DE19751253A1

DE19751253A1 - Polishing method for manufacture of optical lenses

Info

Publication number: DE19751253A1
Application number: DE1997151253
Authority: DE
Inventors: Roland Dipl Ing Mandler
Original assignee: OPTO TECH OPTIKMASCHINEN GmbH
Current assignee: OPTO TECH OPTIKMASCHINEN GmbH
Priority date: 1997-11-19
Filing date: 1997-11-19
Publication date: 1999-05-27
Anticipated expiration: 2017-11-20
Also published as: DE19751253C2

Abstract

The work pressure is produced by a vacuum which is maintained between the surface of the lens (6) being polished and the polishing tool (10). An independent claim describes a polishing tool (10) which is mounted on a tool spindle (7). It has a central bore (11) connecting distribution channels (13) in a polishing tool to a rotary guide (12) of the polishing machine. Rotation is produced through a vacuum pipe (16) and vacuum regulator (17) connected to a compensating container (18) in which the vacuum is maintained by a vacuum pump. The distribution channels are connected to the porous polishing base (15). The lens is held in the lens holder (4) and can carry out small axial movements but is reliably driven by the rotating workpiece spindle (1).

Description

Optische Linsen erhalten ihre Form durch verschiedene Schleifvorgänge (Grob- und Feinschleifen). An das Schleifen schließt sich ein Poliervorgang an durch den die Rauhtiefe und damit die Lichtstreuung an der Oberfläche so weit vermindert wird, daß die Linse durchsichtig wird.Optical lenses get their shape through various grinding processes (rough and Fine grinding). The grinding is followed by a polishing process through which the Roughness and thus the light scatter on the surface is reduced so much that the lens becomes transparent.

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zum Polieren optischer Linsen, wobei der Arbeitsdruck, der zur Politur von Linsen notwendig ist, durch ein Vakuum zwischen Linse und Polierwerkzeug aufgebracht wird. Das Vakuum wird von einem geregelten Vakuumsystem erzeugt. Ziel ist es dabei die Linsen schneller und mit höherer Genauigkeit herzustellen.The present invention relates to a method and an apparatus for Carrying out the process for polishing optical lenses, the working pressure, which is necessary for polishing lenses, through a vacuum between lens and Polishing tool is applied. The vacuum is regulated by a Vacuum system generated. The goal is to get the lenses faster and with higher ones To produce accuracy.

Bei der Linsenbearbeitung entsprechend dem Stand der Technik werden die fein geschliffenen Linsen auf einer Poliermaschine unter Verwendung eines Polierwerkzeuges (Gegenwerkzeug) poliert, das an seiner, der Linse zugewandten Oberfläche mit einem geeigneten Poliergrund versehen ist. Dieser Poliergrund ist eine Oberflächenbeschichtung des Polierwerkzeuges und besteht aus weichem Material, so daß bei dem Kontakt zwischen Polierwerkzeug und Linse keine Beschädigungen entstehen können. Die eigentliche Polierwirkung wird mittels einer Poliersuspension erzeugt, die über ein Schmiersystem aufgebracht wird und aus einer Aufschlämmung feinster Partikel besteht. Diese Partikel erzeugen, aufgrund ihrer geringen Korngröße, Härte und anderer Stoffeigenschaften, den gewünschten Materialabtrag an der Linsenoberfläche ohne, daß es zu unerwünschten Riefenbildungen kommt. Die Form des Polierwerkzeuges selbst ist im Prinzip ein Negativabdruck der Linse (z. B in Bezug auf den Krümmungsradius).When processing lenses according to the state of the art, they become fine ground lenses on a polishing machine using a Polishing tool (counter tool) polishes the one on its side facing the lens Surface is provided with a suitable polishing primer. This polishing ground is one Surface coating of the polishing tool and consists of soft material, so that there is no damage to the contact between the polishing tool and the lens can arise. The actual polishing effect is achieved using a polishing suspension generated, which is applied via a lubrication system and from a slurry finest particles. Due to their small grain size, these particles produce Hardness and other material properties, the desired material removal at the Lens surface without causing undesirable scoring. Form of the polishing tool itself is in principle a negative impression of the lens (e.g. in relation to on the radius of curvature).

