DE20220258U1 - Production of a semiconductor component used in the production of substrate-less luminescent diodes comprises separating a semiconductor layer from a substrate by irradiating with a laser beam having a plateau-shaped spatial beam profile - Google Patents

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Abstract

Production of a semiconductor component comprises separating a semiconductor layer (2) from a substrate (1) by irradiating with a laser beam having a plateau-shaped spatial beam profile. Preferred Features: The laser beam is produced an excimer laser containing a rare gas-halogen compound, especially XeF, XeBr, KrCl or KrF as laser-active medium. The laser beam has a rectangular or trapezoidal spatial beam profile. The laser beam has a wavelength of 200-400 nm.

Description

Die Erfindung betrifft einen Halbleiterchip, der eine auf einem Substrat aufgewachsene Halbleiterschicht umfasst, die von dem Substrat durch Bestrahlen mit einem gepulsten Laserstrahl getrennt und mit ihrer von dem Substrat abgewandten Seite auf einen Träger aufgebracht ist.The invention relates to a semiconductor chip that comprises a semiconductor layer grown on a substrate, that of the substrate by irradiation with a pulsed laser beam separated and with their side facing away from the substrate onto one carrier is applied.

Ein derartiger Halbleiterchip kommt beispielsweise bei substratlosen Lumineszenzdioden auf der Basis von GaN zum Einsatz. Bei der Herstellung eines solchen Halbleiterchips wird zunächst eine Halbleiterschicht oder eine Halbleiterschichtfolge auf einem geeigneten Substrat aufgewachsen. Die Halbleiterschicht wird mit einem Träger verbunden und dann durch Laserbeschuß vom Substrat abgelöst. Nach dem Zerteilen des Trägers mit der darauf aufgebrachten Halbleiterschicht entstehen die vereinzelten Chips. Ein Vorteil dieser Vorgehensweise besteht darin, daß der Träger entsprechend seiner mechanischen, elektrischen, thermischen und optischen Eigenschaften unabhängig von den Anforderungen an das Wachstumssubstrat für d e Halbleiterschicht gewählt werden kann.Such a semiconductor chip is coming for example in the case of substrate-free luminescent diodes from GaN. In the manufacture of such a semiconductor chip first becomes one Semiconductor layer or a semiconductor layer sequence on a suitable Substrate grown up. The semiconductor layer is connected to a carrier and then by laser bombardment from Detached substrate. After cutting the carrier with the semiconductor layer applied to them, the isolated ones arise Crisps. An advantage of this procedure is that the carrier is made accordingly its mechanical, electrical, thermal and optical properties independently be selected from the requirements for the growth substrate for the semiconductor layer can.

Die Trennung der Halbleiterschicht von dem Substrat kann beispielsweise durch Laserablösen, wie in der Druckschrift WO 98/14986 beschrieben, erfolgen. Dabei wird die für die Ablösung von GaN- und GaInN-Schichten von einem Saphirsubstrat die frequenzverdreifachte Strahlung eines Q-switch Nd:YAG-Lasers bei 355 nm verwendet. Das Saphirsubstrat ist für Strahlung dieser Wellenlänge transparent. Die Strahlungsenergie wird in einer etwa 100 nm dicken Grenzschicht am Übergang zwischen dem Saphirsubstrat und der GaN-Halbleiterschicht absorbiert. Bei Pulsenergien oberhalb von 200 mJ/cm2 werden an der Grenzfläche Temperaturen von mehr als 850 °C erreicht. Die GaN-Grenzschicht zersetzt sich bei dieser Temperatur un ter Freisetzung von Stickstoff, die Bindung zwischen der Halbleiterschicht und dem Substrat wird getrennt.The semiconductor layer can be separated from the substrate, for example, by laser detachment, as described in the publication WO 98/14986. The frequency-tripled radiation of a Q-switch Nd: YAG laser at 355 nm is used to detach GaN and GaInN layers from a sapphire substrate. The sapphire substrate is transparent to radiation of this wavelength. The radiation energy is absorbed in an approximately 100 nm thick boundary layer at the transition between the sapphire substrate and the GaN semiconductor layer. With pulse energies above 200 mJ / cm 2 , temperatures of more than 850 ° C are reached at the interface. The GaN boundary layer decomposes at this temperature with the release of nitrogen, the bond between the semiconductor layer and the substrate is broken.

Der Träger dient zur Stabilisierung der dünnen Halbleiterschicht nach der Trennung vom Wachstumssubstrat, da die Schichtdicke der Halbleiterschicht in der Regel so gering ist, daß ansonsten die Gefahr einer Beschädigung der Halbleiterschicht besteht.The carrier is used for stabilization the thin Semiconductor layer after the separation from the growth substrate, since the Layer thickness of the semiconductor layer is usually so small that the Risk of damage the semiconductor layer exists.

Bei dem bekannten Verfahren des Laserablösens dünnen Halbleiterschichten besteht die Gefahr, daß bei der Ablösung der Halbleiterschicht aufgrund unvollständiger Materialzersetzung Reste des Substratmaterials an der Halbleiterschicht haften bleiben. So wurden Saphirkörner mit einem Durchmesser zwischen 5 μm und 100 μm auf GaN-Schichten gefunden, die in der beschriebenen Weise von Saphirsubraten abgelöst wurden. Diese Rückstände müssen für die weitere Verarbeitung der GaN-Schichten aufwendig entfernt werden, oder es wird nur ein Teil der GaN-Schicht für die Prozessierung von Chips verwendet.In the known method of laser stripping thin semiconductor layers there is a risk that at the detachment residues in the semiconductor layer due to incomplete material decomposition of the substrate material adhere to the semiconductor layer. So became sapphire grains with a diameter between 5 μm and 100 μm found on GaN layers in the manner described by sapphire subrates superseded were. These residues must be used for further Processing of the GaN layers can be removed at great expense, or only part of the GaN layer for the Processing of chips used.

Hier setzt die Erfindung an. Der Erfindung, wie sie in den Ansprüchen gekennzeichnet ist, liegt die Aufgabe zugrunde, einen verbesserten Halbleiterchip anzugeben, der eine auf einem Substrat aufgewachsene Halbleiterschicht umfasst, die auf einen Träger aufgebracht wurde und von dem Substrat durch Bestrahlen mit einem gepulsten Laserstrahl getrennt wurde.This is where the invention comes in. The Invention as set out in the claims is characterized, the task is based on an improved Specify semiconductor chip, the one grown on a substrate Includes semiconductor layer which has been applied to a carrier and from separated from the substrate by irradiation with a pulsed laser beam has been.

