DE102009015507A1 - Method for measuring roll angle in machine tool, involves directing light rays on respective regions of partial-cylindrical section in reflector, and calculating roll angle from reflection angles for deriving change of two reflection angles - Google Patents
Method for measuring roll angle in machine tool, involves directing light rays on respective regions of partial-cylindrical section in reflector, and calculating roll angle from reflection angles for deriving change of two reflection angles Download PDFInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen eines Rollwinkels. Gemäß einem zweiten Aspekt betrifft die Erfindung eine Rollwinkelmessvorrichtung.The The invention relates to a method for measuring a roll angle. According to one second aspect, the invention relates to a roll angle measuring device.
Der Rollwinkel muss beispielsweise bei Werkzeugmaschinen gemessen werden und gibt eine Verdrehung einer Führung um die Verschieberichtung an.Of the Roll angle, for example, must be measured on machine tools and gives a twist of a guide about the direction of displacement at.
Aus
der
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Messung des Rollwinkels zu vereinfachen.Of the Invention is based on the object, the measurement of the roll angle to simplify.
Die Erfindung löst das Problem insbesondere durch ein Verfahren zum Messen des Rollwinkels, mit den Schritten (a) Richten eines ersten Lichtstrahls auf einen ersten Ort eines teilzylinderförmigen Abschnitts eines Reflektors, so dass ein erster Reflexions-Lichtstrahl entsteht, der unter einem ersten Reflexions winkel verläuft, (b) Richten zumindest eines zweiten Lichtstrahls auf einen vom ersten Ort verschiedenen zweiten Ort des teilzylinderförmigen Abschnitts, so dass ein zweiter Reflexions-Lichtstrahl entsteht, der unter einem zweiten Reflexionswinkel verläuft, und (c) Errechnen des Rollwinkels aus einer Größe, die eine Änderung des ersten Reflexionswinkels und des zweiten Reflexionswinkels beschreibt.The Invention solves the problem in particular by a method for measuring the roll angle, with the steps of (a) straightening a first light beam to a first location of a partially cylindrical Section of a reflector, allowing a first reflection light beam arises, which runs at a first reflection angle, (b) directing at least one second light beam to one of the first Place different second location of the partially cylindrical Section, so that a second reflection light beam is formed, which runs at a second angle of reflection, and (c) calculating the roll angle from a size, a change of the first reflection angle and the describes second reflection angle.
Gemäß einem zweiten Aspekt löst die Erfindung das Problem durch eine Rollwinkelmessvorrichtung zum Messen des Rollwinkels, mit (a) einem Reflektor, der einen teilzylinderförmigen Abschnitt aufweist, (b) einer Lichtquelle, die ausgebildet ist zum Richten eines ersten Lichtstrahls auf einen ersten Ort des teilzylinderförmigen Abschnitts, so dass ein erster Reflexions-Lichtstrahl entsteht, der unter einem ersten Reflexionswinkel verläuft und zum Richten eines mindestens zweiten Lichtstrahls auf einen vom ersten Ort verschiedenen, zweiten Ort des teilzylinderförmigen Abschnitts, so dass ein zweiter Reflexions-Lichtstrahl entsteht, der unter einem zweiten Reflexionswinkel verläuft, (c) einer Winkelmessvorrichtung zum Messen einer Änderung des ersten Reflexionswinkels und einer Änderung des zweiten Reflexionswinkels, und (d) einer Auswerteeinheit, die eingerichtet ist zum Errechnen des Rollwinkels aus dem ersten Reflexionswinkel und dem zweiten Reflexionswinkel.According to one second aspect, the invention solves the problem by a Roll angle measuring device for measuring the roll angle, with (a) a Reflector having a partially cylindrical portion, (b) a light source adapted to direct a first one Light beam to a first location of the partially cylindrical Section, so that a first reflection light beam is formed, which runs at a first angle of reflection and to Directing at least a second light beam to one of the first Place different, second location of the partially cylindrical Section, so that a second reflection light beam is formed, which is at a second angle of reflection, (c) an angle measuring device for measuring a change of the first Reflection angle and a change of the second reflection angle, and (d) an evaluation unit arranged to calculate of the roll angle from the first reflection angle and the second Angle of reflection.