Die Polierleistung, d. h. der Materialabtrag an der Linsenoberfläche nimmt etwa proportional mit dem Anpressdruck (Arbeitsdruck) zwischen Linse und Polierwerkzeug zu. Daher ist es wünschenswert mit möglichst hohem Arbeitsdruck zu arbeiten, um die Polierzeit und damit die Polierkosten zu reduzieren.The polishing performance, i.e. H. the material removal on the lens surface increases approximately proportional to the contact pressure (working pressure) between the lens and the polishing tool to. Therefore, it is desirable to work with the highest possible working pressure in order to Polishing time and thus reducing the polishing costs.

Entsprechend dem Stand der Technik wird der Arbeitsdruck wie folgt aufgebracht: Das Polierwerkzeug ist an einer rotierenden Werkzeugspindel befestigt, die während des Poliervorgangs in axialer Richtung jedoch arretiert ist. An einer zweiten Spindel ist der Linsenhalter befestigt. Auch diese Spindel ist angetrieben und rotiert während des Poliervorgangs. In axialer Richtung ist sie ebenfalls arretiert. Zum Polieren wird die Linse in den Linsenhalter eingelegt und die beiden Spindeln so zueinander positioniert, daß Polierwerkzeug mit Poliergrund und Linse sich berühren, wobei eine der beiden Spindeln gegenüber der vertikalen Achse schräg gestellt wird. Der Arbeitsdruck zwischen Linse und Polierwerkzeug wird dann mittels einer druckluftbeaufschlagten Membran erzeugt, die sich in dem Linsenhalter hinter der Linse, befindet. Da sich die Linse in axialer Richtung, relativ zum Linsenhalter, etwas verschieben läßt, wird sie von der Membran gegen den Poliergrund des Polierwerkzeuges gedrückt.According to the state of the art, the working pressure is applied as follows: Polishing tool is attached to a rotating tool spindle, which during the However, the polishing process is locked in the axial direction. On a second spindle Lens holder attached. This spindle is also driven and rotates during the Polishing process. It is also locked in the axial direction. For polishing the Lens inserted into the lens holder and the two spindles positioned so that that the polishing tool with the polishing base and lens touch, one of the two Spindles is inclined to the vertical axis. The working pressure between the lens and the polishing tool is then pressurized with compressed air Membrane created, which is located in the lens holder behind the lens. Since the Lens in the axial direction, relative to the lens holder, can be shifted slightly, it is from the membrane pressed against the polishing surface of the polishing tool.

Es sind aber auch andere Methoden bekannt geworden, um den Arbeitsdruck aufzubauen. In jedem Fall findet die, hierzu notwendige, Krafteinleitung an der Linse jedoch entweder an ihrer Rückseite oder an ihrem Umfang statt. Dies gilt auch bei der vorher erwähnten druckluftbeaufschlagten Membran. Allen bisher bekannt gewordenen Methoden zur Erzeugung des Arbeitsdruckes ist gemeinsam, daß die Krafteinleitung auf einer, dem Werkzeug nicht zugewandten, Seite erfolgt (vorzugsweise auf der Linsenrückseite).However, other methods have become known for working pressure build up. In any case, the necessary force is applied to the lens however, either on its back or on its perimeter. This also applies to the previously mentioned compressed air membrane. All known so far Common to methods of generating the working pressure is that the application of force on a side that is not facing the tool (preferably on the Back of the lens).

Bei den vorgenannten Methoden zum Aufbau des Arbeitsdruckes wird die Linse auf vielfältige Art und Weise mechanisch beansprucht, da die Krafteinleitung zum Aufbau des Arbeitsdruckes an einer anderen Stelle erfolgt, als die Krafteinleitung der Reaktionskräfte an dem Poliergrund des Polierwerkzeuges. Daraus resultieren Druckkräfte und Drehmomente in der Linse. Durch die genannten mechanischen Beanspruchungen (Druckspannungen, Biegespannungen etc.) wird die Linse im Feinbereich deformiert (verbogen), was sich auf das Arbeitsergebnis ungünstig auswirkt, d. h. die Linse wird ungenau, wenn man sie im Feinbereich betrachtet.In the aforementioned methods for building up the working pressure, the lens is opened mechanically stressed in a variety of ways because the force is applied to the body of the working pressure takes place at a different location than the force application Reaction forces on the polishing base of the polishing tool. Result from it Compressive forces and torques in the lens. Due to the mechanical The lens is subjected to stresses (compressive stresses, bending stresses, etc.) Fine area deformed (bent), which has an adverse effect on the work result affects d. H. the lens becomes inaccurate if you look at it in the fine range.

