DE1948961A1 - Beugungsgitter - Google Patents

Beugungsgitter

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DE1948961A1
DE1948961A1 DE19691948961 DE1948961A DE1948961A1 DE 1948961 A1 DE1948961 A1 DE 1948961A1 DE 19691948961 DE19691948961 DE 19691948961 DE 1948961 A DE1948961 A DE 1948961A DE 1948961 A1 DE1948961 A1 DE 1948961A1
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Antoine Labeyrie
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/32Holograms used as optical elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J3/1838Holographic gratings

Description

.'-'0.-"..-.0"1Lr--", den ''■■]·. -Ju1I:. 1LVdS)
72*39 7 1948
irrioriti-'.ΐ 26. i.Lra 1',.βν i'rarucreich Pv 6 9<J8
■>» xYdn,
'i/i.'i j■'"x'ino.i'-.a-; 'uo'/jlul· 'c oion -i·,ι.t:f' ^euroin·'·"^·.·!'!, ter0.
^jIp /).ϊ·';1 a or .,r.-.'in', >:'i/" i':x '1Ie j.orr} bell'm/-· von ι.οι 1/1Wi^nn;it~ tem, "bei v/ej.e!· e:> dan Jn uervali Kv/irjcuon benv-CjibartoiL Uibber- :.-r.Lerieri üocic öle -r-eiije ae.'j Glbterii rv-.cl· einein dog biiumben "ier:eb/-; uicli ■■ νίΠ'.·χ· b, ;i.ri ,!<■..!,!, J-_on.'-i bri.ii.b :4u ;jein, v/io e;.: uei 'i'i.i oe Kannten ■'. .i ϋ ij': r-n α or jra.Li inb. uie eri'imluni-jo^oifiiuien 'ji jtor naoen tion VorsiU'-", nai'- uei ihnen Tür Deirtimince v/eilen - .Uin;~ea aie Aberration vo I. irj ι- ai'if*; koj-'ciirior b IrH,, v/;-irr.'oiui "ie i/i fien ϋ^/.·χ··;οη .-ioreioiien einen Aberro.bion;jv/erb aurwoi- VAiI-y nor v,vA\t viol niour.i.- -er aJ.n bei bekannten Ulbtern iiof.it.
Die λγ ϊ inn υ ny be^v/eekt .ferner, irirjbonoruJer'e konkave heu-
rfj'-j;i I; tor %u. fjonaxlen» ■*
η -2-
Ί ■'" : 000840/112 5 bad original
Gleichzeitig .bezwecket die .oTfiiadung die.ocliaxiuiig von verfahren aura herstellen derartiger u-itter urrber ^imsti.een /.ostenv-erhältnissen und mit großer zuverlässigkeit. . _...
Ein weiteres Ziel -der Erfindung ist die vorbessermir: der Eigenschaften bekannter spektroskopischer .Einrichtungen durch Verwendung neuer G-ictero jJie Erfindung bezwecict ferner ci.ie öchaffung neuer spektroskopischer Einrichtungen, die sich mit-bekannten u-ittern nicnt-verwirklichen lassen.
Die erfindungsgemäßen neuen -Jeugungsgitter, die in an sich bekannter- weise einen i'räger aufweisen, welcher auf einer Fläche die ü-itterstriche trägt, zeichnen sich dadurch aus, daß die Uitterstriche auf den! Schnitt der i''3.äche mit einer Schar von Flächen gelegen sind, die -geometrisch v/ie gleich— phasige Oberflächen sind, welche als Orte der i-.axima der Lichtintensität durch die interferons von iswoi -bündeln erhalten werden, welche aus cwci punktförmigen quellen stammen, wobei die !'ellung des ui liters durch den Winkel der .... beiden-'-bündel* bestimmt ist.
Durch "geometrisch wie" soll "betont werden, daß die erwähnten Flächen dieselben Lagebezeichnungen wie diese gleichphasigen Flächen haben. ·
Nach dem Stand der '.-'Technik sind 'dies© l'rl'-titer sehr GQhvre-rmit einer trraviermasofiine^ imrlPasii&llen.■ -Die Uerstellxmg
BAD ORIGINAL
wird oel einen konkaven träger praktisch unmöglich« jis ist nicht ausgeschlossen, daß -man vielleicht dazu kommen v/ird, eine 'J-ravier- oder Strichrias chine derart zu programmieren, daß sie die ■ verstellung τοπ 'utters mit sich änderiaüen Intervallen zwischen den Strichen gestatteto riine derartige j/r ο granulierung Ii Ό or steigt jeaoch die 2. it. gegebenen no
Ans diesen Grunde hat man Gitter herzuste±j.eii versucht, indei; nan ein holographisches Verfahren verwendet, welches in seinen 'j-rund^ü':on darin "bestert, auf eine empfindliche Schicht, die auf die i'rä^erflache, welche die Striche traufe, aufgebracht ist, mit einer Licircenergie einsuv/inceh, die iiux die interferenzstreifen zweier jjichfbiindel Konzentriert ist, welche aus zwei kohärenten quellen start-unen, worauf aiese Streifen entwickelt werten, um ±;'urchen zu erzexigen, v/elche die G-itterstriche bilden.
Dieses seit einigen Jahren bekannte Verfahren ist bis jetzt nur angewendet worden, um ebene Gatter mit Strichen im gleichen Abstand herzustellen, wobei eine empfindliche, verhältnismäßig dicke Schicht in der ü-röüenordnung von 10 Mikron benutzt wird. Allgemein wird zur herstellung von Gittern eine empfindliche Schicht des pliotographischen l'yps benutzt, d.h, eine Chrom-Silber-Gelatinesoriicht, die zwangsweise dick ist. Me Erfahrung .hat gezeigt, daß diese beim holographischen Vorfahren auftretenden j ie dingungen-. .
BAD ORIGINAL
icht gestatten, in .befr.iedigenc.er V;eise . erfinäun^sgemäße (litter herzustellen» JJagegen ist durch die Erfindung: lest- . gestellt worden, daß derartige Gitter -unter aus;;eseiehneten Eedingungen erhallten werden, wenn als--empfindliche b-c-iicht eine ücuicht eines photopolymerisierbaren Iiarzes verwendet wird, wo-bei die besten iir-gre bnis.se mit einer, -üc-hiclit von einer lücke erzielt worden ist, die tint er etwa 2 i-.ikroii liegt
'./eitere Vor?mge. und "kerlanale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen, sowie, aus" der nachfoIrrenden .nesciireibung und den Zeichnungen., in denen boYorüu.rfco Ansfulii'ünrsforiiien für die erJ;indungsreiaö.i3en Gitter bzw. für ihre .Herstollun,!-- und Verwendung erläutert, una dargestellt sind, iüs steigen: -.
Fig. 1 eine Ysreinfacnte Darctellung üur Erläuterung eines
-Herctelliingsschrittes für das er-findun-_"sgenäi-ie . · Gatter, · . . . . " ■ -
!•'ig. 2 eine Anordnung sur iJerstellung eines bestimmten üitters in "vereinfachter !Darstellung, .
ii'ig. 3 die wesentlichen kerlanale einer mit dem G-itter nach Jb'ig, 2 ausgeführten snel-ctroskopischen Ji'inricntung, ...
