DE2045386C3 - Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz - Google Patents
Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen SubstanzInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Gerät gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1. Ein solches Gerät
ist Gegenstand der DE-PS 20 39 382.2.
Es ist ferner aus der DE-PS 4 99 545 eine interferometrische Meß- und Registriervorrichtung, insbesondere
zur Überwachung der Reinheit und Zusammensetzung von Gasen und Gasgemischen bekannt, bei der ein
Eingangslichtbündel durch einen Bündelteiler in zwei
w Teilbündel aufgespalten wird, von denen das eine eine
Meßküvette und das. andere eine Referenzküvette durchsetzen. Die aus den Küvetten austretenden
Lichtbündel werden dann durch eine zwei Spiegel enthaltende Bündelvereinigungsvorrichtung vereinigt,
s> so daß sie miteinander interferieren. Die Verschiebung
der entstehenden Interferenzstreifen wird mit Hilfe einer photoelektrischen oder thermoelektrische!! Zelle
gemessen.
Es ist ferner bekannt, den CO;-Gehalt von Gasen
w durch Infrarot-Absorption zu messen. Die bekannten
Infrarot-Absorptionsgeräte eignen sich jedoch prak tisch nur zur Bestimmung des Gehaltes von Gasen an
freiem CO2.
Für viele andere /.wecke, z. B. die Untersuchung von
Ii Stoffwechselvorgängen, des Ablaufes biologischer Verfahren,
die Untersuchung von Bakterienkulturen, Gewebeaufschwemmungen oder des Gehaltes von Blut
an COj, z. B. während Operationen, muß jedoch das CO2
in mehr oder weniger fest gebundener Form bestimmt werden.
Überraschenderweise hat es sich gezeigt, daß bei Verwendung eines COj-Lasers als Strahlungsquelle CO2
nicht nur in mehr oder weniger fest gebundener Form, z. B. im Blut (Oxy-Hämoglobin) quantitativ nachgewiesen
werden kann, sondern daß sogar eine quantitative Bestimmung in Gegenwart von H2O, also z. B. in
wäßrigen Lösungen, möglich ist, obwohl H2O im
Bereich der CO2-Absorption (ca. 10.6 μΐη) eine sehr
breite und starke Absoirptionsbande aufweist.
Bei dem oben erwähnten Vorschlag wird das von einem CO2-Laser erzeugte Strahlungsbündel nach
Reflexion an einem Moßobjekt durch einen Strahlungsdetektor wahrgenommen, der z. B. aus einem Bolometer,
einer PbS-ZeIIe, einer Halbleiter-Photodiode, einem Phototratisistor usw. bestehen kann. An den Strahlungsdetektor
ist eine Anzeige- oder Registriervorrichtung, ζ. B. ein Meßgerät und/oder Schreiber, angeschlossen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe
zugrunde, eine Einrichtung der obengenannten Art hinsichtlich der Nachwdsempfindlichkeit zu verbessern
und ihren Anwendungsbereich zu vergrößern.
Dies wird gemäß der Erfindung bei einem Gerät der eingangs genannten Art durch die im kennzeichnenden
Teil des Patentanspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst
Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert, deren
zwei Figuren jeweils eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung zeigen.
Das in F i g. 1 dargestellte erste Ausführungsbeispiel der Erfindung arbeitet mit Transmission. Es enthält
einen nur schernatisch dargestellten CCVLaser 10, der
vorzugsweise kontinuierlich arbeitet und ein Strahhingsbündel
12 mit einer Wellenlänge von etwa 10,6 μηι
liefert Im Weg des Strahlungsbündels 12 ist eine für die 12,6 μπ-1-Strahiung durchlässige MeBküveiie 14 angeordnet,
in der sich die zu untersuchende biologische Substanz befindet Die Meßküvette kann ζ Β. eine
10 μπι dicke Schicht der biologischen Substanz einschließen
und in eine Leitung 16 eingeschaltet sein, durch die die zu untersuchende biologische Substanz
strömt Im Falle von Blut kann es sich bei der Leitung 16 z. B. um einen extrakorporalen Kreislauf handeln.