Damit die vorgegebenen Linsentoleranzen trotz dieser negativen Auswirkungen eingehalten werden können, muß dann oft mit vermindertem Arbeitsdruck gearbeitet werden, was wiederum die Bearbeitungszeit verlängert. Bei dem Linsenpolieren entsprechend dem Stand der Technik besteht daher ein Zielkonflikt bezüglich größtmöglicher Genauigkeit der Linse und kürzerer Arbeitszeit. Das eine schließt das andere aus, so daß üblicherweise ein entsprechender Kompromiß zu suchen ist. Dies gilt insbesondere dann, wenn das Verhältnis von Durchmesser zur Mittendicke größer als 5 bis 6 wird und der Linsendurchmesser größer als 50 bis 60 mm ist. Je geringer die Biegesteifigkeit der Linse ist, um so schwieriger ist es, eine einwandfreie Qualität bei kurzer Bearbeitungszeit zu erreichen.So the given lens tolerances despite these negative effects can be adhered to, must then often work with reduced working pressure be, which in turn extends the processing time. When polishing lenses there is therefore a conflict of objectives regarding the state of the art greatest possible accuracy of the lens and shorter working hours. One closes that others out, so that a corresponding compromise is usually to be sought. This applies in particular if the ratio of diameter to center thickness is larger becomes 5 to 6 and the lens diameter is larger than 50 to 60 mm. The less the flexural rigidity of the lens is, the more difficult it is to have a perfect quality can be achieved with a short processing time.

Während der Poliervorgang früher lediglich der Verbesserung der Oberflächenqualität diente, wird heute in zunehmendem Maße auch auf die feinen Formänderungen geachtet, die beim Polieren auftreten. In vielen Fällen können die Qualitätseinbußen durch Ungenauigkeiten in der Linsengeometrie nicht mehr hingenommen werden. Entsprechend lange Polierzeiten sind dann die Folge. During the polishing process used to only improve the surface quality served, is today increasingly also on the fine shape changes attention that occurs during polishing. In many cases, the quality can be reduced can no longer be tolerated due to inaccuracies in the lens geometry. The result is correspondingly long polishing times.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren und der Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens werden die genannten Nachteile vermieden, da von einer anderen Art der Druckaufbringung ausgegangen wird. Der Arbeitsdruck wird erfindungsgemäß durch ein Vakuum erzeugt, das zwischen dem Polierwerkzeug einerseits und der zu polierenden Linsenoberfläche andererseits aufrechterhalten wird. Das Vakuum erzeugt starke flächig wirkende Kräfte, die den Poliergrund und die Linsenoberfläche gegeneinander pressen, ähnlich, wie die ohnehin vorhandenen Adhäsionskräfte.In the inventive method and the device for performing the The method mentioned disadvantages are avoided because of a different type of Pressure application is assumed. The working pressure is according to the invention creates a vacuum between the polishing tool on the one hand and the to polishing lens surface, on the other hand, is maintained. The vacuum creates strong surface-acting forces affecting the polishing base and the lens surface press against each other, similar to the existing adhesive forces.

Da bei dem erfindungsgemäßen Verfahren die Anpresskräfte und die daraus resultierenden Reaktionskräfte auf ein und dieselbe Linsenoberfläche wirken entstehen keine schädlichen Drehmomente, Druck- oder Zugkräfte in dem Linsenkörper. Eine Verbiegung oder sonstige Deformation der Linse findet nicht statt. Damit hängt die Qualität der erzeugten Linse im wesentlichen nur von der Genauigkeit des Polierwerkzeuges und derjenigen der Poliermaschine ab. Besondere Rücksichten bezüglich der Höhe des Arbeitsdruckes sind daher nicht erforderlich, so daß auch die Bearbeitungszeit minimiert werden kann.Since in the method according to the invention the contact forces and the resulting forces resulting reaction forces act on one and the same lens surface there are no harmful torques, compressive or tensile forces in the Lens body. There is no bending or other deformation of the lens. The quality of the lens produced depends essentially only on the accuracy of the polishing tool and that of the polishing machine. Special considerations with regard to the level of the working pressure are therefore not necessary, so that the Processing time can be minimized.

Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens besteht aus einem neuartigen Polierwerkzeug, das insbesondere auch über einen Vakuumanschluß verfügt und einer Poliermaschine an sich bekannter Bauart, die jedoch mit einer Vakuumpumpe, einem Ausgleichsbehälter und einem Vakuumregler ausgestattet ist. Hinzu kommt eine Rotationsdurchführung (Stopfbüchse) an der rotierenden Werkzeugspindel für das Vakuum.The device for performing the method consists of a new type Polishing tool, which in particular also has a vacuum connection and one Polishing machine known per se, but with a vacuum pump, a Expansion tank and a vacuum regulator is equipped. There is also one Rotary feedthrough (stuffing box) on the rotating tool spindle for the Vacuum.

Damit das Vakuum in der Grenzfläche zwischen Poliergrund und Linse wirken kann sind erfindungsgemäß in diesem Bereich besondere konstruktive Maßnahmen erforderlich. Eine konstruktive Ausführung sieht vor, daß der Poliergrund aus porösem Material besteht und so auf das Polierwerkzeug aufgebracht ist, daß er die Öffnungen von Verteilerkanäle abdeckt, die sich in dem Polierwerkzeug befinden und an ein Vakuumsystem angeschlossen sind. Das Vakuum wirkt dann durch den porösen Poliergrund hindurch auf die Oberfläche der Linse und saugt diese an.So that the vacuum can act in the interface between the polishing base and the lens are special constructive measures according to the invention in this area required. A constructive design provides that the polishing base is made of porous Material exists and is applied to the polishing tool so that it has the openings of distribution channels that are located in the polishing tool and on Vacuum system are connected. The vacuum then acts through the porous Polish the surface onto the surface of the lens and suck it in.

Bei einer anderen konstruktiven Ausführung werden der Poliergrund und auch die an diesen anliegenden Wandelemente des Polierwerkzeuges aus einem luftdurchlässigen (porösen) Material ausgeführt. In diesem Fall wirkt der Arbeitsdruck besonders gleichmäßig auf der gesamten Arbeitsfläche. Um Verstopfungen des porösen Materials durch die Poliersuspension vorzubeugen, kann es zweckmäßig sein, das Polierwerkzeug in gewissen Abständen mit Wasser rückzuspülen. Es kann auch zweckmäßig sein in dem Vakuumsystem, an geeigneter Stelle, einen Abscheider für eventuell mitgerissenen Poliersuspension anzuordnen.In a different design, the polishing base and also the these adjacent wall elements of the polishing tool from an air-permeable (porous) material. In this case, the working pressure is particularly effective evenly on the entire work surface. To block the porous material To prevent by the polishing suspension, it may be appropriate that Rinse the polishing tool with water at certain intervals. It can also be appropriate in the vacuum system, at a suitable location, a separator for to arrange any entrained polishing slurry.

Das erfindungsgemäße Verfahren und die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens werden anhand zweier Ausführungsbeispiele erläutert, die in den Abb. 1 und Abb. 2 dargestellt sind. Es sind aber auch andere Ausführungen vorgesehen. Insbesondere kann der Linsenhalter zusätzlich mit einem Abrichtwerkzeug für das Polierwerkzeug ausgerüstet werden, wie unter Nr. . . . zum Patent angemeldet.The method and the apparatus for performing the method will be explained with reference to two embodiments which are shown in Figs. 1 and FIG. 2. However, other versions are also provided. In particular, the lens holder can also be equipped with a dressing tool for the polishing tool, as described under no. . . patent pending.

Abb. 1 zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung mit porösem Poliergrund und Verteilerkanälen. Fig. 1 shows the device according to the invention with a porous polishing base and distribution channels.

Abb. 2 zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung mit porösem Poliergrund und mit porösen Wandelementen an dem Polierwerkzeug. Fig. 2 shows the device according to the invention with porous polishing base and with porous wall elements on the polishing tool.

