DE2245754B2

DE2245754B2 - Verfahren zum Aufzeichnen mehrerer Hologramme auf einem gemeinsamen Speichermedium

Info

Publication number: DE2245754B2
Application number: DE2245754A
Authority: DE
Inventors: Yoshitada Tokio Oshida
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1971-09-18
Filing date: 1972-09-18
Publication date: 1979-08-30
Also published as: US3834787A; DE2245754A1; JPS5123189B2; JPS4839048A; DE2245754C3

Description

Zum Aufzeichnen mehrerer Hologramme in Form einer Matrix auf einem gemeinsamen Speichennedhim mittels Doppelbelichtung werden ein Bezugslichtstrahl, der unter einem bestimmten Winkel projiziert wird, und ein Objektlichtstrahl verwendet, der einen die Phase des hindurchtretenden Lichtes verschiebenden Raummodulator durchsetzt Bei der Erzeugung jedes einzelnen Hologramms wird jeweils die Information »0« dadurch abgebildet, daß bei den aufeinanderfolgenden Belichtungen einer Doppelbelichtung die Phasenbeziehunf zwischen Objekt- und Bezugslichtstrahl um η verändert wird, während zur Aufzeichnung der Information »1« bei den aufeinanderfolgenden Belichtungen der Doppelbelichtung keine Phasenänderung erfolgt

Um die einzelnen Hologramme an unterschiedlichen Stellen des gemeinsamen Speichermedhims zu placieren, wird der Raummodulator, mit dem die genannten Phasenbeziehungen gesteuert werden, notwendigerweise von Strahlen mit entsprechend unterschiedlichen Einfallswinkeln durchsetzt In Abhängigkeit vom Einfallswinkel ändert sich jedoch das Transmissionsvermögen des Raummoduiators je nach seinem phasenschiebenden Zustand. Daraus ergibt sich das Problem, daß die Information »0«, die eine Austöschung durch um η phasenverschobene Lichtstrahlen gleicher Intensität vorausetzt, mit zunehmendem Einfallswinkel immer weniger Kontrast von der Information »I« erhält

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Störungen des Hologrammbildes infolge von Änderungen des Transmissionsvermögens des Raummoduiators zu verringern.

Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist im Patentanspruch 1 gekennzeichnet Durch die danach vorgesehene Änderung der Lichtmengen bei den aufeinanderfolgenden Belichtungen jeder Doppelbelichtung in Abhängigkeit vom jeweiligen Strahleneinfallswinkel wird die erwähnte Änderung des Transmissionsvermögens des Raummodulators kompensiert. Daher kann der zulässige Strahleneinfallswinkel am Raummodulator erhöht werden, so daß sich die Anzahl der Hologramme, die sich auf ein gemeinsames Speichennedhim aufzeichnen lassen, erhöhen läßt

Die Erfindung wird im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert In den

ίο Zeichnungen zeigen

F i g. 1 und 2 schematische Darstellungen des Auf baus der wichtigsten Teile einer bekannten Vorrichtung zur Hologrammspeicherung;
Fig.3 ein Ausführungsbeispiel eines Raununodulators;

Fig.4 in einer schematischen Darstellung die Polarisationsrichtung und den Auffallwinkel des auf einen Raummodulator auftreffenden Lichts;

Fig.5 in einem Polarkoordinatendiagrauim die

Abhängigkeit des Signal-Rauschverhähnisses vom Auffauwinkel für Phasenmodulationshologramme unter Verwendung einer bekannten Vierielweuenplaiie;

Fig.6 in einem Polarkoordinatendiagramm die Abhängigkeit des Signal-Rauschverhähnisses vom Auffallwinkel für Hologramme, die bei der Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens bei Phaseranodulationshologrammen unter Verwendung der Viertelweflenplatte hergestellt werden;

Fig.7 in einem Polarkoordinatendiagramm die

Abhängigkeit des Signal-Rauschverhältnisses Z von Phasenmodulatioashologrammen in Abhängigkeit vom Auffallwinkel;

Fig.8 in einem Polarkoordmatendiagramm den Phasenmodulationsfehler des Raummodulators in Abas hängigkeit vom Auffallwinkel; und

Fig.9 in einer schematischen Darstellung eine

■ Vorrichtung zur Hologrammspeicherung.

