DE102016201439A1

DE102016201439A1 - Housing for receiving a vibrating device, scanning device, microscope and method

Info

Publication number: DE102016201439A1
Application number: DE102016201439.0A
Authority: DE
Inventors: Oliver Holub
Original assignee: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Current assignee: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority date: 2016-02-01
Filing date: 2016-02-01
Publication date: 2017-08-03

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Gehäuse (3) zur Aufnahme einer schwingenden Vorrichtung (5) aufweisend Gehäusewände (3.1 bis 3.6), durch die ein Gehäuseinneres (4) mindestens teilweise umschlossen ist und mindestens eine Fensteröffnung (6) in wenigstens einer der Gehäusewände (3.1 bis 3.6). Das Gehäuse (3) ist dadurch gekennzeichnet, dass entweder in einer ersten Alternative das Gehäuseinnere (4) druckdicht umhaust ist, so dass ein in diesem bestehender Unterdruck aufrechterhalten bleibt, wobei in der mindestens einen Fensteröffnung (6) ein Fenster (7) angeordnet ist; oder in einer zweiten Alternative dem Gehäuse (3) eine Pumpe (12) zugeordnet ist, mittels der in dem Gehäuseinneren (4) ein Unterdruck erzeugbar ist. Der Erfindung betrifft ferner eine Scanvorrichtung (2) mit einem Gehäuse (3) und einer schwingenden Vorrichtung (5) in Form eines Scanners, ein Mikroskop (1) umfassend ein Gehäuse (3) oder eine Scanvorrichtung (2) sowie ein Verfahren zum Betrieb einer schwingenden Vorrichtung (5) eines Mikroskops (1).The invention relates to a housing (3) for receiving a vibrating device (5) comprising housing walls (3.1 to 3.6) by which a housing interior (4) is at least partially enclosed and at least one window opening (6) in at least one of the housing walls (3.1 to 3.6). The housing (3) is characterized in that either in a first alternative, the housing interior (4) is pressure-tight umhaust, so that in this existing negative pressure is maintained, wherein in the at least one window opening (6), a window (7) is arranged ; or in a second alternative the housing (3) is associated with a pump (12) by means of which in the housing interior (4) a negative pressure can be generated. The invention further relates to a scanning device (2) with a housing (3) and a vibrating device (5) in the form of a scanner, a microscope (1) comprising a housing (3) or a scanning device (2) and a method for operating a oscillating device (5) of a microscope (1).

Description

Die Erfindung betrifft ein Gehäuse zur Aufnahme einer schwingenden Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Scanvorrichtung, ein Mikroskop und ein Verfahren zum Betrieb einer schwingenden Vorrichtung eines Mikroskops. The invention relates to a housing for receiving a vibrating device according to the preamble of claim 1 and a scanning device, a microscope and a method for operating a vibrating device of a microscope.

Moderne Scanner erlauben hohe Scangeschwindigkeiten, verursachen jedoch auch Geräusche, deren Frequenzlage und Lautstärke von einem Benutzer als unangenehm empfunden werden. Insbesondere Resonanzscanner weisen oftmals eine hohe Geräuschentwicklung auf. Modern scanners allow high scanning speeds, but also cause noise, the frequency and volume of which are perceived by a user as unpleasant. In particular, resonance scanners often have a high level of noise.

Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Lösungen bekannt, mittels derer diese Geräusche wenigstens gedämpft werden sollen. Various solutions are known from the prior art, by means of which these noises are to be damped at least.

Aus der DE 10 2012 208 250 A1 ist eine Vorrichtung zur Dämmung von Schall im optischen Strahlengang eines Mikroskops bekannt. Das einen Schall emittierende Bauteil ist mit einem Gehäuse gekapselt. Das Gehäuse weist mindestens eine optische Ein-/Austrittsöffnung auf und ist derart ausgebildet, dass der ansonsten aus dem Gehäuse austretende Schall durch destruktive Interferenz weitgehend ausgelöscht ist. Des Weiteren ist ein Mikroskop mit einer entsprechenden Vorrichtung beschrieben. From the DE 10 2012 208 250 A1 a device for the insulation of sound in the optical beam path of a microscope is known. The sound-emitting component is encapsulated with a housing. The housing has at least one optical inlet / outlet opening and is designed such that the otherwise emerging from the housing sound is largely extinguished by destructive interference. Furthermore, a microscope with a corresponding device is described.

Die US 5,477,013 A gibt ein schalldämpfendes Element eines Resonanzscanners an. Der Resonanzscanner ist auf einer Trägerplatte montiert, die auf Stützen steht. Die Trägerplatte wird an einer Position gehalten, an der bei Anliegen der Resonanzfrequenz des Scanners die Trägerplatte mit minimalen Amplituden schwingt. The US 5,477,013 A indicates a sound-damping element of a resonance scanner. The resonance scanner is mounted on a support plate that stands on supports. The carrier plate is held at a position where the carrier plate vibrates at minimum amplitudes when the resonant frequency of the scanner is applied.

In einer weiteren Lösung gemäß der DE 10 2004 049 437 A1 wird ein beweglich angeordnete Ablenkmittel in einem weitgehend schalldichten Gehäuse mit einem Eintrittsfenster und/oder einem Austrittsfenster positioniert. Das Gehäuse wird mit Schallabsorptionsmitteln ausgekleidet und optional elastisch aufgehängt oder auf Dämmmatten gelagert. In another solution according to the DE 10 2004 049 437 A1 a movably arranged deflection means is positioned in a largely soundproof housing with an entrance window and / or an exit window. The housing is lined with sound absorbers and optionally suspended elastically or stored on insulating mats.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Möglichkeit zur Aufnahme und zum Betrieb einer schwingenden Vorrichtung vorzuschlagen, durch die eine Geräuschentwicklung reduziert wird. The invention has for its object to provide an improved way to accommodate and operate a vibrating device, by which a noise is reduced.

Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche 1 und 12 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen. The object is solved by the features of independent claims 1 and 12. Advantageous developments can be found in the dependent claims.

Das Gehäuse ist zur Aufnahme einer schwingenden Vorrichtung ausgebildet und weist Gehäusewände auf, durch die ein Gehäuseinneres mindestens teilweise umschlossen ist. The housing is designed to receive a vibrating device and has housing walls, by which a housing interior is at least partially enclosed.

