DE202005021434U1 - Thermooptische Einspannvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Thermooptische Einspannvorrichtung zum Halten einer zu prüfenden Vorrichtung (30) in einer Prüfstation, wobei die thermooptische Einspannvorrichtung (22) umfasst:
(a) eine transparente Platte (36) mit einem Rand, einer ersten Oberfläche zum Halten der zu prüfenden Vorrichtung (30) und einer entgegengesetzten zweiten Oberfläche,
(b) einen transparenten Leiter (38) mit einem elektrischen Widerstand, wobei der transparente Leiter (38) auf einer Fläche (40) der ersten und/oder zweiten Oberfläche der transparenten Platte (36) aufgebracht wird,
(c) eine erste Busleitung (46) in leitendem Kontakt mit dem transparenten Leiter (38), wobei die erste Busleitung (46) mit einer Stromquelle (50) verbindbar ist, und
(d) eine zweite Busleitung (48) in leitendem Kontakt mit dem transparenten Leiter (38), wobei die zweite Busleitung (48) mit einer Stromquelle (50) verbindbar und von der ersten Busleitung (46) beabstandet ist.

Description

  • Querverweis auf verwandte Anmeldungen
    • Nicht zutreffend.
  • Bescheinigung über staatlich geförderte Forschung oder Entwicklung
    • Nicht zutreffend.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einspannvorrichtung zum Halten einer zu prüfenden Vorrichtung (ZPV – zu prüfende Vorrichtung) in einer Prüfstation und insbesondere eine Einspannvorrichtung, die dafür ausgelegt ist, die elektrischen und optischen Eigenschaften einer ZPV bei einer von der Umgebungstemperatur abweichenden Temperatur zu prüfen.
  • Viele elektrische Vorrichtungen, insbesondere auf Halbleitern basierende Vorrichtungen, enthalten sowohl elektrische Komponenten als auch optische Komponenten. Manche elektrooptische Vorrichtungen, z.B. ein Photodetektor, empfangen ein optisches Signal von einer optischen Quelle und wandeln das empfangene optische Signal in ein elektrisches Signal um. Andere elektrooptische Vorrichtungen, z.B. eine Leuchtdiode, wandeln ein elektrisches Signal in ein optisches Signal um. Wieder andere elektrooptische Vorrichtungen können mehrere optische und/oder elektrische Komponenten umfassen. Eine Prüfstation kann dazu verwendet werden, den Betrieb dieser Vorrichtungen zu beschreiben.
  • In einer Prüfstation wird eine zu prüfende elektrische Vorrichtung (ZPV) für gewöhnlich auf der Oberseite einer Einspannvorrichtung abgestützt und festgehalten, während Messfühler über Prüfkontakten auf der Oberseite der ZPV angeordnet und dann während der Messung der Betriebsparameter der Vorrichtung mit den Prüfkontakten in Kontakt gebracht werden. Die Einspannvorrichtung wird für gewöhnlich auf einem bewegbaren Gestell gehalten, das eine Bewegung der Einspannvorrichtung zulässt, um die Ausrichtung der Messfühler mit den Prüfkontakten der ZPV zu erleichtern. Eine elektrooptische Vorrichtung umfasst jedoch gewöhnlich elektrische Verbindun gen auf einer ersten Oberfläche der Vorrichtung und einen optischen Eingang oder Ausgang auf einer anderen Oberfläche der Vorrichtung. Es kann beispielsweise ein optisches Signal von einer Lichtquelle zur ZPV von unten, oben oder zu der Seite der ZPV gelenkt werden, während ein Messfühler oder Verbinder auf der Oberseite dazu verwendet wird, den resultierenden elektrischen Ausgang der ZPV zu erfassen. Auf ähnliche Weise kann beispielsweise ein Messfühler oder ein Verbinder dazu benutzt werden, an der Oberseite der ZPV eine elektrische Erregung vorzusehen, während ein unter, über oder seitlich der ZPV gelegener optischer Sensor dazu verwendet wird, den resultierenden optischen Ausgang zu erfassen.