Figo 4 eine andere spektroslcopische ülinrichtung, die mit einer abgewandelten Ausführungsform eines Gitters .· nach Fig. 2 arbeitet,
Fig. 3 eine 'spektroslcopische Einrichtung, die eine weitere Abwandlungsform des-Gitteris nach Fig. 2 be-. '■ ...nutzt,.;. · '-;■■'.-■ :' BAD ORIGINAL
0Q98A0/1125
n'ig. 6-8 spektroskopische Einrichtungen unter Verwendung anderer erfindungsgemäßer Gitter,
Pig, 9 ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung einer anderen Gitterfarm,
!'ig. 10 und 11 spektroskopisch^ Einrichtungen, die mit anderen Ausführungsformen erfindungsgemäßer Gitter arbeiten,
ii'ig. 12 ein erfindungs gemäß es Verfahren zur Herstellung einer abgewandelten Gitterform,
i'ig. 15 eine spektroskopieene Einrichtung, welche das Gitter nach Eig. 12 benutzt,
lip], 14· eine snektroskopisohe Einrichtung mit einem ebenen, erfindungsgemäßen Gitter,
M'if. 15 ein ex£±m}vn>/3^e-AÜues . ierstellungsverfrjiren für eine weitere Ani/andlungsform des '"ri i;türs und
x'"iff. 16 eine <3;_;e>.tro,sJ<:op.ische Einrichtung, v/elche das Gitter nach- l|ii'". 15 - benutzt,
Lm fol.^orvden wird al". "e;;-)i:'indliche 1'1Il.v;cJrie" die !''luche des Or;:.'';ors bezeichnet, vreü.oh-e die Oitterstr i ehe tra;;en soll.
.!■■ig, 1 zeigt für ein Gitter uoii.ema.tisch einen g lichen i'-eil des erfindt.i.rigsgexuäl.ien .Herstellungsganges.
Me empfindliche Fläche wird von einem optischen bchiiff eines 'i'rägerrj S aus geeignetem Material und geeigneter Porrn gebildet, z.ji». von einem !'rager aus Glas oder aus einem
009840/112 S
BAD ORIGINAL
Silikat:. Die empfindliche fläche ist .konkav und hat z.B. die Form einer Kugelschale, Auf der empfindlichen fläche ist gleichmäßig eine Lösung eines photopolynierisierbaren Harzes aufgebracht, welches nach Yerdampfung des Löstingsmlttels -auf dem Träger eine Harzschicht '2 mit konstanter Dicke hinterläßt, z.B. einer Dicke von 1,5 Hikron* Z„B, kann ein Harz vom Typ "Photoresist" verwendet werden, das zur Photogravüre "benutzt wird.
Auf diese Schicht P läßt man. zwef Strahlen kohärenten Lichtes £C und ^D fallen, die an zwei !Punkten G und D austreten und von einem Laser erzeugt worden sind, wobei solche Bedingungen eingehalten werden, daß die Interferenzflachen der beiden Wellen die Ilarzschicht schneiden und die Lichtenergie, die auf diesen Flächen konzentriert ist, die Polymerisation des Harzes an der Schnittstelle hervorruft.
Anschließend läßt man ein Lösungsmittel einwirken, um wahlweise entweder das polymerisierte Harz oder das nicht polymerisierte Harz aufzulösen, um die-Oitterstriche erscheinen .zu lassen. .
Falls ein Reflexionsgitter hergestellt werden soll, wird die Gitterfläche anschließend im Vakuum metallisiert» wie an sieh bekannt ist.
Nachfolgend werden verschiedene Beispiele für neue arfin-
BAD ORi(SINAL
00984a/ 1V2S ~7~
9Α8961
lieuguncngitter beschrieben, die nach diesem
Yerfaiiren industrial-hergestellt werden können* Alle diese '.J-itter lirj-bcn da.s Lerkmal gemeinsam, daß sie auf einem" Träger ausgeoildet sind, der auf einer empfindlichen fläche ü-itterstriche trägt, welche den Schnitten dieser i'läche mit einer Schar gleichphasiger "i'lächen "öittrsprechen wie z„Bo ; solchen, die als urte der ϊ-iaxima der Lichtintensität durch die Interferenz zweier Bündel erhalten werden, welche aus zv/ei punktiOrmigeii Quellen stammen, ,j
Beispiel 1 ■ ' '
!Das G-itter 1st besonders dadurcn gei^ennaeichnet, daß die gleichphasigen i'lächen Hyperboloide sind, wie sie als ürte aer i-iaxima der jjichtintensität bei der Interferenz von zwei jnindeln erhalten v/erden, die aus zwei punlctfÖnnigen, in den isremipünkten der hyperboloide gelegenen Quellen stammen, und daß die empfindliche- i'läche des i'rägcrs die i'orrn einer Kugelschale hat, wobei einer der erwähnten Brennpunkte im. ( Krüramungsmittelpunkt der Kugelschale gelegen ist.
liie Pig» 2 zeigt ein Anordnungsschema zur herstellung des Gitters, Auf dieser Pigur sind die beiden Quellen durch C und Ό bezeicknet. Die Quelle 1) ist im Jirimaaungsmittelpunkt der Kugelschale gelegen, welche die Form der empfindlichen Eläche des Gitters S bildet. Die gestrichelten Linien stellen den Schnitt der Hyperboloide mit den ijrenn- p\inkten 0 und D durch die Ebene der ¥igur dar,
-8-BADORiGiNAL
Fig. 3 zeigt schematise!! das Prinzip einer Spektroskop!-_ sehen Einrichtung,.die mit diesem ü-itter gebildet werden. kann. _ . .....
In dieser. Einrichtung wird' an den Ort D' des Krümmungsmittelpunktes der Kugelschale die poljrchromatische Quelle A - gestellt, die analysiert werden soll.
unter diesen 'Umständen erhält man an der Stelle C" , _ an der Λ sich "bei der Herstellung des (jitters die '-.quelle 0 "befinden würde, ein gena.ü gezeichnetes jsild eier Quelle A für die Strahlen-mit der Wellenlänge Xa/k, wobei \ ύ die.für die beider: li'rzeuger-strahlen des ΰ-itters benutzte Wellenlänge und k eine ganze liahl ist. \
Palls überdies der .Punkt C" betrachtet wird,.. der konjugiert harmonisch zu G' mit. .Bezug auf die jinden P und. Q desdurcii den xJunlct :G.% gehenden Durchmessers der Kugel (G-) ist, die die Erzeugende der lvugelschale ist, so ergibt sich ein harmonisches Terhältnis
m ist hierbei eine ganze Zahl oder ein Bruch. In C" ergibt sich ein genau stigmatisches oder punktmäßig genaues Bild der Quelle A für die Strahlen mit der Wellenlänge
- -'-.: BAO .ORIGINAL -9-
0 0 9840/1125
han kann demnach, das Spektrum der Quelle erhalten, indem ein Aufnahmemittel für das Spektrum, z.B. eine photograpliische !''lache R derart angeordnet wird, dai-i sie genau . durcii die j/unirfce - ü1 , 0" und D1 hindurchgeht, kan kann auch an diesen verschiedenen tunkten optische Mittel zur Aufnahme des Spektrums anordnen.
