DE102011106941A1 - Measuring unit for measuring position of e.g. receiver coil, has receiver coil groups with receiver coils that are switched with output voltages in series in measuring direction, where distance of receiver coils amounts to specific equation - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1.The invention relates to a position measuring device according to the preamble of claim 1.
Aus der
Die Abtasteinrichtung der
Im Rahmen dieser Anmeldung wird eine Leiterbahnanordnung, welche im Wesentlichen das gleiche elektromagnetische Feld wie eine spulenförmige bzw. spiralförmig verlaufende Leiterbahn erzeugt, als effektive Spule bezeichnet. Hierbei ist insbesondere an eine Ausführungsform gedacht, bei der mehrere effektive Spulen durch eine schlangenlinienförmige Leiterbahn gebildet werden, wie sie beispielsweise aus der
In der
Anzumerken ist noch, dass sich weder die Einzelspulen der Empfängerspulenpaare noch die Empfängerspulenpaare mit den Senderspulen überlappen. Die entsprechenden Leiterbahnen sind dabei in mehreren voneinander elektrisch isolierten ebenen Schichten angeordnet, wobei aufgrund der fehlenden Überlappungen eine geringst mögliche Anzahl an Schichten erforderlich ist.It should also be noted that neither the individual coils of the receiver coil pairs nor the receiver coil pairs overlap with the transmitter coils. The corresponding conductor tracks are arranged in a plurality of mutually electrically insulated planar layers, wherein due to the lack of overlaps a minimum possible number of layers is required.
Die verschiedenen Empfängerspulenpaare sind zu zwei Empfängerspulengruppen in Reihe geschaltet, nämlich einer Sinus- und einer Cosinus-Gruppe, deren Messspannungen um 90° phasenversetzt sind. Je mehr Empfängerspulenpaare eine Empfängerspulengruppe umfasst, desto stärker ist die entsprechende Messspannung. Darüber hinaus sinkt mit zunehmender Anzahl auch der Messfehler, da der Messfehler der gesamten Empfängerspulengruppe durch die Reihenschaltung immer kleiner ist, als der größte Messfehler eines einzelnen Empfängerspulenpaares. Aufgrund von Fertigungstoleranzen ist der Messfehler der einzelnen Empfängerspulenpaare deutlich unterschiedlich, wobei größere Ausreißer durch die Reihenschaltung ausgemittelt werden.The different receiver coil pairs are connected in series to two receiver coil groups, namely a sine and a cosine group whose measurement voltages are 90 ° out of phase. The more receiver coil pairs a receiver coil group, the stronger the corresponding measurement voltage. In addition, as the number increases, so does the measurement error, since the measurement error of the entire receiver coil group by the series connection is always smaller than the largest measurement error of a single receiver coil pair. Due to manufacturing tolerances, the measurement error of each receiver coil pairs is significantly different, with larger outliers are averaged out by the series connection.
Der vorstehend beschriebene Mittelungseffekt tritt jedoch nicht auf, wenn die Positionsmesseinrichtung einen Fehler aufweist, der sich bei Bewegung der Abtasteinrichtung entlang der Messrichtung mit der Teilungsperiode λ wiederholt. Dabei ist beispielsweise an eine Maßverkörperung gedacht, bei der alle Messmarkierungen den gleichen Formfehler aufweisen. Ein derartiger Fehler induziert in allen Empfängerspulenpaaren einer Empfängerspulengruppe die gleiche Störspannung, so dass der Mittelungseffekt nicht zum Tragen kommt.However, the averaging effect described above does not occur if the position measuring device has an error that repeats along the measuring direction with the graduation period λ when the scanning device moves. In this case, for example, thought of a material measure in which all the measurement marks have the same shape error. Such an error induces the same noise voltage in all receiver coil pairs of a receiver coil group, so that the averaging effect does not come into play.