Diese Aufgabe wird durch den Halbleiterchip nach Schutzanspruch 1 gelöst. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 23.This task is accomplished by the semiconductor chip Protection claim 1 solved. Further refinements of the invention result from subclaims 2 to 23rd

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT abgestimmt auf das Strahlungsprofil und die Pulslänge der Laserstrahlpulse und auf den thermischen Aus dehnungskoeffizienten der Halbleiterschicht aHL und den thermischen Ausdehnungskoeffizienten as des Substrats gewählt wird. Dadurch können Verspannungen zwischen Substrat, Halbleiterschicht und Träger während der Herstellung deutlich reduziert werden. Die Gefahr von Rißbildungen im Träger oder in der Halbleiterschicht wird damit stark herabgesetzt.According to the invention it is provided that the thermal expansion coefficient of the carrier a T is matched to the radiation profile and the pulse length of the laser beam pulses and to the thermal expansion coefficient from the semiconductor layer a HL and the thermal expansion coefficient a s of the substrate is selected. This significantly reduces tension between the substrate, semiconductor layer and carrier during manufacture. The risk of cracks forming in the carrier or in the semiconductor layer is thus greatly reduced.

Die Erfindung baut dabei auf der Beobachtung der gegenwärtigen Erfinder auf, dass sich die Spotprofile der zur Ablösung der Halbleiterschichten verwendeten Laserpulse oft nach dem Laserbeschuß auf der Halbleiteroberfläche erkennen lassen. Im Fall der Ablösung von GaN-Halbleiterschichten bleibt etwa nach der Dissoziation des GaN metallisches Gallium auf der Oberfläche zurück. Untersuchungen der Erfinder ergaben weiter, daß an den Rändern der Laserspots Risse im GaN-Material entstehen, die bei einer weiteren Prozessierung des Materials zum lokalen Abplatzen der Halbleiterschicht von dem darunterliegenden Träger führen.The invention builds on the Observation of the current Inventor on that the spot profiles to replace the Semiconductor layers often used laser pulses after laser bombardment on the Semiconductor surface reveal. In the event of detachment of GaN semiconductor layers remains after the dissociation of the GaN metallic gallium on the surface. Investigations by the inventors revealed that the edges of the laser spots cracks occur in the GaN material, which in another Processing of the material for local chipping of the semiconductor layer from the underlying carrier to lead.

Es wurde nun gefunden, daß hierfür vor allem thermische Effekte verantwortlich sind. Um etwa bei einer GaN-Halbleiterschicht eine Dissoziation des GaN zu erreichen, müssen lokal Temperaturen von etwa 800 °C bis 1000 °C in der Halbleiterschicht erreicht werden. Fällt die Energiedichte am Rand des Laserspots stark ab, so können im Inneren des Laserspots die für die Ablösung erforderlichen Temperaturen erreicht werden, während das Halbleitermaterial in unmittelbarer Umgebung des Laserspots vergleichsweise kalt bleibt.It has now been found that above all thermal effects are responsible. For example, with a GaN semiconductor layer To achieve dissociation of the GaN, local temperatures of around 800 ° C to 1000 ° C can be achieved in the semiconductor layer. The energy density drops at the edge of the laser spot strongly, so can inside the laser spot the for the detachment required temperatures can be reached while the semiconductor material stays relatively cold in the immediate vicinity of the laser spot.

Zwar fallen die an der GaN-Oberfläche erreichten Temperaturen über die Schichtdicke der Halbleiterschicht deutlich ab, doch werden an der Trägerseite der Halbleiterschicht im Bereich des Laserspots noch Temperaturen von bis zu 400 °C erreicht. Somit entstehen aufgrund der lokal unterschiedlichen Temperaturen im Laserspot und außerhalb des Spots sowohl in der Halbleiterschicht als auch im Träger aufgrund der im allgemeinen unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials und des Trägermaterials Zugverspannungen, die zur beobachteten Ausbildung von Rissen im Halbleitermaterial an den Laserspoträndern führen können.Although the temperatures reached on the GaN surface drop significantly over the layer thickness of the semiconductor layer, temperatures of up to 400 ° C. are still reached on the carrier side of the semiconductor layer in the region of the laser spot. Thus, due to the locally different temperatures in the laser spot and outside of the spot, tensile stresses occur both in the semiconductor layer and in the carrier due to the generally different thermal expansion coefficients of the semiconductor material and the carrier material, which lead to the observed formation of cracks in the semiconductor material at the laser spot edges.

Bei der weiteren Prozessierung von derartigen mit Rissen versehenen Halbleiterschichten entsteht beispielsweise das Problem, daß Säure entlang der Risse unter die Halbleiterschicht kriechen und dort etwa eine Bondmetallisierung zerstört.In the further processing of Such semiconductor layers provided with cracks are formed, for example the problem that acid along the Cracks creep under the semiconductor layer and there, for example, a bond metallization destroyed.

Nach der Erfindung werden nun spezielle, in ihren thermischen Eigenschaften adaptierte Trägermaterialien verwendet. Dabei werden für die Wahl des thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Trägers aT insbesondere zwei Prozeßschritte in Betracht gezogen:According to the invention, special carrier materials adapted in their thermal properties are now used. In particular, two process steps are taken into account for the choice of the thermal expansion coefficient of the carrier a T :

1) Der Bondprozeß: Beim Bondprozeß wird das Substrat mit der darauf epitaxierten Halbleiterschicht zusammen mit dem Träger ganzflächig auf eine Temperatur von typischerweise etwa 400 °C aufgeheizt und anschließend wieder allmählich auf Zimmertemperatur abgekühlt. In diesem Schritt ist der Verspannungshaushalt des Schichtpakets Substrat/Halbleiterschicht/Träger im wesentlichen durch das Substrat und den Träger bestimmt. Weichen die thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Substrat und Träger, as und aT, zu stark voneinander ab, so kann sich das Schichtpaket beim Abkühlen verbiegen. Es können sich auch Risse im Träger bilden, so daß das entstehende Chip keine ausreichende Stabilität mehr aufweist.1) The bonding process: In the bonding process, the entire surface of the substrate with the semiconductor layer epitaxized thereon, together with the carrier, is heated to a temperature of typically about 400 ° C. and then gradually cooled again to room temperature. In this step, the stress balance of the layer package substrate / semiconductor layer / carrier is essentially determined by the substrate and the carrier. If the thermal expansion coefficients of substrate and carrier, a s and a T , differ too much from one another, the layer package can bend when it cools down. Cracks can also form in the carrier, so that the resulting chip no longer has sufficient stability.

Dieses Problem ist in der 1 illustriert. Bei dem dort schematisch dargestellten Waferpaket 10 ist eine GaN-Halbleiterschicht 14 auf einem Saphirsubstrat 12 aufgewachsen. Die von dem Substrat 12 abgewandte Seite der Halbleiterschicht 14 ist mit einer Kontaktmetallisierung 16 versehen. Auf der Kontaktmetallisierung 16 ist als Träger ein Bondwafer 18 bei einer Temperatur von etwa 400 °C aufgelötet. Ist nun der thermische Ausdehnungskoeffizient aT des Trägers wesentlich kleiner als der thermische Ausdehnungskoeffizient as des Saphirsubstrats, so können sich bei diesem Bondschritt Risse 20 im Bondwafer 18 bilden.This problem is in the 1 illustrated. In the wafer package shown schematically there 10 is a GaN semiconductor layer 14 on a sapphire substrate 12 grew up. That of the substrate 12 opposite side of the semiconductor layer 14 is with a contact metallization 16 Mistake. On the contact metallization 16 is a bond wafer as carrier 18 soldered at a temperature of about 400 ° C. If the thermal expansion coefficient a T of the carrier is now significantly smaller than the thermal expansion coefficient a s of the sapphire substrate, cracks can occur in this bonding step 20 in the bond wafer 18 form.

