DE19681500C2 - Interferometer mit Compound-Optik und Messverfahren mit diesem - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft Verbesserungen in der Interfero­ metrie zum Messen von Prüfoberflächen. Besondere Beachtung da­ bei finden die Formung und Übertragung von optischen Wellen­ fronten zum Sammeln von Information über die Prüfoberflächen.

Interferometer erzeugen Bilder von Oberflächen in Form von Interferenzbildern, die Niveaulinienbilder von Oberflä­ chenvariationen darstellen. Die Interferenzbilder werden er­ zeugt, indem eine Prüfwellenfront (oder ein Prüfstrahl), der von der Prüfoberfläche reflektiert wird, mit einer Refe­ renzwellenfront (oder einem Referenzstrahl), der eine theore­ tische Reflexion von der Oberfläche darstellt, kombiniert wird. Hochreflektierende Oberflächen werden normalerweise ge­ messen, indem die Prüfwellenfront so angeordnet wird, daß sie mit normalem Einfall auf die Prüfoberfläche auftrifft. Ober­ flächen mit geringerem Reflexionsgrad werden bei streifendem Einfall gemessen.

Interferometer werden jedoch selten verwendet, um ande­ re Oberflächen als Ebenen oder Kugeln zu messen, da überein­ stimmende Wellenfronten schwer zu erzeugen sind. Anamorphoti­ sche optische Elemente können verwendet werden, um die über­ einstimmenden Wellenfronten zu erzeugen; aber diese Elemente sind teuer, schwer herzustellen und zu prüfen und in ihrer Ge­ nauigkeit begrenzt. Herkömmlichere Optiken können auch verwen­ det werden, um die übereinstimmenden Wellenfronten durch Ver­ einigen von kleineren Teilen von sphärischen oder nahezu sphä­ rischen Wellenfronten herzustellen. Das Vereinigen mehrerer Messungen mit herkömmlichen Optiken ist jedoch zeitaufwendig und kann Instrumentenbewegungen erfordern, die ebenfalls die Genauigkeit beeinträchtigen.

Eine weniger bekannte und wenig entwickelte Interfero­ metriemethode zur Messung sowohl von planaren als auch zylin­ drischen Oberflächen beruht auf der Verwendung von Beugungsop­ tiken zum relativen Formen von Prüf- und Referenzwellenfron­ ten. Beispielsweise berichtet ein Beitrag von 1973 mit dem Ti­ tel "Oblique Incidence Interferometry Applied to Non-Optical Surfaces" von K. G. Birch, Journal of Physics E: Scientific Instruments, Volume 6, über die Verwendung eines Paares iden­ tischer Beugungsgitter zum Messen von planaren Oberflächen bei streifendem Einfall. Das erste Beugungsgitter teilt eine Prüf- und eine Referenzwellenfront in verschiedene Beugungsordnun­ gen. Die relativ geneigte Prüfwellenfront wird von einer planaren Prüfoberfläche reflektiert und am zweiten Beugungs­ gitter wieder mit einer Referenzwellenfront vereinigt.

Das ostdeutsche Patent 106 769, das 1974 an Johannes Schwider erteilt worden ist, schlägt die Verwendung von zwei identischen Gittern zum Messen zylindrischer Oberflächen bei streifendem Einfall vor. Das erste Beugungsgitter teilt eine planare primäre Wellenfront in eine Prüf- und eine Refe­ renzwellenfront. Die Prüfwellenfront wird zu einer achsenkoni­ schen Wellenfront gebeugt, die bei streifendem Einfall von ei­ ner zylindrischen Prüfoberfläche reflektiert wird. Die Refe­ renzwellenfront wird ohne Veränderung durchgelassen. Das zwei­ te Beugungsgitter vereinigt die beiden Wellenfronten wieder, indem die Prüfwellenfront ohne weitere Änderung durchgelassen und die Referenzwellenfront zu der achsenkonischen Form der Prüfwellenfront gebeugt wird.

Schwider schlägt außerdem die Verwendung von Compound- Beugungsoptiken zum gleichzeitigen Messen von zylindrischen Innen- und Außenflächen vor. Zwei Beugungszonen einer ersten Compound-Optik beugen zwei Prüfwellenfronten in bezug auf eine Referenzwellenfront zu entsprechenden achsenkonischen Formen zum Reflektieren von der zylindrischen Innen- und Außenfläche. Zwei Beugungszonen einer zweiten identischen Compound-Optik beugen getrennt Teile der Referenzwellenfront zu achsenkoni­ schen Formen, die mit den beiden Prüfwellenfronten überein­ stimmen.

Erst in jüngster Zeit ist die praktische Nutzung dieser Ideen ein wenig vorangekommen. Es stehen viele andere Alterna­ tiven zum Messen von planaren Oberflächen zur Verfügung; und Weiterentwicklungen sind erforderlich, um genaue Messungen über einen breiten Bereich von Oberflächengeometrien durchzu­ führen, insbesondere Prüfoberflächen, die die Form der Prüf­ wellenfront weiter beeinflussen. Praktische Überlegungen in bezug auf alternative Anordnungsmöglichkeiten für bestimmte Prüfstücke, die Effizienz der Lichtübertragung und die Steue­ rung des Bildkontrasts wurden noch nicht ausreichend gelöst.

In jüngster Zeit wurden zwei mitübertragene US- Patentanmeldungen von einem unserer Miterfinder eingereicht, die die Verwendung von Beugungsoptiken zur Bildung von Prüf­ wellenfronten vorschlagen, die bei streifendem Einfall für viele verschiedene komplexe Oberflächen geeignet sind. Alter­ native Anordnungsmöglichkeiten und Lösungen für die verschie­ denen praktischen Probleme wurden offenbart. Beide Anmeldun­ gen, nämlich die US-Anmeldung Nr. 08/375 499 vom 19. Januar 1995 und die darauf basierende Conbination-In-Part US-Anmeldung Nr. 08/483 737 vom 7. Juni 1995 (US-A-5 654 798) wer­ den hier durch Bezugnahme aufgenommen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Interferometer mit Compound-Optik sowie ein verbessertes Verfahren zur Durchführung komplexerer Messungen mit einem solchen Interferometer, zum Beispiel zur Durchführung von gleichzeitigen Messungen mehrerer Oberflächen oder von mehreren Messungen einzelner komplexer Oberflächen, bereitzustellen. Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst.

Die vorliegende Erfindung erweitert ferner in einer oder mehreren Ausführungsformen die Möglichkeiten zur Durch­ führung komplexerer Messungen mit Interferometern, z. B. zur Durchführung von gleichzeitigen Messungen mehrerer Oberflächen oder von mehreren Messungen einzelner komplexer Oberflächen. Beugungsoptiken sind in die optischen Compound-Elemente mit mehreren Zonen zum Übertragen von mehr als einer Prüfwellen­ front oder zum mehr als einmaligen Übertragen einer einzelnen Prüfwellenfront einbegriffen. Die mehreren Zonen können auch zur Selbstausrichtung der optischen Elemente verwendet werden.

Ein erstes Beispiel des erfindungsgemäßen Interferome­ ters, das zum gleichzeitigen Messen von mehreren Oberflächen eines Teststücks eingerichtet ist, weist eine Lichtquelle auf, die eine primäre Wellenfront, die in zwei Prüfwellenfronten geteilt wird, und mindestens eine Referenzwellenfront erzeugt. Ein erster Weg durch das Interferometer überträgt eine der Prüfwellenfronten, die auf eine der mehreren Oberflächen fällt, ein zweiter Weg durch das Interferometer überträgt die andere der Prüfwellenfronten, die auf eine andere der mehreren Oberflächen fällt, und ein dritter Weg durch das Interferome­ ter überträgt die Referenzwellenfront unabhängig von den meh­ reren Oberflächen zwischen Ausrichtpositionen mit den beiden Prüfwellenfronten. Ein optisches System bezieht beide Prüfwel­ lenfronten auf die Referenzwellenfront, zum Erzeugen von In­ terferenzmustern zwischen jeder der beiden Prüfwellenfronten und der Referenzwellenfront als Anzeige von Variationen in den mehreren Oberflächen.

Das optische System weist eine erste Compound-Optik mit verschiedenen Zonen zum Übertragen der beiden Wellenfronten auf. Eine erste der Zonen hat ein Beugungsbild, das eine der Prüfwellenfronten in bezug auf die Referenzwellenfront relativ umformt. Eine zweite der Zonen weist eine andere optische Cha­ rakteristik, z. B. Durchlaßfähigkeit oder Reflexion, zum Über­ tragen der anderen Prüfwellenfront ohne Beugung auf. Die erste Compound-Optik kann außerdem eine dritte Zone zum Übertragen der Referenzwellenfront unabhängig von den beiden Prüfwellen­ fronten aufweisen. Eine zweite Compound-Optik kann verwendet werden, um die beiden Prüfwellenfronten mit der Referenzwel­ lenfront zu vereinigen, um die beiden Wellenfronten aufeinan­ der sowie auf die Referenzwellenfront zu beziehen, zum Ver­ gleichen der relativen Orientierungen der mehreren Oberflä­ chen.

