DE2045386B2 - Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz - Google Patents

Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz

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Description

Die Erfindung betrifft ein Gerät gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1. Ein solches Gerät ist Gegenstand der DE-PS 20 39 382.2.
Es ist ferner aus der DE-PS 4 99 545 eine interferometrische Meß- und Registriervorrichtung, insbesondere zur Überwachung der Reinheit und Zusammensetzung von Gasen und Gasgemischen bekannt bei der ein Eingangslichtbündel durch einen Bündelteiler in zwei Teiibündel aufgespalten wird, von denen das eine eine Meßküvette und das andere eine Referenzküvette durchsetzen. Die aus den Küvetten austretenden Lichtbündel werden dann durch eine zwei Spiegel enthaltende Bündelvereinigungsvorrichtung vereinigt so daß sie miteinander interferieren. Die Verschiebung der entstehenden Interferenzstreifen wird mit Hilfe einer photoelektrischen oder thermoelektrischen Zelle gemessen.
Es ist ferner bekannt den CO2-Gehalt von Gasen durch !nfrarot-Absorption zu messen. Die bekannten Infrarot-Absorptionsgeräte eignen sich jedoch praktisch nur zur Bestimmung des Gehaltes von Gasen an freiem CO2.
Für viele andere Zwecke, z. B. die Untersuchung von Stoffwechselvorgängen, des Ablaufes biologischer Verfahren, die Untersuchung von Bakterienkulturen, Gewebeaufschwemmungen oder des Gehaltes von Blut an CO2, z. B. während Operationen, muß jedoch das CO2 in mehr oder weniger fest gebundener Form bestimmt werden.
Überraschenderweise hat es sich gezeigt, daß bei Verwendung eines COrLasers als Strahlungsquelle CO2 nicht nur in mehr oder weniger fest gebundener Form, z. B. im Blut (Oxy-Hämoglobin) quantitativ nachgewiesen werden kann, sondern daß sogar eine quantitative Bestimmung in Gegenwart von H2O, also z. B. in wäßrigen Lösungen, möglich ist, obwohl H2O im Bereich der CO2-Absorption (ca. 10,6 μπι) eine sehr breite und starke Absorptionsbande aufweist.
Bei dem oben erwähnten Vorschlag wird das von einem CO2-Laser erzeugte Strahlungsbündel nach Reflexion an einem Meßobjekt durch einen Strahlungsdetektor wahrgenommen, der z. B. aus einem Bolometer, einer PbS-ZeIIe, einer Halbleiter-Photodiode, einem Phototransistor usw. bestehen kann. An den Strahlungsdetektor ist eine Anzeige- oder Registriervorrichtung, ζ. B. ein Meßgerät und/oder Schreiber, angeschlossen.
Der vorliegenden Erfi.idung liegt die Aufgabe
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zugrunde, eine Einrichtung der obengenannten Art hinsichtlich der Nachweisempfindlichkeit zu verbessern und ihren Anwendungsbereich zu vergrößern.
Dies wird gemäß der Erfindung bei einem Gerät der eingangs genannten Art durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der ι Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert, deren zwei Figuren jeweils eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung zeigen.
Das in F i g. 1 dargestellte erste Ausführungsbeispiel der Erfindung arbeitet mit Transmission. Es enthält ι einen nur schematisch dargestellten COrLaser 10, der vorzugsweise kontinuierlich arbeitet und ein Strahkingsbündel 12 mit einer Wellenlänge von etwa 10,6 μη» liefert Im Weg des Strahlungsbündels ?2 ist eine für die 12,6ujn-Strahlung durchlässige Meßküvette 14 an- ι geordnet, in der sich die zu untersuchende biologische Substanz befindet Die Meßküvette kann z. B. eine ΙΟμπΊ dicke Schicht der biologischen Substanz einschließen und in eine Leitung 16 eingeschaltet sein, durch die die zu untersuchende biologische Substanz :-"> strömt Im Falle von Blut kann es sich bei der Leitung 16 z. B. um einen extrakorporalen Kreislauf handeln.
