DE1621943A1

DE1621943A1 - Verfahren zur Fuellung von Poren

Info

Publication number: DE1621943A1
Application number: DE1968G0052106
Authority: DE
Inventors: Bean Charles Palmer
Original assignee: General Electric Co
Current assignee: General Electric Co
Priority date: 1967-01-12
Filing date: 1968-01-10
Publication date: 1971-11-18
Also published as: DE1621943B2; DE1621943C3; GB1203089A; US3483095A; FR1560422A

Description

Dipl.-Inrj. LotharJMaelis ^Dr· ^H°rst Schüler Or. Erhorl 2

Potontpriwclt Patentanwaft

6 Fron>furf/Main 1 ⁶ Frankfurt/Main 1 6

/Fotiiadi 3QU Tsunusstr. 20 Postfach 3011

.1.JNlWi

792 --F- RDCD-799

General Electric Company, 1 River Road, Schenectady, N.Y., USA Verfaliren zur Füllung von Poren

Die Erfindung besieht sich auf die Herstellung kleiner Elemente aus einem gewünschten Material, das in einem Grundmaterial verteilt ist, welches aus einem anderen Material besteht* und insbesondere bezieht sich diese Erfindung auf ein neues Verfahren Bur Herstellung solcher Elemente.

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Die Mikrosohaltteohnik ist in vielen Gebieten der «odernen Forschung und Entwicklung ein wesentlicher Punkt. Diese Gebiete umfassen z.B. Informationsspeicherung, elektronisch»gehaltkreise und Geräte, Blek,trolumineseens, magnetische und supraleitende Vorrichtungen, sowie Photögraphie und andere, Me,snyerfahren. Ea besteht folglieh.ein sehr starkes IntereßMBii Verfahren, mit denen Elemente von ,-sehr geringer Grosse )eur Ver-P wandung auf diesen Gebieten hergestellt werjen können.. Die vor- ; liegende Erfindung -ist auf ein Verfahren sur Herstellung*;* Elementen und Vorrichtungen" *:ur Vhavenanng in diesen \Be* ⁽>et^Bgerichtet, die im Vergleicti zu den bisher erhältlichen. · Vor-''*■···'"... '·■■*, . :<■ j· V.'.

richtungen verbessert sind, und eine, geringere Grosse besetzen.

Gemäeβ einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird kurz ein Verfahren geschaffen, um Poren in einer Membran; zu fül- Xen und Vorrichtungen der beschriebenen Art' herzustellen.' Das Verfahren umfasst Hassnahraen zur Herstellung von-Lösungen der miteinander reagierenden Bestandteile, damit sich -ein,.ionisch leitender, abgeschiedener Stoff ergibt, d.h. eine in beiden Lößungen unlösliche Verbindung; diese Lösungen «erden in^; ein Gerät gebracht, in welchem sie durch einen mit Löchern oder Poren versehenen Körper oder ein Bauteil voneinander getrennt sind. Diese .Löcher oder Poren sind mit dem abgeschiedenen Stoff zu füllen, . und die Lösungen reagieren in den Poren, wn eine e:-&te Ablagerung aus diesem unlöslichen Material zu bilden. In einem weiteren

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VerfahrensBohritt wird in der Lösung ein elektrisches Feld hervorgerufen, um Zonen von der einen der Lösungen durch den abgeschiedenen Stoff hindurch zu bewegen, damit diese mit der anderen der Lösungen in Kontakt kommen und reagieren, um das abgeschiedene Material so weit wie gewünscht :' durch die Poren hindurch auszubreiten. Auf Wunsch können auch weitere Bearbeitungsstufen, wie Erhitzung, Bestrahlung oder chemische Reaktion durchgeführt werden, um das abgeschiedene Material in der Pore in eine andere Form umzuwandeln, z.B. in eine andere Verbindung oder in ein Element.