In einer Abv/andlungsform kann die zu analysierende Quelle A in den iainkt C gesetzt werden, unter diesen Bedingungen erhält man in I)1 ein genau stigmatisch.es Bild der quelle A für die Strfvj.!eii nit der wellenlänge Aö/k. im punkt ü1 er hellt man durch Autokollir.na.tion ein genau stigmatisches^ Bild der quelle A für die Strahlen mit der "wellenlänge 2 "f^/k. und man erhält im Punkt ü" ein genau stigmatisenes Bild der Quelle A für die strahlen mit der wellenlänge (1+m) /\o und (1+^I)(I0Zk. Die Aufnahmefläche, für das Spekbrum der Quelle A v/ird v/ie vorhergehend angeordnet.
In einer weiteren Abwandlungsforrn der Einrichtung wird die zu analysierende Quelle A im Punlct C" angeordnet. Man findet dann im Punkt D' ein genau stigmatiachea Bild dor Quelle für die Strahlen mit der Wellenlänge m^/k und im Punkt G" ein genau Dtigrr:atiaches Bild der Quelle für die Strahlen der Wellenlänge (1+m) /V0 und (1+m) /ig/k, Uementsprechend wird die Aufnahmefläche für das Spektrum angeordnete
Bei .Benutzung des konkaven Beugungsgitters des Beispiels 1
■ ' -10-
009840/1125. ■ BAD0R)GINAL'
und. bei Anordnung der zni analysierenden Quelle in der weise, dai'3 sie sich .im Krüicmungsmit.telpunlct der empfindlichen •Fläche des G-itters befindet, oder bei Anordnung gegenüber dem Gitter an der Stelle der anderen, zur Herstellung des u-itters benutzten Quelle oder bei Anordnung an einem konjugiert harnionischen Punkt dieses Ortes mit Bezug auf die Enden des ICugeldurchmessers, welcher als Erzeugende der .Eugelschale dient und durch diesen Ort hindurchgeht, erhält man unter axisgeseiclmeten Bedingungen das Spektrum dieser Quelle auf einer· Aufnahmefläche, welche vorzugsweise durch die verschiedenen möglichen Orte der zu a.nalysierenden Quelle-hindurchgeht.
Beispiel 2 .
Das G-i-tter ist eine Abwaiidlungsforni des Critters nach .Beispiel 1 aufgrund der 'Tatsache, daß diejenige der Puiiktquelleii, die sich nicht im ivrUKJUungGiai i;telpunii.t der raigelschale befindet, anstelle -der. Anordnung in einem beliebigen Punkt .auf dem Rowland-Jireiö des -'Gitters gelegen, ist, d.h, auf deiii Kreis, der in "-eXiicjr Ebce normal sur Kichtimg der S IrrieJie .Liegt iina -durch die Achse der iaigelsciiale hindurch— geht, welche die Striche trägt und deren Durchmesser gleich "dem Ivrüimnungnstrahl des Gitters ist,
1'1Ig,ι 4· Keigt eine spektrosko pis ehe Einrichtung, welche ein solches (r":Llter benntst. In dieser i''igur bei'eichnet JJ1 den
BAOORIGiNAL
ürt des Lrit ^un-^suittelpmrctes der Ku;: el schale des G-itters - b, G' ■ bezeichnet den ürt, an den sich, die zweite Qualle des (.litters "bei dessen. ..erstellnng befindet und der auf dem . itowland-Kreis (k). liegt,, der in gestrichelter Linie dargestellt ist; - - .. "
1''G-IIs die su analysierende quelle A .in. den. i'nnivt.3J\ g wird, zusätzlicli zu den "bereits im .Beispiel 1 erwähnten Bedin5unp;en, 'ergi-'b-t sich, daß der Ort der tangentieilen jrenni'lLichen. der quelle.-It-I1Ur die verschiedenen V.ellenlän'"en der Rowlaiid-Kreis ist, v/o bei die tangential en bilder völlig frei vom Koma sind. Der Ort der entsprechenden sagittalen ürennflachen ist die Sehne G1I)1,,
Anders ausgedrückt, falls diese üiiirichtmig mit einer "analogen Einrichtung verglichen wird, die mit einem bekannten G-itter ausgeführt ist, so ist festzustellen, daß punktförmige Abbildungen in G" und D1 auftreten, während bei dem bekannten Gitter, keine punktföriuigai Abbildungen auftreten, und daß zwischen diesen beiden Punkten der Astigmatismus geringer als der entsprechende Astigmatismus einer Einrichtung mit üblichem Gitter ist.
Eine fläche R zur Aufnahme des Spektrums wird auf dem Bogen C1D* angeordnet.
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BAD ORIGINAL
Da.s Gitter ist eine weitere Abwandlungsform des Gitters iiacli dem Beispiel 1 aufgrund der 'l'atsaclie, daiB die nicht im Klrümmungsmittelpxinlct der Kugelschale befindliche Quelle auf der die Kugelschale erzeugenden Kugel G- angeordnet ist. Tn einer dieses Gitter "benutzenden spektroskopischeii Einrich-. tung, siehe fig. 5, wird die zu analysierende Quelle A in den Kittelpunkt U1 der die iiugelscnale erzeugenden Kugel G oder in Autokollirnation in den Punkt C! auf der luigel gesetzt. Unter diesen Bedingungen erhält man in 0' ein. genau stigmatisches Bild der Quelle A für .die Strahlen mit der . Wellenlänge A.o/k oder 27L0Zk. Außerdem bleibt der Astigmatismus und das Koma für die zu G1 "benachbarten Punkte gleich. Null. Eine fläche R zur Aufnahme des Spektrums von der Quelle A wird derart angeordnet, daß sie durch die Punkte C iind. Ό' hindurchgeht. -, ... : - . :
Beispiel 4 :'..---■'■ ~~ - - . ■■ ;
Bei dem jetzt zu "bespreehenden Gitter sind wie hei dem ersten Beispiel die gleichphasigen Flächen Hyperboloide, die als Orte der Maxima der Lichtintensität "bei der Interferenz von zwei Bündeln auftreten, die aiis zwei punktförmigen Quellen kommen, welche in den Brennpunlcteii der Hyperboloide stehen. Die Fläche des Trägers hat wiederum die Fox'm einer Kugelschale und ist insbesondere dadurch gekennzeichnet, daß die Brennpunkte symmetrisch mit .Bezug auf die Gerade
009840/1125 "1^
r '.-.'-. BAD ORfGiMAL
angeordnet sind, welche: durch den KrüimnxmgsriittelpunJrt und den .".»crieitel dor iüigel schale hindurchgehto
ii'if;. f5 seift eine spektrosicopische'iiinricht'u.ng, die ein solches bitter enthält. Die zu analysierende Quelle A wird in den L-.ittelpunlct 0 der erzeugenden Kugel der -Schale des Gitters 3 gelebt; dadurch ist der ürt der tangentiellen 'brennflächen der ito>/if..nd-lCre'is (ii), der in gestricrielter Linie in der IJ'i^ur dargestellt ist. Der lComa-Pehler ist null Und der ürt der sagittal en .brennfläche ist die gerade 'i'angente in L"1 an den iiowland-^reis. iüine !«'lache R zur Aufnalime des
rums wird so angeordnet, daß sie sich genau der Krüm-/T aes hov/l^nd-Kreises ansahmiegt.
