DE19603685C1 - Mikrowellengerät - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Mikrowellengerät mit einer Behandlungs­ kammer mit einer für Mikrowellen durchlässigen Übertragungswand zu einer benachbarten Kammer und mit einer Ausbildung der Übertra­ gungswand zur Beeinflussung der Intensitätsverteilung der Übertra­ gung der Mikrowellen in die Behandlungskammer.

Es ist bekannt, Mikrowellen, die durch eine Übertragungswand von einer Kammer in eine Behandlungskammer übertragen werden, in ihrer Intensitätsverteilung durch eine spezielle Ausbildung der Übertra­ gungswand zu beeinflussen. Durch DE 94 05 808 U1 ist ein Plasmabe­ arbeitungsgerät bekannt, bei dem in einer Behandlungskammer durch eingeleitete Mikrowellen ein Plasma, beispielsweise zur Oberflä­ chenbearbeitung von in die Behandlungskammer eingebrachten Gegen­ ständen, erzeugt wird. Dabei werden die Mikrowellen in einem rechteckigen, länglich ausgebildeten Hohlleiter erzeugt und über einen in den Hohlleiter hineinragenden Wellenleiter seitlich aus­ gekoppelt. Der Wellenleiter ist in diesem Fall scheibenförmig aus­ gebildet und bildet eine Begrenzungswand für die Behandlungskam­ mer. Zum vergleichmäßigten Einbringen der Mikrowellenenergie in die Behandlungskammer befindet sich zwischen dem Wellenleiter und der Behandlungskammer eine Abschirmung aus leitendem Material, die als Lochblech ausgebildet ist, wobei die Größe der Durchgangs­ löcher mit zunehmenden Abstand von dem Hohlleiter zunimmt, um so den Abfall der Mikrowellenenergie mit zunehmenden Abstand von dem Hohlleiter ausgleichen zu können.

Das Einsetzen einer derartigen Abschirmung als Übertragungs­ wand der Behandlungskammer führt jedoch zu einem erheblichen Abfall der in die Behandlungskammer eingeleiteten Mikrowellen­ energie. Die Vergleichmäßigung der Energieeinleitung in die Behandlungskammer wird daher mit einer erheblichen Reduzierung der Mikrowellenenergie erkauft.

Durch EP 0 459 177 A2 ist ein Mikrowellengerät mit einer Be­ handlungskammer bekannt, in der ein möglichst lokales Plasma an der Stelle des zu behandelnden Gegenstandes erzeugt werden soll. Hierfür sind in einer Wand der Behandlungskammer An­ tennenelemente vorgesehen, über die Mikrowellen in die Behand­ lungskammer abgestrahlt werden. Die Steuerung der Antennenele­ mente erfolgt über die dem Antennenelement zugeordneten Phaseneinstellglieder und Verstärker, so daß die Antennenele­ mente Mikrowellen mit einer definierten Phase und einer defi­ nierten Amplitude ausstrahlen. Dadurch ist erreichbar, daß die Vielzahl von Antennen im Behandlungsraum eine Interferenz aus­ bilden, bei der das Mikrowellenfeld quasi punktförmig ver­ stärkt, an allen anderen Stellen des Behandlungsraumes jedoch geschwächt bzw. ausgelöscht wird. Durch eine geeignete Steue­ rung der Phasen der Antennenelemente läßt es sich erreichen, daß der Behandlungspunkt über das zu behandelnde Objekt ge­ führt wird, wodurch eine intensive Plasmabehandlung auf der Oberfläche des Werkstücks erfolgen soll. Das beschriebene Mikrowellengerät unterscheidet sich von dem eingangs erwähnten Mikrowellengerät bereits dadurch, daß keine für Mikrowellen durchlässige Übertragungswand vorgesehen ist, deren Übertra­ gung der Mikrowellen in die Behandlungskammer gesteuert werden soll, sondern daß die Mikrowellen originär für die Behand­ lungskammer von den Antennenelementen abgestrahlt und hierfür in Phase und Amplitude sorgfältig eingestellt werden.

Aus EP 0 501 466 A1 ist ebenfalls ein Mikrowellengerät mit einer Plasma-Behandlungskammer bekannt. Dabei werden Mikrowel­ len über eine für Mikrowellen durchlässige Wand in die Behand­ lungskammer eingeleitet. Zur Formung des Mikrowellenfeldes in der Behandlungskammer sind in der Behandlungskammer selbst Antennenelemente, beispielsweise in Form einer Kammantenne, angeordnet, die als Sekundärstrahler die eingeleiteten Mikro­ wellen konzentrieren und erneut abstrahlen. Eine Beeinflussung der Intensitätsverteilung bereits bei der Übertragung der Mikrowellen in die Behandlungskammer ist nicht beschrieben.