To Fig. 1

An der Werkstückspindel (1) einer Poliermaschine ist ein Adapter (2) mittels Schrauben (3) befestigt, der seinerseits den Linsenhalter (4) trägt. Der Linsenhalter (4) verfügt an seinem oberen Rand über eine Ausnehmung in der sich ein Mitnehmerelement (5) befindet, das die Linse (6) seitlich führt und auch die Rotationsenergie von dem Linsenhalter (4) auf die Linse (6) überträgt. Linsenhalter (4) und Mitnehmerelement (5) sind so konzipiert, daß die Linse (6) kleine Axialbewegungen relativ zum Linsenhalter (4) ausführen kann.An adapter ( 2 ) is fastened to the workpiece spindle ( 1 ) of a polishing machine by means of screws ( 3 ), which in turn carries the lens holder ( 4 ). The lens holder ( 4 ) has at its upper edge a recess in which there is a driver element ( 5 ) which guides the lens ( 6 ) laterally and also transfers the rotational energy from the lens holder ( 4 ) to the lens ( 6 ). Lens holder ( 4 ) and driver element ( 5 ) are designed so that the lens ( 6 ) can perform small axial movements relative to the lens holder ( 4 ).

An einer zweiten Spindel, der Werkzeugspindel (7) einer Poliermaschine, ist der Werkzeugadapter (8) mittels der Schrauben (9) befestigt, der seinerseits das Polierwerkzeug (10) trägt. Entsprechend den üblichen Polierverfahren ist die Werkzeugspindel (7) gegenüber der Werkstückspindel (1) schräg angeordnet. Das Polierwerkzeug (10) hat eine zentrale Bohrung (11), die die Rotationsdurch führung (12) der Poliermaschine mit den Verteilerkanälen (13) des Polierwerk zeuges (10) verbindet (es wurden nicht alle Verteilerkanäle (13) dargestellt). Die Verteilerkanäle (13) führen zu dem porösen Poliergrund (15). Die Rotationsdurch führung (12) ist über eine Vakuumleitung (16) und einen Vakuumregler (17) mit dem Ausgleichsbehälter (18) verbunden. Das Vakuum in dem Ausgleichsbehälter (18) wird von einer Vakuumpumpe (19) aufrechterhalten. Durch das Vakuum zwischen dem porösen Poliergrund (15), das über die Verteilerkanäle (13) aufrechterhalten wird und der Linse (6) wird diese kräftig angesaugt und der gewünschte Bearbeitungsdruck entsteht. Bei der gezeigten Anordnung kann Luft in das Vakuumsystem einströmen wenn einzelne Flächenelemente des porösen Poliergrundes (15) nicht von der Linse (6) abgedeckt werden. Dieser Vorgang ist jedoch nicht schädlich, da die Strömungsquerschnitte der Verteilerkanäle (13) und auch die Porosität des Poliergrundes (15) so gewählt werden können, daß durch den entstehenden Druckverlust das Vakuum in den anderen, von der Linse (6) abgedeckten Bereichen erhalten bleibt.The tool adapter ( 8 ) is fastened to a second spindle, the tool spindle ( 7 ) of a polishing machine, by means of the screws ( 9 ), which in turn carries the polishing tool ( 10 ). In accordance with the usual polishing processes, the tool spindle ( 7 ) is arranged obliquely with respect to the workpiece spindle ( 1 ). The polishing tool ( 10 ) has a central bore ( 11 ) which connects the rotary guide ( 12 ) of the polishing machine with the distribution channels ( 13 ) of the polishing tool ( 10 ) (not all distribution channels ( 13 ) have been shown). The distribution channels ( 13 ) lead to the porous base ( 15 ). The Rotationsdurch guide ( 12 ) is connected to the expansion tank ( 18 ) via a vacuum line ( 16 ) and a vacuum regulator ( 17 ). The vacuum in the expansion tank ( 18 ) is maintained by a vacuum pump ( 19 ). Due to the vacuum between the porous polishing base ( 15 ), which is maintained via the distribution channels ( 13 ) and the lens ( 6 ), this is sucked in vigorously and the desired processing pressure is created. In the arrangement shown, air can flow into the vacuum system if individual surface elements of the porous polishing base ( 15 ) are not covered by the lens ( 6 ). This process is not harmful, however, since the flow cross sections of the distributor channels ( 13 ) and also the porosity of the polishing base ( 15 ) can be selected so that the vacuum in the other areas covered by the lens ( 6 ) is maintained due to the pressure loss which arises .

