DE19827139C2 - Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser - Google Patents

Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser

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Description

Kurze Pulse besitzen je nach Pulslänge eine bestimmte spektrale Bandbreite. In dispersiven Medien wie z. B. dem Glas einer optischen Faser verändert sich die Pulslänge beim Durchlaufen des Mediums durch den Einfluß der Gruppengeschwindigkeitsdispersion (GVD).
Dies geschieht aufgrund der zeitlichen Aufspaltung der einzelnen Frequenzanteile der Pulse, da in normal dispersiven Medien (Glas) die rot- verschobenen Frequenzanteile eine höhere Gruppengeschwindigkeit als die blau-verschobenen Frequenzanteile besitzen. Das Spektrum bleibt hiervon unberührt.
Diese Pulsverbreiterung kann mit Hilfe einer geeigneten Prechirp-Einheit (z. B. bestehend aus Gittern oder Prismen, bzw. einer Kombination aus beiden) wie in DE 296 09 850 U1, DE 196 22 359 A1 gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruches kompensiert werden.
Hierzu werden die spektralen Komponenten der Pulse in der Prechirp-Einheit, zeitlich so angeordnet, daß die blau-verschobenen den rotverschobenen Frequenzanteilen im Vergleich zur Mittenfrequenz vorauseilen. Bei einer anschließenden Kopplung in ein dispersives Medium (z. B. einer opt. Glasfaser) wird diese zeitliche Aufspaltung der Pulsfrequenzanteile wieder aufgehoben. Am Ende des opt. Mediums (Glasfaser) erscheinen somit die Pulse wieder in ihrer ursprünglichen Form, d. h. in der Form wie sie aus dem Laser kamen.
In EP 0431840 A2 wird in einem Mikroskop eine Lichtleitfaser als dispersives Element zur Erzeugung eines ultrakurzen optischen Pulses durch Komprimierung unter Abtrennung von Satellitenpulsen verwendet.
Zusätzlich zu den linearen Effekten treten in optischen Medien jedoch auch nichtlineare, d. h. von der Intensität der Laserstrahlung abhängige Effekte auf. Diese Effekte (Selbstphasenmodulation SPM: Demtröder, Laser Spectroscopy, Springer Verlag 1991, Seite 418ff) wirken sich auf die spektrale Breite bzw. das Pulsprofil aus.
Sie schränken in den meisten Fällen, die in einer Prechirp-Einheit minimal erreichbare Pulslänge ein. Diese Effekte sind bei einer Kopplung eines Kurzpulslasers unerwünscht.
Grundsätzlich können sie durch eine Begrenzung der Intensität der Laserstrahlung unter einen kritischen Wert (Ikrit) vermieden werden. In einem Kurzpulslaser wird die Intensität (I) durch die Pulslänge (τ), die Repetitionsrate (f), die mittlere Leistung (Pavg) und durch den Strahlquerschnitt (A) mit folgender Gleichung bestimmt:
("Resonant scanning optical microscope", Sheppard and Kompfner, Applied Optics Vol. 17, No. 18, 15.09.87/"Scanning optical microscope", Sheppard 1980 (Inst. of Electr. Eng).
In moden- sowie polarisationserhaltenden Glasfasern wird die Querschnittsfläche durch die Wellenlänge der zu koppelnden Laserstrahlung und die Repetitionsrate durch das verwendete Lasersystem festgelegt.
Die Änderung der Pulslänge eines vorher durch eine Prechirp-Einheit geschickten Pulses beim Durchlaufen der Glasfaser ist in Fig. 2 im oberen Teilbild a) dargestellt. Man erkennt, daß die Pulslänge am Ende der Faser minimal ist. Bei gleichbleibender mittlerer Leistung wächst somit die Intensität zum Faserende hin an.
Gleichzeitig wächst auch der Einfluß der nichtlinearen Effekte (SPM) am Ende der Faser. Dies ist im unteren Teilbild b) in Fig. 2 durch die Änderung der spektralen Breite sichtbar.