Aus der
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, bei einer Positionsmesseinrichtung nach dem Grundprinzip der
Gemäß dem selbständigen Anspruch wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass die Anzahl n an Empfängerspulengruppen drei oder größer ist, wobei eine Anzahl n in Messrichtung hintereinander angeordneter Empfängerspulenpaare jeweils unterschiedlichen Empfängerspulengruppen angehören, wobei die Zuordnungen der Empfängerspulenpaare zu einer Empfängerspulengruppe in Messrichtung periodisch ist, wobei der Abstand δ zweier unmittelbar benachbarter Empfängerspulenpaare immer δ = (2 – 1/(2n))λ beträgt. Der Verdienst der Erfinder besteht dabei darin, die Merkmale bezüglich der Zuordnung der Empfängerspulenpaare zu den Empfängerspulengruppen von dem Fall n = 2 auf die Fälle n ≥ 3 verallgemeinert zu haben. Dabei haben sie erkannt, dass die Vorgabe für den Abstand δ der Empfängerspulenpaare nicht ohne weiteres von dem Fall n = 2 auf die Falle n ≥ 3 verallgemeinert werden kann. Für den Fall n = 2 würde der erfindungsgemäße Abstand δ = 7/4λ betragen. Bei Anwendung der aus
Anzumerken ist noch, dass der Abstand δ immer δ = (2 – 1/(2n))λ beträgt. Hieraus folgt, dass Senderspulen, in denen kein Empfängerspulenpaar angeordnet ist, nur an den beiden Enden der Abtasteinrichtung vorhanden sein können.It should also be noted that the distance δ is always δ = (2 - 1 / (2n)) λ. It follows that transmitter coils, in which no receiver coil pair is arranged, can only be present at the two ends of the scanning device.
In den abhängigen Ansprüchen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der Erfindung angegeben.In the dependent claims advantageous refinements and improvements of the invention are given.
Die Senderwindungsanordnung kann eine erste und eine zweite Gruppe von Leiterbahnen aufweisen, deren Enden elektrisch leitend miteinander verbunden sind, wobei die Leiterbahnen einer Gruppe jeweils schlangenlinienartig mit geringem Abstand parallel zueinander verlaufen, wobei sich die Leiterbahnen der beiden Gruppen derart kreuzen, dass sie mehrere effektive Senderspulen definieren. Damit wird erreicht, dass alle effektiven Senderspulen vom selben Strom umflossen werden und mithin ein identisches Sendefeld erzeugen. Damit ist sichergestellt, dass die verschiedenen Empfängerspulenpaare alle einem ideal symmetrischen Feld ausgesetzt sind, so dass eine optimale Kompensation stattfindet.The transmitter winding arrangement can have a first and a second group of conductor tracks whose ends are connected to one another in an electrically conductive manner, wherein the conductor tracks of a group run in each case in a serpentine manner with a small distance parallel to one another, wherein the conductor tracks of the two groups intersect in such a way that they have a plurality of effective transmitter coils define. This ensures that all effective transmitter coils are encircled by the same stream and thus generate an identical transmission field. This ensures that the different receiver coil pairs are all exposed to an ideally symmetric field, so that optimal compensation takes place.
Die Empfängerspulengruppen können an eine Auswerteeinheit angeschlossen sein, wobei die Auswerteeinheit mehrere Einzelwinkel αij aus den Ausgangsspannungen Ui; Uj je zweier Empfängerspulengruppen berechnen kann, wobei sie den Positionswinkel α als gewichteten Mittelwert der Einzelwinkel αij berechnen kann. Bei der aus der
Aufgrund von Messfehlern ergibt sich dabei das Problem, dass dieses Gleichungssystem im mathematischen Sinne nicht lösbar ist. Aus der
Problematisch hierbei ist, dass die Ausgangsspannungen der vorliegenden Positionsmesseinrichtung nicht ideal sinusförmig sind, sie sind nur Sinus-ähnlich. Die Additionstheoreme gelten also nur in grober Annäherung. Bei dem vorgeschlagenen Berechnungsverfahren wird die Gültigkeit der Additionstheoreme nicht mehr vorausgesetzt. Darüber hinaus wird durch die Mittelwertbildung der Fehler minimierende Mittelungseffekt erzielt, der mit der erfindungsgemäßen Positionsmesseinrichtung gerade erreicht werden soll. The problem here is that the output voltages of the present position measuring device are not ideal sinusoidal, they are only sine-like. The addition theorems are therefore only roughly approximated. In the proposed calculation method, the validity of the addition theorems is no longer presupposed. In addition, averaging effect minimizing the error is achieved by averaging, which is just to be achieved with the position-measuring device according to the invention.