2) Der Laserbeschuß: Bei diesem Prozeßschritt wird das Halbleitermaterial innerhalb des Laserspots lokal auf eine Temperatur oberhalb der Zersetzungstemperatur des Halbleitermaterials aufgeheizt, während das Substratmaterial aufgrund seiner vernachlässigbaren Absorption der Laserstrahlung kalt bleibt. Da durch den Laserbeschuß die Bindung zwischen dem Halbleitermaterial und dem Substrat durch Dissoziation aufgehoben wird, bestimmt der Unterschied der thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Halbleiterschicht und Träger, aHL und aT, den Verspannungshaushalt im Schichtpaket. Bei großem Unterschied zwischen aHL und aT können Zugverspannungen entstehen, die zur Rissbildung im Halbleitermaterial an den Stellen der Spotränder führen können.2) Laser bombardment: In this process step, the semiconductor material within the laser spot is locally heated to a temperature above the decomposition temperature of the semiconductor material, while the substrate material remains cold due to its negligible absorption of the laser radiation. Since the laser bombardment breaks the bond between the semiconductor material and the substrate by dissociation, the difference in the thermal expansion coefficients of the semiconductor layer and carrier, a HL and a T , determines the stress balance in the layer package. If there is a large difference between a HL and a T , tensile stresses can occur, which can lead to the formation of cracks in the semiconductor material at the locations of the spot edges.

2 erläutert die Problematik wieder für die Ablösung einer GaN-Schicht 14 von einem Saphirsubstrat 12. Bei Beschuß des Waferpakets 10 mit kurzen Laserpulsen 22 eines Excimerlasers wird die Laserstrahlung in einem grenznahen Bereich 24 der GaN-Schicht 14 absorbiert und erzeugt dort Temperaturen von 800 °C bis 1000 °C. Auf der dem Substrat abgewandeten Seite der Halbleiterschicht 14 und im angrenzenden Bereich 26 werden noch Temperaturen bis zu etwa 400 °C erreicht. Außerhalb des Laserspots bleibt die GaN-Schicht 14 und die Bondmetallschicht 16 vergleichsweise kalt. Die Temperatur in den unmittelbar an den Laserspot angrenzenden Bereichen 28 und 30 liegt typischerweise deutlich unterhalb von 300 °C. Bei Bestehen stark unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten zwischen der GaN-Schicht 14 und dem Material des Bondwafers 18 können so Risse 32 in der epitaktischen GaN-Schicht 14 entstehen. 2 explains the problem again for the detachment of a GaN layer 14 from a sapphire substrate 12 , When the wafer package is bombarded 10 with short laser pulses 22 An excimer laser turns the laser radiation into a region close to the border 24 the GaN layer 14 absorbs and generates temperatures from 800 ° C to 1000 ° C. On the side of the semiconductor layer facing away from the substrate 14 and in the adjacent area 26 temperatures of up to about 400 ° C are still reached. The GaN layer remains outside the laser spot 14 and the bond metal layer 16 comparatively cold. The temperature in the areas immediately adjacent to the laser spot 28 and 30 is typically well below 300 ° C. If there are very different coefficients of thermal expansion between the GaN layer 14 and the material of the bond wafer 18 can crack like this 32 in the epitaxial GaN layer 14 arise.

Um Rissbildungen im Träger und in der Epischicht zu vermeiden, muß daher ein Trägermaterial gewählt werden, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizient aT sich weder von dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Substrats as noch von dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Halbleiterschicht aHL zu stark unterscheidet. In die Wahl eines geeigneten thermischen Ausdehnungskoeffizienten aT geht auch, wie weiter unten ausführlich geschildert, das Strahlungsprofil und die Pulslänge der Laserstrahlung ein.In order to avoid crack formation in the carrier and in the epi layer, a carrier material must therefore be selected whose thermal expansion coefficient a T does not differ too much neither from the thermal expansion coefficient of the substrate a s nor from the thermal expansion coefficient of the semiconductor layer a HL . The selection of a suitable thermal expansion coefficient a T also includes the radiation profile and the pulse length of the laser radiation, as described in detail below.

Insbesondere ist in einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens vorgesehen, dass der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT näher an dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Halbleiterschicht aHL als an dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten as des Substrats gewählt wird. Mit einer derartigen Wahl kann die Ausbildung von Rissen in der Halbleiterschicht wirkungsvoll reduziert oder ganz vermieden werden.In particular, it is provided in a preferred embodiment of the method according to the invention that the thermal expansion coefficient of the carrier a T is chosen closer to the thermal expansion coefficient of the semiconductor layer a HL than to the thermal expansion coefficient a s of the substrate. With such a choice, the formation of cracks in the semiconductor layer can be effectively reduced or avoided entirely.

Dabei ist es zweckmäßig, wenn sich der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT um 45% oder weniger, bevorzugt um 40% oder weniger von dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten as des Substrats unterscheidet. Insbesondere ist für ein Saphirsubstrat mit
a (Al2O3) = 7, 5 * 10-6 K-1
ein Trägermaterial bevorzugt, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizient aT zwar unterhalb von a (Al2O3) liegt, aber größer als 4, 125 * 10-6 K-1, insbesondere größer als 4, 5 * 10-6 K-1 ist.It is expedient if the thermal expansion coefficient of the carrier a T differs from the thermal expansion coefficient a s of the substrate by 45% or less, preferably by 40% or less. In particular, for a sapphire substrate
a (Al 2 O 3 ) = 7.5 * 10 -6 K -1
a carrier material is preferred, the thermal expansion coefficient a T of which is below a (Al 2 O 3 ), but is greater than 4.15 * 10 -6 K -1 , in particular greater than 4.5 * 10 -6 K -1 .

Mit Bezug auf die thermischen Eigenschaften der Halbleiterschicht ist es erfindungsgemäß vorteilhaft, wenn sich der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT um 35% oder weniger, bevorzugt von 25% oder weniger von dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten aHL der Halbleiterschicht unterscheidet. Insbesondere bei Ablösung einer GaN-basierten Halbleiterschicht mit
a (GaN) = 4, 3 * 10-6 K-1
ist ein Trägermaterial bevorzugt, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizient aT zwar oberhalb von a(GaN) liegt, aber kleiner als 5, 8 * 10-6 K-1, insbesondere kleiner als 5, 6 * 10-6 K-1 ist .With regard to the thermal properties of the semiconductor layer, it is advantageous according to the invention if the thermal expansion coefficient of the carrier a T differs from the thermal expansion coefficient a HL of the semiconductor layer by 35% or less, preferably 25% or less. Especially when a GaN-based semiconductor layer is detached
a (GaN) = 4.3 * 10 -6 K -1
a carrier material is preferred, the thermal expansion coefficient a T of which is above a (GaN), but less than 5.8 * 10 -6 K -1 , in particular which is less than 5.6 * 10 -6 K -1 .

