DE102008008583A1 - Plateau-leveling device for luminous intensity of homogenized light beam, has optical filter arranged in region of lens arrangement, where filter reduces luminous intensity of portions in light beam - Google Patents

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Abstract

The device has a homogenization arrangement with cylindrical lens arrangements axially spaced apart from each other. Each lens arrangement has equal number of cylindrical lenses (4asterisk) that are arranged adjacent to each other and are oriented parallel to each other. An optical filter is arranged in a region of one of the lens arrangements, where the filter reduces luminous intensity of portions in the light beam, where the intensity is transmitted from the cylindrical lens that is arranged on both sides of the lens arrangement. An independent claim is also included for a method for plateau-leveling of luminous intensity of homogenized light beam.

Description

Technisches GebietTechnical area

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Plateau-Einebnung der Lichtintensität eines homogenisierten Lichtstrahls, mit einer Homogenisiereranordnung, die über wenigstens zwei längs des Lichtstrahls angeordnete und axial voneinander beabstandete Zylinderlinsenanordnungen verfügt, eine erste und eine der ersten im Lichtstrahl nachgeordneten zweiten Zylinderlinsenanordnung, von denen jede Zylinderlinsenanordnung eine gleiche Anzahl von parallel zueinander orientierten und nebeneinander angeordneten Zylinderlinsen vorsieht, denen längs des Lichtstrahls eine Kondensorlinse nachgeordnet ist.The The invention relates to a device and a method to the plateau leveling the light intensity a homogenised light beam, with a homogenizer arrangement, the above at least two longitudinal of the light beam and axially spaced from each other Cylindrical lens arrangements has, a first and one of the first second in the light beam downstream Cylindrical lens arrangement, each of which cylindrical lens arrangement an equal number of parallel oriented and juxtaposed arranged cylindrical lenses provides, which along the light beam, a condenser lens is subordinate.

Stand der TechnikState of the art

Optische Homogenisierer werden vorzugsweise zur Strahlformung von aus Excimerlaserquellen austretenden Laserstrahlen eingesetzt, um sie einer nachfolgenden technischen Anwendung zuzuführen, wie beispielsweise zur thermischen Strukturumwandlung von amorphen Silizium in polykristalines Silizium, das bspw. für die auf TFT(Filmtransistor)-Technik basierenden Flachbildschirmen eingesetzt wird. Von besonderem Interesse ist hierbei die Erzeugung eines Laserstrahls, mit einer im Strahlquerschnitt möglichst einer Rechteckform angenäherten Lichtintensitätsverteilung, d. h. die Lichtintensitätsverteilung sollte möglichst homogen über den gesamten Querschnitt ausgebildet sein.optical Homogenizers are preferably used for beam shaping from excimer laser sources emerging laser beams used to make them a subsequent to supply technical application, such as for thermal structural transformation of amorphous Silicon in polycrystalline silicon, for example, for the on TFT (film transistor) technology-based flat screens used becomes. Of particular interest here is the generation of a laser beam, with one in the beam cross section as possible approximated to a rectangular shape Light intensity distribution, d. H. the light intensity distribution should be possible homogeneous over be formed the entire cross-section.