  • Eine optische Einspannvorrichtung kann in einer Prüfstation dazu verwendet werden, eine ZPV zu halten, die einen optischen Zugangspfad zu einer Oberfläche der ZPV benötigt, die normalerweise durch die Einspannvorrichtung blockiert wird. Die veröffentlichte Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer US 2003/0042889 A1 von Harris et al., die hierin durch Bezugnahme aufgenommen ist, offenbart eine optische Einspannvorrichtung, die ein mittiges, optisch transparentes Medium umfasst, über dem die ZPV gehalten ist, um auf allen Seiten der ZPV einen optischen Zugangspfad bereitzustellen. Die ZPV und das optisch transparente Medium werden durch mehrere säulenförmige Träger über einer Basis gehalten, die es gestatten, einen optischen Wandler unter dem transparenten Fenster anzuordnen, um entweder den optischen Ausgang der ZPV zu erfassen oder optische Signale von unten an die ZPV zu senden.
  • Obgleich eine optische Einspannvorrichtung einen Zugangspfad für optische Signale an oder von einer ZPV bereitstellt, ist es häufig erwünscht, diese Vorrichtungen bei einer von der Umgebungstemperatur abweichenden Temperatur zu prüfen. Thermische Einspannvorrichtungen werden gewöhnlich dazu verwendet, elektrische ZPVs bei erhöhten oder abgesenkten Temperaturen zu prüfen. Eine thermische Einspannvorrichtung umfasst typischerweise eine Wärmequelle zum Erhöhen der Temperatur der Oberfläche der die ZPV haltenden Einspannvorrichtung und folglich der Temperatur der ZPV. Typischerweise werden thermische Einspannvorrichtungen von Prüfstationen durch thermoelektrische Einrichtungen erwärmt, die sich auf den Peltier-Effekt oder Drahtwiderstandserhitzer stützen. Diese Vorrichtungen sind jedoch optisch opak und würden einen optischen Pfad zur ZPV stören, wenn sie dazu verwendet würden, die Temperatur einer optischen Einspannvorrichtung zu ändern.
  • Daher ist eine thermooptische Einspannvorrichtung zur Verwendung in einer Prüfstation erwünscht, die es ermöglicht, eine auf einer Oberfläche der Einspannvorrichtung gehaltene ZPV bei einer von der Umgebungstemperatur abweichenden Temperatur zu prüfen, und die gleichzeitig einen optischen Zugang zur Unterseite der ZPV bereitstellt.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine räumliche Ansicht einer thermooptischen Einspannanordnung, die die Positionierung einer beispielhaften zu prüfenden Vorrichtung und einer optischen Vorrichtung zum Ermitteln eines optischen Ausgangs oder zum Zuführen eines optischen Eingangs an der Unterseite der Vorrichtung zeigt.
  • 2 ist eine Schnittansicht der thermooptischen Einspannvorrichtung aus 1 entlang der Linie 2-2.
  • 3 ist eine 2 ähnliche Schnittansicht, die eine zweite Ausführungsform der thermooptischen Einspannvorrichtung mit einem an der Oberseite der Einspannvorrichtung angeordneten transparenten Leiter darstellt.
  • 4 ist eine räumliche Ansicht einer thermooptischen Einspannvorrichtung, die eine Halteklammer für die zu prüfende Vorrichtung umfasst.
  • Genaue Beschreibung der Erfindung
  • Das Prüfen von Vorrichtungen mit elektrischen und optischen Komponenten beinhaltet das Anlegen gemessener elektrischer oder optischer Eingänge und das Messen elektrischer oder optischer Ausgänge. Die elektrischen Ein- und Ausgänge werden typischerweise durch Instrumente angelegt und gemessen, die mit der Vorrichtung durch Verbinder und/oder leitfähige Messfühler verbunden sind, und die optischen Ein- und Ausgänge werden typischerweise durch optische Sensoren bestimmt, die mit der Vorrichtung optisch gekoppelt sind. Die Gesamtbetriebseigenschaften der Vorrichtung können anhand der Ausgänge an die verschiedenen Instrumente gekennzeichnet werden, wenn die zu prüfende Vorrichtung (ZPV) elektrisch und/oder optisch erregt wird. Häufig sind die elektrischen und optischen Ein- und Ausgänge einer ZPV auf unterschiedlichen Oberflächen der Vorrichtung angeordnet. Eine Vorrichtung kann beispielsweise Prüfkontakte zur elektrischen Erregung aufweisen, die sich auf einer ersten (oberen) Oberfläche befinden, während ein optischer Ausgang an der entgegengesetzten (unteren) Oberfläche ausgegeben wird. Eine optische Einspannvorrichtung stellt einen optischen Zugangspfad zur Unterseite einer ZPV bereit, so dass ein optischer Wandler unter der ZPV positioniert werden kann, um entweder die Unterseite der ZPV einem optischen Eingang zugänglich zu machen oder einen optischen Ausgang von der Unterseite der ZPV aufzufangen, während die Oberseite der ZPV für Messfühler oder Verbinder zur Herstellung elektrischer Verbindungen zugänglich ist.
