DE10308842B4 - Device for gripping a plurality of substrates - Google Patents

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Abstract

Vorrichtung zum Greifen einer Vielzahl von Substraten (S),
mit einer Vielzahl hintereinander angeordneter Zungen (Z1, Z2),
wobei zwischen zwei benachbarten Zungen (Z1, Z2) ein Schlitz mit einer vorgegebenen Schlitzbreite gebildet ist,
wobei neben jeder Zunge (Z1, Z2) ein in Richtung der benachbarten Zunge (Z1, Z2) verschiebbares elastisches Klemmelement vorgesehen ist,
so dass die Schlitzbreite durch Verschieben der Klemmelemente zum Greifen der Substrate (S) verkleinerbar ist.Device for gripping a plurality of substrates (S),
with a plurality of tongues (Z1, Z2) arranged one behind the other,
wherein between two adjacent tongues (Z1, Z2) a slot having a predetermined slot width is formed,
wherein next to each tongue (Z1, Z2) is provided in the direction of the adjacent tongue (Z1, Z2) displaceable elastic clamping element,
so that the slot width can be reduced by displacing the clamping elements for gripping the substrates (S).

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Greifen einer Vielzahl von Substraten.The The invention relates to a device for gripping a plurality of Substrates.

Aus der U.S. 4,722,752 ist eine Vorrichtung zum Spülen und Trocknen von Substraten bekannt. Dabei sind die Substrate in einem Träger aufgenommen, der am Boden einen Durchbruch aufweist. Zum Herausheben der Substrate aus einem Behandlungsbad und aus dem Träger wird ein Hubelement angehoben, das den bodenseitigen Durchbruch des Trägers durchgreift und die Substrate aus dem Träger heraus über die Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit hinaushebt.From the US 4,722,752 a device for rinsing and drying of substrates is known. The substrates are accommodated in a carrier which has an opening at the bottom. To lift the substrates out of a treatment bath and out of the carrier, a lifting element is raised, which passes through the base-side opening of the carrier and lifts the substrates out of the carrier beyond the surface of the treatment liquid.

Aus der DE 196 40 848 A1 ist eine Vorrichtung zum Behandeln von Substraten bekannt. Dabei ist ein Träger vorgesehen, mit dem gleichzeitig eine Vielzahl von Substraten aus einem Behandlungsbad herausgehoben werden kann. Die Substrate sind dabei auf den Träger abgestützt.From the DE 196 40 848 A1 a device for treating substrates is known. In this case, a carrier is provided with which a plurality of substrates can be lifted out of a treatment bath at the same time. The substrates are supported on the carrier.

Insbesondere zur Herstellung photovoltaischer Elemente kommen heutzutage immer dünnere Substrate zum Einsatz. Substrate zur Herstellung photovoltaischer Elemente zur Anwendung im Bereich der Raumfahrt werden beispielsweise in einer Dicke von 60 μm hergestellt. Derartige Substrate sind biegsam. Sie weisen äußerst scharfe Kanten auf, die zu einer Beschädigung herkömmlicher Vorrichtungen zur Aufnahme von Substraten führen. Infolgedessen kommt es zu unerwünschten Verunreinigungen der Behandlungsbäder.Especially for the production of photovoltaic elements are nowadays always thinner substrates for use. Substrates for the production of photovoltaic elements for aerospace applications, for example, in a thickness of 60 microns produced. Such substrates are flexible. They are extremely sharp Edges leading to damage conventional Guide devices for receiving substrates. As a result, it comes too unwanted Impurities of the treatment baths.

Abgesehen davon sind die bekannten Vorrichtungen nicht oder nur mit Einschränkungen dazu geeignet, gleichzeitig eine Vielzahl von Substraten aus einer Aufnahme bzw. Horde herauszuheben und beispielsweise in eine weitere Horde umzusetzen. Gerade im Bereich der Herstellung photovoltaischer Substrate wird heutzutage ein Durchsatz in den Behandlungsbädern von bis zu 5 000 Stück/Stunde gefordert.apart Of these, the known devices are not or only with restrictions suitable for simultaneously a plurality of substrates from a To pick up recording or horde and, for example, in another Horde implement. Especially in the field of production of photovoltaic substrates is nowadays a throughput in the treatment baths of up to 5,000 pieces / hour required.