Die Erfindung wird am besten anhand der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen verstanden. In den Zeichnungen »eigen

Figur 1 ein Qerät zur Ausführung des erfinöungsgemässen Verfahsens, und

Figur 2 einen Querschnitt, der die fortschreitende Füllung der Pore während des Verfahrens veranschaulicht.

In dem in Figur 1 gezeigten Qerät ist ein Behälter oder eine Zelle 10 durch eine Membran 13 in zwei Halbzellen 11 und geteilt. Die Membran besteht aus einem Körper aus dem Material, .in welchem die Ablagerung hergestellt werden soll, wobei irgend

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ein gewünschtes Material verwendet werden kann, in dem Poren 14 geeigneter Grosse erzeugt worden sind. Dieses Material ist gewöhnlieh ein elektrischer Isolator, üblicherweise hat die Membran eine in Figur 1 gezeigte plattenförraige Ausbildung, obwohl dies fOr die Durchführung der Erfindung nicht notwendig ist. Es ist auch nicht beabsichtigt, weder die Offenbarung noch die durch die beigefügten Patentansprüche gekennzeichnete Erfindung auf diese Ausführungeform eu begrenzen· Wie vorstehend erwähnt, ist die Membran 13 mit hindurchgehenden Poren von der Grosse versehen, wie diese für das abgeschiedene Material gewünscht wird. Die Poren sind vorzugsweise sehr klein und weisen beispielsweise einen Durchmesser in der Grössenordnung des Submikronbereiches auf. Es können aber auch Löcher verwendet werden, die einen Durchmesser . ▼on 10 Mikron oder mehr besitzen; Um Poren in diesem Bereich zxx erhalten, die dazu noch gerade ausgerichtet sind, wird ein Verfahren mit folgenden Massnahmen verwendet. Ein Material wird bestrahlt, um durch die bestrahlenden.Teilchen Bahnen -struktureller Beschädigung zu erzeugen, und dann in einer Lösung geätzt, welohe die Beschädigungsbahnen stärker als das unbeschädigte Material angreift.

Die Kammern 11 und 12 des Behältern 10 sind mit Lösungen 15 und 16 gefüllt* Diese reagieren miteinander und bilden dabei einen in beiden Lösungen praktisch unlöslichen Niederschlag.

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Für viele Zwecke ist es beispielsweise

Lösung mit einem Metallion und eine andere Lösung aif |ri^e|i Halogenion herzustellen, so dass das in dem Loch erBeugtf Reaktionaprodukt ein Metallhälogenid iat. Ea können auch andere Stoffe verwendet werden, wobei daa einzige Kriterium darin besteht, dass daa Reaktionsprodukt in beiden Lösungen praktisch unlöslich iat, und dasβ es bezüglich eines »einer Beatandteile ionisoh leitend ist. Die Ionen-leitung des Nie- ' . β derschlages ermöglicht die Füllung der Pore, nachdem ein erster Niederschlag die Pore verstopft hat und eine weitere Berührung der Flüssigkeiten verhindert. Dieses wird dadurch . erreicht, dass zwischen den Lösungen ein elektrisches Feld hervorgerufen wird, um die Ionen durch die Ablagerung hindurch su bewegen, damit diese mit der anderen Löaung in. Be>-? rührung kommen und reagieren. .Vor diesem Sohritt wird die; Membran zuerst der Lösung mit dem Weniger leicht geleiteten Bestandteil des abgeschiedenen Stoffes und dann der Lösung λ mit dem besser geleiteten Abacheideetoff ausgesetzt. Folglich füllt die erste dieser Lösungen die Poren, und wenn di# «w#ite Löaung daait in Berührung kommt, bildet sich ein erster abgeschiedener Stoff und lagert eich auf der Seite der aweiten Lösung ab. Wenn daa elektrische FeJd hervorgerufen wird,- dehnt sich der Belag durch die Pore hindurch in Richtung auf die erste Lösung aus. Die Membran kann den Lösungen in dieser Reihenfolge auf einfaohe Veiae ausgesetzt werden, indem die

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Lösungen in geeigneter Reihenfolge in die Kammern 11 Und 12 ■. gegossen werden» oder indem auf der Seite der besser geleiteten Ionen eine Schutzwand 17 angebracht ist, welch« entfernt wird, naohdem die Lusungen in die Kantern eingebracht worden slrfd.