Zur jirlilut'jrunf; sind in dieser Jj'igur awei lnö^liche Orte 0' una 1)· für die .funictquellen dargestellt, die zur lüldung des fitters uenutzt werden.
beispiel 5
jJas erfindungsgexiiäße G-itter, bei welchem, wie bei den bereits besprochenen ueispieien, die gleichphasigen Ji'lächen Hyperboloide sind, v/ie sie an den Orten der Maxima der Lichtintensität oei der Interferenz von zwei Bündeln entstellen, die aus zwei punkfcförrriigen Quellen stammen, ist im besonderen auch dadurch geicennzeicnnet, daß der Träger die l'Orm einer Schale eines UindrehungsellipBoids hat, wobei der eine Brenn-, punkt gleichzeitig ein Brennpunkt des Ellipsoids ist.
- - . ,· ο . ■ BAD ORIGINAL
009840/1125 -H-
Die Pig, 7 zeigt eine neuartige spektroslcopisclie Einrichtung, welche mit Hilfe dieses ü-itters hergestellt werden kanne
In der Ji'igur bezeichnen die jrunlcte G1 .und D.1 die Orte, welche gegenüber dem G-itter S von den beiden punktfürmigen Quellen ζ „Zt. der Herstellung des G-itter s eingenommen v/erden. D1 ist dabei der Ort des einen Brennpunktes i\ des Ellipsoids. ■ Die zu lint ersuchende Quelle A wird an den Ort C gebracht» Man erhält am Ort des anderen Brennpunktes F? des Ellipsoids ein genau stigma/tisches Bild der Quelle A für die strahlen mit der Wellenlänge A0/k. Eine !''lache R für die Aufnahme des Spektrums der Quelle wird derart angeordnet, daß sie durch den Ort des Brennpiinktes P? hindurchgeht, z.B, auf der G-eraden CFp, wie dargestellt ist.
Bei.ST'iel/6 . ~ .... ■ , ■,
Er findung s gemäße G-itter, bei welchen die gleichphasigen ■ !•'lachen !Lsrperboloide sind, wie sie an den Orten der "maxima der Lichtintensität bei Interferenz von zwei Strahlen erhalten werden, die aus zxvei Quellen stammen, welche im Brennpunkt der Hyperboloide liegen, wie bei dem vorhergehenden Beispiel, können insbesondere auch dadurch gekennzeichnet sein, daß der Träger die l?orm einer Schale eines limdrehungsparaboloids hat, wobei einex* der tH'ennpunkte gleichzeitig Brennpunkt des Paraboloids ist." '
; ; \ . . BAD ORlGiNAL
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009840/112S
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Jfig. 8 zeigt eine neue spektroskopisehe Einrichtung, welche sich mit diesem Gitter herstellen läßt. In der Figur "bezeichnen C und D1 die Orte, welche die zwei punktfÖrmigen Quellen gegenüber dem Gitter einnehmen»
Falls die zu aial;/sierende Quelle A im Unendlichen auf der - ----Achse x'x des dem Gitter S entsprechenden Paraboloids liegt, erhält man am Ort G" von derjenigen der punktförmigen Quellen, die nicht im Brennpunkt des Paraboloids ist, ein stigmatische s Bild der Quelle A für die Strahlen mit der wellenlänge \o/\c.
Die Aufnahme!lache R für das Spektrum wird entlang einer Ebene durch den Punkt 0' angeordnet«,
Beispiel 7-
Ein G-itter wird hergestellt, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die gleichphasigen Flächen Ellipsoide sind, wie sie an den Orten der Maxima der Lichtintensität bei der Interferenz von zwei Bündeln erhalten werden, die aus zwei, punktföriaigen Quellen kommen, welche in den Brennpunkten des Ellipsoids angeordnet sind.
Fig. 9 erläutert ein bevorzugtes erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung eines solchen Gitters. Dieses Verfahren ist €aturch gerennte Ichnet, daß eine der beiden punktformigeu Quellen C und. "JJ zur .Bildung des (fitterc, z.B. "die Quelle D,
00 9840/1125 -1
: BAD
ein stigimtisc^GS jjild einer punlrtf criHlgen\ ^ug-IU-.o- I-ist, welche durch den träger des ü-itte.rs -j hindurch τ-χτ r.iiie einer i'ptifc k ein jjild er.1S engt. VIe -uellG ϊ und eie O^til·: :?ur .jirseugung des Jjildes können mit Bezug aiii diesen !'rager auf derselben oeite \^ie die andere puiu-:tiörL.ige quelle ö oder auf der anderen Seite liegen, wie in. der. dar-;estell üen ι EaIl ο
unter diesen umständen sind die gleichphasigen flächen Elliiosoide'mit den "-Brennpunkten 0 und jj„ jjiese !''lachen erlauben die-Bildung von G-ittern mit hoher -.v'irksarÄeit. Das ¥erh:.ltnls der lichtintensität des pobeugten Liclitstromes zu derjenigen des von der zu analysierenden g.uexle .aus^esandten Liciit fluss es ist v^rhältnisitiäiSi^ groß.
'/axt Ausführung einer speictrosicopischen 2inricht%-n^ mit die- sew Gitter wird die su -untersuchende polyehromatlsche üuelle": A an den Ort von einer der beiden Quellen G und D gebracht. i-Ian .erhi-.ilt: deääi am· Ort der anderen uuelle ein genau stigmatiöches Bild"der Quelle A für die Strahlen der. wellenlänge Ac/k, unabhängig von-der Form des Gättei-trägers und der Lage, dieser Orte mit üesug auf das Gitter.. Es stent deimach eine große ia;eite dafür ."sur Verfügung, Um das Gitter gegenüber . ' ■ der su analysierenden Quelle und der Aufiiahmeflache des bpektruias ;der das Gittei? ürneugendeii Quelle anzuordnen.
. : : BAOORiGlNAL
.·■"■'■ :■■■■■■■■■'■■ . - -17"
OJ09840/1125
Gritter,, bei welchem die gleichphasigen !'"'lachen umdrehiingsoaraboloide sind, wie sie als Orte der kaxiina der iiiclitinteiisität bei der Interferenz zweier .Bündel erhalten werden, die aus zwei punktförmigen quellen kommen, von denen die eine im unendlichen gelegen ist, kann auf einem Träger in Form einer --.upelschale hergestellt werden, wobei die andere aer ■ quellen im xCrümmungs:.:ittelpunkt der ,Schale gelegen ist„
iri{f. 1u zei"t schematisch eine neue spektroskopis-che üiinrichtuiv·;, die nix diesem ü-itter. ausgestattet ist. In der rirmr bezeic/men (J' una U1 die urte, welche die beiden punictförmifcen quellen einnehmen, nämlich den Krürjunun^ümittelpuiiiCt üer Ku---oischale und einen Ort im ünenülichen in einer Kicittun^, die einen V/inkel flfmit der Achse der xaigeLschale bildet.
unter der Voraussetzung, daß die zu analysierende Quelle A sich in Jj' befinaet, erhält man in 0' ein genau stigmatiscnes jjild der 'quelle A für die strahlen mit der Wellenlänge ^0/k und in der iiachbarschaft von 0" ein tl.ild, das frei von Astigmatismus und Koma ist. Mrie !''lache K zur Aufnahme des Spektrums der Quelle v/ird so angeordnet, daß sie durch den Puntrfc C1 hindurchgeht. In der dargestellten Einrichtung ist diese Jj'läche in 0" genau parallel zur Richtung der anderen Quelle im Unendlichen.
