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Número de publicaciónDE19517969 A1
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudDE1995117969
Fecha de publicación30 Nov 1995
Fecha de presentación16 May 1995
Fecha de prioridad27 May 1994
También publicado comoDE19517969C2
Número de publicación1995117969, 95117969, DE 19517969 A1, DE 19517969A1, DE-A1-19517969, DE19517969 A1, DE19517969A1, DE1995117969, DE95117969
InventoresShingo Abe, Kenji Ohta, Tetsuya Inui, Hirotsugu Matoba, Susumu Hirata, Yorishige Ishii, Shigeo Terashima
SolicitanteSharp Kk
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos: DPMA, Espacenet
Ink jet printer head
DE 19517969 A1
Resumen
The print head (10) has a chamber (5) with an inner vol. filled with ink (100), an ink ejection aperture (5a) and an ink delivery aperture (5b) connected to the inner chamber. Several inflatable bodies (1) are arranged in the inner chamber between the apertures to place the ink under pressure. An inflation device is connected to the inflatable bodies. The chamber has a first and second opposing inner surface section with the inner vol. between them. A first inflatable body is attached to the first inner surface section via an attachment (3). The second inflatable body is connected (3) to the second inner surface section so as to face the first inflatable body. When voltage is applied (9) the inflatable bodies expand but are restricted by the attachments, hence exerting pressure on the ink.
Reclamaciones(17)  traducido del alemán
1. Tintenstrahlkopf mit einer Kammer ( 5 ) mit einem mit Tinte ( 100 ) gefüllten Innenraum sowie einer Tintenausstoß öffnung ( 5 a) und einer Tintenzuführöffnung ( 5 b), die mit dem Innenraum verbunden sind; 1. An ink jet head comprising a chamber (5) filled with an ink (100) interior space, and an ink ejection port (5 a) and an ink supply port (5 b) which are connected to the interior;
gekennzeichnet durch characterized by
  • - mehrere sich ausbeulende Körper ( 1 ) im Innenraum zwischen der Tintenausstoßöffnung und der Tintenzuführöffnung, um die Tinte unter Druck zu setzen; - A plurality of bulging body (1) in the interior space between the ink ejection orifice and the ink supply port, to set the ink under pressure; und and
  • - eine Ausbeuleinrichtung, die mit den sich ausbeulenden Körpern verbunden ist, um diese auszubeulen. - A Ausbeuleinrichtung connected with the bulging bodies to bulge them.
2. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß 2. An ink jet head according to claim 1, characterized in that
  • - die Kammer ( 5 ) einen ersten und einen zweiten Innenflä chenabschnitt aufweist, die einander gegenüberliegen, wobei der Innenraum dazwischenliegt; - The chamber (5) has a first and a second Innenflä face portion having the opposite to each other, wherein the interior space therebetween; und and
  • - die sich ausbeulenden Körper ( 1 ) einen ersten und einen zweiten sich ausbeulenden Körper umfassen; - The bulging body (1) comprise a first and a second bulging body;
  • - wobei der erste sich ausbeulende Körper mit einem einge fügten Befestigungsteil ( 3 ) am ersten Innenflächenabschnitt befestigt ist; - The first of which bulging body is attached with an inserted fastening part (3) on the first inner surface portion; und and
  • - wobei der zweite sich ausbeulende Körper mit einem einge fügten Befestigungsteil am zweiten Innenflächenabschnitt so befestigt ist, daß er dem ersten sich ausbeulenden Körper zugewandt ist. - The second is bulging body is secured with an inserted fastening part on the second inner surface portion so that it faces the first bulging body.
3. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich net, daß der Innenraum über einen zweiten und einen dritten Bereich verfügt, die den ersten Bereich zwischen dem ersten und zweiten sich ausbeulenden Körper ( 1 ) einbetten; 3. An ink jet head according to claim 2, characterized in that the inner space has a second and a third region which sandwich the first portion between the first and second bulging body (1);
  • - wobei der zweite und der dritte Bereich so liegen, daß sie voneinander in einer Richtung beabstandet sind, die recht winklig zu derjenigen steht, in der sich der erste und der zweite ausbeulende Körper ausbeulen; - The second and the third area so located that they are spaced apart in a direction that is right angle to the one in which the first and second bulge bulging body;
  • - die Tintenzuführöffnung ( 5 b) so ausgebildet ist, daß sie mit dem zweiten Bereich verbunden ist; - The ink supply port (5 b) is formed such that it is connected to the second region; und and
  • - die Tintenausstoßöffnung ( 5 a) so ausgebildet ist, daß sie mit dem dritten Bereich verbunden ist. - The ink ejection port (5 a) is formed so that it is connected to the third region.
4. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich net, daß 4. An ink jet head according to claim 3, characterized in that
  • - die Kammer ( 5 ) über einen dritten Innenflächenabschnitt verfügt, der sich von den Umfangskantenabschnitten des er sten und zweiten Innenflächenabschnitts in einer Richtung erstreckt, in der sich der erste und der zweite ausbeulende Körper ( 1 ) ausbeulen, und der den ersten und den zweiten In nenflächenabschnitt miteinander verbindet; - The chamber (5) via a third inner surface portion has, to that of the peripheral edge portions of he most and second inner surface portion in a direction extending in which the first and second bulging body (1) to bulge, and the first and second In nenflächenabschnitt ties together;
  • - die Tintenzuführöffnung ( 5 b) so ausgebildet ist, daß sie durch den ersten oder zweiten Innenflächenabschnitt geht; - The ink supply port (5 b) is formed such that it passes through the first or second inner surface portion; und and
  • - die Tintenausstoßöffnung ( 5 a) so ausgebildet ist, daß sie durch den dritten Innenflächenabschnitt geht. - The ink ejection port (5 a) is formed so that it passes through the third inner surface portion.
5. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich net, daß die Tintenausstoßöffnung ( 5 a) so ausgebildet ist, daß sie gleich weit vom ersten und zweiten sich ausbeulenden Körper ( 1 ) entfernt ist. 5. An ink jet head according to claim 4, characterized in that the ink ejection port (5 a) is formed so that it is equidistant from the first and second bulging body (1).
6. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß 6. An ink jet head according to claim 1, characterized net gekennzeich that
  • - ein erster, zweiter und dritter sich ausbeulender Körper ( 11 , 11-1 ) vorhanden sind; - A first, second and third are ausbeulender body (11, 11-1) are available;
  • - die Kammer ( 5 ) über einen ersten und einen zweiten Innen flächenabschnitt verfügt, die einander gegenüberstehen, wo bei der Innenraum dazwischenliegt; - The chamber (5) surface portion has a first and a second inside, facing each other, which intervenes in the interior;
  • - ein relativ langer, erster sich ausbeulender Körper ( 11 ) am ersten Innenflächenabschnitt vorhanden ist; - A relatively long, first be ausbeulender body (11) is provided on the first inner surface portion;
  • - relativ kurze, zweite und dritte sich ausbeulende Körper ( 11-1 ) am zweiten Innenflächenabschnitt so vorhanden sind, daß sie voneinander beabstandet sind und dem ersten sich ausbeulenden Körper zugewandt sind; - Relatively short, second and third are bulging body (11-1) are available on the second inner surface portion that they are spaced apart and are facing the first bulging body;
  • - die Tintenausstoßöffnung ( 5 a) so ausgebildet ist, daß sie durch den zweiten Innenflächenabschnitt zwischen dem zweiten und dritten sich ausbeulenden Körper geht; Is the ink ejection port (5 a) formed such that it passes through the second interior surface portion between the second and third bulging body -; und and
  • - die Tintenzuführöffnung ( 5 b) so ausgebildet ist, daß sie durch den ersten Innenflächenabschnitt geht. - The ink supply port (5 b) is formed such that it passes through the first inner surface portion.
7. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß die Ausbeuleinrichtung folgendes aufweist: 7. An ink jet head according to claim 1, characterized in that the Ausbeuleinrichtung comprising:
  • - eine erste und eine zweite Elektrode ( 1 a, 1 b), die an den beiden Enden jedes sich ausbeulenden Körpers ( 1 ) vorhanden sind; - A first and a second electrode (1 a, 1 b) which are present at the two ends of each bulging body (1);
  • - eine Spannungsversorgung ( 9 ), die über einen Schalter mit der ersten Elektrode verbindbar ist; - A power supply (9), which is connectable via a switch to the first electrode; und and
  • - eine Erdungseinrichtung, die mit der zweiten Elektrode verbunden ist, um diese zu erden. - A grounding means connected to the second electrode to ground it.
8. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß zwischen jeweils zwei der mehreren sich ausbeulen den Körper ( 1 ) keine Trennwand zum Verhindern einer Druck ausbreitung vorhanden ist. 8. An ink jet head according to claim 1, characterized in that is present between any two of the plurality bulge the body (1) no partition for preventing pressure propagation itself.
9. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß die sich ausbeulenden Körper ( 1 ) so angeordnet sind, daß Tinte, wie sie durch diese unter Druck gesetzt wird, aus der einen Tintenausstoßöffnung ( 5 a) ausgestoßen wird. 9. An ink jet head according to claim 1, characterized in that the bulging body (1) are arranged so that ink as it is set by this under pressure is ejected from the ink ejection port (5 a).
10. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß die Tintenzuführöffnung ( 5 b) hinter einem sich aus beulenden Körper ( 1 ) angeordnet ist. 10. An ink jet head according to claim 1, characterized in that the ink supply port (5 b) is disposed behind a bump ends of the body (1).
11. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß 11. An ink jet head according to claim 1, characterized in that
  • - mehrere Tintenausstoßöffnungen ( 5 a) vorhanden sind und - More ink ejection openings (5a) are present and
  • - ein sich ausbeulender Körper ( 1 ) oder mehrere vorhanden sind, die in Zuordnung zu den jeweiligen Tintenausstoßöff nungen ( 5 a) arbeiten. - Be a ausbeulender body (1) or more are present, the calculations in association with the respective Tintenausstoßöff (5 a) work.
12. Tintenstrahlkopf mit einer Kammer ( 5 ) mit einem mit Tinte gefüllten Innenraum sowie einer Tintenausstoßöffnung ( 5 a) und einer Tintenzuführöffnung ( 5 b), die mit dem Innen raum verbunden sind; 12. An ink jet head comprising a chamber (5) with an ink-filled interior space as well as an ink ejection port (5 a) and an ink supply port (5 b) which are connected to the inner space;
dadurch gekennzeichnet, daß characterized in that
  • - ein erster sich ausbeulender Körper ( 1 ) vorhanden ist, der sich über die Tintenzuführöffnung ( 5 b) erstreckt; - A first be ausbeulender body (1) is provided which extends across the ink supply port (5 b); und and
  • - eine Ausbeuleinrichtung vorhanden ist, die mit dem ersten sich ausbeulenden Körper verbunden ist, um diesen auszubeu len; - A Ausbeuleinrichtung is provided which is connected to the first bulging body to these sources auszubeu;
  • - die Kammer ( 5 ) einen ersten und einen zweiten Innen flächenabschnitt beinhaltet, die einander gegenüberstehen, wobei der Innenraum dazwischenliegt, und sie einen dritten Innenflächenabschnitt beinhaltet, der sich von den Umfangs kantenabschnitten des ersten und zweiten Innenflächenab schnitts in einer Richtung erstreckt, in der sich der erste ausbeulende Körper ausbeult; - The chamber (5) a first and a second inner surface portion includes opposed to each other, wherein the interior space in between, and it includes a third inner surface portion of the edge sections from the periphery of the first and second Innenflächenab-section extending in a direction in which the first bulge bulging body;
  • - die Tintenzuführöffnung ( 5 b) so ausgebildet ist, daß sie durch einen Teil des ersten Innenflächenabschnitts geht; - The ink supply port (5 b) is formed such that it passes through a portion of the first inner surface portion;
  • - der erste sich ausbeulende Körper am ersten Innenflächen abschnitt mittels eines Paars Befestigungsteile ( 3 ) befe stigt ist, die am ersten Innenflächenabschnitt vorhanden sind und so in der Nähe der Tintenzuführöffnung liegen, daß sie diese einbetten; - The first is bulging body on the first inner surfaces of sections by a pair of fasteners (3) BEFE is Stigt that are present on the first inner surface portion and so are in the vicinity of the ink to sandwich them; und and
  • - die Tintenausstoßöffnung so ausgebildet ist, daß sie durch den dritten Innenflächenabschnitt geht. - The ink ejection port is formed such that it passes through the third inner surface portion.
13. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich net, daß ein zweiter sich ausbeulender Körper ( 1 ) so am zweiten Innenflächenabschnitt vorhanden ist, daß er dem er sten sich ausbeulenden Körper ( 1 ) zugewandt ist. 13. An ink jet head according to claim 12, characterized in that a second is ausbeulender body (1) is present as the second inner surface portion that he said he is most bulging body (1) faces.
14. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich net, daß die Tintenausstoßöffnung ( 5 a) so ausgebildet ist, daß sie gleich weit vom ersten und zweiten sich ausbeulenden Körper ( 1 ) entfernt ist. 14. An ink jet head according to claim 13, characterized in that the ink ejection port (5 a) is formed so that it is equidistant from the first and second bulging body (1).
15. Tintenstrahlkopf, dadurch gekennzeichnet, daß: 15. An ink jet head, characterized in that:
  • - eine Kammer ( 5 ) mit einem mit Tinte gefüllten Innenraum vorhanden ist, mit dem eine Tintenzuführöffnung ( 5 b) sowie eine erste und eine zweite Tintenausstoßöffnung ( 25 a) ver bunden sind; - A chamber (5) with an ink-filled interior is present with which are an ink supply port (5 b) and a first and a second ink discharging port (25 a) connected ver;
  • - die Kammer ( 5 ) über einen ersten und einen zweiten Innen flächenabschnitt verfügt, die einander zugewandt sind, wobei der Innenraum dazwischenliegt; - The chamber (5) surface portion has a first and a second inner, facing each other, wherein the interior space therebetween;
  • - die Tintenzuführöffnung ( 5 b) so ausgebildet ist, daß sie durch den ersten Innenflächenabschnitt geht; - The ink supply port (5 b) is formed such that it passes through the first inner surface portion;
  • - die erste und die zweite Tintenausstoßöffnung so ausgebil det sind, daß sie voneinander beabstandet sind und durch den zweiten Innenflächenabschnitt gehen; - The first and the second ink ejection orifice are so ausgebil det that they are spaced from each other and go through the second inner surface portion;
  • - ein erster sich ausbeulender Körper ( 21 ) im Innenraum mit tels eines Befestigungsteils ( 23 ) so befestigt ist, daß er der ersten Tintenausstoßöffnung ( 25 a) gegenüberliegt; - A first be ausbeulender body (21) is mounted in the interior with means of a fastening part (23) so as to be opposed to the first ink ejection orifice (25 a);
  • - ein zweiter sich ausbeulender Körper ( 21 ) im Innenraum mittels eines Befestigungsteils ( 23 ) so befestigt ist, daß er der zweiten Tintenausstoßöffnung ( 25 a) gegenüberliegt; - A second up ausbeulender body (21) is mounted in the interior by means of a fastening part (23) so as to be opposite to the second ink ejection orifice (25 a);
  • - eine erste und eine zweite Ausbeuleinrichtung mit dem er sten bzw. zweiten sich ausbeulenden Körper verbunden sind, um diese einzeln auszubeulen; - A first and a second Ausbeuleinrichtung with whom he most or second bulging bodies are connected to this bulge individually; und and
  • - das Befestigungsteil ( 23 ) am ersten und zweiten sich aus beulenden Körper auf einer Seite der Tintenzuführöffnung liegt. - The fixing member (23) on the first and second ends from bump body lies on one side of the ink.
16. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich net, daß 16. An ink jet head according to claim 15, characterized net gekennzeich that
  • - der erste und der zweite sich ausbeulende Körper ( 21 ) eine erste, relativ lange sowie eine zweite, relativ kurze Seite aufweisen; - The first and second bulging up body (21) having a first, relatively long and a second, relatively short side; und and
  • - dieser erste und zweite sich ausbeulende Körper so liegen, daß die zweite Seite jedes derselben parallel zu einer Rich tung liegt, in der die erste und die zweite Tintenzuführöff nung ( 25 a) ausgerichtet sind. - These first and second bulging body are located so that the second side of each thereof is parallel to a rich direction in which the first and second Tintenzuführöff opening (25 a) are aligned.
17. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich net, daß 17. An ink jet head according to claim 15, characterized net gekennzeich that
  • - die erste Ausbeuleinrichtung folgendes aufweist: - The first Ausbeuleinrichtung comprising:
  • - eine erste Spannungsversorgung ( 9-1 ), die mit einem Ende des ersten sich ausbeulenden Körpers ( 21 ) über einen ersten Schalter verbunden ist; - A first voltage supply (9-1), which is connected to one end of the first bulging body (21) via a first switch; und and
  • - eine Erdungseinrichtung, die mit dem anderen Ende des er sten sich ausbeulenden Körpers verbunden ist, um dieses zu erden; - A grounding means which is connected to the other end of it most bulging body to be grounded; und and
  • - die zweite Ausbeuleinrichtung folgendes aufweist: - The second Ausbeuleinrichtung comprising:
  • - eine zweite Spannungsversorgung ( 9-1 ), die mit einem Ende des zweiten sich ausbeulenden Körpers ( 21 ) über einen zwei ten Schalter verbunden ist; - A second voltage supply (9-1), which is connected to one end of the second bulging body (21) via a two-th switch; und and
  • - eine Erdungseinrichtung, die mit dem anderen Ende des zweiten sich ausbeulenden Körpers verbunden ist, um dieses zu erden. - A grounding means which is connected to the other end of the second bulging body to be grounded.
Descripción  traducido del alemán