Nachdem Sich der. Niederschlag- in den Poren 111 wird «wischen den Lösungen ein elektrisches Feld z.B. durch eine Batterie 18, einen Schalter 19 und die" Elektroden 20 und 21. Die Potentialdifferens ist so gepolt »■•^MMje'-'-die besser geleiteten Ionen von einer Lösung durch die erste Ablagerung des Niederschlages hindurch mit der anderen Lösung in Berührung gebracht werden..Bewegen sich diese Ionen"also durch den Niederschlag hindurch, dann treten diese an der Trennfläche zwischen dem Niederschlag und der anderen Lösung heraus und reagieren unmittelbar mit Ionen aus der anderen

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Lösung, um zuslpslieben Niederschlag su bilden und somit den

Belag ÄUSBUdthnen. wie in Figur 2a, ab, 2c und 2d dargestellt ist, wird dieses Verfahren fortgesetzt, bis da· Loch i» gewünsohten Ausmass gefallt ist. Is sei erwlhnt, dass di«e#e Verfahren much fortgeführt werden kann«bis sieh ein Kopf ausbildet, der aue der Pore herausragt und- den Porenraind überdeckt. Ein öhnlioher Kopf kann auf dem anderen Ende der Pore erseugt werden, indem die Membran 13 aur Ausdehnung der

■ ■ 1 " · ■' " Ablagerung relativ sur Lösung und des Feld umgedreht wird«

Dies· Kappen dienen sur Verankerung der Ablagerung in der

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- 7 Pore und sind In bestirnten Fällen nicht erforderlich.

Das erfindungsgenässe Verfahren ist gans allgemein sur Füllung von Poren in irgendeinem Membranmaterial anwendbar, solange das Material die verschiedenen Ionen in den Lösungen praktisch nicht leitet, da die Ionen andernfalls durch da,» elektrische Feld durch die Membran bewegt wurden. Der Niederschlag kann irgendein Produkt einer chemischen Reaktion ewisohen Lösungen enthalten, in dem Ionenleitung auftritt. Folglich können s*B. Poren in einem isolierenden Material mit einem lichtempfindlichen Material wie Silberbromid, einem lichtelektrisch leitenden Material wie Bleisulfid oder mit ferromagnetische^ Materialien, wie magnetischem (Fe-O₁₁) oder Nickel-Mangan-Ferrit gefüllt werden. Zuiätelioh kann die in den Poren abgeschiedene Verbindung umgewandelt werden, z.B. duroh Bestrahlung, Erhitzung usw., um andere Materialien wie leitende Teile aus, z.B. Silber oder Kupfer su bilden. Somit kann das Verfahren sur Herstellung feiner Leiter für Verbindungen in Mikroschaltkreisen oder ähnliehen Anwendungen benutst, ^erden, oder Bauelemente mit anisotroper Leitfähigkeit hevjsustellen, ■ " ■::/-■-'- ■■■- ^:" ■ _:i:C ■-';■;:■

Als Beispiel· werden die folgenden chemischen Qleiohungen. angegeben, um die Mannigfaltigkeit der Materialarten zu verdeutlichen, die gemäss dieser Erfindung abgelagert werden können·

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Ee ist jedoch nioht beabsichtigt, die Erfindung auf diese Materialien zu begrenzen, da es eine grosse Auswahl anderer möglicher Reaktionen gibt, die angewendet werden könnten.

KCl + AgNO₃-—* KNOj + AgCl [ -lichtempfindlich

NaBr + AgNO₃—> NaNO₃ + AgBr| -lichtempfindlich Pb(OCOCH₃)₂ ♦ 2NaOH:—»2Na(OCOCH₃) ♦ H₂O ♦

PbOi^ -lichtelektrischleitend

Pb(OCOCH₃)₂ + H₂S—► 2 HOCOCH₃ + PbS^ -lichtelektrischleitend CdCl₂ * H₂S-* 2HCl + CdS^ -lichtelektrisohleitend

-ferromaenetis.ch;..