Das Gehäuse weist mindestens eine Fensteröffnung in wenigstens einer der Gehäusewände auf. The housing has at least one window opening in at least one of the housing walls.

Erfindungsgemäß ist das Gehäuseinnere gemäß einer ersten Alternative druckdicht umhaust, so dass ein in diesem bestehender Unterdruck aufrechterhalten bleibt, wobei in der mindestens einen Fensteröffnung ein optisches Element als ein Fenster angeordnet ist, oder dem Gehäuse ist gemäß in einer zweiten Alternative eine Pumpe zugeordnet, mittels der in dem Gehäuseinneren ein Unterdruck erzeugt oder erzeugbar ist. According to the invention, the housing interior is pressure-tight umhaust according to a first alternative, so that an existing in this negative pressure is maintained, wherein in the at least one window opening, an optical element is arranged as a window, or the housing is assigned according to a pump in a second alternative, by the negative pressure generated or generated in the housing interior.

Nachfolgend wird nur dann konkret auf die erste beziehungsweise die zweite Alternative der Ausführung des Gehäuses Bezug genommen, wenn eine Ausführungsmöglichkeit besondere vorteilhaft für eine der Alternativen ist. Der in dem Gehäuse erzeugte oder erzeugbare Unterdruck ist beispielsweise geringer als ein Umgebungsdruck des Gehäuses. In the following, reference will only be made concretely to the first or the second alternative of the embodiment of the housing if an embodiment option is particularly advantageous for one of the alternatives. For example, the negative pressure generated or generated in the housing is less than an ambient pressure of the housing.

Unter einem druckdichten Gehäuse ist zu verstehen, dass ein einmal erzeugter Unterdruck in dem Gehäuseinneren über eine längere Zeit von beispielsweise mehreren Wochen, Monaten oder Jahren bestehen bleibt. Das Gehäuse ist daher gasdicht ausgeführt. Der Unterdruck ist vorteilhaft mindestens 5%, vorteilhaft mindestens 10%, geringer als der Normaldruck (101,325 kPa). Wird das Gehäuse unter Betriebsbedingungen eingesetzt, bei denen der Umgebungsdruck wesentlich, beispielsweise mehr als 5%, von dem Normaldruck abweicht, ist es vorteilhaft, wenn der Unterdruck mindestens 5%, vorteilhaft mindestens 10%, geringer als der Umgebungsdruck des Gehäuses ist. Solche Betriebsbedingungen können beispielsweise bei einer Nutzung des Gehäuses in größeren Höhenlagen wie Gebirgen und auf Hochplateaus vorliegen. Under a pressure-tight housing is to be understood that a once generated negative pressure in the housing interior over a longer period of, for example, several weeks, months or years remains. The housing is therefore gas-tight. The negative pressure is advantageously at least 5%, advantageously at least 10%, lower than the normal pressure (101.325 kPa). If the housing is used under operating conditions in which the ambient pressure substantially, for example more than 5%, deviates from the normal pressure, it is advantageous if the negative pressure is at least 5%, advantageously at least 10%, lower than the ambient pressure of the housing. Such operating conditions may be present, for example, when the housing is used at higher altitudes, such as mountains and on high plateaus.

Im Sinne dieser Beschreibung entspricht ein Unterdruck von 5% einem 5%-igen Vakuum. Bezogen auf den Normaldruck von 101,325 kPa entspricht beispielsweise ein Unterdruck von 5% rund 96,26 kPa. Entsprechendes gilt, wenn der Unterdruck auf einen Umgebungsdruck bezogen ist, der von dem Normaldruck abweicht. For the purpose of this description, a negative pressure of 5% corresponds to a 5% vacuum. For example, based on the normal pressure of 101.325 kPa, a negative pressure of 5% corresponds to approximately 96.26 kPa. The same applies if the negative pressure is based on an ambient pressure which deviates from the normal pressure.

Ein Gehäuse gemäß der ersten Alternative ist wartungsarm oder gar wartungsfrei. Das Gehäuseinnere ist staubdicht gekapselt. Eine rein staubdichte Ausführung des Gehäuses gemäß der ersten Alternative, die nicht zugleich auch druckdicht ausgeführt ist, ist zur Lösung der Aufgabe nicht hinreichend, da ein ständiger Druckausgleich erfolgen würde und die Schallleitung nicht nachhaltig erniedrigt oder unterbunden würde. A housing according to the first alternative is low maintenance or even maintenance free. The housing interior is dust-tight encapsulated. A purely dustproof design of the housing according to the first alternative, which is not also designed to be pressure-tight, is not sufficient to solve the problem, since a constant pressure equalization would take place and the sound conduction would not sustainably lowered or prevented.

Ein Gehäuse gemäß der zweiten Alternative erlaubt eine Strahlführung eines Lichtstrahls durch die mindestens eine Fensteröffnung, ohne dass diese mit einem Fenster verschlossen sein muss. Dadurch werden die sonst beim Durchtritt des Lichtstrahls durch ein Fenster auftretenden Lichtverluste, Strahlablenkungen und je nach optischer Ausführung eventuell unerwünschte Abbildungsfehler vermieden. Der Unterdruck muss mittels der Pumpe erzeugt und aufrechterhalten werden. A housing according to the second alternative allows beam guidance of a light beam through the at least one window opening without having to be closed with a window. As a result, the otherwise occurring during the passage of the light beam through a window light losses, beam deflections and, depending on the optical design possibly unwanted aberrations are avoided. The vacuum must be generated and maintained by the pump.

Beiden Alternativen ist die Grundüberlegung der Erfindung gemein, die in dem Gehäuseinneren zur Übertragung von Schallwellen verfügbaren Medien zu verringern beziehungsweise deren Vermögen zur Schallleitung zu reduzieren. Insbesondere wird das in dem Gehäuseinneren enthaltene Gas oder Gasgemisch, üblicherweise Luft, wenigstens teilweise entfernt, sodass dessen Dichte verringert und somit dessen Vermögen zur Schallleitung herabgesetzt oder gar aufgehoben wird. Both alternatives have the basic idea of the invention in common to reduce the media available in the interior of the housing for transmitting sound waves or to reduce their capacity for sound conduction. In particular, the gas or gas mixture, usually air, contained in the interior of the housing is at least partially removed, so that its density is reduced and thus its capacity for sound conduction is reduced or even eliminated.