Für die Ablösung einer GaN- oder GaInN-Schicht von einem Saphirsubstrat ist somit ein Träger mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen 4, 125 * 10-6 K-1 und 5, 8 * 10-6 K-1, insbesondere zwischen 4, 5 * 10-6 K-1 und 5, 6 * 10-6 K-1 besonders gut geeignet.For the detachment of a GaN or GaInN layer from a sapphire substrate, a carrier with a thermal expansion coefficient between 4, 125 * 10 -6 K -1 and 5, 8 * 10 -6 K -1 , in particular between 4.5 * is therefore 10 -6 K -1 and 5, 6 * 10 -6 K -1 particularly well suited.

Bei einer derartigen Wahl des thermischen Ausdehnungskoeffizienten aT kann für die Trennung der Halbleiterschicht von dem Substrat eine große Pulslänge der Laserstrahlpulse, insbesondere eine Pulslänge größer als 15 ns gewählt werden, ohne dass sich eine Rißbildung in der Halbleiterschicht ergibt.With such a choice of the thermal expansion coefficient a T , a large pulse length of the laser beam pulses, in particular a pulse length greater than 15 ns, can be selected for the separation of the semiconductor layer from the substrate without crack formation in the semiconductor layer.

In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens umfaßt der Träger Molybdän. Molybdän weist mit
a (Mo) = 5, 21 * 10-6 K-1
einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf, der deutlich näher an a(GaN) liegt, als etwa GaAs mit a(GaAs) = 6,4 * 10-6 K-1. Bei dem Waferpaket Molybdän-Bondwafer/GaN-Halbleiterschicht/Saphir-Substrat ist die vorgenannte Problematik der Rißbildung beim Laserbeschuß deutlich reduziert. Molybdän ist zudem stabil genug, so daß beim Bonden oder beim Abkühlen von der Bondtemperatur auf Zimmertemperatur keine Risse entstehen.In a particularly preferred embodiment of the method according to the invention, the carrier comprises molybdenum. Molybdenum has
a (Mo) = 5.21 * 10 -6 K -1
has a coefficient of thermal expansion that is significantly closer to a (GaN) than GaAs with a (GaAs) = 6.4 * 10 -6 K -1 . With the wafer package molybdenum bond wafer / GaN semiconductor layer / sapphire substrate, the aforementioned problem of crack formation during laser bombardment is significantly reduced. Molybdenum is also stable enough so that no cracks occur when bonding or when cooling from the bonding temperature to room temperature.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung umfaßt der Träger eine Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung, die mit
a (Fe-Ni-Co) = 5, 1 * 10-6 K-1
ebenfalls einen günstigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist. Auch Wolfram, mit
a (Wo) = 4 , 7 * 10-6 K-1
hat sich als vorteilhaftes Material für den Träger herausgestellt. Dabei sind die metallischen Trägermaterialien aufgrund ihrer Zähigkeit während des Bondprozesses und während des Abkühlens auf Zimmertemperatur kaum rißempfindlich.In a further preferred embodiment of the invention, the carrier comprises an iron-nickel-cobalt alloy, which with
a (Fe-Ni-Co) = 5.1 * 10 -6 K -1
also has a favorable coefficient of thermal expansion. Wolfram too, with
a (wo) = 4.7 * 10 -6 K -1
has proven to be an advantageous material for the wearer. The metallic carrier materials are hardly susceptible to cracking due to their toughness during the bonding process and during cooling to room temperature.

Es ist im Rahmen der Erfindung auch möglich, bei der Auswahl des thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Trägers eine größere Toleranz bezogen auf den thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Halbleiterschicht zuzulassen, wenn kürzere Laserpulse verwendet werden. So kann sich nach der Erfindung der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT um 35% oder mehr von dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten aHL der Halbleiterschicht unterscheiden, wenn für die Trennung der Halbleiterschicht von dem Substrat eine kleine Pulslänge der Laserstrahlpulse, insbesondere eine Pulslänge kleiner als etwa 15 ns gewählt wird. Dies gestattet insbesondere die Verwendung eines GaAs-Bondwafers mit a (GaAs) = 6, 4 * 10-6 K-1 bei kurzen Pulsdauern.It is also possible within the scope of the invention to allow a greater tolerance in relation to the thermal expansion coefficient of the semiconductor layer in the selection of the thermal expansion coefficient of the carrier if shorter laser pulses are used. Thus, according to the invention, the thermal expansion coefficient of the carrier a T can differ by 35% or more from the thermal expansion coefficient a HL of the semiconductor layer if, for the separation of the semiconductor layer from the substrate, a small pulse length of the laser beam pulses, in particular a pulse length less than about 15 ns is selected. This allows in particular the use of a GaAs bond wafer with a (GaAs) = 6.4 * 10 -6 K -1 with short pulse durations.

In einer bevorzugten Weiterentwicklung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Laserstahlpulse ein planes räumliches Strahlungsprofil, insbesondere ein rechteckartiges oder trapezartiges räumliches Strahlungsprofil mit einem zentralen Plateau aufweisen. Dabei ist unter einem planen räumlichen Strahlungsprofil eine Intensitätsverteilung des Laserstrahls zu verstehen, bei der sich an einen zentralen Bereich mit im wesentlichen konstanter Intensität jeweils steile Flanken mit rasch abfallender Intensität anschließen. Die relative Schwankung der Strahlintensität im zentralen Bereich ist vorzugsweise geringer als 5 Prozent. Durch ein solches Strahl profil wird die Anzahl der Substratrückstände gegenüber herkömmlichen Ablöseverfahren deutlich verringert.In a preferred further development the invention provides that the laser steel pulses a plan spatial Radiation profile, especially a rectangular or trapezoidal spatial radiation profile with a central plateau. Doing is planning under one spatial Radiation profile an intensity distribution to understand the laser beam, in which a central area with with essentially constant intensity each with steep flanks rapidly decreasing intensity connect. The relative fluctuation of the beam intensity in the central area is preferably less than 5 percent. By such a beam profile the number of substrate residues compared to conventional transfer process significantly reduced.

Es versteht sich, daß bei der Erfindung Maßnahmen zur Verbesserung der Strahlqualität, wie etwa ein nachgeschalteter Strahlhomogenisierer vorgesehen sein können.It is understood that the Invention measures to improve the beam quality, such as a downstream one Beam homogenizers can be provided.

