DE102008052127A1 - Temperature measuring device and method for temperature measurement - Google Patents

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Abstract

Eine Temperaturmesseinrichtung umfasst mindestens zwei Festkörper unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten, wobei die Festkörper einen Fixpunkt haben und sich bei Temperaturänderung gegenüber dem Fixpunkt unterschiedlich ausdehnen. Des Weiteren ist mindestens ein Sensor zur Ermittlung der Längenänderung der Festkörper im Temperaturverlauf vorgesehen, wobei mittels Prozessor über die Differenz in der Längenausdehnung auf die jeweilige Temperatur rückgeschlossen wird. Ein Verfahren ist entsprechend ausgelegt.A temperature measuring device comprises at least two solids of different thermal expansion coefficients, wherein the solids have a fixed point and expand differently when the temperature changes with respect to the fixed point. Furthermore, at least one sensor is provided for determining the change in length of the solids in the course of the temperature, wherein the processor uses the difference in the linear expansion to deduce the respective temperature. A procedure is designed accordingly.

Description

Die Erfindung betrifft eine Temperaturmesseinrichtung und ein Verfahren zur Temperaturmessung.The The invention relates to a temperature measuring device and a method for temperature measurement.

Herkömmliche Temperaturfühler basieren auf NTC oder PTC. Diese Sensoren sind mittlerweile weit entwickelt. Für höchstauflösende Temperaturmessungen unter 1 mK ist das Eigenrauschen dieser Sensoren nicht zu vernachlässigen. Ein weiterer Nachteil: Die Widerstände verändern sich über ihre Lebensdauer im Absolutwert. Die typische Drift bei sehr guten Elementen liegt derzeit bei ca. 20 mK/a, die Auflösung bei einigen mK.conventional Temperature sensors are based on NTC or PTC. These sensors are now well developed. For highest resolution Temperature measurements below 1 mK is the inherent noise of these sensors not to neglect. Another disadvantage: the resistors change over their lifespan in absolute value. The typical drift with very good elements is currently around 20 mK / a, the resolution at some mK.

Andere Temperaturmesseinrichtungen nutzen auch bereits die thermische Ausdehnung von Materialien.Other Temperature measuring devices also already use the thermal expansion of materials.

Eine typische Anwendung, bei der die Materialausdehnung ausgewertet wird, sind mechanische Temperaturregler, die mittels einer Bimetallfeder temperaturabhängig einen Kontakt schließen oder öffnen. Darin sind zwei Metalle mit unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten fest miteinander verbunden. Bei Temperaturänderung dehnt sich ein Metall stärker als das andere, wodurch eine Biegung des Bimetallstreifens auftritt, die einen mechanischen Schalter betätigt (typischerweise in Bügeleisen oder in Kochplatten). In einer anderen Ausführung treibt die Bimetallfeder eine Welle mit einem daran befindlichen Zeiger an, wodurch eine kontinuierliche Temperaturanzeige möglich ist. Nachteilig bei diesen Temperatursensoren ist, dass durch die rein mechanische Ausführung sehr große Toleranzen (typisch bis zu 10%) auftreten und diese für sehr genaue Messungen nicht geeignet sind.A typical application in which the material expansion is evaluated, are mechanical temperature controllers, which by means of a bimetallic spring Depending on the temperature, close or open a contact. These are two metals with different coefficients of thermal expansion firmly connected. At temperature change stretches One metal stronger than the other, creating a bend the bimetallic strip occurs, which is a mechanical switch operated (typically in irons or in Hotplates). In another embodiment, the bimetallic spring drives a wave with a pointer attached thereto, creating a continuous temperature display is possible. adversely in these temperature sensors is that by the purely mechanical Very large tolerances (typically up to to 10%) and these do not for very accurate measurements are suitable.