Beim vorliegenden Gerät ist im Strahlungsgang des Strahlungsbündels 12 noch ein teildurchlässiger Spiegel 13 angeordnet der das Strahlungsbündel 12 in ein ω Meßbündel 12m und ein Referenzbündel 12r aufspaltet Das Referenzbündel 12/· wird durch einen Spiegel 15 in eine zum Meßbündel 12m parallele Richtung reflektiert Die Lage des Spiegels 15 kann in bekannter Weise mittels eines piezoelektrischen Bauelementes steuerbar i> sein, wie durch einen Doppelpfeil angedeutet ist um eine gewünschte Phasenlage zwischen Meßbündel und Referenzbündel einstellen zu können. Das vom Meßobjekt beeinflußte Meßbündel und das Referenzbündel werden in einer als Ganzes mit 17 bezeichneten Nachweiseinrichtung verarbeitet. Die Nachweiseinrichtung enthält eine Interferometer- oder Mischanordnung 19, in der ein der Dämpfung des Meßbündels durch das Meßobjekt und ein der Phasenverschiebung des Meßbündels durch das Meßobjekt entsprechendes Ausgangssignal erzeugt werden. Hierzu wird das reflektierte Referenzbündel durch einen halbdurchlässigen Spiegel 21 in ein durchgelassenes und ein reflektiertes TeilbUndel aufgespaltet. Das durchgelassene Teilbündel fällt durch einen weiteren halbdurchlässigen Spiegel 23 auf einen Strahlungsdetektor 20a, bei dem es sich um eine der oben erwähnten Einrichtungen handeln kann. Der reflektierte Teil des Referenzbündels wird durch einen Spiegel 25, der durch ein piezoelektrisches Bauelement verschiebbar gelagert ist, durch einen halbdurchlässigen Spiegel 27 zu einem zweiten Strahlungsdetektor 206 reflektiert Das durch das Meßobjekt beeinflußte Meßbündel wird durch einen halbdurchlässigen Spiegel 29a und einen Spiegel 29b zu den halbdurchlässigen Spiegeln 27 und 23 reflektiert, die t>o jeweils einen Teil des Bündels zu den Strahlungsdetektoren 20/>bzw. 20a reflektieren.
Die Lage des Spiegels 25 wird so gewählt, daß die beiden Teile des Referenzbündels mit gegeneinander um 90° verschobenen Versionen des vom Meßobjekt μ beeinflußten Meßbündels zur Wechselwirkung gebracht werden. Bei entsprechender Einstellung der Phasenlage, z. B. unter Zuhilfenahme des verschiebbaren Spiegels
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55 15, können die Verhältnisse so gewählt werden, daß die Ausgangssignale der Strahlungsdetektoren 20a und 20b der Dämpfung bzw. Phasenverschiebung der Meßstrahlung durch das Meßobjekt entsprechen. Die Ausgangssignale der Strahlungsdetektoren werden in Verstärkern 31 verstärkt und angezeigt oder registriert Dies kann beispielsweise mittels eines Oszillographen 22 erfolgen, wobei das der Dämpfung entsprechende Signal die A'-Ablenkung und das der Phasenverschiebung entsprechende Signal der K-Ablenkung zugeführt werden kann oder die beiden Signale getrennt durch die beiden K-Ablenkungen eines Zweistrahloszillographen dargestellt werden können.
Zur Einstellung optimaler Intensitätsverhältnisse kann im Weg des Referenzbündels ein Abschwächer 33, z. 3. ein Graukeil oder ein optischer Zirkulator, gegebenenfalls mit vor- und nachgeschalteten Polarisatoren, vorgesehen sein.
