DE19517969C2

DE19517969C2 - Tintenstrahlkopf

Info

Publication number: DE19517969C2
Application number: DE1995117969
Authority: DE
Inventors: Shingo Abe; Kenji Ohta; Tetsuya Inui; Hirotsugu Matoba; Susumu Hirata; Yorishige Ishii; Shigeo Terashima
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1994-05-27
Filing date: 1995-05-16
Publication date: 2001-01-25
Anticipated expiration: 2015-05-17
Also published as: JPH07314673A; DE19517969A1

Description

Die Erfindung betrifft einen Tintenstrahlkopf, in dem mittels eines sich aus beulenden Körpers Druck auf einen Behälter füllende Tinte ausgeübt wird, wodurch Tintentröpfchen aus dem Behälter ausgestoßen werden.

Aus JP 2-30543 A ist ein Tintenstrahlkopf zum Ausstoßen von Tinte aus einer Tintenausstoßöffnung einer Tintenkammer bekannt, bei dem der Ausstoß druck mittels eines sich ausbeulenden Körpers auf die Tinte ausgeübt wird. Ein in der Tintenkammer angebrachter Beulkörper beult infolge einer in Längsrichtung wirkenden Druckkraft aus, wodurch ein Druck innerhalb der Tintenkammer erzeugt wird, der zum Ausstoß von Tinte durch die Tintenaus stoßöffnung führt. Der Beulkörper ist gegenüber der Tintenausstoßöffnung angeordnet.

In DE 24 44 517 C3 wird ein Tintenspritz-Schreibwerk für einen Bildtelegra phen beschrieben. Ein Piezokristall ist über einen elektrischen Impuls beauf schlagbar, worauf er sich ausdehnt und eine Durchbiegung einer schwin gungsfähigen Fläche erzeugt. Bei jeder Durchbiegung der schwingungsfähigen Fläche wird ein Tintentröpfchen aus einer Auslaßdüse gestoßen. Zur Beein flussung der Tröpfchengröße sind zwei Piezokristalle vorgesehen, die unab hängig voneinander beaufschlagbar sind.

In der US 5,105,209 ist ein Tintenstrahlkopf beschrieben, bei dem ein Piezo element in der Nähe und gegenüber einer Tintenausstoßöffnung im Inneren ei ner Tintenkammer angeordet ist.

Obwohl der auf die Tinte ausgeübte Ausstoßdruck bei Tintenstrahlköpfen die ser Art relativ hoch ist, sind weitere Verbesserungen hinsichtlich des Aus stoßdrucks und einer Verringerung der Größe des Tintenstrahlkopfes erfor derlich.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Tintenstrahlkopf anzugeben, der trotz kleiner Größe mittels einer Beuleinrichtung als Tintenausstoßdruck- Erzeuger einen hohen Tintenausstoßdruck erzeugen kann.

Die Aufgabe ist durch die Lehre des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Der erfindungsgemäße Tintenstrahlkopf weist im Inneren einer Tintenkammer mehrere sich ausbeulende Beulkörper auf. Der Beulkörper ist ein Bauelement, das durch Anwenden einer vorgegebenen Kompressionsbelastung ausgebeult wird. Dadurch, daß einer der Beulkörper in der Tintenkammer so befestigt ist, daß er sich über eine Tintenzufuhröffnung erstreckt, durch die frische Tinte aus einem Vorratstank zuführbar ist, kann sich der beim Ausbeulen des Beu lelements in der Tintenkammer entstehende Druck nicht über die Tintenzu führöffnung entspannen, wodurch der Druckverlust minimierbar ist.