009840/1125 : BAD original
BeisOiel_9 V -. .„
Es wird ein G-itter hergestellt, bei welchem, wie 'bei dem vorhergehenden Beispiel, die gleichphasigen Flächen Umdre— hungsparaboloide sind, wie sie als ürte der Maxima der Lichtintensität bei der Interferenz von zwei Strahlenbündel erhalten werden, welche aus zwei punktfarmigen Quellen stammen, von denen die eine im Unendlichen gelegen ist. Das G-itter ist im besonderen dadurch gekennzeichnet, daiS der '!'rager die Form einer Sehale eines ümdrehungsparaboIoides hat, wobei die im Unendlichen befindliche Quelle auf der Achse des entsprechenden Paraboloides liegt.
Fig.. 11 zeigt vereinfacht eine neue spektroskopische Einrichtung, die mit diesem G-itter herstellbar ist. In der 'Figur bezeichne "fr D-'1 den Ort im unendlichen der im ü'nend- liehen, gelegenen Quelle auf der Achse des entsprechenden ~ "Ύ· Paraboloids des.Gitters B. O1 bezeichnet den beliebigen Ort der anderen Quelle, -
Wenn die zu analysierende·polychromatische Quelle A an den Ort C gebracht wird, erhält man im Brennpunkt F des Paraboloids ein stigmatisches üild der Quelle für die Strahlen der Wellenlänge^0/Ic. Eine Aufnahmefläche R für das Spektrum der Quelle wird so angeordnet, daß sie durch diesen Brennpunkt hindurchgeht' und im Fall der dargestellten Einrichtung die -Richtung FC» hat. BAD QRIGiIMAL ■■-■■ ■■"■.' " ■ ; ' - :/ - -19- ;
009840/111S
■Beispiel 10
Us wird ein Gitter hergestellt, bei welchem die gleichphasigen Flächen Kugelschalen sind, wie sie als Orte der Maxima der Lichtintensität "bei der Interferenz; zweier Bündel erhalten werden, die aus zwei punktförmigen Quellen stammen, die im gemeinsamen Hitte'lpunkt der Kugels.chalen vereint liegen« Eine der "beiden Quellen ist ein'Quellenbild» -
Pig. 12 zeigt ein erfindungsgemäßes "Verfahren zur Herstellung dieses Gitters. Mach dem "verfahren wird eine der "beiden Quellen, etwa die Quelle D, dadurch erhalten, dai3 am Ort der anderen Quelle, der Quelle G, das Bild erzeugt wird, das eine Optik zur Herstellung des Bildes durch den iOräger des Gitters S hindurch von einer Quelle I liefert.
Die Punkte C und D sind demnach der gemeinsame Brennpunkt von zwei im umgekehrten Sinne konvergierenden Bündeln,,
Mne spektroskopische Einrichtung, die sich mit diesem Gitter herstellen läßt, ist in !'ig. 13 cargestellt. Das Gitter S wird darin durch eine "Kugelschale gebildet,, die den Krürümungsmittelpunkt ü hat.'-In der idgur bezeichnet der "Punkt G-*D* den gemeinsamen Ort, \tfelchen mit Bezug auf das Gitter die beiden Quellen G und D einnehmen. Der Punkt C11D", bezeichnet den konjugiert harmonischen Punkt zum Punkt G1D1 mit Bezm^ auf die üiiden des durch den 'Punkt G1D1 gehenden Durchmesser der Ku^gI G, welche die ilup;olscliale erz.eugt, wobei, das harmonische- "Verhältnis 2m-1 ist«
009840/1125 _m_
Falls in O die ζϊι analysierende poljrchromatische Quelle A angeordnet wird, erhält man von dieser Quelle ein vollkommen stigmatisches Bild in O1I)' für Strahlen mit der wellenlänge A0/2k und ein vollkommen stigmatisches Bild in für Strahlen der Wellenlänge (m-1/
Palis die U)uelle A in C1B1 angeordnet' wird,- erhält man von dieser Quelle ein vollkommen stigma/fcisehes "Bild, in 0 für Strahlen der wellenlängeX0/2k, ein- vollkommen stigrnatis.ches Bild in CD' für die Strahlen der Welleiilänge(Xc/-K und in G11D" ein vollkommen stigmatisches Bild für die Strahlen der Wellenlänge
Es ist überdies zu "bemerken, daß, falls das G-itter um eine senkrechte Achse gedreht wird, die- rechtwinklig . zur !ibene der i'lgut ist, sich der Stigma ti smus in Autokollimation im Punktö1D' erhält« ; . - -
Eine Aufnahmefläche für das von dem Gatter gelieferte Spektrum wird so angeordnet, daß sie durch die Punkte- G1D1, C1D" und 0 hindurchgeht. · ; . :
Beispiel ; 11 -:. ; .
Die in den vorstehenden Beispielen beschriebenen G-itter sind auf konkaven i'rägers angeordnet. Die ifirfindung gestattet jedoch auch, ebene liitter mit gleichfalls sehr bro-üchbaren Eigenschaften hersustellen. BADORIGiNAL
■ ' ■ ." : ■■■■■■- ■ ' '. ■ ■'.-■■■- ■'■..'■. -2-1-
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z-o.be kann ein dritter'hergestellt werden, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die gleichphasigen Flächen Flächen zweiten trades (-Paraboloide, Ellipsoide oder Hyperboloide-) sind und der vrH/jor dec G-itters eine ebene i'orm hat, wobei, eine der ■jueJ-3.G:.i ira unendlichen auf einer senkrecht zur Ebene des '.fitters stehenden .achse angeordnet ist.
i'igo 14 zeigt eine spektroskopische Einrichtung, die mit diesem '.fitter ausgestattet ist. Die zu analysierende Quelle wird derart angeordnet, daß sie sich im unendlichen auf derselben Achse t.vzz wie die oben erwähnte befindet, es herrscht dann Stigmati.sraus am ürte U1 der anderen lierstellungsquel-Ie fur das Critter, d.h. einem beliebigen Ort far die Strahlen der yel3-enlange/V0/k. j)er Astigmatismus bleibt sehr "chv/acn fur die übrigen .; ellenlangen.
J^Gi- S-Q Je-I-1 J 2;
a^Jin v/eiterec ■ Beispiel für ein Gitter mit sehr brauchbaren Eigenschaften ist nach der Erfindung ein solches, bei weichein die gleichphasigen !'lachen von flächen zweiten Grades abweichende Flächen sind, wie solche, die an den Orten der Iiaxima der Lichtintensität bei der interferenz von zwei Bündeln erhalten v/erden, die von zwei punktförmigen Quellen stammen, wobei eines der beiden Bündel dadurch modifiziert wird, daß in das Bündel eine Platte mit bestimmter Phase eingefünrt wird.