Der unterschiedliche Temperaturausdehnungskoeffizient zweier Materialien kann auch zur Temperaturmessung genutzt werden, wenn diese nicht flächig miteinander verbunden sind, sondern indem eine Längendifferenz ausgewertet wird. Gemäß US 7,119,654 B2 ist ein Temperatursensor beschrieben, der aus einem Rohr eines Materials und einem Stab eines anderen Materials besteht, der sich innerhalb des Rohrs befindet. Die Materialien von Rohr und Stab sind so gewählt, dass bei Temperaturänderung eine relative Längenänderung auftritt, die einen Schalter betätigt. Nachteilig bei diesem Sensor ist, dass er nur als Schalter wirkt und eine genaue Temperaturmessung über einen größeren Bereich nicht möglich ist.The different temperature expansion coefficient of two materials can also be used for temperature measurement, if they are not connected to each other surface, but by a length difference is evaluated. According to US Pat. No. 7,119,654 B2 For example, a temperature sensor is described which consists of a tube of material and a rod of another material located inside the tube. The materials of the tube and rod are chosen so that when the temperature changes a relative change in length occurs, which operates a switch. The disadvantage of this sensor is that it acts only as a switch and accurate temperature measurement over a larger area is not possible.

Eine andere Art der Temperaturmessung nutzt die Temperaturausdehnung von Stoffen innerhalb eines Plattenkondensators. Gemäß US2007/0237204A1 ist ein solcher Sensor beschrieben, in dem zwei Platten in festem Abstand zueinander angeordnet sind, zwischen denen sich Materialien mit unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten befinden. Bei Temperaturänderung ändert sich das Volumen-Verhältnis der im Messspalt befindlichen Materialien. Dort werden im Wesentlichen ein Teil Luft und ein oder zwei Teile Medium verwendet. Das eingebrachte Medium verändert über die Temperatur sein Volumen und verändert so die Gesamtkapazität des Messkondensators. Bei dieser Anordnung ist aber die Lage des sich verändernden Mediums wichtig. Ein quer zu den Kondensatorplatten geschichtetes Dielektrikum kommt einer Parallelschaltung der Einzelkondensatoren gleich, ein parallel zu den Platten geschichtetes Dielektrikum entspricht einer Reihenschaltung von Kapazitäten.Another type of temperature measurement uses the temperature expansion of substances within a plate capacitor. According to US2007 / 0237204A1 is described such a sensor in which two plates are arranged at a fixed distance from each other, between which there are materials with different coefficients of thermal expansion. When the temperature changes, the volume ratio of the materials in the measuring gap changes. There, essentially one part of air and one or two parts of medium are used. The introduced medium changes its volume via the temperature and thus changes the total capacity of the measuring capacitor. In this arrangement, however, the location of the changing medium is important. A dielectric layered transversely to the capacitor plates equals a parallel connection of the individual capacitors, a dielectric layered parallel to the plates corresponds to a series connection of capacitances.

Nachteilig an dieser Anordnung ist, dass das verwendete dielektrische Material, das den Abstand der Kondensatorplatten definiert, selbst eine Temperaturausdehnung erfährt und damit den Messwert verfälscht.adversely with this arrangement is that the dielectric material used, which defines the distance of the capacitor plates, even a temperature expansion learns and thus falsifies the measured value.

Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Temperaturmesseinrichtung der eingangs genannten Art derart auszugestalten und weiterzubilden, dass eine sehr genaue, reproduzierbare Temperaturmessung über eine lange Lebensdauer der Einrichtung hinweg möglich ist. Ein entsprechendes Verfahren soll angegeben werden.Of the The present invention is based on the object, a temperature measuring device of the type mentioned above to design and develop, that a very accurate, reproducible temperature measurement over a long life of the device is possible away. A corresponding procedure should be specified.

Erfindungsgemäß wird die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst. Danach umfasst die erfindungsgemäße Temperaturmesseinrichtung mindestens zwei Festkörper unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten, wobei die Festkörper einen Fixpunkt haben und sich bei Temperaturänderung gegenüber dem Fixpunkt unterschiedlich ausdehnen. Des Weiteren ist mindestens ein Sensor zur Ermittlung der Längenänderung der Festkörper im Temperaturverlauf vorgesehen, wobei mittels Prozessor/Elektronik über die Differenz der Längenausdehnung auf die jeweilige Temperatur rückgeschlossen wird.According to the invention the above object by the features of claim 1 solved. Thereafter, the temperature measuring device according to the invention comprises at least two solids of different thermal Expansion coefficients, wherein the solids have a fixed point and at temperature change from the Stretch fixed point differently. Furthermore, at least a sensor for determining the change in length of Solid provided in the course of temperature, by means of Processor / electronics over the difference of the length extension is deduced the respective temperature.