Gemäß einer Weiterbildung dieses Ausführungsbeispieles wird das Meßbündel durch einen Amplitudenmodulator 35 in der Amplitude moduliert Der Amplitudenmodulator kann ζ. Β eine umlaufende, geschlitzte Zerhackerscheibe oder ein mit einer gegebenenfalls hochfrequenten Wechselspannung gesteuerter Kerr-Zellenverschluß sein. Die den Modulator 35 steuernde Vorrichtung 37 tastet vorzugsweise den Strahl des Oszillographen 22 in dem Augenblick hell, in dem das der Dämpfung entsprechende Signal seinen Maximalwert hat Dies kann durch entsprechende Einstellung der Phasenlage des den Modulator 35 steuernden Signales bezüglich des den Oszillographen 22 helltastenden Signales erreicht werden.
An die Stelle der Referenz- und Detektoranordnungen, z. B. der Anordnungen 23, 20a oder 27, 206 kann insbesondere wenn das Meßbündel durch den Modulator 35 mit einer im Hochfrequenz- oder Mittelfrequenzbereich liegenden Frequenz moduliert ist auch eine Mischanordnung treten, die ein Signal liefert dessen Frequenz der Differenzfrequenz zwischen Meß- und Referenzbündel, also insbesondere der Modulationsfrequenz, liefert Die Verstärker 31 sind in diesem Falle dann vorzugsweise Wechselspannungsverstärker und können auf die Modulationsfrequenz abgestimmt sein.
Die zu untersuchende biologische Substanz kann selbstverständlich auch in Reflexion gemessen werden, in diesem Falle kann z. B. an die Stelle des Spiegels 29 das Meßobjekt treten.
Bei dem in F i g. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel des Gerätes gemäß der Erfindung wird eine Vergleichsmessung durchgeführt. Das Meßbündel 12m wird durch einen halbdurchlässigen Spiegel 26 in ein weiteres Referenzbündel 12a und das eigentliche Meßbündel 126 aufgeteilt. Das Referenzbündel 12a fällt durch eine Vergleichsküvette 14a auf einen Spiegel 28, der wieder durch eine Verstellvorrichtung, die einen piezoelektrischen Kristall enthält, verstellbar ist. Das reflektierte Referenzbündel fällt dann auf einen halbdurchlässigen Spiegel 32, der es teilweise in die Strahlungsnachweiseinrichtung 17 reflektiert, die ebenso ausgebildet sein kann, wie es in Verbindung mit F i g. 1 beschrieben worden ist.
Das Meßbündel 126 wird durch einen Spiegel 34 umgelenkt und fällt dann durch eine Meßküvette 146, die der Meßküvette 14 in Fig. 1 entspricht und die zu untersuchende biologische Substanz enthält, sowie durch den halbdurchlässigen Spiegel 32 zusammen mit dem reflektierten Teil des Referenzbündels 12a in die Strahlungsnachweiseinrichtung 17.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (7)

Patentansprüche:
1. Gerät zur Bestimmung des COrGehaltes einer biologischen Substanz mit einer einen CC>2-Laser enthaltenden Strahlungsquelle, einer Vorrichtung zur Halterung einer Probe der Substanz im Wege der Laserstrahlung und einer Strahlungsnachweiseinrichtung, die auf die durch die Probe beeinflußte Laserstrahlung anspricht, dadurch gekennzeichnet, daß im Weg eines Ausgangsstrahlungsbündels (12) des Lasers (10) vor der Probe (14) ein Bündelteiler (13) zum Erzeugen eines MeBbQndels (12/nJund eines Referenzbündels (12rJangeordnet ist; daß das Referenzbündel und das durch die Probe beeinflußte Meßbündel einer interferometrischen Bündelteiler- und Vereinigungsanordnung (19) zugeführt sind, in der zwei in Phasenquadratur stehende Versionen des durc'ii die Probe beeinflußten Meßbündels mit je einem Teil des Referenzbündels unter Erzeugung zweier Ausgangssignale interferieren, weiche einer Strahlungsnachweisanordnung (20a, 20b) zugeführt sind, an die eine Anzeige- oder Registriervorrichtung (22) angeschlossen ist