Vorteilhaft an der Erfindung ist, dass sie die Messung des Rollwinkels mit einer besonders hohen Genauigkeit erlaubt. So ist es möglich, den teilzylinderförmigen Abschnitt mit einer hohen Genauigkeit zu fertigen, so dass aus der Änderung der Reflexionswinkel mit hoher Genauigkeit auf den Rollwinkel geschlossen werden kann. Vorteilhaft ist zudem, dass die Krümmung des teilzylinderförmigen Abschnitts und eine Änderung des Rollwinkels zu einer großen Änderung der Reflexionswinkel führt. Das erhöht die Genauigkeit bei der Messung des Rollwinkels.Advantageous The invention is that they measure the roll angle with a particularly high accuracy. So it is possible the part-cylindrical portion with a high accuracy to manufacture, so that from the change of the reflection angle can be closed with high accuracy on the roll angle. It is also advantageous that the curvature of the partially cylindrical Section and a change of the roll angle to a big change the reflection angle leads. This increases the accuracy when measuring the roll angle.
Es ist ein weiterer Vorteil, dass der Rollwinkel mit der Erfindung besonders ein fach gemessen werden kann.It Another advantage is that the roll angle with the invention especially a fold can be measured.
Im Rahmen der vorliegenden Beschreibung wird unter dem teilzylinderförmigen Abschnitt insbesondere jeder Abschnitt des Reflektors verstanden, dessen Kontur dadurch beschrieben werden kann, dass eine gekrümmte Kurve entlang einer erzeugenden Strecke verschoben wird. Dies entspricht der allgemeinen Definition eines Zylinders, der ein Kreiszylinder sein kann, es aber nicht sein muss.in the The scope of the present description is under the partially cylindrical Section understood in particular every section of the reflector, whose contour can be described by a curved Curve is shifted along a generating route. This matches with the general definition of a cylinder that is a circular cylinder can be, but it does not have to be.
Unter dem Errechnen des Rollwinkels wird insbesondere verstanden, dass ein absoluter Wert für den Rollwinkel errechnet wird. Anderenfalls wird lediglich eine Veränderung des Rollwinkels bestimmt.Under the calculation of the roll angle is understood in particular that an absolute value for the roll angle is calculated. Otherwise, only a change in the roll angle is determined.
Unter dem Reflektor wird insbesondere jedes Bauteil verstanden, das die Lichtstrahlen zurückwirft. Dabei handelt es sich bevorzugt um einen Spiegel.Under In particular, the reflector is understood to mean any component which the Reflects light rays back. These are preferred around a mirror.
Der erste Reflexionswinkel wird beispielsweise als der Winkel gemessen, den der erste Reflexions-Lichtstrahl zum ersten Lichtstrahl hat. Günstig ist, wenn der erste Reflexionswinkel in einem Koordinatensystem gemessen wird, dessen eine Achse senkrecht auf einer Verschieberichtung des Reflektors steht. Vorteilhaft ist, wenn beide Reflexionswinkel in einer Ebene gemessen werden, welche dadurch definiert wird, dass sie zum einen senkrecht auf der Ebene steht, welche die Lichtstrahlen enthält und zum anderen einen der beiden Lichtstrahlen beinhaltet.The first reflection angle is measured, for example, as the angle that the first reflection light beam has to the first light beam. It is favorable if the first reflection angle in a coordinates System is measured, one axis of which is perpendicular to a direction of displacement of the reflector. It is advantageous if both angles of reflection are measured in a plane which is defined by being perpendicular to the plane containing the light rays and containing one of the two light rays.
Bevorzugt wird der Rollwinkel aus einer Reflexionswinkeldifferenz aus dem ersten Reflexionswinkel und dem zweiten Reflexionswinkel berechnet. Das hat den Vorteil, dass sich Fehlereinflüsse auf die Reflexionswinkel gegenseitig kompensieren. Die Bestimmung des Rollwinkels aus der Reflexionswinkeldifferenz ist daher besonders genau und wenig fehleranfällig.Prefers becomes the roll angle from a reflection angle difference from the calculated first reflection angle and the second reflection angle. This has the advantage that error influences on the Compensate reflection angles mutually. The determination of the roll angle from the reflection angle difference is therefore particularly accurate and little error prone.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist der Abschnitt teilzylinderförmig. In diesem Fall lässt sich aus der Änderung der Reflexionswinkel besonders einfach der Rollwinkel errechnen. Prinzipiell kann der Abschnitt aber jede beliebige Kontur haben, sofern sie lokal in einer Umgebung des ersten Orts und des zweiten Orts durch eine Parabel angenähert werden kann.According to one preferred embodiment, the portion is partially cylindrical. In this case, from the change of the Reflection angle particularly easy to calculate the roll angle. in principle however, the section may have any contour, provided they are locally in an environment of the first location and the second location a parabola can be approximated.