DE1621943A1 - Verfahren zur Fuellung von Poren - Google Patents
Verfahren zur Fuellung von PorenInfo
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- DE1621943A1 DE1621943A1 DE1968G0052106 DEG0052106A DE1621943A1 DE 1621943 A1 DE1621943 A1 DE 1621943A1 DE 1968G0052106 DE1968G0052106 DE 1968G0052106 DE G0052106 A DEG0052106 A DE G0052106A DE 1621943 A1 DE1621943 A1 DE 1621943A1
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Description
Potontpriwclt Patentanwaft
6 Fron>furf/Main 1 6 Frankfurt/Main 1 6
/Fotiiadi 3QU Tsunusstr. 20 Postfach 3011
.1.JNlWi
792 --F- RDCD-799
Die Erfindung besieht sich auf die Herstellung kleiner Elemente
aus einem gewünschten Material, das in einem Grundmaterial verteilt
ist, welches aus einem anderen Material besteht* und insbesondere bezieht sich diese Erfindung auf ein neues Verfahren
Bur Herstellung solcher Elemente.
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Die Mikrosohaltteohnik ist in vielen Gebieten der «odernen
Forschung und Entwicklung ein wesentlicher Punkt. Diese Gebiete umfassen z.B. Informationsspeicherung, elektronisch»gehaltkreise
und Geräte, Blek,trolumineseens, magnetische und supraleitende
Vorrichtungen, sowie Photögraphie und andere, Me,snyerfahren.
Ea besteht folglieh.ein sehr starkes IntereßMBii Verfahren,
mit denen Elemente von ,-sehr geringer Grosse )eur Ver-P
wandung auf diesen Gebieten hergestellt werjen können.. Die vor-
; liegende Erfindung -ist auf ein Verfahren sur Herstellung*;*
Elementen und Vorrichtungen" *:ur Vhavenanng in diesen \Be*
(>et^Bgerichtet, die im Vergleicti zu den bisher erhältlichen. · Vor-''*■···'"...
'·■■*, . :<■ j· V.'.
richtungen verbessert sind, und eine, geringere Grosse besetzen.
Gemäeβ einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird
kurz ein Verfahren geschaffen, um Poren in einer Membran; zu fül-
Xen und Vorrichtungen der beschriebenen Art' herzustellen.'
Das Verfahren umfasst Hassnahraen zur Herstellung von-Lösungen
der miteinander reagierenden Bestandteile, damit sich -ein,.ionisch
leitender, abgeschiedener Stoff ergibt, d.h. eine in beiden Lößungen
unlösliche Verbindung; diese Lösungen «erden in; ein Gerät
gebracht, in welchem sie durch einen mit Löchern oder Poren versehenen
Körper oder ein Bauteil voneinander getrennt sind. Diese .Löcher oder Poren sind mit dem abgeschiedenen Stoff zu füllen,
. und die Lösungen reagieren in den Poren, wn eine e:-&te Ablagerung
aus diesem unlöslichen Material zu bilden. In einem weiteren
109847/1369'
BAD ORIGINAL
VerfahrensBohritt wird in der Lösung ein elektrisches Feld
hervorgerufen, um Zonen von der einen der Lösungen durch
den abgeschiedenen Stoff hindurch zu bewegen, damit diese
mit der anderen der Lösungen in Kontakt kommen und reagieren,
um das abgeschiedene Material so weit wie gewünscht :'
durch die Poren hindurch auszubreiten. Auf Wunsch können
auch weitere Bearbeitungsstufen, wie Erhitzung, Bestrahlung oder chemische Reaktion durchgeführt werden, um das
abgeschiedene Material in der Pore in eine andere Form umzuwandeln,
z.B. in eine andere Verbindung oder in ein Element.
Die Erfindung wird am besten anhand der nachfolgenden Beschreibung
in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen verstanden. In den Zeichnungen »eigen
Figur 1 ein Qerät zur Ausführung des erfinöungsgemässen Verfahsens,
und
Figur 2 einen Querschnitt, der die fortschreitende Füllung der Pore während des Verfahrens veranschaulicht.