Werden Laserpulse mit einem Strahlprofil verwendet, das an den Rändern einen weniger abrupten Abfall der Intensität aufweist, können weniger strenge Anforderungen an die thermischen Eigenschaften des Trägermaterials gestellt werden, da die Verspannungskräfte im Schichtpaket dann geringer ausfallen.If laser pulses with a beam profile are used, that on the edges having a less abrupt drop in intensity can be less severe Requirements for the thermal properties of the carrier material be set, since the tension forces in the layer package are then lower.

Bevorzugt wird bei der Erfindung zur Erzeugung der Laserstahlpulse ein Excimer-Laser, insbesondere mit XeF, XeBr, XeCl, KrCl oder KrF als laseraktivem Medium eingesetzt. Excimerlaser weisen aufgrund der hohen Verstärkung und der Resonatorgeometrie ein für die Erfindung gut geeignetes planes Strahlungsprofil auf. Auch ist die Emissionswellenlänge zwischen 200 nm und 400 nm für die Ablösung von Nitrid-Verbindungshalbleitern gut geeignet.Is preferred in the invention an excimer laser for generating the laser steel pulses, in particular with XeF, XeBr, XeCl, KrCl or KrF used as laser active medium. Excimer lasers have high amplification and resonator geometry one for plan radiation profile well suited to the invention. Is too the emission wavelength between 200 nm and 400 nm for the replacement of Nitride compound semiconductors well suited.

Bei Halbleiterschichten mit größerer lateraler Ausdehnung kann es vorteilhaft sein, zur Trennung der Halbleiterschicht von dem Substrat mehrere Einzelbereiche der Halbleiterschicht nacheinander mit Laserpulsen zu bestrahlen. Dadurch kann eine zu große Aufweitung des Laserstrahls vermieden werden, die die Energiedichte unterhalb die Zersetzungsschwelle für das Halbleitermaterial sinken lassen könnte. Es versteht sich, daß sich die Einzelbereiche mit Vorteil teilweise überlappen und zusammen die gesamte abzulösende Fläche abdecken.For semiconductor layers with a larger lateral extent it may be advantageous to separate the semiconductor layer from the substrate several individual areas of the semiconductor layer in succession to be irradiated with laser pulses. This can lead to an excessive expansion of the laser beam can be avoided, the energy density below the decomposition threshold for could lower the semiconductor material. It is understood that the Individual areas with advantage partially overlap and together the entire peelable area cover.

Die Erfindung eignet sich besonders gut für Halbleiterschichten, die mindestens einen Nitrid-Verbindungshalbleiter enthalten. Nitrid-Verbindungshalbleiter sind beispielsweise Nitridverbindungen von Elementen der dritten und/oder fünften Hauptgruppe des Periodensystems wie GaN, AlGaN, InGaN, AlIn-GaN, AlN oder InN. Die Halbleiterschicht kann dabei. auch eine Mehrzahl von Einzelschichten umfassen.The invention is particularly suitable good for semiconductor layers, which contain at least one nitride compound semiconductor. Nitride compound semiconductor are, for example, nitride compounds of elements of the third and / or fifth main group of the Periodic table such as GaN, AlGaN, InGaN, AlIn-GaN, AlN or InN. The semiconductor layer can do it. also include a plurality of individual layers.

Für das epitaktische Aufwachsen von Nitrid-Verbindungshalbleiter-Schichten eignet sich als Substrat insbesondere Silizium, Siliziumkarbid oder Aluminiumoxid. Saphirsubstrate sind für die UV-Strahlung des Excimerlasers durchlässig, so daß die Halbleiterschichten dann vorteilhaft durch Bestrahlung durch das Saphirsubstrat hindurch abgelöst werden können.For the epitaxial growth of nitride compound semiconductor layers is suitable silicon, silicon carbide or aluminum oxide. Sapphire substrates are for the UV radiation of the excimer laser transmissive, so that the semiconductor layers then advantageously by irradiation through the sapphire substrate superseded can be.

Die Halbleiterschicht wird beispielsweise mittels eines Gold-Zinn-Lots mit einem hohen Goldanteil von 65 bis 85 Gew-% oder mit einem Palladium-Indium-Lot auf den Träger gelötet.The semiconductor layer is, for example, by means of a gold-tin solder with a high gold content from 65 to 85% by weight or soldered to the carrier with a palladium-indium solder.

Vor dem Aufbringen der Halbleiterschicht auf den Träger kann bei der Erfindung auf die dem Substrat abgewandte Seite der Halbleiterschicht eine Metallisierung aufgebracht werden. Die Metallisierung enthält dabei bevorzugt Gold und/oder Platin.Before applying the semiconductor layer on the carrier can in the invention on the side facing away from the substrate Semiconductor layer a metallization can be applied. The metallization contains gold and / or platinum are preferred.

Ein erfindungsgemäßer Halbleiterchip kann mit Vorteil als Dünnschichtchip ausgebildet sein, der typischerweise eine Dicke unterhalb von etwa 50 μm aufweist. Der Halbleiterchip kann beispielsweise ein optoelektronischer Chip, insbesondere ein strahlungserzeugender Chip wie eine Lumineszenzdiodenchip sein.A semiconductor chip according to the invention can with Advantage as a thin-film chip be formed, typically a thickness below about 50 μm. The semiconductor chip can, for example, be an optoelectronic chip, in particular a radiation-generating chip such as a luminescence diode chip his.

Als weiterer Vorteil der Erfindung hat sich herausgestellt, daß durch die Verwendung thermisch angepaßter Träger auch das Problem der unzureichenden Haftung zwischen Halbleiterschicht und Träger gelöst wird, das in der Vergangenheit beispielsweise bei GaN-Epischichten auf GaAs-Bondwafern beobachtet wurde. Die Kontrolle des Verspannungshaushaltes im gesamten Waferpaket nach der vorliegenden Erfindung schließt auch die Bondmetallisierung mit ein und schafft dadurch hinsichtlich der genannten Haftungsproblematik wirkungsvoll Abhilfe.Another advantage of the invention it has been found that through the use of thermally adapted carrier also the problem of insufficient adhesion between the semiconductor layer and carrier solved in the past, for example with GaN epi layers was observed on GaAs bond wafers. The control of the tension household in the entire wafer package according to the present invention also includes the bond metallization and thereby creates in terms of effective remedy.

Wie weiter oben bereits kurz erwähnt eignet sich die Erfindung besonders bevorzugt für die Herstellung von strahlungsemittierenden und/oder strahlungsdetektierenden Chips auf Basis von Nitrid-III-V-Verbindungshalbleitermaterial, die insbesondere auf Saphir- oder SiC-Substraten aufgewachsen werden.As mentioned briefly above, is suitable the invention is particularly preferred for the production of radiation-emitting and / or radiation-detecting chips based on nitride III-V compound semiconductor material, which are grown in particular on sapphire or SiC substrates.

