DE1765164B2 - Verfahren zur bindung von stromleitern - Google Patents
Verfahren zur bindung von stromleiternInfo
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Description
I 765 164
Die Erfindung bezieht sich auf Verfahren zum Binden elektrischer Leiter und insbesondere auf Verfahren
zum Binden solcher elektrischer Leiter, die mit Komponenten, beispielsweise integrierten Schaltungen
an weiteren Stromleitern, z. B. auf Unterlagen abgestützten Zwischciischaltleitern befestigt sind.
Es wurde bereits vorgeschlagen, Komponenten, wie z. B. integrierte Stromkreise, dadurch zusammenzuschalten,
daß Stromleiter elektrisch mit den Stromkreisen verbunden und diese Stromleiter durch
Drucksclnveißung mit einem weiteren Satz von Stromleitern gebunden werden, die auf einer Unterlage
aufgebracht sind. Ferner wurde bereits vorgeschlagen, den Schweißvorgang durch Verdickung
eines Teiles eines Leiters des zu bindenden Leiterpaares durch einen Goldauftrag oder Goldbelag zu
vereinfachen. Die Anwendung solcher Beläge brachte jedoch Selnvierigke.-ten in der Herstellung einer entsprechenden
elektrischen Verbindung mit sich, weil bei ihrer Ausbildung innerhalb der Grenzen typischer
Herstelltoleranzen festgestellt worden ist, daß sehr geringe Unterschiede in der Höhe der Beläge häufig
zu einer schlechten Bindung oder sogar zum vollständigen Fehlen einer solchen Bindung im Falle von
Aufträgen sehr geringer Dicke führen können, wodurch
der A'jsschußanteil wesentlich erhöht wurde. Dies wiederum ergab einen ziemlich hohen Verschleiß
in der Ar'vondung von Kristallplättchen. wodurch die Ausbeute an brauchbaren Kristallplättchen
aus den Plättchcnhersteilvorgäiig unzulässig abnahm.
Zur Vermeidung dieser Schwierigkeiten wird gemäß
vorliegender Erfindung bei einem Verfahren zum Binden eines ernten Satzes von elektrischen Leitern
mit einen1 zweiten Saiz von elektrischen Leitern vorgeschlagen,
einfach deformierbare Stützen aus weichem, elektrisch leitendem Material auszubilden, von
denen jeweils einer mit jedem der elektrischen Leiter des ersten Satzes in elektrischem Kontakt steht, wobei
die Stützen freie linden besitzen, die von den
Stromleitern des ersten Satzes abgelesen sind, den zueilen Sz'tz von Stromleitern in der Nähe des einen
mit jedem der l>ei''n Hilden der Stützen zu bringen,
und die Enden aller Stützen mit den Stromleitern durch Di"'.id-:sch" cißtüu: /u verbinden, wobei der
wahrend des Schwcißvorpanges aufgebrachte Druck
nil'· differential zur Defonnieriiiiü der Stützen ausreicht,
damit alle Stromleiter der Sätze in guten elektrischen Kontakt mit den Enden der Stützen gebracht
werden.
Iiisbcsondce sind die Sliii/en aus einem oxydierbaren
Material, z. B. einem Blei Zinn-Eutcktikum
hergestellt, und in diesem EaMe können die Sui'/-beläge
au1- einem oxydationsfesien Material bestehen,
d'is über den Enden ausgebildet ist. Diese Beläge können aus einem harten Material, z. B. Gold, bestehen,
und in diesem Falle sind die Beläge genügend härter als die Stützen, damit sie eine Oxydfläche auf
den Leitern (die beispielsweise aus Aluminium bestehen können) während des Schweißvorganges
durchdringen. Die Stürzet' können durch Niederschlagen auf einer Maske direkt auf den Stromleitern
ausgebildet werden, die auf einer Unterlage angeordnet sind, wie dies für die Beläge aus hartem Material
pilt.
Die differcntielle Deformierung der Stützen während des Schweißvorganges macht es möglich, daß
die kürzesten Stützen in gtilen elektrischen Kontakt
mit den Stromleitern gebracht werden können, und verringern das Auftreten einer schwachen Bindung,
auf die oben Bezug genommen worden ist, ganz erheblich.