In den Fig. 1 und 2 sind bekannte Holograonnspeichergerä te mit je einem Phasenmodulations-Raum-

•40 speicher gezeigt Der Hologramm\ie«cher der Fig. 1 enthält einen Raummodulator 4 mit einer HaÜJweUenplatte. Das Hologrammspeichergerät der F i g. 2 enthält einen Raummodulator 5 mit einer Viertelwellenplatte. In den Figuren sind mit I ein phasenmodulierter lichtstrahl, mit 2 ein Bezugslichtstrahl, mit 3 ein Hologrammaufzeichnungsmedtum, mit 8 bis 10 linsen, und mit 6 und 7 Viertelwellenplatten bezeichnet Ein Ausfühningsbeispiel der Raummodulatoren ist in F i g. 3 gezeigt Dabei besteht die Wellenplatte 21 aus einem Gadolinhimntiolybdatkristall, der in der Form der Zähne eines Kamms geschnitten ist An der Rückseite der Wellenplatte ist eine geschlossene oder die gesamte Fliehe überdeckende Elektrode angebracht, während an der Vorderfläche brücken- oder streifenartige Leiter 18 befestigt sind, die senkrecht zu den Kammzähnen verlaufen. In der Mitte jedes Teils, an dem Kristall und brückenartig«: Elektrode 18 übereinander liegen, befindet sich ein rundes Loch 19, durch das das licht hindurchtritt Auf die Oberfläche des Teils ist eine

ω transparente Elektrode aufgelegt Die jeweils aneinander angrenzenden Brücken sind durch ein Isolierstück 20 elektrisch voneinander isoliert Die Spannungen in Zeilen- und Spaltenrichtung werden an die brückenarti· gen Elektroden auf der Vorderflache bzw. an die transparente Elektrode auf der hinteren Fläche angelegt Auf diese Weise kann an jeder Schnittstelle zwischen den Zeilen und Spalten der Zustand des Kristalls in den Zustand A oder 0 geschaltet werden, um

so die Information auf dem Hologrammaufzeichnungsmedium aufzuzeichnen. FQr den Zustand A wird die Phase des Lichts im Falle der Halbwellenplatte um eine halbe Wellenlänge bzw. im Falle der Viertelwellenplatte um eine Viertelwellenlänge gegenüber der des Zustands B vorverschoben. Bei der Vorrichtung der F i g. 1 wird der gebündelte Lichtstrahl 1 durch die Raummodulatoren 4 bzw. 4' hindurchgeschickt, die vor bzw. hinter der linse 8 angeordnet sind und aus einer Halbwellenplatte bestehen. Der gebündelte Lichtstrahl 1 und der Bezugslichtstrahl 2 werden auf dem Hologrammaufzeichnungsmedium 3 als ein Interferenzstreifen aufgezeichnet Bei der in Fig.2 gezeigten Vorrichtung wird der gebündelte Lichtstrahl 1 durch den Raummodulator S oder 5' projiziert, der vor bzw. hinter der linse 8 in dem durch die Linsen 10 und 9 aufgeweiteten Lichtstrahl angeordnet ist, und der aus einer Viertelwellenplatte besteht Der Lichtstrahl 2 wird durch eine weitere Viertelwellenplane projiziert, die sich im Weg des Bezugslichtstrahls befindet und die Kristallorientierung elektrisch invertiert oder umkehrt Die Lichtstrahlen 1 und 2 werden auf dem Hologrammaufzeichnungsmedium als Interferenzstreifen aufgezeichnet Um auf dem Hologrammaufzeichnungsmedium 3 eine Anzahl von Hologrammen aufzeichnen und diese Hologrammanzahl an der gleichen Stelle wiedergeben zu können, muß schräg auf den Raummodulator fallendes licht verwendet werden.