Schließlich sind nach dem Stand der Technik noch vakuumbetriebene Vorrichtungen zur Aufnahme von Substraten bekannt. Solche Vorrichtung fordern einen hohen Herstellungsaufwand. Beim Ausfall des Vakuums lösen sich die Substrate von der Vorrichtung und fallen herunter. Es kommt zur Zerstörung der Substrate. Ferner können die Behandlungsbäder verunreinigt werden. Ein dadurch bewirkter Anlagenstillstand verursacht hohe Kosten.Finally are According to the prior art still vacuum-powered devices for Recording of substrates known. Such device require one high production cost. In case of failure of the vacuum dissolve remove the substrates from the device and fall down. It comes to destruction the substrates. Furthermore, can the treatment baths be contaminated. An ensuing plant shutdown caused high costs.

Die DE-OS 20 61 251 betrifft eine Vorrichtung zum Erfassen und Umsetzen von Gefäßen, z. B. Flaschen. Dazu sind zwei einander gegenüberliegende Klemmleisten vorgesehen, die zum Greifen des Halses der Flaschen aufeinander zu bewegbar sind. Zum Entladen einer Vielzahl von in einer Aufnahme mit einem geringen Abstand hintereinander angeordneter Substrate eignet sich eine solche Vorrichtung nicht.The DE-OS 20 61 251 relates to a device for detecting and reacting of vessels, e.g. B. bottles. For this purpose, two opposing terminal strips are provided, which are movable toward each other for gripping the neck of the bottles are. To unload a variety of in a recording with a Small distance behind one another arranged substrates is suitable such a device is not.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die Nachteile nach dem Stand der Technik zu beseitigen. Es soll insbesondere eine Vorrichtung zum Greifen einer Vielzahl von Substraten angegeben werden, die störunanfällig und robust ist. Nach einem weiteren Ziel der Erfindung soll die Vorrichtung möglichst universell einsetzbar sein, d. h. es sollen Substrate aus Aufnahmen verschiedenster Geometrie be- und entladbar sein.task It is the object of the present invention to overcome the disadvantages of the prior art to eliminate the technology. It is intended in particular a device for gripping a variety of substrates, the susceptible to interference and is robust. According to a further object of the invention, the device preferably be universally applicable, d. H. it should be substrates from recordings Be loaded and unloaded various geometry.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 16.These The object is solved by the features of claim 1. Expedient refinements result arising from the features of the claims 2 to 16.

Nach Maßgabe der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Greifen einer Vielzahl von Substraten vorgesehen, mit einer Vielzahl hintereinander angeordneter Zungen, wobei zwischen zwei benachbarten Zungen eine Schlitz mit einer vorgegebenen Schlitzbreite gebildet ist, wobei neben jeder Zunge ein in Richtung der benachbarten Zunge verschiebbares elastisches Klemmelement vorgesehen ist, so dass die Schlitzbreite durch Verschieben der Klemmelemente zum Greifen der Substrate verkleinerbar ist.To proviso The invention relates to a device for gripping a plurality of Substrates provided with a plurality of successively arranged Tongues, wherein between two adjacent tongues a slot with a predetermined slot width is formed, with each next to each Tong a displaceable in the direction of the adjacent tongue elastic clamping element is provided so that the slot width by moving the Clamping elements for gripping the substrates is reduced in size.

Die vorgeschlagene Vorrichtung ist einfach aufgebaut. Sie ist robust und störunanfällig. Die Substrate werden mechanisch gegriffen. Das Vorsehen technisch aufwändiger Vakuumeinrichtungen ist nicht erforderlich. Bei einem Strom- oder Vakuumausfall lösen sich einmal gegriffene Substrate nicht mehr von der Vorrichtung. Die vorgeschlagene Vorrichtung ist außerdem universell. Sie eignet sich zum Greifen von Substraten unterschiedlicher Dicken. Auch können damit Substrate aus Aufnahmen unterschiedlichster Geometrien be- und entladen werden.The proposed device is simple. She is robust and susceptible to interference. The Substrates are gripped mechanically. The provision of technically complex vacuum devices not necessary. In the event of a power or vacuum failure, they dissolve Once gripped substrates are no longer from the device. The proposed device is also universal. It is suitable for gripping substrates of different thicknesses. Also, you can do that Load and unload substrates from recordings of different geometries become.

Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung bilden erste Zungen eine erste Reihe und jeweils hinter den ersten Zungen angeordnete zweite Zungen eine zweite Reihe, wobei die erste Reihe seitlich gegenüber der zweiten Reihe um einen Abstand versetzt ist. Die Klemmelemente können in etwa die Breite des Abstands aufweisen und erste Klemmelemente können neben den ersten Zungen und zweite Klemmelemente neben den zweiten Zungen jeweils in dem durch den Versatz gebildeten Raum angeordnet sein. Die vorgeschlagene Anordnung der Zungen und der Klemmelemente führt insgesamt zu einer geschlossenen Reihe von Zungen und Klemmelementen, welche senkrecht zu ihrer Längserstreckung Schlitze zum Einführen der Substrate aufweist, deren Schlitzbreite zum Greifen der Substrate veränderbar ist. Die vorgeschlagene Anordnung der Zungen und der Klemmelemente ist besonders kompakt und platzsparend.According to an advantageous embodiment, first tongues form a first row and second tongues arranged behind the first tongues form a second row, the first row being laterally offset from the second row by a distance. The clamping elements may have approximately the width of the distance and first clamping elements may be arranged next to the first tongues and second clamping elements adjacent to the second tongues respectively in the space formed by the offset. The proposed arrangement of the tongues and the clamping elements leads to a total closed Senen series of tongues and clamping elements, which has perpendicular to its longitudinal extent slots for introducing the substrates whose slot width is variable for gripping the substrates. The proposed arrangement of the tongues and the clamping elements is particularly compact and space-saving.

Vorteilhafterweise sind die Zungen an ihrem freien Ende abgeschrägt. Die Klemmelemente können Federzungen sein, die vor zugsweise an ihrem freien Ende ebenfalls abgeschrägt sind. Das erleichtert das Einführen der aus den Zungen und den Federzungen gebildeten Stege in die Zwischenräume zwischen parallel in einer Aufnahme aufgenommenen Substrate.advantageously, the tongues are chamfered at their free end. The clamping elements can spring tongues be, which are also preferably bevelled at its free end before. This facilitates insertion the webs formed by the tongues and the spring tongues in the spaces between parallel recorded in a recording substrates.

Die Zungen und die Federzungen sind zweckmäßigerweise aus Kunststoff, insbesondere einem abriebsfesten Kunststoff wie PEEK hergestellt.The Tongues and the spring tongues are expediently made of plastic, in particular made of an abrasion-resistant plastic such as PEEK.

Nach einer weiteren Ausgestaltung weisen die Federzungen einen Wulst auf. Das ermöglicht das Aufbringen eines hohen Klemmdrucks auf die Substrate. Die Substrate werden zwischen den Federzungen und den Zungen reibschlüssig und klemmend gehalten.To In a further embodiment, the spring tongues have a bead on. That allows that Applying a high clamping pressure on the substrates. The substrates be friction between the spring tongues and the tongues and held clamped.

Nach einer weiteren Ausgestaltung erstrecken sich die ersten Federzungen von einer ersten Leiste und die zweiten Federzungen von einer zweiten Leiste. Die erste und die zweite Leiste können relativ zu einem die erste und die zweite Leiste aufnehmenden Träger verschiebbar sein, so dass die Federzungen gemeinsam gegen die mit dem Träger verbundenen Zungen bewegbar sind. Die Zungen können sich von einer dritten Leiste erstrecken, wobei die dritte Leiste vorteilhafterweise relativ zum Träger in eine der ersten und zweiten Leiste entgegengesetzte Richtung verschiebbar ist, so dass die Zungen und Federzungen gemeinsam aufeinander zu bewegbar sind. Damit kann ein Greifen der Substrate erreicht werden, ohne dass diese irgendwelchen Spannungen ausgesetzt werden. Es wird eine Beschädigung der Substrate beim Greifen vermieden.To In another embodiment, the first spring tongues extend from a first bar and the second spring tongues from a second bar Strip. The first and the second bar can be relative to one the first and the second bar receiving carrier be slidable, so that the spring tongues move together against the tongues connected to the carrier are. The tongues can extending from a third bar, the third bar Advantageously relative to the carrier in one of the first and second bar opposite direction is displaceable, so that the tongues and spring tongues are mutually movable toward one another. Thus, a gripping of the substrates can be achieved without to be exposed to any voltages. It will damage the Avoiding substrates when gripping.