Eine Eigenschaft von Werkstoffen ist die Temperaturausdehnung über die Temperatur. Diese Ausdehnung ist eine weitestgehend konstante bzw. bekannte Werkstoffeigenschaft, die zur Temperaturmessung genutzt werden kann.A Property of materials is the temperature expansion over the temperature. This expansion is a largely constant or known material property used for temperature measurement can be.

Definiert man eine Null-Linie oder einen Verbindungspunkt von zwei unterschiedlichen Materialien, so dehnen sich diese bei Temperaturerhöhung in eine Richtung relativ zueinander aus. Je nach Ausdehnungskoeffizient ergibt sich ein Unterschied in der Länge. Als Materialien können alle Kombinationen verwendet werden, die eine unterschiedliche Temperaturausdehnung besitzen. Vorteilhaft ist beispielsweise die Verwendung eines Materials 1 mit sehr geringer Ausdehnung, wie z. B. Zerodur (Keramik) oder Invar (Metall) und eines anderen Materials 2 mit großer Ausdehnung wie z. B. Aluminium. Damit ist die relative Längenänderung sehr groß und kann leicht detektiert werden. Die Differenz in der Längenausdehnung kann mit einem hochauflösenden Sensor sehr genau ermittelt werden und damit auf die Temperaturänderung zurückgeschlossen werden. Besonders geeignet dafür sind kapazitive Wegsensoren, die eine sehr hohe Auflösung von wenigen Zehntel Nanometer in der Messung von Abständen bieten.If one defines a zero line or a connection point of two different materials, they expand in a direction relative to each other when the temperature increases. Depending on the coefficient of expansion results in a difference in length. As materials all combinations can be used, which have a different temperature expansion. For example, the use of a material is advantageous 1 with very little extension, such. Zerodur (Kera mik) or invar (metal) and another material 2 with large expansion such. As aluminum. Thus, the relative change in length is very large and can be easily detected. The difference in the linear expansion can be determined very accurately with a high-resolution sensor and thus conclusions about the temperature change. Particularly suitable for this purpose are capacitive displacement sensors, which offer a very high resolution of a few tenths of a nanometer in the measurement of distances.

Idealerweise sind die beiden Materialien in Stabform oder als Rohr ausgebildete. An die Spitze dieser beiden Teile wird ein kapazitiver Sensor gesetzt, der genau diesen Unterschied in der Ausdehnung misst. Gemäß 1 ist das Sensormodul beispielsweise an Material 1 montiert, die Gegenfläche an Material 2. Dabei kann sowohl Material 1 als auch Material 2 die höhere Ausdehnung aufweisen. Dabei ist letztlich nur entscheidend, ob sich der Messspalt über die Temperatur verringert oder vergrößert. Eine vorteilhafte Ausgestaltung des Sensors ist beispielsweise die Anordnung zweier Rohre unterschiedlicher Metalle, die konzentrisch zueinander angeordnet sind. Beide Rohre sind an einem Ende fest miteinander verbunden. Bei Temperaturänderung dehnen sich beide Rohre entsprechend ihres thermischen Ausdehnungskoeffizienten aus. Am anderen Ende tritt durch die unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten eine relative Längenänderung der Rohre auf.Ideally, the two materials are rod-shaped or tube-shaped. At the top of these two parts is placed a capacitive sensor that measures precisely this difference in extent. According to 1 For example, the sensor module is attached to material 1 mounted, the counter surface of material 2 , It can be both material 1 as well as material 2 have the higher expansion. Ultimately, it is only decisive whether the measuring gap is reduced or increased over the temperature. An advantageous embodiment of the sensor, for example, the arrangement of two tubes of different metals, which are arranged concentrically to each other. Both tubes are firmly connected at one end. When the temperature changes, both tubes expand according to their thermal expansion coefficient. At the other end occurs by the different coefficients of thermal expansion, a relative change in length of the tubes.

