DE19930817C1

DE19930817C1 - Verfahren zur Herstellung von Verbundkörpern aus Quarzmaterial

Info

Publication number: DE19930817C1
Application number: DE19930817A
Authority: DE
Inventors: Hans-Juergen Flieger; Karl-Heinz Schiecke; Werner Schmid; Dirk Schulze; Peter Jochmann; Bernhart Sindzinski; Klaus Sivec
Original assignee: Sico Jena Quarzschmelze GmbH
Current assignee: Sico Jena Quarzschmelze GmbH
Priority date: 1999-07-01
Filing date: 1999-07-01
Publication date: 2001-05-03
Anticipated expiration: 2019-07-02
Also published as: JP2001048559A; US6412306B1

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Verbundkörpern (1, 2) aus mehreren Formstücken (3, 4, 5), die aus Quarzmaterialien unterschiedlicher oder gleicher Struktur, vorzugsweise Quarzglas und/oder Quarzgut, bestehen. Die Erfindung bezieht sich weiter auf nach diesem Verfahren hergestellte Verbundkörper (1, 2). DOLLAR A Erfindungsgemäß wird in einem ersten Schritt ein prismatisches Formstück (3) mit rechteckiger Grund- und Deckfläche sowie vier plattenförmige Formstücke (4, 5), die in ihrer Ausdehnung den Mantelflächen des prismatischen Formstücks (3) angemessen sind, hergestellt, dann werden die plattenförmigen Formstücke (4, 5) an den Mantelflächen des prismatischen Formstücks (3) fixiert, das prismatische Formstück (3) und die plattenförmigen Formstücke (4, 5) werden gemeinsam unter Schutzgas bis zu einer vorgegebenen Temperatur T¶E¶, die über der Erweichungstemperatur des Quarzmaterials liegt, erhitzt und danach wird abgekühlt, wobei ein stoffschlüssig thermisch gefügter, prismatischer Verbundkörper (2) entsteht, der in eine Serie plattenförmiger Verbundkörper (1) getrennt werden kann.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Verbundkörpern aus mehreren Formstücken, die aus Quarzmaterialien unterschiedlicher oder gleicher Struktur, vorzugsweise Quarzglas und/oder Quarzgut, bestehen. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf nach diesem Verfahren hergestellte Verbundkörper.

Die Gattung von Verbundkörpern aus Quarzmaterial, der auch die Erfindung zuzuord nen ist, werden vor allem als Auflage- oder Trägerplatten für Zwischenprodukte bei der Halbleiterfertigung, etwa für Siliziumscheiben bzw. Wafer, verwendet und auch bei Hochtemperaturprozessen eingesetzt, die vor allem unter Reinraumbedingungen ab laufen. Auch der Einsatz in technologischen Prozessen der optischen und chemischen Industrie ist üblich.

Die meist plattenförmig ausgebildeten Verbundkörper bestehen in der Regel aus einer großflächigen rechteckigen Quarzglas-Platte, die mit einem Rand aus Quarzgut verse hen ist. Die Dicke eines solchen als Auflage dienenden Verbundkörpers liegt im Bereich von 4 mm bis 10 mm. Die Quarzglas-Platte bietet die eigentliche Auflagefläche, während der Rand die Aufgabe hat, bei thermischen, auf das aufliegende Objekt gerichteten Behandlungsschritten den Wärmeabfluß vom Objekt über die Quarzglas-Platte zu den Randbereichen hin zu verringern bzw. die Wärme möglichst im Auflagebereich zu hal ten.

Bei der Herstellung derartiger plattenförmiger Verbundkörper ist der Besonderheit der physikalischen und chemischen Eigenschaften des Quarzmaterials Rechnung zu tra gen, was zur Folge hatte, daß spezielle Technologien entwickelt worden sind. So ist beispielsweise bekannt, Verbundkörper der vorgenannten Art in Einzelfertigung aus jeweils einer rechteckig geschnittenen Quarzglas-Platte und vier Quarzgut-Randstücken herzustellen, wobei die Quarzgut-Randstücke in der Regel durch Schweißen unter Was serstoffflamme mit der Quarzglas-Platte verbunden werden. Auch die Verbindung durch Kleben anstelle der Schweißverbindung ist bekannt.

