DE19749355A1

DE19749355A1 - Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallzelle

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Publication number: DE19749355A1
Application number: DE19749355A
Authority: DE
Inventors: Joung Won Woo; Kyeong Jin Kim; Soon Bum Kwon; Ki Hyuk Yoon; Young Seok Choi; Jong Hyun Kim; Jin Hee Jung
Original assignee: LG Electronics Inc
Current assignee: LG Display Co Ltd
Priority date: 1996-11-07
Filing date: 1997-11-07
Publication date: 1998-05-20
Anticipated expiration: 2017-11-08
Also published as: GB2319093A; DE19749355B4; JP4129847B2; US6191836B1; GB2319093B; US6417905B1; US6462797B1; JP2007128101A; FR2755518B1; US20020171795A1; FR2755518A1; GB9716576D0; JPH10142608A; US6721025B2

Description

Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallzelle und insbesondere ein solches Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallzelle, bei dem die Flüssigkristallmoleküle von Ausrichtungsschichten ausgerichtet werden, die durch auf dieselben eingestrahltes Licht ausgerichtet wurden.

Im allgemeinen weist eine Flüssigkristallzelle zwei Substrate und zwischen die beiden Substrate eingespritztes Flüssigkristallmaterial mit asymmetrischen Moleküle auf. Um eine gleichmäßige Helligkeit und ein hohes Kontrastverhältnis der Flüssigkristallzelle zu erreichen, ist es erforderlich, die Flüssigkristallmoleküle in der Zelle auf eine bestimmte Weise zu orientieren. Deshalb werden die Substrate vor dem Zusammenbau der Flüssigkristallzelle behandelt, um so eine entsprechende Ausrichtung der Flüssigkristallmoleküle zu erzielen. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, ist der Direktor n eines Flüssigkristallmoleküls durch einen Kippwinkel θ, der dem Polarwinkel des Direktors n entspricht, und durch die Orientierungsrichtung bestimmt, die der Projektion des Direktors n auf die Substratebene entspricht und durch den Azimuthalwinkel ϕ definiert ist. Mit den Winkeln θ und ϕ ergibt sich der Direktor n eines Flüssigkristallmoleküls in karthesischen Koordinaten zu

n = (cosθcosϕ, cosθsinϕ, sinθ)

Der Direktor n eines Flüssigkristallmoleküls wird durch Steuern des Kippwinkels θ und der durch den Winkel ϕ bestimmten Orientierungsrichtung festgelegt, indem das Substrat einem Ausrichtungsverfahren unterworfen wird. In dieser Beschreibung wird anstatt von einem Direktor n von einer Orientierung gesprochen, die durch den Kippwinkel und die Orientierungsrichtung festgelegt ist.

Ein herkömmliches Ausrichtungsverfahren ist das aus Fig. 2 ersichtliche Reibverfahren. Das herkömmliche Reibverfahren weist folgende Schritte auf: Beschichten eines Substrates 11 mit einer Ausrichtungsschicht 12 aus z. B. Polyimid, und mechanisches Reiben der Ausrichtungsschicht (Fig. 2a). Dadurch werden in der geriebenen Oberfläche der Ausrichtungsschicht Mikrorillen mit einem Kippwinkel θ_p erzeugt (Fig. 2b). Somit werden die Flüssigkristallmoleküle aufgrund der intermolekularen Wechselwirkung zwischen den Polyimidmolekülen und den Flüssigkristallmolekülen gleichförmig ausgerichtet.

Bei dem oben beschriebenen Reibverfahren werden jedoch in den Mikrorillen Defekte gebildet, die zu Lichtstreuung und statistischen Phasenänderungen führen. Während des Reibverfahrens werden außerdem Staubteilchen und elektrische Aufladungen auf der Ausrichtungsschicht erzeugt, so daß das Substrat beschädigt wird und die Produktausbeute verringert ist.

Um die oben beschriebenen Probleme zu lösen, wurde kürzlich ein Fotoausrichtungsverfahren eingeführt. Dieses herkömmliche Fotoausrichtungsverfahren ist aus Fig. 3 ersichtlich. Bei diesem Verfahren ist ein zweifaches Belichten einer Ausrichtungsschicht mit linear polarisiertem Licht erforderlich, um eine Orientierung auszubilden. Aus Fig. 3a ist der erste Bestrahlungsschritt ersichtlich, in dem linear polarisiertes ultraviolettes Licht vertikal, d. h. senkrecht zur Substratebene, auf eine Ausrichtungsschicht 12 eingestrahlt wird. Wenn die Polymere in der Ausrichtungsschicht 12 mit Licht bestrahlt werden, das eine Polarisationsrichtung ê aufweist, die parallel zu den Seitenketten der Polymere ist, wird eine Vernetzung zwischen den zu verschiedenen Polymeren gehörenden Seitenketten erzeugt. Bei den vernetzten Polymeren liegen die Hauptketten senkrecht zur Polarisationsrichtung ê des Lichtes. Auf diese Weise werden zwei Orientierungen θ₁, θ₂ mit gleichem Kippwinkel, jedoch einander entgegengesetzten Orientierungsrichtungen festgelegt, die senkrecht zur Polarisationsrichtung ê des Lichtes verlaufen, wie aus Fig. 3a ersichtlich. Die ausgebildeten Kippwinkel sind jedoch klein, typischerweise kleiner als 0,11°. Danach muß ein zweites Bestrahlen, wie aus Fig. 3b ersichtlich, durchgeführt werden, um eine der beiden einander entgegengesetzten, durch das erste Bestrahlen erzeugten Orientierungsrichtungen auszuwählen.

Der zweite Bestrahlungsschritt ist aus Fig. 3b ersichtlich. Linear polarisiertes Licht, dessen Polarisationsrichtung senkrecht zu der des ersten polarisierten Lichtes ist, wird schräg mit einem Winkel θ relativ zur Flächennormalen der Ausrichtungsschicht 12 auf dieselbe eingestrahlt. Auf diese Weise wird eine der beiden einander entgegengesetzten Orientierungsrichtungen ausgewählt, und der Kippwinkel θ₁ wird entsprechend dem Winkel zwischen dem Substrat 11 und der Einfallsrichtung des zweiten ultravioletten Lichtes vergrößert. Wenn der Einfallswinkel des zweiten linear polarisierten Lichtes z. B. 45° beträgt, wird der Kippwinkel auf 0,26° eingestellt.

Das Fotoausrichtungsverfahren weist einige Vorteile gegenüber dem Reibverfahren auf. Zum Beispiel können mit ihm die bei dem Reibverfahren entstehenden Defekte, die zu Streuung von Licht und zu statistischen Phasenänderungen führen, vermieden werden. Außerdem werden während des Ausrichtungsverfahrens keine Staubteilchen und elektrostatische Aufladungen auf der Ausrichtungsschicht erzeugt, so daß das Substrat nicht beschädigt wird.