Bei diesem Tintenstrahlkopf sind mehrere sich ausbeulende Körper im Innen raum zwischen einem Satz aus einer Tintenausstoßöffnung und einer Tinten zuführöffnung vorhanden. An jedem der sich ausbeulenden Körper wird in dessen Längsrichtung durch eine Ausbeuleinheit eine Kompressionskraft an gelegt, woraufhin die Beulkörper in Richtung ihrer Dicke ausbeulen. Das heißt, daß dann, wenn mehrere Beulkörper ausgebeult werden, das Ausmaß der Auslenkung der mehreren Beulkörper in ihrer Längsrichtung in eine sol che in ihrer Dickenrichtung umgesetzt wird. Bei einem derartigen Ausbeulen der mehreren sich ausbeulenden Körper, wie vorste hend genannt, kann selbst dann, wenn das Ausmaß der Auslen kung in ihrer Längsrichtung klein ist, dieses kleine Ausmaß der Auslenkung in eine große Auslenkung in Richtung ihrer Dicke umgesetzt werden. Demgemäß kann das Ausüben hohen Drucks auf Tinte, die den Innenraum einer Kammer ausfüllt, dadurch erzielt werden, daß mehrere sich ausbeulende Körper angeordnet werden, wie vorstehend genannt. Im Ergebnis kann ein hoher Tintenausstoßdruck erzeugt werden. Es ist zu be achten, daß eine Verringerung der Größe eines sich ausbeu lenden Körpers erzielt werden kann, da selbst dann, wenn dessen Größe klein ist, eine große, vom Ausbeulvorgang her rührende Auslenkung erzielt werden kann. Ferner können meh rere sich ausbeulende Körper dadurch ausgebeult werden, daß lediglich beide Enden der mehreren sich ausbeulenden Körper fixiert werden. So wird der sich ausbeulende Körper relativ einfach. Demgemäß kann die Größe dieses sich ausbeulenden Körpers leicht verringert werden. Im Ergebnis kann ein Tin tenstrahlkopf geschaffen werden, der hohen Tintenausstoß druck erzeugen kann, während seine Größe klein ist.

Die Merkmale der Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausgestaltungen wer den aus der folgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den bei gefügten Zeichnungen deutlicher.

Fig. 1 ist eine Schnittansicht durch einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Aus führungsbeispiel der Erfindung.

Fig. 2 ist eine Schnittansicht, die einen Betriebszustand des in Fig. 1 darge stellten Tintenstrahlkopfs veranschaulicht.

Fig. 3 ist eine perspektivische Explosionsansicht, die ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen integrierten Tintenstrahlkopfs zeigt.

Fig. 4 ist eine Draufsicht auf eine Anordnung eines Ab standshalters und sich ausbeulender Körper in Fig. 3.

Fig. 5 ist eine Schnittansicht entlang der Linie X-X in Fig. 4.

Fig. 6 bis 10 sind Schnittansichten, die Schritt für Schritt ein Herstellverfahren für eine Kammer gemäß der Erfindung veranschaulichen.

Fig. 11A ist eine Seitenansicht, die einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt.

Fig. 11B ist eine Schnittansicht entlang der Linie B-B in Fig. 11A.

Fig. 12 ist eine Schnittansicht, die einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Aus führungsbeispiel der Erfindung zeigt.

Zu den Ausführungsbeispielen der Erfindung gehören zwei Typen von Tinten strahlköpfen, das heißt einerseits ein Typ mit einer einzelnen Tintenausstoß öffnung und mehreren sich ausbeulenden Körpern, und andererseits ein Typ mit mehreren Tintenausstoßöffnungen und mehreren sich ausbeulenden Kör pern. Hierzu werden Beispiele in Verbindung mit den beigefügten Zeichnun gen beschrieben.

