DE19704179A1 - Gas cooling arrangement - Google Patents

Gas cooling arrangement

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    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers

Abstract

The cooling arrangement includes at least one hollow body which contains a gas, whereby the surface area (5, 7) of the hollow body (1) facing the gas (4) is at least partially, preferably completely, overcast with a coating (6) which has a high heat conductivity and an, at least nearly, electrically isolating characteristic. The coating consists preferably of diamond or is composed of a similar material. The hollow body is composed of quartz glass.

Description

Die Erfindung betrifft eine Kühleinrichtung für Gase, insbesondere für Lasermedium in einem Entladungsraum, nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.The invention relates to a cooling device for gases, in particular for laser medium in a discharge space, according to the generic term of claim 1.

Bei Gaslasern ist es bekannt, das Lasergas von außen elektrisch anzuregen. Da die Umwandlung der elektrischen Energie nicht voll­ ständig in optische Energie erfolgen kann, erwärmt sich das Laser­ gas. Durch die Erwärmung verändern sich die optischen und thermophysikalischen Eigenschaften, so daß der Laserprozeß selbst beeinflußt wird. Darum ist eine Kühlung des Lasergases er­ forderlich. Dies gilt insbesondere bei Lasern hoher mittlerer Lei­ stung.In gas lasers, it is known that the laser gas is electrical from the outside to stimulate. Because the conversion of electrical energy is not full The laser heats up continuously in optical energy gas. The heating changes the optical and thermophysical properties, so that the laser process itself is influenced. That is why he is cooling the laser gas conducive. This applies in particular to lasers with high medium lei stung.

Zur Kühlung des Lasergases ist die konvektive Kühlung bekannt, bei der das Lasergas durch schnellen Austausch und anschließen­ de Abkühlung in einem Wärmetauscher gekühlt wird. Diese Art der Kühlung wird für höhere Leistung eingesetzt. Zur Kühlung ist ein erheblicher gerätetechnischer Aufwand zur Umwälzung und Küh­ lung des Gases erforderlich. So sind Strömungsmaschinen (Gebläse) mit einem sehr hohen Gasdurchsatz, strömungsopti­ mierte Entladungsrohre, eine ständige Zufuhr von Frischgas sowie Vakuumpumpen zum Abpumpen der Entladungsrohre notwendig. Convective cooling is known for cooling the laser gas, where the laser gas through quick exchange and connect de cooling is cooled in a heat exchanger. That kind of Cooling is used for higher performance. For cooling is a considerable expenditure on equipment for circulation and cooling treatment of the gas required. That's what fluid machines are (Blower) with a very high gas throughput, flow optimized gated discharge tubes, a constant supply of fresh gas as well Vacuum pumps necessary to pump down the discharge tubes.  

Es ist auch bekannt, das Lasergas durch Kontakt mit großflächigen Elektroden zu kühlen, die eine hohe Wärmeleitfähigkeit haben. Diese diffusive Kühlung wird bis zu einer mittleren optischen Aus­ gangsleistung von etwa 500 Watt eingesetzt. Durch neue Resona­ torkonzepte kann die diffusive Kühlung auch schon bei Lasern mit mittleren optischen Ausgangsleistungen bis etwa 2.500 Watt indu­ striell realisiert werden. Bei dieser Art der Kühlung ist es jedoch erforderlich, die Elektroden im Gasraum anzuordnen. Das Gas, das im Idealfall gar nicht oder nur sehr langsam ausgetauscht werden muß, wird durch den Abbrand der Elektroden verunreinigt. Darüber hinaus ist für große, mittlere optische Ausgangsleistungen eine große Fläche der Elektroden erforderlich.It is also known to contact the laser gas with large areas Cool electrodes that have high thermal conductivity. This diffusive cooling is up to a medium optical out 500 watts. With new Resona diffusive cooling can also be used with lasers average optical output powers up to approx. 2,500 watts indu can be realized strategically. With this type of cooling, however, it is necessary to arrange the electrodes in the gas space. The gas that ideally not at all or only very slowly must be contaminated by the erosion of the electrodes. About that is also one for large, medium optical output powers large area of the electrodes required.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die gattungsgemäße Kühleinrichtung so auszubilden, daß das Gas im Hohlkörper opti­ mal gekühlt werden kann, ohne daß eine Verunreinigung des Gases zu befürchten ist.The invention has for its object the generic Form cooling device so that the gas in the hollow body opti times can be cooled without contamination of the gas is to be feared.