  • Es ist jedoch häufig erwünscht, die ZPV bei einer erhöhten Temperatur zu prüfen, um die Umgebung zu simulieren, in der die Vorrichtung verwendet werden soll, oder um ihre Leistung unter Betriebsbedingungen zu bestimmen, die die Vorrichtung belasten. Obgleich eine optische Einspannvorrichtung einen optischen Zugangspfad zur Unterseite einer ZPV bereitstellt, sind die Heizeinrichtungen, die normalerweise zum Ändern der Temperatur von Prüfstationseinspannvorrichtungen verwendet werden, optisch opak und würden den optischen Zugang zur ZPV stören, wenn sie im optischen Pfad angeordnet würden. Der Erfinder hat gefolgert, dass eine thermooptische Einspannvorrichtung mit einer optisch transparenten Heizeinrichtung eine Kombination aus optischer Zugänglichkeit zur Unterseite der ZPV und Änderbarkeit der Temperatur der ZPV bereitstellen könnte.
  • Bezugnehmend im Detail auf die Zeichnungen, in denen ähnliche Teile der Erfindung mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, und unter Bezugnahme insbesondere auf 1, umfasst eine thermooptische Einspannanordnung 20, die zur Verwendung in einer Prüfstation geeignet ist, im Allgemeinen eine thermooptische Einspannvorrichtung 22, die durch mehrere Träger 26 über einer Basis 24 in einem Rahmen 28 gehalten wird. Die Basis 24 ist zur Abstützung auf einem bewegbaren Gestell in einer Prüfstation angeordnet, das es zulässt, die Position der Einspannvorrichtung und der ZPV zu ändern, um einen Zugang zur Oberseite der ZPV 30 zu erleichtern. Die Anordnung der Basis 24 und der thermooptischen Einspannvorrichtung 22 mit Abstand voneinander ermöglicht es, optische Vorrichtungen, wie etwa den beispielhaften optischen Wandler 32, zwischen der Basis und der thermooptischen Einspannvorrichtung anzuordnen, um entweder optische Signale zur Unterseite der ZPV 30 zu richten oder den Ausgang auf der Unterseite der ZPV befindlicher optischer Elemente zu empfangen. Bezugnehmend auch auf 2 ist die thermooptische Einspannvorrichtung 22 optisch transparent, wodurch ein optischer Zugangspfad 34 zur Unterseite einer auf der Oberseite der thermooptischen Einspannvorrichtung gehaltenen ZPV bereitgestellt wird.
  • Die thermooptische Einspannvorrichtung 22 umfasst eine transparente Platte 36, die durch den Rahmen 28 gehalten wird, der wiederum durch die Träger 26 über der Basis 24 gehalten wird. Die transparente Platte 36 kann ein oder mehrere einer Vielzahl kommerziell erhältlicher Materialien umfassen, wie etwa Glas, Quarz, Saphir, Lithiumniobat und geschmolzene Kieselerde (Quarzgut), die bei einer oder mehreren Wellenlängen transparent sind, die bei einer spezifischen ZPV von Interesse sind.
  • Die Temperatur der transparenten Platte 36 und einer auf der transparenten Platte gehaltenen ZPV 30 wird durch Hindurchleiten eines elektrischen Stromes durch einen transparenten Widerstand 38 geändert, der auf einer Fläche 40 einer Oberfläche der Platte angeordnet ist. Der transparente Widerstand 38 kann jeglichen elektrischen Leiter umfassen, der bei einer interessierenden optischen Wellenlänge transparent ist und der einen geeigneten elektrischen Widerstand aufweist. Der transparente Widerstand kann z. B. ein Indiumzinnoxid (ITO), Silberzinkoxid, Antimonzinnoxid oder ein leitfähiges Polymer, wie etwa Poly(ethylendioxythiophen) (PEDOT) oder dotiertes Polyanilin, umfassen. Bezugnehmend auf 2 kann der transparente Widerstand 38 auf die Unterseite der transparenten Platte 36 aufgebracht sein oder es kann, wie in 3 gezeigt, der transparente Widerstand auf die Oberseite der transparenten Platte aufgebracht sein, wenn die mit dem Widerstand in Kontakt stehende Oberfläche der ZPV isoliert ist oder anderweitig nicht durch einen durch den Widerstand fließenden elektrischen Strom beeinflusst wird.