Ein zweites Beispiel des erfindungsgemäßen Interferome­ ters, das zur Durchführung mehrerer Messungen einer Prüf­ oberfläche eingerichtet ist, erfordert außerdem eine Licht­ quelle, die zwei Prüfwellenfronten und zumindest eine Refe­ renzwellenfront erzeugt. Ein erster Weg reflektiert eine erste der Prüfwellenfronten von der Prüfoberfläche, ein zweiter Weg reflektiert eine zweite der Prüfwellenfronten von der gleichen Prüfoberfläche, und ein dritter Weg überträgt die Referenzwel­ lenfront unabhängig von der Prüfoberfläche in Ausrichtung mit den beiden Prüfwellenfronten. Die beiden Prüfwellenfronten werden vorzugsweise von unterschiedlichen Zonen mindestens ei­ ner Compound-Optik übertragen, zum Beziehen der Prüfwellen­ fronten auf einen gemeinsamen Bezugswert. Die beiden resultie­ renden Interferenzbilder können verglichen werden, um sich ge­ genseitig zu bestätigen oder verschiedene Ordnungen von Ober­ flächenvariationen, z. B. Oberflächenrauhigkeit und Oberflä­ chenwelligkeit, zu messen.

Vorzugsweise haben die erste und die zweite Zone einer ersten Compound-Optik verschiedene Beugungsbilder, die die beiden Prüfwellenfronten zu verschiedenen Formen relativ um­ formen, zum Reflektieren von der Prüfoberfläche bei verschie­ denen Streifwinkeln. Eine zweite Compound-Optik mit unter­ schiedlichen Zonen mit verschiedenen Beugungsbildern wird au­ ßerdem vorzugsweise zur weiteren relativen Umformung der bei­ den reflektierten Prüfwellenfronten zu einer Form gemeinsam mit der gleichen Referenzwellenfront verwendet.

Ein drittes Beispiel des erfindungsgemäßen Interferome­ ters weist eine Compound-Optik zum mehrmaligen Übertragen ei­ ner Prüfwellenfront auf. In Verbindung mit den üblichen Merk­ malen einer Lichtquelle und den erforderlichen Wegen für Prüf- und Referenzwellenfronten hat die Compound-Optik mehrere Zonen zum Übertragen der Prüfwellenfront zu und von einer Prüf­ oberfläche. Eine erste der mehreren Zonen weist eine erste op­ tische Charakteristik zum Übertragen der Prüfwellenfront zur Prüfoberfläche auf, und eine zweite der mehreren Zonen weist eine zweite optische Charakteristik zum Übertragen der Prüf­ wellenfront von der Prüfoberfläche auf. Zumindest eine der Zo­ nen hat ein Beugungsbild zum relativen Beugen der Prüfwellen­ front in bezug auf die Referenzwellenfront.

Eine der Zonen der Compound-Optik weist vorzugsweise außerdem zumindest partielle Reflexion auf. Beugungsbilder können verwendet werden, um die Prüfwellenfront vor oder nach der Reflexion von der Prüfoberfläche umzuformen oder die Prüf- und Referenzwellenfronten zu trennen oder zu vereinigen. Zu­ sätzliche Zonen können verwendet werden, um die Referenzwel­ lenfront unabhängig von der Prüfwellenfront zu übertragen oder andere Prüfwellenfronten zu übertragen.

Ein viertes Beispiel des erfindungsgemäßen Interferome­ ters stellt zumindest eines von einem Paar Beugungsoptiken als Compound-Optik zum Ausrichten des Paares zu einer gemeinsame Referenzachse dar. Eine erste der Beugungsoptiken hat eine Meßzone, die die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwel­ lenfront relativ umformt, zum Reflektieren der Prüfwellenfront von der Prüfoberfläche in einem Streifwinkel. Eine zweite der Beugungsoptiken hat eine Meßzone, die die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront weiter relativ umformt, zum Erzeugen eines optischen Interferenzbildes zwischen der Prüf- und der Referenzwellenfront als Anzeige von Variationen in der Prüfoberfläche. Zumindest eine der Beugungsoptiken hat außer­ dem eine Ausrichtzone, die sich von der Meßzone der gleichen Beugungsoptik unterscheidet, zum Ausrichten der ersten und der zweiten Beugungsoptik mit der gemeinsamen Referenzachse.

Die Ausrichtzone ist vorzugsweise eine Beugungszone mit einem Rastermaß, das in bezug auf die Meßzone der gleichen Beugungsoptik variiert, aber mit dem Rastermaß der Meßzone der anderen Beugungsoptik übereinstimmt. Dadurch kann ein resul­ tierendes Interferenzbild verwendet werden, um die beiden Op­ tiken in einem Null-Zustand auszurichten. Als Alternative könnten beide Beugungsoptiken Ausrichtzonen mit Fokussierqua­ litäten zur Abstandseinstellung der Optiken entlang der Refe­ renzachse aufweisen.

Zeichnungen

Fig. 1 ist eine schematische Darstellung des erfin­ dungsgemäßen Interferometers, das für eine Messung mit einfa­ chem Durchgang mit zwei Beugungsoptiken eingerichtet ist.

Fig. 2 ist eine Darstellung der im Interferometer ver­ wendeten Beugungsoptiken zum Messen von zylindrischen Prüfin­ nenflächen.

Fig. 3 ist eine Axialansicht einer Bilderzeugungsoptik, die ein Interferenzbild wiedergibt, das Abweichungen in der Prüfoberfläche darstellt.

Fig. 4 ist eine Axialansicht einer der Beugungsoptiken.

Fig. 5 ist eine geschnittene Teilansicht von zwei Beu­ gungsoptiken.

Fig. 6A bis 6C sind Darstellungen, die die Anordnung einer vorangehenden und einer nachfolgenden Beugungsoptik zum gleichzeitigen Messen von Seiten- und Endflächen eines zylin­ drischen Prüfstücks zeigen.

Fig. 7A ist eine Axialansicht der vorangehenden Beu­ gungsoptik gemäß Fig. 6A bis 6C.

Fig. 7B ist eine Axialansicht der nachfolgenden Beu­ gungsoptik gemäß Fig. 6A bis 6C.

Fig. 7C ist eine Axialansicht eines exemplarischen In­ terferenzmusters, das aus der Messung der beiden Oberflächen des zylindrischen Prüfstücks resultiert.

Fig. 8A bis 8C ist eine Reihe von Darstellungen, die die Anordnung einer vorangehenden und einer nachfolgenden Beugungsop­ tik zum gleichzeitigen Messen der Außenflächen eines Zylin­ ders mit Konus zeigen.

Fig. 9A bis 9C ist eine Reihe von Darstellungen, die die Anordnung einer vorangehender und einer nachfolgenden Beugungsop­ tiken zum gleichzeitigen Messen der gleichen Oberfläche eines Zylinders mit zwei verschiedenen Prüfwellenfronten zeigen.

Fig. 10 ist eine Darstellung einer einzelnen Compound- Optik, die sowohl als vorangehende als auch als nachfolgende Beugungsoptik zum Messen der Endfläche eines Zylinders dient.

Fig. 11A bis 11C ist eine Reihe von Darstellungen, die die Anordnung einer vorangehenden und einer nachfolgenden Beugungsop­ tiken sowohl zum Messen einer Prüfoberfläche als auch zum Aus­ richten der vorangehenden und der nachfolgenden Beugungsoptik zeigen.

Ausführliche Beschreibung

Die Erfindung kann in den meisten Interferometeranord­ nungen, einschließlich Einfach- oder Zweifachdurchgangsinter­ ferometer, angewendet werden, ist jedoch zur Durchführung zu­ mindest von bestimmten Messungen mit nichtnormalen Einfalls­ winkeln besonders gut geeignet. Wir bezeichnen solche Winkel als "Streifwinkel" bzw. "Glanzwinkel", die wir als nichtnorma­ le Winkel definieren, die innerhalb eines Bereichs der spie­ gelnden Reflexion gegenüber Prüfflächen geneigt sind.

Die Erfindung schließt vorzugsweise Beugungsoptiken zum Manipulieren von optischen Wellenfronten (oder Strahlen) ein. Fig. 2 bis 5 liefern zusätzliche Hintergrundinformation über eine derartige Verwendung von Beugungsoptiken, wie zuerst in den bereits genannten älteren, gleichzeitig anhängigen US-Patentanmeldungen Nr. 08/375 499 und 08/483 737 (US-A-55654798) offenbart worden sind. Die übri­ gen Zeichnungen zeigen verschiedene erfindungsgemäße Verbesse­ rungen beim Umgang mit optischen Wellenfronten.

Ein exemplarisches Interferometer 10 ist in Fig. 1 in einer Mach-Zender-Anordnung dargestellt. Das Prüfstück 12, das auch in Fig. 2 dargestellt ist, ist auf einem Luftlager 16 an­ geordnet, das von einer Richtplatte 18 auf einer Basis 20 ge­ tragen wird. Das Luftlager 16 ermöglicht sowohl eine Rotati­ ons- als auch eine Verschiebungssteuerung des Prüfstücks 12, um mehrere Messungen von verschiedenen Positionen zu ermögli­ chen. Mathematische Vergleiche zwischen den mehreren Messungen können durchgeführt werden, um systematische Fehler zu besei­ tigen.