Die Erfindung betrifft einen Tintenstrahlkopf, in dem mit tels eines sich ausbeulenden Körpers Druck auf einen Behäl ter füllende Tinte ausgeübt wird, wodurch Tintentröpfchen aus dem Behälter ausgestoßen werden. The invention relates to an ink jet head in which means with a bulging body pressure is exerted on a Behäl ter filling ink, whereby ink droplets are ejected from the container.

Es ist ein Tintenstrahlverfahren bekannt, bei dem Tinte aus gestoßen und auf Papier aufgespritzt wird. It is known an ink jet method in which ink is pushed out and sprayed onto paper. Dieses Verfahren hat verschiedene Vorteile. This method has several advantages. Zum Beispiel kann relativ hohe Druckgeschwindigkeit mit geringem Geräusch erzielt werden, es ist auf einfache Weise eine Verringerung der Größe der Druckvorrichtung möglich und es kann Farbdruck ausgeführt werden. For example, relatively high-speed printing can be achieved with low noise, it is a simple way of reducing the size of the printing apparatus possible, and color printing can be performed. Bei einem derartigen Tintenstrahl-Druckverfahren erfolgt der Ausdruck unter Verwendung eines Tintenstrahl- Druckkopfs auf Grundlage verschiedener Prinzipien zum Aus stoßen von Tröpfchen. In such ink jet printing method, the term print head is performed using an ink jet based on various principles to poking out of droplets. Hierzu gehören z. B. Köpfe, die Druck mittels eines piezoelektrischen Körpers erzeugen oder Bla sen-Tintenstrahlköpfe, bei denen Strom an einen Wider stands-Heizkörper angelegt werden, wodurch Tinte mittels der durch diesen erzeugten Wärme verdampft wird, was einen Druck erzeugt, durch den Tinte ausgestoßen wird. These include, for. Example, heads that generate pressure by means of a piezoelectric body or Bla sen-jet heads in which power to a reflection object radiator are applied, whereby ink is vaporized by the heat produced by these, which generates a pressure, by the ink is ejected.

Bei diesen bekannten Techniken bestehen jedoch die folgenden Probleme. However, there are the following problems with these known techniques.