An dieser Stelle sei angemerkt, dass es sich bei den Festkörpern um Festkörper beliebiger geeigneter Materialien und beliebiger Geometrie/Konstruktion handeln kann. So lassen sich beispielsweise auch mehrere ineinander geschachtelte Rohre oder nebeneinander liegende Stäbe mit unterschiedlichen Ausdehnungsko effizienten verwenden. Dies hat den Vorteil, dass sich die absolute Längenänderung deutlich erhöht, wodurch eine größere Empfindlichkeit und Auflösung der Anordnung erreicht werden kann. Eine Erhöhung der Längenänderung lässt sich beispielsweise auch durch zwei entsprechend lange Rohre erreichen.At It should be noted that it is the solids to solids of any suitable materials and any Geometry / construction can act. This is also possible, for example several nested tubes or side by side Use bars with different coefficients of expansion. This has the advantage that the absolute change in length significantly increased, creating a larger Sensitivity and resolution of the device can be achieved can. An increase in the change in length can be, for example, by two accordingly reach long pipes.

Die zuvor genannte Ausführung hat jedoch den Vorteil der kompakten Bauform, nämlich im Rahmen einer „teleskopartigen Verkürzung” der hier möglichen Bauform.The However, the aforementioned embodiment has the advantage of being compact Design, namely in the context of a "telescopic Shortening "of the possible design here.

Am Inneren der beiden Rohre kann die Messelektrode des kapazitiven Sensors befestigt werden. Am äußeren Rohr wird ein Deckel befestigt, der die Gegenelektrode des kapazitiven Sensors bildet. Der kapazitive Sensor misst damit immer gegen dieselbe Gegenelektrode, was sich vorteilhaft auf die Reproduzierbarkeit und Langzeitstabilität auswirkt. Diese Ausgestaltung bietet darüber hinaus den weiteren Vorteil, dass der Sensor vollständig gekapselt ist und keinerlei störende Substanzen in den Sensor eindringen können. Weiterhin kann der Sensor aus Materialien hergestellt sein, die einer bestimmten Umgebung widerstehen müssen, z. B. hoch legierter Edelstahl für raue Umgebung bzw. Schadatmosphäre.At the Inside of the two tubes can be the measuring electrode of the capacitive Sensors are attached. At the outer tube becomes a lid attached to the counter electrode of the capacitive sensor forms. The capacitive sensor thus always measures against the same counter electrode, which is advantageous for reproducibility and long-term stability effect. This embodiment also offers the further advantage that the sensor is completely encapsulated and no disturbing substances penetrate into the sensor can. Furthermore, the sensor can be made of materials who have to resist a certain environment, z. B. highly alloyed stainless steel for harsh environment or Schadatmosphäre.

Bei vollständiger Kapselung kann es vorkommen, dass der Sensor abhängig ist von Druckänderungen, wenn sich der Deckel aufgrund des Umgebungsdruckes durchbiegt. Durch eine Durchbiegung könnte eine Temperaturänderung vorgetäuscht werden. Dies kann dadurch vermieden werden, dass ein Druckausgleich hergestellt wird, indem z. B. eine druckdichte, biegsame Membran in das äußere Rohr eingebracht wird.at complete encapsulation, it may happen that the sensor depends on pressure changes when the Lid bends due to ambient pressure. By a bend could a temperature change be simulated. This This can be avoided by making a pressure equalization is by z. B. a pressure-tight, flexible membrane in the outer Tube is introduced.

Die erzielbare Auflösung ist durch den Messbereich (Temperatur bzw. Abstand), die Ausdehnungskoeffizienten und die Auswerteelektronik definiert. Werden die Rohre so dimensioniert, dass für einen gewünschten Temperaturbereich, etwa ΔT = 50°C, eine Längenänderung von Δx = 50 μm erreicht wird, so kann diese Längenänderung mit geeigneten kapazitiven Sensoren mit einer Auflösung von δx = 0,15 nm gemessen werden. Die entsprechende Auflösung in der Temperaturmessung ergibt sich aus der Gleichung δT / δx = ΔT / Δx durch Umformen: δT = ΔTΔx ·δx = 50 K50 μm ·0,15 nm = 0,15 mK. The achievable resolution is defined by the measuring range (temperature or distance), the expansion coefficients and the evaluation electronics. If the tubes are dimensioned so that a change in length of Δx = 50 μm is achieved for a desired temperature range, for example ΔT = 50 ° C., this change in length can be measured with suitable capacitive sensors with a resolution of Δx = 0.15 nm. The corresponding resolution in the temperature measurement results from the equation δT / δx = ΔT / Δx by forming: δT = .DELTA.T Ax · Δx = 50K 50 μm · 0.15 nm = 0.15 mK.