  • Ein elektrisches Potential wird über Anschlussleitungen 42, 44 an den transparenten Widerstand 38 angelegt, die jeweils mit Busleitungen 46, 48 leitfähig verbunden sind, welche längs entgegengesetzten Rändern der Fläche 40 des aufgebrachten transparenten Widerstands angeordnet und mit dem Widerstand leitfähig verbunden sind. Wenn ein Potential an die Busleitungen 46, 48 angelegt wird, fließt Strom von einer Stromquelle 50 durch die aufgebrachte Schicht aus leitfähigem transparenten Widerstandsmaterial, wobei proportional zum elektrischen Widerstand und dem Quadrat des Stroms Wärme erzeugt wird, wie durch folgende Gleichung ausgedrückt: P = I2Rwobei
    • P
    = Leistung
    I
    = im Widerstand fließender Strom
    R
    = elektrischer Widerstand des transparenten Widerstands.
  • Der elektrische Widerstand eines Leiters ist eine Funktion des inneren elektrischen oder spezifischen Widerstands des Materials, der Querschnittsfläche des Leiters und der Länge des Leiters. Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird das Material des transparenten Widerstands 38 bis zu einer gleichmäßigen Dicke auf einer Fläche 40 aufgebracht, die rechteckig und besonders bevorzugt quadratisch ist. Parallele Busleitungen 42, 44 in leitendem Kontakt mit dem Widerstandsmaterial stellen einen Strompfad gleichmäßiger Länge über die Länge der Busleitungen bereit, wodurch eine gleichmäßige Erwärmung der Fläche 40 des transparenten Widerstands 38 begünstigt wird. Da viele der in Prüfstationen getesteten ZPVs kreisförmige Wafer sind, kann ein auf einer quadratischen Fläche aufgebrachter transparenter Widerstand eine gleichmäßige Erwärmung der Oberfläche der ZPV bereitstellen, wobei gleichzeitig die Querschnittsfläche des Leiterpfads durch das Widerstandsmaterial einer spezifischen Dicke minimiert wird. Die Dicke des transparenten Widerstandsmaterials, die Form der Fläche 40, auf der das Material aufgebracht wird, sowie die Form und Anordnung der Busleitungen 42, 44 können jedoch beeinflusst werden, um je nach Bedarf eine gleichmäßige oder ungleichmäßige Erwärmung oder eine erwärmte Fläche mit einer anderen Form zu erzeugen.
  • Während der Prüfung werden ZPVs für gewöhnlich durch Luftdruck auf der Oberseite einer Einspannvorrichtung gehalten. Mehrere Öffnungen 52 in der Oberseite der transparenten Platte 36 der thermooptischen Einspannvorrichtung 22 sind wahlweise mit einer Unterdruckquelle 54 verbindbar und so angeordnet, dass dann, wenn die ZPV 30 auf der Oberfläche platziert wird, sie die Luftströmung zu den Öffnungen blockiert. Wenn die blockierten Öffnungen mit der Unterdruckquelle 54 verbunden sind, wirkt der Luftdruck derart auf die Oberfläche der ZPV 30, dass die ZPV auf der Oberfläche der Einspannvorrichtung in Stellung gehalten wird. Die Öffnungen 52 in der Oberseite der thermooptischen Einspannvorrichtung 22 sind mit einem Ventil (nicht gezeigt) verbunden, das die Öffnungen über eine transparente Rohrleitung 56 wahlweise mit der Unterdruckquelle 54 verbindet, um Auswirkungen auf den optischen Pfad 34 zu minimieren.