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden der erste Lichtstrahl und der zweite Lichtstrahl so auf den teilzylinderförmigen Abschnitt gerichtet, dass zu Beginn der Messung der erste Reflexionswinkel dem zweiten Reflexionswinkel entspricht. Günstig ist es, wenn das Verfahren dann so fortgeführt wird, dass der erste Reflexionswinkel dem Negativen des zweiten Reflexionswinkels entspricht. Auf diese Weise lassen sich besonders genaue Messwerte für den Rollwinkel erhalten. Besonders günstig ist es, wenn beide Reflexionswinkel möglichst klein sind, also im Wesentlichen 0° betragen.According to one preferred embodiment, the first light beam and the second light beam so on the partially cylindrical Section directed that at the beginning of the measurement the first reflection angle corresponds to the second reflection angle. It is favorable if the process then continues so that the first Reflection angle corresponds to the negative of the second reflection angle. In this way, very accurate readings for get the roll angle. It is particularly favorable if Both reflection angles are as small as possible, that is essentially 0 °.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird der Reflektor entlang einer Linearführung mit einer Führungsfläche bewegt, wobei der erste Lichtstrahl und der zweite Lichtstrahl so auf den Reflektor gerichtet werden, dass eine Verbindungsstrecke durch den ersten Ort und den zweiten Ort durch die Führungsfläche verläuft. Das führt dazu, dass ein Verkippen des Reflektors um den zu messenden Rollwinkel dazu führt, dass sich der zweite Reflexionswinkel auf entgegengesetzte Weise ändert wie der erste Reflexionswinkel. Das heißt in anderen Worten, dass sich beispielsweise der erste Reflexionswinkel vergrößert, wohingegen sich der zweite Reflexionswinkel verkleinert. Auf diese Weise bleiben Fehler, die durch eine mathematische Näherung des teilzylinderförmigen Abschnitts als parabelförmig entstehen, klein, so dass der Rollwinkel besonders genau berechnet werden kann.According to one preferred embodiment, the reflector along a linear guide with a guide surface moved, wherein the first light beam and the second light beam so be directed to the reflector, that a connecting link passes through the first place and the second place through the guide surface. This leads to a tilting of the reflector around the to be measured roll angle causes the second Reflection angle changes in the opposite way as the first reflection angle. In other words, that means that, for example, the first reflection angle increases, whereas the second angle of reflection decreases. To this Way, errors remain through a mathematical approximation of the partially cylindrical portion as parabolic arise, small, so that the roll angle calculated very accurately can be.
Vorteilhaft ist zudem, wenn die Lichtstrahlen so auf den Reflektor gerichtet werden, dass die die Verbindungsstrecke zwischen erstem Ort und zweitem Ort im Wesentlichen parallel zu der erzeugenden Strecke der Kontur des Reflek tors verläuft. Im Wesentlichen parallel bedeutet, dass kleine Abweichungen, beispielsweise von unter 3° tolerabel sind.Advantageous is also when the rays of light are directed at the reflector be that the the connecting distance between first place and second place substantially parallel to the generating path of the Contour of Reflek gate runs. Essentially parallel means that small deviations, for example, from below 3 ° tolerable are.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand eines exemplarischen Ausführungsbeispiels mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigtin the Below, the invention will be described with reference to an exemplary embodiment with reference to the accompanying drawings explained. It shows
Der
Reflektor
Der
Reflektor
Die
Lichtquelle
Die
Messeinheit
Der
erste Winkelmesser
Die im Folgenden durchgeführten Rechnungen beziehen sich jeweils auf zwei Lichtstrahlen und damit zwei Reflexions-Lichtstrahlen. Selbstverständlich ist es aber auch möglich, dass mehr als zwei Lichtstrahlen verwendet werden, wobei der Rollwinkel dann durch Mittelung der einzelnen erhaltenen Ergebnisse berechnet wird.The The following calculations refer to each case on two light beams and thus two reflection light beams. Of course it is also possible that more than two beams of light are used, with the roll angle then calculated by averaging the individual results obtained.