Dieses Herstellungsverfahren ist nachteiligerweise äußerst kostenintensiv, da die Ein zelfertigung der Quarzglas-Platten und der Quarzgut-Randstücke sowie deren Verbin dung miteinander sehr zeitaufwendig ist. Außerdem fällt sehr viel Verschnitt an Quarzmaterial an. Die zunehmenden Produktionsstückzahlen beispielsweise in der Halbleiterindustrie erfordern auch die Entwicklung von Herstellungsmethoden, nach denen sich die beschriebenen Verbundkörper weitaus effizienter fertigen lassen.

Nachteilig bei der Einzelfertigung ist außerdem auch noch die eingeschränkte Wieder holgenauigkeit von Verbundkörper zu Verbundkörper, sowohl bezogen auf die Maßhal tigkeit als auch auf die Genauigkeit der geometrischen Form.

Es kommt außerdem häufig auch zur Ausbildung von Rissen im Material, hervorgerufen durch mechanische Spannungen infolge unterschiedlicher Ausdehnung der aneinan dergefügten Teile bzw. durch ungleichmäßige Materialausdehnung aufgrund des lokal begrenzten Angriffs der Schweißflamme.

Sofern anstelle der Schweiß- die Klebeverbindung gewählt wird, ist der Einsatz der so hergestellten Verbundkörper nicht im Hochtemperaturbereich möglich, da die an wendbaren Klebeverbindungen nur bis ca. 300°C temperaturbeständig sind und außer dem auch die Klebestellen bei Erwärmung ausgasen, was bei vielen technologischen Prozessen unerwünscht ist.

Die Herstellung von einstückigen Quarzglas-Platten ist aus der DE 32 26 451 A1 be kannt, wo vorgesehen ist, von einem Quarzglas-Zylinder Platten abzusägen und diese anschließend auf die gewünschte Form, z. B. ein Rechteck, zuzuschneiden. Hinweise auf die Herstellung von plattenförmigen Verbundkörpern aus mehreren Quarzmaterialien sind dieser Veröffentlichung dagegen nicht entnehmbar.

Es ist weiterhin bereits bekannt, rohr- und/oder flanschförmige Verbundkörper aus Quarzgut und Quarzglas herzustellen, wie beispielweise beschrieben in DE-AS 29 08 288, DE 31 41 919 A1 und DE 44 40 104 A1. Zur Herstellung plattenförmiger, als Auflagen für die eingangs genannten Zwecke geeigneter Verbundkörper jedoch sind die hier angegebe nen Verfahren nicht anwendbar.

Ausgehend von den Nachteilen des dargelegten Standes der Technik liegt der Erfin dung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art zu schaffen, das bei hoher Materialausbeute und Wiederholgenauigkeit eine kostengünstige Serien fertigung ermöglicht und bei dem zugleich auch die Rißbildung weitestgehend vermie den ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst, indem in einem ersten Schritt ein prisma tisches Formstück mit rechteckiger Grund- und Deckfläche sowie vier plattenförmige Formstücke, die in ihrer Ausdehnung den Mantelflächen des prismatischen Formstücks angemessen sind, hergestellt werden, dann die plattenförmigen Formstücke an den Mantelflächen des prismatischen Formstücks fixiert werden, das prismatische Form stück und die plattenförmigen Formstücke gemeinsam unter Schutzgas bis zu einer vorgegebenen Temperatur T_E, die über der Erweichungstemperatur des Quarzmaterials liegt, erhitzt werden und danach abgekühlt wird, wobei ein stoffschlüssig thermisch gefügter, prismatischer Verbundkörper entsteht.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Fixierung der plattenförmigen Formstücke an den Mantelflächen des prismatischen Formstücks unter Verwendung einer Graphitform vorgenommen wird. Als vorteilhaft hat sich wei terhin erwiesen, wenn die Temperatur T_E über eine vorgegebene Zeitdauer t_E gehalten wird.