Wenn bei den Holographieverfahren, bei denen optische Systeme gemäß den Fig. 1 und 2 verwendet werden, licht schräg auffällt, so ist der Lichttransmissionsfaktor des Kristalls in den Zuständen A und B Änderungen unterworfen. Demzufolge wird bei der Herstellung von Hologrammen durch Doppelbelichtung mit Lichtstrahlen gleicher Belichtungsstärke das Signal 0, bei dem das wiedergegebene Lichtsignal gelöscht werden soll, nicht völlig gelöscht, so daß es als Störung erscheint Aus diesem Grunde beträgt der zulässige Schrägwinkel nur etwa 5°. Die engen Grenzen des zulässigen Schrägeinfalls des Lichts bedeuten eine geringe Infoi mationsmenge, die in das Hologrammaufzeichnungsmedium eingeschrieben werden kann. Es wurde ein weiteres Hologrammspeichergerät mit einem Phasenmodulator vorgeschlagen, der die Fehler der Lichtphasenmodulation in den Zuständen A und B des Kristalls bei schrägem Lichteinfall kompensiert Aber auch bei diesem Gerät entstehen Störungen wegen des Schrägeinfall des Lichts infolge von Unterschieden des Transmissionsfaktors. Der zulässige Schrägwinkd beträgt etwa 10,5°.

Um die erwähnten Nachteile zu vermeiden, werden erfindungsgemäß bei Doppelbelichtung die erste und zweite Belichtung unterschiedlich ausgeführt, um so die Störungen abzuschwächen. Es seien Φ_Ιηη und Φΐη* die Stärke der Phasenmodulation und a\ und a₂ die Amplitudentransmissionsfaktoren bei der ersten und zweiten Belichtung eines Phasenmodulationselements, das sich an einer bestimmten Adresse (m, n) des Raummodulators in F i g. 3 befindet Es seien ferner E\ und E₂ die Belichtungsstärken bei der Herstellung eines Hologramms. Dann ist die Wiedergabeintensität Imn eines wiedergegebenen Hologrammbildes am Bit (m, n): '™, = C|«, |/£, cxh |i(0_lm„-,·,)!

|fe cxh I

₁-V₂)! 12/4.

(I) Hologramms und die Intensität des wiedergegebenen Lichts bestimmte Konstante. Bei Verwendung eines Raummodt'lators mit einer Halbwellenplatte sind ψ; und ψ2 gleich 0. Im Falle der Verwendung eines Raummodulators mit einer Viertelwellenplatte beträgt die Phasenmodulation des Phasenmodulators 6 der Fi g. 2 Null oder n/2 (im Falle des Phasenmodulators 7 Null oder -π/2). Fällt das licht senkrecht auf den Raummodulator, so werden Φ\η,ι> und <bi_mn gleich Null und π bei einem Raummodulator mit der Halbwellenplatte und n/2 bei einem Raummodulator mit der Viertelwellenplatte. a\ und % sind einander etwa gleich. Zur Erzeugung von Signalen »0« und »1« von A_mrh kann die Phasenmodulation gemäß Tabelle 1 durchgeführt werden, wobei £1 und £2 gleich gemacht werden.

Tabell·: 1

Beziehung zwischen Stärke der Phasenmodulation und Signal bei senkrechtem Auffall

(a) Raummodulator mit Halbwelleryiatte

Signal	Pi	Φ Ι »Μ	Ψι	Φ I mn	Ψι	4>2mn	t>lmn	'mn
0 1	0 0	0 0	0 0	π 0	0 dE¹
a = a\ E= E₁	= 01
(b) Riiummodulator mit ^Λ	/iertelwellenplatte
Signal	Vl	'mn

0 O

1 O

Q = ύ\ — Οχ

E=E, = E₂

π/2
0

π/2
π/2

0
π/2

Für schrägeinfallendes licht werden jedoch <P\_mn und $2mn Null und λ+«5_mn (Raummodulator mit Halbwellenplatte), und a\ und ai werden ungleich. Nach dem Wiedergabe-üchtentensitätsverhältnis zwischen dem Signal »1« und dem Signal »0« (im folgenden als Signal-Rauschverhältnis S/N) bezeichnet, wird ersteres ein helles Bild und das letztere ein dunkles Bild, wenn das Hologramm bei gleichen Belichtungsmengen mittels eines Raummodulators mit einer Viertelwellenplatte hergestellt wird (siehe Fig.5 für gemäß Fig.4 auffallendes Licht). Die Viertelwellenplatte des RaummoduNlors besteht in diesem Fall aus Gadoliniummolybdat (Z-Schnitt). Wenn in Fig.5 S/N 100 oder mehr sein soll, so beträgt der zulässige Einfallwinkel maximal 5°. Dies liegt darin, daß 6_m„ nicht gleich C ist und das a, und φ einander nicht gleich sind.