Eine Lichtquelle 22, z. B. eine Laserdiode oder ein He- Ne-Laser, erzeugt einen kohärenten Lichtstrahl. Eine optische Faser 24 überträgt den Lichtstrahl durch die Basis 20 zu einem Kollimator 26, der den Lichtstrahl zu einer planaren primären Wellenfront 28 formt, die durch ausgewählte Strahlen darge­ stellt wird. Eine vorangehende Beugungsoptik 30, z. B. ein rundes Durchlaßbeugungsgitter oder eine binäre Optik, teilt die planare Wellenfront 28 in eine Referenzwellenfront 32 und eine Prüfwellenfront 34. Die Referenzwellenfront 32 bleibt ei­ ne planare Wellenfront. Die Prüfwellenfront 34 wird jedoch von der führenden Beugungsoptik 30 zu einer achsenkonischen Wel­ lenfront umgeformt, die aus Strahlen besteht, die zu einer Re­ ferenzachse 11 um einen ersten Beugungswinkel "µ" gleichmäßig geneigt ist, der innerhalb der axialen Ebenen der Referenzach­ se 11 gemessen wird.

Entsprechende transparente Öffnungen 36 und 38 durch das Luftlager 16 und die Richtplatte 18 stellen einen Zwi­ schenraum bereit, damit sich die Referenz- und die Prüfwellen­ front 32 und 34 entlang der Referenzachse 11 durch einen hoh­ len Mittelpunkt des Prüfstücks 12 ausbreiten können. Die Prüf­ wellenfront 34 wird von verschiedenen Positionen der zylindri­ schen Prüfoberfläche 14 mit einem konstanten Streifwinkel "θ" reflektiert. Die nachfolgende Beugungsoptik 40 formt die re­ flektierte Prüfwellenfront 34 weiter um einen zweiten Beu­ gungswinkel "ν" zu einer planaren Wellenfront um. Zum Messen von nominal geraden zylindrischen Oberflächen sind die beiden Beugungswinkel "µ" und "ν" einander und dem konstanten Streif­ winkel "θ" gleich.

Sowohl die Referenz- als auch die Prüfwellenfront 32 und 34 treten also aus der nachfolgenden Beugungsoptik 40 als interferierende planare Wellenfronten aus. Wenn man außerdem Fig. 3 betrachtet, so erzeugt die Bilderzeugungsoptik 42 ein als Interferogramm bezeichnetes Bild 44 der Interferenz der nachfolgenden Beugungsoptik 40 in einer Bildaufzeichnungsvor­ richtung, z. B. einer Kamera 46. Das abgebildete Interferenz­ bild 44, mit dem die Prüfoberfläche 14 überlagert wird, stellt Abweichungen der Prüfoberfläche 14 von einer theoretischen zy­ lindrischen Oberfläche dar.

Die interferierenden Wellenfronten, nämlich die Prüf- und die Referenzwellenfront 32 und 34 könnten auch aus der nachfolgenden Beugungsoptik 40 in einer gemeinsamen Form aus­ treten, die sich von der dargestellten planaren Form unter­ scheidet. Beispielsweise könnte die Referenzwellenfront zu ei­ ner achsenkonischen Wellenfront gebeugt werden, die mit der Prüfwellenfront übereinstimmt. Die Bilderzeugungsoptik 42 wür­ de entsprechend modifiziert werden, um das erforderliche Bild in der Kamera 46 darzustellen.

Die Kamera 46, die vorzugsweise eine Festkörper- oder ladungsgekoppelte Vorrichtung (CCD) aufweist, zeichnet das In­ terferenzbild zur Verarbeitung in einem Computer 48 auf. Die Bilderzeugungsoptik kann in die Kamera 46 einbegriffen oder als eine oder mehrere getrennte Elemente vorhanden sein. Die Anzeigevorrichtung 50, z. B. eine Kathodenstrahlröhre, Flach­ bildschirmvorrichtung oder ein Drucker, geben Information über die zylindrische Prüfoberfläche 14 in einer geeigneten Form aus. Zusätzlich zur topographischen Information könnten auch ableitbare Maße wie etwa Rundheit, Geradheit, Kegelform und Zylindrizität ausgegeben werden. Als Alternative könnte die Information elektronisch gespeichert oder zur Verwendung bei einem anderen Vorgang, z. B. Rückkopplung mit einem Herstel­ lungsvorgang, übertragen werden.

Fig. 3 zeigt das ringförmige Interferenzbild 44, das in der nachfolgenden Beugungsoptik 40 erscheint. Ein Referenz­ punkt 52 im Interferenzbild 44 stimmt mit einem Schnittpunkt der Referenzachse 11 überein. Exemplarische Reflexionspunkte 54, 56, 58 und 60 von der zylindrischen Prüfoberfläche 14 ent­ sprechen den Punkten 54', 56', 58' und 60' im Interferenzmu­ ster 44.

Winkel um die Referenzachse 11 herum zwischen den Re­ flexionspunkten 54, 56 und 58, 60 von der zylindrischen Prüf­ oberfläche 14 entsprechen gleichen Winkeln zwischen den Punk­ ten 54', 56' und 58', 60' um den Referenzpunkt 52 herum. Axia­ le Abstände entlang der Referenzachse 11 zwischen den Refle­ xionspunkten 54, 58 und 56, 60 beziehen sich jedoch auf radia­ len Abstände zwischen den Punkten 54', 58' und 56', 60' vom Referenzpunkt 52. Beispielsweise haben die Reflexionspunkte 54 und 58 an einem Ende 62 der zylindrischen Prüfoberfläche 14 entsprechende Punkte, die sich in einem kürzeren radialen Ab­ stand im Interferenzbild 44 befinden als die Reflexionspunkte 56 und 60 am anderen Ende 64 der zylindrischen Prüfoberfläche 14.

Höhenabweichungen der zylindrischen Prüfoberfläche 14 von der theoretischen Prüfoberfläche an den Reflexionspunkten 54, 56, 58 und 60 erscheinen als Phasendifferenzen an den ent­ sprechenden Punkten 54', 56', 58' und 60' im Interferenzmuster 44. Genaue Maße dieser Phasendifferenzen werden durch herkömm­ liche Phasenverschiebungstechniken ermittelt, bei denen opti­ sche Wegdifferenzen zwischen der Referenzwellenfront 32 und der Prüfwellenfront 34 über ganzzahlige Unterteilungen einer Wellenlänge abgestuft werden. Intensitätinformation in jeder Phasenstufe wird gespeichert, und ein vollständiges Phasenab­ bild wird nach etablierten Fourier-Reihenverfahren berechnet. Die Stufung kann auf vielerlei verschiedene Art und Weise er­ folgen, z. B. durch Axialverschiebung einer der Beugungsopti­ ken 30 oder 40, vorzugsweise der vorangehenden Optik 30, oder durch Änderung der Wellenlänge der primären Wellenfront 28.

Die Empfindlichkeit des Interferometers 10, die ein Maß der Abweichungsgröße ist, die durch die angrenzenden Ränder im Interferenzmuster 44 dargestellt wird, nimmt bei zunehmenden Streifwinkeln "θ" ab. Demzufolge werden größere Streifwinkel "θ" innerhalb des Bereichs der spiegelnden Reflexion der Prüf­ oberfläche 14 zur Verbesserung der Genauigkeit von einzeln ge­ messenen Punkten bevorzugt.

Die Streifwinkel "θ" können jedoch auch die Größe der Beugungsoptiken sowie das Auflösungsvermögen des Interferome­ ters 10 beeinflussen. Die Kamera 46 wird vorzugsweise mit ei­ nem einstellbaren Fokus bereitgestellt, um die Auflösung von Punkten, die entlang dem innersten und dem äußersten Umfang 66 und 68 des Interferenzbildes 44 abgebildet sind, anzugleichen. Bestimmte Beschränkungen der Abbildungswinkel, die von der Ka­ mera 46 gesehen werden, können erwünscht sein, um Differenzen zwischen der Auflösung von Punkten zu steuern, die entlang dem innersten und dem äußersten Umfang 66 und 68 des Interferenz­ bildes abgebildet sind.

Die vorangehende und die nachfolgende Beugungsoptik 30 und 40 sind ferner in Fig. 4 und 5 dargestellt. In Fig. 4 ist die vorangehende Beugungsoptik 30 als Beugungsgitter mit einem Beugungsbild dargestellt, das durch eine Anzahl von konzentri­ schen geschlossenen Rillen 70 gebildet wird, zum Teilen des Lichts in zwei verschiedene Beugungsordnungen. Die nachfolgen­ de Beugungsoptik 40 ist vorzugsweise ein ähnliches Gitter, das so orientiert ist, wie in der geschnittenen Teilansicht in Fig. 5 dargestellt. Bei der Null-Beugungsordnung, die mit der Referenzachse 11 ausgerichtet ist, bedeuten die positiven oder "+"-Beugungsordnungen Lichtstrahlen, die zur Referenzachse 11 hin gebeugt werden, und negative oder "-"-Beugungsordnungen Lichtstrahlen, die von der Referenzachse 11 weg gebeugt wer­ den.

Die Referenzwellenfront 32 wird vorzugsweise von beiden Beugungsoptiken 30 und 40 mit einer Null-Beugungsordnung durchgelassen (gebeugt), und die Prüfwellenfront 34 wird vor­ zugsweise von beiden Optiken 30 und 40 mit einer ersten Beu­ gungsordnung durchgelassen (gebeugt). Die vorangehende Beu­ gungsoptik 30 teilt jedoch die Referenz- und die Prüfwellen­ front 32 und 34, und die nachfolgende Beugungsoptik 40 verei­ nigt die beiden Wellenfronten 32 und 34.