-22-
BAO ORIGINAL
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Das unter diesen Bedingungen hergestellte Gitter erlaubt die Kompensation der Aberrationen eines optischen Systems, für das es bestimmt ist»
Als Beispiel wird nachfolgend die Merstellting und Verwendung eines Gitters erläutert, das zur Korrektur der sphärischen Aberration eines spektrographischen Objektivs mit großer Öffnung bestimmt ist,
'■■■'" ' . .
Die "!''ig..· 15-erläutert das Herstellungsverfahren für das Gritter und die Fig. -16 zeigt vereinfacht die spektroskopische Einrichtung, für die es bestimmt ist.
In der Fig. 15 bezeichnen G und I) die zwei quellen der Bündel, welche in der Schicht interferieren, die auf dem-!'rager -des .Gitters S'liegt. Der !'rager hat in diesem Beispiel die Form einer Kugelschale0 In das von der Quelle D stammende Bündel wird eine Schmidt-Platte L gesetzt, die eine bestimmte Phasenverschiebung einführt. Die.Quelle G liegt im Unendlichen,
Die Fig. 16 zeigt eine spektroskopische Einrichtung, welche das Gitter nach Fig. 15 benutzt. Von der im Unendlichen gelegenen, zu analysierenden Quelle A gibt das G-itter S ein Bild, dessen Erzeugungsbündel durch den Spiegel M abgefangen ,wird, welcher im Endlichen ein Bild gibt, das in B zu beobachten ist und das mit Bezug auf die sphärische Aberration korrigiert ist. BAOORIGiNAL
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Jis liegt auch, im Erfindiingstiereich, mehrere Gritter auf demselben träger zu erzeugen, indem man sie kreuzt, z.B. indem die zwei Quellen in einer ersten Lage und dann um 90° zur ersten Lage geändert angeordnet werden« Die erfindungsge— mäßen G-itter können auch, von Originalen ausgehend, durch Kopierverfahren reproduziert werden, die häufig für die Herstellung von ü-ittern "benutzt werden. Sie können metallisiert v/erden, um mit Reflexion arbeitende Beugungsgitter herzustellen. Der Begriff Gitter "bezieht sich demnach sowohl auf die Originale wie auf Kopien oder auch auf metallisierte Gitter.
Patentansprüche:
-24- ·
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BAD ORIGtNAIi

Claims (1)

  1. P a t e η ta η s ρ r ü c h e
    ft ο, !Beugungsgitter, bestehend aus einem i'räger, der .auf einer empfindlichen Fläche. die Gitterstriche trägt, dadurch ge-
    . "" kennzeichnet,, daß- diese G-itterstriphe im Schnitt der.. .a ... Fläche des !Trägers mit einer Schar Flächen liegen, die geometrisch wie gleichphasige Flächen 'sind, welche an den Orten der Maxima der Lichtintensität bei der Interferenz zweier Bündel erhalten werden, welche aus zwei punktförmigen Quellen stammen. "
    2„ Gitter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die empfindliche Fläche des Trägers die Form einer Kugelschale hat und daß die Flächenschar eine Schar Hyperboloide ist, wie sie als Orte der Maxima der Lichtintensität bei der Interferenz yon zwei Bündeln erhalten werden, welche aus zwei punktförmigen Quellen stammen, die in den Brennpunkten der Hyperboloide angeordnet sind, wobei der eine -Brennpu.nkt im Krümmungsmittelpunkt der Kugelschale liegt. (Fig. 2) x
    3. Gitter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der andere der Brennpunkte auf dem Rowland-Kreis des Gitters liegt (Fig. 4). - ::
    4. Gitter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der andereBrennpunkt auf der die Kugelschale erzeugenden
    BAD ORIGINAL
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    ■ ' 25
    Kugel liegt (I1Ig. 5).
    5. G-ltter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die empfindliche Fläche des i'rägers die Form einer Kugelschale hat und daß die i'lächenschar eine Schar Hyperboloide ist, wie sie als Orte der Maxima der lichtintensität bei der Interferenz zweier !Bündel erhalten werden, welche aus zwei punktförmigen Quellen stammen, die in den Brennpunkten der Hyperboloide angeordnet sind, wobei
    - die Brennpunkte symmetrisch mit Bezug auf die G-erade angeordnet sind, welche durch den Krümmungsmittelpunkt und den Scheitel der Kugelschale hindurchgeht. (j?ig. 6)
    6. G-itter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die empfindliche li'läehe des I'rägers die !»'orm einer Schale eines liradroimngsellipsoids hat und daß die Jt'lächenschar eine Schar Hyperboloide ist, wie sie als ürte der Maxima der Lichtintensität bei der Interferenz zweier Bündel erhalten werden, welche aus zwei punktfürinigen Quellen stammen, die in den Brennpunkten der Hyperboloide liegen-, v/obei der eine Brennpunkt gleichzeitig ein Brennpunkt des Ellipsoids ist (Mg. 7).
    7. Gitter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die empfindliche ü'läohe des 'i'rägers die Form einer Schale eines Umdrehungsparaboloides hat und daß die fflächenschar eine Schar Hyperboloide ist, wie sie als Orte dor Maxima
    -26-
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    der Lichtintensität bei der Interfereiiz zweier Bündel erhalten werden, die aus zwei piinktförmigem. Quellen stammen, die in den Brennpunkten der Hyperboloide liegen, wobei der eine der .Brennpunkte gleichzeitig der ürenn- > punkt des Paraboloids ist (l'ig. 8).
    8. Gitter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ]?lächenschar eine Schar Ellipspide ist, wie sie als Orte
    fc der Maxima der Lichtintensität bei der Interferenz zweier Bündel erhalten werden, welche aus zwei praiktförmigen Quellen stammen, die in den-Brennpiinkten der Ellipsbide liegen (i|lig. 9).
    9. Gitter nach Anspruch 1, dadxirch gekennzeichnet, daß die ' - empfindliche !fläche des i'rä-sers die Eorn einer ivtisel-
    schale hat und daß die Jj'lächenschar eine ischar omdrehungsparaboloide ist, wie sie als Orte der kaxiiiuader Lichtintensität bei der Interferenz zweier Strahlen—-— bündel erhalten werden, die ans zwei puinlctrörmifieii Quellen stammen, von denen die eine im üneaidlichen iind die andere im KrUmnmngsmittelpunlct der KiiiTelschale liegt ·
    (Mg. 10).
    10, Gitter nach Anspruch 1, dadurch gekeniiseielinet, iaiii die empfindliche !'lache des .'i'rägers die !»'orffi. eines 'Uli*Lx*e— hungsparaboMds hat und daß die flächenachar eine öeliar Qmdrehungsparaboloide ist, wie sie als Orte der Maxima
    . BAD ORIGINAL
    ..'■■■■ . ■'■■" .■:■■■:'.. ■ ■ ■■ ■ -a?-.
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    der Lichtintensität "bei der Interferenz zweier Strahlenbündel erhalten werden, die aus zwei punktf örmigen Quellen starben, von denen die eine im unendlichen auf der Achse des !Paraboloids lie^t, welches die Porm -der !'lache des' i'ragers bildet (Fig. 11 )o
    11. Gitter nach Anspruch. 1, dadurch gekennzeichnet, daß die . Flächeiischar eine Schar Kugelflächen ist, wie sie als Orte der ilaxima der Lichtintensität hei der Interferenz zweier Strahlenbündel erhalten werden, die aus zwei punktf örmigen Quellen stammen, von denen eine eine !Bildquelle ist ttttd die im gemeinsamen Hittelpunkt der Kugel zusammenfallen (Fig. 12).