Erfindungsgemäß sind die Belichtungsmengen E₁ und

ω E₂ bei der ersten und zweiten Belichtung einander ungleich, und zwar gemäß folgender Gleichung:

Hierin ist C eine durch das Hologrammaufzeichnungsmedium, den Zusvuid bei der Herstellung des Hierdurch wird das Signal-Rauschverhältnis des wiedergegebenen Lichtsignals groß. Bei dem Beüchtungsmengenverhältnis gemäß Gleichtung (2) ist der zulässige Winkel für S/N gleich 100 etwa 8° (Fig.6).

Beim Hologrammspeicher vom Phasenkompensationstyp, bei dem der Phusenmodulator so eingesetzt wird, daß der Fehler 6_m„ der Größe der Phasenmodulation infolge des schrägen Lichteinfiills kompensiert wird, kann unter Anwendung der vorliegenden Erfindung der zulässige Winkel weiter vergrößert werden. Beim Phasenkompensations-Hologrammspeicher werden die Abweichungen d_m„ von 4>\_m„ und! Φ-ι™ in Gleichung (1) von η oder π/2 durch die Höhe der Phasenmodulation Aj des eingesetzten Phasenkompensators kompensiert Auf diese Weise werden die beiden Phasendifferenzen der komplexen Zahlen in Gleichung (1) für dar Signal »!«gleich π.

S/N des rekonstruierten Lichtsignals verhält sich bei schrägem Lichteinfall bei Verwendung der Phascnkom-

Tabelle 2

pensationseinrichtung gemäß Fig.7, wenn die Belichtungsmengen E\ und Ei einander gleich sind. Wie sich aus Fig.7 ergibt, kann der zulässige Winkel für S/N= 100 aul! 10,5° erweitert werden. /_mn kann genau gleich 0 und 4frWunendlich gemacht sowie der zulässige Winkel vergrößert werden, wenn unter Verwendung der Phasenmodulationseinrichtung die beiden Phasendifferenzen der komplexen Werte in Gleichung (1) für das Signal »0« gleich η gemacht werden. Dabei sind die ίο jeweils absoluten Werte einander gleich. Tabelle 2 zeigt die relativen !Intensitäten zwischen dem Signal »0« und dem Signal »1« bezüglich der wiedergegebenen Lichtintensität nach Gleichung (1) für die Phasenmodulation-Hologrammspeicherung.

15

Relative Intensitäten: des wiedergegebenen Lichts zwischen den Signalen »0« und »1« (a) Raummodulator mit Halbwelleriplatte

Signal	Vl	Vl	4>\mn Ψ2	Oi	0 (PE² cos⁷ «5/2
O 1	0 0	0 δ, 0 ö_c
aE = ü[E\	= «2^2
(b) Raummodulator	mit Viertelwellenplatte	02 _m„
Signal

0
1

aE = a\E\ =

0
0

n/2 + ö_c
0

n/2 - 6_C n/2 - 6_C

n/1 + <5_r

Je⁷ cos² o_r

Fig. 8 zeigt im Polarkoordinatendiagramm die Abhängigkeit des Fehlers 6_m„ der Phasenmodulation bei schrägem Auf fall auf einen aus einer Viertelwellenplatte bestehenden Raummodulator. Wenn der Wert merklich groß wird, so wird auch die Größe der Phasenmodulation δα die notwendig ist, um das Signal »0« völlig auf 0 zu bringen, ebenfalls groß und die Intensität des Signals »1« wird gering. Der zulässige Winkel kann daher nicht beliebig vergrößer; werden. Er kann jedoch auf 12 bis 13" erweitert werden, wenn die vorliegende Erfindung zur phasenkompensierten Hologrammspeicherung verwendet wird. Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Beispiels näher erläutert