Verschiedene Kombinationen von Beugungsordnungen könn­ ten auch verwendet werden, um die Referenz- und die Prüfwel­ lenfront zu teilen oder zu vereinigen. Beispielsweise könnte für ein relatives Umformen beider Wellenfronten die Refe­ renzwellenfront zu einer positiven ersten Ordnung und die Prüfwellenfront zu einer negativen ersten Ordnung gebeugt wer­ den. Die nachfolgende Beugungsoptik könnte auch bei einer hö­ heren Beugungsordnung als die vorangehende Beugungsoptik (oder umgekehrt) zum Prüfen von Oberflächen, die einen hohen Nei­ gungswinkel zur Referenzachse haben, verwendet werden. Die Prüfwellenfront könnte auch von der folgenden Beugungsoptik mit einer Null-Ordnung gebeugt werden, und die Referenzwellen­ front könnte von der gleichen Optik mit einer höheren Ordnung gebeugt werden, um mit der Prüfwellenfront übereinzustimmen.

Die Rillen 70 in beiden Gittern sind mit einem konstan­ ten Rastermaß "p" beabstandet, zum gleichmäßigen Neigen des Prüfstrahls 34 in bezug auf den Referenzstrahl 32 um die Beu­ gungswinkel "µ" und "". Die Empfindlichkeit als Maß, nämlich Einheiten pro Rand entspricht einer Hälfte des Rastermaßes "p" für die Beugungen erster Ordnung der Prüfwellenfront. Obwohl sie im Maßstab variieren, haben die Rillen 70 Wege, die ge­ formt werden, um mit Querabschnitten der zylindrischen Prüf­ oberfläche 14 übereinzustimmen. Beispielsweise stimmt die in­ nere Rille 72 mit dem Kreisabschnitt am hinteren Ende 64 der Prüfoberfläche 14 und die äußere Rille 14 mit dem Kreisab­ schnitt am vorderen Ende 61 der Prüfoberfläche 14 überein. Zu­ sammengenommen stellen die Form und die Beabstandung der Ril­ len 70 eine mathematische Beschreibung der Prüfoberfläche 14 dar.

Profile der Rillen 70 können geformt werden, um Beu­ gungsenergien in der Null-, ersten und höheren Beugungsordnun­ gen zu steuern. Beispielsweise können die Rillen 70 maximale Intensität haben, um die Beugungsenergien innerhalb von nur zwei Beugungsordnungen zu konzentrieren, die zur Beugung der Referenz- und der Prüfwellenfront 32 und 34 verwendet werden. Die Tiefe oder Breite der Rillen 70 kann auch verändert wer­ den, um die Beugungsenergien zwischen den interferierenden Wellenfronten, nämlich der Referenz- und der Prüfwellenfront 32 und 34 entsprechend zu teilen, um den Kontrast des Interfe­ renzbildes 44 zu maximieren. Was das Reflexionsvermögen der Prüfoberfläche 14 betrifft, so kann eine von beiden oder beide Beugungsoptiken 30 oder 40 modifiziert werden, um dieses zu erreichen.

Die Beugungsoptiken 30 und 40 können durch fotolitho­ graphische Behandlung und Ätzung von Schichten unter Computer­ steuerung für hohe Genauigkeit ausgeführt werden. Durch dieses Verfahren der Herstellung kann ohne weiteres eine komplexe ma­ thematische Beschreibung der Prüfoberflächen in die Beugungs­ optiken einbezogen werden. Als Alternative können die Beu­ gungsoptiken 30 und 40 hergestellt werden, indem Glassubstrate zur Verbesserung der Lebensdauer geätzt oder das darunter lie­ gende Substrat modifiziert wird, um ähnliche Modulationen der Amplitude oder der Phase aufzuweisen.

Die verbleibenden Figuren der Zeichnungen zeigen ver­ schiedene Beispiele von Verbesserungen, die durch die Erfin­ dung ermöglicht werden. Alle Beispiele beruhen auf Modifika­ tionen von Beugungsoptiken zur Erreichung zusätzlicher Funk­ tionen. In vielen Fällen überlappen die Wege des Prüf- und des Referenzstrahls, die die verschiedenen Funktionen erfüllen, so daß getrennte Zeichnungen von verschiedenen Funktionen vorhan­ den sind sowie Zeichnungen, die kombinierte Funktionen dar­ stellen.

Beispielsweise zeigen Fig. 6A bis 6C, 7A und 7B voran­ gehende und nachfolgende Compound-Beugungsoptiken 80 und 82 zum Messen von zwei Oberflächen 84 und 86 eines zylindrischen Prüfstücks 88. Fig. 6A zeigt die entsprechenden Wege eines er­ sten Prüfstrahls 90 und eines ersten Referenzstrahls 92 zum Messen der Seitenfläche 84 des Prüfstücks 88. Fig. 6B zeigt die entsprechenden Wege eines zweiten Prüfstrahls 94 und eines zweiten Referenzstrahls 96 zum Messen der Endfläche 86 des Prüfstücks. Fig. 6C zeigt die beiden Prüfstrahlen 90 und 94 und die beiden Referenzstrahlen 92 und 96 zum gleichzeitigen Messen sowohl der Seitenfläche 84 als auch der Endfläche 86 des Prüfstücks 88.

Die vorangehende und die nachfolgende Beugungsoptik 80 und 82 werden zu einer gemeinsamen Referenzachse 98 ausgerich­ tet, entlang der sich ein primärer Strahl 100 ausbreitet. Die vorangehende Beugungsoptik 80, die auch in Fig. 7A dargestellt ist, ist eine Compound-Optik mit einer ersten Beugungszone 102, die einen Teil des primären Strahls 100 in den ersten Prüfstrahl 90 und den ersten Referenzstrahl 92 einteilt und die den ersten Prüfstrahl 90 zu einer anderen Form umformt, zum Reflektieren von der Seitenfläche 84 mit einem ersten vor­ bestimmten Streifwinkel. Eine zweite Beugungszone 104 der vor­ angehenden Beugungsoptik 80 läßt einen weiteren Teil des pri­ mären Strahls 100 als den zweiten Prüfstrahl 94 durch und formt den zweiten Prüfstrahl 94 zu einer anderen Form um, zum Reflektieren von der Endfläche 86 mit einem zweiten vorbe­ stimmten Streifwinkel. Bei Reflexion von der Endfläche 86 wird der zweite Prüfstrahl 94 zur vorangehenden Beugungsoptik 80 zurückgeworfen, und zwar an einer anderen Stelle, wo er von der Reflexionszone 106 wieder reflektiert wird. Schließlich läßt die Durchlaßzone 108 noch einen weiteren Teil des primä­ ren Strahls 100 als die zweite Referenzwellenfront 96 durch.

Die nachfolgende Beugungsoptik 82, die auch in Fig. 7B dargestellt ist, ist auch eine Compound-Optik. Eine erste Beu­ gungszone 110 formt den ersten Prüfstrahl 90 zu einer Form ge­ meinsam mit dem ersten Referenzstrahl 92 weiter um und verei­ nigt den ersten Prüf- und den ersten Referenzstrahl 90 und 92 zum Erzeugen eines ersten Interferenzbildes 112 (siehe Fig. 7C), das Variationen der Seitenfläche 84 darstellt. Ebenso formt eine zweite Beugungszone 114 den zweiten Prüfstrahl 94 zu einer Form gemeinsam mit den zweiten Referenzstrahl 96 wei­ ter um und vereinigt den zweiten Prüf- und den zweiten Refe­ renzstrahl 94 und 96 zum Erzeugen eines zweiten Interferenz­ bildes 116, das Variationen in der Endfläche 86 darstellt.

Da die Prüfstrahlen 90 und 94 von den gleichen Beu­ gungsoptiken 80 und 82 übertragen werden, werden die resultie­ renden Interferenzbilder 112 und 116, die aus der Bilderzeu­ gungsoptik 42 austreten, mit einem gemeinsamen Bezugswert auf­ einander bezogen. Dadurch kann der Computer 48 in Fig. 1 die relative Orientierung zwischen der Seiten- und der Endfläche 84 und 86 vergleichen. Vorzugsweise sind die mehreren Zonen der entsprechenden Beugungsoptiken, nämlich der vorangehenden und der nachfolgenden, in gemeinsamen Substraten ausgebildet, um für ein genaues Beziehen der beiden Prüfstrahlen 90 und 94 aufeinander zu sorgen.

Ein weiteres Beispiel der gleichzeitigen Messung von zwei Oberflächen ist in Fig. 8A bis 8C dargestellt. Ein exem­ plarisches Prüfstück 124 hat eine zylindrische Oberfläche 126 ähnlich dem vorhergehenden Beispiel und eine konische Oberflä­ che 128. Die vorangehende und die nachfolgende Beugungsoptik 130 und 132 sind jeweils in Zonen geteilt, zum gleichzeitigen Messen der beiden Oberflächen 126 und 128.

Die vorangehende Beugungsoptik 130 weist eine Beugungs­ zone 134 ähnlich der vorhergehenden Ausführungsform auf, zum Teilen eines Teils eines primären Strahls 136 in einen ersten Prüfstrahl 138 und einen ersten Referenzstrahl 140 und zum Um­ formen des ersten Prüfstrahls 138, um diesen in einem vorbe­ stimmten Streifwinkel von der Zylinderfläche 126 zu reflektie­ ren. Eine erste Durchlaßzone 142 läßt einen weiteren Teil des primären Strahl 136 als zweiten Prüfstrahl 144 durch, der von der konischen Oberfläche 128 in einem zweiten vorbestimmten Streifwinkel reflektiert wird. Eine zweite Durchlaßzone 146 läßt noch einen weiteren Teil des primären Strahls 136 als zweiten Referenzstrahl 148 durch. Als Alternative könnte die erste Durchlaßzone 142 als zweite Beugungszone ähnlich der vorhergehenden Ausführungsform ausgeführt werden, zum Umformen des ersten Prüfstrahls 138 vor dem Reflektieren von der koni­ schen Oberfläche 128.