Nach einer weiteren Ausgestaltung sind die erste und die zweite Leiste mittels erster Exzenter verschiebbar. Die dritte Leiste kann mittels eines zweiten Exzenters verschiebbar sein. Zweckmäßigerweise sind die ersten und die zweiten Exzenter auf einer gemeinsamen Achse aufgenommen, so dass bei einer Drehung der Achse eine gleichzeitige Verschiebung der Leisten relativ zum Träger bewirkt wird. Die vorgeschlagene Anordnung erfordert wenige Teile und ist einfach und störunanfällig. Der Träger kann ohne weiteres an einem Roboterarm angebracht werden. Die Achse kann ohne großen Aufwand ebenfalls mit dem Roboter gedreht werden.To In another embodiment, the first and the second bar displaceable by means of first eccentric. The third bar can by means of be displaceable a second eccentric. Conveniently, are the first and the second eccentric on a common axis recorded so that upon rotation of the axis a simultaneous displacement the last relative to the carrier is effected. The proposed arrangement requires few parts and is simple and prone to interference. Of the Carrier can readily attached to a robotic arm. The axis can without big ones Effort also be rotated with the robot.

Am Träger kann mindestens eine mittels einer ersten Leiste verschiebbare Federzungenanordnung und eine aus zu den Federzungen benachbarten Zungen gebildete Zungenanordnung aufgenommen sein. Je nach Anforderungsprofil kann am Träger in paralleler Anordnung zur vorgenannten Zungen/Federzungenanordnung auch mindestens eine, vorzugsweise zwei, aus einem elastischen Material hergestellte Anschlagleiste angebracht sein.At the carrier can at least one displaceable by means of a first strip spring tongue assembly and a tongue arrangement formed from tongues adjacent to the spring tongues be included. Depending on the requirement profile can be parallel on the carrier Arrangement for the aforementioned tongues / spring tongue arrangement also at least one, preferably two, made of an elastic material Attached stop bar.

Nach einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung sind am Träger in paralleler Anordnung zwei Zungen/Federzungenanordnungen vorgesehen, welche mit auf ein- und derselben Achse vorgesehenen ersten und zweiten Exzentern gleichzeitig bewegbar sind. In diesem Fall werden mit der vorgeschlagenen Vorrichtung die Substrate jeweils gleichzeitig an zwei Punkten gegriffen. Es wird somit ein Verdrehen der Substrate beim Be- und Entladen von Aufnahmen vermieden. Selbstverständlich ist es auch möglich, drei oder mehr der Zugen/Federzungenanordnungen in paralleler Anordnung am Träger vorzusehen, so dass die Substrate an drei oder mehr Punkten gegriffen werden können.To a particularly advantageous embodiment are in parallel on the carrier Arrangement two tongues / Federzungenanordnungen provided which with first and second ones provided on one and the same axis Eccentric are movable simultaneously. In this case are with the proposed device, the substrates each simultaneously seized at two points. It is thus a twisting of the substrates during loading and unloading of recordings avoided. Of course it is also possible, three or more of the flexures / spring tab assemblies in a parallel arrangement on the carrier provided so that the substrates seized at three or more points can be.

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:following is an embodiment of Invention explained in more detail with reference to the drawings. Show it:

1 eine erste Seitenansicht der Vorrichtung, 1 a first side view of the device,

2 eine zweite Seitenansicht der Vorrichtung, 2 a second side view of the device,

3 eine dritte Seitenansicht der Vorrichtung, 3 a third side view of the device,

4 eine erste Funktionsansicht, 4 a first functional view,

5 eine zweite Funktionsansicht, 5 a second functional view,

6 eine Detailansicht nach 3, 6 a detailed view after 3 .