Bei einem Tintenstrahlkopf unter Verwendung eines piezoelek trischen Körpers wird Spannung an diesen angelegt, wodurch er sich verformt, was zum Ausstoßen von Tintentröpfchen und dem Erzeugen eines Ausdrucks führt. In an ink jet head using a piezoe cal body voltage is applied thereto, whereby it deforms, resulting in the ejection of ink droplets and the generation of an expression. Da jedoch das Ausmaß der Verformung eines einzelnen piezoelektrischen Körpers klein ist, muß die Verformung durch Übereinanderstapeln mehrerer piezoelektrischer Körper vergrößert werden, wodurch z. B. ein großes, bimorphes piezoelektrisches Stellglied oder der gleichen ausgebildet wird, was es ermöglicht, Tintentröpf chen auszustoßen. However, since the amount of deformation of a single piezoelectric body is small, the deformation must be increased by stacking a plurality of piezoelectric body, whereby z. B. a large, bimorph piezoelectric actuator or the like is formed, thus making it possible Tintentröpf Chen eject. Demgemäß sind ein piezoelektrischer Körper und eine Tintenkammer erforderlich, die viel größer sind als der mögliche kleinste Düsenabstand. Accordingly, a piezoelectric body and an ink chamber are required, which are much greater than the possible smallest nozzle pitch. Demgemäß ist die Her stellung eines Kopfs mit vielen integrierten Düsen schwie rig. Accordingly, the setting forth of a head with many integrated nozzle is Schwiering rig.

Andererseits wird beim Blasen-Tintenstrahlkopf Tinte durch Wärme verdampft, wie sie durch einen Heizkörper erzeugt wird, wodurch Blasen gebildet werden; On the other hand, ink-jet head while blowing vaporized by heat, as generated by a radiator, which bubbles are formed; diese Ausdehnung des Tintenvolumens führt zum Ausstoßen von Tintentröpfchen. this extension causes the volume of ink for ejecting ink droplets. Bei einem solchen Blasen-Tintenstrahlkopf können Düsen relativ leicht integriert werden, da ein kleiner Heizerkörper aus reicht. In such a bubble jet head nozzles may be relatively easy to integrate, as a small heater body enough. Demgemäß ist die zum Ausdrucken erforderliche Zeit kurz. Accordingly, the time required for printing is short. Jedoch muß zum Erzeugen ausgeprägter Blasen der Hei zerkörper innerhalb kurzer Zeit auf nahezu 1000°C erwärmt werden. However, it must be heated to produce pronounced bubbles of the Hei zerkörper within a short time to almost 1000 ° C. Dadurch kann er leicht beeinträchtigt werden, weswe gen die Lebensdauer eines solchen Tintenstrahlkopfs relativ kurz ist. Thereby it can be easily affected, weswe gene the life of such ink jet head is relatively short.

Um die vorstehend genannten Schwierigkeiten zu überwinden, wurde von der Anmelderin ein Tintenstrahlkopf vorgeschlagen, bei dem der Ausstoßdruck mittels eines sich ausbeulenden Körpers auf Tinte ausgeübt wird. To overcome the above problems, an inkjet head has been proposed by the Applicant, in which the discharge pressure is exerted by means of a bulging body on ink. Obwohl der auf die Tinte ausgeübte Ausstoßdruck bei einem Tintenstrahlkopf dieses Typs relativ hoch ist, waren weitere Verbesserungen hin sichtlich des Ausstoßdrucks und einer Verringerung der Größe des Tintenstrahlkopfs erforderlich. Although the pressure exerted on the ink ejection pressure is relatively high in an ink jet head of this type, further improvements in the discharge pressure and a reduction in size of the inkjet head were blown clearly required.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Tinten strahlkopf zu schaffen, der trotz kleiner Größe mittels ei nes sich ausbeulenden Körpers als Tintenausstoßdruck-Erzeu ger einen hohen Tintenausstoßdruck erzeugen kann. The invention has for its object to provide an ink jet head, the egg bulging body nes as ink ejection pressure Erzeu can produce a high ink discharge pressure despite its small size means eng.

Diese Aufgabe ist durch die Lehren der nebengeordneten An sprüche 1, 12 und 15 gelöst. This object is achieved by the teachings of the independent claims at 1, 12 and 15.

Der Tintenstrahlkopf gemäß Anspruch 1 beinhaltet eine Kam mer, mehrere sich ausbeulende Körper und eine Ausbeulein heit. The inkjet head according to claim 1 includes a number Kam, a plurality of bulging body and a Ausbeulein unit. Der sich ausbeulende Körper ist ein Teil, das durch Anwenden einer vorgegebenen Kompressionsbelastung ausgebeult wird. The bulging body itself is a part that bulges by applying a predetermined compressive loading.

Bei diesem Tintenstrahlkopf sind mehrere sich ausbeulende Körper im Innenraum zwischen einem Satz aus einer Tintenaus stoßöffnung und einer Tintenzuführöffnung vorhanden. In this ink jet head a plurality of bulging body are in the interior shock opening between a set of a Tintenaus and an ink available. An je den der sich ausbeulenden Körper wird in dessen Längsrich tung durch die Ausbeuleinheit eine Kompressionskraft ange legt, und sie werden in Richtung ihrer Dicke ausgebeult. At each of the bulging body in its longitudinal direction by Rich Ausbeuleinheit a compressive force is loaded, and they are baggy in its thickness direction. Das heißt, daß dann, wenn mehrere sich ausbeulende Körper aus gebeult werden, das Ausmaß der Auslenkung der mehreren sich ausbeulenden Körper in ihrer Längsrichtung in eine solche in ihrer Dickenrichtung umgesetzt wird. This means that when a plurality of bulging body bulged out, the amount of deflection of several bulging body is converted into its longitudinal direction in such in its thickness direction. Bei einem derartigen Ausbeulen der mehreren sich ausbeulenden Körper, wie vorste hend genannt, kann selbst dann, wenn das Ausmaß der Auslen kung in ihrer Längsrichtung klein ist, dieses kleine Ausmaß der Auslenkung in eine große Auslenkung in Richtung ihrer Dicke umgesetzt werden. In such a bulging of several bulging body, vorste called as starting, can, even if the extent of Auslen effect in its longitudinal direction is small, this small amount of deflection will be implemented in a large deflection in the direction of its thickness. Demgemäß kann das Ausüben hohen Drucks auf Tinte, die den Innenraum einer Kammer ausfüllt, dadurch erzielt werden, daß mehrere sich ausbeulende Körper angeordnet werden, wie vorstehend genannt. Accordingly, the exerting high pressure on the ink that fills the interior of a chamber can be achieved in that a plurality of bulging body are arranged as mentioned above. Im Ergebnis kann ein hoher Tintenausstoßdruck erzeugt werden. As a result, a high ink ejection pressure can be generated. Es ist zu be achten, daß eine Verringerung der Größe eines sich ausbeu lenden Körpers erzielt werden kann, da selbst dann, wenn dessen Größe klein ist, eine große, vom Ausbeulvorgang her rührende Auslenkung erzielt werden kann. It is the eighth to be that a reduction in the size of a sirloin is ausbeu body can be achieved because even if its size is small, a large, touching her bulging process of displacement can be obtained. Ferner können meh rere sich ausbeulende Körper dadurch ausgebeult werden, daß lediglich beide Enden der mehreren sich ausbeulenden Körper fixiert werden. Furthermore meh may bulging body rere be baggy that only both ends of the plurality bulging body to be fixed. So wird der sich ausbeulende Körper relativ einfach. So which bulging body is relatively simple. Demgemäß kann die Größe dieses sich ausbeulenden Körpers leicht verringert werden. Accordingly, the size of the bulging body are slightly reduced. Im Ergebnis kann ein Tin tenstrahlkopf geschaffen werden, der hohen Tintenausstoß druck erzeugen kann, während seine Größe klein ist. As a result, a Tin be created jet head, high ink discharge can generate pressure, while its size is small.

Der Tintenstrahlkopf gemäß Anspruch 12 beinhaltet eine Kam mer, einen ersten sich ausbeulenden Körper und eine Ausbeul einheit. The inkjet head according to claim 12 including a Kam mer, a first bulging body and a Bumping unit. Bei diesem Tintenstrahlkopf ist der erste sich aus beulende Körper an einen ersten Innenflächenabschnitt mit der Tintenzuführöffnung befestigt, wobei Befestigungsteile dazwischenliegen und wobei sich der erste ausbeulende Körper über die Tintenzuführöffnung erstreckt. This is the first ink jet head is attached from beulende body to a first inner surface portion with the ink, which Fasteners intervene and wherein lies the first bulging body through the ink. Das heißt, daß die Tintenzuführöffnung entgegengesetzt zur Richtung liegt, in der der erste sich ausbeulende Körper verformt wird (die Richtung, in der sich der erste ausbeulende Körper aus beult). That is, the ink is opposite to the direction in which the first is bulging body is deformed (the direction in which the first body bulging bulges). So kann verhindert werden, daß Druck, wie er durch das Ausbeulen des ersten sich ausbeulenden Körpers ausgeübt wird, durch Auslecken von Tinte aus der Tintenzuführöffnung abgebaut wird. Thus, it can be prevented that pressure as exerted by the bulging of the first bulging body, is degraded by leakage of ink from the ink supply port. Im Ergebnis können Energieverluste beim Aus stoßen von Tinte verringert werden, so daß diese also wir kungsvoller ausgestoßen werden kann. As a result, energy losses can be reduced from the encounter of ink so that these so we can be ejected full effect.

Der Tintenstrahlkopf gemäß Anspruch 15 beinhaltet eine Kam mer, einen ersten und einen zweiten sich ausbeulenden Körper sowie eine erste und eine zweite Ausbeuleinheit. The inkjet head according to claim 15 including a Kam mer, a first and a second bulging body and a first and a second Ausbeuleinheit. In diesem Tintenstrahlkopf sind auch eine erste und eine zweite Tin tenausstoßöffnung vorhanden, und der erste und der zweite sich ausbeulende Körper sind so angeordnet, daß sie diesen Ausstoßöffnungen jeweils gegenüberliegen. In this ink jet head also has a first and a second Tin tenausstoßöffnung are present, and the first and second bulging body itself are arranged such that they lie opposite these ejection openings. Darüber hinaus sind diese sich ausbeulenden Körper mit der ersten bzw. zweiten Ausbeuleinheit verbunden, wodurch sie unabhängig voneinander betrieben werden können. In addition, this bulging body are connected to the first and second Ausbeuleinheit, allowing them to operate independently. So ist keine Abtrennung zwischen der ersten und zweiten Tintenausstoßöffnung erfor derlich. Thus, no separation between the first and second ink ejecting opening is neces sary. Demgemäß kann der Abstand zwischen diesen beiden Ausstoßöffnungen verringert werden, was zu einer Verbesse rung der Auflösung führt. Accordingly, the distance between these two discharge ports can be reduced, which leads to an improvement of the resolution tion.

