vorderen Stirnfläche, die mit dem Körper 16 des
Bauelements 3 in Kontakt gelangt, ist der Wärmeleitkörper 48 eben
ausgebildet, so dass eine größtmögliche Kontaktfläche zwischen
Wärmeleitkörper 48 und
Bauelement 3 geschaffen wird.
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Der
Außendurchmesser
des Wärmeleitkörpers 48 ist
nur geringfügig
kleiner als der Durchmesser der Durchgangsöffnung 14 des Kopfteilendabschnitts 13 im
Wesentlichen ausfüllt.
Eine zentrale Bohrung 49 im Wärmeleitkörper 48 ermöglicht den Durchtritt
des vorderen Endes des Saugkopfs 15, so dass der Wärmeleitkörper 48 um
den Saugkopf 15 herum angeordnet werden kann, ohne diesen
in seiner Funktion zu beeinträchtigen.
Beim Ansaugen des Bauelements 3 durch den Saugkopf 15 wird
das Bauelement 3 gegen den Wärmeleitkörper 48 gezogen, so
dass es vollflächig
auf diesem aufliegt.
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Um
zu gewährleisten,
dass das Bauelement 3 auch dann eben auf dem Wärmeleitkörper 48 aufliegt,
wenn die Anschlussbeinchen 4 des Bauelements 3 nicht
die optimale Ausrichtung haben und ungleichmäßig auf den Beinchenstützstegen 17 aufliegen,
ist der Wärmeleitkörper 48,
wie in 9 schematisch dargestellt, mittels einer Federeinrichtung 50 federnd
in der Durchgangsöffnung 14 abgestützt. Diese
Federeinrichtung 50 ist so ausgebildet, dass der Wärmeleitkörper 48 innerhalb
der Durchgangsöffnung 14 in
Schräglagen
gebracht werden kann, um sich einer eventuellen Schräglage des
Bauelementkörpers 16 anzupassen
und dadurch einen innigen Kontakt zum Bauelementkörper 16 aufrecht
zu erhalten.