Die nachfolgende Beugungsoptik 132 hat zwei Beugungszo­ nen 150 und 152. Die Beugungszone 150 formt den ersten Prüf­ strahl 138 zu einer Form gemeinsam mit dem ersten Referenz­ strahl 140 um und vereinigt den ersten Prüf- und den ersten Referenzstrahl 138 und 140 zum Erzeugen eines Interferenzbil­ des von Variationen in der zylindrischen Oberfläche 126. Die Beugungszone 152 formt den zweiten Prüfstrahl 144 zu einer Form gemeinsam mit dem zweiten Referenzstrahl 148 um und ver­ einigt den zweiten Prüf- und den zweiten Referenzstrahl 144 und 148 zum Erzeugen eines Interferenzbildes von Variationen in der konischen Oberfläche 128. Die beiden Interferenzbilder (nicht dargestellt) werden durch die mehreren Zonen der Beu­ gungsoptiken 130 und 132 zum Transportieren des ersten und des zweiten Prüfstrahls 138 und 144 aufeinander bezogen.

Ein Beispiel für die mehreren Messungen der gleichen Oberfläche mit Compound-Beugungsoptiken ist in Fig. 9A bis 9C dargestellt. Wiederum werden eine vorangehende und eine nach­ folgende Compound-Beugungsoptik 190 und 192 verwendet. Ein Prüfstück 194 hat eine zu messende einzelne zylindrische Prüfoberfläche 196.

Die vorangehende Beugungsoptik 190 weist zwei Beugungs­ zonen 198 und 200 auf. Die Beugungszone 198, die den Beugungs­ zonen 102 und 134 der beiden vorhergehenden Ausführungsformen ähnlich ist, teilt einen Teil eines primären Strahls 202 in einen ersten Prüfstrahl 204 und in einen ersten Referenzstrahl 206. Die Beugungszone 200 teilt einen weiteren Teil des primä­ ren Strahls 202 in einen zweiten Prüfstrahl 208 und einen zweiten Referenzstrahl 210. Die beiden Prüfstrahlen 204 und 208 werden außerdem von ihren entsprechenden Beugungszonen 198 und 200 umgeformt, um diese in verschiedenen Streifwinkeln von der gleichen Prüfoberfläche 196 zu reflektieren.

Die nachfolgende Beugungsoptik 192 weist außerdem zwei Beugungszonen 212 und 214 auf. Die Beugungszone 212 formt den ersten Prüfstrahl 204 um und vereinigt ihn mit dem ersten Re­ ferenzstrahl 206. Die Beugungszone 214 formt den zweiten Prüf­ strahl 208 um und vereinigt ihn mit dem zweiten Referenzstrahl 210. Die vereinigten Paare der Prüf- und Referenzstrahlen 204, 206 und 208, 210 erzeugen entsprechende Interferenzbilder von Variationen in der Prüfoberfläche 196. Die beiden Interferenz­ bilder können verglichen werden, um einander zu bestätigen oder um verschiedene Ordnungen von Oberflächenvariationen (z. B. Oberflächenrauhigkeit und Oberflächenwelligkeit) zu messen.

Fig. 10 zeigt ein Beispiel einer einzelnen Compound- Optik 220, die sowohl als vorangehende als auch als nachfol­ gende Beugungsoptik fungiert. Eine erste Beugungszone 222 formt einen Teil eines primären Strahls 224 zu einem Prüf­ strahl 226 um, zum Reflektieren von einer Prüfoberfläche 228 eines Prüfstücks 230 in einem relativ steilen Streifwinkel.

Eine zweite Beugungszone 232 läßt einen weiteren Teil des pri­ mären Strahls 224 als Referenzstrahl 234 durch und reflektiert und formt den Prüfstrahl 226 um und vereinigt ihn wieder mit dem Referenzstrahl 234. Die vereinigten Strahlen, nämlich der Prüf- und der Referenzstrahl 226 und 234 erzeugen ein Interfe­ renzbild als Anzeige von Variationen in der Prüfoberfläche 228. Die erste Beugungszone 222 kann maximale Intensität ha­ ben, um Spektralenergie innerhalb einer einzelnen Beugungsord­ nung zu konzentrieren, aber die zweite Beugungszone 232 erfor­ dert eine erste Beugungsordnung, die durchgelassen wird, und eine zweite Beugungsordnung, die reflektiert wird.

Als Alternative könnte die zweite Beugungszone 232 so angeordnet werden, daß ein Teil des primären Strahls 224 als der Referenzstrahl 234 reflektiert wird und der Prüfstrahl 226 durchgelassen, umgeformt und mit dem Referenzstrahl vereinigt wird. Außerdem könnte, anstatt den Referenzstrahl 234 durchzu­ lassen oder zu reflektieren und den Prüfstrahl 226 umzuformen und mit dem Referenzstrahl 234 zu vereinigen, die zweite Beu­ gungszone so angeordnet werden, daß der Prüfstrahl 226 als Teil einer Zweifachdurchgangsinterferometerkonfiguration retroreflektiert wird. Die erste Beugungszone 222 wäre dann erforderlich, um einen Teil des primären Strahls 224 als den Referenzstrahl 234 zu reflektieren und den Prüf- und den Refe­ renzstrahl 226 und 234 zu vereinigen.

Ein erfindungsgemäßes Beispiel zum Ausrichten eines Paares einer vorangehenden und einer nachfolgenden Beugungsop­ tik 240 und 242 zu einer gemeinsamen Referenzachse 224 ist in Fig. 11A bis 11C dargestellt. Das Prüfstück 246, das mit der vorangehenden und der nachfolgende Beugungsoptik 240 und 242 gemessen wird, ist ein konischer Zylinder oder Kegelstumpf mit einer Prüfoberfläche 248.

Zum Messen der Prüfoberfläche 248 hat die vorangehende Beugungsoptik 240 eine Beugungsmeßzone 250, die einen Teil ei­ nes primären Strahls 252 in einen ersten Prüfstrahl 254 und in einen ersten Referenzstrahl 256 teilt und die den ersten Prüf­ strahl 254 zu einer anderen Form umformt, zum Reflektieren von der Prüfoberfläche 248 in einem vorbestimmten Streifwinkel. Die nachfolgende Beugungsoptik 242 hat eine Beugungsmeßzone 258, die den ersten Prüf- und den ersten Referenzstrahl 254 und 256 umformt und vereinigt, zum Erzeugen eines Interferenz­ bildes als Anzeige von Variationen in der Prüfoberfläche 248.

Zum Ausrichten der beiden Beugungsoptiken 240 und 242 hat die vorangehende Beugungsoptik eine Ausrichtzone 260, die einen weiteren Teil des primären Strahls 252 als einen zweiten Prüfstrahl 262 durchläßt und den zweiten Prüfstrahl 262 zu ei­ ner Form umformt, die nach Reflexion von der Prüfoberfläche 248 mit der Gesamtform des ersten Prüfstrahls 254 überein­ stimmt. Die Meßzone 250 der vorangehenden Beugungsoptik hat einen erweiterten Teil, der noch einen weiteren Teil des pri­ mären Strahls 252 als zweiten Referenzstrahl 264 durchläßt. Ein ähnlich erweiterter Teil der Meßzone 258 der nachfolgenden Beugungsoptik formt den zweiten Prüf- und den zweiten Refe­ renzstrahl 262 und 264 um und vereinigt sie zur Erzeugung ei­ nes Interferenzbildes als Anzeige von Variationen in der Aus­ richtung der vorangehenden und der nachfolgenden Beugungsoptik 240 und 242 zur Referenzachse 244.

Vorzugsweise hat die Ausrichtzone 260 der vorangehenden Beugungsoptik ein Beugungsbild, das mit einem Beugungsbild der Meßzone 258 der nachfolgenden Beugungsoptik übereinstimmt, sich jedoch von der Meßzone 250 der vorangehenden Beugungsop­ tik unterscheidet. Beispielsweise haben beide Zonen 260 und 258 vorzugsweise das gleiche oder ein ähnliches Rastermaß zum Ausrichten der beiden Beugungsoptiken 240 und 242 in einem so­ genannten Null-Zustand, der vom resultierenden Interferenzbild registriert wird. Das heißt, jede Variation gegenüber der ge­ wünschten Ausrichtung ist aus dem resultierenden Interferenz­ bild ersichtlich.

Als Alternative könnten die Beugungsoptiken 240 und 242 entsprechende Ausrichtzonen mit ähnlichen Beugungsbildern auf­ weisen. Die beiden Ausrichtzonen könnten auch mit variierendem Rastermaß ausgeführt sein, um Fokussierqualitäten zum Einstel­ len der gewünschten Entfernung zwischen den Beugungsoptiken 240 und 242 aufzuweisen. Unabhängig davon, welche Fokussier­ qualitäten durch die vorangehende Beugungsoptik 240 in den zweiten Prüfstrahl 262 eingeführt werden, sie werden vorzugs­ weise von der nachfolgenden Beugungsoptik 242 beseitigt, zum Vergleichen des zweiten Prüf- und Referenzstrahls 262 und 264 in einem Null-Zustand.