Das herkömmliche Fotoausrichtungsverfahren ist jedoch aufgrund der zweistufigen Belichtung kompliziert. Außerdem ist der Bereich der mit dem zweiten ultravioletten Licht einstellbaren Kippwinkel sehr beschränkt, z. B. 0,15° bei einem Einstrahlwinkel von 30°, 0,26° bei einem Einstrahlwinkel von 45° und 0,30° bei einem Einstrahlwinkel von 60°.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein einfaches Fotoausrichtungsverfahren bereitzustellen, das für verschiedene Arten von Flüssigkristallzellen anwendbar ist, und mit dem der Kippwinkel im gesamten Bereich von 0° bis 90° einstellbar ist.

Ferner ist es eine Aufgabe der Erfindung, ein Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallzelle bereitzustellen, die einen großen Betrachtungswinkel aufweist.

Um dies zu erreichen, weist das erfindungsgemäße Verfahren folgende Schritte auf: Aufbringen einer lichtempfindliches Material aufweisenden Ausrichtungsschicht auf ein Substrat; und Belichten der Ausrichtungsschicht mit unpolarisiertem oder teilpolarisiertem Licht schräg relativ zur Ausrichtungsschicht, um in derselben einen Kippwinkel einzustellen.

Die Zeichnung, aus der bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung ersichtlich sind, dient zusammen mit der Beschreibung zur detaillierten Erläuterung der Prinzipien der Erfindung.

In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 einen Flüssigkristalldirektor in karthesischen Koordinaten und in Polarkoordinaten;

Fig. 2a und 2b ein herkömmliches Ausrichtungsverfahren durch Reiben;

Fig. 3a bis 3c ein herkömmliches Fotoausrichtungsverfahren;

Fig. 4a bis 4c jeweils die Polarisationscharakteristik von Licht mit verschiedenen Polarisationsrichtungen;

Fig. 5a und 5b die Abhängigkeit des Kippwinkels von dem in Siloxan absorbierten Lichtenergie;

Fig. 6a bis 6c verschiedene Ausrichtungsmodi, die mit dem erfindungsgemäßen Ausrichtungsverfahren erzielbar sind;

Fig. 7a bis 7b ein Ausrichtungsverfahren gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 8a und 8b ein Ausrichtungsverfahren gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 9 die Abhängigkeit des Kippwinkels von der absorbierten Lichtenergie bei verschiedenen Polarisationsgraden;

Fig. 10a bis 10e verschiedene Ausrichtungsmodi, die mit dem erfindungsgemäßen Ausrichtungsverfahren erzielbar sind;

Fig. 11a bis 11d ein Herstellungsverfahren für eine Mehrbereichs-Flüssigkristallzelle gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 12a bis 12d ein Herstellungsverfahren für eine Mehrbereichs-Flüssigkristallzelle gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 13a bis 13j ein Herstellungsverfahren für eine Mehrbereichs-Flüssigkristallzelle gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 14a bis 14b ein Herstellungsverfahren für eine Mehrbereichs-Flüssigkristallzelle gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.

Im folgenden wird detailliert auf die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung eingegangen, die aus der Zeichnung ersichtlich sind. Falls möglich, wurden in allen Figuren die gleichen Bezugszeichen für gleiche oder ähnliche Teile verwendet.

Ferner ist bei Vierbereichs-LCDs die Orientierungsrichtung der Flüssigkristallmoleküle in einem jeden der vier Bereiche im wesentlichen senkrecht zu der Orientierungsrichtung in wenigstens einem der drei dem jeweiligen Bereich jeweils benachbarten Bereiche.

Aus Fig. 4 ist schematisch die Polarisationscharakteristik von Licht gemäß der Intensität der elektromagnetischen Wellen in P-Richtung bzw. S-Richtung ersichtlich. In der Figur werden die P-Richtung und die S-Richtung verwendet, um die relativen Intensitäten des jeweiligen Lichtes zu verdeutlichen. Die P-Rich tung und die S-Richtung sind senkrecht zueinander.

In dieser Beschreibung wird unpolarisiertes Licht als Licht definiert, bei dem der elektrische Feldvektor der elektromagnetischen Wellen in allen beliebigen Richtungen oszilliert, die senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Lichtes stehen. Aus Fig. 4a ist unpolarisiertes Licht ersichtlich, das durch eine transparente Platte 7 hindurchtritt. Wie aus Fig. 4a ersichtlich, treten dabei alle elektromagnetischen Wellen durch die Platte 7 hindurch. Unpolarisiertes Licht weist gleiche Intensitäten des elektrischen Feldvektors in P-Richtung und in S-Richtung auf. Mit anderen Worten besteht unpolarisiertes Licht aus elektromagnetischen Wellen, deren elektrische Feldvektoren statistisch in allen Richtungen oszillieren, die senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Lichtes stehen.

Linear polarisiertes Licht wird als aus oszillierenden elektromagnetischen Wellen bestehend definiert, deren elektrische Feldvektoren entlang einer festen geraden Linie oszillieren, die senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Lichtes steht. Aus Fig. 4b ist linear polarisiertes Licht ersichtlich, das mit Hilfe eines Polarisators 17 erzeugt worden ist, der von dem auf den Polarisator einfallenden unpolarisierten Licht nur die elektromagnetischen Wellen hindurchläßt, deren elektrische Feldvektoren parallel zur lichtdurchlässigen Achse des Polarisators 17 liegen. Linear polarisiertes Licht weist somit nur elektromagnetische Wellen auf, deren elektrische Feldvektoren entlang einer festen geraden Linie oszillieren, die senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Lichtes steht.

Teilpolarisiertes Licht wird in dieser Beschreibung als Licht definiert, die eine elliptisch geformte Verteilung des elektrischen Feldes aufweist, wobei die Amplitude des elektrischen Feldes in einer Hauptrichtung größer als in einer anderen Richtung ist. Mit anderen Worten ist die Intensität der Welle P in der Hauptrichtung die größte, und die elektromagnetische Welle S in der senkrecht zur Hauptrichtung stehenden Nebenrichtung ist am schwächsten. Aus Fig. 4c ist teilpolarisiertes Licht ersichtlich, das mit Hilfe einer teilpolarisierende Platte 27 erzeugt worden ist, die von dem auf die Platte 27 einfallenden unpolarisierten Licht nur die parallel zur Hauptachse schwingenden elektrische Wellen hindurchläßt, aber in andere Richtung schwingende elektrische Wellen teilweise abblockt. Somit besteht teilpolarisiertes Licht aus P-Wellen mit der größten Intensität in der Hauptrichtung und S-Wellen mit kleinerer Intensität in der Nebenrichtung.

Erfindungsgemäß wird unpolarisiertes und teilpolarisiertes Licht verwendet, um die in die Flüssigkristallzelle eingespritzten Flüssigkristallmoleküle auszurichten. Um die Flüssigkristallmoleküle auszurichten, werden jeweils eine Ausrichtungsschicht oder eine lichtempfindliche Schicht auf die beiden Substrate der Flüssigkristallzelle aufgebracht. Erfindungsgemäß weist die Ausrichtungsschicht lichtempfindliches Material auf, das auf einfache Weise mit Hilfe des eingestrahlten Lichtes ausrichtbar ist. Außerdem ist bei diesen Materialien der Kippwinkel im gesamten Bereich zwischen 0° und 90° steuerbar.