7 eine Draufsicht nach 6 und 7 a top view 6 and

8 eine Detailansicht nach 2. 8th a detailed view after 2 ,

In den 1 bis 3 sind in einer Aufnahme bzw. einer Horde 1 in paralleler Anordnung eine Vielzahl von Substraten S aufgenommen. Eine Vorrichtung zum gleichzeitigen Greifen der in der Horde 1 aufgenommenen Substrate weist hier zwei an einem Träger 2 angebrachte Zungen/Federzungenvorrichtungen 3 auf. Wie insbesondere in Zusammensicht mit den 6 bis 8 deutlich hervorgeht, weist jede der Zungen/Federzungeneinrichtungen 3 erste Zungen Z1 auf, die eine erste Reihe bilden. Hinter jeder der ersten Zungen Z1 ist eine zweite Zunge Z2 angebracht. Die zweiten Zungen Z2 bilden eine zweite Reihe. Die ersten Z1 und die zweiten Zungen Z2 sind in einem Abstand Ab seitlich versetzt hintereinander angeordnet. Jeweils seitlich neben den ersten Z1 und den zweiten Zungen Z2 sind erste F1 und zweite Federzungen F2 angebracht. Die Breite der Federzungen F1, F2 entspricht etwa dem Abstand Ab. Die Federzungen F1, F2 sind so angebracht, dass die durch den Versatz der ersten Z1 und zweiten Zungen Z2 gebildeten Lücken aufgefühlt werden. Die ersten Federzungen F1 erstrecken sich von einer ersten Leiste L1, die zweiten Federzungen F2 von einer zweiten Leiste L2. Die Zungen Z1, Z2 erstrecken sich von einer dritten Leiste L3. Die Zungen Z1, Z2 sowie die Federzungen F1, F2 und die Leisten L1, L2, L3 sind zweckmäßigerweise jeweils einstückig aus Kunststoff hergestellt. Bei dem Kunststoff kann es sich um besonders abriebfesten Kunststoff, z. B. PEEK handeln.In the 1 to 3 are in a shot or a horde 1 recorded in parallel arrangement a plurality of substrates S. A device for simultaneous gripping of the horde 1 recorded substrates here has two on a support 2 attached tongues / spring tongue devices 3 on. As in particular in conjunction with the 6 to 8th clearly shows, each of the tongues / Federzungeneinrichtungen 3 first tongues Z1 forming a first row. down Each of the first tongues Z1 has a second tongue Z2 attached to it. The second tongues Z2 form a second row. The first Z1 and the second tongues Z2 are arranged at a distance Ab laterally offset one behind the other. In each case laterally next to the first Z1 and the second tongues Z2, first F1 and second spring tongues F2 are attached. The width of the spring tongues F1, F2 corresponds approximately to the distance Ab. The spring tongues F1, F2 are mounted so that the gaps formed by the offset of the first Z1 and second tongues Z2 are sensed. The first spring tongues F1 extend from a first strip L1, the second spring tongues F2 extend from a second strip L2. The tongues Z1, Z2 extend from a third ledge L3. The tongues Z1, Z2 and the spring tongues F1, F2 and the strips L1, L2, L3 are expediently each made in one piece from plastic. The plastic may be particularly abrasion resistant plastic, z. B. PEEK act.

Die Leisten L1, L2, L3 sind verschiebbar am Träger 2 aufgenommen. Dazu sind in den Träger 2 eingeschraubte Bolzen 4 vorgesehen, welche in den ersten und zweiten Leisten L1, L2 vorgesehene Langlöcher 5 und in den dritten Leisten L3 vorgesehene Löcher (hier nicht gezeigt) durchgreifen. In den ersten L1 und zweiten Leisten L2 sind erste kulissenartige Ausnehmungen 6 vorgesehen, in die auf einer Achse A angebrachte erste Exzenter eingreifen. Die dritte Leiste L3 ist über Seitenplatten 7 mit einem auf dem Träger 2 angeordneten Gleitblock 8 verbunden. Der Gleitblock 8 weist eine zweite kulissenartige Ausnehmung 9 auf, in welche ein zweiter Exzenter eingreift, der ebenfalls auf der Achse A angebracht ist. Der zweite Exzenter ist zwischen den ersten Exzentern angeordnet. Die Exzenter sind in 2 schematisch gezeigt und mit dem Bezugszeichen E bezeichnet.The strips L1, L2, L3 are slidable on the carrier 2 added. These are in the carrier 2 screwed bolts 4 provided, which provided in the first and second strips L1, L2 slots 5 and in the third strip L3 provided holes (not shown here) pass through. In the first L1 and second strips L2 are first backdrop-like recesses 6 provided, engage in the mounted on an axis A first eccentric. The third bar L3 is over side plates 7 with one on the carrier 2 arranged sliding block 8th connected. The sliding block 8th has a second slot-like recess 9 in which engages a second eccentric, which is also mounted on the axis A. The second eccentric is arranged between the first eccentrics. The eccentrics are in 2 shown schematically and designated by the reference E.