Unter die Gruppe von strahlungsemittierenden und/oder strahlungsdetektierenden Chips auf Basis von Nitrid-III-V-Verbindungshalbleitermaterial fallen vorliegend insbesondere solche Chips, bei denen die epitaktisch hergestellte Halbleiterschicht, die in der Regel eine Schichtfolge aus unterschiedlichen Einzelschichten aufweist, mindestens eine Einzelschicht enthält, die ein Material aus dem Nitrid-III-V-Verbindungshalbleitermaterial-System InxAlyGa1-x-yN mit 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1 und x+y ≤ 1 aufweist. Die Halbleiterschicht kann beispielsweise einen herkömmlichen pn-Übergang, eine Doppelheterostruktur, eine Einfach-Quantentopfstruktur (SQW-Struktur) oder eine Mehrfach-Quantentopfstruktur (MQW-Strukur) aufweisen. Solche Strukturen sind dem Fachmann bekannt und werden von daher an dieser Stelle nicht näher erläutert.In the present case, the group of radiation-emitting and / or radiation-detecting chips based on nitride III-V compound semiconductor material includes those chips in which the epitaxially produced semiconductor layer, which generally has a layer sequence of different individual layers, contains at least one individual layer has a material from the nitride III-V compound semiconductor material system In x Al y Ga 1-xy N with 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1 and x + y ≤ 1. The semiconductor layer can have, for example, a conventional pn junction, a double heterostructure, a single quantum well structure (SQW structure) or a multiple quantum well structure (MQW structure). Such structures are known to the person skilled in the art and are therefore not explained in more detail here.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen, Merkmale und Details der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung des Ausführungsbeispiels und den Zeichnungen.Further advantageous configurations, Features and details of the invention emerge from the dependent claims Description of the embodiment and the drawings.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden. Es sind jeweils nur die für das Verständnis der Erfindung wesentlichen Elemente dargestellt. Es zeigtThe invention is based on the following of an embodiment are explained in more detail in connection with the drawings. They are only the for the understanding elements of the invention shown. It shows

1 einen Zwischenschritt bei der Herstellung von Halbleiterchips zur Illustration der Problematik der Rißbildung im Bondwafer beim Bondprozeß; 1 an intermediate step in the manufacture of semiconductor chips to illustrate the problem of crack formation in the bond wafer during the bonding process;

2 einen weiteren Zwischenschritt bei der Herstellung von Halbleiterchips zur Illustration der Problematik der Rißbiläung in der Halbleiterschicht beim Laserbeschuß; 2 a further intermediate step in the production of semiconductor chips to illustrate the problem of crack formation in the semiconductor layer during laser bombardment;

3 in (a) bis (c) eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines Herstellungsverfahrens für einen erfindungsgemäßen Halbleiterchip. 3 in (a) to (c) a schematic representation of an exemplary embodiment of a production method for a semiconductor chip according to the invention.

4 in (a) und (b) eine schematische Darstellung der Intensitätsverteilung des in z-Richtung propagierenden Laserstrahls bei dem in 3 gezeigten Verfahren, jeweils entlang der x- bzw. der y-Richtung; und 4 in (a) and (b) a schematic representation of the intensity distribution of the laser beam propagating in the z direction in the in 3 shown methods, each along the x and y directions; and

5 eine schematische Darstellung der Bestrahlungsabfolge der Oberfläche einer abzulösenden Halbleiterschicht mit einer Mehrzahl kissenförmiger Laserspots. 5 is a schematic representation of the irradiation sequence of the surface of a semiconductor layer to be removed with a plurality of pillow-shaped laser spots.

3 zeigt eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Halbleiterchips. Dabei wird zunächst auf einem Saphirsubstrat 12 epitaktisch eine InGaN-Halbleiterschicht 14 aufgewachsen. Die Halbleiterschicht 14 wird auf ihrer vom Substrat 12 abgewandten Seite mit einer Kontaktmetallisierung 16 aus Gold und/oder Platin versehen, die einen niedrigeren Kontaktwiderstand zu später anzubringenden elektrischen Anschlüssen sicherstellt. Dann wird ein Bondwafer 38 aus Molybdän bei einer Fügetemperatur von 375 °C mit einem Lot 36 auf die Kontaktmetallisierung 16 aufgelötet. Als Lot 36 wird im Ausführungsbeispiel ein Gold-Zink-Lot mit einem Goldanteil von 75 Gew% verwendet, das sich durch hohe Stabilität auszeichnet. Diese Situation ist in der 3(a) dargestellt. 3 shows a schematic representation of an embodiment of a method for producing a semiconductor chip according to the invention. It starts with a sapphire substrate 12 epitaxially an InGaN semiconductor layer 14 grew up. The semiconductor layer 14 will on their from the substrate 12 opposite side with a contact metallization 16 Made of gold and / or platinum, which ensures a lower contact resistance to electrical connections to be made later. Then a bond wafer 38 made of molybdenum at a joining temperature of 375 ° C with a solder 36 on the contact metallization 16 soldered. As a lot 36 In the exemplary embodiment, a gold-zinc solder with a gold content of 75% by weight is used, which is characterized by high stability. This situation is in the 3 (a) shown.

Die thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Bondwafers a(Mo) = 5, 21 * l0-6 K-1 und des Saphirsubstrats a (Al2O3) = 7, 5 * 10-6 K-1 liegen relativ nahe beieinander. Darüber hinaus ist Molybdän zäh genug, so daß beim Bonden und beim Abkühlen von der Bondtemperatur auf Zimmertemperatur keine Risse im Molybdänwafer 38 entstehen.The thermal expansion coefficients of the bond wafer a (Mo) = 5.21 * 10 -6 K -1 and the sapphire substrate a (Al 2 O 3 ) = 7.5 * 10 -6 K -1 are relatively close to each other. In addition, molybdenum is tough enough that no cracks in the molybdenum wafer when bonding and cooling from the bonding temperature to room temperature 38 arise.

In einem nachfolgenden Schritt wird die Grenzfläche von Halbleiterschicht 14 und Saphirsubstrat 12 mit einem gepulsten Laserstrahl 40 eines XeF-Excimer-Lasers mit einer Wellenlänge von 351 nm und einer Pulsdauer von 25 ns bestrahlt ( 3(b)). Während das Saphirsubstrat 12 für Strahlung dieser Wellenlänge transparent ist, wird sie in der InGaN-Halbleiterschicht 14 stark absorbiert. Eine dünne Grenzschicht am Übergang zum Substrat 12 heizt sich durch den Energieeintrag auf Temperaturen von 800 °C bis 1000 °C auf. Bei dieser Temperatur zersetzt sich das Halbleitermaterial im Laserspot unter Freisetzung von Stickstoff und trennt die Bindung zwischen der Halbleiterschicht 14 und dem Substrat 12 .In a subsequent step, the interface of the semiconductor layer 14 and sapphire substrate 12 with a pulsed laser beam 40 irradiated with a XeF excimer laser with a wavelength of 351 nm and a pulse duration of 25 ns ( 3 (b) ). While the sapphire substrate 12 is transparent to radiation of this wavelength, it becomes in the InGaN semiconductor layer 14 strongly absorbed. A thin boundary layer at the transition to the substrate 12 heats up to temperatures of 800 ° C to 1000 ° C due to the energy input. At this temperature, the semiconductor material in the laser spot decomposes with the release of nitrogen and separates the bond between the semiconductor layer 14 and the substrate 12.