Die vorstehenden und andere Aufgaben, Merkmale, Gesichts punkte und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung derselben in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen deutlicher. The foregoing and other objects, features, facial points and advantages of the invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings.

Fig. 1 ist eine Schnittansicht durch einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 1 is a sectional view through an ink jet head according to an embodiment of the invention.

Fig. 2 ist eine Schnittansicht, die einen Betriebszustand des in Fig. 1 dargestellten Tintenstrahlkopfs veranschau licht. Fig. 2 is a sectional view showing an operating state of the light ink jet head shown in Fig. 1 illustrate.

Fig. 3 ist eine perspektivische Explosionsansicht, die ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen integrierten Tintenstrahlkopfs zeigt. Fig. 3 is an exploded perspective view showing an embodiment of an integrated ink-jet head according to the invention.

Fig. 4 ist eine Draufsicht auf eine Anordnung eines Ab standshalters und sich ausbeulender Körper in Fig. 3. Fig. 4 is a plan view of an arrangement of From stand holder and ausbeulender body in Fig.. 3

Fig. 5 ist eine Schnittansicht entlang der Linie XX in Fig. 4. Fig. 5 is a sectional view taken along line XX in Fig. 4th

Fig. 6 bis 10 sind Schnittansichten, die Schritt für Schritt ein Herstellverfahren für eine Kammer gemäß der Erfindung veranschaulichen. FIGS. 6 to 10 are sectional views illustrating step by step a method of manufacturing a chamber according to the invention.

Fig. 11A ist eine Seitenansicht, die einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. FIG. 11A is a side view showing an ink jet head according to an embodiment of the invention.

Fig. 11B ist eine Schnittansicht entlang der Linie AA in Fig. 11A. FIG. 11B is a sectional view taken along line AA in Fig. 11A.

Fig. 12A ist eine perspektivische Außenansicht, die einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfin dung zeigt. FIG. 12A is an external perspective view showing an ink jet head according to an embodiment of the inven tion.

Fig. 12B ist eine Schnittansicht, die einen Schnitt A durch den Tintenstrahlkopf in Fig. 12A zeigt. FIG. 12B is a sectional view showing a section A by the ink-jet head in Fig. 12A.

Fig. 12C ist eine Schnittansicht, die einen Schnitt B in Fig. 12A zeigt. Fig. 12C is a sectional view showing a section B in Fig. 12A.

Fig. 13 ist eine Schnittansicht, die einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. Fig. 13 is a sectional view showing an ink jet head according to an embodiment of the invention.

Fig. 14A ist eine Seitenansicht, die einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. FIG. 14A is a side view showing an ink jet head according to an embodiment of the invention.

Fig. 14B ist eine Schnittansicht entlang der Linie BB in Fig. 14A. FIG. 14B is a sectional view taken along line BB in Fig. 14A.

Fig. 15 und Fig. 16 sind Schnittansichten, die jeweils einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfin dung zeigen. Fig. 15 and Fig. 16 are sectional views each showing an ink jet head according to an embodiment of the inven tion.

Zu den Ausführungsbeispielen der Erfindung gehören zwei Ty pen von Tintenstrahlköpfen, dh einerseits ein Typ mit ei ner einzelnen Tintenausstoßöffnung und mehreren sich ausbeu lenden Körpern, und andererseits ein Typ mit mehreren Tin tenausstoßöffnungen und mehreren sich ausbeulenden Körpern. The embodiments of the invention include Ty two groups of ink jet heads, ie tenausstoßöffnungen one hand, a guy with egg ner individual ink ejection port and several are ausbeu sirloin bodies, and on the other hand, a type with multiple Tin and several bulging bodies. Hierzu werden Beispiele in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen beschrieben. For this purpose, examples will be described in conjunction with the accompanying drawings.

Fig. 1 ist eine schematische Schnittansicht, die ein Aus führungsbeispiel der Erfindung zeigt. Fig. 1 is a schematic sectional view showing an exemplary embodiment from the invention. Der in Fig. 1 darge stellte Tintenstrahlkopf 10 ist wie folgt aufgebaut. The presented in Fig. 1 Darge ink jet head 10 is constructed as follows. Zwei sich ausbeulende Körper 1 und 1 sind an der Innenseite einer Kammer 5 mittels dazwischenliegenden Befestigungsteilen 3 und 3 befestigt. Two bulging body 1 and 1 5 are attached to the inside of a chamber by means of intermediate mounting parts 3 and 3. Eine Tintenausstoßöffnung 5 a und eine Tin tenzuführöffnung 5 b sind an der Kammer 5 ausgebildet. An ink discharge port 5 a and 5 b tenzuführöffnung a TiN are formed on the chamber 5. Die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 sind über einen Schal ter an einem Ende mit einer Spannungsversorgung 9 verbunden, und sie sind am anderen Ende geerdet. The two bulging body 1 and 1 are connected ter a scarf at one end to a power supply 9, and they are grounded at the other end. Die Tintenausstoßöff nung 5 a ist in einer Wand der Kammer 5 ausgebildet, die in der Richtung rechtwinklig zur Ausbeulrichtung der sich aus beulenden Körper 1 und 1 liegt (Richtung, in der sich die sich ausbeulenden Körper ausbeulen). The Tintenausstoßöff Regulation 5 a is formed in a wall of the chamber 5 in the direction perpendicular to Ausbeulrichtung which is from bump ligand body 1 and 1 (direction in which the body bulge bulging). Genauer gesagt, bein haltet die Kammer 5 einen ersten und einen zweiten Innenflä chenabschnitt, die einander zugewandt sind und an denen die zwei sich ausbeulenden Körper einander gegenüberstehend be festigt sind. Specifically, ContainsReset the chamber 5 a first and a second Innenflä face portion, which face each other and where the two bulging body are opposite to each consolidates be. Außerdem verfügt die Kammer 5 über einen drit ten Innenseitenabschnitt, der sich von den Umfangskantenab schnitten des ersten und des zweiten Innenflächenabschnitts in derjenigen Richtung erstreckt, in der die sich ausbeulen den Körper 1 und 1 ausbeulen, und er verbindet den ersten und den zweiten Innenflächenabschnitt, die einander gegen überstehen, miteinander. In addition, the chamber 5 has a DRIT th inner side portion of the Umfangskantenab intersected the first and second inner surface portion in the direction extends in which the bulge the body 1 and 1 bulge out and connects the first and second inner surface portion, facing each other, each other. In diesem dritten Innenflächenab schnitt ist die Tintenausstoßöffnung 5 a ausgebildet. In this third Innenflächenab cut the ink ejection port 5 a is formed. Eine Tintenzuführöffnung 5 b ist so ausgebildet, daß sie durch den ersten oder zweiten Innenflächenabschnitt, die einander ge genüberstehen, ausgebildet ist, so daß die zwei sich aus beulenden Körper 1 und 1 zwischen der Tintenzuführöffnung 5 b und der Tintenausstoßöffnung 5 a eingebettet sind. An ink supply port 5 b is formed such that it. Through the first or second inner surface portion, which is another GE genüberstehen formed, so that the two are nestled from bump ends body 1 and one between the ink supply port 5b and the ink discharge port 5 a

Vorzugsweise bestehen die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 aus leitendem Material, das elastisch verformt werden kann. Preferably, the two bulging bodies are 1 and 1 of conductive material that can be elastically deformed. Genauer gesagt, bestehen die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 aus einem Material wie Metall oder dergleichen. More specifically, there are the bulging body 1 and 1 made of a material such as metal or the like. Au ßerdem haben die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 vor zugsweise die Form eines Bands. Putting in two bulging body have 1 and 1 front preferably in the form of a band. Ein Paar Elektroden 1 a und 1 b zum Zuführen von Strom sind an den beiden Enden der je weiligen sich ausbeulenden Körper 1 und 1 vorhanden. A pair of electrodes 1 a and 1 b are for supplying power to the both ends of the bulging body 1 and each respective one available. Eine Elektrode 1 a kann über einen Schalter mit einer Spannungs versorgung 9 verbunden werden. An electrode 1a can supply via a switch to a stress 9 are connected. Das heißt, daß durch Öffnen oder Schließen des Schalters bestimmt werden kann, ob die eine Elektrode 1 a und die Spannungsversorgung 9 miteinander verbunden oder voneinander getrennt werden. That is, it can be determined by opening or closing the switch, if one of the electrodes 1 a and the power supply 9 connected to each other or be separated. Die andere Elek trode 1 b ist geerdet. The other elec trode 1 b is grounded.

Im Betrieb des Tintenstrahlkopfs 10 des ersten Ausführungs beispiels wird zunächst Tinte 100 von der Tintenzuführöff nung 5 b zugeführt. In operation, the ink jet head 10 of the first embodiment example ink 100 is first statement of the Tintenzuführöff 5 b, respectively. So wird ein Behälter mit Tinte 100 ge füllt und die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 werden in Tinte 100 eingetaucht. Thus, a container of ink is 100 and we fill the two bulging body 1 and 1 are dipped in ink 100.

Wenn in diesem Zustand der Schalter geschlossen wird, fließt Strom durch die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 , und diese werden durch die mittels des Widerstands der Körper erzeug te Wärme erwärmt, wodurch sie sich thermisch ausdehnen. If it is concluded in this state of the switches, current flows through the bulging body 1 and 1, and these are heated by means of the resistance of the body prod te heat, whereby they expand thermally.