Beim vorliegenden Gerät ist im Strahlungsgang des Strahlungsbündels 12 noch ein teildurchlässiger Spiegel
13 angeordnet, der das Strahlungsbündel 12 in ein Meßbündel 12m und ein Referenzbündel 12/· aufspaltet.
Das Referenzbündel 12r wird durch einen Spiegel 15 in eine zum Meßbündel 12m parallele Richtung reflektiert.
Die Lage des Spiegels 15 kann in bekannter Weise mittels eines piezoelektrischen Bauelementes steuerbar
sein, wie durch einen Doppelpfeil angedeutet ist, um eine gewünschte Phasenlage zwischen Meßbündel und
Referenzbündel einstellen zu können. Das vom Meßobjekt beeinflußte Meßbündel und das Referenzbündel
werden in einer als Ganzes mit 17 bezeichneten Nachweiseinrichtung verarbeitet. Die Nachweiseinrichtung
enthält eine Interferometer- oder Mischanordnung 19. in der ein der Dämpfung des Meßbündels durch das
Meßobjekt und ein der Phasenverschiebung des Meßbündelb durch das Meßobjekt entsprechendes
Ausgargssignal erzeugt werden. Hierzu wird das reflektierte Referenzbünde: durch einen halbdurchlässigen
Spiegel 21 in ein durchgelassenes und ein reflektiertes Teilbündel auigespaltet. Das durchgelassene
Teilbündel fällt durch einen weiteren halbdurchlässigen Spiegel 23 auf einen Strahlungsdetektor 20a. bei
dem es sich um eine der oben erwähnten Einrichtungen handeln kann. Der reflektierte Teil des Referenzbündels
wird durch einen Spiegel 25, der durch ein piezoelektrisches Bauelement verschiebbar gelagert ist, durch einen
halbdurchlässigen Spiegel 27 zu einem zweiten Strahlungsdetektor 206 reflektiert Das durch das Meßobjekt
beeinflußte Meßbündel wird durch einen halbdurchlässigen Spiegel 29a und einen Spiegel 7äb zu den
halbdurchlässigen Spiegeln 27 und 23 reflektiert, die jeweils einen Teil des Bündels zu den Strahlungsdetektoren
20/>bzw.20a reflektieren.
Die Lage des Spiegels 25 wird so gewählt, daß die beiden Teile des Rifeirenzbündels mit gegeneinander
um 90° verschobenen Versionen des vom Meßobjekt beeinflußten Meßbündels nut Wechselwirkung gebracht
werden. Bei entsprechender Einstellung der Phasenlage, z.B. unter Zuhilfenahme des verschiebbaren Spiegels
15, können die Verhältnisse so gewählt werden, daß die Ausgangssignale der Strahlungsdetektoren 20a und 20Λ
der Dämpfung bzw. Phasenverschiebung der Meßstrahlung durch das Meßobjekt entsprechen. Die Ausgangssignale
der Strahlungsdetektoren werden in Verstärkern 31 verstärkt und angezeigt oder registriert Dies
kann beispielsweise mittels eines Oszillographen 22 erfolgen, wobei das der Dämpfung entsprechende
Signal die X-Ablenkung und das der Phasenverschiebung
entsprechende Signal der K-Ablenkung zugeführt werden kann oder die beiden Signale getrennt durch die
beiden V-Ablenkungen eines Zweistrahloszillographen dargestellt werden können.
Zur Einstellung optimaler Intensitätsverhältnisse kann im Weg des Referenzbündels ein Abschwächer 33,
z. B. ein Graukeil oder ein opti&cher Zirkulator, gegebenenfalls mit vor- und nachgeschalteten Polarisatoren,
vorgesehen sein.
Gemäß einer Weiterbildung diese \usführungsbei-
dulator 35 in der Amplitude moduliert Der Amplitudenmodulator
kann z. B. eine umlaufende, geschlitzte Zerhackerscheibe oder ein mit einer gegebenenfalls
hochfrec ienten Wechselspannung gesteuerter Kerr-Zellenverschluß
sein. Die den Modulator 35 steuernde Vorrichtung 37 tastet vorzugsweise den Strahl des
Oszillographen 22 in dem Augenblick hell, in dem das der Dämpfung entsprechende Signal siinen Maximalwert
hat. Dies kann durch entsprechende Einstellung der Phasenlage des den Modulator 35 steuernden
Signales bezüglich des den Oszillogra ;>hen 22 heiltastenden
Signales erreicht werden.