Eine typische Anwendungsmöglichkeit des Verfahrens nach vorliegender Erfindung wird nachstehend
in Form eines Ausführungsbeispieles ,n Verbindung mit der Zeichnung an Hand von Schnittansichten
dargestellt und erläutert, wobei die Fig. 1
ίο bis 7 Stufen bei der Durchführung des Verfahrens
darstellen.
In F i g. 1 der Zeichnung trägt eine Unterlage 1 einen Satz von elektrischen Leitern 2. Die Leiter!
sind vorzugsweise aus Gold hergestellt und in üblicher Weise durch Vakuumniederschlag auf der
Unterlage 1 über eine (nicht gezeigte) MasKe ausgebildet.
Wie in Fig. 2 gezeigt, wird dann eine Schicht aus
positivem Photowiderstandsmateria! 3 über den Stromleitern 1 auf der Unterlage 2 aufgebracht. An
jeder Stelle, an der eine Verbindung zwischen den Stromleitern 1 und weiteren Stromleitern hergestellt
werden soll, wird eine Öffnung 4 (Fig. 3) in dem Widerstandsbelag 3 in der folgenden Weise ausgebil-
det. Der Widerstandsbelag 3 wird ultraviolettem "Licht durch Öffnungen in einer Maske ausgesetzt, wobei
die Öffnungen den erforderlichen Verbindungsstellen und -durchmessern entsprechen. Der Widerstandsbelag 3 wird dann entwickelt, wobei die Teile des
Widerstandsmaterials 3 entfernt werden, an denen die Verbindungen ausgebildet werden sollen. Dieser
Schritt ist in F i g. 3 dargestellt.
Beim nächsten Verfahrensschritt (Fig. 4) wird die
Unterlage 1 in ein Blei'Zinn-Plattierbad eingetaucht.
dessen Zusammensetzung 25 g! Blei. 55 g I Zinn und
50 g 1 Borflußsäure enthält. Ein Ji. lag aus einem Zinn Blei-Eutektikum 5 von beispielsweise 0.02 mm
Dicke wird dabei aufgebaut und bildet eine Stütze an jeder Verbindungsstelle auf den Goldlcilcm 2. Die
Fläche des Belages 5 ist jedoch der Oxydation unterworfen. Infolgedessen wird die Unterlage rasch mit
Borflußsäure gespült, anschließend erfolct eine Spülung
mit Wasser und eine weitere Spülung pvt entmineralisiertem
Wasser.
Die Unterlage 1 wird dann in eine Platticrlösiing
üiis Goklkaliumzyanid eingetaucht und es wird ein
Goldüberzug 6 von etwa 0.005 mm Dicke auf dem Zinn Blei-Belag 5 aufplattier!, wodurch eine zusammengesetzte
Stütze an jeder gewünschten Stelle.
wie in F i g. 5 gezeigt, hergestellt werden kann. Der
übrige Teil des Photowiclcrstandsbelaccs wird dann
unter Verwendung eines Lösungsmittel^ enti'-jrnt. und
die schließlich erhaltene Anordnung hat da.·. Aussehen
nach E i g. (i.
Ein zweiter Satz von Stromleitern 7 (Fig. 7) wird
von einem eine integrierte Schaltung aufweisenden Plättchen 8 aufgenommen. Die Leiter des zweiten
Satzes werden während der Herstellung der integrierten Schaltung ausgebildet und werden üblicherweise
als Stege auf einer Fläche des Plättchens 8 aufgenommen. Diese Leiter 7 bestehen häufig aus Aluminium.
Das Plättchen 8 ist so orientiert, daß die Leiter 7 des zweiten Satzes gegenüber den zusammengesetzten
Stützen 5.6. die von den Leitern 2 aufgenommen werden, angeordnet sind. Die Leiter 2. die von der
Unterlage 1 aufgenommen werden, sind in einem solchen Schema so angeordnet, daß die Stützen S, 6
in die durch die Stromleiter 7 des Plättchens 8 mit
integrierter Schaltung Beförderte Anordnunu kom
Wenn das Plättchen seine Stellung einnimmt, werden die Stromleiter? und die Stützen miteinander
durch Druck verschweißt, vorzugsweise mit Hilfe einer Uliraschnllschweißvorrichtung, die an das Plättchen
angelegt wird. Somit werden Bindungen zwischen den Stromleitern 7 und den miteinander geschalteten
Leitern! auf der Unterlage 1 ausgebildet.