Zur Herstellung derartiger, im Strahlquerschnitt bezüglich ihrer Lichtintensität homogenisierter Laserstrahlen, dient in typischer Weise ein optischer Homogenisierer, der in 2 dargestellt ist und zwei Zylinderlinsenanordnungen 1, 2 sowie eine im Strahlengang nachgeordnete Kondensorlinse 3 umfasst. Es sei angenommen, dass ein auf die Eintrittsapertur der ersten Zylinderlinsenanordnung 1 angepasster Laserstrahl L von links einfällt. Zunächst durchläuft der Laserstrahl L die erste Zylinderlinsenanordnung 1, die im gezeigten Ausführungsbeispiel aus sechs parallel zueinander orientierten Zylinderlinsen besteht. Hierbei wird der Laserstrahl L gemäß der Brennweite f1 jeder einzelnen, in der ersten Zylinderanordnung 1 vorgesehenen Zylinderlinse auf Fokuslinien längs der strichliiert eingezeichneten Ebene E gemäß 2 abgebildet, von der aus die einzelnen Fokuslinien über die Zylinderlinsen der zweiten Zylinderlinsenanordnung 2 sowie einer nachfolgenden Kondensorlinse 3 zur gegenseitigen Vermischung und damit verbundenen Homogenisierung auf eine homogene Bildfeldebene HB abgebildet werden. Sämtliche verwendeten optischen Elemente 1, 2, 3 zum Aufbau eines in 2 dargestellten an sich bekannten Homogenisierers, sind transparent für die Lichtwellenlänge des Laserstrahls L.To produce such, in the beam cross section with respect to their light intensity homogenized laser beams, is typically used in an optical homogenizer, the 2 is shown and two cylindrical lens assemblies 1 . 2 and a condenser lens arranged downstream in the beam path 3 includes. Let it be assumed that an incident on the entrance aperture of the first cylindrical lens arrangement 1 adapted laser beam L is incident from the left. First, the laser beam L passes through the first cylindrical lens array 1 which consists of six parallel cylindrical lenses in the embodiment shown. Here, the laser beam L according to the focal length f1 of each individual, in the first cylinder arrangement 1 provided cylindrical lens on focus lines along the dashed line E according to 2 shown, from which the individual focus lines on the cylindrical lenses of the second cylindrical lens assembly 2 and a subsequent condenser lens 3 for mutual mixing and associated homogenization be imaged on a homogeneous image field level HB. All optical elements used 1 . 2 . 3 to build an in 2 shown homogenizer known per se, are transparent to the light wavelength of the laser beam L.

Nun zeigt sich, dass in Abhängigkeit von Form und Strahlprofil des einfallenden Lichtstrahls L, insbesondere des auf einen Homogenisierer einfallenden Excimerlaserstrahls, das aus dem Homogenisierer austretende Strahlprofil eine geneigte oder ungeneigte Profilform aufweist, die in 3 zur weiteren Veranschaulichung illustriert ist. Bei genauerer Betrachtung des homogenisierten Strahlprofils zeigt sich, dass das Strahlprofil einzelner Laserpulse jeweils unterschiedliche Randniveaus einnimmt, so dass der Verlauf zwischen den einzelnen Randniveaus pro Laserpuls zumeist geneigt verläuft (siehe hierzu die Profillinien a, b, c in 3).It now appears that, depending on the shape and beam profile of the incident light beam L, in particular of the excimer laser beam incident on a homogenizer, the beam profile exiting from the homogenizer has a sloping or inadequate profile shape which in FIG 3 for further illustration. A closer look at the homogenized beam profile reveals that the beam profile of individual laser pulses occupies different edge levels, so that the course between the individual edge levels per laser pulse is mostly inclined (see the profile lines a, b, c in FIG 3 ).

Darstellung der ErfindungPresentation of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Plateau-Einebnung der Lichtintensität eines homogenisierten Lichtstrahls anzugeben.Of the Invention is based on the object, a device and a Process for leveling the light intensity of a plateau Specify homogenized light beam.

Eine lösungsgemäße Vorrichtung ist im Anspruch 1 angegeben. Ein lösungsgemäßes Verfahren ist Gegenstand des Anspruches 8. Den Erfindungsgedanken vorteilhaft weiterbildende Merkmale sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der weiteren Beschreibung zu entnehmen.A solution according to the device is specified in claim 1. A solution according to the method is the subject of claim 8. The idea of the invention advantageously further education Features are the subject of the dependent claims and the further description refer to.