Bei einer vorgegebenen Pulslänge am Ausgang der Glasfaser wird somit die mittlere Leistung die in das Mikroskop eingekoppelt werden kann, durch die nichtlinearen Effekte limitiert.
Die Erfindung hat die Aufgabe, den Einfluß nichtlinearer Effekte auf das Pulsprofil zu minimieren.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Erfindungsgemäß wird zur Vermeidung der nichtlinearen Effekte am Faserende die Intensität verringert.
Dies kann beispielsweise vorteilhaft durch ein Verrgrößern der Querschnittsfläche A (siehe obige Gleichung) erfolgen. Diese Vergrößerung muß an jenem Punkt erfolgen, an dem die Pulslänge und damit die Intensität den kritischen Wert erreichen. Die weitere Komprimierung des Pulses erfolgt somit in einem Bereich mit größerer Querschnittsfläche, so daß nichtlineare Effekte vermieden werden können.
Dabei gilt: Je größer die Dispersion im Bereich mit großem Querschnitt desto größer ist die koppelbare mittlere Leistung.
Eine Faser deren Kerndurchmesser am Faserende ansteigt, ist in Fig. 4 dargestellt.
Es können statt einer Faser mit ansteigendem Querschnitt auch zwei oder mehrere Fasern, vorteilhaft auch ineinander steckbar, verwendet werden, wobei der Querschnitt der einzelnen Fasern in Richtung der Beleuchtung zunimmt.
Besonders vorteilhaft ist jedoch der Einbau eines stark dispergierenden Elementes in das Laser-Scanning-Mikroskop. Solch ein stark dispergierendes Element ist z. B. jede Art von Prismen bzw. Gitterkompressoren. Weiterhin sind spezielle Glasmaterialien oder Kristalle (z. B. TeO2), wie sie beispielsweise in Acousto-Optischen Geräten eingebaut werden, geeignet.
In Fig. 5 ist eine Anordnung unter Verwendung eines Acousto-Optischen Modulators dargestellt.
Bei Einsatz dieser AO (akustooptischen)-Geräte (AOM (Akustooptischer Modulator; AOD(Akustooptischer Deflektor, AOTF(Acousto-Optic Tunable Filter) können die nichtlinearen Effekte verhindert (d. h. die koppelbare mittlere Leistung bei vorgegebener Pulslänge) sowie gleichzeitig all ihre Vorteile in der Laser-Scanning-Mikroskopie wie:
das Scannen des Laserstrahles
das kontinuierliche Abschwächen
das schnelle Schalten im ms-Bereich
und das Verzögern der Phase
ausgenutzt werden.
Speziell bei der Verwendung als AOM kann dieser Kristall zur Erhöhung der Dispersion auch mehrfach durchlaufen werden. Dies geschieht besonders einfach bei Verwendung der 0-ten Ordnung und bei entsprechender Ausspiegelung der 1. Ordnung, wie in Fig. 6 dargestellt.
Die Erfindung und ihre Vorteile wird nachstehend anhand der schematischen Zeichnungen näher erläutert.
In Fig. 1 ist schematisch die Einkopplung eines Kurzpulslasers KPL über eine Prechirpeinheit PE und eine Lichtleitfaser in ein Mikroskop dargestellt. Das Mikroskop ist vorteilhaft, wie in Fig. 8 dargestellt, ein Laser-Scanning- Mikroskop (LSM).
Fig. 2a zeigt den Verlauf der Pulslänge und der Spektralbreite entlang der Faserlänge.
Fig. 2b zeigt die minimal mögliche Pulsfänge in Abhängigkeit von der mittleren Leistung.
Fig. 4 zeigt eine Lichtleitfaser mit zum Ende hin in Beleuchtungsrichtung ansteigendem Querschnitt.
Fig. 5 zeigt die Anordnung eines Akustooptischen Modulators AOM am Faserende im Mikroskop.