Da jedoch, wie es in Fig. 1 dargestellt ist, die jeweiligen beiden Enden der sich ausbeulenden Körper 1 und 1 mittels der Befestigungsteile 3 und 3 an der Kammer 5 befestigt sind, können sie durch die Expansion nicht verformt werden. However, since, as shown in Fig. 1, the respective both ends of the bulging body 1 and one attached to the chamber 5 by means of the fastening members 3 and 3, they can not be deformed by the expansion. Demgemäß wirkt auf beide sich ausbeulende Körper 1 und 1 von ihren beiden Längsenden her eine Kompressionskraft P₁ in der durch einen Pfeil F₁ veranschaulichten Richtung, wodurch elastische Energie eingespeichert wird. Accordingly acts on both located bulging body 1 and one of its two longitudinal ends thereof a compressive force P₁ in the illustrated by an arrow F₁ direction, thereby elastic energy is stored. Wenn diese Kompres sionskraft P₁ die Ausbeulbelastung Pc der zwei sich ausbeu lenden Körper 1 und 1 übersteigt, werden diese auf solche Weise ausgebeult, wie es in Fig. 2 dargestellt ist. If this compres sion force P₁ Ausbeulbelastung the Pc of the two ausbeu sirloin body 1 and exceeds 1, these are bulged in such a manner as shown in Fig. 2.

Wenn die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 gemäß Fig. 2 ausgebeult sind, wirkt Druck auf die Tinte 100 , die den In nenraum der Kammer 5 ausfüllt. If the two bulging body 1 and 1 bulged as shown in FIG. 2, has a pressure to the ink 100 that the inner space of the chamber 5 fills. Da zwei sich ausbeulende Kör per 1 und 1 einander gegenüberstehend vorhanden sind, kann Druck wirkungsvoll auf die Tinte 100 ausgeübt werden. Since two bulging Kör by 1 and 1 are opposite to each other yet, pressure can be effectively applied to the ink 100. Dieser auf die Tinte 100 ausgeübte Druck pflanzt sich durch diese fort, wodurch Tinte aus der Tintenausstoßöffnung 5 a aus dem Tintenstrahlkopf 10 herausgedrückt wird. This pressure exerted on the ink 100 propagates through this, whereby ink from said ink ejection port 5a is pushed out of the ink jet head 10. So wird ein Tinten tröpfchen 100 a vom Tintenstrahlkopf 10 nach außen ausgesto ßen. Thus, an ink droplet is 100a of an ink jet head 10 to the outside ausgesto Shen. Dabei kann das Tintentröpfchen 100 a wirkungsvoller aus gestoßen werden, wenn die Tintenausstoßöffnung 5 a in derje nigen Wand (dem dritten Innenflächenabschnitt) vorhanden ist, die die Umfangskantenabschnitte der zwei Innenflächen abschnitte miteinander verbindet, an denen die sich ausbeu lenden Körper 1 und 1 ausgebildet sind. In this case, the ink droplet 100 can be a more effective from encountered when the ink discharge port 5 a in those emanating wall (the third inner surface portion) is present, the portions of the peripheral edge portions of the two inner surfaces of each connects, where the themselves ausbeu lumbar bodies are formed 1 and 1 , Darüber hinaus kann sich auf die Tinte ausgeübter Druck wirkungsvoller zur Tin tenausstoßöffnung 5 a ausbreiten, wenn zwei sich ausbeulende Körper 1 und 1 so vorhanden sind, daß sich gleich weit von der Tintenausstoßöffnung 5 a entfernt sind. In addition, pressure applied to the ink pressure may be more effective for Tin tenausstoßöffnung 5 a spread when two bulging body 1 and 1 are available that are equidistant from the ink ejection port 5 a. Demgemäß kann ein Tintentröpfchen 100 a wirkungsvoller ausgestoßen werden. Accordingly, an ink droplets are ejected a 100 effectively. In dieser Hinsicht gilt dasselbe für die anderen Ausführungs beispiele, die noch beschrieben werden. In this regard, the same applies to the other embodiment examples which are described later. Mittels des wie vor stehend beschrieben ausgestoßenen Tintentröpfchens 100 a wird ein Druckvorgang auf der Oberfläche eines Blatts ausgeführt. By means of the described before standing ejected ink droplet 100a is executed, a printing operation on the surface of a sheet.

Fig. 3 ist eine perspektivische Explosionsansicht, die ein Integrationsbeispiel für den Tintenstrahlkopf von Fig. 1 zeigt. Fig. 4 ist eine Draufsicht, die eine Anordnung eines Abstandshalters und der sich ausbeulenden Körper in Fig. 3 zeigt. Fig. 5 ist eine schematische Schnittansicht entlang der Linie XX von Fig. 4, und sie beinhaltet Kammern 15 a und 15 b. Fig. 3 is an exploded perspective view showing an integration example of the ink jet head of FIG. 1. FIG. 4 is a plan view showing an arrangement of a spacer and the bulging body in Fig. 3. Fig. 5 is a schematic sectional view taken along the line XX of Fig. 4, and it includes chambers 15 a and 15 b.

Wie in diesen Figuren dargestellt, verfügt ein erfindungsge mäßer integrierter Tintenstrahlkopf 20 über einen Tintenkam merdeckel 12 , einen Abstandshalter 14 sowie Kammern 15 a und 15 b. As shown in these figures, has a erfindungsge mäßer integrated inkjet head 20 via a Tintenkam merdeckel 12, a spacer 14 and chambers 15 a and 15 b.

Der Abstandshalter 14 besteht z. B. aus einer Platte aus rostfreiem Stahl mit einer Dicke von 10 bis 50 µm. The spacer 14 consists, for. Example, from a stainless steel plate with a thickness of 10 to 50 microns. In ihm sind mehrere durch ihn hindurchgehende Öffnungen 14 a enthal ten, die eine Druckkammer und eine Tintenausstoßöffnung bil den. In it, several passing through him openings 14 a contained ten, the pressure chamber and an ink ejection port are the bil. Diese Öffnungen 14 a werden z. B. durch einen Stanzpro zeß hergestellt. These openings 14 a are such. As manufactured by a process Stanzpro.

Die Kammer 15 a verfügt über ein Substrat 16 , einen sich aus beulenden Körper 11 und Befestigungsteile 13 . The chamber 15 a has a substrate 16, a bump-out ends body 11 and Fasteners 13th Das Substrat 16 besteht aus einkristallinem Silizium mit einer (100)-Flä che als Hauptebene. The substrate 16 is made of single-crystal silicon having a (100) surface as a main plane -Flä. Im Substrat 16 ist eine dieses durchset zende, sich verjüngende Aussparung 16 a vorhanden. The substrate 16 is a durchset this collapsing, tapered recess 16 is provided a. Darüber hinaus ist ein sich ausbeulender Körper 11 mittels eines eingefügten Befestigungsteils 13 an einer Fläche des Sub strats 16 befestigt. In addition, a is ausbeulender body 11 is fixed by means of an inserted fastening member 13 on a surface of the sub strate 16. Der sich ausbeulende Körper 11 ist so geformt, daß er die Form eines Kammzahns aufweist, und eine Betriebselektrode 11 a und eine Sammelelektrode 11 b zum An schließen einer externen Spannungsversorgung führen von je dem sich ausbeulenden Körper 11 weg. Which bulging body 11 is shaped so that it has the shape of a comb tooth, and an operating electrode 11 a and a collector electrode 11 b to connect to an external power supply lead of each of the bulging body 11 away. Die Betriebselektrode 11 a und die Sammelelektrode 11 b sind mittels des Befesti gungsteils 13 am Substrat 16 befestigt. The operating electrode 11 a and 11 b, the collecting electrode are attached by means of fastening supply part 13 on the substrate 16. Jede Betriebselek trode 11 a ist über einen Schalter mit einer Spannungsversor gung 19 verbunden, durch den die Spannungsversorgung 19 mit der Betriebselektrode 11 a verbunden oder von dieser getrennt werden kann. Each Betriebselek electrode 11 a supply 19 is connected via a switch to a Spannungsversor through which the power supply 19 may be connected to the operating electrode 11 a or separated from it.

Die Kammer 15 b ist ähnlich aufgebaut wie die Kammer 15 a, mit der Ausnahme, daß im Substrat 16 keine sich verjüngende Aus sparung 16 a ausgebildet ist. The chamber 15 b is similar to the chamber 15 a is formed with the exception that the substrate 16 has no tapered recess from 16 a. Ein sich ausbeulender Körper 11 ist ebenfalls mittels eines eingefügten Befestigungsteils 13 an der Kammer 15 b befestigt. One is ausbeulender body 11 is also secured by means of an inserted fastening part 13 of the chamber 15 b.

An der Oberfläche des Tintenkammerdeckels 12 ist eine Aus sparung 12 a mit vorgegebener Tiefe ausgebildet, die über ei nen Tintenzuführpfad 12 b verfügt, der zu einem Seitenendeab schnitt des Tintenkammerdeckels 12 führt. On the surface of the ink chamber lid 12 from a recess 12 with a predetermined depth is formed which has b ei nen ink supply path 12 of the ink chamber lid 12 cut to a Seitenendeab leads.

Die vorstehend genannten Kammern 15 a und 15 b sind z. B. mit tels eines nichtleitenden Epoxidklebers mit einem zwischen gefügten Abstandshalter 14 miteinander verbunden. The above chambers 15 a and 15 b are such. As with means of a non-conductive epoxy adhesive with an interposed spacers 14 together. So bildet jede Öffnung 14 a einen Raum (eine Druckkammer), in der Druck mittels eines sich ausbeulenden Körpers 11 auf die in ihr enthaltene Tinte ausgeübt wird, und es ist eine Tintenaus stoßöffnung vorhanden. Thus, each opening 14 forms a one room (a pressure chamber) is applied in the pressure by a bulging body 11 on the ink contained in it, and it's a shock opening Tintenaus available.