    12. Gitter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die empfindliche.Fläche des Erägers die Form einer Ebene hat und daß die Flächenschar eine Schar von Flächen zweiten Grades ist, wie sie als Orte der Maxima der Lichtintensität "bei der/ Interferenz zweier Strahlenbündel erhalten v/erden, die von zwei punktförmigen Quellen stammen, von denen die eine Quelle im Unendlichen auf einer Achse liegt, die rechtwinklig zur Ebene steht (Fig. 14)»
    13· Gitter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächenschar eine Schar von von Flächen zweiten Grades abweichenden Flächen ist, wie sie als Orte der Maxima der Lichtintensität bei der Interferenz zweier aus zwei
    009840/1125 badob'ginal
    .' . punktf öriaigen Quellen stammender Iföndel· erlmlten werden, von .denen- das eine Bündel durch Einführung einer Phasenpla-tte in das Bündel abgewandelt ist, (Fig. *I5)
    14. Verfahren zur Erzeugung „eines Beugungsgitters,, dadurch gekennzeichnet, daß auf.einer optisch polierten Fläche eines\Trägers eine Schicht gleichförmiger Dicke eines photopolymerisierbaren Harzes aufgebracht und dieses Harz örtlich durch Einwirkung der Energie polymerisiert wird, welche auf den Interferenzflächen zweier Lichtstrahlen konzentriert ist, die aus zwei kohärenten Quellen stammen, so daß ein Teil des Harzes polymerisiert wird und ein ergänzender Teil des Harzes unpolymerisiert -bleibt, worauf einer dieser 'Teile entfernt wird, um dadurch die Üitterstriche zu bilden.
    15· Verfahren nach Anspruch 14> dadurch" gekennzeichnet, daß eine Schicht mit einer Dicke von weniger als ungefähr 2 Mikron abgelagert wird. .--..■·,-■ . -
    16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste örtliche Polymerisation ausgeführt und die Lage der Quellen verändert wird, um eine zweite örtliche Polymerisation auszuführen, so daß ein Gitter mit gekreuzten Gitterstrichen entsteht. . ;.;■■■ :
    17. Verfahren nach Anspruch 14 zur Erzeugung eiiies'.' Gitters
    , nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet j daß!die eine dex
    ; ■■-,■-■.■. BAD
    ■ 009840/1125 -■
    ^Quellen das stigmatisehe Bild einer punktförmigen Quelle
    ist, und;das Bild durch den Träger des Gitters hindurch erhalten «Wird.
    18.. Verfahren nach Anspruch 14 zur Erzeugung eines Gitters nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die eine der Quellen durch das Bild einer punktförmigen Quelle gebildet wird, das am Ort der anderen Quelle erzeugt wird,
    19. Verfahren nach Anspruch 14 zur Erzeugung eines Gitters nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Phasenplatte im Weg des einen Bündels angeordnet ist.
    20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Phasenplatte eine Schmidt-Platte ist.
    2t« Gitter, hergestellt durch ein Verfahren nach Anspruch 14» 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Intervalle zwischen den Gitterstrichen verschieden sind.
    22, Spektroskopische Einrichtung zur Untersuchung einer . polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein Gitter nach Anspruch 2, welches 30 angeordnet ist, daß die zu analysierende Quelle sich an einem Ort befindet, der aus den Orten der Brennpunkte und dem Ort eines Punktes
    ausgewählt ist, der zu dem nicht im Krümmungsmittelpunkt liegenden Brennpunkt mit Bezug auf die Enden des durch den letzterwähnten Brennpunkt gehenden Durchmesser der die Schale erzeugenden Kugel konjugiert harmonisch ist.
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    23. Spektroskopische Einrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß eine Aufnahmeeinrichtung für das Spektrum der zu analysierenden Quelle an wenigstens einem der erwähnten Orte angeordnet ist. '
    24. Spektroskopische Einrichtung zur Untersuchung einer polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein G-itter nach Anspruch 3f das derart angeordnet ist, daß die zu untersuchende Quelle sich im Krümmungsmittelpunkt "befindet (Mg. 4). , -■'.-■-
    25. Spektroskopische Einrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Aufnahmeeinrichtung für das .Spektrum der zu analysierenden Quelle in wenigstens einem der Orte der Brennpunkte angeordnet ist.
    26. Spektroskopische Einrichtung zur Untersuchung einer polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein Gitter nach Anspruch 4» das so angeordnet ist, daß die zu untersuchende Quelle an einem beliebigen der Orte der Brennpunkte liegt (Fig. 5).
    27. Spektroskopische Einrichtung nach Anspruch 26, gekennzeichnet durch wenigstens eine Aufnahmeeiiirichtung für das Spektrum der zu untersuchenden Quelle am Ort desjenigen der Brennpunkte, der auf der Kugelschale liegt«
    ■■.'■'■■'■'■''.:'■ - : -31-
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    28. Spektroskopische Einrichtung zur Untersuchung einer polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein G-itter nach Anspruch 5, das derart angeordnet ist, daß die zu untersuchende Quelle sich im Krümimingsmittelpunkt "be- findet (Pig. 6).
    29. Spektroskopische Einrichtung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß eine Aufnahmefläche für das Spektrum der Quelle auf einem Bogen des Rowland-Kreises des Gitters angeordnet ist„
    30. Spektroskopische Einrichtung zur Untersuchung einer polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein G-itter nach Anspruch 6, das so angeordnet ist, daß die zu aaalysierende Quelle sich am Ort des anderen der erwähnten Brennpunkte "befindet (iig. 7).
    31. Spektroskopisehe Einrichtung nach Anspruch 30, gekennzeichnet durch eine Aufnahmeeinrichtung für das Spektrum, die an wenigstens einem der Orte der Brennpunkte angeordnet ist.
    32. Spektroskopische Einrichtung zur Untersuchung einer polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein G-itter nach-Anspruch 7» das derart angeordnet-ist, daß die zu analysierende Quelle sich im Unendlichen auf der Achse des erwähnten 3?ara"boloides "befindet (S1Xg.'8),
    -32-
    009840/1125
    55* Spektroskopische J3ir.irich.tung nach _..:.isprucfi ;52, gekennzeichnet durch eine ^inrichtimg ciir >aifnak;_e des Spek-Trums, die am Ort desjenigen der Brennpunkte angeordnet ist, der .nicht Brennpunkt des iaraholoids ist«
    34* Spektroskopische Jiinrichtung sur untersuchung einer .. polychromatischen yuelle, gekennzeichnet durch ein--Gritter nach Anspruch-6, bei irelcher.] die .'.,uelle an einem beliebigen der Orte der erwähnten Brennpunkte angeordnet ist (JkLg* 9). ■ ' .
    35» Spektroskopische Einrichtung nach Anspruch 34, gekennzeichnet durch eine Aufnahmeeinrichtung-für"-die Quelle in demjenigen, der itete5 der -ύοά üvt der erv/clhnten Quelle Terschieden ist *. .- . . - .