In dem in Figur 1 gezeigten Qerät ist ein Behälter oder eine Zelle 10 durch eine Membran 13 in zwei Halbzellen 11 und
geteilt. Die Membran besteht aus einem Körper aus dem Material, .in welchem die Ablagerung hergestellt werden soll, wobei irgend
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ein gewünschtes Material verwendet werden kann, in dem Poren
14 geeigneter Grosse erzeugt worden sind. Dieses Material ist
gewöhnlieh ein elektrischer Isolator, üblicherweise hat die
Membran eine in Figur 1 gezeigte plattenförraige Ausbildung,
obwohl dies fOr die Durchführung der Erfindung nicht notwendig
ist. Es ist auch nicht beabsichtigt, weder die Offenbarung noch die durch die beigefügten Patentansprüche gekennzeichnete
Erfindung auf diese Ausführungeform eu begrenzen·
Wie vorstehend erwähnt, ist die Membran 13 mit hindurchgehenden
Poren von der Grosse versehen, wie diese für das abgeschiedene Material gewünscht wird. Die Poren sind vorzugsweise
sehr klein und weisen beispielsweise einen Durchmesser in der Grössenordnung des Submikronbereiches auf. Es können
aber auch Löcher verwendet werden, die einen Durchmesser . ▼on 10 Mikron oder mehr besitzen; Um Poren in diesem Bereich
zxx erhalten, die dazu noch gerade ausgerichtet sind, wird
ein Verfahren mit folgenden Massnahmen verwendet. Ein Material wird bestrahlt, um durch die bestrahlenden.Teilchen Bahnen
-struktureller Beschädigung zu erzeugen, und dann in einer
Lösung geätzt, welohe die Beschädigungsbahnen stärker als das unbeschädigte Material angreift.
Die Kammern 11 und 12 des Behältern 10 sind mit Lösungen 15
und 16 gefüllt* Diese reagieren miteinander und bilden dabei einen in beiden Lösungen praktisch unlöslichen Niederschlag.
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Lösung mit einem Metallion und eine andere Lösung aif |ri^e|i
Halogenion herzustellen, so dass das in dem Loch erBeugtf
Reaktionaprodukt ein Metallhälogenid iat. Ea können auch
andere Stoffe verwendet werden, wobei daa einzige Kriterium darin besteht, dass daa Reaktionsprodukt in beiden Lösungen
praktisch unlöslich iat, und dasβ es bezüglich eines »einer
Beatandteile ionisoh leitend ist. Die Ionen-leitung des Nie- ' . β
derschlages ermöglicht die Füllung der Pore, nachdem ein
erster Niederschlag die Pore verstopft hat und eine weitere Berührung der Flüssigkeiten verhindert. Dieses wird dadurch .
erreicht, dass zwischen den Lösungen ein elektrisches Feld hervorgerufen wird, um die Ionen durch die Ablagerung hindurch
su bewegen, damit diese mit der anderen Löaung in. Be>-?
rührung kommen und reagieren. .Vor diesem Sohritt wird die;
Membran zuerst der Lösung mit dem Weniger leicht geleiteten Bestandteil des abgeschiedenen Stoffes und dann der Lösung λ
mit dem besser geleiteten Abacheideetoff ausgesetzt. Folglich
füllt die erste dieser Lösungen die Poren, und wenn di# «w#ite
Löaung daait in Berührung kommt, bildet sich ein erster abgeschiedener Stoff und lagert eich auf der Seite der aweiten
Lösung ab. Wenn daa elektrische FeJd hervorgerufen wird,- dehnt
sich der Belag durch die Pore hindurch in Richtung auf die erste Lösung aus. Die Membran kann den Lösungen in dieser
Reihenfolge auf einfaohe Veiae ausgesetzt werden, indem die
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■ - -■» /· ■
Lösungen in geeigneter Reihenfolge in die Kammern 11 Und 12 ■.
gegossen werden» oder indem auf der Seite der besser geleiteten Ionen eine Schutzwand 17 angebracht ist, welch« entfernt wird,
naohdem die Lusungen in die Kantern eingebracht worden slrfd.