An die Stelle der Referenz- und üetektoranordnungen, z. B. der Anordnungen 23, 20a oder 27, 20b kann
insbesondere wenn das Meßbündel durch den Modulator 35 mit einer im Hochfrequenz- oder Mittelfrequenzbereich
liegenden Frequenz moduliert ist auch eine Mischanordnung treten, die ein Signal liefert dessen
Frequenz der Differenzfrequenz zwischen Meß· und Refaenzbündel, also insbesondere der Modulationsfrequenz,
liefert. Die Verstärker 31 sind in diesem Falle dann vorzugsweise Wechselspannungsverstärker und
können auf die Modulationsfrequenz abgestimmt sein.
Die zu untersuchende biologische Substanz kann selbstverständlich auch in Reflexion gemessen werden,
in diesem Falle kann z. B. an die Stelle des Spiegels 29 das Meßobjekt treten.
Bei dem in F i g. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel des Gerätes gemäß d«r Erfindung wird eine Vergleichsmessung durchgeführt. Das Meßbündel 12m wird durch
einen haibdurchlässigen Spiegel 26 in ein weiteres Referp'tzhündel 12a und das eigentliche Meßbündel 12b
aufgeteilt. Das Referenzbündel Ma fällt durch eine Vergleichsküvette i\i auf einen Spiegel 28, der wieder
durch eine Verstellvorrichtung, die einen piezoelektrischen Kristall enthält, verstellbar ist. Das reflektierte
Referenzbündel feilt dann auf einen halbdurchlässigen Spiegel 32, der es teilweise in die Strahiungsnachweiseinrichtung
»7 reflektiert, die ebenso ausgebildet sein kann, wie es in Verbindung mit F i g. 1 beschrieben
worden ist.
Das Meßbündel \'i.b wird durch einen Spiegel 34 umgelenkt und fällt dann durch eine Meßküvette 14/?,
die der Meßküvette 14 in F i g. 1 entspricht und die zu untersuchende biologische Substanz enthält, sowie
durch den halbdurchlilssigen Spiegel 32 zusammen mit dem reflektierten Teil des Referenzbündels 12a in die
Strahlungsnächweiseinrichtüng 17.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentansprüche:J. Gerät zur Bestimmung des COj-Gehaltes einer biologischen Substanz mit einer einen CO2-Laser enthaltenden Strahlungsquelle, einer Vorrichtung zur Halterung einer Probe der Substanz im Wege der Laserstrahlung und einer Strahlungsnachweiseinrichtung, die auf die durch die Probe beeinflußte Laserstrahlung anspricht, dadurch gekennzeichnet, daß im Weg eines Ausgangsstrahlungsbündels (12) des Lasers (10) vor der Probe (14) ein Bündelteiler (13) zum Erzeugen eines Meßbündels (12m) und eines Referenzbündels (12/·,} angeordnet ist; daß das Referenzbündel und das durch die Probe beeinflußte Meßbündel einer interferometrischen Bündelteiler-und Vereinigungsanordnung (19) zugeführt sind, in der zwei in Phasenquadratur stehende Versionen des durch die Probe beeinflußten Meßbüs.^ls mit je einem Teil des Referenzbündels unter Erzeugung zweier Ausgangssignale interferieren, welche einer Strahlungsnachweisanordnung (20a, 20ty zugeführt sind, an die eine Anzeige- oder Registriervorrichtung (22) angeschlossen ISL2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die interferometrische Anordnung (19) einen ersten teildurchlässigen Spiegel (21) enthält, der das Referenzbündel (\2r) in einen durchgelassenen und einen reflektierten Teil aufspaltet, daß der durchgelassere Teil des Referenzbündels durch einen zweiten teildurchlässigen Spiegel (23) auf einen ersten StrahlungsJetektc. (2Oa^ fällt; daß der reflektierte Teil des Re.'erenzbür.dels von einem Spiegel (25), der als Phasens lieber dient und verstellbar gelagert ist, durch einen dritten teildurchlässigen Spiegel (27) auf einen zweiten Strahlungsdetektor (20b) geworfen wird, und daß das vom Meßobjekt (14) beeinflußte Meßbündel (i2m) durch eine weitere Spiegelanordnung (29a, 29Zj^ so auf den zweiten und dritten