In 8 sind in schematischer Schnittansicht die Zungen Z1, Z2 und die Federzungen F1, F2 im Detail gezeigt. Die Zungen Z1, Z2 weisen an ihren freien Enden erste Abschrägungen 10 auf. Die freien Enden der Federzungen F1, F2 weisen zweite Abschrägungen 11 auf. In der Nähe der freien Enden der Federzungen F1, F2 ist jeweils ein Wulst 12 vorgesehen, welcher in Klemmrichtung sich vorwölbt. Die Federzungen F1, F2 sind aus einem elastischen Material, vorzugsweise Kunststoff hergestellt.In 8th are shown in a schematic sectional view of the tongues Z1, Z2 and the spring tongues F1, F2 in detail. The tongues Z1, Z2 have first bevels at their free ends 10 on. The free ends of the spring tongues F1, F2 have second bevels 11 on. In the vicinity of the free ends of the spring tongues F1, F2 is in each case a bead 12 provided, which bulges in the clamping direction. The spring tongues F1, F2 are made of an elastic material, preferably plastic.

Die Funktion der Vorrichtung ist folgende:
In der Horde 1 sind beispielsweise 25 Substrate S in einem Abstand von etwa 3,5 mm parallel aufgenommen. Zum Entladen der Substrate S wird die erfindungsgemäße Vorrichtung, die an einem Arm eines Roboters montiert sein kann, so in die Horde 1 eingefahren, dass die Zungen Z1, Z2 in die zwischen den Substraten S gebildeten Lücken eingreifen. Anschließend wird die Achse A rotiert. Infolgedessen werden die Federzungen F1, F2 in eine erste Richtung bezüglich des Trägers 2 verschoben. Eine zwischen den Zungen Z1, Z2 und den Federzungen F1, F2 gebildete Schlitzbreite wird verringert, bis die Substrate S klemmend zwischen dem Wulst 12 und einer Zunge Z1, Z2 gehalten werden. Grundsätzlich ist es ausreichend, dass allein die Federzungen F1, F2 gegen feststehend (hier nicht gezeigt) am Träger 2 angebrachte Zungen Z1, Z2 bewegt werden. Vorteilhaft ist es jedoch, dass gleichzeitig mit der in die eine Richtung bezüglich des Trägers 2 gerichteten Verschiebebewegungen der Federzungen F1, F2 eine in die entgegengesetzte Richtung bezüglich des Trägers 2 gerichtete Verschiebebewegung der Zungen Z1, Z2 stattfindet. In diesem Fall werden also die Zungen Z1, Z2 und die Federzungen F1, F2 gleichzeitig von beiden Seiten her an das Substrat S heranbewegt. Es kann in diesem Fall nicht zu einem Verkanten oder zur Ausübung unerwünschter Spannungen auf das Substrat S beim Greifen kommen.The function of the device is as follows:
In the Horde 1 For example, 25 substrates S are taken in parallel at a distance of about 3.5 mm. To unload the substrates S, the device according to the invention, which can be mounted on an arm of a robot, so in the Horde 1 retracted that the tongues Z1, Z2 engage in the gaps formed between the substrates S. Subsequently, the axis A is rotated. As a result, the spring tongues F1, F2 in a first direction with respect to the carrier 2 postponed. A slot width formed between the tongues Z1, Z2 and the spring tongues F1, F2 is reduced until the substrates S are clamped between the bead 12 and a tongue Z1, Z2 are held. In principle, it is sufficient that only the spring tongues F1, F2 against fixed (not shown here) on the carrier 2 attached tongues Z1, Z2 are moved. It is advantageous, however, that at the same time in one direction with respect to the carrier 2 directed displacement movements of the spring tongues F1, F2 one in the opposite direction with respect to the carrier 2 directed displacement movement of the tongues Z1, Z2 takes place. In this case, therefore, the tongues Z1, Z2 and the spring tongues F1, F2 are moved simultaneously from both sides to the substrate S. In this case, it can not lead to tilting or to the exertion of undesirable stresses on the substrate S during gripping.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind zwei Zungen/Federzungenvorrichtungen 3 vorgesehen. Jedes Substrat S wird hier an zwei Stellen im Randbereich gegriffen. Infolgedessen kann es beim Be- oder Entladen der Substrate S nicht zu einer unerwünschten Lageänderung der Substrate S bezüglich der Vorrichtung zum Greifen kommen.In the device according to the invention are two tongues / spring tongue devices 3 intended. Each substrate S is gripped here at two locations in the edge region. As a result, when loading or unloading the substrates S, undesirable changes in the position of the substrates S relative to the device can not occur.