Nachdem Sich der. Niederschlag- in den Poren 111
wird «wischen den Lösungen ein elektrisches Feld z.B. durch eine Batterie 18, einen Schalter 19 und die" Elektroden
20 und 21. Die Potentialdifferens ist so gepolt »■•^MMje'-'-die
besser geleiteten Ionen von einer Lösung durch die erste Ablagerung
des Niederschlages hindurch mit der anderen Lösung
in Berührung gebracht werden..Bewegen sich diese Ionen"also
durch den Niederschlag hindurch, dann treten diese an der Trennfläche zwischen dem Niederschlag und der anderen Lösung
heraus und reagieren unmittelbar mit Ionen aus der anderen
' · L · ■■:■·.- ■ ί ·-:"■-
Belag ÄUSBUdthnen. wie in Figur 2a, ab, 2c und 2d dargestellt
ist, wird dieses Verfahren fortgesetzt, bis da· Loch i» gewünsohten
Ausmass gefallt ist. Is sei erwlhnt, dass di«e#e
Verfahren much fortgeführt werden kann«bis sieh ein Kopf
ausbildet, der aue der Pore herausragt und- den Porenraind
überdeckt. Ein öhnlioher Kopf kann auf dem anderen Ende der
Pore erseugt werden, indem die Membran 13 aur Ausdehnung der
■ ■ 1 " · ■' "
Ablagerung relativ sur Lösung und des Feld umgedreht wird«
109847/1369 bad ORiGiijAt;"
- 7 Pore und sind In bestirnten Fällen nicht erforderlich.
Das erfindungsgenässe Verfahren ist gans allgemein sur Füllung
von Poren in irgendeinem Membranmaterial anwendbar, solange das Material die verschiedenen Ionen in den Lösungen
praktisch nicht leitet, da die Ionen andernfalls durch da,»
elektrische Feld durch die Membran bewegt wurden. Der Niederschlag kann irgendein Produkt einer chemischen Reaktion
ewisohen Lösungen enthalten, in dem Ionenleitung auftritt.
Folglich können s*B. Poren in einem isolierenden Material mit
einem lichtempfindlichen Material wie Silberbromid, einem
lichtelektrisch leitenden Material wie Bleisulfid oder mit ferromagnetische^ Materialien, wie magnetischem (Fe-O11) oder
Nickel-Mangan-Ferrit gefüllt werden. Zuiätelioh kann die in
den Poren abgeschiedene Verbindung umgewandelt werden, z.B. duroh Bestrahlung, Erhitzung usw., um andere Materialien wie
leitende Teile aus, z.B. Silber oder Kupfer su bilden. Somit
kann das Verfahren sur Herstellung feiner Leiter für Verbindungen
in Mikroschaltkreisen oder ähnliehen Anwendungen benutst, ^erden, oder Bauelemente mit anisotroper Leitfähigkeit hevjsustellen,
■ " ■::/-■-'- ■■■- :" ■ :i:C ■-';■;:■
Als Beispiel· werden die folgenden chemischen Qleiohungen. angegeben,
um die Mannigfaltigkeit der Materialarten zu verdeutlichen, die gemäss dieser Erfindung abgelagert werden können·
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Ee ist jedoch nioht beabsichtigt, die Erfindung auf diese
Materialien zu begrenzen, da es eine grosse Auswahl anderer
möglicher Reaktionen gibt, die angewendet werden könnten.
KCl + AgNO3-—* KNOj + AgCl [ -lichtempfindlich
NaBr + AgNO3—> NaNO3 + AgBr| -lichtempfindlich
Pb(OCOCH3)2 ♦ 2NaOH:—»2Na(OCOCH3) ♦ H2O ♦
Pb(OCOCH3)2 + H2S—► 2 HOCOCH3 + PbS^ -lichtelektrischleitend
CdCl2 * H2S-* 2HCl + CdS^ -lichtelektrisohleitend
-ferromaenetis.ch;..