Der Erfindung liegt somit die Problemstellung zugrunde, ein Mikrowellengerät der eingangs erwähnten Art so auszubilden, daß eine Übertragung der Mikrowellen in die Behandlungskammer in einem vorgegebenen Intensitätsprofil oder möglichst gleich­ mäßig erfolgen kann, ohne daß hierdurch eine erhebliche Her­ absetzung der übertragenen Mikrowellenenergie in Kauf genommen werden muß.

Ausgehend von dieser Problemstellung ist ein Mikrowellengerät der eingangs erwähnten Art erfindungsgemäß dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Übertragungswand eine die Mikrowellen durch­ lässige Platte sowie eine Vielzahl von winkelig zur Wandebene zur benachbarte Kammer gerichteten, stabförmigen Antennenele­ menten aufweist, die zentrisch in der durchlässigen Platte benachbart angeordneten zylindrischen, von elektrisch leiten­ dem Material begrenzten Durchgangskammern angeordnet sind.

Erfindungsgemäß ist die durchlässige Platte mit einer Vielzahl von winkelig, vorzugsweise senkrecht, zu ihr stehenden Anten­ nenelementen versehen, die in Durchgangskammern angeordnet sind, die ihrerseits von leitendem Material begrenzt sind. Die Antennen bilden mit den leitenden Wandungen der Durchgangskam­ mern eine Art Koaxialleiter. Die Länge der Antennenelemente, die vorzugsweise aus der Oberfläche der Durchgangskammern her­ ausragen, erlauben eine Beeinflussung der über das jeweilige Antennenelement übertragenen Mikrowellenenergie. Es ist daher möglich, die Länge verschiedener Antennenelemente über die Fläche der Übertragungswand unterschied­ lich auszubilden, um dadurch, falls erforderlich, eine Vergleich­ mäßigung oder ein gewünschtes Intensitätsprofil über die Fläche der Übertragungswand auszubilden.

Die Durchgangskammer weisen vorzugsweise an der zur benachbarten Kammer zeigenden Oberfläche des leitenden Materials eine kreis­ förmige Durchgangsöffnung mit einem Durchmesser auf, der deutlich größer ist als der Durchmesser des Antennenelements. Der Durch­ messer der Durchgangsöffnung ist vorzugsweise etwa 2 bis 5 ×, weiter bevorzugt etwa 3 ×, größer als der Durchmesser des Anten­ nenelements.

Die Durchgangskammer kann sich unterhalb der Durchgangsöffnung stufenförmig erweitern und dort beispielsweise im Querschnitt rund oder rechteckig, vorzugsweise quadratisch, ausgebildet sein.

Durch das Verhältnis von Durchmesser der Durchgangsöffnung zu Durchmessern des Antennenelements läßt sich ebenfalls die Übertra­ gung der Energie über die Übertragungswand steuern.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind die Durch­ gangskammern in einer gemeinsamen elektrisch leitenden Platte aus­ gebildet.

Die erfindungsgemäße Übertragung durch die Durchgangswand mit Hil­ fe von Antennenelementen kann auch kaskadiert angewendet werden, indem an die Oberfläche der Durchgangskammern als weitere Durch­ gangskammern ausgebildete Kopplungskammern angeschlossen sind, die zentrisch jeweils ein Koppel-Antennenelement aufweisen und in die mehrere Antennenelemente der Durchgangskammern hineinragen. Zweck­ mäßigerweise wird eine derartige Anordnung mit zwei flächig anein­ anderliegeden Metallplatten ausgebildet, wobei die Anzahl der An­ tennenelemente ein Vielfaches der Anzahl der Koppel-Antennenele­ mente beträgt. Auch die Koppelkammern sind dabei vorzugsweise an ihre zur benachbarten Kammer zeigenden Oberfläche mit einer kreis­ runden Durchgangsöffnung versehen, mit deren Dimensionierung rela­ tiv zum Durchmesser eines Koppel-Antennenelements die Energieüber­ tragung steuerbar ist. In ähnlicher Weise wie mit den Antennenele­ menten kann auch durch die Länge der Koppel-Antennenelemente die Energieübertragung beeinflußt werden.