Der in Fig. 1 dargestellte Tintenstrahlkopf 10 ist wie folgt aufgebaut. Zwei sich ausbeulende Körper 1 und 1 sind an der Innenseite einer Kammer 5 mit tels dazwischenliegenden Befestigungsteilen 3 und 3 befestigt. Eine Tinten ausstoßöfnung 5a und eine Tintenzuführöffnung 5b sind an der Kammer 5 ausgebildet. Die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 sind über einen Schalter an einem Ende mit einer Spannungsversorgung 9 verbunden, und sie sind am anderen Ende geerdet. Die Tintenausstoßöffnung 5a ist in einer Wand der Kammer 5 ausgebildet, die in der Richtung rechtwinklig zur Ausbeulrich tung der sich ausbeulenden Körper 1 und 1 liegt (Richtung, in der sich die sich ausbeulenden Körper ausbeulen). Genauer gesagt, beinhaltet die Kammer 5 einen ersten und einen zweiten Innenflächenabschnitt, die einander zuge wandt sind und an denen die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 einander gegenüberstehend befestigt sind. Außerdem verfügt die Kammer 5 über einen dritten Innenseitenabschnitt, der sich von den Umfangskantenabschnitten des ersten und des zweiten Innenflächenabschnitts in derjenigen Richtung er streckt, in der die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 ausbeulen, und er ver bindet den ersten und den zweiten Innenflächenabschnitt, die einander gegen überstehen, miteinander. In diesem dritten Innenflächenabschnitt ist die Tintenausstoßöffnung 5a ausgebildet. Eine Tintenzuführöffnung 5b ist entgegengesetzt zu derjenigen Richtung angeordnet, in der sich der sich ausbeulende Körper 1 verformt (entgegengesetzt zur Richtung, in der sich der sich ausbeulende Körper 1 ausbeult; das heißt hinter dem sich aus beulenden Körper 1). Der sich ausbeulende Körper 1 ist mittels eines Befe stigungsteils 3 an derselben Innenfläche befestigt, in der die Tintenzu führöffnung 5b vorhanden ist, und die Befestigungsteile 3 liegen so, daß sie die Tintenzuführöffnung 5b zwischen sich einbetten. Dadurch er streckt sich der sich ausbeulende Körper 1 über die Tintenzuführöffnung 5b. Der sich ausbeulende Körper 1, der mittels der Befestigungsteile 3 wie vorstehend beschrieben befestigt ist, beult sich in derjenigen Richtung aus, die von der Innenwand wegzeigt, an der er befestigt ist, das heißt in der Richtung von der Tintenzuführöffnung 5b weg. So kann verhindert werden, daß der durch die Verformung des sich ausbeulenden Körpers 1 auf die Tinte 100 ausgeübte Druck zu einem Auslecken von Tinte aus der Tintenzuführöffnung 5b führt. Demgemäß können Energieverluste beim Tintenausstoß verringert werden, was bedeutet, daß Tinte wirkungsvoller ausgestoßen werden kann.

Vorzugsweise bestehen die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 aus leitendem Material, das elastisch verformt werden kann. Genauer gesagt, bestehen die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 aus einem Material wie Metall oder dergleichen. Aus serdem haben die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 vor zugsweise die Form eines Bands. Ein Paar Elektroden 1a und 1b zum Zuführen von Strom sind an den beiden Enden der je weiligen sich ausbeulenden Körper 1 und 1 vorhanden. Eine Elektrode 1a kann über einen Schalter mit einer Spannungs versorgung 9 verbunden werden. Das heißt, daß durch Öffnen oder Schließen des Schalters bestimmt werden kann, ob die eine Elektrode 1a und die Spannungsversorgung 9 miteinander verbunden oder voneinander getrennt werden. Die andere Elek trode 1b ist geerdet.

Im Betrieb des Tintenstrahlkopfs 10 des ersten Ausführungs beispiels wird zunächst Tinte 100 von der Tintenzuführöff nung 5b zugeführt. So wird ein Behälter mit Tinte 100 ge füllt und die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 werden in Tinte 100 eingetaucht.

Wenn in diesem Zustand der Schalter geschlossen wird, fließt Strom durch die sich ausbeulenden Körper 1 und 1, und diese werden durch die mittels des Widerstands der Körper erzeug te Wärme erwärmt, wodurch sie sich thermisch ausdehnen.

Da jedoch, wie es in Fig. 1 dargestellt ist, die jeweiligen beiden Enden der sich ausbeulenden Körper 1 und 1 mittels der Befestigungs teile 3 und 3 an der Kammer 5 befestigt sind, können sie durch die Expansion nicht verformt werden. Demgemäß wirkt auf beide sich ausbeulende Körper 1 und 1 von ihren beiden Längsenden her eine Kompressionskraft P₁ in der durch einen Pfeil F₁ veranschaulichten Richtung, wodurch elastische Energie eingespeichert wird. Wenn diese Kompressionskraft P₁ die Ausbeulbelastung der zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 übersteigt, werden diese auf sol che Weise ausgebeult, wie es in Fig. 2 dargestellt ist.