Obwohl es möglich wäre, die Prüfoberfläche 248 gleich­ zeitig zu messen, während die Ausrichtung der vorangehenden und der nachfolgenden Beugungsoptiken 240 und 242 überwacht wird, werden die Meß- und die Ausrichtfunktion vorzugsweise getrennt durchgeführt. Während der Messung der Prüfoberfläche 262 kann ein Raumfilter 268 verwendet werden, um zum Ausrich­ ten der Beugungsoptiken verwendetes Licht zu blockieren. Das Raumfilter kann viele verschiedene Formen haben, einschließ­ lich einer einstellbaren Apertur. Das Prüfstück 246 selbst könnte auch verwendet werden, um das zum Ausrichten verwendete Licht zu blockieren.

Alle vorhergehenden Beispiele, die unsere bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungsformen offenbaren, sind in erster Linie für Einfachdurchgangsmessungen unter Verwendung einer vorangehenden und nachfolgenden Beugungsoptik zum Übertragen sowohl einer Prüf- als auch einer Referenzwellenfront einge­ richtet. Es wäre jedoch möglich, Reflexionsoptiken zur Durch­ führung ähnlicher Zweifachdurchgangsmessungen einzurichten und eine oder mehrere Referenzwellenfronten unabhängig von der vorangehenden oder nachfolgenden Beugungsoptik zu übertragen.

Die Erfindung kann außerdem verwendet werden, um andere und komplexere dreidimensionale Oberflächen, einschließlich Innen-, Außen- und Endflächen von nichtkreisförmigen Zylindern und Konen sowie Evolventenprofile, zu messen. Die Erfindung ist jedoch besonders zum Messen von bearbeiteten Oberflächen, z. B. Zylinderbohrungen, Kolben, Kegelrollenlagern und Getrie­ bezähnen, geeignet. Die nichtlinearen Wege der Beugungsoptiken können verändert werden, um nichtkreisförmige Querabschnitte von Prüfoberflächen übereinzustimmen, und der Rastermaßabstand der Beugungsbilder kann verändert werden, um mit Krümmungen in axialen Teilen der Prüfoberflächen übereinzustimmen. Die Beu­ gungsoptiken können auch abgestuft oder gekrümmt sein, um die Wellenfronten weiter umzuformen oder Fokussierqualitäten be­ reitzustellen. Begrenzte gekrümmte Abschnitte der Gitter kön­ nen verwendet werden, um Oberflächen zu messen, die keine Sym­ metrieachse haben. Wenn möglich, wird die Empfindlichkeit des Interferometers vorzugsweise konstantgehalten, kann jedoch durch Ändern des Rastermaßes des Beugungsbildes variiert wer­ den.

Die mehreren Zonen der Compound-Optiken werden vorzugs­ weise in einem gemeinsamen Substrat ausgebildet. Die Zonen könnten jedoch auch in getrennten Strukturen ausgebildet wer­ den, die durch einen gemeinsamen Bezugspunkt, z. B. eine Befe­ stigungsvorrichtung, aufeinander bezogen sind. Die anderen Re­ ferenzstrahlen, die tatsächlich Teile der gleichen Refe­ renzwellenfront sind, können auch als einzelner Referenzstrahl oder einzelne Referenzwellenfront angesehen werden. Zusätzli­ che Zonen könnten auch zum gleichzeitigen Messen mehrerer Oberflächen oder zur Durchführung mehrerer Messungen einer einzigen Oberfläche verwendet werden. Der Fachmann wird auch anerkennen, daß mehrere Funktionen der verschiedenen Beispiele ausgetauscht und kombiniert werden können, um Compound-Optiken zur Durchführung von noch mehr Funktionen aufzubauen.

Claims (66)

1. Interferometer zum Messen von mehreren Oberflächen eines Prüfstücks, mit:
einer Lichtquelle, die zwei Prüfwellenfronten und min­ destens eine Referenzwellenfront erzeugt;
einem optischen System mit einem ersten optischen Weg, entlang dem eine der Prüfwellenfronten übertragen wird, die auf eine der mehreren Oberflächen fällt, einem zweiten opti­ schen Weg, entlang dem die andere der Prüfwellenfronten über­ tragen wird, die auf eine andere der mehreren Oberflächen fällt, einem dritten optischen Weg, entlang dem die Refe­ renzwellenfront unabhängig von den mehreren Oberflächen in Ausrichtung mit den beiden Prüfwellenfronten übertragen wird;
wobei das optische System jede der beiden Prüfwellen­ fronten auf die Referenzwellenfront bezieht, zum Erzeugen von Interferenzmustern zwischen jeder der beiden Prüfwellenfronten und der Referenzwellenfront als Anzeige von Variationen in den mehreren Oberflächen;
das optische System außerdem eine erste Compound-Optik mit verschiedenen Zonen zum ertragen der beiden Prüfwellenfron­ ten entlang dem ersten oder zweiten optischen Weg aufweist;
eine erste der Zonen eine Beugungszone ist, die eine der Prüfwellenfronten in bezug auf die Referenzwellenfront re­ lativ umformt, und
eine zweite der Zonen eine andere optische Charakteri­ stik zum Übertragen der anderen Prüfwellenfront ohne Beugung aufweist.

2. Interferometer nach Anspruch 1, bei dem die zweite Zone eine Durchlaß zone zum Übertragen der anderen der Prüfwel­ lenfronten ist.

3. Interferometer nach Anspruch 2, bei dem die erste Com­ pound-Optik eine dritte Zone zum Übertragen der Referenzwel­ lenfront unabhängig von den beiden Prüfwellenfronten aufweist.

4. Interferometer nach Anspruch 3, bei dem die erste Compound-Optik eine vierte Zone zum weiteren Übertragen einer der Prüfwellenfronten aufweist.

5. Interferometer nach Anspruch 4, bei dem die vierte Zone eine Reflexionszone ist.

6. Interferometer zur Durchführung mehrerer Messungen eines Prüfstücks bei streifendem Einfall, mit:
einer Lichtquelle, die zwei Prüfwellenfronten und zu­ mindest eine Referenzwellenfront erzeugt;
einem optischen System mit einem ersten optischen Weg, entlang dem eine erste der Prüfwellenfronten von einer wesent­ lichen Fläche des Prüfstücks in einem Streifwinkel reflektiert wird, einem zweiten optischen Weg, entlang dem eine zweite der Prüfwellenfronten von der gleichen wesentlichen Fläche des Prüfstücks in einem Streifwinkel reflektiert wird, einem drit­ ten Weg, entlang dem die Referenzwellenfront unabhängig vom Prüfstück in Ausrichtung mit den beiden Prüfwellenfronten übertragen wird;
wobei das optische System eine erste Compound-Optik aufweist, die unterschiedliche Zonen aufweist, zum optischen Beziehen der beiden Prüfwellenfronten auf einen gemeinsamen Bezugswert;
die unterschiedlichen Zonen an der ersten Compound- Optik positioniert sind, zum getrennten Übertragen der beiden Prüfwellenfronten entlang dem ersten und dem zweiten optischen Weg;
eine erste der Zonen ein Beugungsbild zum relativen Beugen der ersten Prüfwellenfront in bezug auf die Refe­ renzwellenfront aufweist;
eine zweite der Zonen ein anderes Beugungsbild zum re­ lativen Beugen der zweiten Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront aufweist; und
das optische System die erste und die zweite Prüfwel­ lenfront entlang den ersten und dem zweiten optischen Weg in verschiedenen Streifwinkeln zu der gleichen wesentlichen Flä­ che des Prüfstücks überträgt.

7. Interferometer nach Anspruch 6, bei dem das optische System außerdem eine zweite Compound-Optik aufweist, die auf­ weist: eine erste Zone mit einem Beugungsbild zum weiteren re­ lativen Beugen der ersten Prüfwellenfront in Ausrichtung mit der Referenzwellenfront entlang dem dritten optischen Weg und eine zweite Zone mit einem anderen Beugungsbild zum weiteren relativen Beugen der zweiten Prüfwellenfront in Ausrichtung mit der Referenzwellenfront entlang dem dritten optischen Weg.

8. Interferometer nach Anspruch 7, bei dem die erste und die zweite Zone der ersten Compound-Optik die erste und die zweite Prüfwellenfront von einer gemeinsamen Form zu ver­ schiedenen Formen relativ umformen und die erste und die zwei­ te Zone der zweiten Compound-Optik die Prüfwellenfronten von den verschiedenen Formen zu einer Form gemeinsam mit der glei­ chen Referenzwellenfront relativ umformen.

9. Interferometer nach Anspruch 8, bei dem die erste und die zweite Zone der zweiten Compound-Optik die beiden Prüfwellenfronten mit der gleichen Referenzwellenfront verei­ nigen.

10. Interferometer nach Anspruch 9, bei dem die erste und die zweite Zone der Compound-Optik die entsprechenden Prüfwellenfronten mit der Referenzwellenfront vereinigen, in­ dem die Prüf- und Referenzwellenfronten mit verschiedenen Beu­ gungsordnungen gebeugt werden.