Vorzugsweise weist die benachbarte Kammer als Übertragungskammer eine parallel zur Übertragungswand verlaufende Längsachse und we­ nigstens einen parallel zur Längsachse gerichteten Wellenleiter zur Einkopplung von Mikrowellen in die benachbarte Kammer auf.

Der Wellenleiter kann dabei vorzugsweise stabförmig ausgebildet und durch eine Öffnung einer Trennwand in einen Hohlraumresonator ragen, dessen Längsachse senkrecht zur Längsachse der Übertra­ gungskammer steht.

Der Wellenleiter endet mit Abstand von der dem Hohlraumresonator gegenüberliegenden elektrisch wirksamen Stirnwand. Vorzugsweise ist mit einem verschiebbaren leitenden Stempel der Abstand der elektrisch wirksamen Stirnwand zum Wellenleiter veränderbar. Da­ durch wird dem Umstand Rechnung getragen, daß durch die Verände­ rung der Länge der Antennenelemente die Resonanzbedingungen in der Übertragungskammer stark verändert werden, was durch Verschiebung des leitenden Stempel als elektrisch wirkende Stirnwand kompen­ sierbar ist.

Es ist auch möglich, in der Übertragungskammer mehrere Wellenlei­ ter parallel zueinander anzuordnen und den Wellenleiter durch leitende Zwischenwände Abteilungen zuzuordnen. Dadurch wird be­ reits eine vergleichmäßigte Einkopplung der Mikrowellenenergie in die Übertragungskammer bewirkt. Zweckmäßigerweise werden jedem Wellenleiter innerhalb der Abteilungen symmetrische Anordnungen von Antennenelementen der Übertragungswand zugeordnet. Innerhalb der einzelnen Abteilungen ist dabei zweckmäßigerweise jeweils ein als Stirnwand wirkender Stempel verschiebbar angeordnet.

Die Behandlungskammer ist vorzugsweise als Vakuumkammer ausgebil­ det, wobei die Anordnung vorzugsweise als Plasma-Behandlungsanord­ nung verwendet wird. Innerhalb der Behandlungskammer dann dabei ein Behandlungstisch in an sich bekannter Weise höhenverstellbar ausgebildet sein.

Insbesondere für hohe Vakua kann es zweckmäßig sein, daß an der Außenseite des Behandlungsraumes Spulenanordnungen zur Ausbildung eines Wechsel-Magnetfeldes vorgesehen sind, um durch den Einfluß des Wechsel-Magnetfeldes die Kollisionswahrscheinlichkeit zwischen Gaspartikeln zu erhöhen und damit die Zündungsfähigkeit des Plas­ mas zu verbessern. Dabei kann es zweckmäßig sein, unter dem Be­ handlungstisch eine Mehrzahl von Permanentmagneten anzuordnen.

Für bestimmte Anwendungen im Plasma kann es zweckmäßig sein, zwi­ schen dem Behandlungstisch und der Übertragungswand ein negativ geladenes Sieb als Elektronenfalle anzuordnen, durch das zur Plas­ mabehandlung nur Ionen hindurchtreten.

Die Erfindung soll im folgenden anhand von in der Zeichnung darge­ stellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 einen Vertikalschnitt durch ein erfindungsgemäßes Mikrowellengerät;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer mit Durchgangs­ kammern versehenen Metallplatte mit zentrisch ein­ gesetzten Antennenelementen;

Fig. 3 eine schematische Ansicht der Unterseite der Me­ tallplatte gemäß Fig. 2 ohne Antennenelemente;

Fig. 4 eine perspektivische schematische Darstellung des Mikrowellengeräts gemäß Fig. 1;

Fig. 5 einen Horizontalschnitt durch eine Übertragungskam­ mer mit mehreren, parallel zueinander angeordneten Wellenleitern;

Fig. 6 eine schematische Darstellung einer Übertragungs­ wand mit kaskadierten Antennenelementen und Durch­ gangskammern;

Fig. 7 eine Anordnung gemäß Fig. 1 mit einer Elektronen­ falle in der Behandlungskammer und Anregungsspulen für ein Wechsel-Magnetfeld; und

Fig. 8 eine Anordnung gemäß Fig. 1 mit einer Spulenanord­ nung zur Erzeugung eines Wechsel-Magnetfelds sowie mit einer Anordnung von Permanentmagneten unterhalb des Behandlungstisches.