2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die interferometrische Anordnung (19) einen ersten teildurchlässigen Spiegel (21) enthält, der das Referenzbündel (i2r) in einen durchgelassenen und einen reflektierten Teil aufspaltet, daß der durchgelassene Teil des Referenzbündels durch einen zweiten teildurchlässigen Spiegel (23) auf einen ersten Strahlungsdetektor (2Oa1J fällt; daß der reflektierte Teil des Referenzbündels von einem Spiegel (25), der als Phasenschieber dient und verstellbar gelagert ist, durch einen dritten teildurchlässigen Spiegel (27) auf einen zweiten Strahlungsdetektor (20b) geworfen wird, und daß das vom Meßobjekt (14) beeinflußte Meßbündel (12m; durch eine weitere Spiegelanordnung (29a, 29b) so auf den zweiten und dritten teildurchlässigen Spiegel (23,27) geworfen werden, daß Teile des Meßbündels zusammen mit den entsprechenden Teilen des Referenzbündels auf die zugehörigen Strahlungsdetektoren fallen, wobei die optischen Weglängen so bemessen sind, daß die beiden Teile des Meßbündels mit um 90° gegeneinander verschobenen Versionen des Referenzbündels in Wechselwirkung treten.
3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Wege des Meßbündels (12mjein Amplitudenmodulator (35) angeordnet äst, der das Meßbündel mit einer Frequenz moduliert, die wesentlich niedriger als die Frequenz der Laserstrahlung ist, und daß an die Strahlungsdetektoren (20a, 20b) Wechselspannungsverstärker (31) angeschlossen sind.
4. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechselspannungsverstärker die Ablenkung eines Oszillographen (22) in X- und K-Richtung steuern und daß der Strahl des Oszillographen mit der Modulationsfrequenz kurzzeitig heligetasitet wird.
5. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das vom ersterwähnten Bündelteiler (13) erzeugte Meßbündel (\2m) durch einen weiteren Bündelteiler (26) in ein zweites Referenzbündel (12ajl in dessen Weg eine Vergleichsküvette (i4a) angeordnet ist, und ein eigentliches Meßbündel (126Jl in dessen Weg eine
Jl
Meßküvette (14) angeordnet ist, aufgeteilt wird und daß eine Vorrichtung (28,32) vorgesehen ist, die die aus der Vergleichsküvette bzw. Meßküvette austretenden Bündel vereinigt und der interferometrischen Anordnung (19) zuführt
6. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang mindestens eines der beiden durch den wetteren Bündelteiler (26) erzeugten Bündel (12a, \2b) eine Vorrichtung (28) zum Verändern der optischen Länge des von einem Bündel durchlaufenen Weges bezüglich der optischen Länge des vom anderen Bündel durchlaufenden Weges angeordnet ist
7. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang des Referenzbündels ein Abschwächer (33) angeordnet ist der einen optischen Zirkulator enthält
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Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2751365B2 (de) * 1977-11-17 1979-12-06 Diamant Test Gesellschaft Fuer Edelsteinpruefungen Mbh, 5000 Koeln Vorrichtung zur Messung der Absorption einer Probe
US4183670A (en) * 1977-11-30 1980-01-15 Russell Robert B Interferometer
US4509522A (en) * 1981-12-15 1985-04-09 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Infrared optical measurement of blood gas concentrations and fiber optic catheter
FR2531535B1 (fr) * 1982-08-03 1985-08-30 Onera (Off Nat Aerospatiale) Procede et dispositif de dosage de faible teneur de composants gazeux
JPH0789083B2 (ja) * 1984-04-27 1995-09-27 名古屋大学長 山形ミラーを用いた新ホモダイン法による非対称スペクトル分布測定装置
US5168325A (en) * 1990-02-28 1992-12-01 Board Of Control Of Michigan Technological University Interferometric measurement of glucose by refractive index determination