Die erfindungsgemäßen lichtempfindlichen Materialien weisen Oligomere und Polymere von Siloxancinnamaten auf, die folgende Strukturformeln aufweisen.

Polysiloxancinnamat I

Polysiloxancinnamat II

Z = OH, CH₂, oder eine Mischung davon,
m = 10-100,
l = 1-11,
L = 0 oder 1,
K = 0 oder 1,
X, X1, X2, Y = H, F, Cl, CN, CF₃, C_n _2n+1 oder OC_nH_2n+1, wobei
n = 1-10 ist, oder eine Mischung davon.

Die Abhängigkeit des Kippwinkels von der in diesen Materialien absorbierten Lichtenergie ist aus den Fig. 5a bzw. 5b ersichtlich.

Aus Fig. 5a ist die Abhängigkeit des Kippwinkels von der in Siloxanpolymeren absorbierten Lichtenergie ersichtlich. Das Material weist einen Kippwinkel von 90° auf, wenn noch keine Lichtenergie in dem Material absorbiert wurde. Durch Einstrahlen von Licht verringert sich der Kippwinkel mit steigender absorbierter Lichtenergie im Bereich II langsam bis auf 60°. Dann verringert sich der Kippwinkel im Bereich zwischen dem Bereich II und dem Bereich I schneller bis auf 10°, und im Bereich I schließlich fällt der Kippwinkel mit steigender absorbierter Lichtenergie wieder langsam ab.

Aus Fig. 5b ist die Abhängigkeit des Kippwinkels von der in Siloxanoligomeren absorbierten Lichtenergie ersichtlich. Das Material weist einen Kippwinkel von 90° auf, wenn noch keine Lichtenergie absorbiert wurde. Durch Einstrahlen von Licht fällt der Kippwinkel im Bereich II bis auf etwa 60° ab. Bei weiter steigender absorbierter Lichtenergie fällt der Kippwinkel danach nur noch langsam bis auf etwa 50° ab. Bei Verwendung dieser Materialien für die Ausrichtungsschicht kann der Kippwinkel leicht in einem großen Bereich gesteuert werden.

Somit können, wie aus Fig. 6 ersichtlich, verschiedene Ausrichtungsmodi erzielt werden. Aus Fig. 6a ist eine homogene Ausrichtung mit einem Kippwinkel ersichtlich, der kleiner als 10° ist, und aus Fig. 6b ist eine homeotrope Ausrichtung mit einem Kippwinkel ersichtlich, der größer als 60° ist. Ferner kann eine gekippte Ausrichtung mit einem Kippwinkel zwischen 10° und 60°, wie aus Fig. 6c ersichtlich, erzielt werden.

Das erfindungsgemäße Ausrichtungsverfahren kann für alle Arten von Flüssigkristallzellen verwendet werden, indem die Kippwinkel, wie oben beschrieben, gesteuert werden.

Ein Ausrichtungsverfahren gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist aus Fig. 7 ersichtlich. Bei dieser Ausführungsform wird unpolarisiertes Licht verwendet, um einen Kippwinkel in einem einzigen Belichtungsschritt einzustellen. Dieses unpolarisierte Licht weist elektromagnetische Wellen auf, deren elektrische Feldvektoren in allen Richtung oszillieren, die senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Lichtes stehen. Deshalb wird in der Einstrahlrichtung des Lichtes keine Vernetzung der Moleküle der Ausrichtungsschicht erzielt. Wie aus Fig. 7a ersichtlich, wird das unpolarisierte Licht auf eine Siloxan aufweisende Ausrichtungsschicht 22 schräg mit einem Winkel θ relativ zur Flächennormalen der Ausrichtungsschicht eingestrahlt. Dadurch wird eine Orientierung festgelegt, die im wesentlichen der Einstrahlrichtung des Lichtes entspricht, und die Größe des Kippwinkels wird durch die in der Ausrichtungsschicht absorbierte Lichtenergie gesteuert. Wie aus Fig. 7b ersichtlich, wird ein Kippwinkel θ_p in der Ausrichtungsschicht eingestellt.

Um Lichtenergie zu sparen, weist die Flüssigkristallzelle bevorzugt eine homeotrope Ausrichtung auf. Um dies zu erreichen, wird eine dem Bereich II aus Fig. 5a entsprechende Lichtenergie auf eine Siloxanpolymere aufweisende Ausrichtungsschicht eingestrahlt. Andererseits wird, wenn Siloxanoligomere für die Ausrichtungsschicht verwendet werden, eine dem Bereich II aus Fig. 5b entsprechende Lichtenergie auf die Ausrichtungsschicht eingestrahlt. Bei dieser Ausführungsform ist in der Bestrahlungsvorrichtung kein Polarisator zum Polarisieren des für die Bestrahlung verwendeten Lichtes erforderlich. Da das Ausrichtungsverfahren nur einen einzigen Belichtungsschritt aufweist, ist es einfach und effizient, und es ist kein Umbau der Bestrahlungsvorrichtung erforderlich.

Ein anderes Ausrichtungsverfahren gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist aus Fig. 8 ersichtlich. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform wird teilpolarisiertes Licht verwendet, um eine Orientierung in einem einzigen Belichtungsschritt auszubilden. Bei diesem Verfahren dient die Polarisationskomponente in Nebenrichtung, die senkrecht zur Hauptrichtung steht, zum Auswählen einer Orientierungsrichtung. Die Polarisationskomponenten in Hauptrichtung dienen zum Einstellen der Größe des Kippwinkels. Wie aus Fig. 8a ersichtlich, wird teilpolarisiertes Licht auf eine Siloxan aufweisende Ausrichtungsschicht 22 schräg mit einem Winkel θ relativ zur Flächennormalen der Ausrichtungsschicht eingestrahlt. Auf diese Weise werden zwei einander entgegengesetzte Orientierungsrichtungen in Richtungen senkrecht zur Hauptpolarisationsrichtung des Lichtes ausgewählt. Gleichzeitig wird durch die Polarisationskomponenten in Nebenrichtung ein Kippwinkel entsprechend der Einstrahlrichtung des Lichtes, gegeben durch den Winkel θ, ausgewählt. Der Kippwinkel ist außerdem durch die Größe der in der Ausrichtungsschicht absorbierten Lichtenergie steuerbar. Wie aus Fig. 8b ersichtlich, wird ein Kippwinkel θ_p in der Ausrichtungsschicht eingestellt.

Mit den Komponenten in Hauptrichtung des eingestrahlten Lichtes kann eine stabile Ausrichtung erzielt werden. Deshalb kann dieses Verfahren für eine homogene Ausrichtung als auch für eine homoetrope Ausrichtung verwendet werden.

Wie aus Fig. 9 ersichtlich, ist die Steigung der Kurve, die die Abhängigkeit des Kippwinkels von der in der Ausrichtungsschicht absorbierten Lichtenergie beschreibt, abhängig vom Polarisationsgrad des teilpolarisierten Lichtes. Der Polarisationsgrad ist folgendermaßen definiert

Der Polarisationsgrad liegt zwischen 0 und 1, wobei 0 bedeutet, daß das Licht vollständig unpolarisiert ist, und 1 bedeutet, daß das Licht linear polarisiert ist. Wie aus Fig. 9 ersichtlich, fällt die Kurve für einen Polarisationsgrad von 0,67 wesentlich schneller ab als die Kurve für einen Polarisationsgrad von 0,5.