-ferromagnetisch '

Ni_Q 5Zn_{0 5} Pe-O₁J ^, -ferromagnetisch 8NaOH + 2PeCl₃^Ni₀₅Mn₀₅ Cl₂^—>8NaCl + ifHgO ♦

8NaOH ♦ 2PeCl₃ + PeCl₂—> 81IaCl ♦ IH₂O +

BNaOH + 2PeCl₃ + NiCl₂—* 8NaCl ♦ 4H₂O +

8NaOH*2PeCl₃*Ni_o^₅Cl₂—-* 8NaCl + ilH₂0 +

Ni_Q c Mn_{0 5} PegOJ^ferromagnetisch

• Zusätzlich kann das oben erwähnte Silberbromid durch Lichtbestrahlung in reines Silber umgewandelt werden, um elektrische Leiter durch den Isolator hindurch zu bilden. In einem speziellen Fall wurde eine 8Mikron dicke Membran aus Polykarbonatharz, das unter dem Handelsnamen Lexan durch die General Electric Company verkauft wird, vorbereitet. Nachdem die Poren

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hergestellt worden waren, betrug der Widerstand über die Dioke von 8 Mikron 10 Ohm. Nach der Porenfüllung und der Umwandlung in Silber betrug der Widerstand über die gleiche Dicke weniger als 0,1 Ohm. In beiden Fällen lag der Widerstand in Querrichtung über eine Länge von etwa 1 mm in der Qrössenordnung von 10 Ohm. Folglich erzeugte die erfindungsgemässe Füllung der Poren und die Umwandlung in Silber eine Anordnung mit anisotroper Leitfähigkeit.

Als ein anderes Beispiel zur Benutzung dieses Verfahrene

kann die Reaktion in Pb(N0,)₉ + 2Kl-*2KNO, + PbI₉ ·

j ä j d zur

Herstellung von Bleijodid verwendet werden. Dieses Bleijodid kann durch Erhitzung und Bestrahlung mit sichtbarem Licht, Röntgenstrahlen oder Elektronen in Blei umgewandelt werden. Somit kann «ine Reihe von supraleitenden Bleistäben gebildet werden.

Zusätzlich zu den oben offenbarten verschiedenen Verwendungsmöglichkeiten kann dieses Verfahren für verschiedene ander· Zwecke benutzt werden. Zum Beispiel kann eine gross· Anzahl feiner länglicher Teilchen aus den verschiedenen erwähnten Stoffen hergestellt werden, indem die Membran naoh der Füllung der Poren entfernt wird» Es sei weiterhin erwähnt, dass gasdurchlässige Membranen z.B. aus Zelluloseazetat, die durch die Herstellung Qasporen besitzen oder durch Gebrauch undicht werden, daduroh ausgebessert werden können,

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_x, dass die Löcher mit einem geeigneten Stoff, wie Silberhalogenid, verstopft werden.

Bezüglich der Membran, in welcher Poren gebildet und gefüllt werden, kann irgend ein Material benutzt werden, das kleine Löcher durch das Material hinduroh besitzt. Ia Hinblick auf die kleinen Abmessungen (etwa 60 8)und die höh· Dichte (XO¹⁰ pro on ), die hergestellt werden kann, ist vorzugsweise das oben erwähnte Verfahren zu verwenden. Im allgemeinen ist das Verfahren auch auf ein© Anzahl Materialien mit blasigem Glas, mikroporöser Zellulose, Zelluloseazetat und andereranwendbar.