DE4320036C2 (de) * 1993-06-17 1997-02-13 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Anordnung zur Driftkorrektur zeitdiskreter Meßsignale bezogen auf ein Referenzsignal, insbesondere in der absorptionsspektroskopischen Spurengasanalytik
US7126131B2 (en) * 2003-01-16 2006-10-24 Metrosol, Inc. Broad band referencing reflectometer
US20080246951A1 (en) * 2007-04-09 2008-10-09 Phillip Walsh Method and system for using reflectometry below deep ultra-violet (DUV) wavelengths for measuring properties of diffracting or scattering structures on substrate work-pieces
US8564780B2 (en) * 2003-01-16 2013-10-22 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Method and system for using reflectometry below deep ultra-violet (DUV) wavelengths for measuring properties of diffracting or scattering structures on substrate work pieces
US7394551B2 (en) * 2003-01-16 2008-07-01 Metrosol, Inc. Vacuum ultraviolet referencing reflectometer
US7026626B2 (en) * 2003-01-16 2006-04-11 Metrosol, Inc. Semiconductor processing techniques utilizing vacuum ultraviolet reflectometer
US7067818B2 (en) * 2003-01-16 2006-06-27 Metrosol, Inc. Vacuum ultraviolet reflectometer system and method
CN1856702B (zh) * 2003-09-23 2010-05-26 迈特罗索尔公司 真空紫外参考反射计及其应用方法
US7511265B2 (en) * 2004-08-11 2009-03-31 Metrosol, Inc. Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement
US7804059B2 (en) * 2004-08-11 2010-09-28 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Method and apparatus for accurate calibration of VUV reflectometer
US7399975B2 (en) * 2004-08-11 2008-07-15 Metrosol, Inc. Method and apparatus for performing highly accurate thin film measurements
US7282703B2 (en) * 2004-08-11 2007-10-16 Metrosol, Inc. Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement
US7663097B2 (en) * 2004-08-11 2010-02-16 Metrosol, Inc. Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement
US20080129986A1 (en) * 2006-11-30 2008-06-05 Phillip Walsh Method and apparatus for optically measuring periodic structures using orthogonal azimuthal sample orientations
US20090219537A1 (en) * 2008-02-28 2009-09-03 Phillip Walsh Method and apparatus for using multiple relative reflectance measurements to determine properties of a sample using vacuum ultra violet wavelengths
US8153987B2 (en) * 2009-05-22 2012-04-10 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Automated calibration methodology for VUV metrology system
US8867041B2 (en) 2011-01-18 2014-10-21 Jordan Valley Semiconductor Ltd Optical vacuum ultra-violet wavelength nanoimprint metrology
US8565379B2 (en) 2011-03-14 2013-10-22 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Combining X-ray and VUV analysis of thin film layers
US9091523B2 (en) * 2013-07-19 2015-07-28 Quality Vision International, Inc. Profilometer with partial coherence interferometer adapted for avoiding measurements straddling a null position
GB201603051D0 (en) * 2016-02-23 2016-04-06 Ge Healthcare Bio Sciences Ab A method and a measuring device for measuring the absorbance of a substance in at least one solution
AT520258B1 (de) * 2017-07-26 2022-02-15 Univ Wien Tech Verfahren zur spektroskopischen bzw. spektrometrischen Untersuchung einer Probe
US10794819B2 (en) * 2018-10-05 2020-10-06 Massachusetts Institute Of Technology Wide field of view narrowband imaging filter technology
CN109975233B (zh) * 2019-03-13 2020-06-19 浙江大学 一种基于激光衰减的不凝气层测量装置及方法
EP3889580A1 (de) * 2020-04-05 2021-10-06 TGTW Group B.V. System und verfahren zur messung von verunreinigungen in einem im wesentlichen lichtdurchlässigen material, wie etwa wasser

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