Die Auswerteeinheit kann die Einzelwinkel αij als Lösung der Gleichung
Die Lösung der obigen Gleichung kann in bekannter Weise mit der Newton-Iteration
Alle Einzelspulen der Empfängerspulenpaare können aus einer oder mehreren ebenen Spiralen bestehen, die vorzugsweise im Wesentlichen rechteckig ausgeführt sind. Mit dieser Ausführung kann die verfügbare Sensorfläche mit der größtmöglichen Leiterbahnlänge versehen werden, da nahezu die gesamte Sensorfläche mit Leiterbahnen belegt werden kann. Die vorgeschlagene Abtasteinrichtung hat damit die höchst mögliche Empfindlichkeit.All individual coils of the receiver coil pairs may consist of one or more planar spirals, which are preferably made substantially rectangular. With this design, the available sensor surface can be provided with the largest possible conductor track length, since almost the entire sensor surface can be covered with conductor tracks. The proposed scanner thus has the highest possible sensitivity.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es stellt dar:The invention will be explained in more detail below with reference to the accompanying drawings. It shows:
Die Abtasteinrichtung
An dieser Stelle ist darauf hinzuweisen, dass die
In
Die Stromrichtung der einzelnen effektiven Senderspulen Sij ist in
Die Empfängerspulenpaare Eij sind jeweils zu Empfängerspulengruppen in Reihe geschaltet. Die erste Empfängerspulengruppe umfasst die Empfängerspulenpaare E11, E12, E13, die zweite Empfängerspulengruppe die Empfängerspulenpaare E21, E22 und die dritte Empfängerspulengruppe die Empfängerspulenpaare E31, E32. Die in
Bei der vorliegenden Ausführungsform sind die Empfängerspulenpaare E11, E12 und E13 zu einer ersten Gruppe von Empfängerspulenpaaren in Reihe geschaltet. Die Empfängerspulenpaare E11 und E13 weisen dabei jeweils die gleiche Relativstellung zur zugeordneten Messmarkierung auf, wobei die zugeordneten effektiven Senderspulen S11 und S13 die gleiche Windungsrichtung aufweisen. Das Empfängerspulenpaar E12 ist dagegen um 180° phasenverschoben gegenüber der zugeordneten Messmarkierung angeordnet, wobei die Senderspule S12 gegenüber den Senderspulen S11 und S13 eine entgegen gesetzte Windungsrichtung aufweist. An dieser Stelle sei noch einmal darauf hingewiesen, dass alle Empfängerspulen die gleiche Windungsrichtung aufweisen. Die erforderliche Umpolung des Empfängerspulenpaares E12 könnte man selbstverständlich auch durch eine Umkehrung seiner Windungsrichtung erzeugen. Dies kommt bei der vorliegenden Ausführungsform aber nicht in Betracht, da durch den vorliegenden Aufbau der Senderwindungsanordnung
Die Auswerteeinheit ist in den Figuren nicht dargestellt. Hierbei handelt es sich um eine Baugruppe, die mit den Anschlüssen U1, U2 und U3 der Empfängerwindungsanordnung
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- λλ
- Teilungsabstand der Maßverkörperung Teilungsabstand der AbtasteinrichtungPitch of the measuring graduation pitch of the scanner
- Sij S ij
- effektive Senderspuleeffective transmitter coil
- US U S
- Spannungsanschluss der SenderwindungsanordnungVoltage connection of the transmitter winding arrangement
- Enij, Epij En ij , Ep ij
- EinzelspuleSingle coil
- Eij E ij
- Empfängerspulenpaar, bestehend aus den Einzelspulen Enij, Epij Receiver coil pair, consisting of the individual coils En ij , Ep ij
- Ui U i
- Spannungsanschluss der EmpfängerwindungsanordnungVoltage connection of the receiver winding arrangement
- 1010
- PositionsmesseinrichtungPosition measuring device
- 1111
- Messrichtungmeasuring direction
- 2020
- MaßverkörperungMeasuring standard
- 2121
- Messmarkierungmeasurement mark
- 3030
- Abtasteinrichtungscanning
- 3131
- Mittelachse eines AbtastelementsCenter axis of a scanning element
- 4040
- SenderwindungsanordnungSend Erwin extension arrangement
- 4141
- erste Gruppe von Leiterbahnenfirst group of tracks
- 4242
- zweite Gruppe von Leiterbahnensecond group of tracks
- 4343
- senkrecht zur Messrichtung verlaufender Abschnitt; Kreuzungsbereichperpendicular to the direction of measurement extending section; crossing area
- 4444
- Durchkontaktierungvia
- 5050
- EmpfängerwindungsanordnungEmpfängerwindungsanordnung
- 5151
- Abstand des ersten und des letzten EmpfängerspulenpaaresDistance between the first and last receiver coil pairs
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
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- EP 11643581 B1 [0002] EP 11643581 B1 [0002]
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- US 4697144 A1 [0016] US 4697144 A1 [0016]
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