Lösungsgemäß ist eine Vorrichtung zur Plateau-Einebnung der Lichtintensität eines homogenisierten Lichtstrahls, mit einer Homogenisiereranordnung, die über wenigstens zwei längs des Lichtstrahls angeordnete und axial voneinander beabstandete Zylinderlinsenanordnungen verfügt, eine erste und eine der ersten im Lichtstrahl nachgeordneten zweiten Zylinderlinsenanordnung, von denen jede Zylinderlinsenanordnung eine gleiche Anzahl von parallel zueinander orientierten und nebeneinander angeordneten Zylinderlinsen vorsieht, denen längs des Lichtstrahls eine Kondensorlinse nachgeordnet ist, derart weitergebildet, dass zumindest im Bereich der ersten Zylinderlinsenanordnung ein Mittel vorgesehen ist, das die Lichtintensität jener Anteile im Lichtstrahl mindert, die von den die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen transmittiert werden.Solution is a Device for leveling the light intensity of a plateau homogenized light beam, with a homogenizer arrangement, the above at least two longitudinal of the light beam and axially spaced from each other Cylindrical lens arrangements has, a first and one of the first second in the light beam downstream Cylindrical lens arrangement, each of which cylindrical lens arrangement an equal number of parallel oriented and juxtaposed arranged cylindrical lenses provides, where along the light beam, a condenser lens is subordinate, so developed that at least in the area the first cylindrical lens arrangement, a means is provided, the the light intensity those portions in the light beam which are from the first cylindrical lens array be transmitted on both sides limiting cylindrical lenses.

Das lösungsgemäße Verfahren zeichnet sich in folge dessen dadurch aus, dass jene Anteile des Lichtstrahls, die von den die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen transmittiert werden, abgeschwächt werden.The Solution-based method characterized in consequence of the fact that those portions of the light beam, that of the first cylindrical lens arrangement on both sides limiting Cylindrical lenses are transmitted, attenuated.

In vorteilhafter Weise erfolgt die beidseitige Abschwächung des Lichtstrahls graduell, vorzugsweise derart, dass die von den die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen abgebildeten Anteile des Lichtstrahls in Richtung der äußeren Ränder der beiden Zylinderlinsen von 100% auf 0% Transmission abgeschwächt werden. Zur besseren Veranschaulichung der lösungsgemäßen Idee sei im weiteren Bezug genommen auf die in den Figuren illustrierten Ausführungsbeispiele.Advantageously, the two-sided attenuation of the light beam takes place gradually, preferably in such a way that the cylinder linings which delimit the first cylindrical lens arrangement on both sides sen reflected portions of the light beam in the direction of the outer edges of the two cylindrical lenses from 100% to 0% transmission are attenuated. For a better illustration of the solution according to the invention, reference is made in the following to the exemplary embodiments illustrated in the figures.

Kurze Beschreibung der ErfindungBrief description of the invention

Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen exemplarisch beschrieben. Es zeigen:The Invention will be described below without limiting the general inventive concept of exemplary embodiments described by way of example with reference to the drawings. It demonstrate:

1a, b Gegenüberstellung einer Zylinderlinsenanordnung gemäß Stand der Technik (a) sowie einer lösungsgemäß ausgebildeten Zylinderlinsenanordnung (b), 1a , b Comparison of a cylindrical lens arrangement according to the prior art (a) and a cylindrical lens arrangement (b) designed according to the invention,

2 Darstellung eines typischen Homogenisierers, 2 Representation of a typical homogenizer,

3 schematisierte Strahlquerschnittsdarstellung hinsichtlich der Verteilung der Lichtintensität von herkömmlichen homogenisierten Laserstrahlen, 3 schematic beam cross-sectional representation with regard to the distribution of the light intensity of conventional homogenized laser beams,

4 alternative Ausführungsform für einen lösungsgemäß ausgebildeten Homogenisierer, 4 alternative embodiment for a solution-trained homogenizer,

5 Lichtintensitätsverteilung durch einen lösungsgemäß homogenisierten Laserstrahl, sowie 5 Light intensity distribution by a solution homogenized according to laser beam, as well

6 weitere alternative Ausführungsform für einen lösungsgemäß ausgebildeten Homogenisierers. 6 Another alternative embodiment for a solution according to trained homogenizer.