Die Verwendung von Stützen, die nur durch einen Belag aus Gold von 0,025 mm Dicke ausgebildet werden,
wurde untersucht und es wurde festgestellt, daß Schwierigkeiten auftreten, wenn verschiedene Stützen
zur Verbindung eines Plättchens mit einem Lei te rs. lienui verwendet werden. Trotz sehr sorgfältiger
Ausbildung der Stromleiter und der Stützen ist es möglieh, daß die oberen Seiten der Stützen auf verschieden
hohen Pegeln in bezug auf die Unterlace liegen. Wenn das Plattchen auf den Stürzen angeordnet
und der Schweißvorgang durchgeführt wird, wer-(i.n die Stege mit der höchsten Stützen oebunden.
l.'iie höchsten Stützen können sich nur leicht zusammendrücken,
so daß dann, wenn dei Höhenunterschied
zwischen den höchsten und niedrigsten Stützen minimal ist, eine zufriedenstellende Bindung
Mit den tieferen Stützen erhalten werden kann. Da jedoch Gold veihältnismäßig hart ist (z. B. 70 Vickers
Diamond Pyramid Number), ist der mögliche Druck tier Stützen begrenzt und es kommt häufig vor, daß
tue Höhenunterschiede der Stützen so groß sind, daß ii.e niedrigste Stütze keinen einwandfreien Kontakt
mit den Stegen mehr ergeben kann und somit der Schweißvorgang in Hinblick auf diese Stützen nicht
einwandfrei vorgenommen werden kann.
Stützen, die ausschließlich aus einem weiche';
i'ilei Zin-,.-nutektikiim (etwa 20 Vickers Diamond
Pyramid Number) hergestellt sind, sind in ausreichendem
Maße zusammendrückbar, so daß eine differenzielle Deformierung der Stützen möglich ist. um die
Simmleiter in Kontakt mit allen Stützen zu bringen. Wenn Stromleiter aus oxydierbarem Material, z. B.
Aluminium, vet wendet werden, können auch darm und! keine zuverlässigen Bindungen erhalten werden.
Mögliche Gründe hierfür sind, daß da:, weiche Matelial
den Aluminiumoxydbclag auf den Aluminiumsiegen 7 während des Schweiß\orgunges nicht durchbricht,
und daß eine Schicht aus Zinn- und'oder
Bleioxid auf der Stütze ausgebildet werden kann und unter Umständen die Ausbildung einer zuverlässige!!
Bindung verhindert.
Die /usammengeset/ien Stützen, wie sie vorstehend
beschrieben wurden, lösen dieses /weite Problem weitgehend. Der weich.1 Belag 5 ermöglicht eine ziemlich
große Deformation, während der härtere Goldbe I ag 6 die Aluminiumoxydschieht durchbricht und
auch verhindert, daß ein Zinn- unclOder Bleioxydbclag
den Bindevorgang nachteilig beeinflußt. Daraus ergibt sich, daß der zusammengesetzte Aufbau der
Stütze weitgehend von den Materialien abhängt, die für die Stromleiter verwendet werden, und ferner von
der Vermeidung einer Oxydicrung der Kontakt miteinander gebenden Flächen der Stromleiter und der
Stützen.
Obgleich ein Blei/Zinn-Eutektikum in vorstehendem
Aiisführungsbeispicl angegeben worden ist. könneu
auch andere weiche Materialien, z. B. Silber. Kupfer. Kadmium. Blei. Zink oder Indium bei der
Ausbildung des deformierbaren Belages 5 einer jeden Stütze verwendet werden. In ähnlicher Weise können,
obgleich Gold als Oxydationswiderstantlsbelag 6 insbesondere für die Stützen angegeben worden ist, weil
es die entsprechende Härte besitzt und einfach zu plattieren ist, auch andere Materialien für diesen
Zweck verwendet werden.