Nachdem die gesamte Oberfläche der Halbleiterschicht 14 mit derartigen Laserpulsen abgerastert und von der Substratoberfläche getrennt wurde, kann das Saphirsubstrat 12, wie in 3(c) gezeigt, abgehoben und entfernt werden.After the entire surface of the half conductor layer 14 was scanned with such laser pulses and separated from the substrate surface, the sapphire substrate 12 , as in 3 (c) shown, lifted off and removed.

Um eine möglichst rückstandsfreie Abtrennung des Saphirsubstrats 12 von der Halbleiteroberfläche zu erreichen, werden im Ausführungsbeispiel Laserpulse mit einem planen, fast rechteckigen räumlichen Strahlungsprofil verwendet. 4 zeigt für den in z-Richtung propagierenden Laserstrahl der 3(b) die Intensitätsverteilung der Strahlung im Laserspot entlang der x- Richtung (4(a)) und der y-Richtung (4(b)). Insgesamt ergibt sich ein kissenähnliches Laserspotprofil, wie durch jeden der Laserspots 52 der 5 angezeigt.To remove the sapphire substrate as residue-free as possible 12 To reach from the semiconductor surface, laser pulses with a flat, almost rectangular spatial radiation profile are used in the exemplary embodiment. 4 shows for the laser beam propagating in the z direction 3 (b) the intensity distribution of the radiation in the laser spot along the x direction ( 4 (a) ) and the y direction ( 4 (b) ). Overall, there is a pillow-like laser spot profile, as with each of the laser spots 52 the 5 displayed.

Die Strahlungsintensität des Laserstrahls weist sowohl in x-, als auch in y-Richtung ein im wesentlichen konstantes Plateau auf, an das sich jeweils Flanken schnell abfallender Intensität anschließen. Der im Ausführungsbeispiel verwendete XeF-Excimer-Laser ist aufgrund der hohen Verstärkung und der Resonatorgeometrie für die Erzeugung eines solchen planen Laserspotprofils ausgezeichnet geeignet.The radiation intensity of the laser beam points an essentially constant one in both the x and y directions Plateau on which flanks of rapidly falling intensity are connected. The in the embodiment used XeF excimer laser is due to the high gain and the resonator geometry for the generation of such a plan laser spot profile is excellently suited.

Durch die kissenartigen Laserspots kann in der GaInN-Halbleiterschicht beim Laserbeschuß im inneren Bereich des Laserspots eine homogene, über der Zersetzungstemperatur liegende Temperatur erreicht werden. Zwischen aufeinanderfolgenden Laserpulsen wird der Laserstrahl relativ zur Oberfläche der Halbleiterschicht 14 versetzt, bis die gesamte Oberfläche der Halbleiterschicht zeilenweise abgerastert ist. Vier untereinanderliegende Zeilen dieses aus einzelnen Laserspotprofilen 52 zusammengesetzten Rasters sind in dem Ausschnitt 50 der 5 dargestellt. Benachbarte Zeilen überlappen dabei in y-Richtung und sind in x-Richtung gegeneinander versetzt, so daß die Bindung zwischen der Halbleiterschicht 14 und dem Substrat 12 an jedem Punkt der Oberfläche aufgehoben wird.The pillow-like laser spots in the GaInN semiconductor layer during laser bombardment in the inner region of the laser spot can achieve a homogeneous temperature which is above the decomposition temperature. Between successive laser pulses, the laser beam is relative to the surface of the semiconductor layer 14 offset until the entire surface of the semiconductor layer is scanned line by line. Four lines lying one below the other from individual laser spot profiles 52 composite grid are in the cutout 50 the 5 shown. Adjacent lines overlap in the y direction and are mutually offset in the x direction, so that the bond between the semiconductor layer 14 and the substrate 12 is picked up at any point on the surface.

Beim Laserbeschuß werden auf der dem Substrat abgewandten Seite der Halbleiterschicht 14 und im angrenzenden Bereich noch Temperaturen bis etwa 400 °C erreicht. Außerhalb des Laserspots bleibt die Halbleiterschicht 14 und die Metallisierung mit Temperaturen deutlich unterhalb von 300 °C vergleichsweise kalt.During laser bombardment, the side of the semiconductor layer facing away from the substrate 14 and temperatures in the adjacent area can reach up to 400 ° C. The semiconductor layer remains outside the laser spot 14 and the metallization with temperatures well below 300 ° C is comparatively cold.

Aufgrund der aufeinander abgestimmten, nahe beieinander liegenden thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Bondwafers a (Mo) = 5, 21 * 10-6 K-1 und der Halbleiterschicht a (GaN) = 4, 3 * 10-6 K-1, treten jedoch keine durch diese Temperaturdifferenzen verursachten Risse im Halbleitermaterial auf.Because of the matched, closely spaced thermal expansion coefficient of the bond wafer a (Mo) = 5, 21 * 10 -6 K -1 and the semiconductor layer a (GaN) = 4, 3 * 10 -6 K -1, but not pass through these temperature differences caused cracks in the semiconductor material.

Während die Erfindung insbesondere mit Bezug auf bevorzugte Ausführungsbeispiele gezeigt und beschrieben worden ist, ver steht sich für den Fachmann, dass Änderungen in Gestalt und Einzelheiten gemacht werden können, ohne von dem Gedanken und Umfang der Erfindung abzuweichen. Dementsprechend soll die Offenbarung der vorliegenden Erfindung nicht einschränkend sein. Statt dessen soll die Offenbarung der vorliegenden Erfindung den Umfang der Erfindung veranschaulichen, der in den nachfolgenden Ansprüchen dargelegt ist.While the invention in particular with reference to preferred embodiments has been shown and described, is understood by those skilled in the art, that changes in shape and details can be made without the thought and scope of the invention. Accordingly, the revelation is intended of the present invention are not limiting. Instead it should the disclosure of the present invention includes the scope of the invention illustrate, which is set out in the following claims.