Fig. 1 zeigt eine Anordnung, in der in einem Hohlleiter 1 mit einem rechteckigen Querschnitt Mikrowellen erzeugt werden. Die Mikrowellen werden durch eine seitliche Öffnung 2 des Hohlleiters l mit Hilfe wenigstens eines stabförmigen Wellenleiters 3 ausge­ koppelt und in eine Übertragungskammer 4 eingeleitet. Die Über­ tragungskammer 4 wird im wesentlichen von metallischen Wänden 5 begrenzt. In eine an einer Längsseite der rechteckigen Übertra­ gungskammer 4 befindliche Ausnehmung ragt eine Behandlungskammer 6, die allseitig mit Ausnahme der zur benachbarten Übertragungs­ kammer 4 zeigenden Wand 7 durch metallische Wände 8 begrenzt ist. Die Behandlungskammer 6 ist als Vakuumkammer ausgeführt. Die Über­ tragungswand 7 besteht aus einer für Mikrowellen durchlässigen Platte 9, einer Vielzahl von senkrecht zu der durchlässigen Platte 9 sich in die Übertragungskammer 4 erstreckenden Antennenelementen 10 sowie einer sich über die gesamte Längsseite der Übertragungs­ kammer 4 erstreckenden metallischen Platte 11. In der metallischen Platte 11 sind Durchgangskammern 12 ausgebildet, die zur durch­ lässigen Platte 9 hin offen sind und somit von dieser begrenzt werden. Seitlich werden die quadratischen Durchgangskammern durch gitterförmig ausgebildete dünne Wände 13 der metallischen Platte 11 begrenzt. An der Oberfläche befindet sich eine kreisförmige Durchgangsöffnung 14 etwa in der Dicke der Wände 13, wobei die Durchgangsöffnungen 14 einen Durchmesser D aufweisen, der zwischen 2 und 5 × so groß ist wie der Durchmesser d der Antennenelemente 10, die zentrisch in der Durchgangsöffnung 14 und in der Durch­ gangskammer 12 angeordnet sind.

Die Antennenelemente 10 ragen um ein gewisses Maß über die metal­ lische Platte 11 in die Übertragungskammer 4 hinein, wobei durch die Länge der Antennenelemente die Menge der eingekoppelten Mikro­ wellenenergie beeinflußbar ist.

Vorzugsweise werden die Antennenelemente 10 in unterschiedlichen Längen auf Lager gehalten und werden versuchsweise in unterschied­ lichen Längen eingesetzt, um eine optimierte Konstellation zu er­ zielen. Durch den Übergang auf ein Antennenelement 10 mit einer anderen Länge wird die Resonanzbedingung in der Übertragungskammer 4 sofort dramatisch verändert. Um hier jeweils Anpassungen vorneh­ men zu können, ist die Übertragungskammer 4 auf der dem Hohlleiter 1 gegenüberliegenden Seite mit einem verschiebbaren metallischen Stempel 15 versehen, mit dem empirisch wieder eine optimale Reso­ nanzbedingung in der Übertragungskammer 4 einstellbar ist.

Fig. 2 läßt die metallische Platte 11 mit ihren kreisförmigen Durchgangsöffnungen 14 an der Oberfläche erkennen. In die kreis­ förmigen Durchgangsöffnungen 14 sind die stabförmigen Antennen­ elemente 10 zentrisch eingesetzt.

Die Ansicht auf die Unterseite der metallischen Platte 11 gemäß Fig. 3 verdeutlicht, daß die Durchgangskammern 12 einen quadrati­ schen Querschnitt aufweisen und sich unterhalb der Durchgangsöff­ nung 14 stufenförmig erweitern. Die Durchgangskammern 12 werden durch die gitterförmig ausgebildeten Wände 13 begrenzt.

Fig. 4 läßt die schematische Anordnung von Hohlleiter 1, Übertra­ gungskammer 4 und Behandlungskammer 6 erkennen, die alle jeweils quaderförmig ausgebildet sind.

Fig. 5 zeigt ein modifiziertes Ausführungsbeispiel, bei dem in den Hohlleiter drei Wellenleiter 3 zueinander und zur Übertra­ gungswand 7 parallele Anordnungen hineinragen und sich über die Länge der Übertragungskammer 4 erstrecken. Fig. 5 läßt erkennen, daß jedem Wellenleiter 3 beidseitig jeweils eine Reihe von kreis­ förmigen Durchgangsöffnungen 14 mit Antennenelementen 10 zugeord­ net sind, wobei die symmetrische Anordnung zu beiden Seiten des Wellenleiters 3 wesentlich ist. Durch leitende Zwischenwände 16 werden für jeden Wellenleiter 3 Abteilungen 17 gebildet, durch die eine gegenseitige Beeinflussung der Antennenelemente 10 durch meh­ rere Wellenleiter 3 ausgeschlossen wird.