Ferner brauchen die Stützen nicht auf den Stromleitern 2 auf der Unterlage ausgebildet werden, sie
können auf den Stromleitern oder stromlcitenden SLegen 7 des Kristallplättchens oder ganz getrennt
von den Leitern 2 und den Stegen 7 ausgebildet werden, wobei dann der Schweißvorgang die Stützen 5, 6
mit beiden Stromleitern und Stegen gleichzeitig bindet. Die Stützen können dann beispielsweise aus
einem weichen, deformierbaren Belag ausgebildet werden, der an beiden Enden durch härtere Beläge
abgedeckt ist.
Die Leiter 2 und die Stege 7 können aus anderen Materialien als oben beschrieben hergestellt sein. Beispielsweise
können die Leiter 2 aus Aluminium bestehen, während die Stege 7 aus Molybdän hergestellt
sein können. Obgleich die vorstehende Beschreibung davon ausgegangen ist, daß die Stromleiter oder
Stege 7 Teil eines Plättchens mit gedruckter Schaltung sind, ist die Erfindung nicht auf diese spezielle
Anwendung beschränkt, sonde;η allgemein anwendbar auf die Bindung von Stromleitern zweier Sätze
miteinander, die aufeinander ausgerichtet sind, bei denen jedoch die Leiter eines Satzes individuell in
bezug auf den anderen befestigt sind. Somit kann die Erfindung auch zur Befestigung anderer Komponenten
als Kristallplättchen mit Verbindungsleitcrn verwendet werden.
Claims (7)
1. Verfahren zur Bindung von Stromleitern eines ersten Satzes jeweils mit Stromleitern eines
zweiten, mit dem ersten Satz ausgerichteten Satzes, durch Herstellung einer Stütze zwischen
jedem der miteinander zu verbindenden Leiterpaare und durch Befestigung wenigstens eines der
Stromleiter mit der Stütze mittels Druckschweißung. dadurch gekennzeichnet, daß die
Stützen jeweils aus einem einfach deformierbaren, elektrisch leitenden Material hergestellt werden,
das wenigstens eine oxydalionsfcste Fläche aufweist,
die eine »Ute elektrisch leitende Verbindung mit einem Stromleiter während des Schweißvorganges
ergibt, und daß der während des Schweißvorganges angelegte Druck nur so groß ist. daß
die Stürzen differenziell dcr'irrn;ert werden, um
alle Stromleiter der Sätze in guten elektrischen Kontakt mit ihren entsprechenden Stützen zu
bringen.
2. Verfahren nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß die Stützen aus einem oxydierbaren
Material hergestellt werdin, und daß ein Belag aus oxydationsfestem, elektrisch leitendem
Material über einer Kontaktfläche einer jeden Stütze in innigem elektrischem Kontakt mit dem
Material der Stütze ausgebildet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens die Leiter eines
Satzes eine Oxydfläche aufweisen und daß der Belag aus oxydationsfestem Material über den
Flächen der Stützen ausgebildet wird, die mit den Oxydflachen der Stromleiter entsprechend in
Konnkt kommen, und daß ferner der Belag aus-
reichend härter ist als das Material der Stützen, damit die Oxydfläche während des Druckschweißvorganges
durchbrochen und eine gute, elektrisch leitende Bindung zwischen den Stützen und den
Stromleitern erzielt wird.
4. Verfahren nach Anspruch I oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die
Stützen durch direktes Niederschlagen auf den Stromleitern eines Satzes ausgebildet werden.
5. Verfahren nach Anspruch 4. dadurch gekennzeichnet,
daß das deformierbare Material der Stützen ein eutektischer Blei Zinn-Belag ist.
6. Verfahren nach Anspruch 5. dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus oxydationsfestem
Material Gold ist.
7. Verfahren nach Anspruch 6. dadurch gekennzeichnet, daß die Stromleiter, die mit den
Goldbelägen Kontakt geben, aus Aluminium sind.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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