Um darüber hinaus eine Übertragung von Schallwellen der schwingenden Vorrichtung auf das Gehäuse zu vermindern, sind vorteilhaft in dem Gehäuseinneren Aufnahmemittel zur schwingungsgedämpften Aufnahme der schwingenden Vorrichtung vorhanden. In addition, in order to reduce a transmission of sound waves of the oscillating device to the housing, receiving means for the vibration-damped recording of the oscillating device are advantageously present in the housing interior.

Diese Aufnahmemittel bestehen wenigstens teilweise oder abschnittsweise aus einem elastischen und schwingungsdämpfenden Material oder einem entsprechenden Materialverbund. Die Dämpfungseigenschaften des Materials beziehungsweise des Materialverbunds sind vorteilhaft auf die während des Betriebs der schwingenden Vorrichtung erwarteten Frequenzen abgestimmt. These receiving means consist at least partially or in sections of an elastic and vibration damping material or a corresponding composite material. The damping properties of the material or of the material composite are advantageously matched to the frequencies expected during operation of the oscillating device.

In einer weiteren Ausführung des Gehäuses ist eine Öffnung in wenigstens einer der Gehäusewände ausgebildet. Die Öffnung ist mittels eines Verschlussmittels druckdicht verschlossen oder verschließbar. Es ist vorteilhaft, wenn das Verschlussmittel derart ausgebildet ist, dass durch die Öffnung das in dem Gehäuseinnern vorhandene Gas oder Gasgemisch aus dem Gehäuseinneren entfernt, beispielsweise herausgepumpt werden kann. Das Verschlussmittel ist beispielsweise als ein Ventil ausgebildet. In a further embodiment of the housing, an opening is formed in at least one of the housing walls. The opening is closed pressure-tight or closable by means of a closure means. It is advantageous if the closure means is designed in such a way that the gas or gas mixture present in the interior of the housing can be pumped out of the housing interior through the opening, for example, pumped out. The closure means is designed, for example, as a valve.

Das Verschlussmittel ist vorteilhaft mit einer Pumpe verbunden oder verbindbar. Die Pumpe kann beispielsweise eine manuell zu bedienende Handpumpe oder eine motorisch betriebene Pumpe sein. The closure means is advantageously connected or connectable to a pump. The pump may be, for example, a hand-operated manual pump or a motor-operated pump.

Das Gehäuse ist in weiteren Ausführungen mit einem Gas oder einem Gasgemisch gefüllt, dessen spezifische Dichte geringerer als die von Luft ist. Neben einem reduzierten Vermögen zur Schallleitung kann durch ein Gas oder Gasgemisch geringerer spezifischer Dichte ein Widerstand und/oder das chemische Reaktionsvermögen beispielsweise der schwingenden Vorrichtung reduziert werden. Letzteres wird beispielsweise durch die Verwendung reaktionsträger oder inerter Gase oder Gasgemische erreicht. The housing is filled in other embodiments with a gas or a gas mixture whose specific gravity is lower than that of air. In addition to a reduced capacity for sound conduction can be reduced by a gas or gas mixture of lower specific gravity, a resistance and / or the chemical reactivity, for example, the vibrating device. The latter is achieved, for example, by the use of inert or inert gases or gas mixtures.

Wird in dem Gehäuse eine schwingende Vorrichtung angeordnet, die mit hohen Geschwindigkeiten schwingt, können bereits kleine Staubpartikel Schäden an der Oberfläche der schwingenden Vorrichtung hervorrufen. Beispielsweise können Oberflächen schnell schwingender Spiegel durch Staubpartikel beschädigt werden. If an oscillating device is arranged in the housing which oscillates at high speeds, even small particles of dust can cause damage to the surface of the oscillating device. For example, surfaces of rapidly oscillating mirrors may be damaged by dust particles.

Es ist daher vorteilhaft, wenn das Gehäuse eine Füllung des Gehäuseinneren mit einem gereinigten Gas oder Gasgemisch aufweist. Der Partikelgehalt der Füllung ist vorteilhaft gegenüber beispielsweise der Umgebungsluft oder handelsüblicher Druckluft oder technischen Gase verringert. Das Gas oder Gasgemisch kann beispielsweise gefiltert sein. It is therefore advantageous if the housing has a filling of the housing interior with a purified gas or gas mixture. The particle content of the filling is advantageously reduced compared to, for example, the ambient air or commercial compressed air or technical gases. The gas or gas mixture may for example be filtered.

In alternativen Ausführungen, insbesondere bei einem Gehäuse gemäß der zweiten Alternative, kann das gereinigte Gas oder Gasgemisch periodisch oder kontinuierlich zugeführt werden. Dazu sind vorteilhaft entsprechend Gaszuführungen, beispielsweise in das Gehäuseinnere mündende Leitungen mit oder ohne Einlassdüsen, ausgebildet. In alternative embodiments, in particular in a housing according to the second alternative, the purified gas or gas mixture can be supplied periodically or continuously. For this purpose, advantageously according to gas supplies, for example, in the housing interior opening lines with or without inlet nozzles, formed.

In weiteren Ausführungen des Gehäuses gemäß beider Alternativen kann nur ein Fenster vorhanden sein, das sowohl als ein Eingangsfenster als auch als ein Ausgangsfenster fungiert. In other embodiments of the housing according to both alternatives, only one window may exist which functions both as an input window and as an output window.

Es können in weiteren Ausführungen des Gehäuses auch mehrere als Eingangsfenster und/oder als Ausgangsfenster fungierende Fenster vorhanden sein. In further embodiments of the housing, a plurality of windows functioning as an input window and / or as an output window may also be present.

In Gehäusen gemäß der zweiten Alternative können in den Fensteröffnungen Fenster vorhanden sein. Eine oder mehrere der vorhandenen Fensteröffnungen können auch offen bleiben. Diese sind dann beispielsweise zur Unterstützung der Erzeugung und Aufrechterhaltung des Unterdrucks mit geringeren lichten Weiten ausgeführt, als dies bei Fensteröffnungen der Fall ist, die mit Fenstern verschlossen sind. In housings according to the second alternative, windows may be present in the window openings. One or more of the existing window openings may also remain open. These are then designed, for example, to support the generation and maintenance of the negative pressure with smaller clearances than is the case with window openings that are closed with windows.

