DE20204032U1 - Temperaturkompensiertes Vertikalstift-Prüfgerät - Google Patents

Temperaturkompensiertes Vertikalstift-Prüfgerät

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Description

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Claims (10)

1. Verbessertes temperaturkompensiertes Vertikalstift-Prüfgerät (40) zum Prü­ fen integrierter Schaltungen (14) in einem großen Temperaturbereich, wobei die integrierten Schaltungen (14) beabstandete Kontaktflecken (14a, 14b) aufweisen, die sich auf einem Schaltungssubstrat befinden, und die zur Prü­ fung von den Sondenstiften (64) zu kontaktieren sind, wobei das Prüfgerät von bekannter Bauart ist und eine obere (22) und eine untere (20) Lehre, die voneinander beabstandet sind, aufweist, die obere (23) und untere (21) Lochmuster entsprechend dem Abstand von Kontaktflecken (14a, 14b) der integrierten Schaltung bei einer vorgewählten Temperatur aufweisen, und eine Mehrzahl von Sondenstiften (26, 28) in einem Paar oberer (23) und un­ terer (21) Löcher angeordnet ist und sich über die untere Lehre (20) hinaus erstreckt, um in eine Sondenspitze (26a, 28a) auszulaufen, dadurch gekennzeichnet dass sowohl die obere (42) als auch die untere (44) beabstandete Lehre mit einem Distanzelement (48, 50) ausgestattet ist, das jeweils einen Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzt, der im Wesentlichen übereinstimmt mit demjenigen des Schaltungssubstrats, jedes Distanzele­ ment (48, 50) eine Durchgangsöffnung (52, 54) besitzt, über welcher Öffnung (52, 54) sich ein dünnes Flachstück aus Keramikmaterial (56, 58) befindet, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient im Wesentlichen mit demjenigen des Schaltungssubstrats übereinstimmt, und ein Klebstoff das Flachstück aus Keramikmaterial (54, 58) über der Öffnung festlegt, wobei jedes Flachstück (56, 58) eine Mehrzahl von Durchgangslöchern (60, 62) aufweist, die das obere oder das untere Lochmuster bilden.
2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeausdeh­ nungskoeffizienten der Distanzelemente (48, 50) und des Flachstücks aus Keramikmaterial (56, 58) jeweils etwas kleiner bzw. etwas größer sind als der Wärmeausdehnungskoeffizient von Silicium.
3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Distanze­ lement (48, 50) eine die Öffnung (52, 54) umgebende Oberfläche besitzt und einen Umfangs-Sims (52a, 54a) benachbart zu der Oberfläche definiert, wobei das Flachstück aus Keramikmaterial (56, 58) einen Umfang besitzt, der an dem Umfangs-Sims (52a, 54a) angeordnet ist.
4. Gerät nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Distanze­ lement (48, 50) eine Invar-Metalllegierung aufweist, und das Flachstück aus Keramikmaterial (56, 58) in Form von Siliciumnitrid besteht.
5. Verbessertes temperaturkompensiertes Vertikalstift-Prüfgerät (40) zum Prüfen integrierter Schaltungen (14) in einem großen Temperaturbereich, wobei die integrierten Schaltungen (14) beabstandete Kontaktflecken (14a, 14b) aufweisen, die sich auf einem Schaltungssubstrat befinden, und die zur Prüfung von den Sondenstiften (64) zu kontaktieren sind, wobei das Prüfge­ rät von bekannter Bauart ist und eine obere (22) und eine untere (20) Lehre, die voneinander beabstandet sind, aufweist, die obere (23) und untere (21) Lochmuster entsprechend dem Abstand von Kontaktflecken (14a, 14b) der integrierten Schaltung bei einer vorgewählten Temperatur aufweisen, und eine Mehrzahl von Sondenstiften (26, 28) in einem Paar oberer (23) und un­ terer (21) Löcher angeordnet ist und sich über die untere Lehre (20) hinaus erstreckt, um in eine Sondenspitze (26a, 28a) auszulaufen, dadurch gekennzeichnet, dass jede von der oberen (68) und der unteren (70) beabstandeten Lehre ein Distanzelement (74, 76) besitzt, dessen Wärme­ ausdehnungskoeffizient im Wesentlichen übereinstimmt mit demjenigen des Schaltungssubstrats, dass jedes Distanzelement (74, 76) eine lamellierte Struktur und eine Durchgangsöffnung (78, 80) besitzt, dass ein dünnes Flachstück aus Siliciumnitrid (56, 58) jede der Öffnungen (78, 80) bedeckt und ein Klebstoff das Flachstück aus Siliciumnitrid (56, 58) über jeder der Öffnungen (78, 80) und an einem der Distanzelemente (74, 76) festlegt, wo­ bei jedes der Flachstücke (56, 58) eine Mehrzahl von Durchgangslöchern (60, 62) besitzt die eines von dem oberen und dem unteren Lochmuster bildet.
6. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass es zwei Lehren (68, 70) gibt, die benachbart zueinander angeordnet sind, wobei die dünnen Flachstücke aus Siliciumnitrid (56, 58) voneinander beabstandet sind und die Distanzelemente (74, 76) einander berühren, um die obere bzw. die untere Lehre zu bilden.
7. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die lamellierte Struk­ tur (74, 76) aus einer Mehrzahl von Invar-Metallfolien (74a-74e, 76a-76e) besteht, die jeweils eine Dicke von 10 mil besitzen.
8. Temperaturkompensiertes Vertikalstift-Prüfgerät (40, 66) zum Prüfen inte­ grierter Schaltungen (14) in einem Bereich von Temperaturen, wobei jede der integrierten Schaltungen (14) Kontaktflecken (14a, 14b) an einem Schal­ tungssubstrat besitzt, wobei das Prüfgerät (40, 66) durch folgende Merkmale gekennzeichnet ist:
eine obere Lehre (42m 48) enthält ein oberes Distanzelement (48, 74), dessen Wärmeausdehnungskoeffizient im Wesentlichen zu demjenigen des Schal­ tungssubstrats passt, wobei das obere Distanzstück (48, 74) eine Durch­ gangsöffnung (52, 78) besitzt;
ein erstes Keramikflachstück (76) befindet sich über der Öffnung (52, 78) des oberen Distanzstücks (47, 74) und besitzt einen Wärmeausdehnungskoeffizi­ ent, der im Wesentlichen übereinstimmt mit demjenigen des Schaltungs­ substrats, wobei das erste Flachstück (56) ein erstes Muster von Durch­ gangslöchern (60) besitzt;
eine untere Lehre (44, 70) enthält ein unteres Distanzstück (50, 76) mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten, der im Wesentlichen mit dem des Schal­ tungssubstrats übereinstimmt, wobei das untere Distanzstück (50, 76) eine Durchgangsöffnung (54, 80) besitzt;
ein zweites Keramikflachstück (58) befindet sich über der Öffnung (54, 80) des unteren Distanzelements (50, 76) und besitzt einen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der im Wesentlichen angepasst ist an denjenigen des Schaltungssubstrats, wobei das zweite Flachstück (58) ein zweites Muster von Durchgangslöchern (62) besitzt;
wobei das erste (60) und das zweite (62) Lochmuster einem vorbestimmten Abstand bei einer vorgewählten Temperatur der Kontaktflecken (14a, 14b) der integrierten Schaltung entsprechen, und wobei das zweite Lochmu­ ster (62) gegenüber dem ersten Lochmuster (60) seitlich versetzt ist; und
eine Mehrzahl von Sondenstiften (64) besitzt jeweils einen oberen Abschnitt (64a) und einen unteren Abschnitt (64b), wobei jeder der Sondenstifte (64) sich in einem Paar von Löchern derart befindet, dass ein Loch des ersten Lochmusters (60) den oberen Abschnitt eines zugehörigen Sondenstifts (64a) aufnimmt und ein Loch des zweiten Lochmusters (62) den unteren Abschnitt des entsprechenden Sondenstifts (64b) aufnimmt, und wobei der untere Abschnitt des entsprechenden Sondenstifts (64b) sich über die untere Lehre (44, 70) hinaus erstreckt um mit einem der Kontaktflecken (14a, 14b) in Kontakt zu treten.
9. Prüfgerät (40) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass jedes der Di­ stanzelemente (48, 50) aus einer massiven Invar-Metalllegierung besteht.
10. Prüfgerät (66) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass jedes der Di­ stanzelemente (74, 76) aus einer lamellierten Struktur mit mehreren Invar- Metallfolien (74a-74e, 76a-76e) besteht, die jeweils eine Dicke von 10 mil besitzen.
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