In Fig. 6 ist der durch das (hier nicht dargestellte) Faserende in den AOM eintretende Strahl sowie gebeugter und heraustretender Strahl 0-ter und erster Ordnung dargestellt.
Der AOM wird vorteilhaft wie in Fig. 7a in der 0-ten Ordnung betrieben, und die erste Ordnung wird aus dem Strahlengang (nicht dargestellt) herausgespiegelt.
Zur Erhöhung der Dispersion und der mittleren Leistung ist ein Mehrfachdurchlauf der 0-ten Ordnung im AOM erwünscht, was beispielsweise auch durch zusätzliche Anordnung eines Spiegels zur Mehrfachreflektion der 0-ten Ordnung hinter dem AOM, wie in Fig. 7b dargestellt, realisiert werden kann.
In Fig. 8 sind schematisch eine Mikroskopeinheit M und ein Scankopf S dargestellt, die eine gemeinsame optische Schnittstelle über eine Zwischenabbildung aufweisen und ein LSM bilden.
Der Scankopf S kann sowohl an den Phototubus eines aufrechten Mikroskopes sowie auch an einen seitlichen Ausgang eines inversen Mikroskopes angesetzt werden.
Es ist ein zwischen Auflichtscan und Durchlichtscan mitttels eines schwenkbaren Spiegels 14 umschaltbarer mikroskopischer Strahlengang dargestellt, mit Lichtquelle 1, Beleuchtungsoptik 2, Strahlteiler 3, Objektiv 4, Probe 5, Kondensor 5, Lichtquelle 7, Empfängeranordnung 8, einer ersten Tubuslinse 9, einem Beobachtungstrahlengang mit einer zweiten Tubuslinse 10 und einem Okular 11 sowie einem Strahlteiler zur Einkopplung des Scanstrahls.
Ein Lasermodul 13.1, 13.2 nimmt die Laser auf und ist über Monomode - Lichtleitfasern 14.1, 14.2 mit der Lasereinkoppeleinheit des Scankopfes S verbunden.
Die Einkopplung der Lichtleitfasern 14.1,14.2 erfolgt mittels einer verschieblichen Kollimationsoptik 16, auf die noch näher eingegangen wird , sowie Strahlumlenkelementen 17.1, 17.2.
Mittels eines teildurchlässigen Spiegels 18 wird ein Überwachungsstrahlengang in Richtung einer Monitordiode 19, der, vorteilhaft auf einem nicht dargestellten drehbaren Filterrad Linienfilter 21 sowie Neutralfilter 20 vorgeordnet sind, ausgeblendet.
Die eigentliche Scaneinheit besteht aus Scanningobjektiv 22, Scanner 23, Hauptstrahlteiler 24 und einer gemeinsamen Abbildungsoptik 25 für Detektionskanäle 26.1-26.4.
Ein Umlenkprisma 27 hinter der Abbildungsoptik 25 spiegelt die vom Objekt 5 kommende Strahlung in Richtung dichroitischer Strahleiler 28 im konvergenten Strahlengang der Abbildungsoptik 25, denen in Richtung und senkrecht zur optischen Achse verstellbare und in ihrem Durchmesser veränderbare Pinholes 29, individuell für jeden Detektionskanal sowie Emissionsfilter 30 und geeignete Empfängerelemente 31 (PMT) nachgeordnet sind.
Es erfolgt eine Einkopplung der Strahlung eines Kurzpulslasers KPL in Glasfaser 14.1, vorzugsweise einer Single-Mode-Glasfaser.
Wie in DE-296 09 850 U1 dargestellt, ist zwischen dem Laser und der Lichtleitfaser eine Prechirpeinheit PE angeordnet.
Am Eingang des Scanmoduls ist wie bereits beschrieben ein akustooptischer Modulator AOM vorgesehen.
Die Einkoppeloptik 33 zur Einkopplung der Laserstrahlung weist zur Einkopplung nicht dargestellte Linsensysteme auf, deren Brennweite durch den Strahlquerschnitt der Laser und die für die optimale Einkopplung erforderliche numerische Apertur festgelegt ist.