Diese Aufgabe wird bei der gattungsgemäßen Kühleinrichtung er­ findungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspru­ ches 1 gelöst.This task is he in the generic cooling device according to the invention with the characterizing features of the claim ches 1 solved.

Bei der erfindungsgemäßen Kühleinrichtung kann die Kühlung des Gases im Hohlkörper konduktiv erfolgen. Die Beschichtung nimmt die Wärme des Gases auf und leitet sie sehr schnell ab, so daß ei­ ne optimale Kühlung des Gases ermöglicht wird. Wird die Kühlein­ richtung bei Lasern eingesetzt, dann müssen sich die Elektroden zur Anregung des Gases nicht innerhalb des Hohlkörpers befinden. Damit kann eine hervorragende konduktive Kühlung innerhalb des Hohlkörpers eines durch außen liegende Elektroden hochfrequent angeregten Hochleistungs-CO2-Lasers erzielt werden. Der konduk­ tive Wärmeabtransport kann infolge der erfindungsgemäßen Aus­ bildung auch bei einem diffusiv gekühlten, langsam oder gar nicht geströmten Laser, beispielsweise Slab-Laser, eingesetzt werden. Da die Elektroden solcher Laser mit dem Gas in Berührung kom­ men, wird eine Verunreinigung des Gases vermieden.In the cooling device according to the invention, the gas in the hollow body can be conductively cooled. The coating absorbs the heat of the gas and dissipates it very quickly, so that optimal cooling of the gas is made possible. If the cooling device is used in lasers, then the electrodes for exciting the gas do not have to be inside the hollow body. Excellent conductive cooling within the hollow body of a high-power CO 2 laser excited by external electrodes can thus be achieved. As a result of the formation according to the invention, the conductive heat dissipation can also be used with a diffusively cooled, slowly or not at all flowing laser, for example a slab laser. Since the electrodes of such lasers come into contact with the gas, contamination of the gas is avoided.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen, der Beschreibung und der Zeichnung.Further features of the invention result from the others Claims, the description and the drawing.

Die Erfindung wird anhand in der Zeichnung dargestellter Ausfüh­ rungsbeispiele näher erläutert. Es zeigenThe invention is based on the embodiment shown in the drawing Examples explained in more detail. Show it

Fig. 1 in schematischer Darstellung sowie im Querschnitt eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kühlein­ richtung, Fig. 1 a Kühlein inventive device in a schematic view and in cross-section a first embodiment,

Fig. 2 in schematischer und perspektivischer Darstellung eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kühl­ vorrichtung, Fig. 2 is a schematic and perspective view of apparatus of a second embodiment of a cooling according to the invention,

Fig. 3 in schematischer Darstellung und im Axialschnitt eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kühlein­ richtung. Fig. 3 in a schematic representation and in axial section, a third embodiment of a Kühlein direction.