-ferromagnetisch '
NiQ 5Zn0 5 Pe-O1J ^, -ferromagnetisch
8NaOH + 2PeCl3^Ni05Mn05 Cl2^—>8NaCl + ifHgO ♦
8NaOH ♦ 2PeCl3 + PeCl2—>
81IaCl ♦ IH2O +
8NaOH*2PeCl3*Nio^5Cl2—-* 8NaCl + ilH20 +
• Zusätzlich kann das oben erwähnte Silberbromid durch Lichtbestrahlung
in reines Silber umgewandelt werden, um elektrische Leiter durch den Isolator hindurch zu bilden. In einem speziellen
Fall wurde eine 8Mikron dicke Membran aus Polykarbonatharz, das unter dem Handelsnamen Lexan durch die General
Electric Company verkauft wird, vorbereitet. Nachdem die Poren
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hergestellt worden waren, betrug der Widerstand über die
Dioke von 8 Mikron 10 Ohm. Nach der Porenfüllung und der
Umwandlung in Silber betrug der Widerstand über die gleiche Dicke weniger als 0,1 Ohm. In beiden Fällen lag der Widerstand
in Querrichtung über eine Länge von etwa 1 mm in der
Qrössenordnung von 10 Ohm. Folglich erzeugte die erfindungsgemässe
Füllung der Poren und die Umwandlung in Silber eine Anordnung mit anisotroper Leitfähigkeit.
kann die Reaktion in Pb(N0,)9 + 2Kl-*2KNO, + PbI9 ·
j ä j d zur
Herstellung von Bleijodid verwendet werden.
Dieses Bleijodid kann durch Erhitzung und Bestrahlung mit
sichtbarem Licht, Röntgenstrahlen oder Elektronen in Blei
umgewandelt werden. Somit kann «ine Reihe von supraleitenden
Bleistäben gebildet werden.
Zusätzlich zu den oben offenbarten verschiedenen Verwendungsmöglichkeiten
kann dieses Verfahren für verschiedene ander· Zwecke benutzt werden. Zum Beispiel kann eine gross· Anzahl
feiner länglicher Teilchen aus den verschiedenen erwähnten
Stoffen hergestellt werden, indem die Membran naoh der Füllung
der Poren entfernt wird» Es sei weiterhin erwähnt, dass gasdurchlässige Membranen z.B. aus Zelluloseazetat, die durch
die Herstellung Qasporen besitzen oder durch Gebrauch undicht
werden, daduroh ausgebessert werden können,
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'- ίο -
x, dass die Löcher mit einem geeigneten Stoff, wie Silberhalogenid, verstopft werden.
Bezüglich der Membran, in welcher Poren gebildet und gefüllt
werden, kann irgend ein Material benutzt werden, das
kleine Löcher durch das Material hinduroh besitzt. Ia Hinblick auf die kleinen Abmessungen (etwa 60 8)und die höh·
Dichte (XO10 pro on ), die hergestellt werden kann, ist vorzugsweise
das oben erwähnte Verfahren zu verwenden. Im allgemeinen ist das Verfahren auch auf ein© Anzahl Materialien
mit blasigem Glas, mikroporöser Zellulose, Zelluloseazetat und andereranwendbar.
Wie bereits .esroähstö, kmmt der volle Vorteil zum Tragen,
indem Foren verwendet werden, die so klein wie möglich sind.
Die kleinst® Abmessung wird nur durch die Grosse der bei der
Reaktion beteiligten Ionen begrenzt, d.h. die Pore muss gross
genug sein, um den Durchfluss der Ionen hindurchzulassen.
Die grösste Abmessung der Poren ist durch die Forderung begrenzt, das® sich eine erste Ablagerung bilden und an der gewünschteis
Stelle in der Pore verbleiben können muss. Die Pore sollte im Querschnitt genügend klein sein, so dass der Propfen
die Pore im wesentlichen füllt und nicht herausgespült wird.