Die an den freien Enden der Zungen Z1, Z2 und der Federzungen F1, F2 vorgesehenen ersten und zweiten Abschrägungen 10, 11 ermöglichen ein selbstzentrierendes Einfahren der Zungen Z1, Z2 und der Federzungen F1, F2 in die zwischen den Substraten S gebildeten Lücken.The first and second bevels provided at the free ends of the tongues Z1, Z2 and the spring tongues F1, F2 10 . 11 allow a self-centering retraction of the tongues Z1, Z2 and the spring tongues F1, F2 in the gaps formed between the substrates S.

11
Hordehorde
22
Trägercarrier
33
Zungen/FederzungenvorrichtungTongues / spring tongue device
44
Bolzenbolt
55
LanglochLong hole
66
erste kulissenartige Ausnehmungfirst backdrop-like recess
77
Seitenplatteside plate
88th
Gleitblocksliding block
99
zweite kulissenartige Ausnehmungsecond backdrop-like recess
1010
erste Abschrägungfirst bevel
1111
zweite Abschrägungsecond bevel
1212
Wulstbead
Z1, Z2Z1, Z2
erste, zweite Zungefirst, second tongue
F1, F2F1, F2
erste, zweite Federzungefirst, second spring tongue
L1, L2, L3L1, L2, L3
erste, zweite, dritte Leistefirst, second, third bar
SS
Substratsubstratum
AA
Achseaxis
Ee
Exzentereccentric
AbFrom
Abstanddistance

Claims (16)