Fig. 1 zeigt eine Kühleinrichtung in Form eines Hochleistungs-CO2-Lasers mit einem kreisförmigen Resonatorquerschnitt und einer au­ ßen liegenden Hochfrequenzanregung. Das Resonatorrohr 1, das vorzugsweise ein Quarzrohr ist, hat vorteilhaft kreisförmigen Quer­ schnitt. Im Bereich außerhalb des Resonatorrohres 1 sind diametral einander gegenüberliegend zwei Elektroden 2, 3 vorgesehen, die in bekannter Weise ausgebildet und an die entsprechende Strom­ quelle angeschlossen sind. Im Resonatorrohr 1 befindet sich ein Lasermedium 4, das durch die Elektroden 2, 3 hochfrequent ange­ regt wird. Die Innenwandung 5 des Rohres 1 ist mit einer Be­ schichtung 6 versehen, die eine sehr hohe Wärmeleitfähigkeit und eine so geringe elektrische Leitfähigkeit hat, daß die Beschichtung als Isolator zu bezeichnen ist. Vorteilhaft besteht diese Beschich­ tung 6 aus Diamant. Eine solche Diamantbeschichtung hat eine ex­ trem hohe Wärmeleitfähigkeit, die etwa 1500 W/mK beträgt und et­ wa 4mal so hoch wie die von Kupfer ist. Es können auch diamant­ ähnliche Schichten für die Beschichtung 6 verwendet werden, die ebenfalls aus Kohlenstoff hergestellt werden, aber nur sehr lokal die Kristallstruktur von Diamant besitzen. Diese Schichten sind auf makroskopischer Basis in der Regel amorph und weisen außer Kohlenstoff noch andere Elemente auf. Die Beschichtung 6 bedeckt vorteilhaft die gesamte Innenwandung 5 des Rohres 1. Die Be­ schichtung 6 stört die Einkopplung der hochfrequenten Energie kaum, führt aber zu einer sehr hohen Wärmeabfuhr an der Wan­ dung des Rohres 1. Dadurch kann das Lasermedium 4 im Rohr 1 schnell strömen. Dadurch kann eine wesentlich höhere Leitung ein­ gekoppelt werden als bei herkömmlichen Resonatorrohren 1 ohne eine solche Beschichtung. Die Wärmeabfuhr kann nun teilweise konduktiv über die Diamantschicht und teilweise konvektiv über die Gasströmung erfolgen. Damit kann bei gleicher Laserleistung die Gasströmung verlangsamt gegenüber herkömmlichen schnell ge­ strömten Lasern erfolgen. Auch ist es möglich, daß das Lasermedi­ um 4 gar nicht strömt. In diesem Falle erfolgt die Wärmeabfuhr rein konduktiv. Fig. 1 shows a cooling device in the form of a high-performance CO 2 laser with a circular resonator cross-section and an external high-frequency excitation. The resonator tube 1 , which is preferably a quartz tube, advantageously has a circular cross section. In the area outside the resonator tube 1 diametrically opposite two electrodes 2 , 3 are provided, which are formed in a known manner and are connected to the corresponding current source. In the resonator tube 1 there is a laser medium 4 , which is excited by the electrodes 2 , 3 with high frequency. The inner wall 5 of the tube 1 is provided with a coating 6 , which has a very high thermal conductivity and such a low electrical conductivity that the coating can be described as an insulator. This coating 6 is advantageously made of diamond. Such a diamond coating has an extremely high thermal conductivity, which is approximately 1500 W / mK and is approximately 4 times as high as that of copper. It is also possible to use diamond-like layers for the coating 6 , which are likewise produced from carbon, but which have the crystal structure of diamond only very locally. These layers are usually amorphous on a macroscopic basis and have other elements besides carbon. The coating 6 advantageously covers the entire inner wall 5 of the tube 1 . The coating 6 hardly interferes with the coupling of the high-frequency energy, but leads to very high heat dissipation on the wall of the tube 1 . As a result, the laser medium 4 can flow quickly in the tube 1 . As a result, a significantly higher line can be coupled in than in conventional resonator tubes 1 without such a coating. The heat can now be dissipated partly conductively via the diamond layer and partly convectively via the gas flow. With the same laser power, the gas flow can be slowed down compared to conventional, rapidly flowing lasers. It is also possible that the laser medium does not flow at 4 . In this case, the heat is dissipated in a purely conductive manner.

Fig. 2 zeigt eine Anordnung, wie sie bei einem Slab-Laser zur An­ wendung kommen kann. Bei herkömmlichen Slab-Lasern erfolgt die Kühlung des Lasermediums durch Kontakt mit großflächigen Elek­ troden, die eine hohe Wärmeleitfähigkeit haben. Im dargestellten Ausführungsbeispiel befindet sich das Lasermedium jedoch nicht in direktem Kontakt mit den Elektroden 2, 3, sondern ist durch die Be­ schichtung 6 von den Elektroden getrennt. Sie bestehen vorteilhaft aus Kupfer und sind plattenförmig ausgebildet. Ihre einander zuge­ wandten Seitenflächen 7 sind mit der Beschichtung 6 versehen, die vorteilhaft eine Diamantbeschichtung ist. Infolge der isolierenden Wirkung der Beschichtung 6 bei gleichzeitig extrem guter Wärme­ leitfähigkeit, die etwa viermal so hoch ist wie von Kupfer, wird der Abbrand des Elektrodenmaterials in den zwischen den Elektroden 2, 3 befindlichen Gasraum 8 und damit die Verunreinigung des La­ sermediums durch die Elektroden 2, 3 zuverlässig verhindert. Für den Gaseintritt und den Gasaustritt wird kein Stutzen benötigt, da ein solcher Laser ohne Gasumwälzung betrieben werden kann. Die Wärme wird über die Beschichtung 6 direkt auf die Elektroden 2, 3 übertragen und von dort mittels Sekundärkühlung, zum Beispiel Wasser, abtransportiert. Fig. 2 shows an arrangement as it can come to use with a slab laser. In conventional slab lasers, the laser medium is cooled by contact with large electrodes that have a high thermal conductivity. In the illustrated embodiment, however, the laser medium is not in direct contact with the electrodes 2 , 3 , but is separated by the coating 6 from the electrodes. They are advantageously made of copper and are plate-shaped. Your mutually facing side surfaces 7 are provided with the coating 6 , which is advantageously a diamond coating. As a result of the insulating effect of the coating 6 and at the same time extremely good thermal conductivity, which is about four times as high as that of copper, the erosion of the electrode material into the gas space 8 located between the electrodes 2 , 3 and thus the contamination of the laser medium by the electrodes 2 , 3 reliably prevented. No nozzle is required for the gas inlet and gas outlet, since such a laser can be operated without gas circulation. The heat is transferred directly to the electrodes 2 , 3 via the coating 6 and is removed from there by means of secondary cooling, for example water.