Falls die Haftfähigkeit zwischen der Ablagerung und der Membran nicht ausreicht, um dan Propfen festzuhalten, kann der abge-.
schieden« Stoff an einer Seite über die Pore hinaus erweitert
109847/1363
BAD ORIGINAL
- Ii -
werden, und duroh Umdrehen der Membran können dann auf der
anderen Seite Nagelköpfe erzeugt werden, die den Propfen in seiner Stellung sichern. Um diesen Anforderungen -su- entsprechen,
sollten die Querschnittabmessungen der Poren im allgemeinen
nicht wesentlich grosser als die Dicke der Membran
sein. · .
Zur Veransohaulichung der erfindungsgemäseen Ausführung werden
die folgenden Beispiele angegeben. Diese enthalten bestimmte Werte der betreffenden Parameter» so dass die Erfindung
durch Fachleute ausgeführt werden kann. Es sei jedoch darauf hingewiesen, dass diese Beispiele lediglich der Erläuterung
dienen sollen, und nicht im begrenzenden Sinne auszulegen sind. - - ·
Bin 8 Mikron dicker Streifen aus dem Polycarbonatharzpolymer,
das unter dem Handelenamen Lexan durch die Firma General
Electric Company verkauft wird, wurde mit Spaltprodukten bestrahlt
und dann in NaOH geätzt, um duroh den Streifen hindurch winzige Poren su erzeugen. Die Poren beeassen einen
Poren pro ein . Der Streifen wurde zwischen 2 Plexiglaskammern
befestigt, in denen Platinelektroden angebracht waren, ■und in jede Kammer wurde eine Oberfläche von etwa 0,7 cm
1 09847 / 1369 \ SaD original
eingebracht. In eine Kammer wurde ein 0,1 η KCl-Lösung eingebracht
und in die andere eine 0,03 AgNO,-Lösung. Sofort bewies eine Bildung von etwas colloidem Niederschlag auf der
Seite des Silbernitrates, dass etwas KCl durch die winsigen Poren getreten war. Zwischen den Elektroden wurde dann ein
elektrisches Feld hervorgerufen, wobei die Seite des Silbornitrates
positiv gemacht wurde, und für insgesamt 10-* Sekunden
floss ein Strom von 10 ~5 Ampäre. Somit wurde insgesamt
eine Ladung von 10 Coulomb Übertragen, und diese Ladung entspricht etwa dem doppelten elektrochemischen Äquivalent
der transportierten Ladung, welohe sur Füllung der Poren mit
Silberchlorid notwendig ist· Die Prüfung ergab, dass Jede Pore
mit einem farblosen Material gefüllt war, welches sich bei chemischen Untersuchungen als Silberohlorid erwies· Zusatzlieh
beeasB jede Pore auf der Seite der KCl-Lßsung einen, kopf
mit einem Durohmesser von etwa 50 Mikron. -·.■>'-·
Sin 8 Mikron dicker Streifen aus dem Poiycarbonatharzpolyraer,
das unter dem Handelsnamen Lexah durch die Firma General
Electric Company verkauft wird, wurde mit Spaltprodukten,
bestrahlt und dann in NaOH geätzt, um durch den Streifen hindurch winsige Öffnungen zu erzeugen. Die Poren besessen einen
." ■ ■ ■■■■.-. -, .. . % ■■'
Durchmesser von Ί Mikron und die Dichte betrug 1*7 χ 10 Poren
pro cm2. Der streifen wurde zwischen 2 f-iexiglaskanaoern
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ORIGINAL
befestigt, in denen Platinelektroden angebracht waren, und in
jede Kammer wurde eine Oberfläche von etwa 0,7 am eingebracht. Zn eine Kammer wurde einefO,! η KBr-Lösung eingebracht und in
die andere Kammer eine 0,03 η AgNO^-Lösung. Sofort bewies eine
Bildung von etwas colloidem Niederschlag auf der Seite des Silbernitrats, dass etwas KBr durch die winzigen öffnungen getreten
war* Zwischen den Elektroden wurde dann ein elektrische»
Feld erzeugt, wobei die Seite des Silbernitrates positiv gemacht wurde, und für insgesamt IQr Sekunden floss ein. Strom von
-10 ""-*Ampere. Die Prüfung ergab, dass jede Pore mit einem farblosen
Material gefüllt war, welches sich bei chemischen Untersuchungen
als Silberbromid erwies. ......