To Fig. 2

Die gesamte Anordnung der erfindungsgemäßen Vorrichtung entspricht im Prinzip derjenigen, wie in Abb. 1 dargestellt. Bei der Ausführung entsprechend Abb. 2 verfügt das Polierwerkzeug (10) jedoch über einen inneren Hohlraum (20), der über die zentrale Bohrung (11) mit der Rotationsdurchführung (12) verbunden ist. Der innere Wand (21), auf der der ebenfalls poröse Poliergrund (15) befestigt ist. Über diese porösen Bauelemente kann das Vakuum, und damit auch der Arbeitsdruck, wie gewünscht, an der Trennfläche zwischen der Linse (6) und dem Poliergrund (15) wirksam werden. Durch den Druckverlust in den porösen Bauelementen wird gewährleistet, daß das Vakuum in den Bereichen erhalten bleibt, die von der Linse (6) abgedeckt werden, auch, wenn in Nachbarbereichen Luft in das Vakuumsystem einströmt.The entire arrangement of the device according to the invention corresponds in principle to that as shown in Fig. 1. In the embodiment according to Fig. 2, the polishing tool ( 10 ) has an inner cavity ( 20 ) which is connected to the rotary feedthrough ( 12 ) via the central bore ( 11 ). The inner wall ( 21 ) on which the also porous polishing base ( 15 ) is attached. Via these porous components, the vacuum, and thus also the working pressure, can take effect at the interface between the lens ( 6 ) and the polishing base ( 15 ), as desired. The pressure loss in the porous components ensures that the vacuum is maintained in the areas covered by the lens ( 6 ), even if air flows into the vacuum system in neighboring areas.

Claims

1. A method for polishing optical lenses, characterized in that the required working pressure is generated by a vacuum which is maintained between the surface of the lens ( 6 ) to be polished and the polishing tool ( 10 ) or parts thereof.

2. Device for performing the method according to claim 1, characterized in that the polishing tool ( 10 ) on the tool spindle ( 7 ) of a polishing machine is attached and has a central bore ( 11 ), the distribution channels ( 13 ) in the polishing tool ( 10 ) with a rotary feedthrough ( 12 ) connects the polishing machine and the rotary feedthrough ( 12 ) in turn is connected via a vacuum line ( 16 ) and a vacuum regulator ( 17 ) to an expansion tank ( 18 ) in which a vacuum is created by means of a vacuum pump ( 19 ) is maintained and that the distributor channels ( 13 ) with the porous polishing base ( 15 ) are connected and also the workpiece spindle ( 1 ) of the polishing machine carries a lens holder ( 4 ) in which the lens ( 6 ) is held so that it has small axial Can perform movements, but is safely driven by the rotating workpiece spindle ( 1 ).

3. Device for performing the method according to claim 1, characterized in that the polishing tool ( 10 ) on the tool spindle ( 7 ) of a polishing machine is attached and has a central bore ( 11 ), the distributor channels ( 13 ) in the polishing tool ( 10 ) with a rotary feedthrough ( 12 ) connects the polishing machine and the rotary feedthrough ( 12 ) in turn is connected via a vacuum line ( 16 ) and a vacuum regulator ( 17 ) to an expansion tank ( 18 ) in which a vacuum is created by means of a vacuum pump ( 19 ) is maintained and that the inner cavity ( 20 ) has a porous wall ( 21 ) to which the also porous polishing base ( 15 ) is attached and also the workpiece spindle ( 1 ) of the polishing machine carries a lens holder ( 4 ) in which the lens ( 6 ) is held so that it can make small axial movements, but is safely driven by the rotating workpiece spindle ( 1 ) .

4. Apparatus for performing the method according to claim 2, characterized in that the distributor channels ( 13 ) and the porous polishing base ( 15 ) are dimensioned such that they are not covered by the lens ( 6 ) in areas of the polishing tool ( 10 ) are, generate a pressure loss which is so great that the vacuum in areas of the polishing tool ( 10 ), which are covered by the lens ( 6 ), is maintained.

5. Device for performing the method according to claim 3, characterized in that the porous wall ( 21 ) and the porous polishing base ( 15 ) is dimensioned such that they are in areas of the polishing tool ( 10 ) that are not from the lens ( 6 ) are covered, generate a pressure loss which is so great that the vacuum in areas of the polishing tool ( 10 ) which are covered by the lens ( 6 ) is maintained.

6. Device for performing the method according to claim 2 to 5, characterized characterized in that at a suitable point in the vacuum system a separator for entrained polishing suspension is provided.