Der nun vorliegende prismatische Verbundkörper kann zum Zweck der Herstellung einer Serie von plattenförmigen Verbundkörpern parallel zu seiner Grund- bzw. Deck fläche mehrfach getrennt werden, wobei jeweils mit dem Abstand von Trennebene zu Trennebene die Dicke der plattenförmigen Verbundkörper bestimmt wird.

Das erfindungsgemäße Verfahren sieht also vor, zunächst einen größeren stoffschlüs sig thermisch gefügten prismatischen bzw. quaderförmigen Verbundkörper aus Quarzmaterialien verschiedener oder auch gleicher Struktur, jedoch stets zumindest etwa gleichen Ausdehnungskoeffizienten herzustellen, aus dem erst anschließend eine Serie von in ihrer Kontur formgleichen plattenförmigen Verbundkörpern gewonnen wird.

Auf diese Weise wird vorteilhaft eine lokal begrenzte Erhitzung bei der Herstellung vermieden und man erhält Verbundkörper, die spannungsfrei bis spannungsarm sind. Eine Rißgefahr mit allen schädlichen Folgen kann nahezu ausgeschlossen werden. Die Fügezone ist geometrisch eng begrenzt und nicht von einer Mischzone aus den Mate rialien der benachbarten Formstücke umgeben.

So ermöglicht die Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens eine kostengünstige Serienfertigung von plattenförmigen Verbundkörpern bei hoher Materialausbeute und verhältnismäßig geringem Aufwand.

In einer ganz besonders bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfah rens erfolgt die Fixierung der Formstücke unter Verwendung einer Graphitform. Au ßerdem ist vorgesehen, daß die plattenförmigen Formstücke so an den Mantelflächen des prismatischen Formstücks fixiert werden, daß die einander zugewandten Verbin dungsflächen je zweier benachbarter Formstücke um einen Winkel α gegeneinander geneigt sind, wobei die Formstücke so zueinander ausgerichtet sind, daß der Abstand zwischen diesen Flächen entgegengesetzt zur Schwerkraftrichtung größer wird. Das hat vorteilhaft zur Folge, daß die während der Aufheiz- und Haltezeit unvermeidlich anfallenden Gase ungehindert nach "oben" aus der Fügespalte entweichen können, während die Verbindung der betreffenden Flächen bzw. Formstücke entgegengesetzt zur Schwerkraftrichtung, von "unten" nach "oben", fortschreitet. Insbesondere erreicht man dadurch Fügezonen, die blasenfrei bis blasenarm sind.

Es hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, die in der Grafitform gehaltenen Form stücke mit einer Aufheizgeschwindigkeit von 5 bis 10°C je Minute bis zu einer Tempe ratur T_E von 1710°C bis 1790°C aufzuheizen. Zweckmäßig sollte die Haltezeit t_E mit 3 bis 8 Stunden vorgesehen werden.

Die Abkühlung des thermisch gefügten quaderförmigen Verbundkörpers wird vorteil hafterweise definiert mit einer Abkühlgeschwindigkeit von 0,1 bis 1°C je Minute vorge nommen.

Die Abtrennung von einzelnen plattenförmigen Verbundkörpern vom quaderförmigen Verbundkörper parallel zur Grundfläche kann nach verschiedenen Verfahren erfolgen, wobei sich allerdings das Absägen unter Verwendung einer Diamantsäge als zweckmä ßig ergeben hat.

Vorteilhafterweise ist das Verfahren auch bei der Herstellung von entsprechend gefüg ten Körpern aus Formstücken aus mit Quarzmaterialien stofflich verwandten Materiali en anwendbar.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß weiterhin mit einem nach dem vorbeschriebenen Verfahren hergestellten plattenförmigen Verbundkörper gelöst, der aus einer Platte mit einem um den gesamten Umfang verlaufenden, stoffschlüssig ohne Zwischenschicht angefügten Rand gebildet ist.