Wie bereits .esroähstö, kmmt der volle Vorteil zum Tragen, indem Foren verwendet werden, die so klein wie möglich sind. Die kleinst® Abmessung wird nur durch die Grosse der bei der Reaktion beteiligten Ionen begrenzt, d.h. die Pore muss gross genug sein, um den Durchfluss der Ionen hindurchzulassen. Die grösste Abmessung der Poren ist durch die Forderung begrenzt, das® sich eine erste Ablagerung bilden und an der gewünschteis Stelle in der Pore verbleiben können muss. Die Pore sollte im Querschnitt genügend klein sein, so dass der Propfen die Pore im wesentlichen füllt und nicht herausgespült wird. Falls die Haftfähigkeit zwischen der Ablagerung und der Membran nicht ausreicht, um dan Propfen festzuhalten, kann der abge-. schieden« Stoff an einer Seite über die Pore hinaus erweitert

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werden, und duroh Umdrehen der Membran können dann auf der anderen Seite Nagelköpfe erzeugt werden, die den Propfen in seiner Stellung sichern. Um diesen Anforderungen -su- entsprechen, sollten die Querschnittabmessungen der Poren im allgemeinen nicht wesentlich grosser als die Dicke der Membran sein. · .

Zur Veransohaulichung der erfindungsgemäseen Ausführung werden die folgenden Beispiele angegeben. Diese enthalten bestimmte Werte der betreffenden Parameter» so dass die Erfindung durch Fachleute ausgeführt werden kann. Es sei jedoch darauf hingewiesen, dass diese Beispiele lediglich der Erläuterung dienen sollen, und nicht im begrenzenden Sinne auszulegen sind. - - ·

Beispiel 1

Bin 8 Mikron dicker Streifen aus dem Polycarbonatharzpolymer, das unter dem Handelenamen Lexan durch die Firma General Electric Company verkauft wird, wurde mit Spaltprodukten bestrahlt und dann in NaOH geätzt, um duroh den Streifen hindurch winzige Poren su erzeugen. Die Poren beeassen einen

Durohmesser von 4 Mikron und die Dichte betrug 1,7 χ 10

Poren pro ein . Der Streifen wurde zwischen 2 Plexiglaskammern befestigt, in denen Platinelektroden angebracht waren, ■und in jede Kammer wurde eine Oberfläche von etwa 0,7 cm

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eingebracht. In eine Kammer wurde ein 0,1 η KCl-Lösung eingebracht und in die andere eine 0,03 AgNO,-Lösung. Sofort bewies eine Bildung von etwas colloidem Niederschlag auf der Seite des Silbernitrates, dass etwas KCl durch die winsigen Poren getreten war. Zwischen den Elektroden wurde dann ein elektrisches Feld hervorgerufen, wobei die Seite des Silbornitrates positiv gemacht wurde, und für insgesamt 10-* Sekunden floss ein Strom von 10 ~⁵ Ampäre. Somit wurde insgesamt eine Ladung von 10 Coulomb Übertragen, und diese Ladung entspricht etwa dem doppelten elektrochemischen Äquivalent der transportierten Ladung, welohe sur Füllung der Poren mit Silberchlorid notwendig ist· Die Prüfung ergab, dass Jede Pore mit einem farblosen Material gefüllt war, welches sich bei chemischen Untersuchungen als Silberohlorid erwies· Zusatzlieh beeasB jede Pore auf der Seite der KCl-Lßsung einen, kopf mit einem Durohmesser von etwa 50 Mikron. -·.■>'-·

Beispiel 2

Sin 8 Mikron dicker Streifen aus dem Poiycarbonatharzpolyraer, das unter dem Handelsnamen Lexah durch die Firma General Electric Company verkauft wird, wurde mit Spaltprodukten, bestrahlt und dann in NaOH geätzt, um durch den Streifen hindurch winsige Öffnungen zu erzeugen. Die Poren besessen einen

." ■ ■ ■■■■.-. -, .. . % ■■' Durchmesser von Ί Mikron und die Dichte betrug 1*7 χ 10 Poren pro cm². Der streifen wurde zwischen 2 f-iexiglaskanaoern