Wenn die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 gemäß Fig. 2 ausgebeult sind, wirkt Druck auf die Tinte 100, die den Innenraum der Kammer 5 aus füllt. Da zwei sich ausbeulende Körper 1 und 1 einander gegenüberstehend vorhanden sind, kann Druck wirkungsvoll auf die Tinte 100 ausgeübt werden. Dieser auf die Tinte 100 ausgeübte Druck pflanzt sich durch diese fort, wo durch Tinte aus der Tintenausstoßöffnung 5a aus dem Tintenstrahlkopf 10 herausgedrückt wird. So wird ein Tintentröpfchen 100a vom Tintenstrahlkopf 10 nach außen ausgestoßen. Dabei kann das Tintentröpfchen 100a wirkungs voller ausgestoßen werden, wenn die Tintenausstoßöffnung 5a in derjenigen Wand (dem dritten Innenflächenabschnitt) vorhanden ist, die die Umfangskan tenabschnitte der zwei Innenflächenabschnitte miteinander verbindet, an de nen die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 ausgebildet sind. Darüber hinaus kann sich auf die Tinte 100 ausgeübter Druck wirkungvoller zur Tintenaus stoßöffnung 5a ausbreiten, wenn zwei sich ausbeulende Körper 1 und 1 so vorhanden sind, daß sie gleich weit von der Tintenausstoßöffnung 5a entfernt sind. Demgemäß kann ein Tintentröpfchen 100a wirkungsvoller ausgestoßen werden. In dieser Hinsicht gilt dasselbe für die anderen Ausführungsbeispiele, die noch beschrieben werden. Mittels des wie vorstehend beschrieben ausge stoßenen Tintentröpfchens 100a wird ein Druckvorgang auf der Oberfläche ei nes Blatts ausgeführt.

Wie in den Fig. 3 bis 5 dargestellt, verfügt ein erfindungsgemäßer inte grierter Tintenstrahlkopf 20 über einen Tintenkammerdeckel 12, einen Ab standshalter 14 sowie Kammern 15a und 15b.

Der Abstandshalter 14 besteht z. B. aus einer Platte aus rostfreiem Stahl mit einer Dicke von 10 bis 50 µm. In ihm sind mehrere durch ihn hindurchgehen de Öffnungen 14a enthalten, die eine Druckkammer und eine Tintenausstoß öffnung bilden. Diese Öffnungen 14a werden z. B. durch einen Stanzprozeß hergestellt.

Die Kammer 15a verfügt über ein Substrat 16, einen sich ausbeulenden Kör per 11 und Befestigungsteile 13. Das Substrat 16 besteht aus einkristallinem Silizium mit einer (100)-Fläche als Hauptebene. Im Substrat 16 ist eine dieses durchsetzende, sich verjüngende Aussparung 16a vorhanden. Darüber hinaus ist ein sich ausbeulender Körper 11 mittels eines eingefügten Befestigungs teils 13 an einer Fläche des Substrats 16 befestigt. Der sich ausbeulende Kör per 11 ist so geformt, daß er die Form eines Kammzahns aufweist, und eine Betriebselektrode 11a und eine Sammelelektrode 11b zum Anschließen einer externen Spannungsversorgung führen von jedem sich ausbeulenden Körper 11 weg. Die Betriebselektrode 11a und die Sammelelektrode 11b sind mittels des Befestigungsteils 13 am Substrat 16 befestigt. Jede Betriebselektrode 11a ist über einen Schalter mit einer Spannungsversorgung 19 verbunden, durch den die Spannungsversorgung 19 mit der Betriebselektrode 11a verbunden oder von dieser getrennt werden kann.

Die Kammer 15b ist ähnlich aufgebaut wie die Kammer 15a, mit der Ausnah me, daß im Substrat 16 keine sich verjüngende Aussparung 16a ausgebildet ist. Ein sich ausbeulender Körper 11 ist ebenfalls mittels eines eingefügten Befestigungsteils 13 an der Kammer 15b befestigt.

An der Oberfläche des Tintenkammerdeckels 12 ist eine Aussparung 12a mit vorgegebener Tiefe ausgebildet, die über einen Tintenzuführpfad 12b verfügt, der zu einem Seitenendabschnitt des Tintenkammerdeckels 12 führt.