teildurchlässigen Spiegel (23,27) geworfen werden, daß Teile des Meßbündels zusammen mit den entsprechenden Teilen des Referenzbündels auf die zugehörigen Strahlungsdetektoren fallen, wobei die optischen Weglängen so bemessen sind, daß die beiden Teile des Meßbündels mit um 90° gegeneinander verschobenen Versionen des Referenzbündels in Wechselwirkung treten.3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Wege des Meßbündels (\2m)em Amplitudenmodulator (35) angeordnet ist. der das Meßbündel mit einer Frequenz moduliert, die wesentlich niedriger als die Frequenz der Laserstrahlung ist, und daß an die Strahlungsdetek toren (20a, 20b) Wechselspannungsverstärker (31) ingeschlovsen sind.4. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechselspannungsverstärker die Ablenkung eines Oszillographen (22) in X- und Y-Richtung Jteuern und daß der Strahl des Oszillographen mit der Modulationsfrequenz kurzzeitig hellgetastet wird.5. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das vom ersterwähnten Bündelteiler (13) erzeugte Meßbündel (12m,) durch einen weiteren Bündelteiler (26) in ein iwcites Referenzbündel (\2a), in dessen Wag eine Vergieichsküvette (Ha) angeordnet ist, und ein eigentliches MeDbündel (\2b), in dessen Weg eineMeßküvette (14) angeordnet ist, aufgeteilt wird und daß eine Vorrichtung (28,32) vorgesehen ist, die die aus der Vergieichsküvette bzw. Meßküveue austretenden Bündel vereinigt und der interferor.netrischen Anordnung (19) zuführt5. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang mindestens eines der beiden durch den weiteren Bündelteile? (26) erzeugten Bündel (12a, \2b) eine Vorrichtung (28) zum Verändern der optischen Länge des von einem Bündel durchlaufenen Weges bezüglich der optischen Länge des vom anderen Bündel durchlaufenden Weges angeordnet ist7. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang des Referenzbündels ein Abschwächer (33) angeordnet ist, der einen optischen Zirkulator enthält
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Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2751365B2 (de) * | 1977-11-17 | 1979-12-06 | Diamant Test Gesellschaft Fuer Edelsteinpruefungen Mbh, 5000 Koeln | Vorrichtung zur Messung der Absorption einer Probe |
US4183670A (en) * | 1977-11-30 | 1980-01-15 | Russell Robert B | Interferometer |
US4509522A (en) * | 1981-12-15 | 1985-04-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Infrared optical measurement of blood gas concentrations and fiber optic catheter |
FR2531535B1 (fr) * | 1982-08-03 | 1985-08-30 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Procede et dispositif de dosage de faible teneur de composants gazeux |
JPH0789083B2 (ja) * | 1984-04-27 | 1995-09-27 | 名古屋大学長 | 山形ミラーを用いた新ホモダイン法による非対称スペクトル分布測定装置 |
US5168325A (en) * | 1990-02-28 | 1992-12-01 | Board Of Control Of Michigan Technological University | Interferometric measurement of glucose by refractive index determination |
DE4320036C2 (de) * | 1993-06-17 | 1997-02-13 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Anordnung zur Driftkorrektur zeitdiskreter Meßsignale bezogen auf ein Referenzsignal, insbesondere in der absorptionsspektroskopischen Spurengasanalytik |
US7126131B2 (en) * | 2003-01-16 | 2006-10-24 | Metrosol, Inc. | Broad band referencing reflectometer |
US7394551B2 (en) * | 2003-01-16 | 2008-07-01 | Metrosol, Inc. | Vacuum ultraviolet referencing reflectometer |
US7026626B2 (en) * | 2003-01-16 | 2006-04-11 | Metrosol, Inc. | Semiconductor processing techniques utilizing vacuum ultraviolet reflectometer |
US7067818B2 (en) * | 2003-01-16 | 2006-06-27 | Metrosol, Inc. | Vacuum ultraviolet reflectometer system and method |