Von wesentlichem Vorteil hierbei ist, daß die Fügezonen dieses Verbundkörpers geo metrisch eng begrenzt und nicht von einer Mischzone aus verschiedenen Materialien benachbarter Formstücke umgeben sind. Sie sind blasenfrei bis blasenarm, und der Verbundkörper weist infolge des erfindungsgemäßen Verfahrens keine oder nur ver nachlässigbare Spannungen auf, so daß das Auftreten von Rissen im Material nicht zu erwarten ist.

In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung bestehen die großflächige Platte aus Quarzglas und der angefügte Rand aus Quarzgut. Dadurch kann vor allem bei Nutzung als Auflage in Hochtemperaturprozessen eine gute Rückhaltung der Wärme in der Plat te bzw. in dem auf die Quarzglas-Platte aufgelegten Produkt erreicht werden, da der porenreichere Rand aus Quarzgut im Vergleich zu dem Quarzglas der Platte eine schlechtere Wärmeleitfähigkeit besitzt und die Wärme so nicht vorschnell in den Rand abfließen kann.

In weiterer Ausgestaltung ist die Oberfläche des Verbundkörpers aus Platte und Rand geschliffen und poliert. Die umlaufende Außenfläche des Verbundkörpers ist zweck mäßigerweise gerundet und poliert oder facettenartig gebrochen und poliert.

Die Erfindung wird nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 die perspektivische Ansicht eines quaderförmigen Verbundkörpers mit ange deuteten Schnittebenen zur Trennung in mehrere einzelne plattenförmige Verbundkörper

Fig. 2 die Ansicht A aus Fig. 1

Fig. 3 die Ansicht B aus Fig. 1

Fig. 4 eine erste Variante eines plattenförmigen Verbundkörpers in Seitenansicht

Fig. 5 eine zweite Variante eines plattenförmigen Verbundkörpers in Seitenansicht

Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erfolgt die Herstellung plattenförmiger Ver bundkörper 1 aus einem stoffschlüssig thermisch gefügten quaderförmigen Verbund körper 2 wie folgt:

Zunächst werden ein prismatisches Formstück 3 aus Quarzglas und jeweils zwei plat tenförmige Formstücke 4, 5 aus Quarzgut nach an sich bekannten technologischen Verfahren, z. B. Sägen aus vorgefertigten Blöcken, hergestellt. Die Dimension der plat tenförmigen Formstücke 4, 5 ist dabei den Mantelflächen des quaderförmigen Form stücks 3 derart angepaßt, daß die zwei plattenförmigen Formstücke 4 die gleiche Brei te aufweisen wie das quaderförmige Formstück 3. Die zwei plattenförmigen Formstüc ke 5 besitzen eine um die zweifache Dicke der Formstücke 4 größere Breite als die Breite des quaderförmigen Formstückes 3, so daß sich eine umlaufend auch im Bereich der Fügenähte ebene Außenkontur der gesamten Anordnung ergibt.

Anschließend werden die plattenförmigen Formstücke 4, 5 an den Mantelflächen des quaderförmigen Formstückes 3 so fixiert, daß (wie aus Fig. 2 beispielsweise anhand der Formstücke 4 und 5 ersichtlich) alle einander zugewandten Fügeflächen um einen Win kel α, der vorteilhaft zwischen 0,5° und 5° beträgt, gegeneinander geneigt sind, wo durch sich eine nach oben, d. h. entgegengesetzt zur Schwerkraftrichtung V-förmig geöffnete Fügenut ergibt, die beim nachfolgenden thermischen Prozeß das Entweichen der Gase nach oben ermöglicht, während der Fügeprozess von unten nach oben fort schreitet. Zweckmäßig verwendet man zur Ausrichtung und Fixierung der Formstücke 3, 4 und 5 zueinander eine Graphitform (nicht zeichnerisch dargestellt), die die Form stücke 3, 4 und 5 aufnimmt und gemeinsam mit diesen in einen Ofen eingeführt wird.