Im Lasermodul 13.2, sind Einzel- und Multiwellenlängenlaser vorgesehen, die einzeln oder gemeinsam über einen AOTF in eine oder mehrere Fasern eingekoppelt werden.
Auch die Mischung der Strahlung verschiedener Laser am Fasereingang ist möglich und kann anhand der schematisch dargestellten, auswechselbaren und schaltbaren Teilerspiegel 39 erfolgen.
Die divergent aus dem Faserende der Fasern 14.1, 2 an der Scaneinheit s austretende Laserstrahlung wird mittels der Kollimationsoptik 16 auf einen Unendlichstrahl kollimiert.
Das erfolgt vorteilhaft mit einer einzelnen Linse, die durch Verschiebung entlang der optischen Achse mittels einer über eine zentrale Ansteuereinheit 34 ansteuerbaren Steuereinheit 37 eine Fokussierungsfunktion hat, indem ihr Abstand zum Ende der Lichtleitfaser 14.1, 2 an der Scaneinheit erfindungsgemäß veränderbar ist.
Durch mehrere Einkoppelfasern und Kollimationsoptiken für unterschiedliche Wellenlängen können unabhängig verschiedene chromatische Kompensationen eingestellt werden.
Eine Monitordiode 19, die auch, hier nicht dargestellt, eine vorgesetzte Fokussierlinse aufweisen kann, wirkt in Verbindung mit einem linien- oder bereichsselektiven Filterrad oder Filterschieber 21, angesteuert von einer Steuereinheit 36, zur permanenten Überwachung der in das Scanmodul eingekoppelten Laserstrahlung, insbesondere um die Leistung in einer bestimmten Laserlinie isoliert zu kontrollieren und gegebenenfalls über den AOTF 32 mittels eines Regelsignales der Ansteuereinheit 34 zu stabilisieren. Vorteilhaft kann der Scanner 23 selbst als AOM oder AOD ausgebildet sein, wobei jeweils zwei AOM oder AOD für die beiden Scanrichtungen zusammenwirken können.
Hier ist der Scanner gleichzeitig das erfindungsgemäße dispergierende Element und die Kombination zweier Elemente ersetzt den mehrfachen Durchlauf durch einen AOM, wie in Fig. 7b dargestellt.

Claims (6)

1. Mikroskop,
mit einem Kurzpulslaser und einer die Laserpulse des Kurzpulslasers zu dem Mikroskop übertragenden Lichtleitfaser
und mit einer der Lichtleitfaser vorgeschalteten Dispersionskompensationseinheit, die den Laserpulsen eine Dispersion aufprägt, die der Dispersion in der Lichtleitfaser und den nachgeschalteten, optischen Komponenten entgegen gerichtet ist,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Lichtleitfaser ein dispersives, optisches Element nachgeschaltet ist,
das die Pulsbreiten der aus der Lichtleitfaser austretenden Laserpulse weiter komprimiert, so dass die Pulsbreiten der Laserpulse innerhalb der Lichtleitfaser oberhalb eines die Pulsform durch nichtlineare Effekte beeinflussenden, kritischen Wertes verbleiben.
2. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt der Lichtleitfaser in Richtung der Beleuchtung ansteigt.
3. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere ineinander steckbare Lichtleitfasern mit jeweils ansteigendem Faserquerschnitt in Richtung der Beleuchtung vorgesehen sind.
4. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet dass das dispersive, optische Element als Prismen- oder Gittervorrichtung oder als akustooptisches Element ausgebildet ist.
5. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet dass das dispersive, optische Element aus Glasmaterialien oder Kristallen hoher Dispersion besteht.
6. Mikroskop nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet dass das Mikroskop als Laserscanningmikroskop ausgebildet ist.