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befestigt, in denen Platinelektroden angebracht waren, und in jede Kammer wurde eine Oberfläche von etwa 0,7 am eingebracht. Zn eine Kammer wurde einefO,! η KBr-Lösung eingebracht und in die andere Kammer eine 0,03 η AgNO^-Lösung. Sofort bewies eine Bildung von etwas colloidem Niederschlag auf der Seite des Silbernitrats, dass etwas KBr durch die winzigen öffnungen getreten war* Zwischen den Elektroden wurde dann ein elektrische» Feld erzeugt, wobei die Seite des Silbernitrates positiv gemacht wurde, und für insgesamt IQr Sekunden floss ein. Strom von -10 ""-*Ampere. Die Prüfung ergab, dass jede Pore mit einem farblosen Material gefüllt war, welches sich bei chemischen Untersuchungen als Silberbromid erwies. ......

Der Streifen wurde ,dann mit ultraviolettem Licht bestrahlt, in einem fotographischen Entwickler entwickelt und fixiert, der unter dem Handelsnamen Dektol durch die Firma Eastman Kodak Company verkauft wird. Es wurde daraufhin festgestellt, dass die Poren mit Silber eefWl.1* «*·rcr.. p^.w* CLi« üiitfuj^en gefüllt worden waren, betrug.der elektrische Widerstand über die Dicke des Streifens Ip¹⁰. Ohm. Nach der Füllung dei* Toren und der Umwandlung in Silber betrug der Widerstand über- die Dicke weniger als 0,1 0hm. In einer Richtung senkrecht *u den Poren betrug der Videretand über eine Länge von 1 mm sowohl vor als nach der Füllung und der Umwandlung in Silber mehr als 10¹⁰ Ohm.

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- 14 Beispiel 3

Ein Streifen aus Polycarbonatharz wurde, wie in Beispiel 1 beschrieben^ vorbereitet. In eine Kammer wurde eine wässrige Lösung von 2 Gewientsprosent CdCl₂ in Wasser gefüllt und dann in die andere eine gesättigte wässrige Lösung von KgS. An die Elektroden wurde eine Spannung gelegt, wobei die Seite des Cadmiumchlorldes positiv gemacht wurde, und 10 Sekunden fXqss ein Strom von 10 ■ Ampere. Nach dieser Zeit waren die Foren mit Cadmiumsulfid gefüllt.

Beispiel 4

Ein Streifen aus Lexan-Polycarbonatharz wurde, wie in Beispiel 1 beschrieben gehandelt. In eine Kammer wurde eine gesättigte Lösung von PbCl₂ in Wasser gefüllt und Sann in die andere Kammer eine gesättigte Lösung von HgS in Wasser» An die Elektroden wurde eine Spannung gelegt, wobei die Seite des Bleichlorides positiv gemaoht wurde, und IQr Sekunden floss ein Stroa von 10 "⁵ Aapere. Nach dieser Zeit waren die Poren mit Bleieulf id gefüllt. -

Beispiel 5

Ein 3*4 Mikron dicker Streifen aus Glimmer wurde bestrahlt^ und die Sterungsbahnen wurden in einer Flußsäure geätzt, um Foren mit eine» Radius von 50 Angst rom durch diesen Streifen hinduroh BU erzeugen. Der Streifen war, wie in Beispiel 1 beschrieben,angebraaht. In eine Kammer wurde eine 0,03 η KCl-Lösung und dann

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in die andere Kammer eine 0,03 η AgNQ,-Lösung gefüllt. Zwischen den Elektroden wurde ein elektrisches Feld erzeugt, wobei die Seite des Silberhitrates positiv gemacht wurde, und für 300-Sekunden floß eih^Strom: von 10"*·* Ampere. Die-Prüfung ergab, daß jede Pore mit Silberchlorid gefüllt war, und auf der Seite des Streifens, auf der sich die KCl-Lösung befand, erstreckten sich Köpfe über jede Pord hinaus.