Der
Reflektor
Der
Normalenvektor n ^', |n ^'| = 1, im ersten Ort
Der
Reflektor
Gezeigt sind das nicht rotierte Koordinatensystem x-y-z für das Winkelmesssystem, sowie der um den Rollwinkel α (Rotation um die z(= z')-Achse) rotierten Reflektor mit seinem Koordinatensystem x'-y'-z'. Die beiden Koordinatensysteme können durch folgende Transformationsgleichungen ineinander übergeführt werden: Shown are the non-rotated coordinate system xyz for the angle measuring system, as well as the by the roll angle α (rotation about the z (= z ') - axis) rotated reflector with its coordinate system x'-y'-z'. The two coordinate systems can be converted into each other by the following transformation equations:
Das
Verfahren beruht auf der Differenzbildung zwischen Winkelmessungen
an den zwei verschiedenen Orten
Im
Koordinatensystem x'-y'-z' des um den Rollwinkel α rotierten
Reflektors
Diese
folgen aus den Transformationsgleichungen (4a) und (4b) zwischen
den Koordinatensystemen. Die Normalenvektoren n ^1'
und n ^'2 der
Reflektoroberfläche in den Orten
Die Normalenvektoren können über die Transformationsgleichungen (4a) und (4b) ins Koordinatensystem x-y-z des Winkelmesssystems rotiert werden: mit der Relation 2sinαcosα = sin2α.The normal vectors can be rotated via the transformation equations (4a) and (4b) into the coordinate system xyz of the angle measuring system: with the relation 2sinαcosα = sin2α.
Wird
ein Messstrahl mit normiertem Richtungsvektor û an einem
Oberflächenpunkt des Reflektors mit dem Normalenvektor n ^ reflektiert,
so ergibt sich der normierte Richtungsvektor ûr des
reflektierten Strahls gemäß
Nach
Reflexion der beiden von der Messeinheit
Dabei entspricht λ dem Auslenkungswinkel des reflektierten Messstrahls in der x-z-Ebene der horizontalen Messachse des Winkelmessgeräts, δ entspricht dem Strahlauslenkungswinkel senkrecht zu dieser Ebene.there λ corresponds to the deflection angle of the reflected measuring beam in the x-z plane of the horizontal measuring axis of the angle measuring device, δ corresponds the beam deflection angle perpendicular to this plane.
Aus der Transformationsgleichung (12) ergibt sich folgende Relation für die polare Koordinate λ eines vom Reflektor zurückgeworfenen Strahls mit normiertem Richtungsvektor ûr: From the transformation equation (12) the following relation for the polar coordinate λ of a beam reflected by the reflector with normalized directional vector û r results:
Damit
folgt aus den Formeln (10a) und (10b)
Damit
ergibt sich die Reflexionswinkeldifferenz Δλ = λ1 – λ2 zu
Die
Differenzbildung Δλ = λ1 – λ2 eliminiert die Fehlereinflüsse
der Reflektorneigung in Pitch (Rotation um die x'-Achse), die auch
als Nicken bezeichnet werden kann, und Yaw (Rotation um die y'-Achse),
was auch als Gieren bezeichnet werden kann, nahezu vollständig,
wie auch die Einflüsse von Translationen des Reflektors.
Damit ist die Reflexionswinkeldifferenz Δλ = λ1 – λ2 der
Winkelauslenkungen der Reflexions-Lichtstrahlen
Mit der Approximation α << π für kleine Winkel folgen sinα ≈ α und sin2α ≈ 2α. Mit (2krsinα)2 << 1 folgt mit dem Radius R des Zylinders, der die parabolische Reflektoroberfläche approximiert. Für kleine Winkel Iα ist die gemessene Differenz λ1 – λ2 der Winkelauslenkungen der reflektierten Messstrahlen in der x-z-Ebene der horizontalen Messachse des Winkelmessgeräts also eine Funktion erster Ordnung im Rollwinkel α des Reflektors.With the approximation α << π for small angles, sinα ≈ α and sin2α ≈ 2α follow. With (2krsinα) 2 << 1 follows with the radius R of the cylinder approximating the parabolic reflector surface. For small angles Iα, the measured difference λ 1 -λ 2 of the angular deflections of the reflected measuring beams in the xz-plane of the horizontal measuring axis of the angle measuring device is thus a function of first order in the roll angle α of the reflector.
Im
Folgenden wird gezeigt, dass der Rollwinkel α des Reflektors
- – Kippung des Reflektors in Pitch, β (Rotation um die x'-Achse, Nicken)
- – Kippung des Reflektors in Yaw, γ (Rotation um die y'-Achse, Gieren)
- – laterale Verschiebung Δx des Reflektors in x' und die
- – laterale Verschiebung Δy des Reflektors in y'.
- Tilting of the reflector in pitch, β (rotation about the x'-axis, nodding)
- Tilting of the reflector in Yaw, γ (rotation about the y'-axis, yawing)
- Lateral displacement Δx of the reflector in x 'and the
- Lateral displacement Δy of the reflector in y '.
Diese Fehlereinflüsse werden nahezu vollständig eliminiert.These Error effects are almost completely eliminated.