Vorrichtung zum Greifen einer Vielzahl von Substraten (S), mit einer Vielzahl hintereinander angeordneter Zungen (Z1, Z2), wobei zwischen zwei benachbarten Zungen (Z1, Z2) ein Schlitz mit einer vorgegebenen Schlitzbreite gebildet ist, wobei neben jeder Zunge (Z1, Z2) ein in Richtung der benachbarten Zunge (Z1, Z2) verschiebbares elastisches Klemmelement vorgesehen ist, so dass die Schlitzbreite durch Verschieben der Klemmelemente zum Greifen der Substrate (S) verkleinerbar ist.Device for gripping a plurality of substrates (S), with a plurality of tongues arranged one behind the other (Z1, Z2), wherein between two adjacent tongues (Z1, Z2) a Slot is formed with a predetermined slot width, in which next to each tongue (Z1, Z2) one towards the adjacent tongue (Z1, Z2) slidable elastic clamping element is provided, so that the slot width by moving the clamping elements for gripping the substrates (S) is reduced in size. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei erste Zungen (Z1) eine erste Reihe bilden und jeweils hinter den ersten Zungen (Z1) angeordnete zweite Zungen (Z2) eine zweite Reihe bilden, wobei die erste Reihe seitlich gegenüber der zweiten Reihe um einen Abstand (Ab) versetzt ist.Device according to claim 1, wherein first tongues (Z1) form a first row and behind the first tongues (Z1) arranged second tongues (Z2) form a second row, wherein the first row laterally opposite the second row is offset by a distance (Ab). Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Klemmelemente etwa die Breite des Abstands (Ab) aufweisen und erste Klemmelemente neben den ersten Zungen (Z1) und zweite Klemmelemente neben den zweiten Zungen (Z2) jeweils in dem durch den Versatz gebildeten Raum angeordnet sind.Apparatus according to claim 1 or 2, wherein the clamping elements have approximately the width of the distance (Ab) and first clamping elements next to the first tongues (Z1) and second clamping elements next to the second tongues (Z2) in each case in that formed by the offset Space are arranged. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Zungen (Z1, Z2) an ihrem freien Ende abgeschrägt sind.Device according to one of the preceding claims, wherein the tongues (Z1, Z2) are chamfered at their free end. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Klemmelemente Federzungen (F1, F2) sind, die vorzugsweise an ihrem freien Ende abgeschrägt sind.Device according to one of the preceding claims, wherein the clamping elements are spring tongues (F1, F2), preferably at Beveled at its free end are. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Federzungen (F1, F2) in der Nähe ihres freien Endes einen Wulst (12) aufweisen.Device according to Claim 5, in which the spring tongues (F1, F2) have a bead near their free end ( 12 ) exhibit. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, wobei erste Federzungen (F1) sich von einer ersten Leiste (L1) und zweite Federzungen (F2) sich von einer zweiten Leiste (L2) erstrecken.Apparatus according to claim 5 or 6, wherein first spring tongues (F1) from a first strip (L1) and second spring tongues (F2) extend from a second bar (L2). Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die erste (L1) und die zweite Leiste (L2) relativ zu einem die erste (L1) und die zweite Leiste (L2) aufnehmenden Träger (2) verschiebbar sind, so dass die Federzungen (F1, F2) gemeinsam gegen die mit dem Träger (2) verbundenen Zungen (Z1, Z2) bewegbar sind.Device according to claim 7, wherein the first (L1) and the second strip (L2) are mounted relative to a support (A1) and the second strip (L2). 2 ) are displaceable, so that the spring tongues (F1, F2) together against the with the carrier ( 2 ) connected tongues (Z1, Z2) are movable. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Zungen (Z1, Z2) sich von einer dritten Leiste (L3) erstrecken.Device according to one of the preceding claims, wherein the tongues (Z1, Z2) extend from a third ledge (L3). Vorrichtung nach Anspruch 9, wobei die dritte Leiste (L3) relativ zum Träger (2) in eine der ersten (L1) und zweiten Leiste (L2) entgegengesetzte Richtung verschiebbar ist, so dass die Zungen (Z1, Z2) und die Federzungen (F1, F2) gemeinsam aufeinanderzubewegbar sind.Device according to claim 9, wherein the third strip (L3) is mounted relative to the carrier (10). 2 ) in one of the first (L1) and second bar (L2) opposite direction is displaced, so that the tongues (Z1, Z2) and the spring tongues (F1, F2) are mutually zuzubewegbar. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei die erste (L1) und die zweite Leiste (L2) mittels erster Exzenter (E) verschiebbar sind.Device according to one of claims 8 to 10, wherein the first (L1) and the second strip (L2) by means of the first eccentric (E) displaceable are. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei die dritte Leiste (L3) mittels eines zweiten Exzenters (E) verschiebbar ist.Device according to one of claims 9 to 11, wherein the third Strip (L3) by means of a second eccentric (E) is displaceable. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei die ersten und der zweite Exzenter (E) auf einer gemeinsamen Achse (A) aufgenommen sind, so dass bei einer Drehung der Achse (A) eine gleichzeitige Verschiebung der Leisten (L1, L2, L3) relativ zum Träger (2) bewirkt wird.Apparatus according to claim 12, wherein the first and the second eccentric (E) on a common axis (A) are accommodated, so that upon rotation of the axis (A), a simultaneous displacement of the strips (L1, L2, L3) relative to the carrier ( 2 ) is effected. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 13, wobei am Träger (2) mindestens eine mittels der ersten Leiste (L1) verschiebbare Federzungenanordnung und eine aus zu den Federzungen benachbarten Zungen (Z1, Z2) gebildete Zungenanordnung aufgenommen ist.Device according to one of claims 8 to 13, wherein on the carrier ( 2 ) at least one by means of the first strip (L1) displaceable spring tongue assembly and a formed from the spring tongues adjacent tongues (Z1, Z2) tongue arrangement is received. Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei am Träger (2) in paralleler Anordnung zur Zungen/Federzungenanordnung mindestens eine aus einem elastischen Material hergestellte Anschlagleiste angebracht ist.Apparatus according to claim 14, wherein on the support ( 2 ) is mounted in parallel arrangement to the tongue / spring tongue assembly at least one stop bar made of an elastic material. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, wobei am Träger (2) in paralleler Anordnung zwei Zungen/Federzungenanordnungen vorgesehen sind, welche mit auf ein- und derselben Achse (A) vorgesehenen ersten und zweiten Exzentern (E) gleichzeitig bewegbar sind.Device according to one of claims 12 to 15, wherein on the carrier ( 2 ) are provided in a parallel arrangement two tongues / spring tongue arrangements, which are simultaneously movable with on one and the same axis (A) provided first and second eccentrics (E).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19640848A1 (en) * 1996-10-03 1998-04-16 Steag Micro Tech Gmbh Method and device for treating substrates

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