Ohne die Erfindung auf die nachfolgende Zusammenfassung zu schränken, selen die wesentlichen Punkte der Offenbarung rtoch-. ; mais wie folgt kurz Zusammengefaßt: .'..-.· Die- Puren einer Membran werden gefüllt, indes: zwei Losungen miteinander In Kontakt gebracht werden,die in den Foren einen Stoff abscheiden^der einen ersten verstopfenden Niederechlagfbiidet und in dem Ionen sich durch elektrische Einwirkung von einer Lösung durch ΰ*η Hisderaehlag ·. in der Pore hindurch bewegen,. um durch Reaktion mit den .Ionen der anderen Lösung die Foren zu füllen. .

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Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Füllung von Poren In einem Körper» dadurch gekennze lehnet, daß Lösungen hergestellt werden, die unter Bildung eines ionisch leitenden Niederschlages reagieren, diese Lösungen auf entgegengesetzten Seiten eines mit durchgehenden Poren versehenen Körpers angeordnet sind, die LOsungen in den Poren miteinander in Berührung gebracht werden, um eine Reaktion der Lösungen und die Ablagerung des Niederschlages in den Poren zu bewirken, zwischen den Lösungen ein elektrisches PeId hervorgerufen wird, um Ionen von einer dieser Lösungen durch den Niederschlag hindurch zur Reaktion mit der anderen dieser Lösungen zu übertragen und den Niederschlag in der Pore auszubreiten.

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2. Verfahren nach A spruch 1,

dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt dieser Poren sich zwischen der Grosse der durch den Strom übertragenen Ionen und der Dicke des Körpers bewegt.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,.

dadurch gekennzeichnet, dass die Übertragung der Ionen eine genügend lange Zeit durchgeführt wird, um einen Kopf aus dem abgeschiedenen Stoff zu erzeugen,, welcher sich über die Pore hinaus auf einer ersten Seite des Körpers (Streifens) erstreckt.

4. Verfahren nach den Ansprüchen 3,-3* dadurch gekennzeichnet, dass der Körper (Streifen) in Bezug auf die Lösungen und das elektrische Feld umgedreht wird, und die Ionen in der umgekehrten Richtung übertragen werden, um auch auf der zweiten Seite des Körpers.(Streifens) über die Poren hinaus einen aus dem abgeschiedenen Stoff bestehenden Kopf zu erzeugen.

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5. Verfahren nach dem Anspruch 3 oder 4, . > ..

dadurch gekennzeichnet, dass die.-' IonenUbertragung bis zur. Bildung eines Kopfes mit eine»

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Durchmesser fortgeführt wird, der wesentlich grosser als der Querschnitt der Pore ist,

6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 ~ 5₅

dadurch gekennzeichnet, dass der Körper gegenüber den in jeder der Lösungen befindlichen Ionen nicht leitend ist« die eine Polarität besitzen, dass sie durch das elektrische Feld zu deneider anderen Lösung gelenkt werden.

7. Verfahren nach den Ansprüchen 1-6,

dadurch gekennzeichnet , dass der Körper ein nichtmagnetisehes Material und der abgeschiedene Stoff ein magnetisohes Material enthält.

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8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 - 7, j dadurch gekennzeichnet , dass der abgeschiedene Stoff eine Substanz enthält die die Eigenschaft besitzt, gegenüber elektromagnetischer Strahlung empfindlich zu sein.

9. Verfehren nach den Ansprüchen 1-8,

dadurch gekennzeichnet, dass der abgeschiedene Stoff in einer zusätzlichen Massnahme in ein anderes Material umgewandelt wird.

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10. Verfahren nach Ansprach 9»

dadurch gekennzeichnet, dass der Körper aus einen elektrischen Isolator und das abgeschiedene Material aus einem elektrischen Leiter besteht.

11. Verfahren nach Anspruch 10,

dadurch gekennzeichnet, dass die Dichte der Poren in dem Körper im wesentlichen !constant ist, üb zu ermöglichen, dass die Poren auf einer Oberfläche des Körpers das Bild eines Energieverlaafes (energy pattern) markieren.

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