Es ist auch möglich, das Lasermedium 4 durch ein Quarzglas mit einer Beschichtung 6 von den Elektroden 2, 3 zu trennen. Auch in diesem Falle wird die Beschichtung vorteilhaft durch eine Diamant­ beschichtung gebildet.It is also possible to separate the laser medium 4 from the electrodes 2 , 3 by means of a quartz glass with a coating 6 . In this case too, the coating is advantageously formed by a diamond coating.

In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsform dargestellt. Sie hat das Resonatorrohr 1, das vorzugsweise aus Quarz besteht und kreis­ förmigen Querschnitt hat. In gewissen Abständen befindet sich an den Rohren 1 ein radial nach außen gerichteter Stutzen 9 für den Eintritt bzw. Austritt des im Rohr 1 befindlichen Lasermediums 4. Die Innenwandung 5 des Rohres 1 ist wiederum mit der Beschich­ tung 6 versehen, die vorteilhaft eine Diamantbeschichtung ist. Sie bedeckt die Innenwandung 5 des Rohres 1 vollständig. Auch die Innenwandung 10 des Stutzens 9 ist mit der Beschichtung 6 verse­ hen. Sie erstreckt sich bis zur Außenseite 11 des Stutzens 9. Wie Fig. 3 zeigt, erstreckt sich dieser außen liegende Teil der Be­ schichtung 6 bis nahezu an den Außenmantel des Rohres 1, so daß der Stutzen 9 an seiner Außenseite ebenfalls nahezu vollständig mit der Beschichtung bedeckt ist. Aufgrund der beschriebenen Aus­ bildung kann die Wärme konduktiv aus dem Resonatorrohr 1 nach außen transportiert werden.In Fig. 3, another embodiment is illustrated. It has the resonator tube 1 , which is preferably made of quartz and has a circular cross section. At certain intervals there is a radially outwardly directed nozzle 9 on the tubes 1 for the entry or exit of the laser medium 4 located in the tube 1 . The inner wall 5 of the tube 1 is in turn provided with the coating 6 , which is advantageously a diamond coating. It completely covers the inner wall 5 of the tube 1 . The inner wall 10 of the nozzle 9 is hen with the coating 6 verses. It extends to the outside 11 of the connector 9 . As shown in FIG. 3, this outer part of the coating 6 extends almost to the outer jacket of the tube 1 , so that the nozzle 9 is also almost completely covered on the outside with the coating. Due to the described education, the heat can be transported conductively from the resonator tube 1 to the outside.

Der die Außenseite 11 des Stutzens 9 umschließende Teil der Be­ schichtung 6 ist von einem Kühlkörper 12 umgeben, der die nach außen transportierte Wärme aufnimmt und vollständig abtranspor­ tiert. Der Kühlkörper 12 kann von Kühlmittelflüssigkeit durchströmt sein. Es ist auch möglich, den Kühlkörper 12 durch einen Luftwär­ metauscher zu bilden.The outer side 11 of the socket 9 enclosing part of the coating 6 is surrounded by a heat sink 12 , which absorbs the heat transported to the outside and is completely removed. The cooling body 12 can have coolant liquid flowing through it. It is also possible to form the heat sink 12 by an air heat exchanger.