Die vorstehend genannten Kammern 15a und 15b sind z. B. mittels eines nichtleitenden Epoxidklebers mit dem zwischengefügten Abstandshalter 14 miteinander verbunden. So bildet jede Öffnung 14a einen Raum (eine Druck kammer), in der Druck mittels eines sich ausbeulenden Körpers 11 auf die in ihm enthaltene Tinte 100 ausgeübt wird, und es ist eine Tintenausstoßöff nung vorhanden.

Der Tintenkammerdeckel 12 ist z. B. mittels Epoxidklebers an der Kammer 15a befestigt. So bilden die in der Kammer 15a ausgebildete sich verjüngende Aussparung 16a und die im Tintenkammerdeckel 12 ausgebildete Aussparung 12a eine Tintenkammer 18. Der Tintenzuführpfad 12b ist so ausgebildet, daß er einen Anschluß zur Tintenkammer 18 hat und nach außen führt. Tinte 100 wird von einem extern vorhandenen Tintenvorratsbehälter durch den Tinten zuführpfad 12b zur Tintenkammer 18 geführt.

Da jedes der vorstehend genannten Elemente so liegt, wie es vorstehend be schrieben wurde, ist durch die Tintenkammer 18 und die Öffnungen 14a eine Reihe von Räumen gebildet. Tinte 100 kann durch den Tintenzuführpfad 12b von außen in die Tintenkammer 18 geführt werden, und sie kann aus den Öff nungen 14a durch die Tintenausstoßöffnung nach außen ausgestoßen werden. Die Tinte 100 wird durch das Paar sich ausbeulender Körper 11 und 11, die vertikal angeordnet sind, unter Druck gesetzt. Obwohl die Darstellung in Fig. 5 dergestalt ist, daß der Raum zwischen den Kammern 15a und 15b offen ist, ist tatsächlich das meiste des Raums abgedichtet. Darüber hinaus ist in Fig. 5 eine Tintenausstoßöffnung an einem Ende jeder Öffnung 14a des Abstands halters 14 vorhanden.

Bei dem in den Fig. 3 bis 5 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Ein fachheit halber ein Kopf mit mehreren Düsen mit vier Paaren von sich aus beulenden Körpern 11, die vertikal angeordnet sind, beschrieben. Jedoch ist die Anzahl sich ausbeulender Körper 11 nicht hierauf beschränkt, sondern sie kann beliebig gewählt werden.

In Verbindung mit den Fig. 6 bis 10 wird nun ein Beispiel für ein Herstell verfahren für die Kammer 15a beschrieben. Es ist zu beachten, daß das fol gende eine Beschreibung für das Herstellverfahren einer Kammer 15a ist, wie sie in einem integrierten Tintenstrahlkopf verwendet wird.

Zunächst wird, wie es in Fig. 6 veranschaulicht ist, ein Substrat 16 bereitge stellt, das aus einkristallinem Silizium mit einer (100)-Fläche als Hauptebene besteht. An der Ober- und der Unterseite wird eine Siliziumoxid(SiO₂)-Schicht 17 mit 6 bis 8% Phosphor (P) (nachfolgend als PSG-Schicht be zeichnet) mittels einer LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)-Vorrichtung mit einer Dicke von z. B. 2 µm ab geschieden. Diese PSG-Schicht 17 dient bei einem späteren Schritt als Befestigungsteil 13.

Danach wird, wie in Fig. 7 dargestellt, eine Nickel(Ni)- Schicht 18 mit einer Dicke von 6 µm durch z. B. ein elektro lytisches Plattierverfahren auf der Oberseite des Substrats 16 abgeschieden. Diese Nickelschicht 18 wird später ein sich ausbeulender Körper.

Dann wird, wie es in Fig. 8 dargestellt ist, die Ni-Schicht 18 geätzt und so gemustert, daß vorgegebene Form aufweist.

Dann wird, wie es in Fig. 9 dargestellt ist, die PSG-Schicht 17 an der Unterseite des Substrats 16 gemustert. Das Sili ziumsubstrat 16 wird mit Kaliumhydroxid (KOH), das ein ani sotropes Ätzmittel ist, unter Verwendung dieser gemusterten PSG-Schicht 17 als Maske geätzt. Durch diesen Ätzvorgang wird die sich verjüngende Aussparung 16a, die das Silizium substrat 16 durchsetzt, hergestellt. Schließlich werden, wie es in Fig. 10 dargestellt ist, die PSG-Schicht 17 an der Un terseite des Siliziumsubstrats 16, wie auch ein Teil der PSG-Schicht 17 an der Oberseite des Substrats 16 durch Ätzen entfernt. So wird das Befestigungsteil 13 ausgebildet, und es wird eine Kammer 15a mit gewünschter Struktur erhalten.