F i g. 9 zeigt eine Vorrichtung zur Hologrammspeicherung. Die Vorrichtung enthält eine Laserlichtquelle 11, einen mechanischen Verschluß 12 und einen elektrischen Verschluß 22 mit einer Viertelwellenplatte aus Gadoliniummolybdat Sie enthält ferner einen Deflektor 13 zur Anordnung einer Anzahl von Hologrammen, einen Spiegel 16 und einen Strahlteiler 17, der dazu dient, den Laserlichtstrahl in einen Bezugslichtstrahl und einen Objektlichtstrahl aufzutrennen. Der Objektlichtstrahl 1 wird auf ein Beleuchtungs- es hologramm 14 projiziert Das einmal abgelenkte oder gebeugte Licht geht durch eine Linse 8 hindurch und fällt auf einen Raummodulator 5 (oder 4). Der Raummodulator 5 besteht aus einer Viertel-(oder Halb-)-wellenplatte aus Gadoliniummolybdat und hat beispielsweise den in F i g. 3 gezeigten Aufbau. Das aus der Laserlichtquelle 11 austretende Laserlicht ist linear in der Vertikalrichtung polarisiert, während die Kristallachsen der Viertelwellenplatte 5 (oder 4) in der Vertikal- und Horizontalachse liegen. Der phasenmodulierte, durch den Raummodulator S hindurchgetretene Lichtstrahl läuft durch eine linse 8' hindurch und wird auf ein Holojtrammaufzeichnungsmedium 3 projiziert Der durch den Strahlteiler 17 getrennte Bezugslichtstrahl 2 tritt durch ein optisches Umkehrunscnsystem 15 hindurch und ändert somit seine optische Bahn in eine um 180" um die Achse des Linsensystems (Mittellinie in der Fig.) gedrehte Stellung. Somit wird dem Objektlichtstrahl 1 auf dem Holograitniiaiifzeichnungsniedhim 3 ein Bezugslichtstrahl 2 überlagert Demzufolge werden die In terferenzstreifen der beiden Lichtstrahlen auf dem Hol"gP""T»aiif?eirjimingsrmxlhiin aufgezeichnet Bei Verwendung eines Raummodulators aus einer ViertelweUenplatte wird eine Viertelwellenplatte aus Gadoliniummolybdat mit elektrisch invertierter KristaHorientienrng so an den Stellen 6 oder 7 angeordnet, daß die Kristallachsen vertikal und horizontal sind. Zur phasenkompensierten Hologrammspeicherung wird ein Phasenkompensator 9 (oder 10) in die Bahn des

Bezugslichtstrahls (oder des Objektlichtstrahls) eingesetzt.

Es soll nun das Verfahren zur Herstellung von Hologrammen unter Verwendung des Hologrammspeichers erläutert werden. Die Stellung des Lichtstrahls wird mittels des optischen Deflektors 13 entsprechend der Stellung eines auf dem Hologrammedium oder der Adresse (I, k) herzustellenden Hologramms gewählt. Gleichz&iog wird der mechanische Verschluß 12 geöffnet. Darauf wird der elektrische Verschluß 22, der entsprechend einer Eingangsinformation ein Signal in den Raummodulator einschreibt und der elektrisch betätigt wird, geöffnet. Hierdurch erfolgt die erste Belichtung. Nach einer vorherbestimmten Belichtungszeit t\ik wird der Verschluß 22 geschlossen. Darauf wird das zweite dem Eingangssignal entsprechende Signal in den Raummodulator eingeschrieben. Besteht der Raummodulator aus einer Viertelwellenplatte, so werden die Richtungen der Kristallachsen der Viertelweiicnpiaüe 6 (oder 7) elektrisch reversiert. Der Verschluß 22 wird geöffnet, und es erfolgt die zweite Belichtung während einer vorherbestimmten Belichtungszeit t2ik. Nach Beendigung der Belichtung werden der elektrische Verschluß 22 und der mechanische Verschluß 12 geschlossen. Somit ist die Aufzeichnung eines Hologramms beendet. Darauf werden nacheinander weitere Hologramme an unterschiedlichen Stellen des Hologrammaufzeichnungsmediums in der obigen Weise aufgezeichnet. Der Auffallwinkel des auf den Raummodulator 5 oder 4 treffenden Strahls ist abhängig von den Aufzeichnungsstellen auf dem Hologrammaufzeichnun₆imedium. Daher werden zuvor die Werte von t\ik bestimmt und in Übereinstimmung mit den Aufzeichnungsstellen aufgezeichnet. /,/* und t_m werden durch Steuersignale des Deflektors entsprechend den Aufzeichnungsstellungen des Hologramms ausgelesen. Ein Belichtungszeit-Einstellungsanschluß der Steuerschaltung für den Verschluß 22 wird automatisch oder von Hand eingestellt, so daß die Belichtungszeiten des Hologramms unterschiedlich sind. Die Belichtungsmengen £"i und E₂ sind proportional fi/*bzw. I₂Ik-