Wege zur Ausführung der Erfindung, gewerbliche VerwendbarkeitWays to carry out the invention, industrial usability

In 1a ist eine erste Zylinderlinsenanordnung 1 des in der 2 eingangs erläuterten Homogenisierers mit Blickrichtung längs der Strahlachse des Lichtstrahls dargestellt. Die erste Zylinderlinsenanordnung setzt sich somit aus elf parallel zueinander ausgerichteten und nebeneinander angeordneten einzelnen Zylinderlinsen 4 zusammen. Üblicherweise bestehen sämtliche Zylinderlinsen 4 aus einem Material, das für den die Zylinderlinsenanordnung passierenden Lichtstrahl vorzugsweise eine 100%ige Transmission aufweist.In 1a is a first cylindrical lens arrangement 1 in the 2 Initially explained homogenizer viewed along the beam axis of the light beam. The first cylindrical lens arrangement is thus composed of eleven parallel cylindrical lenses arranged parallel to each other 4 together. Usually, all cylindrical lenses exist 4 of a material which preferably has a 100% transmission for the light beam passing through the cylindrical lens arrangement.

Demgegenüber sieht eine lösungsgemäß ausgebildete Zylinderlinsenanordnung eine Modifikation in den beiden äußersten, die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen 4* dahingehend vor, dass die Transmission der jeweiligen Zylinderlinsen 4* graduell jeweils zum Randbereich abnimmt, vorzugsweise auf 0% Transmission abnimmt. In besonders vorteilhafter Weise verfügt die jeweilige Randzylinderlinse 4* an ihrer der übrigen Zylinderlinsenanordnung zugewandten Randseite 41 eine Transmission von 100%, die graduell auf 0% im Bereich der gegenüberliegenden Randseite 42 abnimmt.In contrast, a cylinder lens arrangement designed in accordance with the invention provides for a modification in the two outermost cylindrical lenses limiting the first cylindrical lens arrangement on both sides 4 * to the effect that the transmission of the respective cylindrical lenses 4 * gradually decreases in each case to the edge region, preferably decreases to 0% transmission. In a particularly advantageous manner, the respective edge cylinder lens 4 * at its side facing the rest of the cylindrical lens arrangement edge side 41 a transmission of 100%, gradually to 0% in the area of the opposite edge 42 decreases.

Für eine Realisierung einer derartigen graduellen Abschattung bietet es sich an einen graduell verlaufenden Graukeil auf der Oberfläche bzw. auf die Oberflächen der Zylinderlinsen 4* im Wege eines Beschichtungs- oder Bedampfungsverfahrens aufzubringen.For a realization of such a gradual shading, it is advisable to have a gradual gray wedge on the surface or on the surfaces of the cylindrical lenses 4 * by applying a coating or vapor deposition process.

Gleichfalls ist es möglich, den graduell verlaufenden Transmissionseffekt durch geeignete Herstellung der Randzylinderlinsen 4* im Wege eines graduell absorbierenden Volumeneffektes herbeizuführen.Likewise, it is possible the gradual transmission effect by suitable production of the edge cylinder lenses 4 * in the form of a gradually absorbing volume effect.