Für jede Abteilung 17 ist ein verschiebbarer Stempel 15 als elek­ trisch wirksame Stirnwand vorgesehen.

Fig. 6 verdeutlicht eine kaskadierte Ausbildung der Übertragungs­ wand 7′. Auf die metallische Platte 11 ist dabei eine weitere metallische Platte 18 gesetzt, die mit ähnlichen Durchgangskammern 19 und einer kreisförmigen Durchgangsöffnung 20 versehen sind. In die Durchgangskammer 19 und die Durchgangsöffnung 20 ist zentrisch ein Koppel-Antennenelement 21 eingesetzt, das aus der Durchgangs­ kammer 19 in die Übertragungskammer 4 hineinragt und naturgemäß mit einem Abstand von der Oberfläche der metallischen Platte 11 endet.

Es ist erkennbar, daß mehrere Antennenelemente 10 in die Durch­ gangskammer 19 hineinragen, beispielsweise vier Antennenelemente 10 in symmetrischer Anordnung zum zentrischen Koppel-Antennenele­ ment 21. Der Vorteil dieser Anordnung besteht darin, daß eine gleichmäßige Übertragung der Mikrowellenenergie durch die zahl­ reichen Antennenelemente 10 bewirkt wird, daß jedoch die Justie­ rungsarbeiten nur mit den Koppel-Antennenelementen 21 (insbesonde­ re mit deren Länge) durchgeführt werden müssen, während die An­ tennenelemente 10 mit gleicher Länge ausgebildet sein können, also nicht mehr justiert werden müssen. Die Justierung der wesentlich geringeren Anzahl der Koppel-Antennenelemente 21 ist aber aus­ reichend, um in homogenen Übertragungen aus der Übertragungskammer 4 Rechnung zu tragen.

Fig. 7 zeigt die Anordnung gemäß Fig. 1, wobei jedoch um die Behandlungskammer 6 herum eine Spulenanordnung 22 zur Ausbildung eines Wechsel-Magnetfeldes in der Behandlungskammer 6 vorgesehen ist. Durch das Wechselmagnetfeld wird die Zahl der Kollisionen zwischen Gaspartikeln deutlich erhöht, so daß auch bei einem hohen Vakuum eine Plasmazündung erreicht werden kann.

Außerdem ist die Behandlungskammer 6 mit einem siebförmigen Gitter 23 zwischen der Übertragungswand 7 und einem Behandlungstisch 24 versehen. Das Gitter 23 wird negativ vorgespannt, so daß es Elek­ tronen abfängt und nur Ionen durchläßt. Auf diese Weise dient die Anordnung als Ionenquelle zur Behandlung von auf den Behandlungs­ tisch 24 aufgesetzten Produkten.

Bei der in Fig. 8 dargestellten Ausführungsform befindet sich unterhalb des Behandlungstisches eine Anordnung aus zahlreichen Permanentmagneten 25, die abwechselnd gepolt sind. Hierdurch wird eine lokale Verdichtung des Plasmas erreicht, die die Zündung des Plasmas begünstigt.

Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet der erfindungsgemäßen Mikro­ wellenanordnung besteht in einer gleichmäßigen Oberflächenbe­ arbeitung, z. B. durch Plasmabeschichten (PECVD-Plasma enhanced chemical vapour deposition).

Claims (24)

1. Mikrowellengerät mit einer Behandlungskammer (6) mit einer für Mikrowellen durchlässigen Übertragungswand (7) zu einer benachbarten Kammer (4) und mit einer Ausbildung der Über­ tragungswand (7) zur Beeinflussung der Intensitätsverteilung der Übertragung der Mikrowellen in die Behandlungskammer (6), dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungswand (7) eine für die Mikrowellen durchlässige Platte (9) sowie eine Vielzahl von winkelig zur Wandebene zur benachbarten Kammer (4) ge­ richtete stabförmige Antennenelemente (10) aufweist, die zen­ trisch in der durchlässigen Platte (9) benachbart angeordne­ ten zylindrischen, von elektrisch leitendem Material (11) be­ grenzten Durchgangskammern (12) angeordnet sind.

2. Mikrowellengerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antennenelemente (10) senkrecht zur durchlässigen Platte (9) stehen.

3. Mikrowellengerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Durchgangskammern (12) an der zur benachbarten Kammer (4) zeigenden Oberfläche des leitenden Materials (11) eine kreisförmige Durchgangsöffnung (14) mit einem Durchmes­ ser (D) aufweisen, der größer ist als der Durchmesser (d) des Antennenelements (10).

4. Mikrowellengerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser (D) der Durchgangsöffnung (14) etwa 2- bis 5-mal, vorzugsweise etwa 3-mal größer ist als der Durchmesser (d) des Antennenelements (10).

5. Mikrowellengerät nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeich­ net, daß sich die Durchgangskammern (12) anschließend an die Durchgangsöffnung (14) zur durchlässigen Platte (9) hin stu­ fenförmig erweitern.

6. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchgangskammer (12) anschließend an die Durchgangsöffnung (14) einen rechteckigen, vorzugsweise quadratischen Querschnitt aufweist.

7. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchgangskammern (12) in einer ge­ meinsamen elektrisch leitenden Platte (11) ausgebildet sind.

8. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Antennenelemente (10) aus der Ober­ fläche der Durchgangskammern (12) herausragen.

9. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge verschiedener Antennenelemente (10) über die Fläche der Übertragungswand (7) unterschiedlich ausgebildet ist.

10. Mikrowellengerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß an die Oberfläche der Durchgangskammern (12) als weitere Durchgangskammern ausgebildete Kopplungskammern (19) ange­ schlossen sind, die zentrisch jeweils ein Koppel-Antennenele­ ment (21) aufweisen und in die mehrere Antennenelemente (10) der Durchgangskammern (12) hineinragen.

11. Mikrowellengerät nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß auch die Kopplungskammern (19) an ihrer zur benachbarten Kammer (4) zeigenden Oberfläche eine kreisrunde Durchgangs­ öffnung (20) aufweisen.

12. Mikrowellengerät nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Koppel-Antennenelemente (21) mit unterschiedlichen Längen ausgebildet sind und aus ihren Durchgangsöffnungen (20) herausragen.

13. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die benachbarte Kammer (4) als Übertra­ gungskammer eine parallel zur Übertragungswand (7) verlaufen­ de Längsachse und wenigstens einen parallel zur Längsachse gerichteten Wellenleiter (3) zur Einkopplung von Mikrowellen in die Übertragungskammer (4) aufweist.

14. Mikrowellengerät nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Wellenleiter (3) stabförmig ausgebildet ist und durch eine Öffnung (2) einer Trennwand in einem Hohlleiter (1) ragt, dessen Längsachse senkrecht zur Längsachse der Übertra­ gungskammer (4) steht.

15. Mikrowellengerät nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Wellenleiter (3) mit Abstand von der dem Hohlleiter (1) gegenüberliegenden Stirnwand endet und daß mit einem verschiebbaren leitenden Stempel (15) der Abstand zur elektrisch wirksamen Stirnwand veränderbar ist.

16. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Wellenleiter (3) parallel zuein­ ander in die Übertragungskammer (4) ragen und daß den Wellen­ leitern (3) durch leitende Zwischenwände (16) Abteilungen (17) zugeordnet sind.

17. Mikrowellengerät nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Abteilungen (17) jedem Wellenleiter (3) symmetrische Anordnungen von Antennenelementen (10) zugeord­ net sind.

18. Mikrowellengerät nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekenn­ zeichnet, daß innerhalb der Abteilungen (17) jeweils ein als Stirnwand wirkender Stempel (15) verschiebbar angeordnet ist.

19. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungskammer (6) als Vakuumkam­ mer ausgebildet ist.

20. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Behandlungskammer (6) ein Behandlungstisch (24) höhenverstellbar ausgebildet ist.

21. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß an der Außenseite der Behandlungskammer (6) Spulenanordnungen (22) zur Ausbildung eines Wechsel-Mag­ netfeldes vorgesehen sind.

22. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß in der Behandlungskammer (6) eine Anord­ nung einer Mehrzahl von Permanent-Magneten (25) angeordnet ist.

23. Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 22, gekenn­ zeichnet, durch ein zwischen dem Behandlungstisch (24) und der Übertragungswand (7) angeordnetes Sieb (23) als Elektro­ nenfalle.

24. Verwendung des Mikrowellengerät nach einem der Ansprüche 1 bis 23 zur Ausbildung eines Plasmas in der Behandlungskammer (6).