Der Tintenkammerdeckel 12 ist z. B. mittels Epoxidklebers an der Kammer 15 a befestigt. The ink chamber lid 12 is fixed to the chamber 15 a z. B. using epoxy adhesive. So bilden die in der Kammer 15 a ausgebildete sich verjüngende Aussparung 16 a und die im Tin tenkammerdeckel 12 ausgebildete Aussparung 12 a eine Tinten kammer 18 . To form in the chamber 15 a is formed tapered recess 16 a and 12 formed in the Tin tenkammerdeckel recess 12 a an ink chamber 18th Der Tintenzuführpfad 12 b ist so ausgebildet, daß er einen Anschluß zur Tintenkammer 18 hat und nach außen führt. The ink supplying path 12 b is formed so that it has a connection to the ink chamber 18 and leads to the outside. Tinte 100 wird von einem extern vorhandenen Tinten vorratsbehälter durch den Tintenzuführpfad 12 b zur Tinten kammer 18 geführt. Ink 100 is run by an externally existing ink reservoir to the ink chamber b by the ink supplying 12 18.

Da jedes der vorstehend genannten Elemente so liegt, wie es vorstehend beschrieben wurde, ist durch die Tintenkammer 18 und die Öffnungen 14 a eine Reihe von Räumen gebildet. Since each of the above elements as is, as described above, is formed by the ink chamber 18 and the openings 14 a a series of rooms. Tinte 100 kann durch den Tintenzuführpfad 12 b von außen in die Tintenkammer 18 geführt werden, und sie kann aus den Öffnun gen 14 a durch die Tintenausstoßöffnung nach außen ausgesto ßen werden. Ink 100 may be passed through the ink supply path 12 b from the outside into the ink chamber 18, and they can from the Openin conditions 14 a through the ink ejection opening to the outside ausgesto Shen be. Die Tinte wird durch das Paar sich ausbeulender Körper 11 und 11 , die vertikal angeordnet sind, unter Druck gesetzt. The ink is ausbeulender body 11 and 11, which are vertically arranged, set by the pair under pressure. Obwohl die Darstellung in Fig. 5 dergestalt ist, daß der Raum zwischen den Kammern 15 a und 15 b offen ist, ist tatsächlich das meiste des Raums abgedichtet. Although the illustration in FIG. 5 is such that the space between the chambers 15 a and 15 b is open, is sealed in fact most of the space. Darüber hinaus ist in Fig. 5 eine Tintenausstoßöffnung an einem Ende jeder Öffnung 14 a des Abstandshalters 14 vorhanden. In addition, in Fig. 5 is an ink ejection port at one end of each opening 14 a of the spacer 14 is present.

Bei dem in den Fig. 3 bis 5 dargestellten Ausführungsbei spiel ist der Einfachheit halber ein Kopf mit mehreren Düsen mit vier Paaren von sich ausbeulenden Körpern, die vertikal angeordnet sind, beschrieben. A head being game where Ausführungsbei shown in Figs. 3 to 5 with a plurality of nozzles with four pairs of bulging bodies which are arranged vertically described, for simplicity. Jedoch ist die Anzahl sich ausbeulender Körper nicht hierauf beschränkt, sondern sie kann beliebig gewählt werden. However, the number is located ausbeulender body is not limited thereto but may be chosen arbitrarily.

In Verbindung mit den Fig. 6 bis 10 wird nun ein Beispiel für ein Herstellverfahren für die Kammer 15 a beschrieben. In connection with Figs. 6 to 10, an example of a manufacturing method for the chamber 15 a will be described. Es ist zu beachten, daß das folgende eine Beschreibung für das Herstellverfahren einer Kammer 15 a ist, wie sie in einem integrierten Tintenstrahlkopf verwendet wird. It should be noted that the following description for the manufacturing of a chamber 15 a is, as it is used in an integrated ink jet head.

Die Fig. 6 bis 10 sind schematische Schnittansichten, die Schritt für Schritt ein Herstellverfahren für die Kammer 15 a eines Tintenstrahlkopfs gemäß dem vorliegenden Ausführungs beispiel veranschaulichen. FIGS. 6 to 10 are schematic sectional views illustrating step by step a manufacturing method for the chamber 15 a of an ink jet head according to the present embodiment, for example.

Zunächst wird, wie es in Fig. 6 veranschaulicht ist, ein Substrat 16 bereitgestellt, das aus einkristallinem Silizium mit einer (100)-Fläche als Hauptebene besteht. First, as it is illustrated in Fig. 6, a substrate 16 is provided, which consists of monocrystalline silicon with a (100) face as a main plane. An der Ober- und der Unterseite wird eine Siliziumoxid(SiO₂)-Schicht 17 mit 6 bis 8% Phosphor (P) (nachfolgend als PSG-Schicht be zeichnet) mittels einer LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)-Vorrichtung mit einer Dicke von z. B. 2 µm ab geschieden. At the top and the bottom of a silicon oxide (SiO₂) layer 17 with 6-8% phosphorus (P) (hereinafter referred to as PSG layer be characterized) by means of a LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) device with a thickness of z. B. divorced from 2 microns. Diese PSG-Schicht 17 dient bei einem späteren Schritt als Befestigungsteil 13 . This PSG layer 17 is used in a later step as an attachment section 13 Type.

Danach wird, wie in Fig. 7 dargestellt, eine Nickel(Ni)- Schicht 18 mit einer Dicke von 6 µm durch z. B. ein elektro lytisches Plattierverfahren auf der Oberseite des Substrats 16 abgeschieden. Thereafter, as shown in Figure 7, a nickel (Ni) -. Layer 18 with a thickness of 6 microns, for example, by an electro lytic plating method on top of the substrate 16 is deposited.. Diese Nickelschicht 18 wird später ein sich ausbeulender Körper. This nickel layer 18 is a ausbeulender body is later.

Dann wird, wie es in Fig. 8 dargestellt ist, die Ni-Schicht 18 geätzt und so gemustert, daß vorgegebene Form aufweist. Then, the Ni layer is, as shown in Fig. 8, 18 is etched and patterned so that said predetermined shape.

Dann wird, wie es in Fig. 9 dargestellt ist, die PSG-Schicht 17 an der Unterseite des Substrats 16 gemustert. Then, the PSG layer, as shown in Fig. 9, 17 patterned on the underside of the substrate 16. Das Sili ziumsubstrat 16 wird mit Kaliumhydroxid (KOH), das ein ani sotropes Ätzmittel ist, unter Verwendung dieser gemusterten PSG-Schicht 17 als Maske geätzt. The Sili ziumsubstrat 16 with potassium hydroxide (KOH), which is a ani sotropes etchant etched using this patterned PSG layer 17 as a mask. Durch diesen Ätzvorgang wird die sich verjüngende Aussparung 16 a, die das Silizium substrat 16 durchsetzt, hergestellt. By this etching, the tapered recess 16 a, the silicon substrate 16 is penetrated produced. Schließlich werden, wie es in Fig. 10 dargestellt ist, die PSG-Schicht 17 an der Un terseite des Siliziumsubstrats 16 , wie auch ein Teil der PSG-Schicht 17 an der Oberseite des Substrats 16 durch Ätzen entfernt. Finally, as shown in Fig. 10, the PSG layer 17 on the Un underside of the silicon substrate 16, as well as a portion of the PSG layer 17 is removed at the top of the substrate 16 by etching. So wird das Befestigungsteil 13 ausgebildet, und es wird eine Kammer 15 a mit gewünschter Struktur erhalten. Thus, the fastening part 13 is formed, and there is a chamber 15 obtained with a desired structure.

Im Folgenden wird ein Tintenstrahlkopf beschrieben, bei dem mehr als zwei sich ausbeulende Körper in einer einzelnen Druckkammer vorhanden sind. In the following, an ink jet head is described where more than two bulging body are present in a single pressure chamber.

Die Fig. 11A und 11B zeigen einen Tintenstrahlkopf 10 , bei dem fünf sich ausbeulende Körper in einer einzelnen Druck kammer vorhanden sind. FIGS. 11A and 11B show an ink jet head 10 in which five are bulging bodies are present in a single chamber pressure. Genauer gesagt, ist Fig. 11A eine Seitenansicht dieses Tintenstrahlkopfs 10 und Fig. 11B ist eine Schnittansicht entlang der Linie AA in Fig. 11A. More specifically, FIG. 11A is a side view of this ink jet head 10, and Fig. 11B is a sectional view taken along line AA in Fig. 11A.

Der Tintenstrahlkopf 10 verfügt über eine Kammer 5 mit Qua derform. The ink jet head 10 has a chamber with 5 Qua DERFORM. Eine Tintenausstoßöffnung 5 a ist in einer vorgege benen Fläche der Kammer 5 ausgebildet, und fünf sich ausbeu lende Körper 11 sind an den jeweiligen anderen Flächen der Kammer 5 a, die also nicht die Tintenausstoßöffnung 5 a ent halten, angebracht, wobei jeweils ein Befestigungsteil 3 eingefügt ist. An ink discharge port 5a formed in a PRE-enclosed area of the chamber 5, and five located ausbeu loin body 11 are connected to the respective other surfaces of the chamber 5 a, which thus is not 5 keep the ink ejection opening a ent is attached, wherein in each case a fastening part 3 is inserted. Genauer gesagt, ist die Tintenausstoßöffnung 5 a in derjenigen Wand der Kammer 5 a ausgebildet, die sich in derjenigen Richtung erstreckt, in der sich ein sich ausbeu lender Körper 11 ausbeult. More specifically, the ink ejection port 5 a in that wall of the chamber 5 a is formed which extends in the direction in which a lender is ausbeu body bulges 11. Im unteren Abschnitt der Kammer 5 ist eine Tintenzuführöffnung 5 b ausgebildet. In the lower portion of the chamber 5 is formed an ink supply port 5b. Jeder sich aus beulende Körper 11 ist über einen Schalter mit einer Span nungsversorgung 9 verbunden. Everyone from beulende body 11 is connected via a switch with a clamping voltage supply 9. Wenn der Schalter geschlossen wird, wird Spannung an jeweils eine Elektrode der fünf sich ausbeulenden Körper 11 angelegt. If the switch is closed, voltage is applied to one electrode each of the five bulging body 11. So fließt Strom durch die fünf sich ausbeulenden Körper 11 , wodurch sie sich in das Innere der Kammer hinein ausbeulen. Thus, current flows through the five bulging body 11, so they bulge out into the interior of the chamber. Dabei wird Druck wir kungsvoll auf Tinte 100 ausgeübt, wenn die sich ausbeulenden Körper 11 so liegen, daß sie einen Innenraum der Kammer 5 umschließen, wie in den Fig. 11A und 11B dargestellt. This pressure is exerted on ink we fectively 100 when the bulging body 11 so located that they enclose an interior of the chamber 5, as shown in FIGS. 11A and 11B. Tinte 100 , auf die wie vorstehend beschrieben Druck ausgeübt wur de, wird durch die Tintenausstoßöffnung 5 a aus dem Tinten strahlkopf 10 herausgedrückt. Ink 100, applied to the pressure as described above WUR de is determined by the ink discharge port 5 A of the ink jet head 10 is pushed out.