US20080246951A1 (en) * | 2007-04-09 | 2008-10-09 | Phillip Walsh | Method and system for using reflectometry below deep ultra-violet (DUV) wavelengths for measuring properties of diffracting or scattering structures on substrate work-pieces |
US8564780B2 (en) * | 2003-01-16 | 2013-10-22 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Method and system for using reflectometry below deep ultra-violet (DUV) wavelengths for measuring properties of diffracting or scattering structures on substrate work pieces |
CN101799326A (zh) * | 2003-09-23 | 2010-08-11 | 乔丹谷半导体有限公司 | 真空紫外参考反射计 |
US7511265B2 (en) * | 2004-08-11 | 2009-03-31 | Metrosol, Inc. | Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement |
US7804059B2 (en) * | 2004-08-11 | 2010-09-28 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Method and apparatus for accurate calibration of VUV reflectometer |
US7399975B2 (en) * | 2004-08-11 | 2008-07-15 | Metrosol, Inc. | Method and apparatus for performing highly accurate thin film measurements |
US7663097B2 (en) * | 2004-08-11 | 2010-02-16 | Metrosol, Inc. | Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement |
US7282703B2 (en) * | 2004-08-11 | 2007-10-16 | Metrosol, Inc. | Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement |
US20080129986A1 (en) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Phillip Walsh | Method and apparatus for optically measuring periodic structures using orthogonal azimuthal sample orientations |
US20090219537A1 (en) * | 2008-02-28 | 2009-09-03 | Phillip Walsh | Method and apparatus for using multiple relative reflectance measurements to determine properties of a sample using vacuum ultra violet wavelengths |
US8153987B2 (en) * | 2009-05-22 | 2012-04-10 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Automated calibration methodology for VUV metrology system |
US8867041B2 (en) | 2011-01-18 | 2014-10-21 | Jordan Valley Semiconductor Ltd | Optical vacuum ultra-violet wavelength nanoimprint metrology |
US8565379B2 (en) | 2011-03-14 | 2013-10-22 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Combining X-ray and VUV analysis of thin film layers |
US9091523B2 (en) * | 2013-07-19 | 2015-07-28 | Quality Vision International, Inc. | Profilometer with partial coherence interferometer adapted for avoiding measurements straddling a null position |
GB201603051D0 (en) * | 2016-02-23 | 2016-04-06 | Ge Healthcare Bio Sciences Ab | A method and a measuring device for measuring the absorbance of a substance in at least one solution |
AT520258B1 (de) * | 2017-07-26 | 2022-02-15 | Univ Wien Tech | Verfahren zur spektroskopischen bzw. spektrometrischen Untersuchung einer Probe |
US10794819B2 (en) * | 2018-10-05 | 2020-10-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Wide field of view narrowband imaging filter technology |
CN109975233B (zh) * | 2019-03-13 | 2020-06-19 | 浙江大学 | 一种基于激光衰减的不凝气层测量装置及方法 |
EP3889580A1 (de) * | 2020-04-05 | 2021-10-06 | TGTW Group B.V. | System und verfahren zur messung von verunreinigungen in einem im wesentlichen lichtdurchlässigen material, wie etwa wasser |
-
1970
- 1970-09-14 DE DE2045386A patent/DE2045386C3/de not_active Expired
- 1970-11-25 DE DE2058064A patent/DE2058064C3/de not_active Expired
-
1971
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- 1971-08-09 US US00170207A patent/US3825347A/en not_active Expired - Lifetime
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DE2045386A1 (de) | 1972-03-23 |
LU63678A1 (de) | 1971-12-14 |
DE2058064C3 (de) | 1979-10-31 |
DE2039382B2 (de) | 1977-02-03 |
FR2104115A5 (de) | 1972-04-14 |
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