Jedes der Fenster kann bereits als ein optisches Element, beispielsweise als eine Linse, eines Strahlengangs ausgebildet sein. Ist ein Fenster durch planparallele Platten gebildet, so können auftretende Reflektionen vorteilhaft durch eine Verkippung der Platten vermieden werden beziehungsweise vermieden sein. Auch können Orts- und/oder Winkelversätze durchtretender Lichtstrahlen beispielsweise mittels einer den Versätzen entgegenwirkenden Verkippung zweier planparalleler Fenster kompensiert werden beziehungsweise kompensiert sein. Each of the windows can already be designed as an optical element, for example as a lens, of a beam path. If a window formed by plane-parallel plates, so occurring reflections can be advantageously avoided or avoided by tilting the plates. Also, positional and / or angular offsets passing through light beams, for example by means of a counteracting the offsets Tilting two plane-parallel windows are compensated or compensated.

Die schwingende Vorrichtung kann beispielsweise ein Scanner sein. The oscillating device may be, for example, a scanner.

Die Aufgabe wird weiterhin durch eine Scanvorrichtung umfassend ein erfindungsgemäßes Gehäuse und einer in dem Gehäuse angeordneten und als ein Scanner ausgebildeten schwingenden Vorrichtung gelöst. The object is further achieved by a scanning device comprising a housing according to the invention and an oscillating device arranged in the housing and designed as a scanner.

Ein Scanner ist dazu ausgebildet, mindestens einen Lichtstrahl gesteuert auf Punkte in einer Ebene zu richten und diese beispielsweise zeilenweise mittels des Lichtstrahls abzutasten. Der Scanner kann als ein Resonanzscanner ausgebildet sein, wie dies aus dem Stand der Technik bekannt ist. A scanner is designed to direct at least one light beam controlled to points in a plane and to scan them, for example, line by line by means of the light beam. The scanner may be implemented as a resonant scanner, as known in the art.

Sind in dem Gehäuse schwingende Elemente eines Scanners angeordnet, ragen diese beispielsweise in das Gehäuseinnere hinein, werden diese im Sinne dieser Beschreibung ebenfalls als eine schwingende Vorrichtung verstanden. If vibrating elements of a scanner are arranged in the housing, they protrude, for example, into the interior of the housing, these are also understood in the sense of this description as an oscillating device.

Um eine merkliche Reduzierung der Schallleitung zu erreichen, liegt bei einer betriebsbereiten Scanvorrichtung in dem Gehäuseinneren ein Unterdruck vor, der mindestens 5%, vorteilhaft mindestens 10%, geringer als der Umgebungsdruck beziehungsweise geringer als der Normaldruck ist. In order to achieve a noticeable reduction of the sound conduction, an under pressure which is at least 5%, advantageously at least 10%, less than the ambient pressure or less than the normal pressure is present in the interior of the housing in the case of an operational scanning device.

Um den Aufwand zur Erzeugung und Aufrechterhaltung des Unterdrucks, insbesondere bei einer Ausführung gemäß der zweiten Alternative, in einem technisch gut zu bewerkstelligenden und wirtschaftlich umsetzbaren Rahmen zu halten, aber gleichzeitig den erwünschten Zweck der Schallreduktion zu erfüllen, ist es vorteilhaft, wenn der Unterdruck nicht mehr als 60% beträgt. In order to keep the effort for generating and maintaining the negative pressure, in particular in an embodiment according to the second alternative, in a technically easy to be accomplished and economically feasible framework, but at the same time to fulfill the desired purpose of sound reduction, it is advantageous if the negative pressure is not is more than 60%.

Wird ein druckdichtes Gehäuse gemäß der ersten Alternative verwendet, kann der Unterdruck beispielsweise während der Montage der Scanvorrichtung und/oder nach der Grundmontage der Scanvorrichtung erzeugt werden. Beispielsweis kann die (End-)Montage der Scanvorrichtung in einer Kammer mit Unterdruck erfolgen. Der Unterdruck im Gehäuseinneren kann auch nach der Grundmontage des Scanners in dem Gehäuse und der druckdichten Umhausung des Scanners mit dem Gehäuse mittels einer Pumpe erzeugt werden. If a pressure-tight housing according to the first alternative is used, the negative pressure can be generated, for example, during the assembly of the scanning device and / or after the basic mounting of the scanning device. For example, the (final) mounting of the scanning device can be done in a vacuum chamber. The negative pressure inside the housing can also be generated by means of a pump after the basic mounting of the scanner in the housing and the pressure-tight housing of the scanner with the housing.

Vorteilhaft wird bei der Materialauswahl darauf geachtet, dass sich keine ausgasenden Substanzen in dem Gehäuse befinden. Es ist beispielsweise vorteilhaft, lediglich schwingende Elemente wie Scannerspiegel in dem Gehäuse anzuordnen und die weiteren mechanischen Komponenten außerhalb des Gehäuses vorzusehen. Die Komponenten der schwingenden Vorrichtung, durch die die zu dämpfenden Geräusche verursacht werden, müssen allerdings in dem Gehäuse angeordnet sein. Advantageously, care is taken in the selection of materials that there are no outgassing substances in the housing. It is advantageous, for example, to arrange only oscillating elements, such as scanner mirrors, in the housing and to provide the further mechanical components outside the housing. However, the components of the vibrating device, which cause the noise to be damped, must be disposed in the housing.