Mit dem oben beschriebenen Ausrichtungsverfahren können verschiedene Ausrichtungsmodi abhängig von der jeweiligen Orientierung der in einer Flüssigkristallzelle einander gegenüberliegenden Ausrichtungsschichten erzielt werden, wie aus Fig. 10 ersichtlich. Aus Fig. 10a ist eine Flüssigkristallzelle mit verdreht nematischem Flüssigkristall (TN-LCD, Twisted Nematic LCD) ersichtlich, bei der die Orientierungsrichtung der einen Ausrichtungsschicht senkrecht zu der der dieser Ausrichtungsschicht gegenüberliegenden Ausrichtungsschicht ist. Aus den Fig. 10b und 10c sind eine "Spray-Mode"-Flüssigkristallzelle bzw. eine "Bend-Mode"-Flüs sigkristallzelle ersichtlich. Bei diesen Flüssigkristallzellen ist die Orientierungsrichtung der einen Ausrichtungsschicht antiparallel zur Orientierungsrichtung der dieser Ausrichtungsschicht gegenüberliegenden Ausrichtungsschicht. Aus Fig. 10d ist eine "ECB-Mode"-Flüs sigkristallzelle ersichtlich, bei der die Orientierungsrichtung der einen Ausrichtungsschicht parallel zu der der dieser Ausrichtungsschicht gegenüberliegenden Ausrichtungsschicht ist. Schließlich ist aus Fig. 10e eine "Hybrid-Mode"-Flüssigkristallzelle ersichtlich, bei der die eine Ausrichtungsschicht homeotrop ausgerichtet ist, und die dieser gegenüberliegende Ausrichtungsschicht homogen ausgerichtet ist.

Eine Flüssigkristallzelle mit nur einem Bereich weist ein Problem den Betrachtungswinkel betreffend auf, d. h. die Transmission einer jeden Graustufe ist abhängig vom Betrachtungswinkel. Um dieses Problem zu lösen, wird erfindungsgemäß ein Herstellungsverfahren für eine Mehrbereichsflüssigkristallzelle bereitgestellt, dessen bevorzugte Ausführungsformen aus den Fig. 11 bis 14 ersichtlich sind.

Aus Fig. 11 ist ein Herstellungsverfahren für eine Mehrbereichs-ECB-Flüssigkristallzelle gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ersichtlich, bei der die Flüssigkristallmoleküle zwischen zwei Substraten 21 parallel ausgerichtet sind und einen Kippwinkel aufweisen, der größer als 60° ist. Aus Fig. 11a ist ein Verfahren zum Erstellen eines ersten Kippwinkels in einem ersten Bereich I der Ausrichtungsschicht 22 ersichtlich. Erstes unpolarisiertes Licht wird schräg unter einem Winkel θ₁ relativ zur Flächennormalen der Ausrichtungsschicht auf das mit der Siloxanpolymere aufweisenden Ausrichtungsschicht 22 beschichtete Substrat 21 eingestrahlt, während der zweite Bereich II mit einem Fotolack bedeckt ist, der das eingestrahlte Licht von der Ausrichtungsschicht 22 abblockt, wie aus den Fig. 11a und 11b ersichtlich. Dabei zeigt Fig. 11b einen Schnitt der aus Fig. 11a ersichtlichen Anordnung. Auf diese Weise werden in dem ersten Bereich I ein Kippwinkel und eine erste Orientierungsrichtung ausgebildet. Der erste Kippwinkel ist größer als 60°, und die Orientierungsrichtung ist antiparallel zur Projektion der Einstrahlrichtung auf die Substratebene. Aus den Fig. 11c und 11d ist das Verfahren zum Erstellen eines zweiten Kippwinkels im zweiten Bereich II der Ausrichtungsschicht 22 ersichtlich. Dabei wird die Maske 23 vom Bereich II entfernt und auf den Bereich I aufgebracht. Dann wird zweites unpolarisiertes Licht schräg mit einem Winkel θ₂ relativ zur Flächennormalen der Substratebene auf die Ausrichtungsschicht 22 eingestrahlt, so daß im zweiten Bereich II ein zweiter Kippwinkel und eine zweite Orientierungsrichtung ausgebildet werden.

Ein zweites Substrat 21 wird mit einer Ausrichtungsschicht 22 beschichtet, und in einem erstem Bereich und in einem zweitem Bereich der Ausrichtungsschicht 22 des zweiten Substrats 21 werden ein erster Kippwinkel und eine erste Orientierungsrichtung bzw. ein zweiter Kippwinkel und eine zweite Orientierungsrichtung, wie aus Fig. 11e ersichtlich, ausgebildet. Die Orientierungsrichtungen in der Ausrichtungsschicht 22 sind, wie aus den Fig. 11e und 11f ersichtlich, einander entgegengesetzt. Fig. 11f zeigt einen Schnitt der aus Fig. 11e ersichtlichen Anordnung.

Die beiden Substrate 21 werden dann zusammengebaut, und dann wird zur Erzielung einer ECB-Flüssigkristallzelle Flüssigkristallmaterial zwischen die beiden Substrate, die jeweils zwei verschiedene Bereiche aufweisen, eingespritzt, und die Flüssigkristallmoleküle 24 werden von den beiden Ausrichtungsschichten 22 der Substrate 21 ausgerichtet, wie aus den Fig. 11g und 11h ersichtlich, wobei Fig. 11h einen Schnitt der aus Fig. 11g ersichtlichen Anordnung zeigt.

Somit ist der Betrachtungswinkel groß, da die Flüssigkristallmoleküle in den verschiedenen Bereichen in unterschiedlichen Richtungen orientiert sind.

Bei dieser Ausführungsform wird die Lichtenergie derart gewählt, daß ein erster Kippwinkel und ein zweiter Kippwinkel erzielt werden, die größer als 60° sind und bevorzugt zwischen 75° und 89° liegen. Bei der Verwendung von auf Siloxan basierenden Materialien wird eine dem Bereich II aus den Fig. 5a und 5b entsprechende Lichtenergie verwendet, um einen Kippwinkel zu erzielen, der größer als 60° ist. Somit können mit dem oben beschriebenen Ausrichtungsverfahren auf einfache Weise ECB-Flüssigkristallzellen mit einem großen Kippwinkel hergestellt werden.