  • Jedoch kann sogar eine transparente Rohrleitung, die eine Unterdruckquelle mit mehreren voneinander beabstandeten Öffnungen in der transparenten Platte 36 verbindet, den optischen Zugang zur Unterseite der ZPV 30 stören. Bezugnehmend auf 4 umfasst ein alternativer Mechanismus zum Befestigen einer ZPV 30 an der Oberfläche einer thermooptischen Einspannanordnung 22 eine Klemmplatte 62 mit einer mittigen Öffnung 64, die groß genug ist, um die ZPV 30 aufzunehmen. Mehrere Klammern 66 sind rund um die zentrale Öffnung angeordnet und an der Klemmplatte 62 befestigt. Wenn die Klemmplatte 62 über der ZPV 30 abgesenkt wird, geraten die Klammern 66 mit der Oberseite der ZPV in Eingriff und die Klemmplatte deckt mehre re Öffnungen 60 in der Oberseite des Rahmens 28 ab. Die Öffnungen 60 sind über eine Rohrleitung 68 wahlweise mit einer Unterdruckquelle 54 verbindbar. Wenn die Öffnungen 60 mit der Unterdruckquelle 54 verbunden sind, wird eine Luftströmung zu den Öffnungen durch die Klemmplatte 62 blockiert. Der auf die Klemmplatte 62 ausgeübte Luftdruck hält die Klemmplatte auf dem Rahmen 28 und die Klammern 66 halten die ZPV auf der thermooptischen Einspannvorrichtung 22. Der optische Pfad 34 ist über die gesamte Unterseite der ZPV ungestört.
  • Die thermooptische Einspannvorrichtung ermöglicht es, eine auf der Oberfläche der Einspannvorrichtung gehaltene ZPV bei einer von der Umgebungstemperatur abweichenden Temperatur zu prüfen und gleichzeitig einen optischen Zugang zur Unterseite der ZPV bereitzustellen.
  • Die vorstehende genaue Beschreibung legt zahlreiche spezifische Details dar, um ein gründliches Verständnis der vorliegenden Erfindung zu ermöglichen. Fachleute auf dem Gebiet werden jedoch erkennen, dass die vorliegende Erfindung auch ohne diese spezifischen Details in die Praxis umgesetzt werden kann. In anderen Fällen wurden wohlbekannte Verfahren, Abläufe, Komponenten und Schaltungen nicht im Detail beschrieben, um die vorliegende Erfindung nicht zu komplizieren.
  • Sämtliche hierin genannten Entgegenhaltungen sind durch Bezugnahme mit aufgenommen.
  • Die in der vorstehenden Beschreibung verwendeten Bezeichnungen und Ausdrücke sind beschreibende und keine einschränkenden Begriffe und es ist durch die Verwendung derartiger Bezeichnungen und Ausdrücke nicht beabsichtigt, Äquivalente der gezeigten und beschriebenen Merkmale oder Teile derselben auszuschließen, wobei es sich versteht, dass der Schutzumfang der Erfindung nur durch die nachfolgenden Ansprüche definiert und begrenzt ist.

Claims (21)

  1. Thermooptische Einspannvorrichtung zum Halten einer zu prüfenden Vorrichtung (30) in einer Prüfstation, wobei die thermooptische Einspannvorrichtung (22) umfasst: (a) eine transparente Platte (36) mit einem Rand, einer ersten Oberfläche zum Halten der zu prüfenden Vorrichtung (30) und einer entgegengesetzten zweiten Oberfläche, (b) einen transparenten Leiter (38) mit einem elektrischen Widerstand, wobei der transparente Leiter (38) auf einer Fläche (40) der ersten und/oder zweiten Oberfläche der transparenten Platte (36) aufgebracht wird, (c) eine erste Busleitung (46) in leitendem Kontakt mit dem transparenten Leiter (38), wobei die erste Busleitung (46) mit einer Stromquelle (50) verbindbar ist, und (d) eine zweite Busleitung (48) in leitendem Kontakt mit dem transparenten Leiter (38), wobei die zweite Busleitung (48) mit einer Stromquelle (50) verbindbar und von der ersten Busleitung (46) beabstandet ist.
  2. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der transparente Leiter (38) Indiumzinnoxid umfasst.
  3. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der transparente Leiter (38) Silberzinkoxid umfasst.
  4. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der transparente Leiter (38) Antimonzinnoxid umfasst.
  5. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der transparente Leiter (38) ein leitfähiges Polymer umfasst.
  6. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 5, bei der das leitfähige Polymer Poly(ethylendioxythiophen) umfasst.
  7. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 5, bei der das leitfähige Polymer Polyanilin umfasst.