Im folgenden Verfahrensschritt werden die fixierten Formstücke 3, 4 und 5 unter Schutzgas mit einer Aufheizgeschwindigkeit von 5 bis 10°C je Minute bis in den Be reich der Erweichungstemperatur T_E, etwa bis 1750°C, aufgeheizt. Die Temperatur wird für eine Zeitdauer t_E von 3 bis 8 Stunden gehalten.

Unter diesen thermischen Bedingungen ergibt sich eine stoffschlüssige Fügung der Formstücke 3, 4 und 5 zu einem quaderförmigen Verbundkörper 2. Es kann angenom men werden, daß für diesen Fügevorgang ein Prozeß ursächlich ist, wobei eine stoff schlüssige Verbindung der sich berührenden Fügeflächen durch Schweißen hergestellt wird. Dabei wird die V-förmige Fügenut im Verlaufe des thermischen Prozesses schrittweise ausgefüllt, so daß sie beim fertigen Verbundkörper 2 (abweichend zur lediglich erläuternden Darstellung in Fig. 2) nicht mehr vorhanden ist. Dabei wird auch das Ausgasen wie oben beschrieben begünstigt.

Diesem Verfahrenschritt schließt sich nun eine definierte Abkühlung des quaderförmi gen Verbundkörpers 2 an. Im Sinne einer Feinkühlung wird dabei eine Abkühlge schwindigkeit von 0,1 bis 1°C je Minute eingehalten.

Die bei diesem thermischen Prozeß entstehende Fügezone ist bezüglich ihrer räumli chen Ausdehnung recht eng begrenzt und nicht von einer Mischzone aus den beiden Materialien der an der Fügung beteiligten Formstücke 3, 4 und 5 umgeben. Es zeigte sich, daß diese Fügezone keine oder nur eine ganz geringe Anzahl von Blasen aufweist, was im Hinblick auf die spätere Verwendung der plattenförmigen Verbundkörper 1 von besonderem Vorteil ist. Auch weist der erfindungsgemäß hergestellte quaderförmige Verbundkörper 2 kaum thermisch verursachte Spannungen auf.

Aus dem quaderförmigen Verbundkörper 2 können nun mehrere plattenförmige Ver bundkörper 1 gewonnen werden. Das erfolgt durch Sägen unter Verwendung einer Diamantsäge (nicht dargestellt) parallel zur Grund- bzw. Deckfläche des Quaders. In Fig. 1 sind einige Schnittebenen 7 angedeutet.

Der nach diesem Verfahren hergestellte plattenförmige Verbundkörper 1, in Draufsicht in Fig. 3 dargestellt, besteht aus einer großflächigen Platte 8 aus Quarzglas (dem Mate rial des quaderförmigen Formstückes 3) und dem stoffschlüssig angefügten Rand 9 aus Quarzgut mit der Breite b.

Je nach späterem Verwendungszweck des plattenförmigen Verbundkörpers 1 wird die Oberfläche von Platte 8 und Rand 9 geschliffen und poliert. Im Ergebnis soll die Ober fläche hinreichend eben sein, damit eine dichtschließende Auflage gewährleistet ist.

Gemäß Fig. 4 ist die umlaufende Außenfläche 10 des plattenförmigen Verbundkörpers 1 gerundet und feuerpoliert. In einer in Fig. 5 dargestellten Ausführungsvariante dage gen ist die Außenfläche 10 facettenartig gebrochen und ebenfalls feuerpoliert.

Es ist anzumerken, daß die Erfindung nicht auf die vorstehenden Ausführungsbeispiele und -varianten beschränkt ist. So ist es beispielsweise weiterhin denkbar, im Gegen satz zur bisherigen Darstellung das prismatische Formstück 3 aus Quarzgut und die Formstücke 4, 5 aus Quarzglas auszuführen oder auch Paarungen von Quarz glas/Quarzglas und Quarzgut/Quarzgut vorzusehen.