Fig. 11A ist eine Seitenansicht, die eine andere Modifizie rung des in Fig. 1 dargestellten Tintenstrahlkopfs zeigt. Fig. 11B ist eine Schnittansicht entlang der Linie B-B in Fig. 11A. Gemäß den Fig. 11A und 11B unterscheidet sich bei dieser Modifizierung die Position einer Tintenausstoßöffnung 5a von derjenigen beim in Fig. 1 dargestellten Ausführungs beispiel. Das heißt, daß die Tintenausstoßöffnung 5a bei dieser Modifizierung an einer Position vorhanden ist, die in bezug auf die Mitte der Kammer 5 einer Rotation um 90° in bezug auf die Position in Fig. 1 entspricht. In diesem Fall wird beinahe dieselbe Wirkung wie im Fall von Fig. 1 er zielt. Wie vorstehend beschrieben, kann die Tintenausstoß öffnung 5a an verschiedenen Stellen in der Wand der Kammer 5 vorhanden sein. So ist der Freiheitsgrad bei der Konstruk tion erhöht. Jedoch ist es bevorzugt, wenn die Tintenaus stoßöffnung 5a durch eine Innenwand geht, die ein Paar ein ander gegenüberstehender Innenwände verbindet, an denen je weilige sich ausbeulende Körper 1 befestigt sind, wie in den Fig. 11A und 11B dargestellt. Es ist bevorzugter, wenn die Tintenausstoßöffnung 5a so liegt, daß sie gleich weit von den mehreren sich ausbeulenden Körpern 1 entfernt ist. So kann Tinte 100 wirkungsvoller ausgestoßen werden.

Fig. 12 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Tin tenstrahlkopf gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. Wie in Fig. 12 dargestellt, ist bei diesem Ausführungsbeispiel ein relativ langer sich ausbeulender Körper 11 an einer Fläche eines Paars sich gegenüberstehen der Innenflächen einer Kammer 5 mittels eingefügter Befesti gungsteile 3 befestigt, und ein Paar relativ kurzer sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 ist an der anderen Innen fläche mittels eingefügter Befestigungsteile 3 so befestigt, daß sie voneinander beabstandet sind. Eine Tintenausstoßöff nung 5a ist zwischen dem Paar relativ kurzer sich ausbeulen der Körper 11-1 und 11-1 vorhanden. Da die Tintenausstoßöff nung 5a zwischen dem Paar sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 vorhanden ist, wie vorstehend genannt, kann Druck, wie er mittels des Paars sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 wie auch durch den relativ langen sich ausbeulenden Körper 11 auf die Tinte 100 ausgeübt wird, wirkungsvoll aus der Tintenausstoßöffnung 5a ausgegeben werden. Es ist zu beach ten, daß jeder der sich ausbeulenden Körper 1, 11-1 und 11-1 über einen Schalter mit der Spannungsversorgung 9 verbunden ist.

Wie im Fall der oben genannten Modifizierung kann beim vor liegenden Ausführungsbeispiel eines Tintenstrahlkopfs 10 die Tintenausstoßöffnung 5a an einer beliebigen Fläche der Kam mer vorhanden sein. Demgemäß kann der Tintenstrahlkopf auf flexible Weise konstruiert werden.