Der Streifen wurde ,dann mit ultraviolettem Licht bestrahlt,
in einem fotographischen Entwickler entwickelt und fixiert, der unter dem Handelsnamen Dektol durch die Firma Eastman
Kodak Company verkauft wird. Es wurde daraufhin festgestellt, dass die Poren mit Silber eefWl.1* «*·rcr.. p^.w* CLi« üiitfuj^en
gefüllt worden waren, betrug.der elektrische Widerstand über
die Dicke des Streifens Ip10. Ohm. Nach der Füllung dei* Toren
und der Umwandlung in Silber betrug der Widerstand über- die
Dicke weniger als 0,1 0hm. In einer Richtung senkrecht *u den
Poren betrug der Videretand über eine Länge von 1 mm sowohl
vor als nach der Füllung und der Umwandlung in Silber mehr als
1010 Ohm.
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- 14 Beispiel 3
Ein Streifen aus Polycarbonatharz wurde, wie in Beispiel 1 beschrieben^
vorbereitet. In eine Kammer wurde eine wässrige Lösung von 2 Gewientsprosent CdCl2 in Wasser gefüllt und dann
in die andere eine gesättigte wässrige Lösung von KgS. An die
Elektroden wurde eine Spannung gelegt, wobei die Seite des
Cadmiumchlorldes positiv gemacht wurde, und 10 Sekunden fXqss
ein Strom von 10 ■ Ampere. Nach dieser Zeit waren die Foren
mit Cadmiumsulfid gefüllt.
Ein Streifen aus Lexan-Polycarbonatharz wurde, wie in Beispiel 1
beschrieben gehandelt. In eine Kammer wurde eine gesättigte Lösung
von PbCl2 in Wasser gefüllt und Sann in die andere Kammer
eine gesättigte Lösung von HgS in Wasser» An die Elektroden
wurde eine Spannung gelegt, wobei die Seite des Bleichlorides
positiv gemaoht wurde, und IQr Sekunden floss ein Stroa von
10 "5 Aapere. Nach dieser Zeit waren die Poren mit Bleieulf id
gefüllt. -
Ein 3*4 Mikron dicker Streifen aus Glimmer wurde bestrahlt^ und
die Sterungsbahnen wurden in einer Flußsäure geätzt, um Foren
mit eine» Radius von 50 Angst rom durch diesen Streifen hinduroh
BU erzeugen. Der Streifen war, wie in Beispiel 1 beschrieben,angebraaht.
In eine Kammer wurde eine 0,03 η KCl-Lösung und dann
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BAD ORIGINAL
in die andere Kammer eine 0,03 η AgNQ,-Lösung gefüllt. Zwischen den Elektroden wurde ein elektrisches Feld erzeugt, wobei
die Seite des Silberhitrates positiv gemacht wurde, und für 300-Sekunden floß eih^Strom: von 10"*·* Ampere. Die-Prüfung
ergab, daß jede Pore mit Silberchlorid gefüllt war, und auf
der Seite des Streifens, auf der sich die KCl-Lösung befand, erstreckten
sich Köpfe über jede Pord hinaus.
Ohne die Erfindung auf die nachfolgende Zusammenfassung zu
schränken, selen die wesentlichen Punkte der Offenbarung rtoch-. ;
mais wie folgt kurz Zusammengefaßt: .'..-.·
Die- Puren einer Membran werden gefüllt, indes: zwei Losungen miteinander
In Kontakt gebracht werden,die in den Foren einen Stoff
abscheiden^der einen ersten verstopfenden Niederechlagfbiidet und
in dem Ionen sich durch elektrische Einwirkung von einer Lösung durch ΰ*η Hisderaehlag ·. in der Pore hindurch bewegen,.
um durch Reaktion mit den .Ionen der anderen Lösung die Foren zu füllen. .