Die Fig. 12A, 12B und 12C zeigen ein Ausführungsbeispiel ei nes Tintenstrahlkopfs, bei dem eine Kammer 5 zylindrisch ist und acht sich ausbeulende Körper vorhanden sind. Fig. 12A ist eine perspektivische Außenansicht des Ausführungsbei spiels. Fig. 12B zeigt einen Schnitt A gesehen aus der Rich tung, wie sie in Fig. 12A durch einen Pfeil a gekennzeichnet ist. Fig. 12C zeigt einen Schnitt B, gesehen aus der Rich tung, wie sie in Fig. 12A durch einen Pfeil b gekennzeichnet ist. FIGS. 12A, 12B and 12C show an embodiment egg nes ink jet head in which a chamber 5 is cylindrical and eight are bulging bodies are present. FIG. 12A is a perspective external view of the Ausführungsbei, game. FIG. 12B shows a section A seen from Rich reporting, as is indicated in FIG. 12A by an arrow a. Fig. 12C shows a section B, seen from the rich reporting, as is indicated in FIG. 12A by an arrow b.

Die acht sich ausbeulenden Körper 11 sind mit jeweils einem eingefügten Befestigungsteil 3 an der Innenseite einer zy lindrischen Kammer 5 befestigt. The eight bulging body 11 are fastened with an inserted fastening part 3 on the inside of a zy-cylindrical chamber 5. Beim vorliegenden Ausfüh rungsbeispiel verfügt die Kammer 5 an ihren beiden Enden über ein Paar Wände, die einander gegenüberstehen, und in diesem Paar Wände ist eine Tintenausstoßöffnung 5 a bzw. eine Tintenzuführöffnung 5 b ausgebildet, die dementsprechend ein ander gegenüberstehen. In the present Ausfüh tion for the chamber 5 has at its two ends by a pair of walls which face each other, and in this pair of walls an ink ejection port 5 a and an ink 5 b is formed, which accordingly an other face. Die acht sich ausbeulenden Körper 11 sind an derjenigen Innenwand vorhanden, in der sich weder die Tintenausstoßöffnung 5 a noch die Tintenzuführöffnung 5 b enthalten, und sie umgeben den Innenraum der Kammer 5 . The eight bulging body 11 are available to those inner wall in which contain neither the ink ejection port 5a nor the ink supply port 5 b, and surround the interior of the chamber. 5 Die Tintenausstoßöffnung 5 a und die Tintenzuführöffnung 5 b lie gen so, daß sie den von den acht sich ausbeulenden Körpern 11 umgebenen Innenraum einbetten. The ink ejection port 5 a and 5 b lie the ink supply conditions so as to embed the 11 surrounded by the eight bulging bodies inside. So kann Tinte wirkungsvoll aus der Tintenausstoßöffnung 5 a mittels der sich ausbeulen den Körper 11 ausgestoßen werden. Thus ink can effectively from the ink ejection port 5 a means of bulge the body 11 is ejected.

Jeder der sich ausbeulenden Körper 11 ist über einen Schal ter mit einer Spannungsversorgung 9 verbunden. Each of the bulging body 11 is connected via a scarf ter with a power supply 9. Obwohl in der Figur der Einfachheit halber nur ein sich ausbeulender Kör per 11 mit einer Elektrode dargestellt ist, verfügt tatsäch lich jeder der acht sich ausbeulenden Körper 11 über eine Elektrode. Although in the figure for simplicity only one is shown by ausbeulender Kör 11 with an electrode has tatsäch Lich each of the eight bulging body 11 via an electrode. Wenn der Schalter geschlossen wird, fließt Strom durch die acht sich ausbeulenden Körper 11 , und diese beulen sich aus. When the switch is closed, current flows through the eight bulging body 11, and this bump off. So wird die Tinte 100 unter Druck gesetzt und durch die Tintenausstoßöffnung 5 a aus dem Tintenstrahlkopf 10 herausgedrückt. Thus, the ink 100 is put under pressure and pressed out through the ink discharge port 5 A of the ink jet head 10.

Fig. 13 ist eine schematische Schnittansicht, die eine Modi fizierung des in Fig. 1 dargestellten Tintenstrahlkopfs 10 zeigt. Fig. 13 is a schematic sectional view showing a cation modes of the inkjet head 10 shown in Fig. 1. Fig. Dieser Tintenstrahlkopf 10 unterscheidet sich von dem von Fig. 1 dahingehend, daß eine Tintenzuführöffnung 5 b ent gegengesetzt zu derjenigen Richtung liegt, in der sich der sich ausbeulende Körper 1 verformt (entgegengesetzt zur Richtung, in der sich der sich ausbeulende Körper 1 aus beult; dh hinter dem sich ausbeulenden Körper 1 ). This ink jet head 10 differs from that of Fig 1 in that an ink 5 b ent oppositely situated to the direction in which the are bulging body 1 is deformed (opposite to the direction in which bulging body 1 of bulges. ie behind the body bulging 1). Der sich ausbeulende Körper 1 ist mittels eines Befestigungsteils 3 an derselben Innenfläche befestigt, in der die Tintenzuführ öffnung 5 b vorhanden ist, und die Befestigungsteile 3 liegen so, daß sie die Tintenzuführöffnung 5 b zwischen sich einbet ten. Dadurch erstreckt sich der sich ausbeulende Körper 1 über die Tintenzuführöffnung Sb. Der sich ausbeulende Körper 1 , der mittels der Befestigungsteile 3 wie vorstehend be schrieben befestigt ist, beult sich in derjenigen Richtung aus, die von der Innenwand wegzeigt, an der er befestigt ist, dh in der Richtung von der Tintenzuführöffnung 5 b weg. Which bulging body 1 is attached by means of a fixing part 3 of the same inner surface of the Tintenzuführ opening 5 b is present, and the fixing parts 3 are such that they 5b th the ink einbet between them. As a result, which bulging body extends 1 through the ink supply port Sb. which bulging body 1, which is attached as described above be written by means of the fastening members 3, bulges out in the direction which faces away from the inner wall to which it is attached, ie, in the direction from the ink supply port 5 b away. So kann verhindert werden, daß der durch die Verformung des sich ausbeulenden Körpers 1 auf die Tinte 100 ausgeübte Druck zu einem Auslecken von Tinte aus der Tintenzuführöff nung 5 b führt. Thus, it can be prevented that the pressure exerted by the deformation of the bulging body 1 to the ink 100 to a pressure leakage of ink from the opening 5 Tintenzuführöff b leads. Demgemäß können Energieverluste beim Tinten ausstoß verringert werden, was bedeutet, daß Tinte wirkungs voller ausgestoßen werden kann. Accordingly, energy losses during inks can be reduced emissions, which means that ink can be ejected full effect.

Fig. 14A ist eine Seitenansicht, die eine andere Modifizie rung des in Fig. 1 dargestellten Tintenstrahlkopfs zeigt. Fig. 14B ist eine Schnittansicht entlang der Linie BB in Fig. 14A. FIG. 14A is a side view showing another Modifizie tion of the ink jet head shown in FIG. 1. FIG. 14B is a sectional view taken along line BB in Fig. 14A. Gemäß den Fig. 14A und 14B unterscheidet sich bei dieser Modifizierung die Position einer Tintenausstoßöffnung 5 a von derjenigen beim in Fig. 1 dargestellten Ausführungs beispiel. Referring to FIGS. 14A and 14B of this modification, the position of an ink ejection port 5 a 1 from that shown embodiment differs when in Fig. For example. Das heißt, daß die Tintenausstoßöffnung 5 a bei dieser Modifizierung an einer Position vorhanden ist, die in bezug auf die Mitte der Kammer 5 einer Rotation um 90° in bezug auf die Position in Fig. 1 entspricht. That is, the ink discharge port 5 a is present in this modification at a position which corresponds to 5 with respect to the center of the chamber a rotation by 90 ° with respect to the position in Fig. 1. In diesem Fall wird beinahe dieselbe Wirkung wie im Fall von Fig. 1 er zielt. In this case, almost the same effect as in the case of Fig. 1, it is aimed. Wie vorstehend beschrieben, kann die Tintenausstoß öffnung 5 a an verschiedenen Stellen in der Wand der Kammer 5 vorhanden sein. As described above, the ink discharge port 5 a at various points in the wall of the chamber 5 may be present. So ist der Freiheitsgrad bei der Konstruk tion erhöht. Thus, the degree of freedom in constructing with increased. Jedoch ist es bevorzugt, wenn die Tintenaus stoßöffnung 5 a durch eine Innenwand geht, die ein Paar ein ander gegenüberstehender Innenwände verbindet, an denen je weilige sich ausbeulende Körper 1 befestigt sind, wie in den Fig. 14A und 14B dargestellt. However, it is preferred if the Tintenaus push-through opening 5a passes through an inner wall, a pair of connecting one other of opposed inner walls, on each of which are bulging body spective 1 are fixed, as shown in FIGS. 14A and 14B. Es ist bevorzugter, wenn die Tintenausstoßöffnung 5 a so liegt, daß sie gleich weit von den mehreren sich ausbeulenden Körpern 1 entfernt ist. It is preferable that the ink ejection port 5 is a so that it is equidistant from the plural bulging bodies 1. So kann Tinte 100 wirkungsvoller ausgestoßen werden. Thus, ink can be ejected 100 effective.