Wie die beschriebenen Ausführungsbeispiele zeigen, kann inner­ halb des geschlossenen Gasraumes die Wärmeleitung an der In­ nenwandung 5, 7 teilweise oder vollständig konduktiv erfolgen, oh­ ne daß sich die Elektroden 2, 3 innerhalb des Gasraumes befinden müssen. Damit kann eine hervorragende konduktive Kühlung inner­ halb des aus Quarzglas bestehenden Entladungsrohres 1 eines durch äußere Elektroden 2, 3 hochfrequent angeregten Hochlei­ stungs-CO2-Lasers erzielt werden (Fig. 1 und 3).As the described exemplary embodiments show, heat conduction on the inner wall 5 , 7 can be partially or completely conductive within the closed gas space, oh ne that the electrodes 2 , 3 must be located within the gas space. This can be an excellent conductive cooling within half of the quartz glass discharge tube 1 of a high-frequency excited Hochlei stungs-CO 2 laser can be achieved by external electrodes 2 , 3 ( Fig. 1 and 3).

Gleichermaßen läßt sich der konduktive Wärmeabtransport bei ei­ nem diffusiv gekühlten, langsam oder gar nicht geströmten Laser, beispielsweise einem Slab-Laser (Fig. 2), erheblich verbessern. Darüber hinaus können bei einem solchen Laser die Elektroden 2, 3 physikalisch vom Gasraum 8 getrennt werden. Damit wird auch bei einem rein diffusiv gekühlten Laser die Verunreinigung des Gasraumes 8 vermieden.Likewise, the conductive heat dissipation in a diffusively cooled, slow or non-flowing laser, for example a slab laser ( FIG. 2), can be significantly improved. In addition, the electrodes 2 , 3 can be physically separated from the gas space 8 in such a laser. Contamination of the gas space 8 is thus avoided even with a purely diffusively cooled laser.

Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen bedeckt die Be­ schichtung 6 jeweils die gesamte Innenwandung des Rohres 1. Da­ durch wird eine optimale konduktive Wärmeleitung erzielt werden. Es ist auch möglich, die Beschichtung 6 nicht durchgehend an der Innenwandung des Rohres 1 vorzusehen. Auch dann wird im Ver­ gleich zu herkömmlichen Resonatorrohren eine hervorragende Wärmeableitung erzielt.In the described exemplary embodiments, the coating 6 covers the entire inner wall of the tube 1 . Since an optimal conductive heat conduction will be achieved. It is also possible not to provide the coating 6 continuously on the inner wall of the tube 1 . Even then, excellent heat dissipation is achieved in comparison to conventional resonator tubes.

Infolge der Verwendung der Beschichtung 6, die eine sehr hohe Wärmeleitfähigkeit und eine sehr geringe elektrische Leitfähigkeit besitzt, läßt sich die Abschirmung des Gasraumes von der elektri­ schen Energie der Hochfrequenz-Anregung verhindern und den­ noch eine hervorragende konduktive Wärmeabfuhr an den Wänden der Rohre 1 erzielen. Im Falle von Diamant als Beschichtung 6 ist die Wärmeleitfähigkeit etwa viermal so hoch wie die von Kupfer.As a result of the use of the coating 6 , which has a very high thermal conductivity and a very low electrical conductivity, the shielding of the gas space from the electrical energy of the high-frequency excitation can be prevented and the excellent conductive heat dissipation on the walls of the tubes 1 can still be achieved . In the case of diamond as coating 6 , the thermal conductivity is approximately four times that of copper.

Claims (16)