Wie es beschrieben wurde, kann gemäß der Erfindung hoher Tintenausstoßdruck erzeugt werden, während die Größe eines Tintenstrahlkopfs klein bleibt, da mehrere sich ausbeulende Körper wirkungsvoll an einer beliebigen Fläche einer Kammer positioniert werden. Darüber hinaus ist eine Tintenzuführ öffnung hinter einem sich ausbeulenden Körper angeordnet (entgegengesetzt zur Richtung, in der sich ein sich ausbeu lender Körper ausbeult), wodurch wirkungsvoll verhindert werden kann, daß der auf die Tinte ausgeübte Druck sich da durch abbaut, daß Tinte aus einer Tintenzuführöffnung aus leckt. So können Energieverluste beim Tintenausstoß verrin gert werden und Tinte kann wirkungsvoll ausgestoßen werden. Ferner kann gemäß der Erfindung eine Tintenausstoßöffnung an einer beliebigen Fläche einer Kammer vorhanden sein. So ist der Freiheitsgrad bei der Konstruktion erhöht. Außerdem müssen, wenn mehrere Tintenausstoßöffnungen in einer einzel nen Kammer enthalten sind und sich ausbeulende Körper, die den jeweiligen Tintenausstoßöffnungen zugeordnet sind, unab hängig voneinander betrieben werden, die Tintenausstoßöff nungen nicht voneinander durch Trennwände getrennt sein. So kann der gegenseitige Abstand der Tintenausstoßöffnungen verringert werden, was zu einer Verbesserung der Auflösung führt.

Claims

1. Tintenstrahlkopf zum Ausstoßen von Tinte (100) aus minde stens einer Tintenausstoßöffnung (5a) einer Tintenkam mer (5), mit

- einem ersten und einem diesem gegenüberliegenden zweiten Innenflächenabschnitt der Tintenkammer (5), die einenends durch einen senkrecht zur ihrer Längserstreckung sich er streckenden dritten Innenflächenabschnitt verbunden sind, wobei der erste Innenflächenabschnitt eine Tintenzuführ öffnung (5b) aufweist,
- einer in der Tintenkammer (5) angebrachten, infolge in Längsrichtung wirkender Druckkraft beulenden Beuleinrich tung,

dadurch gekennzeichnet, daß

- ein einer Tintenausstoßöffnung (5a) zugeordneter erster Beulkörper (1) der Beuleinrichtung mit einem Befestigungs teil (3) am ersten Innenflächenabschnitt mit Abstand un mittelbar benachbart zum ersten Innenflächenabschnitt so befestigt ist, daß er sich über die Tintenzuführöff nung (5b) erstreckt, und daß
- mindestens ein derselben Tintenausstoßöffnung (5a) zuge ordneter zweiter Beulkörper (1) der Beuleinrichtung mit einem Befestigungsteil (3) am zweiten Innenflächenab schnitt mit Abstand unmittelbar benachbart zum zweiten In nenflächenabschnitt befestigt ist.

2. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Beulkörper (1) einander zuge wandt sind und auf ihren voneinander abgewandten Seiten mit den Befestigungsteilen (3) verbunden sind.

3. Tintenstrahlkopf nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintenausstoßöffnung (5a) im dritten Innenflächenabschnitt liegt.

4. Tintenstrahlkopf nach einem der Anspruche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintenausstoßöffnung (5a) gleich weit vom ersten und zweiten Beulkörper (1) angeordnet ist.

5. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am zweiten Innenflächenabschnitt außer dem zweiten Beul körper (1) ein dritter Beulkörper (1) mit Abstand zu dem zweiten Beulkörper (1) angeordnet ist, wobei der zweite und der dritte Beulkörper (1) dem ersten Beulkörper (1) zuge wandt und jeweils kürzer sind als der erste Beulkörper (2), und wobei die Tintenausstoßöffnung (5a) im zweiten Innenflä chenabschnitt zwischen dem zweiten und dem dritten Beulkör per (1) liegt.

6. Tintenstrahlkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß

- jeder Beulkörper (1) an seinem einen Ende eine erste Elek trode (1a) und an seinem anderen Ende eine zweite Elek trode (1b) aufweist,
- eine über einen Schalter mit der ersten Elektrode (1a) verbindbare Spannungsversorgung (9) vorgesehen ist,
- eine mit der zweiten Elektrode (1b) verbundene Erdungsein richtung vorgesehen ist.

7. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Beulkörpern (1) der Tintenkammer (5) Trenn wände fehlen.

8. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Tintenausstoßöffnungen (5a) vorhanden sind und ein oder mehrere Beulkörper (1) der Tintenkammer (5) in Zu ordnung zu den jeweiligen Tintenausstoßöffnungen (5a) arbei ten.