Bei der oben beschriebenen Ausführungsform ist es,

wie oben erwähnt, möglich, den zulässigen Winkel von 5° bei schrägem Lichteinfall auf 8° zu erweitern.

Es soll nun das Verfahren beschrieben werden, bei dem ein Phasenkompensator 10 oder 9 zur Herstellung > von phasenkompensierten Hologrammen verwendet wird. Hierbei wird bei der zweiten Belichtung die Größe der Phasenkompensation durch den Phasenkompensator gemäß F i g. 8 auf einen Wert festgelegt, der mit dem bei der ersten Belichtung in Beziehung steht. Der

in weitere Verlauf ist identisch mit dem oben beschriebenen.

Bei dem vorstehenden Ausführungsbeispiel erfolgt die Einstellung der Belichtungsmengen durch Änderung der Belichtungszeit. Die Aufgabe der vorliegenden

r. Erfindung wird jedoch auch erfüllt, wenn die Belichtungszeiten bei der ersten und zweiten Belichtung übereinstimmen. Hierbei wird ein optischer Dämpfer in den Laserstrahl gesetzt, dessen Dämpfung oder Abschwächung einstellbar ist.

JH Frfindungsgemaß können also bei einem System, bei dem ein Raummodulator aus einer Halb- oder Viertelwellenplatte besteht, und bei dem die Aufzeichnung beispielsweise durch Doppelbelichtung erfolgt, die Unterschiede des Transmissionsfaktors bei schrägem

.'·. Lichteinfall, die vom Kristallzustand des Raummodulators abhängig sind, durch die Belichtungsmenge bzw. die während der Belichtung einfallende Lichtmenge kompensiert werden. Hierdurch ist eine Hologrammspeicherung möglich, die geringen Störungen unterworfen ist.

i<> Vorstehend wurde zwar ein Raummodulator beschrieben, der aus Gadoliniummolybdat besteht. Die Erfindung ist jedoch auf diesen Kristall nicht beschränkt. Vielmehr kann jeder beliebige unregelmäßige ferroelektrische Kristall verwendet werden, beispielsweise KDP usw. Tabelle 1 zeigt die gegenseitigen Abhängigkeiten zwischen der Größe der Phasenmodulation und den Signalen, wenn das Licht senkrecht auf den Raummodulator fällt. Tabelle 2 zeigt die Signalintensitäten bei Einstellung der Belichtungsmengen entsprechend der vorliegenden Erfindung bei der phasenkompensitrten Hologrammspeicherung.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Aufzeichnen mehrerer Hologramme auf einem gemeinsamen Speichermednim unter Verwendung eines Raummodulators, der zur Aufzeichnung der einzelnen Hologramme an jeweils einer anderen Stelle des Speichennedhims von unter entsprechend unterschiedlichen Winkern einfallenden Lichtstrahlen durchsetzt wird, wobei jedes Hologramm durch Doppelbelichtung bei gleichem Strahlenverlauf, aber mit durch den Raummodulator veränderter Phasenbeziehung erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Belichtungen jeder Doppelbelichtung mit Lichtmengen durchgeführt werden, die in einem vom jeweiligen Strahleneinfallswinkel am Raiunmodulator abhängigen Verhältnis stehen.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtmengen durch Änderung der Belichtungszeiten gesteuert werden.

3. Verfalucu nsch Anspruch *, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtmengen durch entsprechende Dämpfung der Strahlung gesteuert werden.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, d&8 für jede Doppelbelichtung in den Strahlengang ein Phasenkompensator eingeschaltet wird, dessen Phasenwinkel in Abhängigkeit vom jeweiligen Strahleneinfallswinkel am Raummodulatorgewählt wird.