Nicht notwendigerweise ist es jedoch erforderlich, den die Transmission im Randbereich beeinflussenden Graukeil an der Lichteintritts- bzw. Lichtaustrittsfläche in den Randbereichen des ersten Zylinderlinsenarrays 1 anzubringen. Bspw. lassen sich die dargestellten Graukeilflächen auf einer getrennten Glassubstratfläche vorsehen, die im Strahlengang der ersten Zylinderlinsenanordnung vor- oder im Strahlengang kurz dahinter nachgeordnet ist. Wesentlich ist, dass jene Lichtanteile des Lichtstrahles, die durch die Randzylinderlinsen 4* abgebildet werden, einer in der vorgeschlagenen Weise graduellen Abschwächung zum Rand hin unterliegen.However, it is not necessarily necessary for the gray wedge influencing the transmission in the edge region to be present at the light entry or light exit surface in the edge regions of the first cylindrical lens array 1 to install. For example. For example, the illustrated gray wedge surfaces can be provided on a separate glass substrate surface, which is arranged in the beam path of the first cylindrical lens arrangement in front or behind it in the beam path. It is essential that those light components of the light beam passing through the edge cylinder lenses 4 * be subject to a gradually reduced in the proposed manner attenuation to the edge.

Falls die der ersten Zylinderlinsenanordnung nachfolgende Optik eine hinreichende Durchmischung sämtlicher Lichtanteile gewährleistet, kann der in 1b dargestellte Graukeil auch durch die in 4 dargestellten geometrischen Strukturen realisiert werden, die jeweils Dreiecksflächen 5 entsprechen, deren Spitzen zur Mitte der ersten Zylinderlinsenanordnung orientiert sind und jeweils Dreiecksflächen mit einer Transmission von 0% darstellen. In der Zusammenschau der längs der Randzylinderlinsen 4* vorgesehenen, beispielsweise durch lokale Beschichtung auf der Oberfläche der Zylinderlinsen 4* aufgebrachten Dreiecksflächen wird eine Transmission von 0% in den äußeren Rändern 42 bewirkt, wohingegen an den inneren Rändern 41 der äußeren Zylinderlinsen 4* die Transmission auf 100% ansteigt. Hierdurch ist es möglich, dass der graduelle Verlauf eines Graukeils durch geometrische Strukturen ersetzt wird, die jeweils aus 100% reflektierenden und/oder absorbierenden Strukturflächen bestehen.If the optics following the first cylindrical lens arrangement ensure adequate mixing of all the light components, the optics shown in FIG 1b represented gray wedge also by the in 4 illustrated geometric structures are realized, each triangular surfaces 5 correspond, the tips are oriented to the center of the first cylindrical lens assembly and each represent triangular surfaces with a transmission of 0%. In the synopsis of along the edge cylinder lenses 4 * provided, for example by local coating on the surface of the cylindrical lenses 4 * Applied triangular surfaces will have a transmission of 0% in the outer edges 42 causes, whereas at the inner edges 41 the outer cylindrical lenses 4 * the transmission increases to 100%. This makes it possible that the gradual course of a gray wedge is replaced by geometric structures, each consisting of 100% reflective and / or absorbent structural surfaces.

In 5 ist ein Lichtintensitätsverlauf dargestellt, der mit der lösungsgemäß ausgebildeten Zylinderlinsenanordnung erzielt werden kann. So zeigt sich, dass die Randpunkte des Plateaus im homogenen Feld, d. h. der linke und rechte Randpunkt nahezu über die gleiche Intensität verfügen.In 5 a light intensity profile is shown, which can be achieved with the cylindrical lens arrangement formed in accordance with the solution. Thus, it can be seen that the boundary points of the plateau in the homogeneous field, ie the left and right edge point have almost the same intensity.

Um die Lichtverluste, die durch die lösungsgemäß vorgeschlagene Maßnahmen verursacht werden, weitgehend zu minimieren, ist es überdies vorteilhaft, den in 1b dargestellten Graukeil bzw. die gemäß 4 illustrierte Lösung mit den Dreiecksflächen derart zu modifizieren, dass jeweils im Mittenbereich 6 des Graukeils, der gemäß Ausführungsbeispiel in 6 jeweils durch einen punktiert umrandeten Bereich angedeutet ist, eine geringere Abschattungswirkung erzielt wird als in den äußersten Randbereichen der Linsen 4*. Durch eine derartige Maßnahme wird erreicht, dass im Zentrum des homogenen Feldes des den Homogenisierer passierenden Lichtstrahls ein Energieüberschuss erzielt wird.In order to minimize the loss of light caused by the measures proposed by the proposed solution, it is also advantageous to use the in 1b illustrated gray wedge or according to 4 illustrated solution with the triangular surfaces to modify such that in each case in the middle region 6 of the gray wedge, according to the embodiment in 6 each indicated by a dotted rimmed area, a lower shading effect is achieved than in the outermost edge regions of the lenses 4 * , Such a measure ensures that an energy surplus is achieved in the center of the homogeneous field of the light beam passing through the homogenizer.