Claims (23)

Halbleiterchip, der eine auf einem Substrat aufgewachsene Halbleiterschicht umfasst, die von dem Substrat durch Bestrahlen mit einem gepulsten Laserstrahl getrennt und mit ihrer von dem Substrat abgewandten Seite auf einen Träger. aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT auf das Strahlungsprofil und die Pulslänge der Laserstrahlpulse und auf den thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Halbleiterschicht aHL und den thermischen Ausdehnungskoeffizienten as des Substrats abgestimmt gewählt wurde, um Verspannungen zwischen Substrat, Halbleiterschicht und Träger während der Herstellung zu reduzieren.Semiconductor chip, which comprises a semiconductor layer grown on a substrate, separated from the substrate by irradiation with a pulsed laser beam and with its side facing away from the substrate onto a carrier. is applied, characterized in that the thermal expansion coefficient of the carrier a T was chosen to match the radiation profile and the pulse length of the laser beam pulses and the thermal expansion coefficient of the semiconductor layer a HL and the thermal expansion coefficient a s of the substrate in order to avoid tension between the substrate, semiconductor layer and Reduce carriers during manufacture. Halbleiterchip nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT näher an dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Halbleiterschicht aHL als an dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten as des Substrats liegt.Semiconductor chip according to Claim 1, characterized in that the coefficient of thermal expansion of the carrier a T is closer to the coefficient of thermal expansion of the semiconductor layer a HL than to the coefficient of thermal expansion a s of the substrate. Halbleiterchip nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT um 45% oder weniger, bevorzugt um 40% oder weniger von dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten aS des Substrats unterscheidet.Semiconductor chip according to Claim 1 or 2, characterized in that the coefficient of thermal expansion of the carrier a T differs by 45% or less, preferably by 40% or less, from the coefficient of thermal expansion a S of the substrate. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT um 35% oder weniger, bevorzugt von 25% oder weniger von dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten aHL der Halbleiterschicht unterscheidet.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized in that the thermal expansion coefficient of the carrier a T differs by 35% or less, preferably 25% or less, from the thermal expansion coefficient a HL of the semiconductor layer. Halbleiterchip nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß für die Trennung der Halbleiterschicht von dem Substrat eine große Pulslänge der Laserstrahlpulse, insbesondere eine Pulslänge größer als 15 ns gewählt wurde.Semiconductor chip according to claim 4, characterized in that for separation the semiconductor layer from the substrate has a large pulse length of the laser beam pulses, in particular a pulse length larger than 15 ns selected has been. Halbleiterchip nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß sich der thermische Ausdehnungskoeffizient des Trägers aT um 35% oder mehr von dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten aHL der Halbleiterschicht unterscheidet, und bei dem für die Trennung der Halbleiterschicht von dem Substrat eine kleine Pulslänge der Laserstrahlpulse, insbesondere eine Pulslänge kleiner als etwa 15 ns gewählt wurde.Semiconductor chip according to one of Claims 1 to 3, characterized in that the coefficient of thermal expansion of the carrier a T differs by 35% or more from the coefficient of thermal expansion aHL of the semiconductor layer, and in which a small pulse length for separating the semiconductor layer from the substrate Laser beam pulses, in particular a pulse length less than about 15 ns was chosen. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserstrahlpulse ein planes räumliches Strahlungsprofil, insbesondere ein rechteckartiges oder trapezartiges räumliches Strahlungsprofil mit einem zentralen Plateau aufweisen.Semiconductor chip according to one of the previous ones the claims, characterized in that the laser beam pulses have a flat spatial radiation profile, in particular a rectangular or trapezoidal spatial radiation profile with a central plateau. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung der Laserstrahlpulse ein Excimer-Laser, insbesondere mit XeF, XeBr, XeCl, KrCl oder KrF als laseraktivem Medium eingesetzt wurde.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that for generation the laser beam pulses are an excimer laser, in particular with XeF, XeBr, XeCl, KrCl or KrF was used as the laser-active medium. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für die Trennung der Halbleiterschicht von dem Substrat mehrere Einzelbereiche der Halbleiterschicht nacheinander mit Laserpulsen bestrahlt wurden.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized that for separation the semiconductor layer from the substrate several individual areas of the Semiconductor layer were successively irradiated with laser pulses. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterschicht mindestens einen Nitrid-Verbindungshalbleiter. enthält.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the semiconductor layer at least one nitride compound semiconductor. contains. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterschicht eine Mehrzahl von Einzelschichten umfaßt.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the semiconductor layer comprises a plurality of individual layers. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterschicht oder eine Einzelschicht ein Material aus dem Nitrid-III-V-Verbindungshalbleitermaterial-System InxAlyGa1-x-yN mit 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1 und x+y ≤ 1 aufweist, insbesondere GaN, AlGaN, InGaN, AlInGaN, AlN oder InN enthält.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized in that the semiconductor layer or a single layer is a material from the nitride-III-V compound semiconductor material system In x Al y Ga 1-xy N with 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1 and x + y ≤ 1, in particular contains GaN, AlGaN, InGaN, AlInGaN, AlN or InN. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen etwa 4, 3 * 10-6 K-1 und etwa 5, 9 * 10-6 K-1 aufweist, bevorzugt zwischen etwa 4, 6 * 10-6 K-1 und etwa 5, 3 * 10-6 K-1.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized in that the carrier has a coefficient of thermal expansion between approximately 4.3 * 10 -6 K -1 and approximately 5.9 * 10 -6 K -1 , preferably between approximately 4.6 * 10 -6 K -1 and about 5.3 * 10 -6 K -1 . Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger Molybdän umfaßt.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the carrier comprises molybdenum. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger eine Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung umfaßt.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the carrier has a Includes iron-nickel-cobalt alloy. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger Wolfram umfaßt.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the carrier tungsten includes. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat Silizium, Siliziumkarbid oder Aluminiumoxid, insbesondere Saphir umfaßt.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized that the substrate Silicon, silicon carbide or aluminum oxide, especially sapphire includes. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterschicht mittels eines Lots, das Gold und/oder Zinn oder Palladium und/oder Indium enthält, auf den Träger gelötet wurde.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the semiconductor layer by means of a solder, the gold and / or tin or palladium and / or Contains indium, on the carrier soldered has been. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Aufbringen der Halbleiterschicht auf den Träger auf die dem Substrat abgewandte Seite der Halbleiterschicht eine Metallisierung aufgebracht wurde.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that before Application of the semiconductor layer to the carrier on the one facing away from the substrate Metallization was applied to the side of the semiconductor layer. Halbleiterchip nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallisierung Gold und/oder Platin enthält.Semiconductor chip according to claim 19, characterized in that the Metallization contains gold and / or platinum. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterschicht eine Dicke unterhalb von etwa 50 μm aufweist.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the semiconductor layer a thickness below about 50 microns having. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterchips Dünnschichtchips sind, bei denen von der aufgewachsenen Halbleiterschicht nach deren Aufwachsen das Substrat zumindest zum Teil entfernt ist.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the semiconductor chips thin-film chips are in which of the grown semiconductor layer according to their Growing up the substrate is at least partially removed. Halbleiterchip nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterchips optoelektronische Chips, insbesondere strahlungserzeugende Chips wie Lumineszenzdiodenchips sind.Semiconductor chip according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the semiconductor chips optoelectronic chips, in particular radiation-generating chips how luminescent diode chips are.
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