Fig. 15 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Tin tenstrahlkopf gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. Fig. 15 is a schematic sectional view jet head according to another embodiment of the invention showing a Tin. Wie in Fig. 15 dargestellt, ist bei diesem Ausführungsbeispiel ein relativ langer sich ausbeulender Körper 11 an einer Fläche eines Paars sich gegenüberstehen der Innenflächen einer Kammer 5 mittels eingefügter Befesti gungsteile 3 befestigt, und ein Paar relativ kurzer sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 ist an der anderen Innen fläche mittels eingefügter Befestigungsteile 3 so befestigt, daß sie voneinander beabstandet sind. As shown in Fig. 15, in this embodiment, a relatively long is ausbeulender body 11 is attached to a surface of a pair are facing the inner surfaces of a chamber 5 by means of inserted fastening supply parts 3 is fixed, and a pair of relatively short is ausbeulender body 11-1 and 11 -1 is fastened by means of fastening parts 3 inserted so that they are spaced apart from each other at the inner surface. Eine Tintenausstoßöff nung 5 a ist zwischen dem Paar relativ kurzer sich ausbeulen der Körper 11-1 und 11-1 vorhanden. A Tintenausstoßöff Regulation 5 a is between the pair of relatively short bulge of 11-1 and 11-1 present body. Da die Tintenausstoßöff nung 5 a zwischen dem Paar sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 vorhanden ist, wie vorstehend genannt, kann Druck, wie er mittels des Paars sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 die auch durch den relativ langen sich ausbeulenden Körper 11 auf die Tinte 100 ausgeübt wird, wirkungsvoll aus der Tintenausstoßöffnung 5 a ausgegeben werden. Since the Tintenausstoßöff voltage between the 5 a pair of 11-1 and 11-1 ausbeulender body is present, as mentioned above, pressure, such as by means of the pair is ausbeulender body 11-1 and 11-1 also by the relatively long bulging body 11 is applied to the ink 100, issued effective from the ink ejection port 5 a. Es ist zu beach ten, daß jeder der sich ausbeulenden Körper 1 , 11-1 und 11-1 über einen Schalter mit der Spannungsversorgung 9 verbunden ist. It is to be observed ten, that each of the bulging body 1, 11-1 and 11-1 connected via a switch with the voltage supply 9.

Wie im Fall der oben genannten Modifizierung kann beim vor liegenden Ausführungsbeispiel eines Tintenstrahlkopfs 10 die Tintenausstoßöffnung 5 a an einer beliebigen Fläche der Kam mer vorhanden sein. As in the case of the above modification can be prior to the present exemplary embodiment of an ink jet head 10, the ink discharge port 5 to a surface of an arbitrary number Kam be present. Demgemäß kann der Tintenstrahlkopf auf flexible Weise konstruiert werden. Accordingly, the ink jet head can be designed in a flexible way.

Fig. 16 ist ein schematisches Diagramm eines Tintenstrahl kopfs 10 gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfin dung. Fig. 16 is a schematic diagram of an inkjet head 10 according to another embodiment of making the inventions. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel sind mehrere Tintenausstoßöffnungen 25 a in einer einzelnen Kammer vorhan den, und sich ausbeulende Körper 21 , die den jeweiligen Tin tenausstoßöffnungen 25 a entsprechen, werden unabhängig von einander betrieben. In the present embodiment, a plurality of ink ejection openings 25 a are in a single chamber IN ANY to, and bulging body 21, the tenausstoßöffnungen the respective Tin 25a correspond to operate independently of each other. Außerdem ist keine Unterteilung zum Ver hindern einer Druckausbreitung zwischen den sich ausbeulen den Körpern vorhanden. In addition, no subdivision for United prevent a pressure propagation between the bulge bodies present.

Gemäß Fig. 16 sind im Tintenstrahlkopf 10 des vorliegenden Ausführungsbeispiels mehrere Tintenausstoßöffnungen 25 a, . As shown in FIG. 16 are ink jet head 10 of the present embodiment a plurality of ink ejection ports 25 a,. . , . , in einer einzelnen Kammer 5 vorhanden, und ein sich ausbeu lender Körper oder mehrere sich ausbeulende Körper 21 , . present in a single chamber 5, and a lender be ausbeu body or a plurality of bulging body 21. . , . , die den jeweiligen Tintenausstoßöffnungen 25 a, . corresponding to the respective ink discharge ports 25 a,. . , . , entspre chen, sind in der Kammer 5 vorhanden, an der sie mittels eingefügten Befestigungsteilen 23 befestigt sind. chen corre are present in the chamber 5, to which they are attached by means of fastening members 23 inserted. Diese sich ausbeulenden Körper 21 , . This bulging body 21. . , . , sind so angeordnet, daß sie den jeweiligen Tintenausstoßöffnungen 25 a gegenüberstehen, und sie sind jeweils über Schalter mit verschiedenen Spannungs versorgungen 9-1 , . are arranged so that they face the respective ink discharge ports 25 a, and they are each about switches with different voltage supplies 9-1. . , . , verbunden. connected. Demgemäß können die sich aus beulenden Körper 21 , die den jeweiligen Tintenausstoßöffnun gen 25 a entsprechen, unabhängig voneinander betrieben wer den. Accordingly, the who be operated from bump-ligand body 21, which correspond to the respective conditions Tintenausstoßöffnun 25 a are independently. Da mehrere Tintenausstoßöffnungen 25 a in einer einzel nen Kammer 5 vorhanden sind, und die sich ausbeulenden Kör per 21 , die jeweils den Tintenausstoßöffnungen 25 a entspre chen, unabhängig voneinander betrieben werden, wie oben be schrieben, ist es nicht erforderlich, eine Trennwand anzu bringen, die die Tintenausstoßöffnungen 25 a voneinander trennt. Since multiple ink ejection openings 25 a in a single nen chamber 5 are available, and the bulging Kör by 21, each of the ink ejection openings 25 a corre chen, independently operated above be enrolled, it is not necessary to a partition bring separating the ink ejection openings 25a from each other. Demgemäß kann der gegenseitige Abstand der Tinten ausstoßöffnungen 25 a verringert werden, was zu verbesserter Auflösung führt. Accordingly, the mutual distance of the ink discharge ports 25a can be reduced, resulting in improved resolution.

Wenn der sich ausbeulende Körper 21 Seiten mit verschiedenen Abmessungen aufweist, kann der gegenseitige Abstand von Tin tenausstoßöffnungen 25 a dadurch verringert werden, daß die kürzere Seite des sich ausbeulenden Körpers 21 parallel zur Linie angeordnet wird, die die Tintenausstoßöffnungen 25 a miteinander verbindet. When the bulging is 21 body has sides with different dimensions, the mutual distance of Tin can tenausstoßöffnungen 25 a be reduced, that the shorter side of the bulging body 21 is arranged parallel to the line 25 a connecting the ink discharge ports to each other. Im Ergebnis kann eine weitere Verbes serung der Auflösung erzielt werden. As a result, a further improve- ment in resolution can be obtained.

Wie es beschrieben wurde, kann gemäß der Erfindung hoher Tintenausstoßdruck erzeugt werden, während die Größe eines Tintenstrahlkopfs klein bleibt, da mehrere sich ausbeulende Körper wirkungsvoll an einer beliebigen Fläche einer Kammer positioniert werden. As described, high ink discharge pressure can be generated, while the size of an ink jet head is small, since a plurality of bulging body are effectively positioned at any area of a chamber according to the invention. Darüber hinaus ist eine Tintenzuführ öffnung hinter einem sich ausbeulenden Körper angeordnet (entgegengesetzt zur Richtung, in der sich ein sich ausbeu lender Körper ausbeult), wodurch wirkungsvoll verhindert werden kann, daß der auf die Tinte ausgeübte Druck sich da durch abbaut, daß Tinte aus einer Tintenzuführöffnung aus leckt. In addition, a Tintenzuführ opening is located behind a bulging body (opposite to the direction in which to bulge a is ausbeu lender body), which can be effectively prevents the pressure applied to the ink pressure because by degrades that ink from a ink from leaking. So können Energieverluste beim Tintenausstoß verrin gert werden und Tinte kann wirkungsvoll ausgestoßen werden. Thus energy losses during ink ejection can be verrin siege and ink can be discharged effectively. Ferner kann gemäß der Erfindung eine Tintenausstoßöffnung an einer beliebigen Fläche einer Kammer vorhanden sein. Further may be present on any surface of a chamber according to the invention, an ink discharge port. So ist der Freiheitsgrad bei der Konstruktion erhöht. Thus, the degree of freedom is increased in designing. Außerdem müssen, wenn mehrere Tintenausstoßöffnungen in einer einzel nen Kammer enthalten sind und sich ausbeulende Körper, die den jeweiligen Tintenausstoßöffnungen zugeordnet sind, unab hängig voneinander betrieben werden, die Tintenausstoßöff nungen nicht voneinander durch Trennwände getrennt sein. In addition, if a plurality of ink ejection ports are contained in a single nen chamber and bulging body that are associated with the respective ink ejection ports are inde pendent operated from one another, the calculations Tintenausstoßöff not be separated by partitions. So kann der gegenseitige Abstand der Tintenausstoßöffnungen verringert werden, was zu einer Verbesserung der Auflösung führt. Thus, the mutual distance of the ink discharge ports can be reduced, leading to an improvement in the resolution.

Citas de patentes
Patente citada Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
*DE2444517C3 Título no disponible
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Otras citas
Referencia
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Citada por
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Clasificaciones
Clasificación internacionalB41J2/055, B41J2/14, B41J2/16, B41J2/045
Clasificación cooperativaB41J2/14, B41J2002/14346
Clasificación europeaB41J2/14
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
30 Nov 1995OP8Request for examination as to paragraph 44 patent law
24 Oct 19968125Change of the main classification
Ipc: B41J 2/045
20 Mar 19978128New person/name/address of the agent
Representative=s name: PATENTANWAELTE MUELLER & HOFFMANN, 81667 MUENCHEN
25 Ene 2001D2Grant after examination
19 Jul 20018364No opposition during term of opposition
17 Mar 20058339Ceased/non-payment of the annual fee