Ist das Gehäuse gemäß der zweiten Alternative ausgebildet, ist der Unterdruck mittels der Pumpe erzeugbar. Die Pumpe wird dabei vorteilhaft im Dauerbetrieb betrieben, wobei mittels einer geeigneten Ansteuerung eine aktuelle Pumpleistung der Pumpe einstellbar ist. Um den Unterdruck in dem Gehäuse und dem Gehäuseinneren zu erzeugen und aufrecht zu erhalten, ist es vorteilhaft, wenn beispielsweise durch die Gehäusewände ein Zustrom aufgrund des Betriebs der Pumpe angesaugter Umgebungsluft beziehungsweise eines Gases oder Gasgemischs strömungstechnisch derart geleitet ist, dass sich lokal im Gehäuseinneren ein Bereich ausbilden kann, in dem der Unterdruck anliegt. Beispielsweise sind alle Gehäusewände bis auf eine Gehäusewand oder bis auf einen Abschnitt einer der Gehäusewände vorhanden. Durch den Bereich der fehlenden Gehäusewand beziehungsweise des fehlenden Abschnitts der Gehäusewand hindurch wird die Luft, das Gas oder das Gasgemisch evakuiert. Wird das Gehäuseinnere mit einem Gas oder Gasgemisch gefüllt, kann dieses über eine Zuleitung und in Abstimmung mit der aktuellen Pumpleistung und dem aktuell herrschenden Unterdruck dem Gehäuseinneren zugeführt sein oder werden. If the housing is designed according to the second alternative, the negative pressure can be generated by means of the pump. The pump is advantageously operated in continuous operation, wherein by means of a suitable control, a current pump power of the pump is adjustable. In order to generate and maintain the negative pressure in the housing and the housing interior, it is advantageous if, for example through the housing walls an influx due to the operation of the pump sucked ambient air or a gas or gas mixture is fluidly directed so that locally into the housing interior Form can range in which the negative pressure is applied. For example, all housing walls are present except for a housing wall or up to a portion of one of the housing walls. Through the area of the missing housing wall or the missing portion of the housing wall through the air, the gas or the gas mixture is evacuated. If the interior of the housing is filled with a gas or gas mixture, this can be supplied to the housing interior via a supply line and in coordination with the current pumping capacity and the currently prevailing negative pressure.

Ein erfindungsgemäßes Gehäuse oder eine erfindungsgemäße Scanvorrichtung kann vorteilhaft in einem Mikroskop, beispielsweise einem konfokalen Mikroskop, verwendet sein. Ein solches Mikroskop umfasst ein Gehäuse oder eine Scanvorrichtung in einer der vorstehend beschriebenen Ausführungen. An inventive housing or a scanning device according to the invention can advantageously be used in a microscope, for example a confocal microscope. Such a microscope comprises a housing or a scanning device in one of the embodiments described above.

Die vorstehend beschriebenen Lösungen führen zu einer Dämpfung oder gar Unterdrückung von Geräuschen schwingender Vorrichtungen und/oder deren Elemente. Durch die reduzierte Lärmbelästigung wird einen Beitrag zu einer angenehmeren Gerätenutzung geleistet. The solutions described above lead to a damping or even suppression of noises oscillating devices and / or their elements. The reduced noise pollution contributes to a more comfortable use of the equipment.

Vom einer schwingenden Vorrichtungen und/oder deren Elemente erzeugte Schallwellen sind longitudinale Luftwellen, bei welchen man zwei Erzeugungswege unterscheidet. Zu einem großen Anteil handelt es sich um Schallwellen, die direkt beispielsweise von einem Scanner ihren Weg aus dem Scankopf finden. Dies kann beispielsweise via Lüftungseingänge und/oder Ausgänge der Fall sein. In einem geringeren Maße werden die Schwingungen über Kontaktflächen oder weitere Bauteile weitergeleitet, die selbst zu Schwingungen und damit verbundener Schallwellenerzeugung angeregt werden können. Die hier vorgeschlagene Lösung nimmt sich beider Wege an und kann somit zu einer erheblichen bis vollständigen Unterdrückung der Scannergeräuschentwicklung eingesetzt werden. Sound waves generated by a vibrating device and / or its elements are longitudinal air waves in which one distinguishes two production paths. To a large extent, these are sound waves that find their way directly from the scan head, for example, from a scanner. This can be the case, for example, via ventilation inputs and / or outputs. To a lesser extent, the vibrations are transmitted via contact surfaces or other components that can be excited even to vibrations and related sound wave generation. The solution proposed here adopts both ways and can thus be up to a considerable complete suppression of the scanner noise development.

Eine schwingende Vorrichtung eines Mikroskops wird erfindungsgemäß in einem Gehäuse bei einem bestehenden oder ständig erzeugten Unterdruck betrieben. Ein solches Betriebsverfahren führt vorteilhaft zu einer Reduzierung der durch die schwingende Vorrichtung verursachten Schwingungen, wobei ein besonderer Vorteil darin besteht, dass die Schwingungen mit für den Menschen hörbaren Frequenzen reduziert werden. An oscillating device of a microscope is operated according to the invention in a housing at an existing or constantly generated negative pressure. Such an operating method advantageously leads to a reduction of the oscillations caused by the oscillating device, a particular advantage being that the oscillations are reduced with frequencies audible to humans.

Die Vorteile des erfindungsgemäßen Gehäuses, der Scanvorrichtung und des Mikroskops liegen in dessen einfacher technischen Umsetzung. So kann beispielsweise ein Unterdruck oder ein Vakuum mittels einer Handpumpe bei Bedarf auch im Feld eingestellt werden, so dass keine stationäre Pumpe erforderlich ist, wodurch Wartungsaufwand und Kosten gesenkt werden. The advantages of the housing according to the invention, the scanning device and the microscope are in its simpler technical implementation. Thus, for example, a negative pressure or a vacuum by means of a hand pump can also be adjusted in the field if necessary, so that no stationary pump is required, whereby maintenance and costs are reduced.

Eine erhebliche Unterdrückung der Scannergeräuschentwicklung führt bereits ebenfalls zu einer Geräuschreduzierung. Eine Schwingungsentkopplung des Scanners von dem Gehäuse ist dabei nicht zwingend notwendig. Der Unterdruck führt bereits bei einem gegenüber einem Vakuum vergleichsweise geringen Wert zu einer relevanten Reduzierung der Geräuschentwicklung. A significant suppression of the scanner noise development already leads to a noise reduction. A vibration decoupling of the scanner from the housing is not mandatory. The negative pressure already leads to a relevant reduction of the noise development at a comparatively low value compared to a vacuum.

Reflektierende Oberflächen der schwingenden Vorrichtung, beispielsweise Spiegel eines Scanners, werden durch die Umhausung vor Staub und Partikeln geschützt. Reflective surfaces of the vibrating device, such as mirrors of a scanner, are protected by the enclosure from dust and particles.

Die Scanspiegeloberflächen sind in der Vakuumkammer beispielsweise aufgrund einer geringeren Sauerstoffkonzentation besser vor Korrosion geschützt, als dies unter atmosphärischen Bedingungen der Fall wäre. The scanning mirror surfaces are better protected against corrosion in the vacuum chamber due to lower oxygen concentration, for example, than would be the case under atmospheric conditions.