Hierfür wurde die Strahlführung mittels Raytracing exakt gerechnet und das Verfahren virtuell realisiert. Für die Monte-Carlo-Simulationen wurden folgende realistische Parameter angenommen (variable Parameter wurden im den angegebenen Intervallen gleich verteilt):
- – Roll α, Pitch β, Yaw γ: ±1000 aresec
- – laterale Verschiebungen Δx, Δy: ±1 mm
- – Zylinderradius Reflektor R: 1.0 m
- – halber Abstand Messorte r: 15 mm
- Roll α, Pitch β, Yaw γ: ± 1000 aresec
- - lateral displacements Δx, Δy: ± 1 mm
- - Cylinder radius reflector R: 1.0 m
- - half distance measuring locations r: 15 mm
Bei den ersten beiden Parameterbereichen wurden relativ große Werte angenommen, um die Grenzen des Verfahrens besser austesten zu können.at The first two parameter ranges became relatively large Values assumed to better test the limits of the procedure to be able to.
- 1010
- RollwinkelmessvorrichtungRoll angle measuring device
- 1212
- Reflektorreflector
- 1414
- Lichtquellelight source
- 1616
- Auswerteeinheitevaluation
- 1818
- Abschnittsection
- 2020
- SchmiegekreisSchmiegekreis
- 2222
- Komponentecomponent
- 2424
- erster Lichtstrahlfirst beam of light
- 2626
- zweiter Lichtstrahlsecond beam of light
- 2828
- Messeinheitmeasuring unit
- 3030
- WinkelmessvorrichtungAngle measuring device
- 3232
- Winkelmesserprotractor
- 3434
- Datenkabeldata cable
- 3636
- erster Ortfirst place
- 3838
- erster Reflexions-Lichtstrahlfirst Diffuse beam
- 4040
- zweiter Ortsecond place
- 4242
- zweiter Reflexions-Lichtstrahlsecond Diffuse beam
- 4444
- Führungguide
- FF
- Führungsflächeguide surface
- VV
- Verschieberichtungdisplacement direction
- αα
- Rollwinkel Reflexionswinkelroll angle angle of reflection
- ΔλΔλ
- ReflexionswinkeldifferenzReflection angle difference
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3249393A1 (en) * | 2016-05-24 | 2017-11-29 | Bruker AXS, Inc. | Two-dimensional x-ray detector position calibration and correction with diffraction pattern |
DE102013204282B4 (en) | 2013-03-12 | 2018-03-29 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Method for measuring an adjustable end effector and arrangement for carrying out such a method |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3790284A (en) * | 1972-05-08 | 1974-02-05 | Hewlett Packard Co | Interferometer system for measuring straightness and roll |
DE3643723A1 (en) * | 1986-12-20 | 1988-07-07 | Leitz Ernst Gmbh | Method and arrangement for optical measurement of the rolling angle of a moving machine part |
JPH0954102A (en) * | 1995-08-14 | 1997-02-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Calibrator for frictional force microscope and its calibration method |
DE19926546A1 (en) | 1999-06-11 | 2000-12-28 | Bundesrep Deutschland | High precision roll angle measurement during linear body movement involves rotating polarisation axis reciprocally at frequency at which passed radiation component is detected |
US6741364B2 (en) * | 2002-08-13 | 2004-05-25 | Harris Corporation | Apparatus for determining relative positioning of objects and related methods |
-
2009
- 2009-04-02 DE DE200910015507 patent/DE102009015507B4/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3790284A (en) * | 1972-05-08 | 1974-02-05 | Hewlett Packard Co | Interferometer system for measuring straightness and roll |
DE3643723A1 (en) * | 1986-12-20 | 1988-07-07 | Leitz Ernst Gmbh | Method and arrangement for optical measurement of the rolling angle of a moving machine part |
JPH0954102A (en) * | 1995-08-14 | 1997-02-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Calibrator for frictional force microscope and its calibration method |
DE19926546A1 (en) | 1999-06-11 | 2000-12-28 | Bundesrep Deutschland | High precision roll angle measurement during linear body movement involves rotating polarisation axis reciprocally at frequency at which passed radiation component is detected |
DE19926546C2 (en) * | 1999-06-11 | 2002-06-20 | Bundesrep Deutschland | Method and device for high-precision measurement of a surface of an object |
US6741364B2 (en) * | 2002-08-13 | 2004-05-25 | Harris Corporation | Apparatus for determining relative positioning of objects and related methods |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013204282B4 (en) | 2013-03-12 | 2018-03-29 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Method for measuring an adjustable end effector and arrangement for carrying out such a method |
EP3249393A1 (en) * | 2016-05-24 | 2017-11-29 | Bruker AXS, Inc. | Two-dimensional x-ray detector position calibration and correction with diffraction pattern |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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