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JP12543199A JP4206452B2 (ja) 1998-06-18 1999-05-06 短パルスレーザーを分散する光ファイバーを有する顕微鏡

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Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19833025C2 (de) * 1998-07-23 2001-07-05 Leica Microsystems Optische Anordnung zur Übertragung kurzer Laserpulse in Lichtleitfasern
JP2001185796A (ja) * 1999-12-27 2001-07-06 Hitachi Metals Ltd レーザ装置、その応用装置並びにその使用方法
US6885683B1 (en) * 2000-05-23 2005-04-26 Imra America, Inc. Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source
DE10031636B4 (de) * 2000-06-29 2006-01-05 Siemens Ag Spektrometer
JP4693972B2 (ja) * 2000-09-29 2011-06-01 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
JP4685229B2 (ja) 2000-10-31 2011-05-18 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
US20020159146A1 (en) * 2001-04-26 2002-10-31 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Apparatus and process for changing the illumination power in a microscope
FR2824903B1 (fr) * 2001-05-21 2004-01-16 Sciences Tech Ind De La Lumier Amelioration aux procedes et dispositifs de mesure par imagerie confocale a chromatisme etendu
WO2003029116A1 (en) 2001-09-28 2003-04-10 Southpac Trust International, Inc., Not Individually, But As A Trustee Of The Family Trust U/T/A Dated December 8, 1995 Method and apparatus for labeling and stacking flower pot covers
DE10259443B4 (de) * 2002-12-19 2015-01-22 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe
US7351241B2 (en) * 2003-06-02 2008-04-01 Carl Zeiss Meditec Ag Method and apparatus for precision working of material
JP4615834B2 (ja) * 2003-07-04 2011-01-19 オリンパス株式会社 レーザ変調装置および方法
US7253950B2 (en) * 2003-07-17 2007-08-07 Olympus Corporation Scanning laser microscope
JP4885429B2 (ja) * 2004-05-13 2012-02-29 オリンパス株式会社 光刺激装置および光走査型観察装置
JP4729269B2 (ja) * 2004-06-01 2011-07-20 オリンパス株式会社 レーザ走査型顕微鏡
JP4642401B2 (ja) * 2004-07-26 2011-03-02 オリンパス株式会社 レーザ走査型観察装置
JP4878751B2 (ja) * 2004-12-10 2012-02-15 オリンパス株式会社 顕微鏡用照明装置および蛍光顕微鏡装置
JP2006208681A (ja) * 2005-01-27 2006-08-10 Olympus Corp 接続ユニットおよび光走査型蛍光観察装置
JP4869734B2 (ja) * 2005-04-25 2012-02-08 オリンパス株式会社 多光子励起走査型レーザ顕微鏡
DE102005020542A1 (de) * 2005-05-03 2006-11-09 Carl Zeiss Jena Gmbh Einrichtung und Verfahren zur reproduzierbaren Einstellung der Pinholeöffnung und Pinholelage in Laserscanmikroskopen
EP1959292A3 (de) 2007-02-13 2009-06-17 Olympus Corporation Laser-Mikroskop
KR101170896B1 (ko) 2007-07-31 2012-08-06 신상훈 모듈화된 디지털 홀로그램 현미경 장치
FR2922658B1 (fr) * 2007-10-18 2011-02-04 Centre Nat Rech Scient Systeme d'illuminations structuree d'un echantillon
CN102597845B (zh) * 2009-11-02 2016-06-29 奥林巴斯株式会社 分束器装置、光源装置和扫描观测装置
DE102010018967B4 (de) 2010-04-29 2021-11-04 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Anordnungen und Verfahren zur nichtlinearen Mikroskopie
US8610996B2 (en) * 2010-05-06 2013-12-17 Leica Microsystems Cms Gmbh Tunable multiple laser pulse scanning microscope and method of operating the same
JP2017513211A (ja) 2014-02-28 2017-05-25 イムラ アメリカ インコーポレイテッド 顕微鏡に適用される多波長超短パルスの生成及び放出