Weiterhin können die Geschwindigkeiten, mit denen die schwingende Vorrichtung bewegt wird, beispielsweise Spiegelgeschwindigkeiten von Resonanzscannern, in Bereiche liegen, in denen eine Bremswirkung durch den auftretenden Luftwiderstand von Bedeutung ist. In dem Gehäuse wird der Luftwiderstand gesenkt und somit die Bremswirkung herabgesetzt. Furthermore, the speeds at which the vibrating device is moved, for example mirror speeds of resonant scanners, may be in areas in which a braking effect due to the air resistance occurring is important. In the housing, the air resistance is lowered, thus reducing the braking effect.

Technologisch ist ein druckdichtes Gehäuse mit zwei Fenstern leicht herstellbar. Ein Unterdruck oder Vakuum ist ebenfalls leicht erzeugbar. Technologically, a pressure-tight housing with two windows is easy to produce. A vacuum or vacuum is also easily generated.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Abbildungen und Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen: The invention will be explained in more detail with reference to figures and embodiments. Show it:

1 eine schematisch Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines Mikroskops mit einer erfindungsgemäßen Scanvorrichtung und 1 a schematic representation of a first embodiment of a microscope with a scanning device according to the invention and

2 eine schematisch Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Mikroskops mit einer erfindungsgemäßen Scanvorrichtung 2 a schematic representation of a second embodiment of a microscope with a scanning device according to the invention

Die Ausführungsbeispiele sind schematisch dargestellt. Durch gleiche Bezugszeichen sind gleiche Elemente bezeichnet. The embodiments are shown schematically. By the same reference numerals like elements are designated.

In der 1 ist schematisch ein nicht näher dargestelltes Mikroskop 1 umfassend eine Scanvorrichtung 2 mit einem Gehäuse 3 gemäß der ersten Alternative und einer in einem Gehäuseinneren 4 angeordneten schwingenden Vorrichtung 5 in Form eines Scanners dargestellt. Im Weiteren wird beispielhaft auf den Scanner 5 Bezug genommen. Das Gehäuse 3 weist erste bis sechste Gehäusewände 3.1 bis 3.6 auf, durch die ein Gehäuseinneres 4 umfangen und gegenüber einer Umgebung des Gehäuses 3 druckdicht umschlossen ist. In einer zweiten Gehäusewand 3.2 ist eine Fensteröffnung 6 vorhanden, die mit einem als Eingangsfenster fungierenden Fenster 7 verschlossen ist, durch das ein Lichtstrahl 8 einer Strahlung in das Gehäuseinnere 4 und auf eine reflektierende Oberfläche 5.1 des Scanners 5 eingestrahlt wird beziehungsweise eingestrahlt werden kann. In the 1 is schematically a not-shown microscope 1 comprising a scanning device 2 with a housing 3 according to the first alternative and one in a housing interior 4 arranged oscillating device 5 presented in the form of a scanner. Below is an example of the scanner 5 Referenced. The housing 3 has first to sixth housing walls 3.1 to 3.6 on, through which a housing interior 4 encircled and facing an environment of the housing 3 is enclosed pressure-tight. In a second housing wall 3.2 is a window opening 6 present, with a window acting as an input window 7 is closed, through which a ray of light 8th a radiation in the housing interior 4 and on a reflective surface 5.1 of the scanner 5 is radiated or can be irradiated.

In einer ersten Gehäusewand 3.1 ist ebenfalls eine Fensteröffnung 6 vorhanden, die mit einem als Ausgangsfenster fungierenden Fenster 7 verschlossen ist, durch welches der von der reflektierenden Oberfläche 5.1 kommende reflektierte Lichtstrahl 8 aus der Scanvorrichtung 2 abgestrahlt wird beziehungsweise werden kann. In a first housing wall 3.1 is also a window opening 6 present, with a window acting as an output window 7 is closed, through which of the reflective surface 5.1 coming reflected light beam 8th from the scanning device 2 is emitted or can be.

Die Fenster 7 sind jeweils aus einem für den Lichtstrahl 8 transparenten Material wie Glas und/oder transparenter Kunststoff ausgebildet und derart in die jeweilige Gehäusewand 3.1, 3.2 eingesetzt oder in dieser ausgebildet, dass die Druckdichtheit des Gehäuses 3 erhalten bleibt. The window 7 are each one for the light beam 8th transparent material such as glass and / or transparent plastic formed and so in the respective housing wall 3.1 . 3.2 used or formed in this, that the pressure tightness of the housing 3 preserved.

In weiteren Ausführungen der Scanvorrichtung 2 können andere Anzahlen von Fensteröffnungen 6 und gegebenenfalls Fenstern 7 in anderen Gehäusewänden 3.1 bis 3.6 vorhanden sein. In further embodiments of the scanning device 2 can other numbers of window openings 6 and possibly windows 7 in other housing walls 3.1 to 3.6 to be available.

Es ist in weiteren Ausführungen ebenfalls möglich, dass das Gehäuse 3 eine andere Anzahl von Gehäusewänden 3.1 bis 3.n aufweist. Das Gehäuse 3 kann alternativ beispielsweise rund, halbrund oder als Polyeder ausgebildet sein oder eine aus verschiedenen geometrischen Grundfiguren zusammengesetzte Form aufweisen. It is also possible in other versions, that the housing 3 a different number of housing walls 3.1 to 3.n having. The housing 3 Alternatively, for example, it may be round, semicircular or polyhedral or may have a shape composed of different geometric basic figures.

Der Scanner 5 ist durch ein Aufnahmemittel 9 zur schwingungsgedämpften Aufnahme an dem Gehäuse 3 befestigt. Das Aufnahmemittel 9 ist eine Grundplatte aus einem elastischen und die Schwingungen des Scanners 5, insbesondere während dessen Betrieb in einem resonanten Zustand, dämpfenden Material. The scanner 5 is through a recording medium 9 for vibration-damped recording on the housing 3 attached. The recording medium 9 is a base plate made of an elastic and the vibrations of the scanner 5 in particular during its operation in a resonant state, damping material.

In weiteren Ausführungen können die Aufnahmemittel 9 zusätzlich oder alternativ als Elemente zur seitlichen Befestigung oder zum Aufhängen des Scanners 5 ausgebildet sein. In further embodiments, the receiving means 9 additionally or alternatively as elements for lateral attachment or for suspending the scanner 5 be educated.