Aus den Fig. 12a bis 12h ist ein Herstellungsverfahren für eine Mehrbereichs-TN-Flüssigkristallzelle gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ersichtlich. Bei der Mehrbereichs-TN-Flüssigkristallzelle sind die Flüssigkristallmoleküle zwischen den beiden Substraten verdreht angeordnet und weisen einen Kippwinkel auf, der kleiner als 10° ist. Aus Fig. 12a ist das Verfahren zum Erstellen eines ersten Kippwinkels in einem ersten Bereich I der Ausrichtungsschicht 22 ersichtlich. Erstes teilpolarisiertes Licht wird schräg mit einem Winkel θ₁ relativ zur Flächennormalen der Substratebene auf die Siloxanpolymere aufweisende Ausrichtungsschicht 22 eingestrahlt, während der Bereich II, wie aus Fig. 12a und 12b ersichtlich, mit einer Maske abgeblockt ist, so daß in dem ersten Bereich I ein erster Kippwinkel und eine erste Orientierungsrichtung ausgebildet werden. Der erste Kippwinkel beträgt weniger als 10°, und die Orientierungsrichtung ist antiparallel zur Projektion der Einstrahlrichtung des Lichtes auf die Substratebene. Aus den Fig. 12c und 12d sind das Verfahren zum Erstellen eines zweiten Kippwinkels im zweiten Bereich II der Ausrichtungsschicht 22 ersichtlich. Dazu wird die Maske 23 vom zweiten Bereich II entfernt und auf den ersten Bereich I aufgebracht. Zweites unpolarisiertes Licht wird schräg mit einem Winkel θ₂ relativ zur Flächennormalen der Substratebene auf die Ausrichtungsschicht 22 eingestrahlt, während der erste Bereich I von der Maske 23 abgeblockt ist, so daß in dem zweiten Bereich II ein zweiter Kippwinkel und eine zweite Orientierungsrichtung ausgebildet werden.

Das zweite Substrat 21 wird mit einer Ausrichtungsschicht 22 beschichtet, und ein erster Kippwinkel und eine erste Orientierungsrichtung in einem ersten Bereich sowie ein zweiter Kippwinkel und eine zweite Orientierungsrichtung in einem zweiten Bereichen werden, wie aus Fig. 12e ersichtlich, ausgebildet. Die Moleküle in der Ausrichtungsschicht 22 sind, wie aus Fig. 12f ersichtlich, parallel zueinander ausgerichtet, wobei Fig. 12f ein Schnitt der aus Fig. 12e ersichtlichen Anordnung ist.

Durch Zusammenbauen der beiden Substrate 21 und Einspritzen von Flüssigkristallmaterial 24 zwischen dieselben wird eine TN-LCD erzielt, die zwei Bereiche aufweist, und von den Ausrichtungsschichten 22 werden die Flüssigkristallmoleküle 24 zwischen den beiden Substraten 21, wie aus den Fig. 12g und 12h ersichtlich, ausgerichtet.

Durch die unterschiedlichen Orientierungen der Flüssigkristallmolekülen in den verschiedenen Bereichen wird der Betrachtungswinkel der Flüssigkristallzelle vergrößert. Ferner ist in jedem Bereich des einen Substrats die Orientierungsrichtung im wesentlichen senkrecht zur Orientierungsrichtung des anderen Substrats.

Bei dieser Ausführungsform wird die Lichtenergie derart gewählt, daß der erste Kippwinkel und der zweite Kippwinkel geringer als 10° sind. Das heißt, daß, wenn für die Ausrichtungsschicht auf Siloxan basierende Materialien verwendet werden, die Lichtenergie dem Bereich I aus Fig. 5a entspricht, um einen Winkel auszubilden, der kleiner als 10° ist.

Somit kann eine stabile Orientierung durch die Hauptwelle des teilpolarisierten Lichtes erzeugt werden. Außerdem ist die Steigung der Kurve, die die Abhängigkeit des Kippwinkels von der in der Ausrichtungsschicht absorbierten Lichtenergie beschreibt, durch den Polarisationsgrad des teilpolarisierten Lichtes, wie aus Fig. 9 ersichtlich, steuerbar.

Aus Fig. 13 ist ein Herstellungsverfahren für eine Vierbereichs-ECB-LCD gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ersichtlich, mit dem eine Flüssigkristallzelle herstellbar ist, die einen größeren Betrachtungswinkel als eine Zweibereichs-ECB-LCD aufweist. Wie aus den Fig. 13a und 13b ersichtlich, wobei Fig. 13b einen Schnitt der aus Fig. 13a ersichtlichen Anordnung zeigt, wird erstes unpolarisiertes Licht schräg mit einem Winkel θ₁ relativ zur Flächennormalen der Substratebene auf das mit der Siloxanpolymere aufweisenden Ausrichtungsschicht 22 beschichtete Substrat 21 eingestrahlt, während der zweite, der dritte und der vierte Bereich I, II, IV abgeblockt sind, so daß in dem ersten Bereich I ein erster Kippwinkel ausgebildet wird, der größer als 60° ist. Um einen zweiten Kippwinkel zu erzeugen, der größer als 60° ist, wird zweites unpolarisiertes Licht schräg mit einem Winkel θ₂ relativ zur Flächennormale der Substratebene auf die auf das Substrat 21 aufgebrachten Ausrichtungsschicht 22 eingestrahlt, während der erste Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich I, III bzw. IV, wie aus den Fig. 13c und 13d ersichtlich, abgeblockt sind. Um einen dritten Kippwinkel und einen vierten Kippwinkel auszubilden, die jeweils größer als 60° sind, wird, wie aus den Fig. 13e, 13f, 13g und 13h ersichtlich, drittes unpolarisiertes Licht bzw. viertes unpolarisiertes Licht schräg relativ zur Substratebene auf den dritten Bereich III bzw. den vierten Bereich IV eingestrahlt, während die jeweils anderen Bereiche abgeblockt sind. Wie aus Fig. 13e ersichtlich, wird nach Entfernen der Maske ein erstes Substrat erzielt, das vier Bereiche aufweist. Das oben beschriebene Fotoausrichtungsverfahren wird auch für ein zweites Substrat 21 durchgeführt, und man erhält eine Flüssigkristallzelle durch Zusammenbau der beiden Substrate 21. Dann wird Flüssigkristallmaterial zwischen die beiden Substrate mit den vier Bereichen eingespritzt, und die Flüssigkristallmoleküle werden von den Ausrichtungsschichten, wie aus Fig. 13j ersichtlich, ausgerichtet.

Durch Ausrichten der Flüssigkristallmoleküle entsprechend den vier Bereichen wird ein großer Betrachtungswinkel erzielt. Ferner ist die Orientierungsrichtung der Flüssigkristallmoleküle in jedem der vier Bereiche jeweils im wesentlichen senkrecht zu der Orientierungsrichtung in wenigstens einem der drei benachbarten Bereiche.

Bei dieser Ausführungsform wird die für den ersten Kippwinkel, den zweiten Kippwinkel, den dritten Kippwinkel und den vierten Kippwinkel erforderliche Lichtenergie entsprechend dem Bereich II aus Fig. 5a oder 5b ausgewählt, so daß der Kippwinkel größer als 60° und bevorzugt größer als 75° und kleiner als 89° ist.

Erfindungsgemäß wird ein Herstellungsverfahren für eine ECB-Flüs sigkristallzelle bereitgestellt, mit dem aufgrund des Fotoausrichtungsverfahrens die Flüssigkristallzelle in kurzer Zeit hergestellt werden kann. Ferner kann eine Mehr bereichs-ECB-LCD durch Änderung der Einstrahlrichtung des Lichtes hergestellt werden. Somit kann eine ECB-LCD mit einem großen Betrachtungswinkel, einem hohen Kontrastverhältnis und stabilen Grauwerten mittels des erfindungsgemäßen Fotoausrichtungsverfahren einfach hergestellt werden. Ein großer Betrachtungswinkel der ECB-LCD kann mit Hilfe der erfindungsgemäß hergestellten Ausrichtungsschicht erzielt werden. Das Fotoausrichtungsverfahren kann in kurzer Zeit durchgeführt werden, so daß die Taktrate des erfindungsgemäßen Verfahrens höher als bei den herkömmlichen Verfahren ist.