Für einen derartigen Sensor ist somit problemlos eine Auflösung von ca. 0,15 mK realisierbar.For such a sensor is thus easily a resolution 0.15 mK realizable.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung für höchste Präzision kann erreicht werden, indem der Messkondensator im Sensor immer mit einem Referenzkondensator verglichen wird. Der Referenzkondensator könnte ein mechanisch identischer Sensor sein, der jedoch nicht aus zwei unterschiedlichen Materialien, sondern aus identischen Materialien aufgebaut ist. Damit kann es keine relative Ländenänderung geben, weil die Temperaturausdehnungskoeffizienten identisch sind. Damit wird der Referenzkondensator nur durch die Umgebung beeinflusst, nicht jedoch durch die Temperaturänderung. Damit ist eine Kompensation der Umgebungseinflüsse auf den Messkondensator realisiert.A further advantageous embodiment for the highest Precision can be achieved by the measuring capacitor in the sensor is always compared with a reference capacitor. Of the Reference capacitor could be a mechanically identical sensor, but not of two different materials, but constructed of identical materials. There can be no relative Change the country because the coefficients of thermal expansion are identical. Thus, the reference capacitor is only by the Environment affected, but not by the temperature change. This compensates for the environmental influences realized the measuring capacitor.

Geeignet ist diese Lösung für langsame Temperaturmessungen, die auch über lange Zeit nicht driften dürfen. Da kapazitive Sensoren sehr langzeitstabil sind, ist eine hochgenaue Messung über lange Zeiträume möglich.Suitable is this solution for slow temperature measurements, which must not drift for a long time. Since capacitive sensors are very long-term stable, is a highly accurate Measurement over long periods possible.

Vorteile der Erfindung:Advantages of the invention:

  • – sehr hohe Temperaturauflösung durch Verwendung höchstauflösender kapazitiver Wegsensoren,- very high temperature resolution by using high-resolution capacitive Displacement sensors,
  • – lineare Messung aufgrund des linearen Ausdehnungskoeffizienten,- linear measurement due to the linear expansion coefficient,
  • – vollständig gekapselter Sensor, robust gegen Umgebungsbedingungen,- fully encapsulated sensor, robust against ambient conditions,
  • – keine mechanisch bewegten Teile,- no mechanical moving parts,
  • – keine Alterung, kein Eigenrauschen,- no aging, no inherent noise,
  • – sehr präzise Fertigung möglich durch einfache Drehteile im Gegensatz zu sehr ungenauen Bimetall-Federn.- very precise production possible by simple turned parts in contrast to very inaccurate bimetallic springs.

2 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Temperaturmesseinrichtung. Dort sind Rohre teleskopartig ineinander geschachtelt, und zwar mit abwechselnd hohem und niedrigem Ausdehnungskoeffizient. 2 shows a further embodiment of a temperature measuring device according to the invention. There tubes are nested telescopically, with alternating high and low expansion coefficient.

Die nach „rechts” gerichtete Ausdehnung von Material 1 mit hohem Ausdehnungskoeffizienten summiert sich, da die nach „links” gerichtete Ausdehnung von Material 2 mit geringem Ausdehnungskoeffizienten deutlich geringer ist. Damit bewegt sich der Sensor um eine größere Strecke in Richtung Messfläche als bei einer Aufführung mit nur 2 Rohren aus Material 1 und 2. Der Vorteil dieser Ausführung ist darin zu sehen, dass die effektive Ausdehnung, d. h. die relative Längenänderung zwischen Sensor und Messfläche, je nach Anzahl der verwendeten Rohre um ein Mehrfaches größer ist, als bei zwei solcher Doppelrohranordnungen, z. B. um den Faktor zwei. Dadurch erhöht sich die Empfindlichkeit entsprechend.The "right" directed expansion of material 1 with high coefficient of expansion adds up, as the "left" directed expansion of material 2 with low coefficient of expansion is significantly lower. This moves the sensor a greater distance in the direction of the measuring surface than in a performance with only two tubes of material 1 and 2 , The advantage of this design is the fact that the effective expansion, ie the relative change in length between sensor and measuring surface, depending on the number of tubes used is several times greater than in such two double tube arrangements, z. B. by a factor of two. This increases the sensitivity accordingly.