109847/1369
-BAD ORiQlWAL'
Claims (11)
1. Verfahren zur Füllung von Poren In einem Körper» dadurch
gekennze lehnet, daß Lösungen hergestellt werden,
die unter Bildung eines ionisch leitenden Niederschlages reagieren,
diese Lösungen auf entgegengesetzten Seiten eines mit durchgehenden Poren versehenen Körpers angeordnet sind,
die LOsungen in den Poren miteinander in Berührung gebracht
werden, um eine Reaktion der Lösungen und die Ablagerung des Niederschlages in den Poren zu bewirken, zwischen den Lösungen
ein elektrisches PeId hervorgerufen wird, um Ionen von einer dieser Lösungen durch den Niederschlag hindurch zur Reaktion
mit der anderen dieser Lösungen zu übertragen und den Niederschlag
in der Pore auszubreiten.
1 0 9 Β A 7 / 1 3 6 9
16219Λ3
2. Verfahren nach A spruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass der
Querschnitt dieser Poren sich zwischen der Grosse der
durch den Strom übertragenen Ionen und der Dicke des Körpers
bewegt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,.
dadurch gekennzeichnet, dass die Übertragung der Ionen eine genügend lange Zeit durchgeführt
wird, um einen Kopf aus dem abgeschiedenen Stoff zu
erzeugen,, welcher sich über die Pore hinaus auf einer
ersten Seite des Körpers (Streifens) erstreckt.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 3,-3*
dadurch gekennzeichnet, dass der Körper (Streifen) in Bezug auf die Lösungen und das
elektrische Feld umgedreht wird, und die Ionen in der
umgekehrten Richtung übertragen werden, um auch auf der
zweiten Seite des Körpers.(Streifens) über die Poren
hinaus einen aus dem abgeschiedenen Stoff bestehenden Kopf zu erzeugen.
1 ·'■■
5. Verfahren nach dem Anspruch 3 oder 4, . >
..
dadurch gekennzeichnet, dass die.-'
IonenUbertragung bis zur. Bildung eines Kopfes mit eine»
1 09847/1369 ■".
BAD
Durchmesser fortgeführt wird, der wesentlich grosser als
der Querschnitt der Pore ist,
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 ~ 55
dadurch gekennzeichnet, dass der
Körper gegenüber den in jeder der Lösungen befindlichen Ionen nicht leitend ist« die eine Polarität besitzen, dass
sie durch das elektrische Feld zu deneider anderen Lösung
gelenkt werden.
7. Verfahren nach den Ansprüchen 1-6,
dadurch gekennzeichnet , dass der
Körper ein nichtmagnetisehes Material und der abgeschiedene Stoff ein magnetisohes Material enthält.
1 i
8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 - 7, j
dadurch gekennzeichnet , dass der
abgeschiedene Stoff eine Substanz enthält die die Eigenschaft
besitzt, gegenüber elektromagnetischer Strahlung empfindlich zu sein.
9. Verfehren nach den Ansprüchen 1-8,
dadurch gekennzeichnet, dass der
abgeschiedene Stoff in einer zusätzlichen Massnahme in ein
anderes Material umgewandelt wird.
• BAD
109847/1369
10. Verfahren nach Ansprach 9»
dadurch gekennzeichnet, dass der
Körper aus einen elektrischen Isolator und das abgeschiedene Material aus einem elektrischen Leiter besteht.
11. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, dass die Dichte der Poren in dem Körper im wesentlichen !constant
ist, üb zu ermöglichen, dass die Poren auf einer Oberfläche
des Körpers das Bild eines Energieverlaafes
(energy pattern) markieren.
109847/130$
Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
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1967
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