Aus den Fig. 14a bis 14j ist ein Herstellungsverfahren für eine Vierbereichs-TN-LCD gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ersichtlich, wobei die Vierbereichs-TN-LCD einen größeren Betrachtungswinkel als eine Zweibereichs-TN-LCD aufweist. Wie aus den Fig. 14a und 14b ersichtlich, wobei Fig. 14b einen Schnitt der aus Fig. 14a ersichtlichen Anordnung zeigt, wird erstes teilpolarisiertes Licht schräg unter einem Winkel θ₁ relativ zur Flächennormalen der Substratebene auf das mit einer Siloxanpolymere aufweisenden Ausrichtungsschicht 22 beschichtete Substrat 21 eingestrahlt, während der zweite Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich II, III bzw. IV, abgeblockt sind, so daß in dem ersten Bereich I ein erster Kippwinkel ausgebildet wird, der kleiner als 10° ist. Um einen zweiten Kippwinkel auszubilden, der kleiner als 10° ist, wird zweites teilpolarisiertes Licht schräg mit einem Winkel θ₂ relativ zur Flächennormalen der Substratebene auf das Substrat 21 eingestrahlt, während der erste Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich I, III bzw. IV, wie aus den Fig. 14c und 14d ersichtlich, abgeblockt sind. Um einen dritten Kippwinkel und einen vierten Kippwinkel auszubilden, die jeweils kleiner als 10° sind, wird, wie aus den Fig. 14e, 14f, 14g und 14h ersichtlich, drittes teilpolarisiertes Licht bzw. viertes teilpolarisiertes Licht schräg auf einen dritten Bereich III bzw. einen vierten Bereich IV eingestrahlt, während die jeweils anderen Bereiche abgeblockt sind. Auf diese Weise werden auf dem ersten Substrat 21 vier Bereiche ausgebildet.

Das oben beschriebene Fotoausrichtungsverfahren wird dann auch auf einem zweiten Substrat 21 ausgeführt, um ein zweites Substrat 21, wie aus Fig. 14i ersichtlich, zu erzielen.

Nach Zusammenbau der beiden Substrate 21 wird Flüssigkristallmaterial in die vier Bereiche aufweisende Flüssigkristallzelle eingespritzt, und die Flüssigkristallmoleküle werden von den Ausrichtungsschichten, wie aus Fig. 14j ersichtlich, ausgerichtet.

Bei dieser Ausführungsform wird die Lichtenergie für den ersten Kippwinkel, den zweiten Kippwinkel, den dritten Kippwinkel und den vierten Kippwinkel entsprechend dem Bereich I aus Fig. 5a gewählt, so daß die Kippwinkel jeweils weniger als 10° betragen.

Somit kann durch die Hauptwelle des teilpolarisierten Lichtes eine stabile Orientierung erzielt werden. Außerdem ist die Steigung der Kurve, die die Abhängigkeit des Kippwinkels von der in der Ausrichtungsschicht absorbierten Lichtenergie beschreibt, durch den Polarisationsgrad des teilpolarisierten Lichtes, wie aus Fig. 9 ersichtlich, steuerbar.

Das erfindungsgemäße Fotoausrichtungsverfahren kann in kurzer Zeit durchgeführt werden, so daß die gesamte Taktzeit kürzer als bei herkömmlichen Verfahren ist. In allen oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung kann das Flüssigkristallmaterial eine positive dielektrische Anisotropie oder eine negative dielektrische Anisotropie aufweisen.

Erfindungsgemäß wird bei der Herstellung von Mehrbereichs-LCDs das für die Ausrichtung der Moleküle in der Ausrichtungsschicht eingestrahlte Licht immer auf das gesamte mit der Ausrichtungsschicht beschichtete Substrat eingestrahlt. Da jedoch die Bereich, die in dem jeweiligen Belichtungsschritt nicht belichtet werden sollen, mit einer Maske abgedeckt sind, werden ein Kippwinkel und eine Orientierungsrichtung nur in dem jeweils nicht mit der Maske bedeckten Bereich ausgebildet.

Claims

1. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung mit folgenden Schritten:
Aufbringen einer Ausrichtungsschicht (22) auf ein Substrat (21), wobei die Ausrichtungsschicht (22) eine Orientierung mit einer Achse aufweist, die senkrecht zur Schwingungsrichtung der elektromagnetischen Welle des im folgenden Schritt auf die Ausrichtungsschicht (22) eingestrahlten Lichtes ist; und
Belichten der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht.

2. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Schritt des Belichtens folgende Schritte aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht; und
Belichten eines zweiten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, wobei der erste Bereich und der zweite Bereich voneinander verschieden sind.

3. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Belichtungsschritt folgende Schritte aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, während ein zweiter Bereich der Ausrichtungsschicht abgedeckt ist, so daß er nicht belichtet wird, wobei der zweite Bereich von dem ersten Bereich verschieden ist; und
Belichten des zweiten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, während der erste Bereich abgedeckt ist, so daß er nicht belichtet wird.

4. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Schritt des Belichtens folgende Schritte aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der Ausrichtungsschicht mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, während ein zweiter Bereich, ein dritter Bereich und ein vierter Bereich der Ausrichtungsschicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden, wobei der erste Bereich, der zweite Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich jeweils voneinander verschieden sind;
Belichten des zweiten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, während der erste Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich der Ausrichtungsschicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden;
Belichten des dritten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, während der erste Bereich, der zweite Bereich und der dritte Bereich der Ausrichtungsschicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden; und
Belichten des vierten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, während der erste Bereich, der zweite Bereich und der dritte Bereich der Ausrichtungsschicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden.

5. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Licht ultraviolettes Licht aufweist.

6. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 2, bei dem Flüssigkristallmaterial (24) dem belichteten ersten Bereich und dem belichteten zweiten Bereiche der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordnet wird, wobei die dem ersten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) einen ersten Kippwinkel erhalten und die dem zweiten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) einen zweiten Kippwinkel erhalten, der von dem ersten Kippwinkel verschieden ist.

7. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 2, bei dem Flüssigkristallmaterial (24) dem ersten belichteten Bereich und dem zweiten belichteten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordnet wird, wobei die dem ersten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) einen ersten Kippwinkel erhalten und die dem zweiten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) einen zweiten Kippwinkel erhalten, der im wesentlichen senkrecht zum ersten Kippwinkel ist.

8. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 2 mit folgenden Schritten:
Belichten eines dritten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht; und
Belichten eines vierten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, wobei der erste Bereich, der zweite Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich voneinander verschieden sind.

9. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 8, bei dem Flüssigkristallmaterial (24) dem ersten Bereich, dem zweiten Bereich, dem dritten Bereich und dem vierten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordnet wird, wobei die dem ersten Bereich, dem zweiten Bereich, dem dritten Bereich oder dem vierten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) eine Orientierungsrichtung aufweisen, die von der Orientierungsrichtung des dem ersten Bereich und/oder des dem zweiten Bereich und/oder des dem dritten Bereich und/oder des dem vierten Bereich der Ausrichtungsschicht benachbart angeordneten Flüssigkristallmaterials (24) verschieden ist.

10. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 8, bei dem Flüssigkristallmaterial (24) dem belichteten ersten Bereich, dem belichteten zweiten Bereich, dem belichteten dritten Bereich und dem belichteten vierten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordnet wird, wobei das dem ersten Bereich, dem zweiten Bereich, dem dritten Bereich oder dem vierten Bereich der Ausrichtungsschicht 22 benachbart angeordnete Flüssigkristallmaterial (24) eine Orientierungsrichtung aufweist, die im wesentlichen senkrecht zur Orientierungsrichtung wenigstens der Orientierungsrichtung des dem ersten Bereich, dem zweiten Bereich, dem dritten Bereich bzw. dem vierten Bereich der Ausrichtungsschicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmaterials (24) ist.

11. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung mit folgenden Schritten:
Aufbringen einer lichtempfindlichen Schicht (22) auf ein Substrat (21); und
Belichten der lichtempfindlichen Schicht (21) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem unpolarisierten Licht.

12. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 11, die einen Schritt aufweist, in dem die lichtempfindliche Schicht 22 mit polarisiertem Licht belichtet wird.

13. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung (24) nach Anspruch 11, wobei das unpolarisierte Licht ultraviolettes Licht aufweist.

14. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 11, wobei der Belichtungsschritt folgende Schritte aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem Licht; und
Belichten eines zweiten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem Licht, wobei der erste Bereich und der zweite Bereich voneinander verschieden sind.

15. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 11, wobei der Belichtungsschritt folgende Schritte aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem Licht, während ein zweiter Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt ist, so daß er nicht belichtet wird, wobei der erste Bereich und der zweite Bereich voneinander verschieden sind; und
Belichten eines zweiten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht mit unpolarisiertem Licht, während der erste Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt ist, so daß er nicht belichtet wird.

16. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 11, wobei der Belichtungsschritt folgende Schritte aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem Licht, während ein zweiter Bereich, ein dritter Bereich und ein vierter Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden, wobei der erste Bereich, der zweite Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich jeweils voneinander verschieden sind;
Belichten des zweiten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem Licht, während der erste Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich der lichtempfindlichen Schicht abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden;
Belichten des dritten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht mit unpolarisiertem Licht, während der erste Bereich, der zweite Bereich und der vierte Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden; und
Belichten des vierten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht mit unpolarisiertem Licht, während der erste Bereich, der zweite Bereich und der dritte Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden.

17. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 12, wobei das unpolarisierte Licht im wesentlichen senkrecht auf die Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht (22) einfällt.

18. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 14 mit folgenden Schritten:
Belichten eines dritten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht; und
Belichten eines vierten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit schräg auf die Oberfläche derselben eingestrahltem Licht, wobei der erste Bereich, der zweite Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich voneinander verschieden sind.

19. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung mit folgenden Schritten:
Aufbringen einer lichtempfindlichen Schicht (22) auf ein Substrat (21); und
Belichten der lichtempfindlichen Schicht mit auf die Oberfläche derselben eingestrahltem teilpolarisierten Licht.

20. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 1, 11 und 19, wobei die lichtempfindliche Schicht (22) auf Siloxan basierende Polymere aufweist.

21. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 1, 11 und 19, wobei die lichtempfindliche Schicht (22) auf Siloxan basierende Oligomere aufweist.

22. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 1 oder 19, bei dem der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart Flüssigkristallmaterial (24) angeordnet wird.

23. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 19, wobei das teilpolarisierte Licht ultraviolettes Licht aufweist.

24. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 19, wobei der Belichtungsschritt folgende Schritte aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit teilpolarisiertem Licht; und
Belichten eines zweiten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit teilpolarisiertem Licht, wobei der erste Bereich und der zweite Bereich voneinander verschieden sind.

25. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 19, wobei der Belichtungsschritt folgenden Schritt aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit teilpolarisiertem Licht, während ein zweiter Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt ist, so daß er nicht belichtet wird, wobei der erste Bereich und der zweite Bereich voneinander verschieden sind; und
Belichten eines zweiten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht mit teilpolarisiertem Licht, während der erste Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt ist, so daß er nicht belichtet wird.

26. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 19, wobei der Belichtungsschritt folgende Schritte aufweist:
Belichten eines ersten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit teilpolarisiertem Licht, während ein zweiter Bereich, ein dritter Bereich und ein vierter Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden, wobei der erste Bereich, der zweite Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich jeweils voneinander verschieden sind;
Belichten des zweiten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit teilpolarisiertem Licht, während der erste Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich der lichtempfindlichen Schicht abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden;
Belichten des dritten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht mit teilpolarisiertem Licht, während der erste Bereich, der zweite Bereich und der vierte Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden; und
Belichten des vierten Bereichs der lichtempfindlichen Schicht mit teilpolarisiertem Licht, während der erste Bereich, der zweite Bereich und der dritte Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) abgedeckt sind, so daß sie nicht belichtet werden.

27. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 22, wobei die Flüssigkristallmoleküle einen Kippwinkel erhalten, der größer als 60° ist.

28. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 22, wobei die Flüssigkristallmoleküle einen Kippwinkel erhalten, der kleiner als 10° ist.

29. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 22, wobei das Flüssigkristallmaterial (24) eine negative dielektrische Anisotropie aufweist.

30. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 22, wobei das Flüssigkristallmaterial (24) eine positive dielektrische Anisotropie aufweist.

31. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 14 oder 24, bei dem Flüssigkristallmaterial (24) dem belichteten ersten Bereich und dem belichteten zweiten Bereiche der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordnet wird, wobei die dem ersten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) einen ersten Kippwinkel erhalten und die dem zweiten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) einen zweiten Kippwinkel erhalten, der von dem ersten Kippwinkel verschieden ist.

32. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 14 oder 24, bei dem Flüssigkristallmaterial (24) dem ersten belichteten Bereich und dem zweiten belichteten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordnet wird, wobei die dem ersten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) einen ersten Kippwinkel erhalten und die dem zweiten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) einen zweiten Kippwinkel erhalten, der im wesentlichen senkrecht zum ersten Kippwinkel ist.

33. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 24 mit folgenden Schritten:
Belichten eines dritten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit teilpolarisiertem Licht; und
Belichten eines vierten Bereichs der Ausrichtungsschicht (22) mit teilpolarisiertem Licht, wobei der erste Bereich, der zweite Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich voneinander verschieden sind.

34. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 18 oder 33, bei dem Flüssigkristallmaterial (24) dem ersten Bereich, dem zweiten Bereich, dem dritten Bereich und dem vierten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordnet wird, wobei die dem ersten Bereich, dem zweiten Bereich, dem dritten Bereich oder dem vierten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmoleküle (24) eine Orientierungsrichtung aufweisen, die von der Orientierungsrichtung des dem ersten Bereich und/oder des dem zweiten Bereich und/oder des dem dritten Bereich und/oder des dem vierten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmaterials (24) verschieden ist.

35. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 18 oder 33, bei dem Flüssigkristallmaterial (24) dem belichteten ersten Bereich, dem belichteten zweiten Bereich, dem belichteten dritten Bereich und dem belichteten vierten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordnet wird, wobei das dem ersten Bereich, dem zweiten Bereich, dem dritten Bereich oder dem vierten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordnete Flüssigkristallmaterial (24) eine Orientierungsrichtung aufweist, die im wesentlichen senkrecht zur Orientierungsrichtung wenigstens einer anderen Orientierungsrichtung des dem ersten Bereich, dem zweiten Bereich, dem dritten Bereich bzw. dem vierten Bereich der lichtempfindlichen Schicht (22) benachbart angeordneten Flüssigkristallmaterial (24) ist.

36. Flüssigkristallanzeigevorrichtung mit
einer Ausrichtungsschicht (22) auf einem Substrat (21), wobei die Ausrichtungsschicht (22) ausrichtbares lichtempfindliches Material aufweist; und
benachbart zu der Ausrichtungsschicht angeordnetem Flüssigkristallmaterial (24), welches Moleküle aufweist, die einen Kippwinkel aufweisen, dessen Größe von der Orientierung der Ausrichtungsschicht abhängt.

37. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Ausrichtungsschicht (22) auf Siloxan basierende Oligomere aufweist.

38. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Ausrichtungsschicht (22) auf Siloxan basierende Polymere aufweist.

39. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Moleküle des Flüssigkristallmaterials (24) homogen ausgerichtet sind.

40. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Moleküle des Flüssigkristallmaterials (24) homeotrop ausgerichtet sind.

41. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Moleküle des Flüssigkristallmaterials (24) gekippt ausgerichtet sind.

42. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Moleküle des Flüssigkristallmaterials (24) verdreht ausgerichtet sind.

43. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Moleküle des Flüssigkristallmaterial (24) hybridartig ausgerichtet sind.

44. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 39, die aufweist
ein zweites Substrat über dem Flüssigkristallmaterial (24) und gegenüber dem ersten Substrat; und
eine zweite Ausrichtungsschicht (22) auf dem zweiten Substrat (21), das der ersten Ausrichtungsschicht (22) gegenüberliegt.

45. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Stärke der Ausrichtung von der Belichtungsintensität und Belichtungsdauer der Ausrichtungsschicht abhängt.

46. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die Ausrichtungsschicht Polysiloxancinnamat aufweist.

47. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 36, wobei die einem ersten Bereich der Ausrichtungsschicht benachbarten Moleküle des Flüssigkristallmaterials (24) einen ersten Kippwinkel und eine erste Orientierungsrichtung aufweisen, und die einem zweiten Bereich der Ausrichtungsschicht benachbarten Moleküle des Flüssigkristallmaterials (24) einen zweiten Kippwinkel und zweite Orientierungsrichtung aufweisen, wobei der erste Bereich und der zweite Bereich der Ausrichtungsschicht voneinander verschieden sind.

48. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 44, wobei die zweite Ausrichtungsschicht (22) lichtempfindliches Material aufweist.

49. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 44, wobei die zweite Ausrichtungsschicht Polysiloxancinnamat aufweist.

50. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 45, wobei das Licht unpolarisiertes Licht aufweist.

51. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 45, wobei das Licht teilpolarisiertes Licht aufweist.

52. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 47, wobei die einem dritten Bereich der Ausrichtungsschicht benachbarten Moleküle des Flüssigkristallmaterials (24) einen dritten Kippwinkel und eine dritte Orientierungsrichtung aufweisen, und die einem vierten Bereich der Ausrichtungsschicht benachbarten Moleküle des Flüssigkristallmaterials (24) eine vierte Orientierungsrichtung und einen vierten Kippwinkel aufweisen, wobei der erste Bereich, der zweite Bereich, der dritte Bereich und der vierte Bereich der Ausrichtungsschicht jeweils voneinander verschieden sind.

53. Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung mit folgenden Schritten:
Aufbringen einer lichtempfindlichen Schicht (22) auf ein Substrat (21), wobei der Kippwinkel und die Orientierungsrichtung in der lichtempfindlichen Schicht (22) durch die in derselben absorbierten Lichtenergie steuerbar sind;
Belichten der lichtempfindlichen Schicht (22) mit schräg auf dieselbe eingestrahltem unpolarisiertem oder teilpolarisiertem Licht, wobei
während des gesamten Herstellungsverfahrens die lichtempfindliche Schicht (22) über ihre gesamte Fläche hin nur einmal belichtet wird.

54. Verfahren nach Anspruch 53 mit folgenden Schritten:
Belichten erster Bereiche der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem oder teilpolarisiertem Licht, das in einer relativ zur Substratebene schrägen, ersten Richtung eingestrahlt wird; und
Belichten zweiter Bereiche der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem oder teilpolarisiertem Licht, das in einer relativ zur Substratebene schrägen, zweiten Richtung eingestrahlt wird, wobei die zweite Richtung von der ersten Richtung verschieden ist.

55. Verfahren nach Anspruch 54, wobei die Projektion der ersten Richtung auf die Substratebene und die Projektion der zweiten Richtung auf die Substratebene zueinander antiparallel sind.

56. Verfahren nach Anspruch 55, wobei die Größe des Winkels zwischen der ersten Richtung und der Substratebene gleich der Größe des Winkels zwischen der zweiten Richtung und der Substratebene ist.

57. Verfahren nach Anspruch 55 oder 56 mit folgenden Schritten:
Belichten dritter Bereiche der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem oder teilpolarisiertem Licht, das in einer relativ zur Substratebene schrägen, dritten Richtung eingestrahlt wird; und
Belichten vierter Bereiche der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem oder teilpolarisiertem Licht, das in einer relativ zur Substratebene schrägen, vierten Richtung eingestrahlt wird; wobei
die Projektion der dritten Richtung auf die Substratebene und die Projektion der vierten Richtung auf die Substratebene zueinander antiparallel sind und jeweils im rechten Winkel zu der Projektion der ersten Richtung auf die Substratebene und der Projektion der zweiten Richtung auf die Substratebene stehen; und wobei
die Größe des Winkels zwischen der dritten Richtung und der Substratebene gleich der Größe des Winkels zwischen der vierten Richtung und der Substratebene ist.

58. Verfahren nach Anspruch 56 oder 57, wobei die absorbierte Lichtenergie in allen Bereichen gleich ist.

59. Verfahren nach einem der Ansprüche 54 bis 58, wobei während des Schritts des schrägen Bestrahlens eines Bereichs der lichtempfindlichen Schicht (22) mit unpolarisiertem oder teilpolarisiertem Licht die anderen Bereiche mit einer Maske (23) abgedeckt sind.

60. Verfahren nach einem der Ansprüche 53 bis 59, wobei die Ausrichtungsschicht auf Siloxan basierende Polymere oder auf Siloxan basierende Oligomere aufweist.

61. Verfahren nach einem der Ansprüche 53 bis 60, wobei das Licht ultraviolettes Licht aufweist.