US11506877B2 (en) 2016-11-10 2022-11-22 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Imaging instrument having objective axis and light sheet or light beam projector axis intersecting at less than 90 degrees

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0431840A2 (de) * 1989-12-05 1991-06-12 Tektronix Inc. Quelle für sehr kurze optische Pulse
DE29609850U1 (de) * 1996-06-04 1996-08-29 Zeiss Carl Jena Gmbh Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang
EP0784206A2 (de) * 1996-01-08 1997-07-16 Hamamatsu Photonics K.K. Apparat zur Messung des elektrischen Felds
DE19622359A1 (de) * 1996-06-04 1997-12-11 Zeiss Carl Jena Gmbh Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4342499A (en) * 1979-03-19 1982-08-03 Hicks Jr John W Communications tuning construction
JPS61193130A (ja) * 1985-02-21 1986-08-27 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 光ビ−ム偏向装置
JPH0731334B2 (ja) * 1986-10-20 1995-04-10 日本電信電話株式会社 光パルス圧縮装置
JPH01145621A (ja) * 1987-12-02 1989-06-07 Nikon Corp 多波長光ビーム光学系
JP2664187B2 (ja) * 1988-03-14 1997-10-15 日本電信電話株式会社 光パレス圧縮装置
JPH01282515A (ja) * 1988-05-10 1989-11-14 Tokyo Electron Ltd ビーム走査型光学顕微鏡
JP2505892B2 (ja) * 1989-08-03 1996-06-12 浜松ホトニクス株式会社 パラメトリツクパルスレ―ザ
JPH03294815A (ja) * 1990-04-13 1991-12-26 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 極短光パルス供給装置
US5952668A (en) * 1994-07-15 1999-09-14 Baer; Stephen C. Resolution in microscopy and microlithography
JP3497598B2 (ja) * 1995-03-17 2004-02-16 富士通株式会社 光ファイバ伝送路
JP3548283B2 (ja) * 1995-07-07 2004-07-28 京セラ株式会社 ファラデ回転ミラー
US5920425A (en) * 1995-09-22 1999-07-06 Samsung Aerospace Industries, Ltd. Internal lighting device for a video microscope system
JPH09211249A (ja) * 1995-11-28 1997-08-15 Sumitomo Electric Ind Ltd シングルモード光ファイバ
JP3694956B2 (ja) * 1996-01-09 2005-09-14 株式会社ニコン 光走査型顕微鏡
US5852702A (en) * 1996-02-28 1998-12-22 Minolta Co., Ltd. Thin film optical waveguide and optical deflecting device
JP3558499B2 (ja) * 1996-07-24 2004-08-25 住友電気工業株式会社 光ファイバ、光源装置及びシステム
US5862287A (en) * 1996-12-13 1999-01-19 Imra America, Inc. Apparatus and method for delivery of dispersion compensated ultrashort optical pulses with high peak power
US5995281A (en) * 1997-04-09 1999-11-30 Carl Zeiss Jena Gmbh Device for coupling the radiation of short-pulse lasers in an optical beam path of a microscope
US6016376A (en) * 1997-10-06 2000-01-18 Nec Research Institute, Inc. Tapered coherent fiber bundle imaging device for near-field optical microscopy

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0431840A2 (de) * 1989-12-05 1991-06-12 Tektronix Inc. Quelle für sehr kurze optische Pulse
EP0784206A2 (de) * 1996-01-08 1997-07-16 Hamamatsu Photonics K.K. Apparat zur Messung des elektrischen Felds
DE29609850U1 (de) * 1996-06-04 1996-08-29 Zeiss Carl Jena Gmbh Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang
DE19622359A1 (de) * 1996-06-04 1997-12-11 Zeiss Carl Jena Gmbh Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DEUTRÖDER: Laser Spectroscopy, Springer Verlag 1991, S. 418 ff. *
SHEPPARD, C.J.R., KOMPFNER, R.: Applied Optics, Vol. 17, No. 18, 15.09.78 pp. 2879-2882 *
SHEPPARD, C.J.R.: Scanning optical microscope, Inst. of Eletr. Eng. (1980), pp. 113-119 *

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