Eine in der 1 nach oben weisend dargestellte sechste Gehäusewand 3.6 weist eine Öffnung 10 auf, in der ein Verschlussmittel 11 in Form eines Ventils angeordnet ist. Das Verschlussmittel 11 ermöglicht den Anschluss einer Pumpe 12, mittels der Luft aus dem Gehäuseinneren 4 evakuiert werden kann. In dem Gehäuseinneren 4 ist ein Unterdruck erzeugt oder erzeugbar, der aufgrund der druckdichten Ausführung des Gehäuses 3 sowie wegen der Wirkung des Verschlussmittels 11 auch nach dem Abschalten oder dem Entfernen der Pumpe 12 dauerhaft erhalten bleibt. One in the 1 pointing upwards shown sixth housing wall 3.6 has an opening 10 in which a closure means 11 is arranged in the form of a valve. The closure means 11 allows the connection of a pump 12 , by means of the air from the inside of the housing 4 can be evacuated. In the housing interior 4 is a negative pressure generated or generated, due to the pressure-tight design of the housing 3 as well as because of the effect of the closure means 11 even after switching off or removing the pump 12 permanently preserved.

Die Pumpe 12 ist mit einer Steuereinheit 13 verbunden, mittels der die Pumpe 12 ansteuerbar und eine aktuelle Saugleistung der Pumpe 12 einstellbar ist. The pump 12 is with a control unit 13 connected by means of the pump 12 controllable and a current suction power of the pump 12 is adjustable.

In dem Gehäuseinneren 4 ist in weiteren Ausführungen des Gehäuses 3 oder der Scanvorrichtung 2 ein Drucksensor (nicht dargestellt) vorhanden und mit der Steuereinheit 13 verbunden. Eine Ansteuerung der Pumpe 12 erfolgt in Abhängigkeit der von dem Drucksensor an die Steuereinheit 13 übermittelten Messwerte. In the housing interior 4 is in other versions of the housing 3 or the scanning device 2 a pressure sensor (not shown) and with the control unit 13 connected. A control of the pump 12 takes place as a function of the pressure sensor to the control unit 13 transmitted measured values.

Es ist auch möglich, dass Messwerte des Drucksensors auf einer Anzeige (nicht dargestellt) angezeigt werden und die Pumpe 12 in Abhängigkeit der angezeigten Messwerte automatisiert eingeschaltet oder manuell betätigt wird. It is also possible that readings from the pressure sensor are displayed on a display (not shown) and the pump 12 automatically switched on or manually operated depending on the displayed measured values.

Statt der Messwerte oder zusätzlich zu diesen kann ein Überschreiten eines einzuhaltenden Schwellwerts durch die Messwerte optisch und/oder akustisch signalisiert werden. Instead of or in addition to the measured values, an exceeding of a threshold value to be observed can be visually and / or acoustically signaled by the measured values.

In weiteren Ausführungen des Gehäuses 3 wird durch die Öffnung 10 ein Gas oder ein Gasgemisch in das Gehäuseinnere 4 geleitet. In other versions of the housing 3 gets through the opening 10 a gas or gas mixture into the housing interior 4 directed.

Es können in weiteren Ausführungen mindestens zwei Öffnungen 10 mit Verschlussmitteln 11 vorhanden sein, wodurch ein Spülen des Gehäuseinneren 4 mit einem Gas oder Gasgemisch ermöglicht ist. There may be at least two openings in other embodiments 10 with closure means 11 be present, thereby rinsing the housing interior 4 with a gas or gas mixture is possible.

Ferner ist es in einer weiteren Ausführung möglich, dass der Unterdruck im Gehäuseinneren 4 in Abhängigkeit des Umgebungsdrucks eingestellt ist beziehungsweise wird. Der Wert des Umgebungsdrucks kann als ein erwarteter Wert vorgegeben sein, der beispielsweise in Abhängigkeit des Verwendungsorts der Scaneinrichtung 2, insbesondere dessen Höhenlage, festgelegt ist. Alternativ kann mittels eines weiteren Drucksensors ein aktueller Wert des Umgebungsdrucks ermittelt und der Einstellung des Unterdrucks zugrunde gelegt werden. Furthermore, it is possible in a further embodiment, that the negative pressure inside the housing 4 is set or becomes dependent on the ambient pressure. The value of the ambient pressure can be specified as an expected value, which depends, for example, on the location of use of the scanning device 2 , in particular its altitude, is fixed. Alternatively, a current value of the ambient pressure can be determined by means of a further pressure sensor and the setting of the negative pressure can be used.

Die 1 verdeutlicht das Prinzip der Erfindung. Der Scanner 5, der beispielsweise als ein Galvano- oder Resonanzscanner ausgebildet ist, ist durch das druckdichte Gehäuse 3 ummantelt, welches mit den lichtdurchlässigen Fenstern 7 ausgestattet ist. Das Gehäuse 3 kann sehr kompakt ausgeführt sein, da dieses nur den Scanner 5 oder dessen schwingende Elemente selbst enthalten muss. The 1 clarifies the principle of the invention. The scanner 5 , which is designed for example as a Galvano- or resonance scanner is through the pressure-tight housing 3 sheathed, which with the translucent windows 7 Is provided. The housing 3 can be very compact, because this only the scanner 5 or its oscillating elements itself must contain.

Der Scanner 5 ist gegenüber dem Gehäuse 3 schwingungsentkoppelt oder schwingungsgedämpft gelagert. Das Gehäuse 3 selbst ist mit einem Vakuumventil als Verschlussmittel 11 ausgestattet. An dieses wird ein- oder mehrmalig eine als Vakuumpumpe ausgebildete Pumpe 12 angeschlossen und beispielsweise ein Grobvakuum erzeugt. Ein Grobvakuum von beispielsweise 90 % (90%iges Vakuum = –912 mbar relativer Betriebsdruck = 101 mbar absoluter Restdruck) kann leicht mit kommerziellen handbetriebenen Vakuumpumpen erzeugt werden. Alternativ kann mit entsprechenden Pumpen 12 auch ein stärkeres Vakuum erzeugt werden. The scanner 5 is opposite the case 3 stored vibration-decoupled or vibration-damped. The housing 3 itself is with a vacuum valve as a closure means 11 fitted. At this one or more times a designed as a vacuum pump pump 12 connected and generated, for example, a rough vacuum. For example, a rough vacuum of 90% (90% vacuum = -912 mbar relative operating pressure = 101 mbar absolute residual pressure) can be easily generated with commercial hand-operated vacuum pumps. Alternatively, with appropriate pumps 12 also a stronger vacuum can be generated.