11
erste Zylinderlinsenanordnungfirst Cylindrical lens arrangement
22
zweite Zylinderlinsenanordnungsecond Cylindrical lens arrangement
33
Kondensorlinsecondenser
44
Zylinderlinsencylindrical lenses
4*4 *
RandzylinderlinsenRand cylindrical lenses
4141
innerer Rand der Randzylinderlinseinternal Edge of the edge cylinder lens
4242
äußerer Rand der Randzylinderlinseouter edge the edge cylinder lens
55
Dreiecksflächentriangular surfaces
66
Bereich verminderter AbschwächungArea reduced attenuation

Claims (10)

Vorrichtung zur Plateau-Einebnung der Lichtintensität eines homogenisierten Lichtstrahls, mit einer Homogenisiereranordnung, die über wenigstens zwei längs des Lichtstrahls angeordnete und axial voneinander beabstandete Zylinderlinsenanordnungen verfügt, eine erste und eine der ersten im Lichtstrahl nachgeordneten zweiten Zylinderlinsenanordnung, von denen jede Zylinderlinsenanordnung eine gleiche Anzahl von parallel zueinander orientierten und nebeneinander angeordneten Zylinderlinsen vorsieht, denen längs des Lichtstrahls mindestens eine Kondensorlinse nachgeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest im Bereich der ersten Zylinderlinsenanordnung ein Mittel vorgesehen ist, das die Lichtintensität jener Anteile im Lichtstrahl mindert, die von den die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen transmittiert werden.Apparatus for leveling the light intensity of a homogenized light beam, comprising a homogenizer arrangement having at least two cylindrical lens arrangements arranged along the light beam and axially spaced from each other, a first and one of the first second cylindrical lens arrangement downstream of the light beam, each cylinder lens array having an equal number of parallel to each other and arranged side by side arranged cylindrical lenses, which along the light beam at least one condenser lens is arranged downstream, characterized in that at least in the region of the first cylindrical lens means is provided which reduces the light intensity of those portions in the light beam, of the first cylindrical lens assembly on both sides limiting cylindrical lenses are transmitted. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel der ersten Zylinderlinsenanordnung jeweils vor oder nachgeordnet ist, und/oder dass das Mittel an wenigstens einer Oberfläche der die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen vorgesehen ist, und/oder dass die die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen aus einem Material mit geringerer Transmission gefertigt sind als die übrigen Zylinderlinsen der ersten Zylinderlinsenanordnung.Device according to claim 1, characterized, that the means of the first cylindrical lens assembly respectively before or is subordinate, and / or that means at least one surface the cylinder lens arrangement limiting the first cylindrical lens arrangement on both sides is provided, and / or that the first cylindrical lens arrangement Double-sided limiting cylindrical lenses made of a material with less Transmission are made as the other cylindrical lenses of the first Cylinder lens array. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel jeweils als graduell verlaufendes optisches Filter, in Art eines Graukeils ausgebildet ist.Device according to Claim 1 or 2, characterized that the agent is in each case as a gradual optical filter, is designed in the manner of a gray wedge. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel in von Form vollständig absorbierenden Flächenstrukturen ausgebildet ist, deren Form, Größe und Anordnung derart gewählt sind, dass die Minderung der Lichtintensität zu den Randbereichen der ersten Zylinderlinsenanordnung zunimmt.Device according to Claim 1 or 2, characterized that the agent in in the form of completely absorbing surface structures is formed, their shape, size and arrangement chosen like that are that the reduction of light intensity to the peripheral areas of the first cylindrical lens assembly increases. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Transmission des Mittels derart gewählt ist, dass die Transmission an den äußeren Rändern der die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen 0% ist.Device according to one of claims 1 to 4, characterized that the transmission of the agent is chosen such that the transmission on the outer edges of the the first cylindrical lens arrangement on both sides bounding cylindrical lenses 0% is. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Transmission des Mittels derart gewählt ist, dass die Transmission an den innenliegenden Rändern der die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen 100% ist.Device according to claim 5, characterized in that that the transmission of the agent is chosen such that the transmission at the inner edges the first cylindrical lens arrangement on both sides limiting cylindrical lenses 100% is. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel derart ausgebildet ist, dass jene Anteile des Lichtstrahls, die von jenen Bereichen der die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen abgebildet werden, die mittig längs ihrer Zylinderachse liegen, mit einer größere Transmission transmittiert werden, als die übrigen durch diese beiden Zylinderlinsen abgebildeten Anteile des Lichtstrahl.Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the means is designed such that those portions of the light beam, that of those areas of the first cylindrical lens assembly on both sides Limiting cylindrical lenses are shown, the center along their Cylinder axis lie, be transmitted with a larger transmission, than the rest portions of the light beam imaged by these two cylindrical lenses. Verfahren zur Plateau-Einebnung der Lichtintensität eines homogenisierten Lichtstrahls, bei dem der Lichtstrahl über wenigstens zwei längs des Lichtstrahls angeordnete und axial voneinander beabstandete Zylinderlinsenanordnungen, eine erste und eine der ersten im Lichtstrahl nachgeordneten zweiten Zylinderlinsenanordnung, sowie mittels einer nachgeordneten Kondensorlinse abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, dass jene Anteile des Lichtstrahls, die von den die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen abgebildet werden, abgeschwächt werden.Process for leveling the light intensity of a plateau homogenized light beam in which the light beam over at least two longitudinal of the light beam and axially spaced from each other Cylindrical lens arrangements, a first and one of the first in the light beam downstream second cylindrical lens arrangement, and by means of a downstream Condenser lens is imaged, characterized in that those Portions of the light beam coming from the first cylindrical lens array Both sides limiting cylindrical lenses are mapped, attenuated. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die beidseitige Abschwächung des Lichtstrahls derart graduell erfolgt, dass die von den die erste Zylinderlinsenanordnung beidseitig begrenzenden Zylinderlinsen abgebildeten Anteile des Lichtstrahl in Richtung der äußeren Ränder der beiden Zylinderlinsen von 100% auf 0% Transmission abgeschwächt werden.Method according to claim 8, characterized in that that the bilateral mitigation of the light beam is made gradually, that of the first Cylindrical lens arrangement depicted on both sides limiting cylindrical lenses Proportions of the light beam in the direction of the outer edges of the two cylindrical lenses attenuated from 100% to 0% transmission. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Zylinderlinsen der ersten Zylinderlinsenanordnung den Lichtstrahl jeweils längs einer in einer Pupillenebene befindlichen Fokuslinie fokussiert, von der aus die einzelnen Fokuslinien über die Zylinderlinsen der zweiten Zylinderlinsenanordnung sowie der wenigstens einen nachfolgenden Kondensorlinse zur gegenseitigen Vermischung und damit verbundenen Homogenisierung auf eine homogene Bildfeldebene überführt werden.A method according to claim 8 or 9, characterized in that the cylindrical lenses of the first cylindrical lens arrangement respectively focus the light beam along a focus line located in a pupil plane, from which the individual focus lines are transferred to a homogeneous image field plane via the cylindrical lenses of the second cylindrical lens arrangement and the at least one subsequent condenser lens for mutual mixing and associated homogenization become.
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