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Patentes

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Número de publicaciónDE19930133 A1
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudDE1999130133
Fecha de publicación13 Ene 2000
Fecha de presentación30 Jun 1999
Fecha de prioridad9 Jul 1998
También publicado comoUS6136160
Número de publicación1999130133, 99130133, DE 19930133 A1, DE 19930133A1, DE-A1-19930133, DE19930133 A1, DE19930133A1, DE1999130133, DE99130133
InventoresPavol Hrkut, Peter Hudek, I W Rangelow, Hans Loeschner
SolicitanteIms Ionen Mikrofab Syst, Univ Gesamthochschule Kassel, Ustav Pocitacovych Systemov Sl
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos: DPMA, Espacenet
Verfahren zur Erzeugung eines Kohlenstoffilmes auf einem Substrat
DE 19930133 A1
Descripción  disponible en alemán
Reclamaciones(14)  disponible en alemán
Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
DE10118200A1 *11 Abr 200124 Oct 2002Infineon Technologies AgGas-Sensorelement, Verfahren zum Herstellen eines Gas-Sensorelements und Verfahren zur Detektion von Gasen
Clasificaciones
Clasificación internacionalC23C14/35, C23C14/34, C23C14/06, C23C14/58
Clasificación cooperativaB82Y30/00, C23C14/35, C23C14/0605, C23C14/5806
Clasificación europeaB82Y30/00, C23C14/35, C23C14/58B, C23C14/06B
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
28 Sep 20068141Disposal/no request for examination