Das in der 2 dargestellte zweite Ausführungsbeispiel des Mikroskops 1 umfasst eine Scanvorrichtung 2 mit einem Gehäuse 3 gemäß der zweiten Alternative. Das Gehäuse 3 weist keine sechste Gehäusewand 3.6 auf und ist an der nach oben weisend dargestellten Seite offen. Die Pumpe 12 ragt mit einem Ansaugstutzen 12.1, der an seinem freien Ende einen flächigen Gaseinlass 12.2 aufweist, in das Gehäuseinnere 4. Durch die erste bis fünfte Gehäusewand 3.1 bis 3.5 sowie durch den Gaseinlass 12.2 ist das Gehäuseinnere 4 teilweise umschlossen. That in the 2 illustrated second embodiment of the microscope 1 includes a scanning device 2 with a housing 3 according to the second alternative. The housing 3 does not have a sixth housing wall 3.6 on and is open at the side facing up. The pump 12 protrudes with an intake manifold 12.1 , which at its free end a flat gas inlet 12.2 has, in the housing interior 4 , Through the first to fifth housing wall 3.1 to 3.5 as well as through the gas inlet 12.2 is the housing interior 4 partially enclosed.

Die Fensteröffnung 6 in der ersten Gehäusewand 3.1 ist mit einem Fenster 7 verschlossen, während die Fensteröffnung 6 in der zweiten Gehäusewand 3.2 offen ist. Durch diese Ausführung tritt der Lichtstrahl 8 nur durch ein Fenster 7, wodurch Lichtverluste und je nach optischer Ausführung eventuell unerwünschte Abbildungsfehler wie Aberrationen und/oder Koma reduziert werden. The window opening 6 in the first housing wall 3.1 is with a window 7 closed while the window opening 6 in the second housing wall 3.2 is open. By this embodiment, the light beam occurs 8th only through a window 7 , which reduces light losses and, depending on the optical design, possibly unwanted aberrations such as aberrations and / or coma.

Die mittels der Steuereinheit 13 steuerbare aktuelle Saugleistung der Pumpe 12 ist vorteilhaft so bemessen, dass in dem Gehäuseinneren 4 ein gewünschter Unterdruck erzeugt ist, der durch einen stattfindenden Druckausgleich über die verbleibenden offenen Bereiche des Gehäuses 3 bei arbeitender Pumpe 12 nicht ausgeglichen wird. The means of the control unit 13 controllable current suction power of the pump 12 is advantageously sized so that in the housing interior 4 a desired negative pressure is generated by a held pressure equalization over the remaining open areas of the housing 3 when working pump 12 is not compensated.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1: Mikroskop microscope
2 2: Scanvorrichtung scanning device
3 3: Gehäuse casing
3.1 3.1: erste Gehäusewand first housing wall
3.2 3.2: zweite Gehäusewand second housing wall
3.3 3.3: dritte Gehäusewand third housing wall
3.4 3.4: vierte Gehäusewand fourth housing wall
3.5 3.5: fünfte Gehäusewand fifth housing wall
3.6 3.6: sechste Gehäusewand sixth housing wall
4 4: Gehäuseinneres housing interior
5 5: schwingende Vorrichtung / Scanner vibrating device / scanner
5.1 5.1: reflektierende Oberfläche reflective surface
6 6: Fensteröffnung window opening
7 7: Fenster window
8 8th: Lichtstrahl beam of light
9 9: Aufnahmemittel receiving means
10 10: Öffnung opening
11 11: Verschlussmittel closure means
12 12: Pumpe pump
12.1 12.1: Ansaugstutzen intake
12.2 12.2: Gaseinlass gas inlet
13 13: Steuereinheit control unit

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 102012208250 A1 [0004]
US 5477013 A [0005]
DE 102004049437 A1 [0006]

Claims

Casing ( 3 ) for receiving a vibrating device ( 5 ) comprising housing walls ( 3.1 to 3.6 ), through which a housing interior ( 4 ) is at least partially enclosed and at least one window opening ( 6 ) in at least one of the housing walls ( 3.1 to 3.6 ), characterized in that either in a first alternative, the housing interior ( 4 ) is pressure-tight umhaust, so that in this existing negative pressure is maintained, wherein in the at least one window opening ( 6 ) a window ( 7 ) or, in a second alternative, the housing ( 3 ) a pump ( 12 ) is assigned, by means of in the housing interior ( 4 ) A negative pressure can be generated.

Casing ( 3 ) according to claim 1, characterized in that in the housing interior ( 4 ) Receiving means ( 9 ) for the vibration-damped recording of the oscillating device ( 5 ) available.

Casing ( 3 ) according to claim 2, characterized in that the receiving means ( 9 ) consist at least partially of an elastic and vibration damping material.

Casing ( 3 ) according to one of the preceding claims, characterized in that an opening ( 10 ) in at least one of the housing walls ( 3.1 to 3.6 ) and a closure means ( 11 ) for pressure-tight closing of the opening ( 10 ) is available.

Casing ( 3 ) according to one of the preceding claims, characterized in that in the housing interior ( 4 ) is a negative pressure that is at least 5% less than the ambient pressure.

Casing ( 3 ) according to one of the preceding claims, characterized by a filling of the housing interior ( 4 ) with a gas or gas mixture of lower specific gravity than air.

Casing ( 3 ) according to one of the preceding claims, characterized by a filling of the housing interior ( 4 ) with a purified gas or gas mixture.

Scanning device ( 2 ) comprising a housing ( 3 ) according to one of claims 1 to 7 and one in the housing ( 3 ) and designed as a scanner oscillating device ( 5 ).

Scanning device ( 2 ) comprising a housing ( 3 ) according to one of claims 1 to 7 and in the housing ( 3 ) arranged oscillating elements of the designed as a scanner oscillating device ( 5 ).

Microscope ( 1 ) comprising a housing ( 3 ) according to one of claims 1 to 7 or a scanning device ( 2 ) according to one of claims 8 or 9.

Method for operating a vibrating device ( 5 ) of a microscope ( 1 ), in which the oscillating device ( 5 ) in a housing ( 3 ) is operated at an existing or constantly generated negative pressure.