  8. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die transparente Platte (36) Glas umfasst.
  9. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die transparente Platte (36) Quarzgut umfasst.
  10. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die transparente Platte (36) Quarz umfasst.
  11. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die transparente Platte (36) Saphir umfasst.
  12. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die transparente Platte (36) Lithiumniobat umfasst.
  13. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Fläche (40) ein Rechteck umfasst.
  14. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Fläche (40) ein Quadrat umfasst.
  15. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die zweite Busleitung (48) eine Länge umfasst, die im Wesentlichen parallel zu einem Abschnitt der ersten Busleitung (46) angeordnet ist.
  16. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, die ferner umfasst: (a) eine Basis (24), und (b) einen Träger (26), der die Basis (24) und die transparente Platte (36) unter Abstand voneinander hält.
  17. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 1, die ferner umfasst: (a) einen an den Rand der transparenten Platte (36) angrenzenden Rahmen (28), wobei der Rahmen (28) eine Oberfläche mit eine Öffnung (60) bildenden Abschnitten umfasst und wobei die Öffnung (60) mit einer Unterdruckquelle (54) verbindbar ist, und (b) eine Klemmeinrichtung (62) mit einer ersten Oberfläche, die dazu angeordnet ist, eine Oberseite einer durch die transparente Platte (36) gehaltenen zu prüfenden Vorrichtung (30) zu kontaktieren, und einer zweiten Oberfläche, die dazu angeordnet ist, eine Luftströmung zu der Öffnung (60) zu blockieren, wenn die erste Oberfläche mit der Oberseite der zu prüfenden Vorrichtung (30) in Eingriff steht und die Öffnung (60) mit einer Unterdruckquelle (54) verbunden ist.
  18. Thermooptische Einspannvorrichtung zum Halten einer zu prüfenden Vorrichtung (30) in einer Prüfstation, wobei die thermooptische Einspannvorrichtung (22) umfasst: (a) eine Basis (24), (b) eine transparente Platte (36) mit einer ersten Oberfläche zum Halten der zu prüfenden Vorrichtung (30) und einer entgegengesetzten zweiten Oberfläche, (c) einen Träger (26), der die Basis (24) und die transparente Platte (36) unter Abstand voneinander anordnet, (d) einen transparenten Leiter (38) mit einem elektrischen Widerstand, wobei der transparente Leiter (38) auf einer rechteckigen Fläche (40) der zweiten Oberfläche der transparenten Platte (36) aufgebracht ist, wobei die rechteckige Fläche (40) durch einen ersten Rand und einen im Abstand dazu angeordneten zweiten Rand begrenzt wird, (e) eine erste Busleitung (46) in leitendem Kontakt mit dem transparenten Leiter (38) nahe dem ersten Rand, wobei die erste Busleitung (46) mit einer Stromquelle (50) verbindbar ist, und (f) eine zweite Busleitung (48) in leitendem Kontakt mit dem transparenten Leiter (38) nahe dem zweiten Rand, wobei die zweite Busleitung (48) mit der Stromquelle (50) verbindbar ist.
  19. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 18, bei der die transparente Platte (36) Glas, Saphir, Quarzgut, Quarz und/oder Lithiumniobat umfasst.
  20. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 18, bei der der transparente Leiter (38) Indiumzinnoxid, Silberzinkoxid, Antimonzinnoxid oder ein leitfähiges Polymer umfasst.
  21. Thermooptische Einspannvorrichtung nach Anspruch 18, die ferner umfasst: (a) einen an den Rand der transparenten Platte (36) angrenzenden Rahmen (28), wobei der Rahmen (28) eine Oberfläche mit eine Öffnung (60) bildenden Abschnitten umfasst und wobei die Öffnung (60) mit einer Unterdruckquelle (54) verbindbar ist, und (b) eine Klemmeinrichtung (62) mit einer ersten Oberfläche, die dazu angeordnet ist, eine Oberseite einer durch die transparente Platte (36) gehaltenen zu prüfenden Vorrichtung (30) zu kontaktieren, und einer zweiten Oberfläche, die dazu angeordnet ist, eine Luftströmung zu der Öffnung (60) zu blockieren, wenn die erste Oberfläche mit der Oberseite der zu prüfenden Vorrichtung (30) in Eingriff steht und die Öffnung (60) mit einer Unterdruckquelle (54) verbunden ist.
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