11. Interferometer zum Messen einer Prüfoberfläche, mit:
einer Lichtquelle, die eine primäre Wellenfront er­ zeugt, die in eine Prüfwellenfront und eine Referenzwellen­ front geteilt wird;
einem optischen System mit einem ersten optischen Weg, entlang dem die Prüfwellenfront von der Prüfoberfläche reflek­ tiert wird, und einem zweiten optischen Weg, entlang dem die Referenzwellenfront unabhängig von der Prüfoberfläche in Aus­ richtung mit der Prüfwellenfront übertragen wird;
einer Compound-Optik mit verschiedenen Zonen zum Über­ tragen der Prüfwellenfront zu und von der Prüfoberfläche;
wobei eine der Zonen eine erste optische Charakteristik aufweist, die die Übertragung der Prüfwellenfront zur Prüf­ oberfläche beeinflußt;
eine zweite der Zonen eine zweite optische Charakteri­ stik aufweist, die die Übertragung der Prüfwellenfront von der Prüfoberfläche beeinflußt;
zumindest eine der ersten und zweiten Zone ein Beu­ gungsbild aufweist, zum relativen Beugen der Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront; und
eine der ersten oder zweiten Zone zumindest partiell reflektierend ist;

12. Interferometer nach Anspruch 11, bei dem die Com­ pound-Optik außerdem die primäre Wellenfront in die Prüf- und Referenzwellenfronten teilt.

13. Interferometer nach Anspruch 12, bei dem die zweite Zone die Prüf- und Referenzwellenfronten vereinigt.

14. Interferometer nach Anspruch 13, bei dem die zweite Zone zumindest partiell reflektierend ist.

15. Interferometer nach Anspruch 14, bei dem die zweite Zone ein Beugungsbild hat, das die Prüfwellenfront in Ausrich­ tung mit der Referenzwellenfront relativ beugt.

16. Interferometer nach Anspruch 12, bei dem die erste Zone ein Beugungsbild hat, das die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront relativ umformt, zum Reflektieren von der Prüfoberfläche in einem Streifwinkel.

17. Interferometer nach Anspruch 16, bei dem die Com­ pound-Optik eine dritte Zone hat, die die Referenzwellenfront unabhängig von der Prüfwellenfront überträgt.

18. Interferometer nach Anspruch 16, ferner mit einer Beugungsoptik zum Vereinigen der Prüf- und Referenzwellenfron­ ten.

19. Interferometer nach Anspruch 11, bei dem die opti­ sche Charakteristik der ersten Zone Beugung aufweist.

20. Interferometer nach Anspruch 19, bei dem die opti­ sche Charakteristik der zweiten Zone zumindest partielle Re­ flexion aufweist.

21. Interferometer nach Anspruch 20, bei dem die opti­ sche Charakteristik der ersten Zone außerdem Durchlaßfähigkeit aufweist.

22. Interferometer nach Anspruch 20, bei dem die opti­ sche Charakteristik der zweiten Zone außerdem Beugung auf­ weist.

23. Interferometer nach Anspruch 22, bei dem die erste und die zweite Zone Beugungsbilder aufweisen, die sich im Ra­ stermaß unterscheiden.

24. Interferometer zum Messen einer Prüfoberfläche, mit:
einer Lichtquelle, die eine primäre Wellenfront er­ zeugt, die in eine Prüfwellenfront und eine Referenzwellen­ front geteilt wird;
einem optischen System mit einem ersten optischen Weg, entlang dem eine erste der Prüfwellenfronten von der Prüfober­ fläche reflektiert wird, und einem zweiten optischen Weg, ent­ lang dem die Referenzwellenfront unabhängig von der Prüfober­ fläche in Ausrichtung mit der Prüfwellenfront übertragen wird;
einer Compound-Optik mit einer ersten und einer zweiten Zone zum Übertragen der Prüfwellenfront zu und von der Prüf­ oberfläche;
wobei die erste Zone durchlässig zum Übertragen der Prüfwellenfront zur Prüfoberfläche ist; und
die zweite Zone reflektierend zum Übertragen der Prüf­ wellenfront von der Prüfoberfläche ist; und
einer Beugungsoptik mit einem Beugungsbild zum Kombi­ nieren der reflektierten Prüfwellenfront mit der Referenzwel­ lenfront zum Erzeugen eines Interferenzbildes als Anzeige von Variationen in der Prüfoberfläche.

25. Interferometer nach Anspruch 24, bei dem die Com­ pound-Optik eine dritte Zone aufweist, die durchlässig zum Übertragen der Referenzwellenfront ist.

26. Interferometer nach Anspruch 25, bei dem die zweite Zone die erste und die dritte Zone trennt.

27. Interferometer nach Anspruch 26, bei dem die erste Zone außerdem ein Beugungsbild zum Beugen der Prüfwellenfront hat.

28. Interferometer nach Anspruch 27, bei dem die erste Zone die Prüfwellenfront umformt, zum Reflektieren von der Prüfoberfläche in einem Streifwinkel.

29. Interferometer mit einer Vorrichtung zum Ausrichten von optischen Elementen, die verwendet werden, um eine Prüf­ oberfläche zu messen, mit:
einer Lichtquelle, die eine primäre Wellenfront er­ zeugt, die in Prüf- und Referenzwellenfronten geteilt wird;
einer ersten und einer zweiten Beugungsoptik mit einer gemeinsamen Referenzachse;
wobei die erste Beugungsoptik eine Meßzone aufweist, die die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront relativ umformt, zum Reflektieren der Prüfwellenfront von der Prüfoberfläche in einem Streifwinkel;
die zweite Beugungsoptik eine Meßzone aufweist, die die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront weiter relativ umformt, zur Erzeugen eines optischen Interferenzmu­ sters zwischen den Prüf- und Referenzwellenfronten als Anzeige von Variationen in der Prüfoberfläche; und
zumindest eine der Beugungsoptiken eine Ausrichtzone aufweist, die sich von der Meßzone der gleichen Beugungsoptik unterscheidet, zum Ausrichten der ersten und der zweiten Beu­ gungsoptik mit einer gemeinsamen Referenzachse.

30. Interferometer nach Anspruch 29, bei dem die Meßzo­ nen der ersten und der zweiten Beugungsoptik Beugungsbilder aufweisen, die sich im Rastermaß unterscheiden.

31. Interferometer nach Anspruch 30, bei dem die Aus­ richtzone eine Beugungszone mit einem Beugungsbild ist, das sich im Rastermaß von der Meßzone der gleichen Beugungsoptik unterscheidet.

32. Interferometer nach Anspruch 31, bei dem die Aus­ richtzone einer der Beugungsoptiken das gleiche Rastermaß wie die Meßzone der anderen Beugungsoptik hat.

33. Interferometer nach Anspruch 32, bei dem es die Ausrichtzone ermöglicht, daß sich die erste und die zweite Beugungsoptik im wesentlichen in einem Null-Zustand ausrich­ ten.

34. Interferometer nach Anspruch 29, bei dem die beiden Beugungsoptiken Ausrichtzonen zum Ausrichten der ersten und der zweiten Beugungsoptik mit der gemeinsamen Referenzachse haben.

35. Interferometer nach Anspruch 34, bei dem die Aus­ richtzonen der ersten und der zweiten Beugungsoptik Beugungs­ bilder haben, die im Rastermaß übereinstimmen.

36. Interferometer nach Anspruch 35, bei dem die Meßzo­ nen der ersten und der zweiten Beugungsoptik Beugungsbilder haben, die sich im Rastermaß in bezug aufeinander und in bezug auf die Beugungsbilder der Ausrichtzonen unterscheiden.

37. Interferometer nach Anspruch 29, bei dem die Aus­ richtzone außerdem Fokussierqualitäten zur Abstandseinstellung der ersten und der zweiten Beugungsoptik auf einen vorbestimm­ ten Abstand entlang der gemeinsamen Referenzachse aufweist.

38. Interferometer nach Anspruch 37, bei dem die Aus­ richtzone eine Beugungszone mit einem Beugungsbild mit einem variierenden Rastermaß ist.

39. Interferometer nach Anspruch 37, bei dem die beiden Beugungsoptiken Ausrichtzonen mit Fokussierqualitäten zur Ab­ standseinstellung der Beugungsoptiken im wesentlichen in einem Null-Zustand haben.

40. Interferometer nach Anspruch 29, bei dem die erste Beugungsoptik außerdem die primäre Wellenfront in Prüf- und Referenzwellenfronten sowie eine Ausrichtwellenfront teilt und die zweite Beugungsoptik die Prüf- und Ausrichtwellenfronten mit der Referenzwellenfront vereinigt.

41. Interferometer nach Anspruch 40, bei dem die Aus­ richtzone der ersten Beugungsoptik die Ausrichtwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront zu einer anderen Form als die Prüfwellenfront, die auf die Prüfoberfläche fällt, relativ umformt.

42. Interferometer nach Anspruch 41, bei dem die Aus­ richtwellenfront ähnlich der Prüfwellenfront, die auf die zweite Beugungsoptik fällt, geformt wird.

43. Interferometer nach Anspruch 40, bei dem die Aus­ richtzone der zweiten Beugungsoptik die Ausrichtwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront von einer Form, die sich von der reflektierten Prüfwellenfront unterscheidet, zu einer Form gemeinsam mit der Referenzwellenfront relativ umformt.

44. Interferometer nach Anspruch 29, ferner mit einem Raumfilter zum Blockieren von von der Ausrichtzone durchgelas­ senem Licht während der Messung der Prüfoberfläche.

45. Interferometer nach Anspruch 44, bei dem das Raum­ filter die Aperturgröße zum Blockieren eines Teils zumindest einer der Prüf- und Referenzwellenfronten einstellt.