    36, Spektroskopisclie Sliiirichtting atir Untersuchung einer - . ; polychröinatisciien .Quelle > gekennzeichnet dux'ch ein Grit— ter nach Anspruch 9, das derart angeordnet ist, daß die ■-.- zu untersuchende Quelle sich im Une-Tidlichen in dersel— - ben Richtung wie die im Hiiendlicheii gelegene punkt- -. förmige.Lichtquelle befindet(Pig, 10).
    57* Spektrosköpisßhe Jöinrichtimg naoh Anspruch 36, gekenn- ; -_ : zeichnet durch eine ilujinahineeiiirichtung für das Sjiektrum am Ort des erwähnten Mittelpunktes*; ·___.„. ,
    00f8407112S
    33. Spektroskopieehe Einrichtung zur Untersuchung, einer polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein-Gitter nach Anspruch 10, bei welchem die zu analysierende Quelle im brennpunkt des Paraboloids liegt (1'1Ig0 11')»
    39. Spektroskopische Einrichtung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß eine Aufnahmeeinrichtung für das Spektrum der zu analysierenden Quelle am Ort des Brennpunktes der Paraboloide angeordnet ist;
    40e Spektroskopische Einrichtung zur untersuchung einer polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein Gritter nach Anspruch 11, dessen !'lache die Form einer Kugelsohale hat und das so angeordnet ist, daß die zu untersuchende Quelle sich an einem Ort befindet, der unter den Orten des Krümmungsmittelpunktes der Kugelschale und des gemeinsamen 'Mittelpunktes.' ausgewählt ist.
    41. Spoktrostopische Einrichtung nach Anspruch 40, gekennzeichnet durch eine Aufnahmeeinrichtung für das Spektrum der Quelle an wenigstens einem der Orte des Krümmung^- mittelpunktes, des gemeinsamen Mittelpunktes und eines Punktes, der zu dem gemeinsamen Mittelpunkt mit Bezug auf die lönden des durch diesen gemeinsamen Mittelpunkt hindurchgehenden Ifurchmesaers der die Kugeischale: erzeugenden Kugel konjugiert harmonisch ist (Jj'igY 15)·
    0008407*125
    -54-
    BAD ORIGINAL
    ο Spektroskopische Einrichtung ztir Untersiichiing einer
    . polyehromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein Gitter nach Anspruch 12, das so angeordnet ist, daß die zu analysierende Quelle sich im Unendlichen auf der erwähnten, senkrecht zur Gitterebene stehenden Achse befindet» (Figo 14) ■
    43. Spektroskopische Einrichtung nach Anspruch 42, gekenn-zeichnet durch eine Aufnahmeeinrichtung für das Spektrum
    der zu analysierenden Quelle am Ort desjenigen der beiden punktförmigen Quellen, der nicht im unendlichen
    liegt*
    44. Spektroskopische Einrichtung zur Untersuchung einer polychromatischen Quelle, gekennzeichnet durch ein fritter / nach Anspruch 13 zur Korrektur der sphärischen Aberration des Objektivs des Spektrographen»
    BAD ORIGiNAL
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2656119A1 (de) * 1975-12-10 1977-06-23 Instruments Sa Spektrograph
DE3447697A1 (de) * 1983-12-30 1985-07-11 Centre National De La Recherche Scientifique (C.N.R.S.), Paris Monochromator mit telezentrischem, lichtstreuenden objektiv

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3973850A (en) * 1972-04-21 1976-08-10 Agence Nationale De Valorisation De La Recherche (Anvar) Focalization process of spherical concave diffraction gratings
US4036558A (en) * 1972-04-21 1977-07-19 Etablissement Public: Agence Nationale De Valorisation De Recherche (Anvar) Focalization process of spherical concave diffraction gratings
FR2239674B1 (de) * 1973-08-03 1976-04-30 Jobin & Yvon
FR2240445B2 (de) * 1973-08-06 1976-05-07 Jobin & Yvon
FR2431141A1 (fr) * 1978-07-10 1980-02-08 Thomson Csf Source de rayonnement optique comprenant un laser semi-conducteur et des moyens d'anamorphose du faisceau emis par ce laser
JPS56137233A (en) * 1980-03-31 1981-10-27 Japan Atom Energy Res Inst Diagonal incidence spectroscope
US4455088A (en) * 1982-02-10 1984-06-19 Shimadzu Corporation Monochromator with concave grating
US4578804A (en) * 1984-05-30 1986-03-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Polynomial grating
US4794585A (en) * 1986-05-06 1988-12-27 Lee Wai Hon Optical head having a hologram lens and polarizers for use with magneto-optic medium
US4905216A (en) * 1986-12-04 1990-02-27 Pencom International Corporation Method for constructing an optical head by varying a hologram pattern
EP0270700B1 (de) * 1986-12-09 1992-05-27 Shimadzu Corporation Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Holograms
US5052766A (en) * 1986-12-11 1991-10-01 Shimadzu Corporation Halographic grating and optical device incorporating the same
US4830493A (en) * 1987-10-29 1989-05-16 Beckman Instruments, Inc. UV scanning system for centrifuge
US4919537A (en) * 1987-10-29 1990-04-24 Beckman Instruments Inc. UV scanning system for centrifuge
US4921350A (en) * 1989-02-10 1990-05-01 Beckman Instruments, Inc. Monochromator second order subtraction method
US5644396A (en) * 1995-06-20 1997-07-01 Hewlett-Packard Company Spectrograph with low focal ratio
US6527880B2 (en) * 1998-09-04 2003-03-04 Darryl D. Amick Ductile medium-and high-density, non-toxic shot and other articles and method for producing the same
US7265827B2 (en) * 2001-09-07 2007-09-04 Horiba Jobin Yvon, Inc. Double grating three dimensional spectrograph with multi-directional diffraction
US6952260B2 (en) 2001-09-07 2005-10-04 Jian Ming Xiao Double grating three dimensional spectrograph
US7812949B2 (en) 2007-10-17 2010-10-12 Horiba Jobin Yvon Inc. Spectrometer with cylindrical lens for astigmatism correction and demagnification
FR2938059B1 (fr) 2008-11-03 2011-03-11 Horiba Jobin Yvon Sas Spectrometre imageur de type dyson de qualite image amelioree et a faible distorsion.
US8773659B2 (en) 2012-01-13 2014-07-08 Roper Scientific Inc. Anastigmatic imaging spectrograph

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3523734A (en) * 1967-12-18 1970-08-11 Fisher Scientific Co Diffraction grating spectrometer wherein the grating has first and second groups of grooves

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2656119A1 (de) * 1975-12-10 1977-06-23 Instruments Sa Spektrograph
DE3447697A1 (de) * 1983-12-30 1985-07-11 Centre National De La Recherche Scientifique (C.N.R.S.), Paris Monochromator mit telezentrischem, lichtstreuenden objektiv

Also Published As

Publication number Publication date
DE1948961B2 (de) 1976-10-14
FR2036613A5 (de) 1970-12-24
GB1290184A (de) 1972-09-20
DE1967039A1 (de) 1976-12-09
US3628849A (en) 1971-12-21

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