1. Kühleinrichtung für Gase, insbesondere für Lasermedium in einem Entladungsraum, mit mindestens einem das Gas auf­ nehmenden Hohlkörper, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Gas (4) zugewandte Fläche (5, 7) des Hohlkörpers (1) wenigstens teilweise mit ei­ ner Beschichtung (6) bedeckt ist, die eine hohe Wärmeleitfä­ higkeit und elektrisch eine zumindest nahezu isolierende Ei­ genschaft hat.1. Cooling device for gases, in particular for laser medium in a discharge space, with at least one gas receiving hollow body, characterized in that the gas ( 4 ) facing surface ( 5 , 7 ) of the hollow body ( 1 ) at least partially with egg ner coating ( 6 ) is covered, which has a high thermal conductivity and an electrically at least almost insulating property. 2. Kühleinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (6) aus Dia­ mant besteht.2. Cooling device according to claim 1, characterized in that the coating ( 6 ) consists of diamond. 3. Kühleinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (6) aus dia­ mantähnlichem Material besteht.3. Cooling device according to claim 1, characterized in that the coating ( 6 ) consists of dia mantle-like material. 4. Kühleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (1) aus Quarz­ glas besteht.4. Cooling device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the hollow body ( 1 ) consists of quartz glass. 5. Kühleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Gas (4) zugewandte Fläche (5, 7) des Hohlkörpers (1) vollständig mit der Be­ schichtung (6) bedeckt ist.5. Cooling device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the gas ( 4 ) facing surface ( 5 , 7 ) of the hollow body ( 1 ) is completely covered with the coating ( 6 ). 6. Kühleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (1) ein Resona­ torrohr eines Lasers, vorzugsweise eines Hochleistungs-Lasers, ist.6. Cooling device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the hollow body ( 1 ) is a resona torrohr a laser, preferably a high-power laser. 7. Kühleinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß außerhalb des Hohlkörpers (1) Elektroden (2, 3) zur Anregung des Gases (4) vorgesehen sind.7. Cooling device according to claim 6, characterized in that outside of the hollow body ( 1 ) electrodes ( 2 , 3 ) are provided for exciting the gas ( 4 ). 8. Kühleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (1) wenigstens einen nach außen gerichteten Stutzen (9) für den Ein- und/oder Austritt des Gases (4) aufweist.8. Cooling device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the hollow body ( 1 ) has at least one outwardly directed nozzle ( 9 ) for the entry and / or exit of the gas ( 4 ). 9. Kühleinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenwandung (10) des Stutzens (9) wenigstens teilweise, vorzugsweise vollständig, mit der Beschichtung (6) bedeckt ist.9. Cooling device according to claim 8, characterized in that the inner wall ( 10 ) of the connecting piece ( 9 ) is at least partially, preferably completely, covered with the coating ( 6 ). 10. Kühleinrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (6) bis zur Außenseite (11) des Stutzens (9) geführt ist.10. Cooling device according to claim 8 or 9, characterized in that the coating ( 6 ) to the outside ( 11 ) of the nozzle ( 9 ) is guided. 11. Kühleinrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (6) auf der Außenseite (11) des Stutzens (9) wenigstens teilweise, vor­ zugsweise vollständig, von mindestens einem Kühlkörper (12) umgeben ist. 11. Cooling device according to claim 10, characterized in that the coating ( 6 ) on the outside ( 11 ) of the nozzle ( 9 ) is at least partially, preferably completely, surrounded by at least one heat sink ( 12 ). 12. Kühleinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkörper (12) von Kühl­ mittelflüssigkeit durchströmt ist.12. Cooling device according to claim 11, characterized in that the cooling body ( 12 ) is flowed through by coolant liquid. 13. Kühleinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkörper (12) ein Luft­ wärmetauscher ist.13. Cooling device according to claim 11, characterized in that the cooling body ( 12 ) is an air heat exchanger. 14. Kühleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil des Hohlkörpers durch einander gegenüberliegende, flächige Elektroden (2, 3) gebil­ det ist, deren einander zugewandte Flächen (7) wenigstens teilweise durch die Beschichtung (6) bedeckt sind.14. Cooling device according to one of claims 1 to 6, characterized in that a part of the hollow body is formed by mutually opposite, flat electrodes ( 2 , 3 ) whose mutually facing surfaces ( 7 ) at least partially covered by the coating ( 6 ) are. 15. Kühleinrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (6) unmittel­ bar auf die Flächen (7) der Elektroden (2, 3) aufgebracht ist.15. Cooling device according to claim 14, characterized in that the coating ( 6 ) is applied directly to the surfaces ( 7 ) of the electrodes ( 2 , 3 ). 16. Kühleinrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (6) unter Zwi­ schenlage wenigstens einer Isolierschicht, vorzugsweise von Quarzglas, auf die Flächen (7) der Elektroden (2, 3) aufge­ bracht ist.16. Cooling device according to claim 14, characterized in that the coating ( 6 ) inter mediate at least one insulating layer, preferably of quartz glass, on the surfaces ( 7 ) of the electrodes ( 2 , 3 ) is brought up.
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