Schließlich sei ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die voranstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung sowie des erfindungsgemäßen Verfahrens lediglich zur Erörterung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken.After all be expressly noted that the above described embodiments of the invention Device and the method according to the invention merely for the purpose of discussing the claimed teaching, However, these do not limit to the embodiments.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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Claims (12)

Temperaturmesseinrichtung mit mindestens zwei Festkörpern unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten, wobei die Festkörper einen Fixpunkt haben und sich bei Temperaturänderung gegenüber dem Fixpunkt unterschiedlich ausdehnen, und mit mindestens einem Sensor zur Ermittlung der Längenänderung der Festkörper im Temperaturverlauf, wobei mittels Prozessor/Elektronik über die Differenz in der Längenausdehnung auf die jeweilige Temperatur rückgeschlossen wird.Temperature measuring device with at least two Solids of different thermal expansion coefficients, where the solids have a fixed point and at Temperature change different from the fixed point expand and with at least one sensor to determine the change in length the solid in the temperature profile, using processor / electronics over the difference in the linear expansion to the respective temperature is concluded. Temperaturmesseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass je Festkörper ein Sensor oder ein Sensorteil vorgesehen ist.Temperature measuring device according to claim 1, characterized in that each solid has a sensor or a Sensor part is provided. Temperaturmesseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor als kontaktlos arbeitender Wegmesssensor ausgeführt ist.Temperature measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the sensor operates as a contactless Distance measuring sensor is executed. Temperaturmesseinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor als kapazitiver Wegmesssensor ausgeführt ist.Temperature measuring device according to claim 3, characterized in that the sensor is designed as a capacitive displacement sensor is. Temperaturmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Festkörper stab- oder röhrenförmig ausgeführt sind.Temperature measuring device according to one of the claims 1 to 4, characterized in that the two solids Rod or tubular are executed. Temperaturmesseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der eine Festkörper als Rohr und der andere Festkörper als vorzugsweise konzentrisch darin angeordneter Stab oder als Rohr ausgeführt ist.Temperature measuring device according to claim 5, characterized characterized in that the one solid as a tube and the other solids than preferably concentrically arranged therein Rod or designed as a tube. Temperaturmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörper an einem Ende fest miteinander verbunden sind und dass am anderen Ende die unterschiedliche Längenausdehnung gemessen wird.Temperature measuring device according to one of the claims 1 to 6, characterized in that the solids on one end are firmly connected and that at the other end the different linear expansion is measured. Temperaturmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren gegen eine Stirnseite der Festkörper messen.Temperature measuring device according to one of the claims 1 to 7, characterized in that the sensors against an end face measure the solids. Temperaturmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor oder die Sensoren bzw. die Sensorteile gegeneinander oder gegen einen Fixpunkt messen.Temperature measuring device according to one of the claims 1 to 8, characterized in that the sensor or the sensors or measure the sensor parts against each other or against a fixed point. Temperaturmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch eine Merkmalskombination mit einem oder mehreren konstruktiven Merkmal/Merkmalen aus der Beschreibung und/oder der Figur.Temperature measuring device according to one of the claims 1 to 9, characterized by a feature combination with a or more constructive feature / features from the description and / or the Figure. Verfahren zur Temperaturmessung, mit zwei Festkörpern unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten, wobei die Festkörper einen gemeinsamen Fixpunkt haben und sich bei Temperaturänderung gegenüber dem Fixpunkt unterschiedlich ausdehnen, wobei mit mindestens einem Sensor die Längenänderung der Festkörper im Temperaturverlauf ermittelt wird, und wobei über die Differenz in der Längenausdehnung auf die jeweilige Temperatur rückgeschlossen wird.Method for temperature measurement, with two solids different thermal expansion coefficient, the Solid bodies have a common fixture and join Temperature change different from the fixed point expand, with at least one sensor, the change in length the solid is determined in the course of the temperature, and being about the difference in length expansion is deduced the respective temperature. Verfahren nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch eine Merkmalskombination mit einem oder mehreren verfahrensmäßigen Merkmal/Merkmalen aus der Beschreibung und/oder der Figur.A method according to claim 12, characterized by a feature combination with one or more procedural Feature / features from the description and / or the figure.
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