Bezugszeichenliste

1

plattenförmiger Verbundkörper

2

quaderförmiger Verbundkörper

3

prismatisches Formstück

4

plattenförmiges Formstück

5

plattenförmiges Formstück

6

7

Schnittebene

8

Platte

9

Rand

10

Außenfläche
b Randbreite
α Winkel

Claims

1. Verfahren zur Herstellung von Verbundkörpern aus mehreren Formstücken, die aus Quarzmaterialien unterschiedlicher oder gleicher Struktur, vorzugsweise Quarzglas und/oder Quarzgut, bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß

- in einem ersten Schritt ein prismatisches Formstück (3) mit rechteckiger Grund- und Deckfläche sowie vier plattenförmige Formstücke (4; 5), die eine Materialdic ke b aufweisen, hergestellt werden,
- jedes der plattenförmigen Formstücke (4; 5) jeweils einer der vier Mantelflächen des prismatischen Formstücks (3) zugeordnet wird und die vier plattenförmigen Formstücke (4; 5) in ihrer flächigen Ausdehnung so zugeschnitten werden, daß bei ihrem Anlegen an die zugeordneten Mantelflächen das prismatische Form stück (3) um die Mantelflächen umlaufend um die Materialdicke b erweitert wird,
- dann die plattenförmigen Formstücke (4; 5) an den zugeordneten Mantelflächen des prismatischen Formstücks (3) fixiert werden,
- das prismatische Formstück (3) und die plattenförmigen Formstücke (4; 5) ge meinsam unter Schutzgas bis zu einer vorgegebenen Temperatur T_E, die über der Erweichungstemperatur des Quarzmaterials liegt, erhitzt werden und
- danach abgekühlt werden, wobei ein stoffschlüssig thermisch gefügter, prismati scher Verbundkörper (2) entsteht.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fixierung platten förmigen Formstücke (4; 5) an den Mantelflächen des prismatischen Formstücks (3) unter Verwendung einer Graphitform vorgenommen wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur T_E über eine vorgegebene Zeitdauer t_E gehalten wird.

4. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der prismatische Verbundkörper (2) parallel zu und in unterschiedlichen Ab ständen von der Grund- bzw. Deckfläche mehrfach getrennt wird, wobei platten förmige Verbundkörper (1) entstehen.

5. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die plattenförmigen Formstücke (4; 5) so an den Mantelflächen des prismati schen Formstücks (3) fixiert werden, daß die einander zugewandten Flächen um einen Winkel α gegeneinander geneigt sind, wobei der Abstand der Flächen ent gegengesetzt zur Schwerkraftrichtung zunimmt.

6. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Erhitzung mit um 5 bis 10°C je Minute zunehmend bis zu einer Tempera tur T_E von 1710°C bis 1790°C vorgenommen wird.

7. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Temperatur T_E über eine Zeitdauer t_E von 3 bis 8 Stunden gehalten wird.

8. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abkühlung mit 0,1 bis 10°C je Minute erfolgt.

9. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß Trennung des prisma tischen Verbundkörpers (2) in plattenförmige Verbundkörper (1) mit einer Dia mantsäge vorgenommen wird.

10. Nach einem oder mehreren der vorgenannten Ansprüche hergestellter platten förmiger Verbundkörper (1), gebildet aus einer Platte (8) mit einem um den ge samten Umfang verlaufenden, stoffschlüssig ohne Zwischenschicht angefügten Rand (9).

11. Plattenförmiger Verbundkörper nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (8) aus Quarzglas und der Rand (9) aus Quarzgut bestehen.

12. Plattenförmiger Verbundkörper nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekenn zeichnet, daß die Oberfläche geschliffen und poliert ist.

13. Plattenförmiger Verbundkörper nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche mindestens im Bereich des Randes (9) hoch eben ausgeführt ist.

14. Plattenförmiger Verbundkörper nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die umlaufende Außenfläche (10) gerundet und poliert ist.

15. Plattenförmiger Verbundkörper nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die umlaufende Außenfläche (10) facettenartig gebrochen und poliert ist.