46. Verfahren zum Durchführen mehrerer Messungen eines Prüfstücks mit einem Interferometer bei streifendem Einfall, mit den Schritten:
Erzeugen von zwei Prüfwellenfronten und zumindest einer Referenzwellenfront;
Übertragen einer ersten der Prüfwellenfronten entlang einem ersten Weg, der diese von einer wesentlichen Fläche des Prüfstücks zurückwirft;
Übertragen einer zweiten der Prüfwellenfronten entlang einem zweiten Weg, der diese von der gleichen wesentlichen Fläche des Prüfstücks zurückwirft;
Übertragen der Referenzwellenfront entlang einem drit­ ten Weg unabhängig vom Prüfstück in Ausrichtung mit den beiden Prüfwellenfronten;
Beziehen der beiden Prüfwellenfronten aufeinander mit einer ersten Compound-Optik mit unterschiedlichen Zonen zum Übertragen der ersten und der zweiten Wellenfront entlang dem ersten und dem zweiten Weg;
relatives Beugen der ersten Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront unter Verwendung einer ersten der unterschiedlichen Zonen; und
relatives Beugen der zweiten Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront unter Verwendung einer zweiten der unterschiedlichen Zonen,
wobei die Schritte der Übertragung der ersten und der zweiten Prüfwellenfront aufweisen: Übertragen der ersten und der zweiten Prüfwellenfront in verschiedenen Streifwinkeln zu der gleichen wesentlichen Fläche des Prüfstücks.

47. Verfahren nach Anspruch 46, mit den weiteren Schritten: weiteres Beziehen der beiden Prüfwellenfronten auf­ einander mit einer zweiten Compound-Optik mit unterschiedli­ chen Zonen zum Übertragen der ersten und der zweiten Wellen­ front entlang dem ersten und dem zweiten Weg und weiteres re­ latives Beugen der ersten und der zweiten Prüfwellenfront un­ ter Verwendung der unterschiedlichen Zonen der zweiten Com­ pound-Optik.

48. Verfahren nach Anspruch 47, bei dem die Schritte des weiteren relativen Beugens der ersten und der zweiten Prüfwellenfront aufweisen: relatives Umformen der reflektier­ ten Prüfwellenfronten von verschiedenen Formen zu einer Form gemeinsam mit der gleichen Referenzwellenfront.

49. Verfahren nach Anspruch 48, bei dem die Schritte des weiteren relativen Beugens der ersten und der zweiten Prüfwellenfront aufweisen: Verwendung verschiedener Beugungs­ ordnungen, um die beiden Wellenfronten mit der gleichen Refe­ renzwellenfront zu vereinigen.

50. Verfahren zum Messen der Prüfoberfläche unter Ver­ wendung einer Compound-Optik in einem Interferometer, mit den Schritten:
Teilen einer primären Wellenfront in eine Prüfwellen­ front und eine Referenzwellenfront;
Übertragen der Prüfwellenfront entlang einem ersten Weg, der diese von der Prüfoberfläche zurückwirft;
Übertragen der Referenzwellenfront entlang einem zwei­ ten Weg unabhängig von der Prüfoberfläche in Ausrichtung mit der Prüfwellenfront;
Positionieren einer Compound-Optik entlang dem ersten Weg mit verschiedenen Zonen zum Übertragen der Prüfwellenfront zu und von der Prüfoberfläche;
Anordnen einer ersten und einer zweiten Zone der Com­ pound-Optik, um verschiedene optische Charakteristiken aufzu­ weisen; und
relatives Beugen der Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront,
wobei der Schritt des Anordnens der ersten und der zweiten Zone aufweist: Anordnen einer der ersten oder der zweiten Zone, um zumindest partielles Reflexionsvermögen auf­ zuweisen.

51. Verfahren nach Anspruch 50, mit dem weiteren Schritt: außerdem Positionieren der Compound-Optik entlang dem zweiten Weg zum Teilen der primären Wellenfront in die Prüf- und Referenzwellenfronten.

52. Verfahren nach Anspruch 51, bei dem der weitere Schritt des Positionierens der Compound-Optik entlang dem zweiten Weg für ein Vereinigen der Prüf- und Referenzwellen­ fronten sorgt.

53. Verfahren nach Anspruch 50, bei dem der Schritt des Übertragens der Prüfwellenfront aufweist: Verwendung der er­ sten Zone der Compound-Optik, um die Prüfwellenfront zum Prüf­ stück zu übertragen.

54. Verfahren Anspruch 53, bei dem die erste Zone die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront zu einer Form, die sich von der Referenzwellenfront unterschei­ det, zum Reflektieren von der Prüfoberfläche in einem Streif­ winkel relativ umformt.

55. Verfahren nach Anspruch 53, bei dem der Schritt des Übertragens der Prüfwellenfront aufweist: Verwendung der zwei­ ten Zone der Compound-Optik, um die Prüfwellenfront vom Prüf­ stück zu übertragen.

56. Verfahren nach Anspruch 55, bei dem die zweite Zone die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront zu einer Form gemeinsam mit der Referenzwellenfront relativ um­ formt.

57. Verfahren nach Anspruch 55, mit dem weiteren Schritt: Anordnen der Compound-Optik mit einer dritten Zone, die die Referenzwellenfront unabhängig von der Prüfwellenfront überträgt.

58. Verfahren zum Messen einer Prüfoberfläche unter Verwendung einer Compound-Optik in einem Interferometer, mit den Schritten:
Teilen einer primären Wellenfront in eine Prüf- und ei­ ne Referenzwellenfront;
Übertragen der Prüfwellenfront entlang einem ersten Weg, der diese von der Prüfoberfläche zurückwirft;
Übertragen der Referenzwellenfront entlang einem zwei­ ten Weg unabhängig von der Prüfoberfläche in Ausrichtung mit der Prüfwellenfront;
Positionieren einer Compound-Optik entlang dem ersten Weg mit verschiedenen Zonen zum Übertragen der Prüfwellenfront zu und von der Prüfoberfläche;
Anordnen einer ersten und einer zweiten Zone der Com­ pound-Optik, um verschiedene optische Charakteristiken aufzu­ weisen; und
relatives Beugen der Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront,
wobei der Schritt des Anordnens der ersten und der zweiten Zone aufweist: Anordnen einer der Zonen zum Übertragen der Prüfwellenfront und einer weiteren der Zonen zum Reflek­ tieren der Prüfwellenfront.

59. Verfahren nach Anspruch 58, bei dem die beiden Zo­ nen außerdem die Prüfwellenfront beugen.

60. Verfahren zum Ausrichten einer ersten und einer zweiten Beugungsoptik in einem Interferometer zum Messen einer Prüfoberfläche:
Erzeugen einer primären Wellenfront, die in Prüf- und Referenzwellenfronten geteilt wird;
Anordnen der ersten Beugungsoptik mit einer Meßzone, die die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront relativ umformt, zum Reflektieren der Prüfwellenfront von den Prüfoberflächen in einem Streifwinkel;
Anordnen der zweiten Beugungsoptik mit einer Meßzone, die die Prüfwellenfront in bezug auf die Referenzwellenfront weiter relativ umformt, zum Erzeugen eines optischen Interfe­ renzmusters zwischen den Prüf- und Referenzwellenfronten als Anzeige von Variationen in der Prüfoberfläche; und
Anordnen zumindest einer der ersten oder der zweiten Beugungsoptik, so daß eine Ausrichtzone vorhanden ist, die sich von der Meßzone der gleichen Beugungsoptik unterscheidet, zum Ausrichten der ersten und der zweiten Beugungsoptik mit einer gemeinsamen Referenzachse.

61. Verfahren nach Anspruch 60, bei dem die Schritte des Anordnens der ersten und der zweiten Brechungsoptik auf­ weisen: Anordnen der entsprechenden Meßzonen der ersten und der zweiten Beugungsoptik, um verschiedene Beugungsbilder auf­ zuweisen.

62. Verfahren nach Anspruch 61, bei dem der Schritt des Anordnens zumindest einer der ersten oder der zweiten Beu­ gungsoptik, so daß eine Ausrichtzone vorhanden ist, aufweist: Anordnen der Ausrichtzone als Beugungszone mit einem Beugungs­ bild, das sich von der Meßzone der gleichen Beugungsoptik un­ terscheidet.

63. Verfahren nach Anspruch 62, bei dem das Beugungs­ bild der Ausrichtzone einer der Beugungsoptiken so angeordnet wird, daß es mit dem Beugungsbild der Meßzone der anderen der Beugungsoptiken übereinstimmt, zum Ausrichten der beiden Beu­ gungsoptiken im wesentlichen in einem Null-Zustand.

64. Verfahren nach Anspruch 61, bei dem der Schritt des Anordnens zumindest einer der ersten oder der zweiten Beu­ gungsoptik, so daß eine Ausrichtzone vorhanden ist, aufweist: Anordnen sowohl der ersten als auch der zweiten Optik, so daß entsprechende Ausrichtzonen vorhanden sind.

65. Verfahren nach Anspruch 64, bei dem die entspre­ chenden Ausrichtzonen mit Beugungsbildern angeordnet werden, zum Ausrichten der beiden Beugungsoptiken im wesentlichen in einem Null-Zustand.

66. Verfahren nach Anspruch 64, bei dem die entspre­ chenden Ausrichtzonen mit Fokussierqualitäten angeordnet wer­ den, zur Abstandseinstellung der beiden Beugungsoptiken im we­ sentlichen in einem Null-Zustand.